JP2003017379A - 処理システム及び複数の処理システム間の制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 エラーが生じた時にチェックすべき部位の序
列（対応処理法の序列）を容易に認識することが可能な
処理システムを提供する。 【解決手段】 複数の制御対象ブロックＢＬ１〜ＢＬ７
を制御することにより、被処理体Ｗの処理を行う熱処理
システムにおいて、前記各制御対象ブロックがエラーを
発生しているか否かを判断するエラー判断手段１００Ａ
〜１００Ｇと、前記エラーに対する対応処理法を予め記
憶している対応処理法記憶手段１０２と、前記対応処理
法を表示して操作者に対して認識させる表示手段６２
と、前記エラー判断手段で判断されたエラーに対する対
応処理法を前記対応処理法記憶手段から求めて前記表示
手段に表示させる制御手段１０４とを備える。これによ
り、エラーが生じた時にチェックすべき部位の順列（対
応処理法の順列）を容易に認識することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の
被処理体に対して各種の処理を施すための処理システム
及び複数の処理システム間の制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体集積回路を製造するため
には、シリコン基板等よりなる半導体ウエハに対して、
成膜処理、エッチング処理、酸化拡散処理、改質処理等
の各種の処理が行われる。この種の処理を行う処理シス
テムの一例として、例えば一度に多数枚の半導体ウエハ
を熱処理する、いわゆるバッチ式の処理システムを例に
とって説明すると、複数枚、例えば１０〜２５枚程度の
半導体ウエハを収容するカセットを処理システム内に取
り込み、これをカセットエレベータで一時的にストッカ
に貯留する。そして、処理の順番が到来したならば、こ
のストッカから所定のカセットを取り出して、この中の
半導体ウエハを、ウエハ移載機構を用いてウエハボート
に移載し、このウエハボートを、次はボートエレベータ
により上昇してこれを処理容器内へロードし、半導体ウ
エハを処理容器内に収容する。そして、処理容器内にて
半導体ウエハを所定の温度に昇温維持しつつ、この容器
内に処理ガスを供給すると共に容器内の雰囲気を真空引
きして所定の圧力に維持し、所定の熱処理を行うことに
なる。

【０００３】このような処理システムにおいて、処理時
の各種のプロセス条件等は、ホストコンピュータ等に予
め組み込まれてプログラム（レシピ）によって自動的に
行われ、また、処理システム内のカセットの搬出入や半
導体ウエハの移載等も全てコンピュータ制御によって自
動的に行われる。この場合、各機械系の動作や熱処理時
のプロセス条件等は、種々のセンサ等を用いてモニタさ
れており、各機械系へ動作やプロセス条件等にそれぞれ
予め定められた許容量以上の誤差が生じた時に、エラー
が発生したものとして、その旨を表示装置等に表示する
と同時にアラームを発して操作者に認識させ、操作者に
対してリカバリーの動作を行うように注意を促してい
る。この場合、表示装置には、エラーの生じた部位の名
称等と、その識別番号（ＩＤ番号とも称す）が表示さ
れ、操作者はこの表示装置の表示内容を見て対応箇所の
チェックを行うことになる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、例えば処理
容器の排気系にエラーが発生した場合には、排気系にエ
ラーが発生した旨の表示とそのＩＤ番号は表示される
が、操作者は対策として何をすべきかの指示については
明確にはなされておらず、自己の経験に基づいて排気系
に関する機械系や電気系のチェックを行うようになって
いる。また、同様にカセットの搬送系にエラーが生じて
も、上記と同様に操作者は自己の経験に基づいてカセッ
ト搬送系に関する機械系や電気系のチェックを行うよう
になっている。このように、処理システムにエラーが生
じた時に、これに対して操作者は経験と感を頼りにして
各種の対応処理を行なってきたので、処理システムに対
して適切な対応処理を施すまでに多くの時間を要してし
まう、といった問題があった。本発明は、以上のような
問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたも
のである。本発明の目的は、エラーが生じた時にチェッ
クすべき部位の順列（対応処理法の順列）を容易に認識
することが可能な処理システム及び複数の処理システム
間の制御装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に規定する発明
は、複数の制御対象ブロックを制御することにより、被
処理体の処理を行う処理システムにおいて、前記各制御
対象ブロックがエラーを発生しているか否かを判断する
エラー判断手段と、前記エラーに対する対応処理法を予
め記憶している対応処理法記憶手段と、前記対応処理法
を表示して操作者に対して認識させる表示手段と、前記
エラー判断手段で判断されたエラーに対する対応処理法
を前記対応処理法記憶手段から求めて前記表示手段に表
示させる制御手段とを備えたことを特徴とする処理シス
テムである。このように、エラーが発生した時に表示手
段にその時の対応処理法が表示されるので、操作者は行
うべき対応処理法を容易に認識することができ、このた
め処理システムのリカバリーを迅速に行うことが可能と
なる。

