KR20130007608A - 반도체 제조 시스템 - Google Patents

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사토시 고미
춘무이 리
구니오 다카노
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

조작 사항, 확인 사항을 포함하는 점검 사항으로 이루어지는 점검 항목을 지정하기 위한 화면을 표시하는 스텝과, 지정된 점검 항목에 대응하는 점검 사항을 기억부로부터 읽어내어 작업순으로 배열하고 각 점검 사항이 자동 실행인지 수동 실행인지의 실행 속성을 부여해서 화면에 표시하는 스텝과, 점검 개시 지령을 접수하는 것에 의해, 1번째의 점검 사항을 기억부로부터 읽어내는 스텝을 실행하는 동시에, a．점검 사항이 조작 사항이고, 실행 속성이 자동 실행인 경우, b．점검 사항이 조작 사항이고 실행 속성이 수동 실행인 경우, c. 점검 사항이 확인 사항이고 실행 속성이 자동 실행인 경우, d. 점검 사항이 확인 사항이고 실행 속성이 수동 실행인 경우에 따른 스텝을, 다음의 점검 사항이 없어질 때까지 실행하도록 구성되어 있는 반도체 제조 장치를 점검하기 위한 프로그램을 갖는 반도체 제조 시스템.

Description

반도체 제조 시스템 {SEMICONDUCTOR MANUFACTURING SYSTEM}
본 발명은 반도체 제조 장치를 점검하는 프로그램을 구비한 반도체 제조 시스템에 관한 것이다．
예를 들면, 반도체 제조 장치를 출하할 때의 검사 공정을 실행하는 경우, 또는 사용자측에서 해당 반도체 제조 장치의 메인터넌스(maintenance)를 실행하는 경우에, 장치나 작업자의 안전을 도모하기 위해, 또한 작업의 효율화나 장치의 품질 보증을 위해, 미리 점검 작업의 내용이 정해져 있다. 구체적으로는 점검 작업은 반도체 제조 장치를 구성하는 기기의 조작이나, 조작 결과의 확인과 같은 작업이다.
예를 들면, 점검 작업으로서 다음과 같은 작업 예를 들 수 있다.
(a) 장치에 마련된 조작 패널(조작 화면)상의 스위치(소프트(soft) 스위치)를 눌러 밸브를 조작하고, 가스 라인에 최대 유량을 흘려, 작업자가 유량계를 육안으로 관찰해서 설정 유량이 흐르고 있는 것을 확인하는 작업.
(b) 작업자가 가스 봄베(gas cylinder)의 레귤레이터(regulator)를 조작해서 압력을 조정하고, 레귤레이터의 조작 설비에 마련된 표시기로 압력을 확인하는 작업.
실제로는 이들 작업 후에도 점검 사항이 계속된다. 이러한 점검 사항이 하나의 일군(一群)이 점검 항목으로서 다수 준비되어 있다.
이러한 점검 작업의 수순이 수순서(手順序)에 기재되어 있어, 작업자는 해당 수순서를 보면서, 조작 화면에서 기기의 조작을 실행한다. 또한, 작업자는 화면에 나타난 판정 결과가 수순서의 판정 사항과 일치하고 있는지 확인하거나, 기기의 설치 장소까지 가서 기기를 조작하거나, 기기의 상태를 확인하는 것과 같은 일련의 작업을 실행한다.
그러나, 이러한 점검 작업의 방식에서는 수순서에 의거하여 조작 사항이나 확인 사항을 해독하고, 또한, 조작 화면에 의해 조작할 때에는 화면상의 대응하는 조작 사항을 선택해서 조작할 필요가 있다. 이 때문에, 작업자에게 큰 주의력이 강요되고, 그 부담이 크며, 또 조작 미스(miss)도 발생하기 쉽다.
그리고, 화면에 의한 조작/확인 작업과 작업자에 의한 기기의 직접의 조작/확인 작업이 혼재되어 있는 경우, 일련의 점검 작업이 효율이 좋은 작업이라고는 말하기 곤란하고, 작업에 요하는 시간도 길어지게 된다.
또한, 최근에는, 반도체 제조 장치에 대해서도 환경 부하 저감이 한층 더 요구되고 있지만, 종래의 점검 작업의 수순서는 지면에 인쇄된 것을 이용하고 있기 때문에, 환경에 부하를 주고 있다는 과제도 있다.
일본 특허공개공보 평성9-232200호에는 모듈(module)에 대응한 장치 상황과 커맨드(command)를 동일 화면상에 보기 쉽게 표시하여 보수를 실행하는 기술이 기재되어 있다. 또한, 일본 특허공개공보 제2003-598811호에는 조작 내용을 기술한 조작 파일이 작성되어, 이 조작 파일을 선택, 실행하는 것에 의해 자동운전을 실행하는 보수 방법이 기재되어 있다. 그러나, 전술한 과제에 대해서는 검토되고 있지 않다.
본 발명은 이러한 사정을 감안해서 이루어진 것으로서, 반도체 제조 장치를 점검함에 있어서, 작업자나 환경으로의 부담이 작고, 효율이 좋으며, 작업 미스도 잘 일어나지 않는 반도체 제조 시스템을 제공한다.
본 발명은 기기를 포함하는 반도체 제조 장치와, 상기 반도체 제조 장치에 포함되는 상기 기기를 제어하기 위한 제어 신호를 출력하는 제어부와, 상기 반도체 제조 장치를 점검하기 위한 조작 사항 및 확인 사항의 적어도 어느 하나를 포함하는 복수의 점검 사항으로 이루어지는 점검 항목을 복수 기억하는 기억부와, 상기 반도체 제조 장치를 점검하기 위한 프로그램이 저장된 프로그램 저장부와, 점검 조작의 지시 및 확인을 실행하기 위한 화면을 표시하는 표시부와, 상기 조작 사항의 조작 결과를 검출하는 검출부를 구비하고, 상기 프로그램은, 점검 항목을 지정하기 위한 화면을 표시하는 스텝과, 지정된 점검 항목에 대응하는 점검 사항을 기억부로부터 읽어내어 작업순으로 배열하고, 각 점검 사항이 자동 실행인지 수동 실행인지의 실행 속성을 부여하여 화면에 표시하는 스텝과, 점검 개시 지령을 접수하는 것에 의해, 차례로 배열된 점검 사항 중 1번째의 점검 사항을 기억부로부터 읽어내는 스텝을 실행하는 동시에, 이하의 ａ에서 d까지의 어느 스텝을, 다음의 점검 사항이 없어질 때까지 실행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 시스템이다.
a．읽어냄의 대상이 된 점검 사항이 조작 사항이고, 실행 속성이 자동 실행일 때에는 조작 대상 기기에 대해 해당 조작 사항에 대응하는 동작을 실행시키기 위한 명령을 출력하고, 다음의 점검 사항을 기억부로부터 읽어내는 스텝.
b．읽어냄의 대상이 된 점검 사항이 조작 사항이고, 실행 속성이 수동 실행일 때에는 사용자에 의해 해당 조작 사항이 실행된 것의 지시를 접수하는 화면을 표시하고, 해당 지시를 접수하는 것에 의해 다음의 점검 사항을 기억부로부터 읽어내는 스텝.
c. 읽어냄의 대상이 된 점검 사항이 확인 사항으로서, 실행 속성이 자동 실행일 때에는 검출부에 의한 조작 사항의 검출 결과에 의거하여 해당 확인 사항을 자동으로 실행하여 그 확인 결과를 해당 확인 사항과 대응지어 화면에 표시하는 스텝.
d. 읽어냄의 대상이 된 점검 사항이 확인 사항으로서, 실행 속성이 수동 실행일 때에는 확인 결과가 정상, 이상의 판별 입력을 접수하기 위한 화면을 표시하고, 입력된 확인 결과를 해당 확인 사항과 대응지어 화면에 표시하는 스텝.
