JP4708044B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
また、請求項2の発明は、複数の薬液収納容器に収納された薬液を対応する基板処理部に送液することにより、基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、前記薬液収納容器に関するデータを読み取る読取部と、各薬液収納容器につき、薬液種類と配置位置とを対応させて登録する登録部と、前記配置位置に配置された薬液収納容器の薬液状況を告知する表示部と、前記表示部の表示動作を制御することにより、前記配置位置に配置された薬液収納容器が空となったことを第1の表示によって告知することと、前記第1の表示がされた後において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器の薬液種類と、空となった薬液収納容器の薬液種類とが同一であることを第2の表示によって告知することと、前記登録部によって登録された前記配置位置と前記薬液種類との対応関係を確認する確認モードが能動化された場合において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器と同一の薬液が収納された薬液収納容器の配置位置を第3の表示によって告知可能とすることと、を可能とする制御部と、を備える。
図1は、本発明の実施の形態の基板処理装置100の平面図である。図2および図3は、基板処理装置100の正面図である。ここで、基板処理装置100は、基板上に反射防止膜、フォトレジスト膜、およびカバー膜をこの順番で形成するとともに、露光処理が完了した基板に対して現像処理を施す装置である。なお、図1および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく必要に応じて適宜、Z軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系を付している。
図6は、基板処理装置100の主要な電気的構成を説明するためのブロック図である。図7は、バーコードリーダ照合機83の正面図である。図8および図9は、バーコードリーダ照合機83によって薬液種類に関するデータを指定する方法を説明するための図である。ここでは、図2、図3、図6ないし図9を参照しつつ、キャビネット部17、27、37付近のハードウェア構成について説明する。
図10ないし図12は、LED表示部75による薬液状況の告知方法を説明するための図である。ここでは、LED表示部75(75a〜75f)によってオペレータに各容器71の薬液状況を告知する手法について説明する。なお、図10ないし図12において、ハッチングされていないLED76は、消灯中であることを示す。
以上のように、本実施の形態の基板処理装置100は、容器71内の薬液が空となった場合、対応するLED76を点灯させる。また、本実施の形態の基板処理装置100は、空となった容器71を未使用容器71と交換する作業に先立ち、未使用容器71のバーコード72を読み取り、両容器71に収納される薬液が同一であるか否かの判定処理を行う。そして、容器71の薬液が同一の場合には、交換対象となる空の容器71に対応するLED76の表示を点灯表示から点滅表示に移行させる。これにより、オペレータは、空となった容器71のうち、未使用容器71と交換すべきものを容易に把握することができる。そのため、容器71の交換ミスの発生を有効に防止できる。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
2 バークブロック
3 レジスト塗布ブロック
4 現像処理ブロック
5 インターフェイスブロック
19(19a、19b)、29(29a、29b)、39(39a、39b) 扉
17、27、37 キャビネット部
18(18a、18b)、28(28a、28b)、38(38a、38b) 収納部
71(71a〜71h) 薬液収納容器
75(75a〜75f) LED表示部
76(76a〜76h) LED(表示要素)
81 液晶表示部
82 バーコードリーダ
83 バーコードリーダ照合機
85 データ表示部
86 キー
100 基板処理装置
Claims (7)
- 複数の薬液収納容器に収納された薬液を対応する基板処理部に送液することにより、基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、
前記複数の薬液収納容器を収納する収納部と、
前記薬液収納容器に関するデータを読み取る読取部と、
各薬液収納容器につき、薬液種類と前記収納部における配置位置とを対応させて登録する登録部と、
基板処理装置の外面に配置され、前記収納部に収納される複数の薬液収納容器の前記収納部における配置形態と同一となるように複数の表示要素を配置してなり、各表示要素によって各配置位置に配置された各薬液収納容器の薬液状況を告知する表示部と、
前記表示部の表示動作を制御することにより、
(i) 前記配置位置に配置された薬液収納容器が空となったことを、前記表示部のうちの、当該空となった薬液収納容器の配置位置に対応する前記表示要素の第1の表示によって告知することと、
(ii) 前記第1の表示がされた後において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器の薬液種類と、空となった薬液収納容器の薬液種類とが同一であることを、前記表示部のうちの、当該空となった薬液収納容器の配置位置に対応する前記表示要素の第2の表示によって告知することと、
を可能とする制御部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 複数の薬液収納容器に収納された薬液を対応する基板処理部に送液することにより、基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、
前記薬液収納容器に関するデータを読み取る読取部と、
各薬液収納容器につき、薬液種類と配置位置とを対応させて登録する登録部と、
前記配置位置に配置された薬液収納容器の薬液状況を告知する表示部と、
前記表示部の表示動作を制御することにより、
(i) 前記配置位置に配置された薬液収納容器が空となったことを第1の表示によって告知することと、
(ii) 前記第1の表示がされた後において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器の薬液種類と、空となった薬液収納容器の薬液種類とが同一であることを第2の表示によって告知することと、
(iii) 前記登録部によって登録された前記配置位置と前記薬液種類との対応関係を確認する確認モードが能動化された場合において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器と同一の薬液が収納された薬液収納容器の配置位置を第3の表示によって告知可能とすることと、
を可能とする制御部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の基板処理装置において、
前記読取部によって読み取られたデータのうち薬液種類に関するデータ部分を指定する指定部、
をさらに備え、
前記薬液種類の判定は、前記データ部分に基づいて実行されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第1の表示は、前記表示部のうち前記配置位置に対応する表示要素を点灯させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第2の表示は、前記表示部のうち配置位置に対応する表示要素を点滅させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部に配設されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項6に記載の基板処理装置において、
前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部の外側側面に配設されることを特徴とする基板処理装置。
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