JP2005327990A - 樹脂封止装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 異常検出された場合の対処を簡単かつ迅速に行うための適切な画面を表示させ、画面上の操作で簡単かつ迅速に対応することの可能な表示ユニットを備えた樹脂封止装置を提供する。
【解決手段】 異常停止から自動運転を再開させるまでに必要とされる複数の操作選択画面を記憶すると共に、表示ユニット５００の表示部５０５に表示させた操作選択画面の履歴情報を記憶する記憶部６１１、及び、異常検出部で異常検出されることにより、表示部に表示させるアラームヘルプ画面に、記憶部６１１に記憶した履歴情報のある操作選択画面を表示させるための切替ボタンを表示させる制御部６１２を有する制御ユニット６００を備えた構成とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、樹脂封止装置、特に、表示ユニットに特徴を有する樹脂封止装置に関するものである。

従来、半導体樹脂封止装置として、ユニット毎の異常の発生状況を表示するようにした異常モニタシステムを備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。このシステムでは、ユニット毎の異常の発生状況を、異常コード別に発生回数と修復時間の両方を計測し、ユニット毎の合計値、あるいは、各ユニットの異常コード毎の発生頻度順の表示を選択可能としている。そして、異常に関係のあるセンサを画面に表示し、同時に対処方法も表示するようにしている。

また、他の成形装置として、例えば、１台のデータ表示装置を必要に応じて各射出ユニットとの組み合わせ毎の適正な位置に配置可能とした射出成形装置がある（例えば、特許文献２参照）。この射出成形装置では、竪形型締めユニットと横形射出ユニットとの組み合わせが選択され、この組み合わせに関する成形条件が入力されることにより、その成形条件が表示装置に表示される。

特開平８−２７９５２６号公報 特許第３０６４１２９号公報

しかしながら、前記半導体樹脂封止装置では、異常コード番号に対応させて対処方法の説明文情報を取り出すことができるようにしているだけである。説明文が表示されるだけであるので、オペレータはその説明文を読みながら、別途装置を駆動させて作業を進める必要がある。このため、作業性が非常に悪いという問題がある。また、ある異常コード番号に対する対処方法は１つに限られない。この場合、前記半導体樹脂封止装置では、該当する対処方法を全て説明文として表示させる以外にオペレータに知らせる手段がない。このため、オペレータは表示された対処方法を全て見てから自らが判断せざるを得ず、作業時間がかかるという問題がある。

また、前記射出成形装置では、データ表示装置が１台で済むという点が開示されているに過ぎない。すなわち、各ユニットの成形条件を入力しやすいように、データ表示装置を移動可能としているだけである。

そこで、本発明は、異常検出された場合の対処を簡単かつ迅速に行うための適切な画面を表示させ、画面上の操作で簡単かつ迅速に対応することの可能な表示ユニットを備えた樹脂封止装置を提供することを課題とする。

本発明は、前記課題を解決するための手段として、
樹脂封止装置を、
基材を樹脂材料で封止するプレスユニットを含む複数のユニットと、
前記各ユニットの動作状態を検出する検出部と、
前記検出部での検出信号に基づいて異常状態であると判断された場合、その異常検出内容を表示するアラーム画面、異常箇所を表示すると共に対処方法を表示するアラームヘルプ画面、及び、駆動する駆動部材を選択するための複数のボタンを備えた操作選択画面を表示可能な表示部を備えた表示ユニットと、
前記検出部での検出信号に基づいて異常であるか否かを判断し、異常であると判断すれば、少なくとも該当する駆動部材を異常停止させ、前記表示ユニットの表示部に、該当する異常検出内容を表示したアラーム画面を表示させる制御ユニットとを備えた構成とし、
前記制御ユニットは、異常停止から自動運転を再開させるために必要とされる操作選択画面を記憶すると共に、前記表示ユニットの表示部に表示させた操作選択画面の履歴情報を記憶する記憶部、及び、異常停止後、前記表示部に、前記記憶部に記憶した履歴情報のある操作選択画面を表示させるための切替ボタンを表示させる制御部を有するようにしたものである。

この構成により、異常停止に対して複数ある対処方法のうちから選択された操作選択画面を履歴情報として記憶し、次回からの異常停止時、表示部に、前記操作選択画面に直接切り替えるための切替ボタンを表示させることができる。したがって、表示する可能性の高い、すなわち、過去に表示させた履歴のある操作選択画面を、切替ボタンを操作するだけで表示させることができるので、操作性が向上し、異常停止に対する対処を迅速かつ的確に行うことが可能となる。

前記制御ユニットの制御部は、前記履歴情報のうち、表示頻度の高い操作選択画面を、表示部のアラームヘルプ画面に優先的に表示させると、より一層操作性を向上させることが可能となる点で好ましい。

また、本発明は、前記課題を解決するための手段として、
樹脂封止装置を、
基材を樹脂材料で封止するプレスユニットを含む複数のユニットと、
前記各ユニットの動作状態を検出する検出部と、
前記検出部での検出信号に基づいて異常状態であると判断された場合、その異常検出内容を表示するアラーム画面、異常箇所を表示すると共に対処方法を表示するアラームヘルプ画面、及び、駆動する駆動部材を選択するための複数のボタンを備えた操作選択画面を表示可能な表示部を備えた表示ユニットと、
前記検出部での検出信号に基づいて異常であるか否かを判断し、異常であると判断すれば、少なくとも該当する駆動部材を異常停止させ、前記表示ユニットの表示部に、該当する異常検出内容を表示したアラーム画面を表示させる制御ユニットとを備えた構成とし、
前記制御ユニットは、異常停止から自動運転を再開させるために必要とされる復旧処理を記憶する記憶部、及び、異常停止後、前記表示部に表示させるアラームヘルプ画面に、前記記憶部に記憶した復旧処理を実行するための処理実行ボタンを表示させる制御部を有するようにしたものである。