본 발명에 의하면, 반도체 제조 장치의 점검을 실행함에 있어서, 점검 항목마다, 점검의 조작 사항 및/또는 확인 사항을 미리 정한 점검순(작업순)이 화면에 표시되는 동시에, 이들 각 점검 사항(조작 사항 및/또는 확인 사항)이 자동의 실행인지 수동의 실행인지의 구별 표시까지 실행된다. 그리고, 또한, 자동의 실행인 경우에는 점검 사항이 자동으로 실행되고, 수동의 실행인 경우에는 조작 사항을 실행한 것의 입력 혹은 확인 결과의 입력을 접수하는 화면이 표시되고, 그들 입력 후에 다음의 점검 사항이 기억부로부터 읽혀지고(마지막의 점검 사항이 아닌 경우), 이후 순차 점검 사항이 실행되어 간다. 즉, 화면이 점검 사항의 네비게이터와 같이 기능하고, 실행 속성이 자동인 점검 사항에 대해서는 자동으로 진행되므로, 조작 미스의 발생을 현저하게 방지할 수 있는 한편, 극히 효율적으로 점검 작업을 실시할 수 있다. 또한, 본 발명에는 지금까지 지면에 인쇄된 수순서에 의거하여 실시하고 있던 점검 작업을 전자화한다고 하는 측면도 있으며, 환경 부하의 저감에도 공헌할 수 있다.
또한, 상기 스텝 c에서, 확인 결과가 정상이고 또한 다음의 점검 사항이 있을 때에는 해당 다음의 점검 사항을 기억부로부터 읽어내는 동작을 포함하여도 좋다.
또한, 상기 스텝 d에서, 입력된 확인 결과가 정상이고 또한 다음의 점검 사항이 있을 때에는 해당 다음의 점검 사항을 기억부로부터 읽어내는 동작을 포함하여도 좋다.
또한, 상기 스텝 b에 있어서의 사용자에 의해 해당 조작 사항이 실행된 것의 지시를 접수하는 화면, 및 상기 스텝 d에 있어서의 확인 결과가 정상, 이상의 판별 입력을 접수하기 위한 화면은 팝업에 의해 표시되어도 좋다.
또한, 상기 스텝 c에 있어서, 확인 결과가 이상(異常)일 때에는 미리 정해진 다른 점검 항목에 대응하는 점검 사항을 기억부로부터 읽어내어 차례로 배열하고, 이후 마찬가지로 해서 각 스텝이 실행되어도 좋다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 따른 반도체 제조 시스템을 나타내는 모식도이다.
도 2는 상기 반도체 제조 시스템에 있어서 반도체 제조 장치를 점검하는 프로그램의 처리 순서를 나타내는 순서도이다.
도 3은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 4a는 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 4b는 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 5는 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 6은 점검 항목의 점검 대상예를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 7은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 8은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 9는 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 10은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 11은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 12는 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 13은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 14는 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 15는 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 16은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 17은 점검 항목의 점검 대상예를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 18은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 19는 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 20은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 21은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 22는 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 23은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 24는 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 25는 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 26은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 27은 상기 프로그램에 의해서 표시되는 화면의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 반도체 제조 시스템의 전체 개략도이다. 도 1중, ‘100’은 컴퓨터를 포함하는 제어부, ‘200’은 이 제어부(100)에 의해 제어되는 반도체 제조 장치이다. 제어부(100)는 점검용 프로그램(1)이 저장된 프로그램 저장부(11), 기억부(2), CPU(3) 및 표시부(4)를 구비하고 있다. 제어부(100)로서는 반도체 제조 장치 1대마다 마련되는 컴퓨터, 또는 복수의 반도체 제조 장치마다 마련되는 컨트롤러(controller)에 대한 상위 컴퓨터 등이 상당한다. 제어부(100)로부터는 신호 라인(101)을 거쳐서 반도체 제조 장치(200)의 기기를 제어하기 위한 제어 신호가 출력되고, 반도체 제조 장치(200)의 검출부(201)로부터는 신호 라인(101)을 거쳐서 각 부의 동작 상태의 검출 결과나 측정 결과 등이 제어부(100)로 보내진다.
반도체 제조 장치(200)로서는 반도체 웨이퍼에 대해 처리를 실행해서 반도체 디바이스 칩을 제조하기 위해 필요한 각종 장치를 들 수 있다. 예를 들면, 플랫 패널 디스플레이(flat panel display)용의 유리 기판에 대해 회로를 형성하는 장치도 포함된다. 구체적으로는 진공 처리 장치인 플라즈마 에칭 장치, 플라즈마 CVD 장치, 열 CVD 장치, 스퍼터(sputter) 장치, 또는 복수의 진공 챔버를 구비한 소위 멀티 챔버 시스템, 배치 로(batch furnace)인 종형 열 처리 장치, 레지스트 패턴을 형성하는 레지스트의 도포 장치, 현상 장치, 노광 장치 등이 있다.
검출부(201)로서는 반도체 제조 장치(200)의 각 기기의 상태를 검출하는 것이나, 물리량을 검출하는 것 등이 있다. 전자의 타입의 검출부로서는, 예를 들면, 밸브의 개폐 상태를 검출하는 검출부, 센서의 ON/OFF 상태를 검출하는 검출부, 기기로부터의 출력 데이터의 플래그의 유무를 검출하는 검출부 등을 들 수 있다. 후자의 타입의 검출부로서는, 예를 들면, 전압 검출부, 가스 유량 검출부, 온도 검출부, 압력 검출부 등을 들 수 있다. 이들 검출부(201)는 반도체 제조 장치(200)의 운전시에 이용되는 것이기 때문에, 반도체 제조 장치(200)의 출하전이나 메인터넌스(maintenance) 실행 후에, 검출부(201)가 정확하게 동작하고 있는지 점검할 필요가 있다.
본 실시예에서는 반도체 제조 장치(200)를 점검하기 위한 조작 사항 및 확인 사항을 모두 점검 사항으로 한다. 제어부(100)의 기억부(2)에는 복수의 점검 사항으로 이루어지는 점검 항목이 복수 기억되어 있다. 점검 항목은, 예를 들면, 도 9에 검사항목으로서 기재되어 있는 내용이며, 대상으로 되는 기기에 대해 소정의 동작을 확인하기 위한 점검 사항의 일군(一群)을 가리키는 것이다(도 10 참조). 그리고, 예를 들면, 이들 점검 항목은 또한 상위의 점검 종별에 의해 묶여져 있고, 예를 들면, 도 9의 검사 항목 군(群)은 도 8에 나타내는 점검 종별의 하나로 묶어져 있다. 즉, 이 경우에는 복수의 점검 종별 중에서 하나의 점검 종별이 선택되고, 해당 점검 종별에 포함되는 복수의 점검 항목으로부터 하나의 점검 항목이 선택되게 된다. 따라서, 점검 종별, 점검 항목, 점검 사항의 순으로 가랄져 나오는 트리(tree) 구조의 데이터가 기억부(2)에 기억된다. 이 데이터에 관해서는 도 2의 순서도의 설명에서 더욱 명백하게 설명한다.
표시부(4)는 CRT 표시 장치나 액정 패널 등으로 구성된다. 터치 패널, 마우스, 트랙 볼(track ball) 등의 입력 디바이스 기능을 갖는 화면을 거쳐서, 사용자가 조작, 판단을 하기 위한 것이다.
점검용 프로그램(1)은 기억부(2)내의 데이터와 함께 소프트웨어를 구성한다. 이 소프트웨어는 기억 매체로부터 제어부(100)에 인스톨된다. 점검용 프로그램(1)은 선택된 점검 항목에 포함되는 점검 사항(조작 사항, 확인 사항)을 화면에 표시하고, 사용자가 점검을 위한 네비게이션을 실행하기 위한 스텝 군을 포함한다.
