JP6342368B2 - 容器収容装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えばレジスト液や現像液など、半導体製造用の処理液を貯留した容器を収容する容器収容装置に関する。

例えば半導体デバイスの製造工程におけるフォトリソグラフィー工程では、ウェハ上にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成したり、現像液を供給してレジスト膜を現像処理したりするために、様々な液処理が行われる。これら一連の液処理は、各種液処理装置や装置間でウェハを搬送する搬送機構などを搭載した基板処理システムにより行われる。

このような基板処理システムにおいて、各種の処理液は、当該処理液を貯留する容器から各種液処理装置に供給されるが、処理液には例えばレジスト液や現像液のように複数のものが用いられ、また、レジスト液や現像液そのものも様々な種類のものが用いられるため、当該基板処理システムには処理液の容器が多種にわたって配置される。

そのため、例えば特許文献１には、例えば使用して空になった容器を交換する際に誤って異なる種類の容器と交換してしまうことを防止するため、各容器を管理する方法が提案されている。

特許文献１の方法では、例えば処理液の容器表面に識別用のバーコードを貼付しておき、容器交換の際に当該バーコードを読み取り、予め登録してあるデータと比較することで、交換する容器の適否を判定する。

特開２００１−２１７２１７号公報

ところで、上記したような基板処理システムでは、多数の容器を効率的に収容するため、例えば図２９に示すように、上下方向に多段に設けられた棚２００を備えた収容ラック２０１が用いられる。そして、各段の棚２００には容器２１０が多数配置される。

そのため、容器２１０が空になった際に、多数の容器２１０の中から交換が必要な容器２１０を特定するために時間を要してしまう。特に、通常は容器２１０には色がついており、外部から処理液の残量を確認することができず、また、容器２１０の大きさや形状は処理液の種類によらず概ね同一であるため、外部からの視認により空になった容器２１０を特定することが困難である。

したがって、容器２１０の交換作業時に、誤って対象とは異なる容器２１０を交換してしまう恐れがある。そして、誤った容器２１０を交換して処理液が混触してしまうと、処理液の系統の洗浄等を行う必要があるため、基板処理システムの復旧に多大な時間と費用が掛かってしまう。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、交換対象となる処理液の容器を短時間で特定すると共に、誤った容器を交換することを防止することを目的としている。

前記の目的を達成するため、本発明は、半導体製造用の処理液を貯留した容器を複数収容する容器収容装置であって、前記容器を載置する複数の載置台と、前記載置台上の前記容器の交換のために当該容器を前記載置台から移動させることを阻害する位置に配置され、且つ所定の条件が成立したときに前記載置台上の容器に対する相対的な位置が変化して、前記容器の交換のための移動を阻害する位置から退避する移動部材と、を有することを特徴とする、容器収容装置。

本発明によれば、容器を交換するために当該容器を載置台から移動させることを阻害する位置に移動部材が配置され、この移動部材が所定の条件が成立したときに容器の交換のための移動を阻害する位置から退避する。なお、所定の条件とは、例えば容器内の処理液の液量が所定の値を下回り、当該容器の交換が必要となった場合などである。したがって、例えば処理液の液量が所定の値を下回った容器を交換する際に、交換対象とは異なる容器、即ち移動部材が容器の移動を阻害する位置から退避していない載置台に対応する容器を、誤って交換してしまうことを防止できる。また、移動機構が移動するので、当該移動機構の位置を視認することで、交換対象となる容器を容易に特定できる。

前記所定の条件は、前記容器内の処理液の液量が所定の値を下回った場合に成立してもよい。

前記容器内の処理液の液量を検出する液量検出機構をさらに有し、前記移動部材は、前記液量検出機構により検出される液量に応じて前記載置台上の容器に対する相対的な位置が変化してもよい。

前記液量検出機構は、前記載置台に載置された容器の重量に応じて高さ方向の位置が変位する変位機構であり、前記変位機構には、当該変位機構の位置変化を前記移動部材に伝達して当該移動部材を移動させる変位伝達部材が接続されていてもよい。

前記液量検出機構は、前記載置台に載置された容器の重量に応じて内部の気体の体積が変化するエアバックを備え、前記エアバックには、当該エアバック内部の気体の体積に応じて前記移動部材を移動させるシリンダ機構が接続されていてもよい。

