WO2011115174A1 - 半導体製造システム - Google Patents

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Abstract

操作事項、確認事項を含む点検事項からなる点検項目を指定するための画面を表示するステップと、指定された点検項目に対応する点検事項を記憶部から読み出して作業順に並べ各点検事項が自動実行であるか手動実行であるかの実行属性を付して画面に表示するステップと、点検開始指令を受け付けることにより１番目の点検事項を記憶部から読み出すステップと、を行うと共に、ａ．点検事項が操作事項で実行属性が自動実行である場合、ｂ．点検事項が操作事項で実行属性が手動実行である場合、ｃ．点検事項が確認事項で実行属性が自動実行である場合、ｄ．点検事項が確認事項で実行属性が手動実行である場合、に応じたステップを、次の点検事項がなくなるまで行うように構成されている、半導体製造装置を点検するためのプログラムを有する半導体製造システム。

Description

半導体製造システム
　本発明は、半導体製造装置を点検するプログラムを備えた半導体製造システムに関する。
　例えば半導体製造装置を出荷する時の検査工程を行う場合、あるいは、ユーザ側で当該半導体製造装置のメンテナンスを行う場合に、装置や作業者の安全を図るため、また、作業の効率化や装置の品質保証のため、予め点検作業の内容が決められている。具体的には、点検作業とは、半導体製造装置を構成する機器の操作や、操作結果の確認、といった作業である。
　例えば、点検作業として、次のような作業例が挙げられる。
（ａ）装置に設けられた操作パネル（操作画面）上のスイッチ（ソフトスイッチ）を押下してバルブを操作し、ガスラインに最大流量を流し、作業者が流量計を目視して設定流量が流れていることを確認する作業。　
（ｂ）作業者がガスボンベのレギュレータを操作して圧力調整し、レギュレータの操作設備に設けられた表示機で圧力を確認する作業。　
　実際には、これらの作業の後にも点検事項が続く。こうした点検事項の一群が、点検項目として多数用意されている。
　こうした点検作業の手順が、手順書に記載されていて、作業者は当該手順書を見ながら、操作画面で機器の操作を行う。また、作業者は、画面に現れた判定結果が手順書の判定事項と一致していることの確認を行ったり、機器の設置場所まで足を運んで機器を操作したり、機器の状態を確認したり、といった一連の作業を行う。　
　しかしながら、このような点検作業の方式では、手順書に基づいて操作事項や確認事項を解読し、操作画面により操作する際には画面上の対応する操作事項を選択して操作する必要がある。このため、作業者に大きな注意力が強いられ、その負担が大きく、また操作ミスも生じやすい。
　そして、画面による操作・確認作業と作業者による機器の直接の操作・確認作業とが混在している場合、一連の点検作業が効率のよい作業とは言い難く、作業に要する時間も長くなっている。　
　また近年、半導体製造装置に対しても更なる環境負荷低減の要求があるが、従来の点検作業の手順書は紙面に印刷されたものを用いているため、環境に負荷を与えているという課題もある。
　特開平９－２３２２００号公報には、モジュールに対応した装置状況とコマンドとを同一画面上に見やすく表示して保守を行う技術が記載されている。また、特開２００３－５９８８１１号公報には、操作内容を記述した操作ファイルが作成されて、この操作ファイルを選択、実行することにより自動運転を行うという保守方法が記載されている。しかしながら、前述の課題については検討されていない。
発明の要旨
　本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、半導体製造装置を点検するにあたり、作業者や環境への負担が小さく、効率がよく、作業ミスも起こりにくい、という半導体製造システムを提供することにある。
　本発明は、機器を含む半導体製造装置と、前記半導体製造装置に含まれる前記機器を制御するための制御信号を出力する制御部と、前記半導体製造装置を点検するための操作事項及び確認事項の少なくともいずれかを含む複数の点検事項からなる点検項目を複数記憶する記憶部と、前記半導体製造装置を点検するためのプログラムが格納されたプログラム格納部と、点検操作の指示及び確認を行うための画面を表示する表示部と、前記操作事項の操作結果を検出する検出部と、を備え、前記プログラムは、点検項目を指定するための画面を表示するステップと、指定された点検項目に対応する点検事項を記憶部から読み出して作業順に並べ、各点検事項が自動実行であるか手動実行であるかの実行属性を付して画面に表示するステップと、点検開始指令を受け付けることにより、順番に並べられた点検事項のうち１番目の点検事項を記憶部から読み出すステップと、を行うと共に、以下のａからｄまでのいずれかのステップを、次の点検事項がなくなるまで行うように構成されていることを特徴とする半導体製造システムである。
ａ．　読み出しの対象になった点検事項が操作事項であって、実行属性が自動実行であるときには、操作対象機器に対して操作事項に対応する動作を行わせるための命令を出力し、次の点検事項を記憶部から読み出すステップ。　
ｂ．　読み出しの対象になった点検事項が操作事項であって、実行属性が手動実行であるときには、ユーザにより当該操作事項が行われたことの指示を受け付ける画面を表示し、当該指示を受け付けることにより次の点検事項を記憶部から読み出すステップ。　
ｃ．　読み出しの対象になった点検事項が確認事項であって、実行属性が自動実行であるときには、検出部による操作事項の検出結果に基づき当該確認事項を自動で行ってその確認結果を当該確認事項と対応付けて画面に表示するステップ。　
ｄ．　読み出しの対象になった点検事項が確認事項であって、実行属性が手動実行であるときには、確認結果が正常、異常の判別入力を受け付けるための画面を表示し、入力された確認結果を当該確認事項と対応付けて画面に表示するステップ。