다음에, 도 2 내지 도 5를 참조하면서, 점검용 프로그램(1)에 대해 설명한다. 또, 도 3 및 도 5에 있어서, 외부 틀의 부분으로 둘러싸인 영역이 표시부(4)의 화면을 나타내고 있다. 도 2에는 프로그램(1)에 짜여져 있는 스텝과 프로그램(1)을 실행하는 것에 의한 결과의 흐름이 혼재되어 기재되어 있다. 현재, 이 프로그램(1)이 기동되고, 점검 종별의 일람 표시 화면으로부터 임의의 점검 종별이 선택되어, 해당 점검 종별에 포함되는 점검 항목의 화면(예를 들면, 도 9 참조)이 표시되어 있는 것으로 한다(스텝 S1). 사용자가 화면에 기초하여 임의의 점검 항목을 선택하면(스텝 S2), 이 점검 항목에 포함되는 점검 사항이 기억부(2)로부터 읽혀져, 예를 들면, 도 3에 나타내는 바와 같이 차례로 배열한 상태에서 화면에 표시된다(스텝 S3). 도 3에서는 점검 사항을 추상적으로 표시하고 있고, A는 조작 사항, B는 확인 사항이며, A, B의 다음에 붙여진 산용(算用) 숫자가 작업순서을 나타내고 있다.
'점검 항목의 실시'라고 하는 것은 임의의 조작(조작 사항)을 실행하고, 이 조작의 결과를 확인(확인 사항)하고, 다음의 조작을 실행하고, 그 조작의 결과를 확인하고, ···하는 등의 방식으로 작업을 차례로 실행해 가는 것에 대응한다.
예를 들면, 도 3의 화면에 표시되어 있는 내용에서는 A1과 같은 조작을 실행하고, 다음에 이 조작 사항 A1에 있어서의 B1과 같은 확인을 실행하고, ···와 같은 식이다. 해당 화면에는 또한, 각 점검 사항마다 「자동/수동」의 구별을 하기 위한 실행 속성이 표시되어 있다. 실행 속성은 조작 사항의 경우, 제어부(100)로부터의 명령에 의해 자동으로 실행되는 것이거나, 또는 사용자에 의해 수동으로 실행되는 것과 같은 것에 대한 속성이다. 또한, 확인 사항이면, 검출부(201)로부터의 검출 결과에 의거하여 제어부(100)가 자동으로 정상, 이상을 판별하는 것이거나, 또는 사용자가 시각, 청각, 후각 등의 감각기능을 사용해서 판별하는 것과 같은 것에 대한 속성이다. 즉, 기억부(2)에서의 점검 사항의 데이터는 각 점검 사항과 실행 속성이 대응되어 기억되어 있다.
또한, 이 예에서는 도 3에 나타내는 바와 같이, 각 점검 사항의 판정 결과를 표시하는 칸이 준비되어 있다. 이 예에서는 점검 사항인 조작 사항과 확인 사항이 칸을 나누어 표시되어 있기 때문에, 판정 결과가 표시되는 것은 확인 사항(B의 사항)의 칸뿐이다.
계속해서, 스텝 S3 이후를 설명한다. 이 예에서는 일괄 실행 모드와 이상 스킵(skip) 모드가 옵션으로서 준비되어 있다. 이들 모드의 선택은, 예를 들면, 스텝 S1에서의 점검 항목의 선택 화면에서 설정할 수 있도록 되어 있지만, 여기서는 옵션인 이들 모드를 선택하지 않은 경우, 즉 기본적인 흐름인 통상의 모드에 의해 점검을 실행하는 경우에 대해 설명한다.
도 3의 화면이 표시되고, 사용자가 점검 개시 지령을 실행하기 위한 「실행」의 소프트 스위치를 누르면, 선택되어 있는 점검 항목에 포함되는 점검 사항 중의 첫 번째의 점검 사항이 읽혀진다(스텝 S4 및 스텝 S5).
이 예에서는 첫 번째의 점검 사항 A1은 실행 속성이 자동인 조작 사항이다. 따라서, 이 조작 사항에 따라, 제어부(100)로부터 조작 대상으로 되는 반도체 제조 장치(200)내의 기기에 대해 조작을 위한 명령이 출력된다. 예를 들면, 제어부(100)와 해당 기기의 사이에 컨트롤러가 개재하는 경우에는 이 컨트롤러가 해당 명령을 수취하여, 해당 기기의, 예를 들면, 액츄에이터(actuator)에 대해 동작 신호를 출력한다. 이에 따라, 조작 사항의 조작, 예를 들면, 밸브를 열거나, 전원을 오프(OFF)로 하는 것과 같은 조작이 실행된다(스텝 S6 및 스텝 S7).
스텝 S21에서 이 자동 조작이 「NG」가 되면, 즉 자동으로 조작을 실행할 수 없었던 경우에는 해당 점검 사항 A1의 대응하는 판정의 칸에 이상(異常)의 표시가 이루어지고(스텝 S13), 점검 항목의 실시(점검)가 종료한다.
한편, 스텝 S21에서 「YES」로 된 경우, 즉 정상적으로 자동 조작이 실행된 경우에는 기억부(2)로부터 다음의 점검 사항이 읽혀진다(스텝 S8 및 스텝 S9). 다음의 점검 사항 B1은 실행 속성이 수동 실행인 확인 사항이기 때문에, 스텝 S10에서 스텝 S11로 진행하고, 도 3의 화면내에 팝업(pop-up) 표시가 이루어진다. 도 4a는 팝업 표시의 일예를 나타내고 있다. 여기서는 확인 사항 B1의 내용, 예를 들면 「경보가 울렸는지」와 같은 내용, 및 확인 결과(판정 결과)가 정상, 이상의 판별을 입력하기 위한 대기 화면의 표시가 이루어진다. 이 예에서는 「OK」및 「NG」의 소프트 스위치가 표시된다.
여기서, 사용자가 이상(異常)으로 판단한 경우(예를 들,면 「경보가 울렸는지」라는 확인 사항에 대해 경보가 울리지 않았다고 판단한 경우)에는 「NG」가 눌러지기 때문에, 해당 점검 사항 B1의 대응하는 판정의 칸에 '이상'의 표시가 이루어지고(스텝 S13), 점검 항목의 점검이 종료한다. 이에 대해, 사용자가 정상으로 판단한 경우에는 「OK」가 눌러지기 때문에, 상기 판정의 칸에 '정상'의 표시가 이루어지고(스텝 S14 및 스텝 S15), 스텝 S8 및 스텝 S9로 진행하여, 다음의 점검 사항 A2가 읽혀진다. 또, 도 2의 흐름에 있어서, 점선의 틀은 사용자가 제어부(100)를 경유하지 않고 직접 조작하는 동작이나 감각 기능에 의해 직접 확인하는 동작이 개입하는 것을 나타내고 있다.
다음의 점검 사항 A2가 마찬가지로 종료되고 다음의 점검 사항 B2가 읽혀지면, 이 경우에는 실행 속성이 자동 실행이므로, 스텝 S10에서 스텝 S16으로 진행하고, 제어부(100)가 검출부(201)의 검출 결과에 의거하여 자동으로 확인 결과가 정상인지 이상인지의 판정을 실행한다. 예를 들면, 검출 결과가 가스의 유량값이면, 검출부(201)에서 검출된 가스 유량과 기억부(2)로부터 읽혀진 임계값이 비교되어 판정이 실행된다(스텝 S17). 제어부(100)에 의한 확인 결과가 '이상'이면, 해당 조작 사항 B2에 대응하는 판정의 칸에 '이상' 표시가 이루어지고(스텝 S13) 점검 항목의 점검이 종료한다. 확인 결과가 정상이면, 스텝 S15를 거쳐서 후속의 스텝이 진행된다.