【０００６】この場合、例えば請求項２に規定するよう
に、前記対応処理法は、１つのエラー項目に対して予め
複数個登録されていると共に、発生頻度の順番に予め順
列が付与されている。また、例えば請求項３に規定する
ように、操作者が前記対応処理法を実行した時にその実
行された対応処理法に関する情報を入力する入力手段
と、前記入力手段により入力される対応処理法の頻度に
応じて前記対応処理法記憶手段に記憶されている前記対
応処理法の順列を変更する順列変更手段とを備える。こ
れにより、その処理システム自体のエラー特性を学習す
ることができ、より適切な対応処理法を早期に実施でき
るので、この処理システムのリカバリーをより迅速に行
うことが可能となる。

【０００７】また、例えば請求項４に規定するように前
記処理システムは、前記被処理体を処理容器内へ導入し
て前記処理容器内へ所定の処理ガスを供給しつつ前記処
理容器内を所定の圧力に維持すると共に前記被処理体を
所定の温度に維持して処理を行う処理システムである。
また、例えば請求項５に規定するように、前記複数の制
御対象ブロックは、前記処理容器に対して前記被処理体
を搬送する搬送ブロックと、前記処理容器内に所定のガ
スを供給するガス供給ブロックと、前記処理容器内の雰
囲気を排気する排気ブロックと、前記処理容器内の被処
理体を加熱する加熱ブロックと、を少なくとも有する。
また、例えば請求項６に規定するように、前記搬送ブロ
ックは、複数の被処理体を収容するカセットをストッカ
に対して搬入搬出させるカセット搬送ブロックと、前記
カセット内の被処理体を被処理体ボートに対して移載す
る被処理体移載ブロックと、前記被処理体ボートを前記
処理容器内へロード・アンロードするボート昇降ブロッ
クと、を有する。また、例えば請求項７に規定する発明
は、前記複数の処理システムと、前記複数の処理システ
ムにて入力手段により入力された各対応処理法に関する
情報を集積して集積された前記対応処理法に基づいて順
列を変更することにより平均化順列を求める主制御部
と、前記複数の処理システムと前記主制御部との間を接
続する双方向の通信回線と、を有し、前記処理システム
は前記主制御部で求めた対応処理法の平均化順列を入手
できるように構成したことを特徴とする複数の処理シス
テム間の制御装置である。これによれば、複数の処理シ
ステム間における平均的な対応処理法を順列を必要に応
じて入手してこれを参照することが可能となる。また、
請求項８に規定するように、例えば前記複数の処理シス
テムは互いに同種の処理を行う。また、請求項９に規定
するように、前記複数の処理システムは、互いに離れた
異なる場所に設置されていてもよい。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る処理システ
ム及び複数の処理システム間の制御装置の一実施例を添
付図面に基づいて詳述する。図１は本発明の処理システ
ムを示す概略構成図、図２は図１に示す処理ユニットの
構成図、図３は本発明の特徴であるエラー表示系を示す
ブロック図、図４は対応処理法記憶手段の記憶情報の一
例を示す図である。本実施例においては、説明を判り易
くするために、制御対象ブロックとして、半導体ウエハ
の流れに沿った搬送ブロックと、半導体ウエハの処理時
に処理容器内に処理ガスを供給するガス供給ブロック
と、処理容器内の雰囲気を排気する排気ブロックと、処
理容器内のウエハを加熱する加熱ブロックとをそれぞれ
定義する。そして、上記搬送ブロックを細分すると、カ
セットをストッカに対して搬出入させるカセット搬送ブ
ロックと、カセット内のウエハを被処理体ボートに移載
する被処理体移載ブロックと、被処理体ボートを処理容
器内へロード・アンロードするボート昇降ブロックとが
それぞれ定義される。

【０００９】まず、図１に示すように、この処理システ
ム２は、全体が例えばステンレス等よりなる筐体４に囲
まれており、この内部はカセットＣを搬送するためのカ
セット搬送エリア６と被処理体である半導体ウエハＷを
搬送するウエハ搬送エリア８とに分離区画壁１０により
２分されている。このカセットＣ内には、ウエハＷが複
数枚、例えば１０〜２５枚程度収容される。上記カセッ
ト搬送エリア６内には清浄空気が流され、上記ウエハ搬
送エリア８内にはＮ₂ ガス等の不活性ガス雰囲気になさ
れている。このカセット搬送エリア６には、カセットＣ
をシステム２内に対して搬入搬出させるための搬出入ポ
ート１２と、このカセットＣを一時的に貯留するための
ストッカ１４と、カセット昇降機構１６とが設けられ
る。