この構成により、アラームヘルプ画面を表示したままの状態で、復旧処理を実行することができ、操作性及び作業性を格段に向上させることが可能となる。

前記制御ユニットは、復旧処理が複数ある場合、アラームヘルプ画面に表示させた処理実行ボタンを順次表示可能とすると、作業手順に煩わされることなく自動的に復旧処理を行うことが可能となる点で好ましい。

前記表示ユニットは、前記各ユニット間を移動可能に設けられ、
前記表示ユニットが前記ユニットのいずれかに移動したことを検出する表示ユニット検出部を備え、
前記制御ユニットの制御部は、前記異常検出部で異常検出されたユニットに移動させた表示ユニットが、前記表示ユニット検出部に検出されると、前記表示ユニットの表示部のアラーム画面に、前記ユニットの異常検出内容を表示させると、複数のユニット間で、表示ユニットを兼用しつつ、操作部での操作性を向上させることが可能となる点で好ましい。

前記ユニットは、
基材及び樹脂材料を供給する材料供給ユニットと、
前記プレスユニットで形成された成形品を収納する成形品収納ユニットとを含み、
前記材料供給ユニットからプレスユニットに基材及び樹脂材料を搬送し、プレスユニットから成形品収納ユニットに成形品を搬送する搬送部材を備える構成とすることができる。

前記制御ユニットの制御部は、前記表示ユニット検出部により表示ユニットが前記ユニットのいずれかに移動したことが検出されると、他のユニットの手動操作を不能とするインターロック制御を行うと、異常停止したユニットでの作業中に、他のユニットが誤操作されることによる不具合を確実に防止することが可能となる点で好ましい。

なお、前記基材には、基板に電子部品を実装したものや、他の電気部品（例えば、コイル型コンデンサ等）等、本装置で樹脂封止可能なものの全てが対象となる。

本発明によれば、アラームヘルプ画面に、履歴情報のある操作選択画面を表示させるための切替ボタンを表示させるようにしたので、操作性が向上し、異常停止に対する対処を迅速かつ的確に行うことが可能となる。

以下、本発明に係る実施形態を添付図面に従って説明する。

図１は、本実施形態に係る樹脂封止装置１００の正面図、図２はその平面図を示す。この樹脂封止装置１００は、大略、材料供給ユニット２００、プレスユニット３００、成形品収納ユニット４００、搬送部材４５０、表示ユニット５００、制御ユニット６００を備えた構成である。

材料供給ユニット２００は、基板供給部２０１とタブレット供給部２０２を備える。

基板供給部２０１は、基板マガジン供給装置２０３、基板搬送装置２０５、及び、基板整列装置２０６を備える。基板マガジン供給装置２０３は、複数の基板１０を積載した基板マガジン５０を順次供給する。基板搬送装置２０５は、基板マガジン５０から供給された基板１０をクランプし、次工程へと搬送する。基板整列装置２０６は、基板搬送装置２０５によって搬送された基板１０を整列させて位置決めする。

タブレット供給部２０２は、タブレットマガジン２０４、タブレットフィーダ装置（図示せず）、タブレットキャリア（図示せず）、及び、タブレットホルダ２０７を備える。タブレットマガジン２０４には、樹脂材料であるタブレット２０が積層状態で収容される。タブレットフィーダ装置は、タブレットマガジン２０４から１回の成形に必要な数のタブレットを一列にして供給する。タブレットキャリアは、タブレットフィーダ装置によって供給されたタブレット２０を搬送する。タブレットホルダ２０７は、タブレットキャリアによって搬送されたタブレット２０を整列状態で保持する。

プレスユニット３００は、第１〜第４プレスユニット３１０〜３４０で構成されている。第１プレスユニット３１０は、図３に示すように、上金型３１１と下金型３１２とからなる。上金型３１１は上部固定プラテン３１３に装着され、下金型３１２は、可動プラテン３１４に装着される。可動プラテン３１４はタイバー３１５にガイドされ、従来周知の型開閉機構３１９により上下方向に往復移動する。下金型３１２は、タブレット２０が投入される複数個のポット３１６を有する。ポット３１６にはタブレット加圧用のプランジャ３１７が従来周知のトランスファ機構３１８により上下動可能に設けられている。なお、第２プレスユニット３２０〜第４プレスユニット３４０は、第１プレスユニット３１０と同様な構成であるので、その説明を省略する。

成形品収納ユニット４００は、ディゲータ部４０２、ピックアップ部４０３、成形品収納部４０４を備える。ディゲータ部４０２は、成形後の半製品３０から不要樹脂を分離して成形品４０とする。ピックアップ部４０３は、成形品４０をディゲータ部４０２から成形品収納部４０４へと搬送する。成形品収納部４０４では、成形品４０が一枚ずつ段積みにて回収される。

搬送部材４５０は、図２に示すように、インローダ装置２０８及びアンローダ装置４０１を備える。インローダ装置２０８は、材料供給ユニット２００で基板１０とタブレット２０を把持し、プレスユニット３００の金型内へと供給する。アンローダ装置４０１は、第１〜第４プレスユニットで得られた半製品３０を把持し、成形品収納ユニット４００のディゲータ部４０２へと搬送する。