　本発明によれば、半導体製造装置の点検を行うにあたり、点検項目ごとに点検の操作事項及び／または確認事項を予め定めた点検順（作業順）が画面に表示されると共に、これら各点検事項（操作事項及び／または確認事項）が自動の実行であるか手動の実行であるかの区別表示まで行われる。そして更に、自動の実行である場合には点検事項が自動で行われ、手動の実行である場合には、操作事項を行ったことの入力あるいは確認結果の入力を受け付ける画面が表示され、それらの入力を経てから次の点検事項が記憶部から読み出され（最後の点検事項ではない場合）、以後順次に点検事項が実行されていく。すなわち、画面が点検事項のナビゲータの如く機能し、実行属性が自動の点検事項については自動で進行されるので、操作ミスの発生を顕著に防止できる一方で、極めて効率よく点検作業を実施することができる。また、本発明には、これまで紙面に印刷された手順書に基づいて実施していた点検作業を電子化するという側面もあり、環境負荷の低減にも貢献できる。
　好ましくは、前記ステップｃは、確認結果が正常でありかつ次の点検事項があるときには、当該次の点検事項を記憶部から読み出す動作を含む。
　また、好ましくは、前記ステップｄは、入力された確認結果が正常でありかつ次の点検事項があるときには、当該次の点検事項を記憶部から読み出す動作を含む。
　また、好ましくは、前記ステップｂにおけるユーザにより操作事項が行われたことの指示を受け付ける画面、及び、前記ステップｄにおける確認結果が正常、異常の判別入力を受け付けるための画面は、ポップアップにより表示される。
　また、好ましくは、前記ステップｃにおいて、確認結果が異常であるときには、予め決められた他の点検項目について点検事項を記憶部から読み出して順番に並べ、以後同様にして各ステップが行われる。
本発明の一実施の形態に係る半導体製造システムを示す模式図である。 前記半導体製造システムにおいて半導体製造装置を点検するプログラムの処理順序を示すフロー図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 点検項目の点検対象例を概略的に示した構成図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 点検項目の点検対象例を概略的に示した構成図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。 前記プログラムによって表示される画面の一例を示す概略図である。
　図１は、本発明の一実施形態に係る半導体製造システムの全体概略図である。図１中、１００はコンピュータを含む制御部、２００はこの制御部１００により制御される半導体製造装置である。制御部１００は、点検用プログラム１が格納されたプログラム格納部１１、記憶部２、ＣＰＵ３及び表示部４を備えている。制御部１００としては、半導体製造装置１台ごとに設けられるコンピュータ、あるいは、複数の半導体製造装置ごとに設けられるコントローラに対する上位コンピュータなど、が相当する。制御部１００からは、信号ライン１０１を介して半導体製造装置２００の機器を制御するための制御信号が出力され、半導体製造装置２００の検出部２０１からは、信号ライン１０１を介して各部の動作状態の検出結果や測定結果などが制御部１００に対して送られる。
　半導体製造装置２００としては、半導体ウエハに対して処理を行って半導体デバイスチップを製造するために必要な各種装置が挙げられる。例えば、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板に対して回路を形成する装置も含まれる。具体的には、真空処理装置であるプラズマエッチング装置、プラズマＣＶＤ装置、熱ＣＶＤ装置、スパッタ装置、あるいは、複数の真空チャンバを備えたいわゆるマルチチャンバシステム、バッチ炉である縦型熱処理装置、レジストパターンを形成するレジストの塗布装置、現像装置、露光装置などがある。
　検出部２０１としては、半導体製造装置２００の各機器の状態を検出するものや、物理量を検出するものなどがある。前者のタイプの検出部としては、例えばバルブの開閉状態の検出部、センサのＯＮ／ＯＦＦ状態の検出部、機器からの出力データのフラグの有無の検出部、などが挙げられる。後者のタイプの検出部としては、例えば電圧検出部、ガス流量の検出部、温度検出部、圧力検出部、などが挙げられる。これらの検出部２０１は、半導体製造装置２００の運転時に用いられるものであるため、半導体製造装置２００の出荷前やメンテナンス実行後に、検出部２０１が正しく動作しているか点検する必要がある。
　本明細書では、半導体製造装置２００を点検するための操作事項及び確認事項のいずれも点検事項と呼ぶ。制御部１００の記憶部２には、複数の点検事項からなる点検項目が複数記憶されている。点検項目とは、例えば図９に検査項目として記載されている内容であり、対象となる機器について所定の動作を確認するための点検事項の一群を指すものである（図１０参照）。そして、例えばこれら点検項目は、更に上位の点検種別により括られており、例えば図９の検査項目群は、図８に示す点検種別の一つに括られている。即ち、この場合には、複数の点検種別の中から一つの点検種別が選択され、当該点検種別に含まれる複数の点検項目から一つの点検項目が選択されることになる。従って、点検種別、点検項目、点検事項の順に枝分かれするツリー構造のデータが記憶部２に記憶されていることになる。このデータに関しては、図２のフローの説明の箇所でより明らかに説明する。
　表示部４は、ＣＲＴ表示装置や液晶パネルなどから構成される。タッチパネル、マウス、トラックボールなどの入力デバイス機能を有する画面を介して、ユーザが操作、判断をするためのものである。
　点検用プログラム１は、記憶部２内のデータと共にソフトウエアを構成する。このソフトウエアは、記憶媒体から制御部１００にインストールされる。点検用プログラム１は、選択された点検項目に含まれる点検事項（操作事項、確認事項）を画面に表示し、ユーザに対して点検のためのナビゲーションを行うためのステップ群を含む。