【００１０】上記搬出入ポート１２の外側には、外部よ
り搬送してきたカセットＣを載置するための外側載置台
１８が設けられると共に、この搬出入ポート１２の内側
には、上記外側載置台１８よりスライド移動されてくる
カセットＣをその上に載置するための内側載置台２０が
設置されている。また、ここではストッカ１４は２列４
段で設けられており、このストッカ１４間に上記カセッ
ト昇降機構１６を起立させて設けている。このカセット
昇降機構１６には、水平方向に延びて旋回及び屈伸可能
になされたカセット搬送アーム２２が設けられている。
従って、このカセット搬送アーム２２を屈伸及び昇降さ
せることにより、カセットＣをカセット搬送アーム２２
で保持し、搬出入ポート１２とスットカ１４との間で搬
送できるようになっている。ここで、上記カセット昇降
機構１６は例えばボールネジ２４を有し、これを昇降用
モータ２６で旋回駆動して上記カセット搬送アーム２２
を昇降させる。また、このカセット搬送アーム２２は、
アーム屈曲モータ２８で屈曲され、アーム旋回モータ３
０で左右方向に旋回される。そして、上記各モータ２
６、２８、３０はそれぞれモータドライバ２６Ａ、２８
Ａ、３０Ａにより駆動され、また、各モータドライバ２
６Ａ、２８Ａ、３０Ａは図示しないホストコンピュータ
からの指令により動作する例えばマイクロコンピュータ
等よりなるモータ用制御部３２により制御される。

【００１１】ここで、上記カセット昇降機構１６を中心
とする機械系及び電気系が前記カセット搬送ブロックＢ
Ｌ１として定義される。上記区画壁１０には、開閉ドア
３４で開閉される開口３６が設けられ、このカセット搬
送エリア６側にカセットＣを載置する移載台３８が設け
られる。そして、この開口３６に臨ませて、ウエハ搬送
エリア８内には、ボールネジよりなるウエハ移載機構４
０が設けられ、このウエハ移載機構４０に屈曲及び旋回
可能になされた移載アーム４２が昇降可能に取り付けら
れる。そして、このウエハ移載機構４０及び移載アーム
４２を駆動することにより、カセットＣとボートステー
ジ４４上の被処理体ボートであるウエハボート４６との
間でウエハＷの移載を行うようになっている。上述した
カセット昇降機構１６と同様に、このウエハ昇降機構４
０側にも、図示しない昇降用モータ、アーム旋回モー
タ、アーム屈曲モータが設けられており、ここで上記ウ
エハ昇降機構４０を中心とする機械系及び電気系が前記
被処理体移載ブロックＢＬ２として定義される。

【００１２】上記ウエハ搬送エリア８の奥の上方には、
半導体ウエハＷに対して実際に熱処理を行う処理ユニッ
ト５０が設けられており、この下方には、上記ウエハボ
ート４６を上記処理ユニット５０の処理容器５２内へそ
の下方よりロード・アンロードする例えばボールネジよ
りなるボート昇降機構５４が設けられており、このボー
ト昇降機構５４にはウエハボート４６を昇降させるボー
トアーム５６が螺合されている。そして、このボートア
ーム５６の先端に処理容器５２の下端を密閉するキャッ
プ５８が取り付けられている。また、上記ボート昇降機
構５４と上記ボートステージ４４との間には、ウエハボ
ート４６を移載するために旋回及び屈曲可能になされた
ボート移載アーム６０が設けられている。ここで、上記
ボート移載アーム６０及びボート昇降機構５４も図示し
ない駆動モータを有しており、これらを中心とする機械
系及び電気系が前記ボート昇降ブロックＢＬ３として定
義される。また、上記筐体４の表側である搬出入ポート
１２に臨む面には、例えば液晶表示装置よりなる表示手
段６２や操作者が所望の情報の入力を行うためにテンキ
ー群等よりなる入力手段６４が設けられている。

【００１３】次に、図２を参照して上記処理ユニット５
０について説明する。この処理ユニット５０の処理容器
５２は、石英製の内筒５２Ａと外筒５２Ｂとよりなり、
２重管構造になっている。尚、単管構造の処理容器を用
いてもよいのは勿論である。この処理容器５２の外周は
円筒状の断熱材６６により覆われると共に、この内側に
は加熱ヒータ６８が設けられており、上記処理容器５２
内のウエハＷを加熱するようになっている。ここで図示
例では、加熱ヒータ６８は、上下方向に複数、図示例で
は３つの加熱ゾーンに区分されており、各加熱ゾーン毎
に図示しない電力制御系により個別に温度制御可能にな
されている。そのために、各加熱ゾーン毎にフィードバ
ック用の温度検出を行うための熱電対７０が設けられ
る。

【００１４】ここで、上記加熱ヒータ６８や熱電対７０
や図示しない電力制御系を中心として前記加熱ブロック
ＢＬ４として定義される。また、上記処理容器５２の下
端には、Ｏリング等のシール部材７２を介在させて、例
えばステンレスよりなる円筒体状のマニホールド７４が
接続されており、このマニホールド７４の下端開口部
は、昇降移動する前記キャップ５８によりＯリング等の
シール部材７６を介して密閉可能になされている。そし
て、このキャップ５８に設けた回転台７８上に石英製の
保温筒８０を介して上記ウエハボート４６が載置されて
いる。

【００１５】そして、上記マニホールド７４に、複数、
図示例では２個のガスノズル８２、８４が貫通させて設
けられており、各ガスノズル８２、８４のガス通路に
は、例えばマスフローコントローラのような流量制御器
８４Ａ、８４Ｂが介設されており、供給する各処理ガス
等の流量を制御するようになっている。この流量は、図
示しないホストコンピュータ等より指示されており、そ
の値はフィードバック制御される。尚、処理態様に応じ
て更に多くのガスノズルや流量制御器が設けられるのは
勿論である。ここで、上記流量制御器８４Ａ、８４Ｂや
ガス通路を含んだ機械系や電気系を前記ガス供給ブロッ
クＢＬ５として定義する。