表示ユニット５００は、図５に示すように、表示部５０５と操作部５０６とで構成されている。

表示部５０５はタッチパネルで構成され、例えば、図８に示すアラーム画面、図９に示すアラームヘルプ画面、図１０に示す操作選択画面がそれぞれ表示される。アラーム画面では、いずれかのユニットでセンサによって異常状態が検出されることにより、その内容が表示される。アラームヘルプ画面では、アラーム画面で表示された異常内容について、発生箇所を示す表示と、その異常に対する対処方法（内容、原因、及び処置）が表示される。また、アラームヘルプ画面の下方側には、異常コード番号を示すＬＥＤと、操作選択画面に切り替えるための切替ボタンとが表示される。図１０に示す操作選択画面の例では、装置の状態を示す各ＬＥＤ、駆動内容を示すオペレーション欄、駆動部材を示すモータ選択欄等が表示され、これらの表示内容は、上方の各タブキーを操作することにより、切り替えることができるようになっている。

操作部５０６は、複数の機械的スイッチで構成されている。操作部５０６を設けたのは、駆動部材の駆動を確実に行わせるためである。特に、非常停止等では、動作の信頼性が要求されることを考慮したものである。

表示ユニット５００は、図４に示すように、ガイドレール５０１に沿ってスライド可能に設けられ、材料供給ユニット２００と成形品収納ユニット４００の間を往復移動する。

表示ユニット５００と制御ユニット６００はケーブル等の配線によって接続されている。また、配線は、前記表示ユニット５００と共にガイドレール５０１を往復移動する保護部材５０２によって保護されている。図６に示すように、表示ユニット５００の外枠にはドグ（不透明物体）５０４が設けられている。ドグ５０４は、板状体を屈曲させたもので、ネジ等により表示ユニット５００の後端部分に固定されている。ドグ５０４は、各ユニット毎に設けた光電センサ５０３によって検出される。ここでは、光電センサ５０３とドグ５０４とによって本発明に係る表示ユニット検出部を構成している。光電センサ５０３は、発光素子と受光素子からなり、両素子の間にドグ５０４の先端部分が位置して光を遮ることにより表示ユニット５００が移動してきたことが検出される。但し、表示ユニット５００の位置認識は、光電センサ５０３とドグ５０４を使用する代わりに、エンコーダ等の他の手段を使用するようにしてもよい。

なお、材料供給ユニット２００、プレスユニット３００、成形品収納ユニット４００、搬送部材４５０に設けられる駆動部材には、シリンダや電気式モータ等が使用できる。また、各駆動部材には、動作確認用のセンサやエンコーダ等の検出部が設けられ、制御ユニット６００において、各駆動部材の動作が正常に行われているか否かの判断に利用される。

制御ユニット６００は、図７に示すように、記憶部６１１と制御部６１２を備える。

記憶部６１１には、異常コード番号格納ファイル、アラームヘルプ画面格納ファイル、操作選択画面格納ファイル、操作履歴画面格納ファイル等が記憶されている。

異常コード番号格納ファイルは、図１２に示すように、異常コード番号、ユニット名、入力信号番号、シグナル、タイトルで構成されている。

アラームヘルプ画面格納ファイルは、図１３に示すように、異常コード番号、タイトル５１１、メッセージ５１２、内容５１３、原因５１４、処置方法５１５で構成されている。異常コード番号には、画像データ（アラームヘルプ画面）５１６が呼び出し可能にリンクされている。アラームヘルプ画面は、アニメーション、写真データ等を用いて異常項目の発生箇所を表示する領域と、異常項目を検出したセンサ等に割り当てられた番号、前記センサ等の検出状態、及び異常項目に対する対処方法を表示する領域とで構成されている。図９に、図１３中の異常コード番号「３６３」のアラームヘルプ画面ファイル５１０を呼出して表示した例を示す。

操作選択画面格納ファイルは、図１４に示すように、異常コード番号、操作選択画面等で構成されている。異常コード番号と操作選択画面は互いに関連付けされ、表示された操作選択画面で、異常コード番号に対応する駆動装置の操作を行うことが可能となっている。図１０に、図１４中の異常コード番号「３６３」に対応する操作選択画面ファイル５１７を呼び出した操作選択画面５５２を示す。この操作選択画面５５２で、駆動部材の駆動に必要とされる操作の殆どをカバーできるようになっている。また、操作選択画面５５２で、タブキーを操作して表示内容を各駆動部材に対応するものに切替可能である。

操作履歴画面格納ファイルは、図１５に示すように、シリアル番号、異常停止発生時刻、自動運転復帰時刻、異常コード番号、操作選択画面選択履歴等で構成されている。

制御部６１２は、表示ユニット５００の表示部５０５や操作部での操作により、基板及び材料の供給、成形、搬送等の一連の樹脂封止処理のための動作を制御する。また、各種センサ等の検出部からの検出信号に基づいて異常停止させるか否かの判断を行い、異常停止時には異常情報を表示ユニット５００へ出力し、復旧のための各種制御を行う。

なお、樹脂封止装置１００の外枠にはシグナルタワー１０１が設けられている。シグナルタワー１０１は、後述するように、異常検出された場合、オペレータに報知するために点滅する。

次に、前記樹脂封止装置１００の動作について説明する。

前記樹脂封止装置１００の基本的な動作は次の通りである。

まず、図１に示すように、基板を収納した基板マガジン５０を、人手、あるいは、図示しないロボット等により基板マガジン供給装置２０３にセットする。そして、基板搬送装置２０５によりセットした基板マガジン５０から基板１０を１枚ずつ排出し、クランプして次工程へ搬送する。続いて、基板整列装置２０６により、搬送した基板１０を金型上の配置と同様に整列させる。このとき、基板整列装置２０６にヒータを設けることにより、基板１０を予備加熱するようにしてもよい。