그리고, 점검 사항 A3이 읽혀지면, 실행 속성이 수동 실행이므로, 스텝 S18로 진행하여 팝업 표시가 이루어진다. 도 4b는 이 경우의 팝업 표시의 일예를 나타내고 있다. A3의 기재의 방법으로서는 이 예에서는 「○○의 조작을 실행하는 것」의 표시가 아닌, 「○○의 조작을 실행했는가」라는 표시로 되어 있다. 이에 따라, 조작이 실행된 것의 확실한 확인을 요구하도록 하고 있다. 이 때, 예를 들면, 조작 사항을 실시할 수 없는 경우에는 팝업 표시의 「NG」가 눌러지기 때문에, 점검 사항의 작업을 종료시킬 수 있다. 그 경우에는 스텝 S22에서 「YES」로 되고, 해당 점검 사항 A3의 대응하는 판정의 칸에 '이상'의 표시가 이루어진다(스텝 S13). 조작이 정상으로 종료해서 이 팝업 표시의 「OK」가 눌리면, 스텝 S19에서 「YES」로 되어 스텝 S15로 진행하여 상기 판정의 칸에 '정상'의 표시가 이루어진다. 이와 같이 해서 점검 항목에 포함되는 점검 사항 중 마지막의 점검 사항(도 3의 예에서는 점검 사항 B3)이 종료하면, 스텝 S8에서 「YES」로 되고, 해당 점검 작업이 종료한다.
또한, 옵션 모드에 대한 설명을 부가한다. 옵션 모드에 관계된 스텝의 부호는 편의상 「K」를 이용하는 것으로 한다. 일괄 실행 모드가 선택되어 있는 경우에는 상기 마지막의 점검 사항 B3의 확인 결과가 정상으로 판정된 후, 스텝 K1에서 「YES」로 되므로, 스텝 K2로 진행한다. 그리고, 다음의 점검 항목이 있는 경우에는 해당 점검 항목에 포함되는 점검 사항이 기억부(2)로부터 읽혀지고, 이미 설명한 바와 같이 차례로 배열한 상태에서 화면에 표시되고(스텝 K3), 이후 앞의 점검 항목의 경우와 마찬가지로 해서 스텝 S5로 진행하여 점검 작업이 진행된다. 스텝 K2에 있어서 다음의 점검 항목이 없는 경우에는 점검 작업이 종료한다. 스텝 K2에 있어서의 다음의 점검 항목은 사용자가 선택한 점검 종별에 포함되는 점검 항목 군중의 처리가 종료한 점검 항목의 다음의 점검 항목을 가리킨다.
또한, 일괄 실행 모드의 실행시에, 옵션 모드로서 이상 스킵 모드를 선택한 경우에는 조작 사항 또는 확인 사항의 판정 결과가 이상으로 되어 스텝 S13에서 이상 표시가 된 후, 해당 점검 항목의 작업을 종료하고, 스텝 K1, 스텝 K2, 스텝 K3으로 진행한다(스텝 K4). 즉, 상기 일괄 실행 모드에서 설명한 바와 같이, 다음의 점검 항목에 포함되는 점검 사항이 화면에 표시되어 스텝 S5로 진행하여 점검 작업이 진행된다. 이상 스킵 모드의 선택은, 예를 들면, 「일괄 실행」을 누른 후에 표시되는 화면에 의해 실행하도록 해도 좋고, 「일괄 실행」을 선택하는 화면에 「이상 스킵」의 소프트 스위치를 함께 준비하도록 해도 좋다. 또한, 기억부(2)에 이상 스킵 모드의 유효 또는 무효를 기억시켜 두고, 「일괄 실행」실행시에 그 기억 내용을 참조하도록 해도 좋다.
여기서, 점검 사항을 작업순으로 배열해서 표시하는 화면으로서는 도 3의 예에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도 5에 나타내는 바와 같이, 조작 사항과 이 조작 사항에 대한 확인 사항을 동일한 칸에 표시하도록 해도 좋다. 이 예에서는 각각 실행 속성이 자동인 조작 사항 A4, B4를 동일한 칸에 표시하고, 또한, 각각 실행 속성이 자동인 조작 사항 A6, B6을 동일한 칸에 표시하고 있다. 그리고, 조작 사항 A6의 확인 사항으로서 B6 이외에, 실행 속성이 「수동 실행」인 확인 사항 B'6이 있고, 이 확인 사항 B'6이 다음의 칸에 표시되어 있다.
상술한 실시형태에 의하면, 점검 항목마다 점검의 조작 사항과 확인 사항을 미리 정한 순으로 화면에 표시시키는 동시에, 이들 점검 사항이 자동의 실행인지 수동의 실행인지의 구별 표시도 실행하고 있다(예를 들면 도 3 참조). 그리고, 자동의 실행인 경우에는 점검 사항이 자동으로 실행되고, 수동의 실행인 경우에는 조작 사항을 실행한 것의 입력 혹은 확인 결과의 입력을 접수하는 화면이 팝업에 의해 표시되고, 그 입력을 통해 다음의 점검 사항이 기억부로부터 읽혀지고, 이후 순차적으로 점검이 실행된다. 따라서, 화면이 점검의 네비게이터(navigator)로서 기능하고, 자동 실행과 수동 실행의 2종류의 실행 속성의 점검 사항이 혼재하는 경우에 있어서도, 정확한 차례로 작업이 진행한다. 따라서, 조작 미스를 방지할 수 있고, 효율이 좋은 점검 작업을 실행할 수 있다. 또한, 종이에 기재된 조작 수순에 따라 화면 조작을 실행하는 경우에 비해, 대폭적인 시간 단축을 도모할 수 있다.
수동 실행인 경우에 있어서, 상술한 바와 같이 팝업 표시를 하는 것은 조작 미스를 확실하게 방지하는 점에서 바람직하다. 그러나, 팝업 표시에 한정되지 않고, 예를 들면, 도 3의 화면에 있어서, 작업이 끝난 점검 사항에 대해 미작업의 점검 사항과는 다른 색 표시를 실행하는 동시에, 각 점검 사항의 칸에 대응시켜 「OK」및 「NG」의 소프트 스위치(버튼)를 배열해서 표시하여, 사용자의 지시의 대기 화면을 겸용하도록 해도 좋다.
또한, 이미 기술한 바와 같이, 일괄 모드나 이상 스킵 모드를 준비하면, 상황에 따른 유연한 처리를 실행할 수 있다. 또, 여기서 말하는 점검 작업은, 예를 들면, 사용자에 의한 메인터넌스나, 제조자에 의한 출하 검사 등에서 실행되는 작업이다.
다음에, 점검 항목의 구체예에 대해 설명한다. 이 예는 진공 반송실과 해당 진공 반송실에 기밀하게 접속된 복수의 처리 용기를 구비한 반도체 제조 장치의 각 기기, 예를 들면, 각각의 처리용기에 마련된 밸브의 액츄에이터 등을 동작시키기 위해 필요한 회로가 탑재된 프린트 기판에 대해, 해당 기판에 공급하는 전원 전압을 제로로 하는 것에 의해, 공급 전압 저하의 이상 검출이 실행되는지 아닌지를 점검하기 위한 점검 항목 「아웃풋 파워 온(output power ON)」이다.
도 6은 해당 예의 점검 항목의 점검 대상을 개략적으로 나타낸 구성 도이다. ‘301’은 프린트 기판이며, 이 예에서는 3개 나타나 있다. ‘303’은 직류 전원부이며, 이 직류 전원부(303)로부터의 전압이, 각각의 전압 조정부(302)에서 소정의 전압값으로 조정되어, 각 프린트 기판(301)에 공급되도록 구성되어 있다. ‘304’는 직류 전압의 공급 차단을 실행하는 스위치부이다. 또한, ‘305’는 알람 발생부이며, 예를 들면, 제어부(100)로부터 신호 라인(101)을 거쳐서 송신되는 제어 신호에 의해 경보가 울리도록 구성되어 있다. 도 6중, ‘306’은 프린트 기판(301)에 공급되는 전압의 전압 저하를 검출하기 위한 전압 검출부이며, 이 전압 검출부(306)의 전압 저하의 검출 결과가 신호 라인(102)을 거쳐서 제어부(100)에 보내지도록 구성되어 있다. 제어부(100)는 전압 저하의 검출 결과를 수신하면, 신호 라인(101)을 거쳐서 알람 발생부(305)에 대해 경보가 울리도록 제어 신호를 송신하도록 구성되어 있다.