【００１６】一方、上記処理容器５２の外筒５２Ｂの下
部には、排気口８６が設けられており、この排気口８６
には排気管８８が接続されている。そして、この排気管
８８に圧力センサ９０、例えば自動的に弁開度を変化さ
せることができるバタフライ弁よりなる自動圧力調整弁
９２及び真空ポンプ９４が順次介設して取り付けられて
いる。そして、上記圧力センサ９０の検出値は、例えば
マイクロコンピュータ等よりなる弁制御部９６へ導入さ
れ、これに基づいて上記自動圧力調整弁９２をコントロ
ールすることにより、処理容器５２内の圧力をフィード
バック制御によりコントロールし得るようになってい
る。ここで、上記圧力センサ９０、自動圧力調整弁９
２、真空ポンプ９４を中心とする機械系及び電気系を排
気ブロックＢＬ６として定義する。

【００１７】また、各ブロックＢＬ１〜ＢＬ６は、図示
しないホストコンピュータ等より通信回線でそれぞれ指
示を受けており、この通信系を通信ブロックＢＬ７（図
示せず）として定義する。尚、上記した各ブロックＢＬ
１〜ＢＬ７は、単に一例を示したに過ぎず、実際の処理
システムには更に多くの制御対象ブロックで定義されて
いる。さて、上記各ブロックＢＬ１〜ＢＬ７は、そのブ
ロックが正常に動作しているか否かを判断するための、
例えばマイクロコンピュータ等よりなるエラー判断手段
１００Ａ〜１００Ｇを有しており、各エラー判断手段１
００Ａ〜１００Ｇは、ホストコンピュータ等からの指示
に従って、各ブロックＢＬ１〜ＢＬ７が一定の許容範囲
内で動作しているか否かを常時監視しており、その許容
範囲を越えて逸脱した時にエラー信号を発生するように
なっている。

【００１８】対応処理記憶手段１０２は、図４に示すよ
うに上記各ブロックＢＬ１〜ＢＬ７におけるエラーに対
する各対応処理法を予め記憶している。この場合、各ブ
ロック毎に識別番号、すなわちＩＤ番号が大分類として
付与されている。そして、各ブロックに対しては、可能
性のある対応処理法がそれぞれ複数個登録されており、
それぞれの対応処理法に小分類のＩＤ番号が付与されて
いる。ここで、大分類のＩＤ番号は１０００番〜７００
０番で割り当てられ、小分類は１番から始まる整数で割
り当てられている。例えば排気ブロックの弁制御部チェ
ックは識別番号”６０００−３”として定義されてい
る。また、各ブロックＢＬ１〜ＢＬ７における各対応処
理法は、過去の経験に基づいてエラーが発生し易い順列
で、すなわちそれぞれ発生頻度が高い順に予め順列が付
与されており、従って、操作者は、エラーが生じた時
に、この発生頻度順に並んだ対応処理法を参照すること
により、どの対応処理法を優先的に実行すればよいか容
易に判断できることになる。

【００１９】図４ではＩＤ番号が１０００番台のカセッ
ト搬送ブロックＢＬ１とＩＤ番号が６０００番台の排気
ブロックＢＬ６のそれぞれの対応処理法の一例のみしか
記載していないが、実際には他の各ブロックＢＬ２〜Ｂ
Ｌ５、ＢＬ７においても複数の対応処理法がその発生頻
度の順列に従って予め記憶されている。尚、実際には、
上記大分類の各ブロック毎に数１００の種類の対応処理
法が存在し、全体の対応処理法は数１０００種類にも達
しているが、ここではその一例のみを示す。そして、例
えばマイクロコンピュータ等よりなる制御手段１０４
は、上記各エラー判断手段１００Ａ〜１００Ｇよりエラ
ー信号が送られてきた時に、そのエラー信号に対応する
対応処理法を上記対応処理法記憶手段１０２から読み出
し、これを表示手段６２へ表示させるようになってい
る。この場合、発生頻度が最も高い対応処理法のみを表
示させてもよいし、或いは発生頻度が高い順に複数の対
応処理法を表示させてもよいし、更には、表示手段６２
の表示エリアが許容される限り、全ての対応処方を表示
させるようにしてもよい。

【００２０】また、順列変更手段１０６は、操作者が対
応処理法のチェックを実施した結果、エラーの発生原因
が特定されるが、そのエラーの発生原因となった対応処
理法のＩＤ番号をテンキーの入力手段６４より入力する
ことにより、そのＩＤ番号の入力回線を記憶しており、
必要な場合には、上記対応処理法記憶手段１０２に記憶
されている発生頻度の順列を更新するものである。例え
ば、圧力センサのエラーが多発する場合には、図４にお
いてＩＤ番号６０００−２で特定される”圧力センサチ
ェック”の発生頻度が１つ繰り上がって、”１”とな
り、逆にＩＤ番号６０００−１で特定される”自動圧力
調整弁チェック”の発生頻度が１つ繰り下がって”２”
となるように、上記順列変更手段１０６は記憶内容を更
新するように動作する。