また、図示しないタブレットフィーダ装置により、前記同様、所定位置にセットしたタブレットマガジン２０４から１回の成形に必要な個数のタブレット２０を排出する。そして、図示しないタブレットキャリアを介してタブレットホルダ２０７にて、タブレット２０を金型上の配置通りに整列させる。

次に、インローダ装置２０８を材料供給ユニット２００側へと移動させ、図示しない把持機構により、整列した基板１０とタブレット２０を把持する。インローダ装置２０８が所定のプレスユニット（本説明では、第１プレスユニット３１０）の直前位置まで移動すれば、把持した基板１０とタブレット２０を、既に所定温度に昇温しておいた上金型３１１と下金型３１２の間に移動させる。そして、基板１０をインローダ装置２０８から下金型３１２の所定の位置に載置し、タブレット２０を下金型内に設けられた複数個のポット３１６内に挿入する。

続いて、第１プレスユニット３１０の駆動モータ３５１によりボールネジ３５２を介して、可動プラテン３１４を上昇させて金型を閉じ、所定圧で基板１０を加圧する。

さらに、トランスファ機構３１８により、下金型ポット３１６内でプランジャ３１７を所定の圧力、速度にて上昇させ、タブレット２０を加熱し、加圧することにより、ポット３１６内の樹脂材料を溶融させて金型内へと注入する。

樹脂注入後、所定のキュア（型締め）時間が経過すれば、金型を開放し、図示しないエジェクタ装置により下金型３１２から離型させた半製品３０を、アンローダ装置４０１により成形品収納ユニット４００へと搬送する。

成形品収納ユニット４００では、アンローダ装置４０１により搬送された半製品３０がディゲータ部４０２上に載置された後、不要樹脂を切離して成形品４０を得る。切離した不要樹脂は廃棄する。そして、ピックアップ部４０３によりアウトプットマガジン６０内に成形品４０を載置する。

次に、前記樹脂封止処理中に、異常検出された場合の復旧処理について、図１６のフローチャートに従って説明する。

すなわち、各検出部での検出信号を読み込み（ステップＳ１）、その検出信号に基づいて樹脂封止装置１００の自動運転を停止（異常停止）させる必要があるか否かを判断する（ステップＳ２）。

樹脂封止装置１００を異常停止させる必要があると判断すれば、該当するユニットだけでなく、全ての自動運転を停止させる（ステップＳ３）。このとき、異常コード番号格納ファイルを検索し、異常コード番号を特定する（ステップＳ４）。また、表示部５０５に、特定された異常コード番号に対応するアラーム画面（図８）を表示させる（ステップＳ５）。さらに、樹脂封止装置１００に設けた報知部材を駆動（例えば、ランプ等を点滅）し、オペレータに警告する（ステップＳ６）。

オペレータは、アラーム画面の表示内容に基づいて対処方法を検討する。安全カバーの閉め忘れ等、簡単に対処できるものであれば、表示ユニット５００を移動することなく対応する。また、対処方法が簡単でない場合、表示ユニット５００を異常検出されたユニットまで移動させる。

そこで、異常検出されたユニットの光電センサ５０３で、表示ユニット５００に設けたドグ５０４が検出されたか否かを判断する（ステップＳ７）。表示ユニット５００が移動してきたと判断すれば、前記ステップＳ４で特定した異常コード番号に基づいて、アラームヘルプ画面格納ファイルを検索し、表示ユニット５００の表示部５０５に、該当するアラームヘルプ画面（図９）を表示させる（ステップＳ８）。

また、アラームヘルプ画面を表示させる際、操作履歴画面格納ファイルを参照し、以前に表示された操作選択画面５５２の履歴情報があるか否かを判断する（ステップＳ９）。

履歴情報があれば、表示頻度が高い順に並び替え、アラームヘルプ画面に、表示頻度が高い操作選択画面５５２を表示させるための切替ボタンを優先的に表示させる優先表示処理を行う（ステップＳ１０）。表示頻度は、操作履歴画面格納ファイルに格納された履歴情報で、異常コード番号毎に表示回数をカウントしたものである。また、アラームヘルプ画面に表示可能な切替ボタンの数は自由に設定できるが、設定した数よりも履歴情報が多い場合、表示頻度が上位のものから順に表示する。

履歴情報がなければ、切替ボタンとして、予め設定した使用頻度が高いと予想される操作選択画面を表示するための仮の切替ボタンのみを表示する。

オペレータは、アラームヘルプ画面に表示された、異常の発生箇所、内容、原因、及び、処置を見て、対処方法として適切と思われる切替ボタンがあれば、そのボタンを操作し、なければ、他の切替ボタンを操作することにより、操作選択画面に切り替える。

そこで、切替ボタンが操作されたか否かを判断する（ステップＳ１１）。切替ボタンが操作されれば、他のユニットでの手動操作を不能とするインターロック制御を行う（ステップＳ１２）。これにより、オペレータあるいはそれ以外の人が、異常停止中に誤って他のユニットを駆動させてしまう心配がなくなり、安全面で優れている。

また、アラームヘルプ画面を前記切替ボタンに対応する操作選択画面に切り替える（ステップＳ１３）。切り替えられた操作選択画面では、必要とされる操作を行うための操作ボタンを反転表示させる。オペレータは、反転表示された操作ボタンを確認した後、手動スイッチ（「オン」スイッチ）５０７を操作すればよい。

手動スイッチ５０７が操作されれば（ステップＳ１４）、前記操作選択画面で反転表示させた操作ボタンに対応する駆動部材が駆動し、復旧作業を行うことが可能となる。

このように、アラームヘルプ画面で、切替ボタンを操作すれば、所望の操作選択画面を呼び出すことができる。そして、反転表示された操作ボタンを確認し、手動スイッチ５０７を操作するだけで、効率的に作業を進めることが可能となる。