　次に、図２乃至図５を参照しながら、点検用プログラム１について説明する。なお、図３及び図５において、外枠の部分で囲まれた領域が表示部４の画面を示している。図２には、プログラム１に組まれているステップとプログラム１を実行することによる結果の流れとが混在して記載されている。今、このプログラム１が立ち上げられ、点検種別の一覧表示画面からある点検種別が選択されて、当該点検種別に含まれる点検項目の画面（例えば図９参照）が表示されているものとする（ステップＳ１）。ユーザが画面に基づいてある点検項目を選択すると（ステップＳ２）、この点検項目に含まれる点検事項が記憶部２から読み出されて、例えば図３に示すように順番に並んだ状態で画面に表示される（ステップＳ３）。図３では、点検事項を抽象的に表示しており、Ａは操作事項、Ｂは確認事項であり、Ａ、Ｂの次に付された算用数字が作業順を示している。点検項目の実施というのは、ある操作（操作事項）を行い、この操作の結果を確認（確認事項）し、次の操作を行い、その操作の結果を確認し、・・・といった具合に作業を順番に行っていくことに対応することになる。
　例えば、図３の画面に表示されている内容では、Ａ１という操作を行い、次にこの操作事項Ａ１におけるＢ１という確認を行い、・・・といった具合である。当該画面には、また、各点検事項ごとに「自動／手動」の区別をするための実行属性が表示されている。実行属性とは、操作事項であれば、制御部１００からの命令により自動で行われるのか、あるいは、ユーザにより手動で行われるのか、ということについての属性である。また、確認事項であれば、検出部２０１からの検出結果に基づいて制御部１００が自動で正常、異常を判別するのか、あるいは、ユーザが視覚、聴覚、嗅覚などの感覚機能を使って判別するのか、ということについての属性である。即ち、記憶部２における点検事項のデータは、各点検事項と実行属性とが対応付けて記憶されている。
　更に、この例では、図３に示すように、各点検事項の判定結果を表示する欄が用意されている。この例では、点検事項である操作事項と確認事項とが欄を分けて表示されているため、判定結果が表示されるのは、確認事項（Ｂの事項）の欄だけである。
　さて、ステップＳ３以降に説明を進める。この例では、一括実行モードと異常スキップモードとがオプションとして用意されている。これらモードの選択は、例えばステップＳ１における点検項目の選択画面において設定できるようになっているが、ここでは、オプションとしてのこれらのモードを選択しない場合、つまり、基本的な流れである通常のモードにより点検を行う場合について説明する。
　図３の画面が表示され、ユーザが点検開始指令を行うための「実行」のソフトスイッチを押すと、選択されている点検項目に含まれる点検事項の中の一番目の点検事項が読み出される（ステップＳ４、Ｓ５）。
　この例では、一番目の点検事項Ａ１は、実行属性が自動である操作事項である。従って、この操作事項に応じて、制御部１００から操作対象となる半導体製造装置２００内の機器に対して操作のための命令が出力される。例えば、制御部１００と当該機器との間にコントローラが介在する場合には、このコントローラが当該命令を受け取って、当該機器の例えばアクチェータに対して動作信号を出力する。これにより、操作事項の操作、例えばバルブを開ける、電源をオフにする、といった操作が行われる（ステップＳ６、Ｓ７）。
　ステップＳ２１にてこの自動操作が「ＮＧ」になると、即ち、自動で操作を行うことができなかった場合には、当該点検事項Ａ１の対応する判定の欄に異常の表示がされ（ステップＳ１３）、点検項目の実施（点検）が終了する。
　一方、ステップＳ２１で「ＹＥＳ」となった場合、すなわち、正常に自動操作が行われた場合には、記憶部２から次の点検事項が読み出される（ステップＳ８、Ｓ９）。次の点検事項Ｂ１は、実行属性が手動実行である確認事項であるから、ステップＳ１０からＳ１１に進み、図３の画面内にポップアップ表示がなされる。図４ａは、ポップアップ表示の一例を示している。ここでは、確認事項Ｂ１の内容、例えば「警報が鳴ったか」といった内容、及び、確認結果（判定結果）が正常、異常の判別を入力するための待ち受け画面、の表示がなされる。この例では「ＯＫ」、「ＮＧ」のソフトスイッチが表示される。
　ここで、ユーザが異常と判断した場合(例えば「警報が鳴ったか」という確認事項に対して警報が鳴らなかったと判断した場合)には「ＮＧ」が押されるため、当該点検事項Ｂ１の対応する判定の欄に異常の表示がされ（ステップＳ１３）、点検項目の点検が終了する。これに対して、ユーザが正常と判断した場合には「ＯＫ」が押されるため、前記判定の欄に正常の表示がされ（ステップＳ１４、Ｓ１５）、ステップＳ８、Ｓ９に進んで、次の点検事項Ａ２が読み出される。なお、図２のフローにおいて、点線の枠は、ユーザが制御部１００を経由することなく直接操作する動作や感覚機能により直接確認する動作が介入するということを示している。
　次の点検事項Ａ２も同様に終了し、更に次の点検事項Ｂ２が読み出されると、この場合には実行属性が自動実行であるので、ステップＳ１０からＳ１６に進み、制御部１００が検出部２０１の検出結果に基づいて自動で確認結果が正常であるか異常であるかの判定を行う。例えば、検出結果がガスの流量値であれば、検出部２０１にて検出されたガス流量と記憶部２から読み出されたしきい値とが比較されて判定が行われる（ステップＳ１７）。制御部１００による確認結果が異常であれば、当該操作事項Ｂ２に対応する判定の欄に異常表示がされて（ステップＳ１３）点検項目の点検が終了する。確認結果が正常であれば、ステップＳ１５を介して後続のステップが進められる。
　そして、点検事項Ａ３が読み出されると、実行属性が手動実行であるので、ステップＳ１８に進んでポップアップ表示がなされる。図４ｂは、この場合のポップアップ表示の一例を示している。Ａ３の記載の仕方としては、この例では「○○の操作を行うこと」の表示ではなく、「○○の操作を行ったか」という表示としてある。これにより、操作が実行されたことの確実な確認を要求するようにしている。この時、例えば操作事項が実施できない場合には、ポップアップ表示の「ＮＧ」が押されるため、点検事項の作業を終了させることができる。その場合には、ステップＳ２２にて「ＹＥＳ」となり、当該点検事項Ａ３の対応する判定の欄に異常の表示がなされる（ステップＳ１３）。操作が正常に終了してこのポップアップ表示の「ＯＫ」が押されると、ステップＳ１９にて「ＹＥＳ」となってステップＳ１５に進んで前記判定の欄に正常の表示がなされる。こうして点検項目に含まれる点検事項のうち最後の点検事項（図３の例では点検事項Ｂ３）が終了すると、ステップＳ８にて「ＹＥＳ」となり、当該点検作業が終了する。