【００２１】次に、以上のように構成された処理システ
ム２の動作について説明する。まず、ウエハ搬送エリア
８内は、ウエハ表面への自然酸化膜の付着を防止するた
めに不活性ガス、例えばＮ₂ ガス雰囲気になされ、ま
た、カセット搬送エリア６内は、清浄空気の雰囲気に維
持されている。最初に、半導体ウエハＷの全体的な流れ
について説明すると、外部より搬送されてきたカセット
Ｃは、その開閉蓋ＣＦをカセット搬送エリア６側に向け
て搬出入ポート１２の外側載置台１８上に載置され、こ
のカセットＣは内側載置台２０上へスライド移動され
る。

【００２２】次に、カセット搬送アーム２２を駆動する
ことにより、内側載置台２０上に設置されているカセッ
トＣを取りに行ってこれを保持し、更にカセット昇降機
構１６を駆動することによって、このカセットＣをスト
ッカ１４の所定の位置まで搬送して設置し、これを一時
的に保管する。これと同時に、すでにストッカ１４に一
時貯留されており、処理対象となったウエハを収容する
カセットＣをこのカセット搬送アーム２２により取りに
行き、上述のようにカセット昇降機構１６を駆動してこ
れを降下させて、カセットＣを移載台３８上に移載す
る。この状態で開閉ドア３４をスライド移動させること
により、開口３６が開かれる。ここで、図示しない蓋開
閉機構を駆動することにより、カセットＣの開閉蓋ＣＦ
を取り外し、更に、移載アーム４２及びウエハ移載機構
４０を駆動することにより、カセットＣ内に収容されて
いたウエハＷを例えば一枚ずつ取り出し、これをボート
ステージ４４上に設置されているウエハボート４６に移
載する。ウエハボート４６へのウエハＷの移載が完了し
たならば、次に、ボート移載アーム６０を駆動して、ボ
ートステージ４４上のウエハボート４６を最下端へ降下
されているキャップ５８上に載置する。そして、このウ
エハボート４６の移載が完了したならば、ボート昇降機
構５４を駆動させて、ウエハボート４６の載置されたキ
ャップ５８を上昇させ、このボート４６を処理ユニット
５０の処理容器５２の下端開口部より処理容器５２内へ
導入してロードする。そして、このキャップ５８によっ
て処理容器５２のマニホールド７４（図２参照）の下端
開口部を密閉し、この状態で処理ユニット５０内でウエ
ハＷに対して所定の熱処理、例えば成膜処理や酸化拡散
処理等を行なう。

【００２３】このようにして、所定の熱処理が終了した
ならば、前述したと逆の操作を行なって、処理済みのウ
エハＷを取り出す。すなわち、ウエハボート４６を処理
容器５０内から降下させてアンロードし、更に、これを
ボートステージ４４上に移載する。そして、移載アーム
４２を用いて処理済みのウエハＷをボート４６から載置
台３８上のカセットＣ内に移載する。このカセットＣ内
への処理済みウエハＷの移載が完了したならば、開閉蓋
ＣＦを閉じた後、カセット搬送アーム２２を駆動し、こ
のカセットＣを一時的にストッカ１４へ貯留し、或いは
貯留することなく搬出入ポート１２を介して処理システ
ム２外へ搬送することになる。尚、上記した収容ボック
ス２の流れは単に一例を示したに過ぎず、これに限定さ
れないのは勿論である。

【００２４】また、上記半導体ウエハＷの熱処理時に
は、図２に示すように、加熱ヒータ６８により処理容器
５２内のウエハＷを所定の温度まで加熱昇温して維持
し、そして、所定の流量の処理ガスを流量制御しつつ、
ガスノズル８２、８４から供給すると同時に、真空ポン
プ９４により処理容器５２内を真空引きする。この時、
圧力センサ９０によって排気口８６の圧力、すなわち処
理容器５２内の圧力が検出され、この検出値に基づいて
自動圧力調整弁９２をフィードバック制御することによ
り、処理容器５２内は略所定の圧力に維持されて、所定
の熱処理が行われることになる。さて、このような一連
の処理を行っている間、上記各ブロックＢＬ１〜ＢＬ７
のエラー判断手段１００Ａ〜１００Ｇでは、エラーが発
生したか否かが常時判断されており、エラーが発生した
場合には、その旨を操作者に認識させるようになってい
る。この時の動作フローを図５も参照して説明する。

【００２５】まず、上述したように、各ブロックＢＬ１
〜ＢＬ７のエラー判断手段１００Ａ〜１００Ｇは自己の
ブロックにおいてエラーが発生したか否かを判断する
（Ｓ１）。ここでエラーが発生した旨を、当該エラー判
断手段は制御手段１０４へ知らせ、この制御手段１０４
はエラー信号を受けるとエラーが発生したブロックに対
してどのような対応処理法が存在するか、対応処理法記
憶手段１０４に対して参照する。この時、エラーが発生
したブロックを特定し（Ｓ２）、それに対応する対応処
理法を発生頻度順に選択する（Ｓ３）。