도 7 내지 도 16은 점검용 프로그램(소프트웨어)을 기동한 후의 화면 군의 일부를 나타내고 있다. 이들 도면에 있어서의 부호 「4」로 나타내는 외부 틀내가 화면의 표시 내용을 나타내고 있다. 화면으로서는, 이 예에서는 터치 패널상에 표시된 소프트 스위치(버튼)를 눌러 조작하는 것으로서 설명하고 있다. 또한, 마우스에 의해 스위치부를 클릭해서 조작을 실행하는 것을 채용해도 좋다. 점검 항목 「아웃풋 파워 온」의 실행에 이르기까지, 우선, 도 7에 나타내는 화면에 의거하여, 좌측의 「메인터넌스」 스위치에 계속해서, 우측의 「PM1 메인터넌스 네비게이션(maintenance navigator)」 스위치가 눌러지고(선택되고), 도 8의 화면이 표시된다. 다음에, 이 화면에 있어서 「인터 록 체크(interlock check)」가 눌러지면, 도 9에 나타내는 바와 같이, 「인터 록 체크」에 포함되는 점검 항목(검사 항목)을 선택하는 화면이 표시된다. 이 화면에서, 예를 들면, 점검 항목의 「1」이 선택되어 「상세」가 눌러지는 것으로 한다. 즉, 이 예에서는 도 7 내지 도 9의 화면이, 점검 항목의 선택 화면 표시에 상당한다. 여기서, 「PM1」은 기술한 복수의 처리용기 중의 하나를 나타내고 있다. 또한, 도 7의 화면에 있어서, 「로그(log)」가 눌러지는 것에 의해, 예를 들면, 과거에 실행된 점검 작업의 이력이나 그 결과도 표시 가능하다. 또한, 도 9 및 도 10에 있어서는 화면을 하측으로 스크롤시키는 것에 의해, 이들 화면에 표시되어 있는 내용에 계속되는 점검 항목이나 점검 사항(검사 내용)을 표시 가능하다. 또한, 도 9의 화면에서, 점검 항목의 번호를 개별적으로 선택하지 않고 「상세」가 눌러진 경우에는 「1」의 상세 화면이 표시되도록 되어 있다.
계속해서, 해당 점검 항목의 실시의 수순에 대해, 앞의 도 2를 참조하면서 설명한다. 현재, 도 9의 화면에 있어서 「상세」가 눌러지는 것에 의해, 점검 항목 「아웃풋 파워 온」이 선택된 것으로 하면, 스텝 S1에서 스텝 S2의 「YES」까지 진행한다. 그리고, 해당 점검 항목의 내용이 기억부(2)로부터 읽혀지고, 도 10에 나타내는 바와 같이, 점검을 위한 조작 사항과 확인해야 할 확인 사항이 실행 속성을 부여받아 차례로 배열된 상태에서 표시부(4)의 화면에 표시된다(스텝 S3). 도 10에 나타내는 좌측의 번호는 조작 사항, 확인 사항의 순번을 나타내기 위한 번호이며, 실행 속성은 실제로는 각 사항 칸의 좌측에 구분하는 등해서 나타나지만, 다른 방법, 예를 들면, 각 사항의 문자의 색을 다르게 하는 등해서 표시되어도 좋다. 또, 이미 설명한 바와 같이, 각 번호가 붙여진 칸의 조작 사항 혹은 확인 사항(검사 내용)은 모두 점검 사항에 상당한다. 이 예에서는 6개의 점검 사항이 차례로 배열되어 표시되어 있다.
다음에, 우선, 도 10의 화면에서, 소프트 스위치 「실행」이 눌러지면, 스텝 S4에서 「YES」로 되어, 기억부(2)로부터 최초의 점검 사항이 읽혀진다(스텝 S5). 1번째의 점검 사항은 「이 검사 항목은 모듈이 기동하고 있는지, 펌프는 가동하기 전인지를 확인하는 것.」이고, 그 실행 속성은 수동 실행(사용자에 의한 확인 사항을 수반함)이기 때문에, 이 경우에는 스텝 S10에서 「NO」로 되고, 도 11에 나타내는 바와 같이 해당 확인 사항의 팝업 화면이 표시된다(스텝 S11). 이 팝업 화면에 표시되는 바와 같이, 모듈(처리 용기)이 기동되고 있는지, 펌프가 가동하기 전인지가 사용자에 의해서 확인되어 「OK」가 눌러지면, 스텝 S12 및 스텝 S14에 있어서 각각 「NO」 및 「YES」로 되고, 도 10의 점검 사항의 우측의 「판정」칸에 「정상」 종료 표시가 나타난다(스텝 S15). 이 도 10에 있어서, 점검 사항의 우측의 「확인값」칸은 자동으로 확인 사항을 실행했을 때에 검출값이 표시되는 영역이며, 이 예에서는 확인값은 표시되지 않는다. 또한, 점검 사항이 수동의 조작 사항을 포함하는 확인 사항인 경우에는 기술한 스텝 S10에 이르기 전에, 도 2에 있어서의 스텝 S6, 스텝 S18, 스텝 S19, 스텝 S15, 스텝 S8 및 스텝 S9를 경유하고 있다고 할 수 있지만, 설명의 간략화를 위해, 이들 스텝에 대한 설명은 생략하고 있다. 이하의 설명에 있어서도 마찬가지이다.
또한, 도 11의 팝업 표시에 있어서, 「NG」가 눌러진 경우에는 스텝 S12(또는 스텝 S22)에 있어서 「YES」로 되고, 도 10의 점검 사항의 우측의 「판정」칸에 「이상」 종료 표시가 나타나게 된다(스텝 S13). 또한, 「중지」가 눌러진 경우에는 도 2에서는 설명을 생략하고 있지만, 이 점검 항목에 대한 점검이 중지되어, 도 10의 「판정」칸에 「중지」가 표시되고, 원래의 도 10의 화면으로 되돌아오게 된다.
그리고, 기술한 도 10에 나타낸 바와 같이, 1번째의 점검 사항의 다음에도 점검 사항이 계속되므로, 스텝 S8에서 「NO」로 되어, 스텝 S9로 진행하고, 2번째의 점검 사항이 읽혀진다. 이 2번째의 점검 사항은 자동의 조작 사항인 「아웃풋 파워 온에 0을 설정한다.」이기 때문에, 스텝 S6에 있어서 「YES」로 되고, 이 조작 사항이 자동으로 실행된다(스텝 S7). 구체적으로는 제어부(100)로부터 신호 라인(101)을 거쳐서 송신되는 제어 신호에 의해, 스위치부(304)가 OFF로 설정되어, 기술한 프린트 기판(301)에의 공급 전압이 제로로 설정된다. 또한, 이 조작 사항의 실행 중에는, 도 12에 나타내는 「실행중입니다. 잠시 기다려 주십시오.」의 팝업 화면이 표시된다. 프린트 기판(301)에 공급되는 전압의 저하는 기술한 전압 검출부(306)에 의해 검출되어, 제어부(100)에 전달된다. 이 조작 사항을 정상적으로 종료할 수 없는 경우에는 스텝 S21에서 「NO」로 되고, 도 10의 점검 사항의 우측의 「판정」칸에 「이상」 종료 표시가 나타난다(스텝 S13). 또한, 도 12의 팝업 화면에는 기술한 예와 동일한 중지 처리가 실행되는 「중지」버튼이 표시되어 있다. 여기서, 수동의 조작 사항인 경우에는 스텝 S6에서 스텝 S18로 진행하고, 그 후 스텝 S19가 실행되지만, 이 실시형태에서는 스텝 S6에서 「NO」가 선택되는 경우가 없는 것으로 하고, 그 설명을 생략한다.
다음에, 기술한 자동의 조작 사항이 정상적으로 종료해서 스텝 S21에서 「YES」로 된 경우에는 2번째의 점검 사항의 다음에도 점검 사항이 계속되므로, 스텝 S8에서 「NO」로 되고, 스텝 S9에서 3번째의 점검 사항인 「경보가 울리는 것.」이 읽혀진다. 이 점검 사항은 기술한 1번째의 점검 사항과 동일한 수동의 확인 사항이므로, 스텝 S10에서 「NO」로 되고, 도 13에 나타내는 팝업 화면이 표시된다. 사용자에 의해, 실제로 알람 발생부(305)에서 경보가 울리고 있는지가 확인되어, 팝업 화면의 「OK」가 눌러지면, 스텝 S12 및 스텝 S14에서 각각 「NO」 및 「YES」로 되고, 도 10의 해당하는 점검 사항의 우측에 정상 종료 표시가 나타난다(스텝 S15).