　更に、オプションモードに関して説明を加える。オプションモードに関係するステップの符号は、便宜上「Ｋ」を用いることとする。一括実行モードが選択されている場合には、前記最後の点検事項Ｂ３の確認結果が正常と判定された後、ステップＫ１にて「ＹＥＳ」となるので、ステップＫ２に進む。そして、次の点検項目がある場合には、当該点検項目に含まれる点検事項が記憶部２から読み出され、既に述べたように順番に並んだ状態で画面に表示され（ステップＫ３）、以後先の点検項目の場合と同様にしてステップＳ５に進んで点検作業が進められる。ステップＫ２において次の点検項目がない場合には点検作業が終了する。ステップＫ２における次の点検項目とは、ユーザが選択した点検種別に含まれる点検項目群の中の処理が終了した点検項目の次の点検項目を指す。
　また、一括実行モードの実行時に、オプションモードとして異常スキップモードを選択した場合には、操作事項または確認事項の判定結果が異常となってステップＳ１３にて異常表示がされた後、当該点検項目の作業を終了し、ステップＫ１、ステップＫ２、ステップＫ３に進む（ステップＫ４）。即ち、前記一括実行モードにて説明したように、次の点検項目に含まれる点検事項が画面に表示されてステップＳ５に進んで点検作業が進められる。異常スキップモードの選択は、例えば「一括実行」を押した後に表示される画面により行うようにしてもよいし、「一括実行」を選択する画面において併せて「異常スキップ」のソフトスイッチを用意するようにしてもよい。さらに、記憶部２に異常スキップモードの有効または無効を記憶しておき、「一括実行」実行時にその記憶内容を参照するようにしてもよい。
　ここで、点検事項を作業順に並べて表示する画面としては、図３の例に限られるものではない。例えば、図５に示すように、操作事項とこの操作事項に対する確認事項とを同じ欄に表示するようにしてもよい。この例では、各々実行属性が自動である操作事項Ａ４、Ｂ４を同じ欄に表示し、また、各々実行属性が自動である操作事項Ａ６、Ｂ６を同じ欄に表示している。そして、操作事項Ａ６の確認事項としてＢ６の他に、実行属性が「手動実行」である確認事項Ｂ’６があり、この確認事項Ｂ’６が次の欄に表示されている。
　上述の実施の形態によれば、点検項目ごとに点検の操作事項と確認事項とを予め定めた順で画面に表示させると共に、これら点検事項が自動の実行であるか手動の実行であるかの区別表示をも行っている（例えば図３を参照）。そして、自動の実行である場合には点検事項が自動で行われ、手動の実行である場合には操作事項を行ったことの入力あるいは確認結果の入力を受け付ける画面がポップアップにより表示され、その入力を経てから次の点検事項が記憶部から読み出され、以後順次点検が行われる。従って、画面が点検のナビゲータとして機能し、自動実行と手動実行の２種類の実行属性の点検事項が混在するような場合においても、正しい順番で作業が進行する。従って、操作ミスを防止でき、効率のよい点検作業を行うことができる。また、紙に記載された操作手順に従って画面操作を行う場合に比べて、大幅な時間短縮を図ることができる。
　手動実行である場合において、上述のようにポップアップ表示をすることは、操作ミスを確実に防止する点で好ましい。しかし、ポップアップ表示に限らず、例えば図３の画面において、作業が済んだ点検事項について未作業の点検事項とは異なる色表示を行うと共に、各点検事項欄に対応させて「ＯＫ」、「ＮＧ」のソフトスイッチ（ボタン）を並べて表示し、ユーザの指示の待ち受け画面を兼用するようにしてもよい。　
　また、既述のように、一括モードや異常スキップモードを用意すれば、状況に応じた柔軟な処理を行うことができる。なお、ここでいう点検作業は、例えばユーザにおけるメンテナンスや、メーカにおける出荷検査などにおいて行われる作業である。
　次に、点検項目の具体例について説明する。この例は、真空搬送室と当該真空搬送室に気密に接続された複数の処理容器とを備えた半導体製造装置の各機器、例えば各々の処理容器に設けられたバルブのアクチェータなど、を動作させるために必要な回路が搭載されたプリント基板について、当該基板に供給する電源電圧をゼロにすることにより、供給電圧低下の異常検出が行われるか否かを点検するための点検項目「アウトプット　パワー　オン」である。
　図６は、当該例の点検項目の点検対象を概略的に示した構成図である。３０１はプリント基板であり、この例では３個示されている。３０３は直流電源部であり、この直流電源部３０３からの電圧が、各々の電圧調整部３０２にて所定の電圧値に調整されて、各プリント基板３０１に供給されるように構成されている。３０４は、直流電圧の給断を行うスイッチ部である。また、３０５はアラーム発生部であり、例えば制御部１００から信号ライン１０１を介して送信される制御信号により警報が鳴るように構成されている。図６中３０６は、プリント基板３０１に供給される電圧の電圧低下を検出するための電圧検出部であり、この電圧検出部３０６の電圧低下の検出結果が信号ライン１０２を介して制御部１００に送られるように構成されている。制御部１００は、電圧低下の検出結果を受信すると、信号ライン１０１を介してアラーム発生部３０５に対して警報が鳴るように制御信号を送信するように構成されている。
　図７乃至図１６は、点検用プログラム（ソフトウエア）を立ち上げた後の画面群の一部を示している。これらの図における符号「４」で示す外枠内が、画面の表示内容を表している。画面としては、この例では、タッチパネル上に表示されたソフトスイッチ（ボタン）を押して操作するものとして説明している。もっとも、マウスによりスイッチ部をクリックして操作を行うものが採用されても良い。点検項目「アウトプット　パワー　オン」の実行に至るまでに、先ず、図７に示す画面に基づいて、左側の「メンテナンス」スイッチに続いて、右側の「ＰＭ１メンテナンスナビゲーション」スイッチが押され（選択され）、図８の画面が表示される。次いで、この画面において「インターロックチェック」が押されると、図９に示すように、「インターロックチェック」に含まれる点検項目（検査項目）を選択する画面が表示される。この画面において、例えば点検項目の「１」が選択されて「詳細」が押されるものとする。すなわち、この例では、図７乃至図９の画面が、点検項目の選択画面表示に相当する。ここで、「ＰＭ１」は、既述の複数の処理容器のうちの一つを示している。また、図７の画面において、「ログ」が押されることにより、例えば過去に行われた点検作業の履歴やその結果をも表示可能である。また、図９及び図１０においては、画面を下側にスクロールさせることにより、これらの画面に表示されている内容に続く点検項目や点検事項（検査内容）を表示可能である。また、図９の画面において、点検項目の番号を個別に選択せずに「詳細」が押された場合には、「１」の詳細画面が表示されるようになっている。