以上のようにして操作選択画面で操作ボタンを操作することにより復旧作業を進めるが、その際表示された操作選択画面の履歴を記憶させ（ステップＳ１５）、次回以降のアラームヘルプ画面での切替ボタンの表示に利用する。

前記操作選択画面での一連の処理により異常状態が解消しない場合（ステップＳ１６）、ステップＳ８に戻ってアラームヘルプ画面が再表示される。したがって、オペレータはアラームヘルプ画面の表示内容を見て対処方法を再検討すればよい。

ここで、具体的に、前記図１６のフローチャートでの処理を、成形品収納ユニット４００内のピックアップ部４０３で異常が発生した場合について説明する。

すなわち、前記ステップＳ１で、ピックアップ部４０３の上下端にそれぞれ設けたセンサ（図示せず）からの入力信号（Ｘ４５２，Ｘ４５３）を読み込む。そして、ステップＳ２で、入力信号（Ｘ４５２，Ｘ４５３）が一定時間内に入力されたか否かを判断する。入力信号（Ｘ４５２，Ｘ４５３）が一定時間内に入力されない場合、異常状態であると判断し、ステップＳ３で、樹脂封止装置１００を異常停止させる。この場合、ステップＳ４で、図１２に示す異常コード番号格納ファイルを参照し、異常コード番号として「３６３」を特定して出力する。そして、ステップＳ５で、この異常コード番号「３６３」に基づいて、表示ユニット５００の表示部５０５に、図８に示すアラーム画面５５０を表示し、操作部５０６内にある「アラームリセット」５０８を点滅させる。また、ステップＳ６で、樹脂封止装置１００の外枠に設けられたシグナルタワー１０１を赤色に点滅させてオペレータに報知する。

オペレータは、異常情報を確認して表示ユニット５００を成形品収納ユニット４００まで移動させる。これにより、ステップＳ７で、表示ユニット５００が移動してきたことが図６に示す光電センサ５０３によって検出される。そこで、ステップＳ８で、異常コード番号「３６３」に対応した図１３に示すアラームヘルプ画面格納ファイルよりアラームヘルプ画面ファイル５１０を呼び出し、図９に示すアラームヘルプ画面５５１に切り替える。

この場合、ステップＳ９で、異常コード番号「３６３」に基づいて操作履歴格納ファイルを参照し、履歴情報があれば、その履歴情報に対応する操作選択画面に切り替えることができる切替ボタンを、アラームヘルプ画面５５１に表示させる。ここでは、図１５に示す操作履歴格納ファイルで、異常コード番号「３６３」に該当する番号１、３、５、６、８を抽出する。そして、抽出したデータで、操作選択画面選択履歴５１８（履歴番号１、３、６）、５１９（番号５、８）の順にランク付けを行い、図９に示すように、切替ボタン５２１と５２２を表示する。なお、切替ボタン５２１は「ピックアップＺ軸上下」、切替ボタン５２２は「ディゲータユニット左／右」である。

そして、ステップＳ１０で、その履歴情報に対応する操作選択画面に切り替えるための切替ボタン５２１、５２２を表示する。

続いて、オペレータによって異常部分の確認が行われ、ステップＳ１１で、切替ボタン５２１が操作されれば、ステップＳ１２で、インターロック制御により、他のユニットでの手動操作を禁止する。そして、ステップＳ１３で、画面を図１０に示す操作選択画面５５２に切り替える。

オペレータは、表示された操作選択画面５５２を確認する。すなわち、ピックアップ部４０３の上下シリンダの動作（図９の処置）を確認するために、「Ｚ軸上／下」ボタンが反転されていることを確認する。但し、所望のボタンが反転表示されていない場合には、他のボタンをタッチ操作させて反転表示箇所を変更し、が所望の操作選択画面が表示されていない場合には、タブキーを操作して画面を切り替え、所望のボタンをタッチ操作して反転表示させる。この場合、完全にオペレータの判断に従って操作が行われることになる。

その後、ステップＳ１４で、図５に示す手動スイッチ（「オン」スイッチ）５０７が操作されれば、ステップＳ１５で、操作選択画面の履歴を記憶すると共に、装置を動作させて修復又は動作確認を行う。再び異常信号が発生することが無い。すなわち、「アラームリセット」５０８及びシグナルタワー１０１の点滅が無く、動作状態に問題が無ければ、操作スイッチ「自動運転起動」６０９を操作する。このとき、修復作業を行ったユニットでの各駆動部材が原点位置にある場合はそのまま、原点位置にない場合は原点位置に復帰させた後、自動運転を再開させる。

このように、異常停止時の修復操作の際に必要な操作選択画面の切り替えが複数の項目に亘っても、順次、次に行うべき操作候補が表示されるので、操作性に優れ、熟練者でなくても簡単に対応することが可能である。

なお、切替ボタン５２２が操作されれば、前記同様、インターロック制御を行った後、画面を図１１に示す操作選択画面５５３に切り替える。

また、図１６では、操作選択画面を表示させるようにしたが、図１７のフローチャートに示すように、操作選択画面を表示させることなく、復旧処理を実行できるようにすることも可能である。