【００２６】この場合、ＩＤ番号６０００番の排気ブロ
ックにエラーが発生したならば、この大分類の対応処理
法を発生頻度順に選択することになる。そして、制御手
段１０４は、ここで選択した対応処理法をそのＩＤ番号
と共に表示手段６２に表示する（Ｓ４）。この時の表示
手段６２における表示の態様は図６に示されており、こ
こでは発生頻度順に、”自動圧力調整弁チェック”、”
圧力センサチェック”及び”弁制御部チェック”がその
ＩＤ番号と共に表示されている。この場合、表示する対
応処理法の数は、前述のように最高発生頻度のものを１
つだけ表示してもよいし、或いは全て表示してもよい。
また、図示例では表示画面をスクロールすることによっ
て更に下位の発生頻度の対応処理法を表示できるのは勿
論である。

【００２７】さて、操作者は、エラーの発生を認識して
このような表示画面を視認したならば、上記順列に従っ
てチェックを実行することになる（Ｓ５）。まず、最も
エラーの発生頻度の高い発生頻度”１”の自動圧力調整
弁９２にエラーが存在するか否か、これをチェックす
る。この自動圧力調整弁９２にエラーがないことが判明
したならば、次に、エラーの発生頻度”２”の圧力セン
サ９０にエラーが存在するか否か、これをチェックす
る。この圧力センサ９０にエラーが存在しないことが判
明したならば、次に、エラーの発生頻度”３”の弁制御
部９６に電気的なエラーが存在するか否か、これをチェ
ックする。以下同様に、エラー箇所が発見されるまで、
発生頻度の高い順列に従って各部位についてエラーが発
生しているか否かをチェックして行くことになる。

【００２８】ちなみに、排気ブロックＢＬ６の場合に
は、更に、キャップ５８のリークチェック、排気口８６
と排気管８８との接続リークチェック、自動圧力調整弁
９２の取付部のリークチェック、真空ポンプ９４の取付
部のリークチェック及び真空ポンプ９４自体のチェック
という順序でエラーが解消されるまで行うことになる。
この場合、プロセスが続行できる場合には、可能な限り
プロセスを実行中のままチェックを行い、真空ポンプ自
体のチェックのような大がかりなチェックの場合には、
１サイクルのプロセスが終了した後に行えばよい。ま
た、ちなみにＩＤ番号１０００番で表されるカセット搬
送ブロックＢＬ１にエラーが発生した場合には、メカ部
の目視チェック、昇降用モータ２６のチェック、アーム
屈曲モータ２８のチェック、アーム旋回モータ３０のチ
ェック、各モータドライバ２６Ａ、２８Ａ、３０Ａのチ
ェック及びモータ用制御部３２のチェックの順序で、エ
ラーが発見されるまでチェックすることになる。

【００２９】図５に戻って、上述のようにして操作者が
エラーチェックを実行してそのエラーのリカバリーを実
施した後（Ｓ５）、エラー発生の原因となっていた部位
に対応する対応処理法のＩＤ番号を入力する（Ｓ６）。
例えば、圧力センサ９０をチェックした時にこれにエラ
ーが存在したことが判明したならば、この圧力センサ９
０を修理してリカバリーした後、”圧力センサチェッ
ク”を表すＩＤ番号”６０００−２”をテンキーの入力
手段６４から入力する。そして、順列変更手段１０６
は、今まで入力された対応処理法の各ＩＤ番号の回数を
記憶しており、この回数に基づいて他の対応処理法の回
数よりも多くなった時には、対応処理法記憶手段１０２
の発生頻度の順列を更新することになる（Ｓ７）。これ
により、その処理システムの特有のエラー発生傾向をリ
アルタイムで更新することが可能となる。

【００３０】このように、本実施例によれば、処理シス
テムにエラーが発生した時に、最も有効性の高い順列に
従って対応処理法を列挙して表示するようにしたので、
操作者はチェックすべき部位の順列を迅速に且つ容易に
認識することができ、従って、この処理システムのリカ
バリーを迅速に行うことが可能となる。また、ここでは
単独の処理システムについて説明したが、同様に複数の
処理システムから上記した情報を通信回線を用いて集中
的に集めるようにすれば、この種の処理システムのエラ
ーの発生し易い部位を特定でき、次の新装置の開発に役
立てることもできるし、また、同種の処理システム間に
おいて発生したエラーとその対応処理法の平均化された
順列を参照することもできる。

【００３１】図７はこのようなことが可能となる複数の
処理システム間の制御装置を示す概略構成図である。図
７において、複数、ここでは例えば６台の処理システム
２−１〜２−６が示されている。各処理システム２−１
〜２−６は、例えば汎用のコンピュータよりなる主制御
部１１０により制御するために、双方向の通信回線１１
２により互いに接続されている。ここで当然のこととし
て各処理システム２−１〜２−６は、それぞれ送受信部
１１４−１〜１１４−６を有し、また、制御部１１０も
送受信部１１６を有している。上記各処理システム２−
１〜２−６の内、２台の処理システム２−１、２−２は
例えば熊本県に設置され、他の２台の処理システム２−
３、２−４は例えば山梨県に設置され、残りの２台の処
理システム２−５、２−６は例えば宮城県に設置され
る、という具合に互いに遠く離れて設置されている。