　続いて、当該点検項目の実施の手順について、先の図２を参照しながら説明する。今、図９の画面において「詳細」が押されることにより、点検項目「アウトプット　パワー　オン」が選択されたものとすると、ステップＳ１からステップＳ２の「ＹＥＳ」まで進んでいる。そして、当該点検項目の内容が記憶部２から読み出され、図１０に示すように、点検のための操作事項と、確認すべき確認事項とが、実行属性を付されて順番に並んだ状態で表示部４の画面に表示される（ステップＳ３）。図１０に示す左側の番号は、操作事項、確認事項の順番を示すための番号であり、実行属性は、実際には各事項欄の左側に色分けするなどによって示されるが、他の手法たとえば各事項の文字の色を分けるなどして表示されてもよい。なお、既に説明したように、各番号が付された欄の操作事項あるいは確認事項（検査内容）は、いずれも点検事項に相当する。この例では、６個の点検事項が順番に並んで表示されていることになる。
　次いで、先ず図１０の画面により、ソフトスイッチの「実行」が押されると、ステップＳ４にて「ＹＥＳ」となって、記憶部２から最初の点検事項が読み出される（ステップＳ５）。１番目の点検事項は、「この検査項目はモジュールを立ち上げて、ポンプを稼働する前に行うこと。」であり、その実行属性は手動実行である（ユーザによる確認事項を伴う）ことから、この場合にはステップＳ１０にて「ＮＯ」となり、図１１に示すように当該確認事項のポップアップ画面が表示される（ステップＳ１１）。このポップアップ画面にて表示されるように、モジュール（処理容器）が立ち上げられてポンプが稼働する前であることがユーザによって確認されて「ＯＫ」が押されると、ステップＳ１２及びステップＳ１４において夫々「ＮＯ」及び「ＹＥＳ」となり、図１０の点検事項の右側の「判定」欄に「正常」終了表示が現れる（ステップＳ１５）。この図１０において、点検事項の右側の「確認値」欄は、自動で確認事項を行った時に検出値が表示される領域であり、この例では確認値は表示されない。尚、点検事項が手動の操作事項を含む確認事項である場合には、既述のステップＳ１０に至る前に、図２におけるステップＳ６、ステップＳ１８、ステップＳ１９、ステップＳ１５、ステップＳ８及びステップＳ９を経由していると言えるが、説明の簡略化のため、これらのステップについての説明は省略している。以下の説明においても同様である。
　尚、図１１のポップアップ表示において、「ＮＧ」が押された場合には、ステップＳ１２（またはステップＳ２２）において「ＹＥＳ」となり、図１０の点検事項の右側の「判定」欄に「異常」終了表示が現れることになる（ステップＳ１３）。また、「中止」が押された場合には、図２では説明を省略しているが、この点検項目についての点検が中止されて、図１０の「判定」欄に「中止」が表示されて、元の図１０の画面に戻ることになる。
　そして、既述の図１０に示したように、１番目の点検事項の次に点検事項が続くので、ステップＳ８で「ＮＯ」となって、ステップＳ９に進み、２番目の点検事項が読み出される。この２番目の点検事項が自動の操作事項の「アウトプット　パワー　オンに０をセットする。」であることから、ステップＳ６において「ＹＥＳ」となり、この操作事項が自動で実行される（ステップＳ７）。具体的には、制御部１００から信号ライン１０１を介して送信される制御信号により、スイッチ部３０４がＯＦＦに設定されて、既述のプリント基板３０１への供給電圧がゼロに設定される。また、この操作事項の実行中、図１２に示す「実行中です。しばらくお待ち下さい。」のポップアップ画面が表示される。プリント基板３０１に供給される電圧の低下は、既述の電圧検出部３０６により検出されて、制御部１００に伝達される。この操作事項が正常に終了できなかった場合には、ステップＳ２１にて「ＮＯ」となり、図１０の点検事項の右側の「判定」欄に「異常」終了表示が現れる（ステップＳ１３）。尚、図１２のポップアップ画面には、既述の例と同じ中止処理が行われる「中止」ボタンが表示されている。ここで、手動の操作事項の場合には、ステップＳ６においてステップＳ１８に進んで、その後ステップＳ１９が実行されるが、この実施の形態では、ステップＳ６にて「ＮＯ」が選択される場合がないものとして、説明を省略する。
　次いで、既述の自動の操作事項が正常に終了してステップＳ２１にて「ＹＥＳ」となった場合には、２番目の点検事項の次に点検事項が続くので、ステップＳ８で「ＮＯ」となり、ステップＳ９にて３番目の点検事項である「警報が鳴ること。」が読み出される。この点検事項は、既述の１番目の点検事項と同じ手動の確認事項なので、ステップＳ１０にて「ＮＯ」となり、図１３に示すポップアップ画面が表示される。ユーザにより、実際にアラーム発生部３０５において警報がなっているかが確認され、ポップアップ画面の「ＯＫ」が押されると、ステップＳ１２及びステップＳ１４にて夫々「ＮＯ」及び「ＹＥＳ」となり、図１０の該当する点検事項の右側に正常終了表示が現れる（ステップＳ１５）。