この処理では、ステップＳ２１〜Ｓ２９、Ｓ３７、Ｓ３８は、前記ステップＳ１〜Ｓ９、Ｓ１５、Ｓ１６と同様であるが、ステップＳ３０〜Ｓ３６が相違する。すなわち、ステップＳ３０で、アラームヘルプ画面に、最初の処理を行わせるための処理実行ボタンが表示され、ステップＳ３１で、その処理実行ボタンがタッチ操作されれば、ステップＳ３２で前記同様のインターロック制御を行う。そして、ステップＳ３３で、手動スイッチ５０７が操作されると、ステップＳ３４で、復旧処理を開始する。さらに、ステップＳ３５で、次の手順すなわち次の復旧処理があると判断すれば、ステップＳ３６で、アラームヘルプ画面に表示させた処理実行ボタンを切り替え、全処理が終了するまで、前記ステップＳ３３〜Ｓ３６を繰り返す。

これにより、前記図１６の処理のように、操作選択画面を表示させることなく復旧処理を行うことができるので、操作性を向上させて迅速に対応することが可能となる。

ここで、具体的に、前記図１７のフローチャートでの処理を、「Ｌ/Ｆミスアライメントエラー」が発生した場合について説明する。このエラーは、図２及び図３に示すインローダ装置２０８が、第１プレスユニット３１０で、上金型３１１と下金型３１２の間に移動した後、基板１０を下金型３１２の所定位置に載置し、タブレット２０を下金型内に設けられた複数個のポット３１６内に挿入する際、基板１０が、下金型３１２の上に正しく載置されない場合に発生する。

ステップＳ２１で、下金型３１２の上面を確認する光電センサ（図示せず）からの入力信号を読み込み、入力信号（Ｘ１７０）があれば、ステップＳ２２で、基板１０が浮き上がった異常状態であると判断する。そして、ステップＳ２３で、樹脂封止装置１００の自動運転を停止する。

また、ステップＳ２４で、図１２に示す異常コード番号格納ファイルを参照し、異常コード番号として「２０６６」を特定して出力する。そして、ステップＳ２５で、異常コード番号「２０６６」に基づいて、表示部５０５に図１８に示すアラーム画面５７０を表示し、ステップＳ２６で、表示ユニット５００内にある「アラームリセット」５０８を点滅させてオペレータに報知する。

オペレータは、異常情報を確認して、往復動自在に設けられた表示ユニット５００を第１プレスユニット３１０まで移動させる。これにより、ステップＳ２７で、表示ユニット５００が移動してきたことが図６に示す光電センサ５０３によって検出される。そこで、ステップＳ２８で、図１３に示す異常コード番号「２０６６」に対応したアラームヘルプ画面格納ファイルからアラームヘルプ画面ファイル５６０を呼び出し、図１８に示すアラーム画面５７０を図１９に示すアラームヘルプ画面５７１に切り替える。

アラームヘルプ画面５７１では、処置として１〜４が挙げられている。すなわち、この順で処置を行うことが要求される。処置１では、オペレータが基板１０を確認して取り除くか所定位置にセットし直す。処置２では、タブレット２０を金型ポット内で固化させて取り除く。この場合、金型ポット内にタブレット２０が入り込んで固化しているため、第１プレスユニット３１０を所定位置まで降下させて原点復帰させた後、トランスファ機構３１８を駆動させ、プランジャ３１７を押し上げる。処置３では、金型の清掃を行う。処置４では、検出したセンサ、リレー等の周辺に不具合要因等が無いか否かを確認する。

続いて、ステップＳ２９で、異常コード番号「２０６６」に基づいて操作履歴格納ファイルを参照し、履歴情報があれば、その履歴情報に対応する操作選択画面に切り替えることができる切替ボタンを、アラームヘルプ画面５７１に表示させる。ここでは、図１５に示す履歴番号１３〜２１に対する操作選択画面選択履歴は１種類だけであるので、ステップＳ３０で、アラームヘルプ画面５７１に表示させる切替ボタンは、図１９に示すように、その操作選択画面選択履歴である「プレス原点復帰」ボタン５７２のみとなる。

次に、ステップＳ３１で、「プレス原点復帰」ボタン５７２が操作されて反転表示された状態で、手動スイッチ５０７が操作されることにより、第１プレスユニット３１０を原点復帰させる。また、ステップＳ３２で、インターロック制御により他のユニットでの手動操作を禁止する。

続いて、ステップＳ３３で、図２０に示すように、「プレス原点復帰」ボタン５７２を無効とすると共に、「トランスファ上／下」ボタン５７３を有効とする。そして、ステップＳ３４で、手動スイッチ５０７が操作されることにより、トランスファ機構３１８を上昇させ、固化したタブレットを取り除く。トランスファ機構３１８の上昇動作が終了すると、図２１に示すように、「トランスファ上／下」ボタン５７３が無効となり、「トランスファ原点復帰」ボタン５７４が有効になるので、手動スイッチ５０７を操作してトランスファ機構３１８の原点復帰を行う。

その後、一連の復旧処理を終えれば、ステップＳ３５で、操作選択画面の履歴を記憶すると共に、ステップＳ３６で、異常が解消したか否かの確認を行う。

このように、アラームヘルプ画面を表示したままで復旧処理を行うことができ、操作機能画面に切り替わることがないので、迅速なオペレーションが可能となる。

なお、前述の装置異常発生時の処理とは別に、例えば、新規のパッケージを生産する場合、最適な成形条件を選定し直す作業が必要となる場合がある。また、生産品種を切り替える時等、金型のクリーニングを行う必要が生じた場合、クリーニング樹脂を使用し、手動操作による成形作業を行うが、この場合にも成形条件を設定し直すことが日常的に行われている。

例えば、図２に示すように、４箇所にプレスユニット３００が設置された樹脂封止装置１００において、第１及び第２プレスユニット３１０及び３２０で半導体装置Ａの自動生産を行い、第３及び第４プレスユニット３３０及び３４０で金型のクリーニング作業等により成形条件の設定を行う場合、第３プレスユニット３３０まで表示ユニット５００を移動させ、手動操作による成形作業を行う。