계속해서, 3번째의 점검 사항의 다음에도 점검 사항이 계속되므로, 스텝 S8에서 「NO」로 되고, 4번째의 점검 사항이 읽혀진다(스텝 S9). 이 점검 사항 「GAS printed circuit board의 “전압 저하를 검출했습니다”(+24V)가 표시되는 것.」은 자동의 확인 사항이므로, 스텝 S10에서 「YES」로 되어, 도 14에 나타내는 팝업 화면이 표시되어 확인이 자동으로 실행된다(스텝 S16). 즉, 통상이면 24V의 전압이 공급되어 있는 부위에서, 예를 들면, 도 6중 좌측의 프린트 기판(301)에 있어서 스위치부(304)가 OFF로 설정되는 것에 의해서 전압의 저하가 발생한다. 이 전압의 저하는 전압 검출부(306)로부터 신호 라인(102)을 거쳐서 제어부(100)에 보내진다. 이와 같이 해서 전압 저하한 것이, 제어부(100)에 의해 자동으로 검출된다. 이 점검 사항이 종료하면, 도 15에 나타내는 바와 같이, 화면에는 「GAS printed circuit board의 전압 저하를 검출하였습니다.」의 팝업 화면이 표시된다. 이 확인 사항은 자동이기 때문에, 처리가 정상적인 경우에는 도 15의 팝업 화면은 자동으로 꺼지고(스텝 S15), 계속되는 처리로 진행한다.
그리고, 도 10에 나타내는 바와 같이, 다음의 5번째의 점검 사항이 있으므로, 스텝 S8에서 「NO」로 된다. 여기서, 5번째의 점검 사항 「GAS printed circuit board의” 전압 저하를 검출했습니다” (+5V)가 표시되는 것.」은 자동의 확인 사항이기 때문에, 4번째의 점검 사항과 마찬가지로 스텝 S9, 스텝 S10 및 스텝 S16으로 진행하고, 자동으로 확인이 실행된다. 즉, 통상이면 5V의 전압이 공급되어 있는 부위, 예를 들면, 도 6중 중앙의 프린트 기판(301)에 있어서, 스위치부(304)가 OFF로 설정되는 것에 의해서 전압의 저하된 것이 자동으로 검출된다. 이 확인이 정상적인 경우에는(스텝 S17) 스텝 S15에서 스텝 S8로 진행한다. 이 확인 사항에 있어서도, 기술한 도 15와 마찬가지의 팝업 화면이 표시되어 자동으로 꺼지게 된다.
또한, 5번째의 점검 사항에 계속해서 6번째의 점검 사항 「GAS printed circuit board의” 전압저하를 검출했습니다” (+15V)가 표시되는 것.」이 있고, 해당 6번째의 점검 사항도 4번째 및 5번째의 점검 사항과 마찬가지로 자동의 확인 사항이다. 그 때문에, 스텝 S8, 스텝 S9 및 스텝 S10을 거쳐서 스텝 S16에서 자동으로 확인이 실행된다. 즉, 통상이면 15V의 전압이 공급되어 있는 부위, 예를 들면, 도 6중 우측의 프린트 기판(301)에 있어서, 스위치부(304)가 OFF로 설정되는 것에 의해서 전압의 저하된 것이 자동으로 검출된다. 그 후, 스텝 S17 및 스텝 S15를 경유해서 스텝 S8에 이른다. 6번째의 점검 사항이 종료하면, 스텝 S8에서 「YES」로 되고, 이 예에서는 일괄 모드가 아니므로, 스텝 K1에서 「NO」로 되고, 이 「아웃풋 파워 온」의 점검 항목이 종료한다. 그리고, 도 9의 1번째의 점검 항목인 「아웃풋 파워 온」의 우측의 「 판정」칸에 「정상」이 표시된다.
여기서, 일괄 모드에 대해 설명한다. 기술한 도 9의 화면에서 「상세」가 눌러지지 않고 「일괄 실행」이 눌러지면, 도 16의 화면이 표시된다. 그리고, 「전부의 점검 항목을 선택」이 선택되어 「확정」이 눌러지면, 이미 상세하게 기술한 점검 종별 「인터 록 체크」중의 1번째의 「아웃풋 파워 온」의 점검 항목에 계속해서, 2번째의 점검 항목인 「외부 인터 록 레벨 1(고객 신호 접속시)」이 실행되고, 그 후, 또한 3번째의 점검 항목 및 도 8의 「인터 록 체크」에 포함되는 계속되는 점검 항목이 순차 실행된다. 즉, 「확정」이 눌러진 경우에는 기술한 스텝 K1에 있어서 「YES」로 되고, 다음의 점검 항목이 있는지 없는지가 판별된다(스텝 K2). 그리고, 스텝 K2에서 「YES」가 되면, 기술한 1번째의 점검 항목과 마찬가지로, 2번째의 점검 항목의 「외부 인터 록 레벨 1(고객 신호 접속시)」에 있어서의 점검을 위한 조작 사항과 확인해야 할 확인 사항이, 실행 속성을 부여받아 차례로 배열된 상태에서 표시부(4)의 화면에 표시되고(스텝 K3), 기술한 스텝 S5로부터의 점검이 진행한다. 그 후, 점검 종별 「인터 록 체크」에 포함되는 점검 항목에 대한 점검이 모두 종료하면, 스텝 K2에 있어서 「NO」로 되고, 점검이 종료한다.
이 일괄 모드에 있어서는 도 9의 화면에서 임의의 점검 항목의 번호, 예를 들면, 「6」이 선택되고, 계속해서 도 16의 화면에 있어서 「선택 항목의 실행」이 선택되어 「확정」이 눌러지면, 이 「6」번째의 점검 항목에서 최종 항목까지의 점검이 개시된다.
또한, 스킵 모드에 대해 설명하면, 도 16의 화면에 있어서 「이상 종료 스킵」이 선택되어 「확정」이 눌러지면, 소정의 확인 사항에 있어서 기술한 스텝 S13의 이상 종료 표시가 이루어진 경우에는 스텝 K4에서 「YES」로 되고, 또 스텝 K1에서 「YES」로 된다. 그리고, 계속되는 점검 항목이 있는 경우에는 스텝 K2에서 「YES」로 되어, 해당 확인 사항이 포함되는 점검 항목을 스킵해서 계속되는 점검 항목의 처리가 실행되게 된다. 또한, 스킵 모드에 있어서는 복수의 점검 항목을 차례로 점검함에 있어서, 「정상 종료 스킵」이 선택되고 「확정」이 눌러지는 것에 의해, 점검의 도중에 이미 정상적으로 종료되어 있는 점검 항목이 있는 경우에는 해당 점검 항목이 스킵되어 그 후의 점검 항목의 점검이 실행된다.
여기서, 기술한 도 9의 화면상에 마련된 소프트 스위치에 대해 설명하면, 「CSV 보존」은 점검 항목의 내용이나 검사 종료 시간이나 판정을 포함하는 점검 결과를 다른 소프트웨어에서 판독할 수 있는 형식으로 기록하기 위한 스위치이며, 「판정 클리어」는 실시한 점검 결과를 클리어하기 위한 것이고, 장치의 개조등이 있어서 처음부터 점검을 다시 할 필요가 생긴 경우 등에 사용되는 것이다.