　続いて、３番目の点検事項の次に点検事項が続くので、ステップＳ８にて「ＮＯ」となり、４番目の点検事項が読み出される（ステップＳ９）。この点検事項「GAS printed circuit boardの”電圧低下を検出しました”（＋２４Ｖ）が表示されること。」は、自動の確認事項なので、ステップＳ１０にて「ＹＥＳ」となって、図１４に示すポップアップ画面が表示されて確認が自動で行われる（ステップＳ１６）。即ち、通常であれば２４Ｖの電圧が供給されている部位で、例えば図６中左側のプリント基板３０１においてスイッチ部３０４がＯＦＦに設定されることによって電圧の低下が発生する。この電圧の低下は、電圧検出部３０６から信号ライン１０２を介して制御部１００に送られる。このようにして電圧低下したことが、制御部１００により自動で検出される。この点検事項が終了すると、図１５に示すように、画面には「GAS printed circuit boardの電圧低下を検出しました。」のポップアップ画面が表示される。この確認事項は自動であることから、処理が正常の場合には図１５のポップアップ画面は自動で消えて（ステップＳ１５）、続く処理に進む。
　そして、図１０に示すように、次の５番目の点検事項があるので、ステップＳ８にて「ＮＯ」となる。ここで、５番目の点検事項「GAS printed circuit boardの”電圧低下を検出しました”（＋５Ｖ）が表示されること。」は、自動の確認事項であるため、４番目の点検事項と同様にステップＳ９、ステップＳ１０及びステップＳ１６に進んで、自動で確認が行われる。即ち、通常であれば５Ｖの電圧が供給されている部位例えば図６中中央のプリント基板３０１において、スイッチ部３０４がＯＦＦに設定されることによって電圧の低下したことが、自動で検出される。この確認が正常の場合には（ステップＳ１７）、ステップＳ１５からステップＳ８に進む。この確認事項においても、既述の図１５と同様のポップアップ画面が表示されて自動で消えることになる。
　また、５番目の点検事項に続いて６番目の点検事項「GAS printed circuit boardの”電圧低下を検出しました”（＋１５Ｖ）が表示されること。」があり、当該６番目の点検事項も４番目及び５番目の点検事項と同様に自動の確認事項である。そのため、ステップＳ８、ステップＳ９及びステップＳ１０を介してステップＳ１６にて自動で確認が行われる。即ち、通常であれば１５Ｖの電圧が供給されている部位例えば図６中右側のプリント基板３０１において、スイッチ部３０４がＯＦＦに設定されることによって電圧の低下したことが、自動で検出される。その後、ステップＳ１７及びステップＳ１５を経由してステップＳ８に至る。６番目の点検事項が終了すると、ステップＳ８にて「ＹＥＳ」となり、この例では一括モードではないので、ステップＫ１にて「ＮＯ」となり、この「アウトプット　パワー　オン」の点検項目が終了する。そして、図９の１番目の点検項目である「アウトプット　パワー　オン」の右側の「判定」欄に「正常」が表示される。
　ここで、一括モードについて説明する。既述の図９の画面にて「詳細」が押されずに「一括実行」が押されると、図１６の画面が表示される。そして、「全部の点検項目を選択」が選択されて「確定」が押されると、既に詳述した点検種別「インターロックチェック」中の１番目の「アウトプット　パワー　オン」の点検項目に続いて、２番目の点検項目である「外部インターロックレベル１（顧客信号接続時）」が実行され、その後更に３番目の点検項目及び図８の「インターロックチェック」に含まれる続く点検項目が順次実行されていくことになる。即ち、「確定」が押された場合には、既述のステップＫ１において「ＹＥＳ」となり、次の点検項目があるか否かが判別される（ステップＫ２）。そして、ステップＫ２で「ＹＥＳ」になると、既述の１番目の点検項目と同様に、２番目の点検項目の「外部インターロックレベル１（顧客信号接続時）」における点検のための操作事項と、確認すべき確認事項とが、実行属性を付されて順番に並んだ状態で表示部４の画面に表示され（ステップＫ３）、既述のステップＳ５からの点検が進行する。その後、点検種別「インターロックチェック」に含まれる点検項目についての点検が全て終了すると、ステップＫ２において「ＮＯ」となり、点検が終了する。
　この一括モードにおいては、図９の画面で任意の点検項目の番号、例えば「６」が選択され、続いて図１６の画面において「選択項目の実行」が選択されて「確定」が押されると、この「６」番目の点検項目から最終項目までの点検が開始される。
　また、スキップモードについて説明すると、図１６の画面において「異常終了スキップ」が選択されて「確定」が押されると、所定の確認事項において既述のステップＳ１３の異常終了表示がなされた場合には、ステップＫ４において「ＹＥＳ」となり、またステップＫ１で「ＹＥＳ」となる。そして、続く点検項目がある場合にはステップＫ２にて「ＹＥＳ」となって、当該確認事項が含まれる点検項目をスキップして続く点検項目の処理が行われることになる。また、スキップモードにおいては、複数の点検項目を順番に点検するにあたって、「正常終了スキップ」が選択されて「確定」が押されることにより、点検の途中で既に正常に終了している点検項目がある場合には、当該点検項目がスキップされてその後の点検項目の点検が行われる。
　ここで、既述の図９の画面上に設けられたソフトスイッチについて説明すると、「ＣＳＶ保存」とは、点検項目の内容や検査終了時刻や判定を含む点検結果を他のソフトウエアで読み取れる形式で記録するためのスイッチであり、「判定クリア」とは、実施した点検結果をクリアするためのものであり、装置の改造等が有って最初から点検をやり直す必要が生じた場合などに使用されるものである。
　次に、点検項目の他の具体例について説明する。この例は、図１７に示すように、プロセスチャンバ（処理容器）に一端側が接続されたガスラインについて、ガスラインを流れるガス流量と、ガスラインの他端側に接続されたガスボンベのレギュレータの開度と、このガスラインに介設されたバルブの開閉と、が正しく対応しているか否かを点検するための点検項目「ガスラインバルブ動作」である。図１７中、４００はプロセスチャンバ、４０１はガスボンベ、４０２はレギュレータ、４０３はレギュレータ４０２に設けられたガス流量メーター、４０４は検出部と制御部を兼ねるマスフローコントローラ、４０５及び４０６はバルブ、４０７はガスラインである。