この場合、プレスユニットの成形条件を変更は、例えば次のようにして行う。

すなわち、第３プレスユニット３３０に表示ユニット５００を移動したことが検出されると、プレス番号を自動的に対応させ、表示部５０５に表示する画面を第３プレスユニット用に切り替える。つまり、成形条件設定画面に切り替え、種々の成形条件の設定を行えるようにする。

第３プレスユニット３３０の成形条件の設定が完了し、第４プレスユニットでも同様の設定を行う場合、表示ユニット５００を第４プレスユニット３４０まで移動させ、表示内容をプレス番号に対応する第４プレスユニット用の画面に切り替えればよい。

このように、該当するプレスユニット３００まで表示ユニット５００を移動させるだけで、該当するプレス番号に対応させて自動的に表示画面を切り替えるようにしたので、手作業により画面を切り替える手間が省ける上、誤って他のプレスユニットの表示となることがなくなり、安全に成形作業を実行することが可能となる。

なお、前記実施形態では、成形材料供給ユニット、複数のプレスユニット、成形品収納ユニットが隣接するタイプの樹脂封止装置１００について説明したが、図２２に示すタイプの樹脂封止装置７００であっても、前述の本発明の構成を採用可能である。

すなわち、図２２に示すタイプの樹脂封止装置７００では、複数の材料供給ユニット（自動機ユニット８００，９００）と成形品収納ユニットがそれぞれ設けられている。この場合、異品種の半導体装置を生産する場合であっても、完全な自動生産が可能となり、生産率が向上する。また、いずれのプレスユニットで成形するのかの振り分けを自由に設定できるので、異品種同時生産時の変量生産が容易に実現可能である。

具体的に、樹脂封止装置７００において、自動機ユニット８００と、第１及び第２プレスユニット３１０及び３２０とで半導体装置Ａの自動生産を行い、自動機ユニット９００と、第３及び第４プレスユニット３３０及び３４０とで半導体装置Ｂの自動生産を行う場合、表示ユニット５００を往復移動可能に設けることにより、ユニット毎に画面を切り替えることができる。例えば、第３及び第４プレスユニット３３０及び３４０で半導体装置Bの生産に切り替える場合、第１及び第２プレスユニット３１０及び３２０で半導体装置Ａの自動生産を行いながら、自動機ユニット９００と、第３及び第４プレスユニット３３０及び３４０側に表示ユニット５００を移動し、前述した成形条件等の様々な設定を行うことができる。このとき、自動機ユニット８００と、第１及び第２プレスユニット３１０及び３２０をインターロック制御し、手動操作を無効にする。これにより、安全に半導体装置の生産時の切替作業を行うことが可能となる。

なお、前記実施形態では、基板に実装した電子部品を樹脂封止するようにしたが、樹脂封止の対象としては、他の電気部品（例えば、コイル型コンデンサ等）等、およそ樹脂封止可能なものの全般が含まれる。

また、前記実施形態では、表示ユニット５００を手動で移動させるようにしたが、別途、駆動装置を設けて自動あるいは半自動的に移動させることも可能である。

また、前記実施形態では、表示ユニット５００がプレスユニット３００まで移動されることにより検出するようにしたが、その検出場所については特に限定されるものではない。例えば、開閉カバーの仕様等により、表示ユニット５００を該当するユニットに移動させると、作業できない場合等には、隣接するユニットに位置させることも可能である。

また、前記実施形態では、表示ユニット５００は、表示部５０５と操作部５０６とで構成したが、操作部５０６は、各ユニットのカバー、架台等にそれぞれ独立して設けることも可能である。

また、前記実施形態では、表示部５０５をタッチパネルで構成したが、マウス等の他の手段を使用して操作可能に構成することも可能であり、表示形態、操作形態について特に限定するものではない。

本実施形態に係る樹脂封止装置の正面図である。 図１の平面断面図である。 本実施形態に係る樹脂封止装置のプレスユニット正面図である。 図１の平面図である。 図１に示す表示ユニットの正面図である。 （ａ）は、本実施形態に係る樹脂封止装置の平面詳細図、（ｂ）はその部分側面図（矢視図）である。 本実施形態に係る各ユニットのブロック図である。 図５に示す表示ユニットの表示部に表示されるアラーム画面を示す図である。 図８から切り替えられたアラームヘルプ画面を示す図である。 図９で、「ピックアップ上／下」ボタンを操作することにより表示される操作選択画面を示す図である。 図９で、「ディゲータユニット左／右」ボタンを操作することにより表示される操作選択画面である。 図７の記憶部に格納される異常コード番号格納ファイルである。 図７の記憶部に格納されるアラームヘルプ画面格納ファイルである。 図７の記憶部に格納される操作選択画面格納ファイルである。 図７の記憶部に格納される操作履歴画面格納ファイルである。 本実施形態に係る異常処理の内容を示すフローチャート図である。 他の実施形態に係る異常処理の内容を示すフローチャート図である。 図５に示す表示ユニットの表示部に表示されるアラーム画面の他の態様を示す図である。 図１８から切り替えられたアラームヘルプ画面を示す図である。 図１９から処理実行ボタンの表示が切り替えられた状態でのアラームヘルプ画面を示す図である。 図２０からさらに処理実行ボタンの表示が切り替えられた状態でのアラームヘルプ画面を示す図である。 他の実施形態に係る樹脂封止装置の平面断面図である。