다음에, 점검 항목의 다른 구체예에 대해 설명한다. 이 예는 도 17에 나타내는 바와 같이, 프로세스 챔버(처리 용기)에 일단측이 접속된 가스 라인(gas line)에 대해, 가스 라인을 흐르는 가스 유량과, 가스 라인의 타단측에 접속된 가스 봄베(gas cylinder)의 레귤레이터(regulator)의 개방도와, 이 가스 라인에 개재된 밸브의 개폐가 정확하게 대응하고 있는지 아닌지를 점검하기 위한 점검 항목 「가스 라인 밸브 동작」이다. 도 17중, ‘400’은 프로세스 챔버, ‘401’은 가스 봄베, ‘402’는 레귤레이터, ‘403’은 레귤레이터(402)에 마련된 가스 유량 미터, ‘404’는 검출부와 제어부를 겸하는 매스플로 컨트롤러(mass flow controller), ‘405’ 및 ‘406’은 밸브, ‘407’은 가스 라인이다.
계속해서, 이 점검 항목에 있어서 표시되는 화면 및 점검 사항에 대해 설명한다. 우선, 도 18에 나타내는 바와 같이, 기술한 도 8의 화면에서와 마찬가지로 점검 종별을 선택하기 위해 「I/O 체크」가 눌러지면, 도 19에 나타내는 바와 같이, 이 「Ｉ/O체크」에 포함되는 점검 항목의 일람이 표시된다(스텝 S1). 이 예에서는 번호 「1」부터 시작하는 점검 항목 중, 「41-2」의 「가스 라인4 밸브 동작[옵션](레귤레이터 있음)」의 점검 항목이 실행되므로, 도 19에서 화면의 일부를 하측으로 스크롤시킨 상태를 나타내고 있다. 또한, 「가스 라인4」는 프로세스 챔버(400)에 복수 마련된 가스 라인의 하나, 이 예에서는 가스 라인(407)을 나타내고 있다.
도 19의 화면에 있어서, 점검 항목 「41-2」가 선택되어 「상세」가 눌러지면, 스텝 S2에서 「YES」로 되고, 해당 점검 항목에 포함되는 점검 사항이 도 20에 나타내는 바와 같이 표시된다. 이 화면에는 기술한 바와 같이, 점검을 위한 조작 사항과 확인해야 할 확인 사항이, 실행 속성을 부여받아 차례로 배열된 상태에서 표시된다(스텝 S3). 도 20의 화면에 있어서 「실행」이 눌러지면, 스텝 S4에서 「YES」로 되고, 기억부(2)로부터 최초의 점검 사항이 읽혀진다(스텝 S5). 1번째의 점검 사항은 「가스 라인4에 자동으로 최대 유량을 10초간 흘린다.」라는 내용의 자동의 조작 사항이기 때문에, 스텝 S6에 있어서 「YES」로 되고, 화면에는 도 21에 나타내는 「실행중입니다. 잠시 기다려 주십시오.」의 팝업 화면이 표시되어, 스텝 S7에 있어서 자동으로 이 조작이 실행된다. 구체적으로는 밸브(405, 406)가 전부 열림으로 되어, 매스플로 컨트롤러(404)에 최대 유량을 흘리도록 제어부(100)로부터 제어 신호가 전달된다. 이 때, 자동 조작이 정상적으로 실행되지 않은 경우에는 스텝 S21에서 「NO」로 되고, 스텝 S13으로 진행하여 이 조작 사항에 대응하는 판정 칸에 이상 표시가 된다.
도 21에 있어서 「OK」가 눌러지거나, 또는 이 팝업 화면이 자동으로 꺼지면, 스텝 S21에서 「YES」로 되고, 이 점검 사항의 다음에도 점검 사항이 계속되므로, 스텝 S8에서 「NO」로 된다. 그리고, 스텝 S9에서 2번째의 점검 사항이 읽혀진다. 또한, 이 예에서는 점검 사항이 10까지 있기 때문에, 9번째의 점검 사항까지는 이 스텝 S8에 있어서 「NO」로 되지만, 상세한 설명은 생략한다.
2번째의 점검 사항은 「가스 라인4에 설정 유량으로 가스가 흐른 것을 확인한다.」의 자동의 확인 사항이기 때문에, 스텝 S10에서 「YES」로 된다. 이 때, 기술한 매스플로 컨트롤러(404)에서 판독된 가스 유량이, 신호 라인(101)을 거쳐서 제어부(100)에 전달되고, 제어부(100)는 이 값이 설정 유량(최대 유량)인지 확인한다(스텝16). 이 판독값이 설정 유량인 경우에, 스텝 S17에서 「YES」로 되고, 도 20의 「판정」칸에 「정상」 종료 표시가 나타난다(스텝 S15). 또한, 이 때 판독된 가스 유량이 점검 사항의 우측의 「확인값」의 칸에 표시된다. 한편, 매스플로 컨트롤러(404)에 의한 판독값이 설정 유량이 아니었던 경우에는 스텝 S17에서 「NO」로 되고, 이 점검 사항에 대응하는 도 20의 「판정」칸에 「이상」종료 표시가 이루어진다(스텝 S13).
계속해서, 스텝 S9에서 3번째의 점검 사항으로서 자동의 조작 사항인 「1의 상태를 유지한다.」가 읽혀져, 스텝 S6에서 「YES」로 되고, 스텝 S7에서 상기 가스 유량(밸브(405, 406)의 상태 및 매스플로 컨트롤러(404)의 설정 유량)이 유지된다. 그리고, 스텝 S21을 거쳐서 스텝 S9로 진행하고, 4번째의 점검 사항이 읽혀진다. 이 4번째의 점검 사항은 「레귤레이터에 의해 압력의 조정을 할 수 있고, 표시기에 압력이 표시되는 것을 확인한다. 」의 수동의 조작 사항을 포함하는 확인 사항이기 때문에, 스텝 S10에서 「NO」로 되고, 화면에는 도 22의 팝업 화면이 표시된다(스텝 S11). 다음에, 작업자에 의해, 레귤레이터(402)를 회전운동함으로써 압력을 조정할 수 있는지 없는지, 표시기(가스 유량 미터(403))에서의 가스 유량의 표시부에 의거하여 육안 관찰로 확인이 이루어진다. 압력을 조정할 수 있는 경우에는 도 22의 「OK」가 눌러지고, 스텝 S12 및 스텝 S14에서 각각 「NO」 및 「YES」가 되는 동시에, 도 20의 「판정」칸에 「정상」 종료 표시가 이루어진다(스텝 S15). 압력을 조정할 수 없는 경우에는 스텝 S12(또는 스텝 S22)에서 「NO」로 되고, 도 20의 「판정」칸에 「이상」종료 표시가 이루어진다(스텝 S13).
다음에, 스텝 S9에서, 5번째의 점검 사항의 「레귤레이터를 닫아, 표시기의 압력이 마이너스로 되어 있는 것을 확인한다.」가 읽혀진다. 이 점검 사항은 4번째의 점검 사항과 마찬가지로 수동에 의한 조작 사항을 포함하는 확인 사항이지만, 도 2의 각 스텝에 대한 설명은 생략한다. 이후의 6번째, 7번째의 점검 사항에 대해서도 마찬가지이다.
5번째의 점검 사항에서는 도 23의 팝업 화면이 표시되고, 사용자에 의해, 레귤레이터(402)가 닫히고, 가스 유량 미터(403)의 표시를 판독하여 압력이 마이너스가 되어 있는지 아닌지가 확인된다. 정상적으로 확인이 종료하여 「OK」가 눌러지면, 도 24에 나타내는 바와 같이, 6번째의 점검 사항을 나타내는 「레귤레이터를 조정하여, 표시기의 압력이 정상범위의 규정값으로 되어 있는 것을 확인했습니까?」의 팝업 화면이 표시되므로, 작업자가 레귤레이터(402)의 개방도를 조정하여 가스 유량 미터(403)의 값을 판독한다. 가스 유량 미터(403)의 값이 규정값으로 되어 있는 경우에 「OK」가 눌러지면, 도 25에 나타내는 바와 같이, 다음의 7번째의 점검 사항을 나타내는 「표시 압력이 규정값으로 되어 있는 것을 확인한다.」의 팝업 화면이 표시된다. 작업자는 가스 유량 미터(403)의 값이 규정으로 되어 있는지 아닌지를 확인하여, 규정값인 경우에는 「OK」를 누른다.