【００３２】そして、各処理システム２−１〜２−６に
おける表示手段はそれぞれ６２−１〜６２−６として表
され、また、入力手段はそれぞれ６４−１〜６４−６と
して表される。また、各処理システム２−１〜２−６に
は、当該処理システム独自のエラーに基づく対応処理法
の順列と、主制御部１１０で得られた各処理システム２
−１〜２−６間における平均的な順列（平均化順列）と
を選択表示するための切替スイッチ１１８−１〜１１８
−６がそれぞれ設けられている。

【００３３】さて、このような複数の処理システム間の
制御装置においては、各処理システム２−１〜２−６に
おいてエラーが生じて適切な対応処理法が操作者によっ
て行われた場合には、各操作者は実行した適切な対応処
理法に関する情報を、前述したように入力手段６４−１
〜６４−６によりそれぞれ入力することになる。このよ
うな入力情報は、前述したように各処理システム６４−
１〜６４−６内においてそれぞれ独自に処理されて、そ
のシステム固有の対応処理法の順列が求められると同時
に、その入力情報は、通信回線１１２を介して主制御部
１１０に集積される。そして、この主制御部１１０は、
この集積された入力情報に基づいて各処理システム２−
１〜２−６を一体と見なして、図４に示すような対応処
理法の順列、すなわち平均化順列を求める。これによ
り、当該処理システム固有の対応処理法だけではなく、
同種の複数の処理システムの平均化された順列を作成す
ることができ、且つ当該処理システムではそれまで発生
していない対応処理法の順列を、別の複数の処理システ
ムから得ることが可能となる。

【００３４】そして、ここで作成した対応処理法の平均
化順列は、必要に応じて、例えば平均化順列が更新され
た時点で、主制御部１１０から各処理システム２−１〜
２−６へ一方的に配信してもよいし、或いは処理システ
ム２−１〜２−６からの要求に応じて配信するようにし
てもよい。これによれば、各処理システム２−１〜２−
６の操作者は、当該処理システム独自の対応処理法の順
列を参照することもできるし、或いは主制御部１１０で
作成した複数の処理システム２−１〜２−６を一体と見
なした対応処理法の平均化順列も参照することができ、
より的確な対応処理を迅速に行うことができる。ここで
同種の処理とは、熱ＣＶＤ処理群、酸化拡散処理群、プ
ラズマ成膜処理群、改質処理群、エッチング処理群等の
ように、システム構成上、類似する構造となる一群を同
種の処理とする。

【００３５】上記実施例では、一例として６台の処理シ
ステムの場合を例にとって説明したが、実際には更に多
い、或いは少ない台数の処理システムが接続されるよう
にしてもよい。また、ここでは通信回線を用いて遠距離
間の処理システムを結合した場合をっ説明したが、これ
に限定されず、狭い領域、例えば同一エリア内における
処理システム同士をＬＡＮやＭｏｄｅｍ等の通信回線で
結合するようにしてもよい。また、ここで示した処理シ
ステムは単に一例を示したに過ぎず、どのような形態の
処理システムにも本発明を適用でき、また、処理容器に
関してもバッチ式の処理容器に限定されず、枚葉式の処
理容器にも本発明を適用できるのは勿論である。

【００３６】更に、上記実施例では、図４に示す対応処
理法の分類は、便宜上、大分類を１つの単位としてこれ
に属する対応処理法をグループ化して表しているが、実
際には、更に細分類化したブロックを１つの単位として
対応処理法をグループ化するようにしてもよい。例えば
ＩＤ番号４０００番の加熱ブロックＢＬ４を例にとれ
ば、この加熱ブロックでは３つの加熱ゾーンに分割され
ているが、各加熱ゾーン毎に１つのグループ化された複
数の対応処理法を表すようにしてもよい。また、ここで
は主として熱処理システムを例にとって説明したが、こ
れに限定されず、プラズマ処理システム、酸化拡散処理
システム、改質処理システム、エッチング処理システ
ム、コータディベロッパ処理システム等の半導体製造装
置の全ての処理システムに、本発明を適用することがで
きる。また、ここでは被処理体として半導体ウエハを例
にとって説明したが、これに限定されず、ガラス基板、
ＬＣＤ基板等にも本発明を適用することができる。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の処理シス
テム及び複数の処理システム間の制御装置によれば、次
のように優れた作用効果を発揮することができる。請求
項１、２、４、５、６に係る発明によれば、エラーが発
生した時に表示手段にその時の対応処理法が表示される
ので、操作者は行うべき対応処理法を容易に認識するこ
とができ、このため処理システムのリカバリーを迅速に
行うことができる。請求項３に係る発明によれば、処理
システム自体のエラー特性を学習することができ、より
適切な対応処理法を早期に実施できるので、この処理シ
ステムのリカバリーをより迅速に行うことができる。請
求項７〜９に係る発明によれば、複数の処理システム間
における平均的な対応処理法を順列を必要に応じて入手
してこれを参照することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の処理システムを示す概略構成図であ
る。