　続いて、この点検項目において表示される画面及び点検事項について説明する。先ず、図１８に示すように、既述の図８の画面におけると同様に点検種別を選択するために「Ｉ／Ｏチェック」が押されると、図１９に示すように、この「Ｉ／Ｏチェック」に含まれる点検項目の一覧が表示される（ステップＳ１）。この例では、番号「１」から始まる点検項目のうち、「４１－２」の「ガスライン４バルブ動作［オプション］（レギュレータ有り）」の点検項目が行われるので、図１９で画面の一部を下側にスクロールさせた状態を示している。尚、「ガスライン４」とは、プロセスチャンバ４００に複数設けられたガスラインの一つ、この例ではガスライン４０７、を示している。
　図１９の画面において、点検項目「４１－２」が選択されて「詳細」が押されると、ステップＳ２で「ＹＥＳ」となり、当該点検項目に含まれる点検事項が図２０に示すように表示される。この画面には、既述のように、点検のための操作事項と確認すべき確認事項とが、実行属性を付されて順番に並んだ状態で表示される（ステップＳ３）。図２０の画面において「実行」が押されると、ステップＳ４で「ＹＥＳ」となり、記憶部２から最初の点検事項が読み出される（ステップＳ５）。１番目の点検事項は、「ガスライン４に自動で最大流量を１０秒間流す。」という内容の自動の操作事項であるため、ステップＳ６において「ＹＥＳ」となり、画面には図２１に示す「実行中です。しばらくお待ち下さい。」のポップアップ画面が表示されて、ステップＳ７において自動でこの操作が行われる。具体的には、バルブ４０５、４０６が全開にされて、マスフローコントローラ４０４に最大流量を流すように制御部１００より制御信号が伝達される。この時、自動操作が正常に行われなかった場合には、ステップＳ２１にて「ＮＯ」となり、ステップＳ１３に進んでこの操作事項に対応する欄に異常表示がされる。
　図２１において「ＯＫ」が押されると、あるいは、このポップアップ画面が自動で消えると、ステップＳ２１にて「ＹＥＳ」となり、この点検事項の次に点検事項が続くので、ステップＳ８にて「ＮＯ」となる。そして、ステップＳ９にて２番目の点検事項が読み出される。尚、この例では点検事項が１０まであることから、９番目の点検事項まではこのステップＳ８において「ＮＯ」となるが、詳しい説明は省略する。
　２番目の点検事項は「ガスライン４に設定流量でガスが流れたことを確認する。」の自動の確認事項であることから、ステップＳ１０にて「ＹＥＳ」となる。この時、既述のマスフローコントローラ４０４にて読み取られたガス流量が、信号ライン１０１を介して制御部１００に伝達され、制御部１００はこの値が設定流量(最大流量)であるか確認する（ステップ１６）。この読み取り値が設定流量である場合に、ステップＳ１７で「ＹＥＳ」となり、図２０の「判定」欄に「正常」終了表示が現れる（ステップＳ１５）。また、このとき読み取られたガス流量が点検事項の右側の「確認値」欄に表示される。一方、マスフローコントローラ４０４による読み取り値が設定流量でなかった場合には、ステップＳ１７にて「ＮＯ」となり、この点検事項に対応する図２０の「判定」欄に「異常」終了表示がなされる（ステップＳ１３）。
　続いて、ステップＳ９において３番目の点検事項として自動の操作事項である「１の状態を維持する。」が読み出されて、ステップＳ６にて「ＹＥＳ」となり、ステップＳ７にて前記ガス流量（バルブ４０５、４０６の状態及びマスフローコントローラ４０４の設定流量）が維持される。そして、ステップＳ２１を介してステップＳ９に進み、４番目の点検事項が読み出される。この４番目の点検事項は、「レギュレータにより圧力の調整ができ、表示機に圧力が表示されることを確認する。」の手動の操作事項を含む確認事項であることから、ステップＳ１０にて「ＮＯ」となり、画面には図２２のポップアップ画面が表示される（ステップＳ１１）。次いで、作業者により、レギュレータ４０２を回動することで圧力を調整できるか否か、表示機（ガス流量メーター４０３）におけるガス流量の表示部に基づいて目視で確認がなされる。圧力を調整できる場合には、図２２の「ＯＫ」が押され、ステップＳ１２及びステップＳ１４にて夫々「ＮＯ」及び「ＹＥＳ」になると共に、図２０の「判定」欄に「正常」終了表示がなされる（ステップＳ１５）。圧力を調整できない場合には、ステップＳ１２（またはステップＳ２２）にて「ＮＯ」となり、図２０の「判定」欄に「異常」終了表示がなされる（ステップＳ１３）。
　次に、ステップＳ９で、５番目の点検事項の「レギュレータを閉じて、表示機の圧力がマイナスになっていることを確認する。」が読み出される。この点検事項は、４番目の点検事項と同様に手動による操作事項を含む確認事項であるが、図２の各ステップについての説明は省略する。以降の６番目、７番目の点検事項についても同様である。
　５番目の点検事項では、図２３のポップアップ画面が表示され、ユーザにより、レギュレータ４０２が閉じられると共に、ガス流量メーター４０３の表示を読み取って圧力がマイナスになっているか否かが確認される。正常に確認が終了して「ＯＫ」が押されると、図２４に示すように、６番目の点検事項を示す「レギュレータを調整して、表示機上部の圧力が規定値となっていることを確認しましたか。」のポップアップ画面が表示されるので、作業者がレギュレータ４０２の開度を調整してガス流量メーター４０３の値を読み取る。ガス流量メーター４０３の値が規定値となっている場合に「ＯＫ」が押されると、図２５に示すように、次の７番目の点検事項を示す「表示圧力が規定値となっていることを確認する。」のポップアップ画面が表示される。作業者は、ガス流量メーター４０３の値が規定となっているか否かを確認して、規定値の場合には「ＯＫ」を押す。
　次に、８番目以降の点検事項について、再度図２を参照して説明する。先ず、ステップＳ９で８番目の点検事項である「ガスライン４にパージフローで最大流量を１０秒間流す。」が読み出される。この点検事項は、自動の操作事項であるため、ステップＳ６で「ＹＥＳ」となり、画面には図２６の表示が現れて当該操作が自動で行われる（ステップＳ７）。具体的には、７番目の点検事項において作業者が調整したレギュレータ４０２の開度において最大流量が流れるように、バルブ４０５、４０６が開放されると共に、マスフローコントローラ４０４に最大流量が設定される。一方、この自動操作を正常に行うことができなかった場合には、ステップＳ２１にて「ＮＯ」となり、ステップＳ１３に進んでこの操作事項に対応する欄に異常表示がなされる。