다음에, 8번째 이후의 점검 사항에 대해, 도 2를 다시 참조하여 설명한다. 우선, 스텝 S9에서 8번째의 점검 사항인 「가스 라인4에 퍼지 흐름으로 최대 유량을 10초간 흘린다.」가 읽혀진다. 이 점검 사항은 자동의 조작 사항이기 때문에, 스텝 S6에서 「YES」로 되고, 화면에는 도 26의 표시가 나타나 해당 조작이 자동으로 실행된다(스텝 S7). 구체적으로는 7번째의 점검 사항에 있어서 작업자가 조정한 레귤레이터(402)의 개방도에서 최대 유량이 흐르도록, 밸브(405, 406)가 개방되는 동시에, 매스플로 컨트롤러(404)에 최대 유량이 설정된다. 한편, 이 자동 조작을 정상으로 실행할 수 없는 경우에는 스텝 S21에서 「NO」로 되고, 스텝 S13으로 진행하여 이 조작 사항에 대응하는 칸에 이상 표시가 이루어진다.
도 26의 화면에서 「OK」가 눌러지거나, 또는 이 화면이 자동으로 꺼지면, 스텝 S21에서 「YES」로 되고, 스텝 S9에서 9번째의 점검 사항인 「가스 라인4에 설정 유량으로 가스가 흐른 것을 확인한다.」가 읽혀진다. 이 점검 사항은 자동의 확인 사항이기 때문에, 기술한 2번째의 점검 사항과 마찬가지로 처리가 실행된다. 구체적으로는 스텝 S10에서 「YES」로 되고, 기술한 매스플로 컨트롤러(404)에서 판독된 가스 유량이 설정 유량(최대 유량)인지 아닌지가 제어부(100)에 의해 확인된다(스텝 S16). 이 판독값이 설정 유량인 경우, 스텝 S17에서 「YES」로 되고, 도 20의 「판정」칸에 「정상」종료 표시가 나타나는(스텝 S15) 동시에, 이 때 판독된 가스 유량이 점검 사항의 우측의 「확인값」칸에 표시된다. 한편, 매스플로 컨트롤러(404)에 의한 판독값이 설정 유량이 아닌 경우에는, 스텝 S17에서 「NO」로 되고, 도 20의 해당 칸에 이상 종료 표시가 이루어진다(스텝 S13).
다음에, 스텝 S9에서 10번째의 점검 사항이 읽혀진다. 이 점검 사항은 자동의 조작 사항인 「가스 라인4의 유량을 제로로 해서 밸브를 닫는다.」이기 때문에, 스텝 S6에 있어서 「YES」로 된다. 그리고, 도 27에 나타내는 팝업 화면이 표시되고, 제어부(100)로부터, 밸브(405, 406)를 닫아 매스플로 컨트롤러(404)의 설정 유량을 0으로 하는 제어 신호가 전달된다(스텝 S7). 이 때에 있어서도, 정상적으로 조작이 종료하지 않은 경우에는 스텝 S21에서 「NO」로 되고, 도 20의 해당 칸에 이상 표시가 이루어진다(스텝 S13).
한편, 스텝 S21에서 「YES」로 되어 10번째의 점검 사항이 정상적으로 종료하면, 도 27의 팝업 표시가 자동으로 꺼져, 도 20의 「판정」칸에 「정상」종료 표시가 이루어진다. 이 점검 항목은 이 10번째가 마지막의 점검 사항이기 때문에, 스텝 S8에 있어서 「YES」로 되고, 또 일괄 모드가 아닌 경우에는 스텝 K1에서 「NO」로 되고, 일련의 점검이 종료한다. 그리고, 도 19의 「41-2」의 우측의 「판정」칸에 「정상」이 표시된다.
이 예에 있어서도, 도 19의 화면에 있어서 「일괄 실행」이 눌려져, 기술한 도 16의 「전부의 점검 항목을 선택」 또는 「선택 항목의 실행」이 눌려져 일괄 모드로 복수의 점검 항목을 연속해서 실행해도 좋고, 그 경우에 「이상 종료 스킵」 또는 「정상 종료 스킵」이 눌려져, 이상이 발견된 점검 항목이나 이미 정상적으로 종료하고 있는 점검 항목을 스킵해도 좋다. 또한, 이 예에 있어서도, 전술과 동일한 중지 처리를 실행해도 좋다.

Claims (5)

  1. 기기를 포함하는 반도체 제조 장치와,
    상기 반도체 제조 장치에 포함되는 상기 기기를 제어하기 위한 제어 신호를 출력하는 제어부와,
    상기 반도체 제조 장치를 점검하기 위한 조작 사항 및 확인 사항의 적어도 어느 하나를 포함하는 복수의 점검 사항으로 이루어지는 점검 항목을 복수 기억하는 기억부와,
    상기 반도체 제조 장치를 점검하기 위한 프로그램이 저장된 프로그램 저장부와,
    점검 조작의 지시 및 확인을 실행하기 위한 화면을 표시하는 표시부와,
    상기 조작 사항의 조작 결과를 검출하는 검출부를 구비하고,
    상기 프로그램은,
    점검 항목을 지정하기 위한 화면을 표시하는 스텝과,
    지정된 점검 항목에 대응하는 점검 사항을 기억부로부터 읽어내어 작업순으로 배열하고, 각 점검 사항이 자동 실행인지 수동 실행인지의 실행 속성을 부여하여 화면에 표시하는 스텝과,
    점검 개시 지령을 접수하는 것에 의해, 차례로 배열된 점검 사항 중 1번째의 점검 사항을 기억부로부터 읽어내는 스텝을 실행하는 동시에,
    이하의 ａ에서 d까지의 어느 스텝을, 다음의 점검 사항이 없어질 때까지 실행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 시스템.
    ａ．읽어냄의 대상이 된 점검 사항이 조작 사항이고, 실행 속성이 자동 실행일 때에는 조작 대상 기기에 대해 해당 조작 사항에 대응하는 동작을 실행시키기 위한 명령을 출력하고, 다음의 점검 사항을 기억부로부터 읽어내는 스텝.
    ｂ．읽어냄의 대상이 된 점검 사항이 조작 사항이고, 실행 속성이 수동 실행일 때에는 사용자에 의해 해당 조작 사항이 실행된 것의 지시를 접수하는 화면을 표시하고, 해당 지시를 접수하는 것에 의해 다음의 점검 사항을 기억부로부터 읽어내는 스텝.
    ｃ．읽어냄의 대상이 된 점검 사항이 확인 사항이고, 실행 속성이 자동 실행일 때에는 검출부에 의한 조작 사항의 검출 결과에 의거하여 해당 확인 사항을 자동으로 실행하여 그 확인 결과를 해당 확인 사항과 대응지어 화면에 표시하는 스텝.
    d. 읽어냄의 대상이 된 점검 사항이 확인 사항이고, 실행 속성이 수동 실행일 때에는 확인 결과가 정상, 이상의 판별 입력을 접수하기 위한 화면을 표시하고, 입력된 확인 결과를 해당 확인 사항과 대응지어 화면에 표시하는 스텝.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스텝 c에서, 확인 결과가 정상이고 또한 다음의 점검 사항이 있을 때에는 해당 다음의 점검 사항을 기억부로부터 읽어내는 동작을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 스텝 d에서, 입력된 확인 결과가 정상이고 또한 다음의 점검 사항이 있을 때에는 해당 다음의 점검 사항을 기억부로부터 읽어내는 동작을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 시스템.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 스텝 b에 있어서의 사용자에 의해 해당 조작 사항이 실행된 것의 지시를 접수하는 화면, 및 상기 스텝 d에 있어서의 확인 결과가 정상, 이상의 판별 입력을 접수하기 위한 화면은 팝업에 의해 표시되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 스텝 c에 있어서, 상기 확인 결과가 이상일 때에는 미리 정해진 다른 점검 항목에 대응하는 점검 사항을 기억부로부터 읽어내어 차례로 배열하고, 이후 마찬가지로 해서 각 스텝이 실행되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 시스템.
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