【図２】図１に示す処理ユニットの構成図である。

【図３】本発明の特徴であるエラー表示系を示すブロッ
ク図である。

【図４】対応処理法記憶手段の記憶情報の一例を示す図
である。

【図５】本発明の処理システムによって行われるエラー
チェックのフローを示す図である。

【図６】表示手段における表示の一態様を示す図であ
る。

【図７】複数の処理システム間の制御装置を示す概略構
成図である。

【符号の説明】

２、２−１〜２−６ 処理システム ６ カセット搬送エリア ８ ウエハ搬送エリア １６ カセット昇降機構 ２２ カセット搬送アーム ４０ ウエハ移載機構 ４６ ウエハボート（被処理体ボート） ５０ 処理ユニット ５２ 処理容器 ５４ ボート昇降機構 ６２ 表示手段 ６４ 入力手段 ９０ 圧力センサ ９２ 自動圧力調整弁 ９４ 真空ポンプ ９６ 弁制御部 １００Ａ〜１００Ｇ エラー判断手段 １０２ 対応処理法記憶手段 １０４ 制御手段 １０６ 順列変更手段 １１０ 主制御部 １１２ 通信回線 ＢＬ１〜ＢＬ７ 制御対象ブロック Ｗ 半導体ウエハ（被処理体）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA02 FA01 FA11 FA12 GA47 GA49 HA67 MA28 NA05 PA04 5F045 AC15 BB20 DP19 EC02 EN02 EN04 EN05 GB06 GB15 5H223 AA05 BB02 CC01 CC08 CC09 DD03 DD05 DD09 EE06

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の制御対象ブロックを制御すること
   により、被処理体の処理を行う処理システムにおいて、 前記各制御対象ブロックがエラーを発生しているか否か
   を判断するエラー判断手段と、 前記エラーに対する対応処理法を予め記憶している対応
   処理法記憶手段と、 前記対応処理法を表示して操作者に対して認識させる表
   示手段と、 前記エラー判断手段で判断されたエラーに対する対応処
   理法を前記対応処理法記憶手段から求めて前記表示手段
   に表示させる制御手段とを備えたことを特徴とする処理
   システム。
2. 【請求項２】 前記対応処理法は、１つのエラー項目に
   対して予め複数個登録されていると共に、発生頻度の順
   番に予め順列が付与されていることを特徴とする請求項
   １記載の処理システム。
3. 【請求項３】 操作者が前記対応処理法を実行した時に
   その実行された対応処理法に関する情報を入力する入力
   手段と、 前記入力手段により入力される対応処理法の頻度に応じ
   て前記対応処理法記憶手段に記憶されている前記対応処
   理法の順列を変更する順列変更手段とを備えたことを特
   徴とする請求項２記載の処理システム。
4. 【請求項４】 前処理システムは、前記被処理体を処理
   容器内へ導入して前記処理容器内へ所定の処理ガスを供
   給しつつ前記処理容器内を所定の圧力に維持すると共に
   前記被処理体を所定の温度に維持して処理を行う処理シ
   ステムであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれ
   かに記載の処理システム。
5. 【請求項５】 前記複数の制御対象ブロックは、 前記処理容器に対して前記被処理体を搬送する搬送ブロ
   ックと、 前記処理容器内に所定のガスを供給するガス供給ブロッ
   クと、 前記処理容器内の雰囲気を排気する排気ブロックと、 前記処理容器内の被処理体を加熱する加熱ブロックと、
   を少なくとも有することを特徴とする請求項４記載の処
   理システム。
6. 【請求項６】 前記搬送ブロックは、 複数の被処理体を収容するカセットをストッカに対して
   搬入搬出させるカセット搬送ブロックと、 前記カセット内の被処理体を被処理体ボートに対して移
   載する被処理体移載ブロックと、 前記被処理体ボートを前記処理容器内へロード・アンロ
   ードするボート昇降ブロックと、を有することを特徴と
   する請求項５記載の処理システム。
7. 【請求項７】 請求項３乃至６のいずれかに規定される
   複数の処理システムと、 前記複数の処理システムにて入力手段により入力された
   各対応処理法に関する情報を集積して集積された前記対
   応処理法に基づいて順列を変更することにより平均化順
   列を求める主制御部と、 前記複数の処理システムと前記主制御部との間を接続す
   る双方向の通信回線と、を有し、 前記処理システムは前記主制御部で求めた対応処理法の
   平均化順列を入手できるように構成したことを特徴とす
   る複数の処理システム間の制御装置。
8. 【請求項８】 前記複数の処理システムは互いに同種の
   処理を行うことを特徴とする請求項７記載の複数の処理
   システム間の制御装置。
9. 【請求項９】 前記複数の処理システムは、互いに離れ
   た異なる場所に設置されていることを特徴とする請求項
   ７または８記載の複数の処理システム間の制御装置。