　図２６の画面において「ＯＫ」が押されると、あるいは、この画面が自動で消えると、ステップＳ２１にて「ＹＥＳ」となり、ステップＳ９において９番目の点検事項である「ガスライン４に設定流量でガスが流れたことを確認する。」が読み出される。この点検事項は自動の確認事項であることから、既述の２番目の点検事項と同様に処理が行われる。具体的には、ステップＳ１０にて「ＹＥＳ」となり、既述のマスフローコントローラ４０４にて読み取られたガス流量が設定流量(最大流量)であるか否かが制御部１００により確認される（ステップ１６）。この読み取り値が設定流量である場合、ステップＳ１７で「ＹＥＳ」となり、図２０の「判定」欄に「正常」終了表示が現れる（ステップＳ１５）と共に、このとき読み取られたガス流量が点検事項の右側の「確認値」欄に表示される。一方、マスフローコントローラ４０４による読み取り値が設定流量でなかった場合、ステップＳ１７にて「ＮＯ」となり、図２０の該当欄に異常終了表示がなされる（ステップＳ１３）。
　次に、ステップＳ９において１０番目の点検事項が読み出される。この点検事項は、自動の操作事項である「ガスライン４の流量をゼロにしてバルブを閉じる。」であるため、ステップＳ６において「ＹＥＳ」となる。そして、図２７に示すポップアップ画面が表示され、制御部１００より、バルブ４０５、４０６を閉じてマスフローコントローラ４０４の設定流量を０とするような制御信号が伝達される（ステップＳ７）。この時においても、正常に操作が終了しなかった場合には、ステップＳ２１にて「ＮＯ」となり、図２０の該当欄に異常表示がなされる（ステップＳ１３）。
　一方、ステップＳ２１にて「ＹＥＳ」となって１０番目の点検事項が正常に終了すると、図２７のポップアップ表示が自動で消えて、図２０の「判定」欄に「正常」終了表示がなされる。この点検項目は、この１０番目が最後の点検事項であるため、ステップＳ８において「ＹＥＳ」となり、また一括モードでない場合にはステップＫ１にて「ＮＯ」となり、一連の点検が終了する。そして、図１９の「４１－２」の右側の「判定」欄に「正常」が表示される。
　この例においても、図１９の画面において「一括実行」が押されて、既述の図１６の「全部の点検項目を選択」または「選択項目の実行」が押されて一括モードで複数の点検項目を連続して行っても良いし、その場合に「異常終了スキップ」または「正常終了スキップ」が押されて、異常の発見された点検項目や既に正常に終了している点検項目をスキップしても良い。尚、この例においても、前述と同じ中止処理を行っても良い。

Claims (5)

  1. 　機器を含む半導体製造装置と、
    　前記半導体製造装置に含まれる前記機器を制御するための制御信号を出力する制御部と、
    　前記半導体製造装置を点検するための操作事項及び確認事項の少なくともいずれかを含む複数の点検事項からなる点検項目を複数記憶する記憶部と、
    　前記半導体製造装置を点検するためのプログラムが格納されたプログラム格納部と、
    　点検操作の指示及び確認を行うための画面を表示する表示部と、
    　前記操作事項の操作結果を検出する検出部と、
    を備え、
    　前記プログラムは、
    　点検項目を指定するための画面を表示するステップと、
    　指定された点検項目に対応する点検事項を記憶部から読み出して作業順に並べ、各点検事項が自動実行であるか手動実行であるかの実行属性を付して画面に表示するステップと、
    　点検開始指令を受け付けることにより、順番に並べられた点検事項のうち１番目の点検事項を記憶部から読み出すステップと、を行うと共に、
    　以下のａからｄまでのいずれかのステップを、次の点検事項がなくなるまで行うように構成されている
    ことを特徴とする半導体製造システム。
    ａ．　読み出しの対象になった点検事項が操作事項であって、実行属性が自動実行であるときには、操作対象機器に対して操作事項に対応する動作を行わせるための命令を出力し、次の点検事項を記憶部から読み出すステップ。
    ｂ．　読み出しの対象になった点検事項が操作事項であって、実行属性が手動実行であるときには、ユーザにより当該操作事項が行われたことの指示を受け付ける画面を表示し、当該指示を受け付けることにより次の点検事項を記憶部から読み出すステップ。
    ｃ．　読み出しの対象になった点検事項が確認事項であって、実行属性が自動実行であるときには、検出部による操作事項の検出結果に基づき当該確認事項を自動で行ってその確認結果を当該確認事項と対応付けて画面に表示するステップ。
    ｄ．　読み出しの対象になった点検事項が確認事項であって、実行属性が手動実行であるときには、確認結果が正常、異常の判別入力を受け付けるための画面を表示し、入力された確認結果を当該確認事項と対応付けて画面に表示するステップ。
  2. 　前記ステップｃは、確認結果が正常でありかつ次の点検事項があるときには、当該次の点検事項を記憶部から読み出す動作を含む
    ことを特徴とする請求項１記載の半導体製造システム。
  3. 　前記ステップｄは、入力された確認結果が正常でありかつ次の点検事項があるときには、当該次の点検事項を記憶部から読み出す動作を含む
    ことを特徴とする請求項１または２記載の半導体製造システム。
  4. 　前記ステップｂにおけるユーザにより操作事項が行われたことの指示を受け付ける画面、及び、前記ステップｄにおける確認結果が正常、異常の判別入力を受け付けるための画面は、ポップアップにより表示される
    ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の半導体製造システム。
  5. 　前記ステップｃにおいて、確認結果が異常であるときには、予め決められた他の点検項目について点検事項を記憶部から読み出して順番に並べ、以後同様にして各ステップが行われる
    ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の半導体製造システム。
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