符号の説明

１０…基板
２０…タブレット
３０…半製品（不要樹脂分離前）
４０…成形品（不要樹脂分離後）
５０…基板マガジン
６０…アウトプットマガジン
1００… 樹脂封止装置
２００…材料供給ユニット
２０１…基板供給部
２０２…タブレット供給部
２０３…基板マガジン供給装置
２０４…タブレットマガジン
２０５…基板搬送装置
２０６…基板整列装置
２０７…タブレットホルダ
２０８…インローダ装置
３００…プレスユニット
３１０…第１プレスユニット
３１１…上金型
３１２…下金型
３１３…固定プラテン
３１４…可動プラテン
３１５…タイバー
３１６…ポット
３１７…プランジャ
３１８…トランスファ機構
３１９…型開閉機構
３２０…第２プレスユニット
３３０…第３プレスユニット
３４０…第４プレスユニット
３５１…駆動モータ
３５２…ボールネジ
４００…成形品収納ユニット
４０１…アンローダ装置
４０２…ディゲータ部
４０３…ピックアップ部
４０４…成形品収納部
５００…表示ユニット
５０１…ガイドレール
５０２…保護部材
５０３…光電センサ
５０４…ドグ
５０５…表示部
５０６…操作部
５０７…手動スイッチ 「オン」
５０８… 「アラームリセット」スイッチ
６００…制御ユニット
６０９…操作スイッチ 「自動」
６１０…操作スイッチ 「自動運転」
６１１…記憶部
６１２…制御部
７００…樹脂封止装置
８００…自動機ユニットＡ
９００…自動機ユニットＢ
８０１、９０１…基板供給部
８０３、９０３…基板マガジン装置
８０４、９０４…タブレットマガジン
８０５、９０５…基板搬送装置
８０６、９０６…基板整列装置
８０７、９０７…タブレットホルダ
８０８、９０８…インローダ装置
８０９、９０９…アンローダ装置
８１２、９１２…ディゲータ部
８１３、９１３…ピックアップ部
８１４、９１４…成形品収納部

Claims (7)

1. 基材を樹脂材料で封止するプレスユニットを含む複数のユニットと、
   前記各ユニットの動作状態を検出する検出部と、
   前記検出部での検出信号に基づいて異常状態であると判断された場合、その異常検出内容を表示するアラーム画面、異常箇所を表示すると共に対処方法を表示するアラームヘルプ画面、及び、駆動する駆動部材を選択するための複数のボタンを備えた操作選択画面を表示可能な表示部を備えた表示ユニットと、
   前記検出部での検出信号に基づいて異常であるか否かを判断し、異常であると判断すれば、少なくとも該当する駆動部材を異常停止させ、前記表示ユニットの表示部に、該当する異常検出内容を表示したアラーム画面を表示させる制御ユニットとを備えた構成とし、
   前記制御ユニットは、異常停止から自動運転を再開させるために必要とされる操作選択画面を記憶すると共に、前記表示ユニットの表示部に表示させた操作選択画面の履歴情報を記憶する記憶部、及び、異常停止後、前記表示部に、前記記憶部に記憶した履歴情報のある操作選択画面を表示させるための切替ボタンを表示させる制御部を有することを特徴とする樹脂封止装置。
2. 前記制御ユニットの制御部は、前記履歴情報のうち、表示頻度の高い操作選択画面を、表示部のアラームヘルプ画面に優先的に表示させることを特徴とする請求項１に記載の樹脂封止装置。
3. 基材を樹脂材料で封止するプレスユニットを含む複数のユニットと、
   前記各ユニットの動作状態を検出する検出部と、
   前記検出部での検出信号に基づいて異常状態であると判断された場合、その異常検出内容を表示するアラーム画面、異常箇所を表示すると共に対処方法を表示するアラームヘルプ画面、及び、駆動する駆動部材を選択するための複数のボタンを備えた操作選択画面を表示可能な表示部を備えた表示ユニットと、
   前記検出部での検出信号に基づいて異常であるか否かを判断し、異常であると判断すれば、少なくとも該当する駆動部材を異常停止させ、前記表示ユニットの表示部に、該当する異常検出内容を表示したアラーム画面を表示させる制御ユニットとを備えた構成とし、
   前記制御ユニットは、異常停止から自動運転を再開させるために必要とされる復旧処理を記憶する記憶部、及び、異常停止後、前記表示部に表示させるアラームヘルプ画面に、前記記憶部に記憶した復旧処理を実行するための処理実行ボタンを表示させる制御部を有することを特徴とする樹脂封止装置。
4. 前記制御ユニットは、復旧処理が複数ある場合、アラームヘルプ画面に表示させた処理実行ボタンを順次表示可能としたことを特徴とする請求項３に記載の樹脂封止装置。
5. 前記表示ユニットは、前記各ユニット間を移動可能に設けられ、
   前記表示ユニットが前記ユニットのいずれかに移動したことを検出する表示ユニット検出部を備え、
   前記制御ユニットの制御部は、前記異常検出部で異常検出されたユニットに移動させた表示ユニットが、前記表示ユニット検出部に検出されると、前記表示ユニットの表示部のアラーム画面に、前記ユニットの異常検出内容を表示させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の樹脂封止装置。
6. 前記ユニットは、
   基材及び樹脂材料を供給する材料供給ユニットと、
   前記プレスユニットで形成された成形品を収納する成形品収納ユニットとを含み、
   前記材料供給ユニットからプレスユニットに基材及び樹脂材料を搬送し、プレスユニットから成形品収納ユニットに成形品を搬送する搬送部材を備えたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の樹脂封止装置。
7. 前記制御ユニットの制御部は、前記表示ユニット検出部により表示ユニットが前記ユニットのいずれかに移動したことが検出されると、他のユニットの手動操作を不能とするインターロック制御を行うことを特徴とする請求項５又は６に記載の樹脂封止装置。