前記移動部材は、前記容器の側方で上下方向に移動するシャッターであってもよい。

前記移動部材は、前記容器内の処理液の液量が所定の値以上であるときは、前記容器の上下方向の移動を阻害するように、前記容器の上方に位置し、前記容器内の処理液の液量が所定の値を下回った場合は、前記容器の上方から退避した位置に移動してもよい。

別の観点による本発明は、半導体製造用の処理液を貯留した容器を複数収容する容器収容装置であって、前記容器を載置する複数の載置台と、前記載置台上の前記容器の交換のために当該容器を前記載置台から移動させることを阻害する位置に配置された移動部材と、前記移動部材を移動させる駆動機構と、前記容器から外部に供給される処理液の流量を検出する流量検出機構と、前記流量検出機構での検出流量が所定の値を下回った場合に、前記移動部材を、前記容器の交換のための移動を阻害する位置から退避させるように、前記駆動機構を制御する制御部と、を有することを特徴としている。

本発明によれば、交換対象となる処理液の容器を短時間で特定すると共に、誤った容器を交換することを防止することができる。

本実施の形態にかかる容器収容装置の構成の概略を示す正面図である。 載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 シャッターの形状を示す横断面図である。 載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 保持部材の形状を示す平面図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる保持部材の形状を示す平面図である。 他の実施の形態にかかる保持部材の形状を示す平面図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる保持部材の形状を示す平面図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す正面図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す右側図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の実施の形態にかかる載置台近傍の構成の概略を示す側面の説明図である。 他の本実施の形態にかかる容器収容装置の構成の概略を示す正面図である。 従来の収容ラックの構成の概略を示す斜視図である。

以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態にかかる容器収容装置１の正面図である。容器収容装置１に収容される容器１０は、例えば半導体製造用の処理液を貯留している。なお、処理液としては、例えばレジスト液や現像液、反射防止膜を形成するための薬液等である。

容器収容装置１は、収容ラック１１と、収容ラック１１内に多段に設けられた棚１２と、棚１２の上面に配置された複数の載置台１３を有している。なお、図１では、上下方向に棚１２が２段設けられ、各棚１２の上面には、水平方向に沿ってそれぞれ４つの載置台１３が設けられている状態を描図しているが、収容ラック１１の形状や棚１２、載置台１３の数や配置については本実施の形態の内容に限定されるものではなく、任意に設定できる。また、上段側の棚１２の上方には、天板１４が設けられている。

各載置台１３には、処理液を貯留する容器１０がそれぞれ載置されている。容器１０の上方の開口部には、容器１０の内部に挿入された供給管２０と一体に接続されたキャップ２１が取り付けられている。容器１０内の処理液は、供給管２０及びキャップ２１を介して容器１０の外部に供給される。

載置台１３は、例えば図２に示すように、棚１２の上面に設けられる例えば上面が開口した略円筒形状の載置板３０と、載置板３０上面に上下方向に延伸して設けられたバネ３１と、バネ３１の載置板３０と反対側の端部に設けられた、容器１０の下面を支持する支持板３２と、支持板３２の下面に接続された変位伝達部材としてのカム機構３３と、カム機構３３により昇降動する移動部材としてのシャッター３４を有している。支持板３２の側面は、例えば円筒形状のガイド３５により摺動自在に支持されている。したがって、支持板３２に容器１０を載置すると、当該容器１０内の処理液の液量に応じてバネ３１が伸縮して支持板３２が上下方向に移動し、この上下動がカム機構３３に伝達される。

カム機構３３は、例えば支持板３２の下面に接続された連結棒４０と、当該連結棒４０を摺動自在に支持する軸受４１を有している。連結棒４０は回動自在な関節を複数有し、軸受４１を視点として回転自在に構成されている。連結棒４０の支持板３２と反対側の端部は、例えば楕円形のカム部材４２と摺動自在に接続されている。したがって、支持板３２の上下動に伴い連結棒４０を介してカム部材４２が移動する。

カム部材４２の上面では、例えばシャッター３４の下方に接続された支持棒４３を介してシャッター３４が支持されている。したがって、カム機構３３を動作させることでシャッター３４を移動させることができる。なお、図２では、例えば容器１０内の処理液が満杯であり、シャッター３４が概ね上限位置まで移動した状態を描図している。また、シャッター３４は、例えば図３に示すように、容器１０の交換の際に作業員がアクセスする面（図３の左方向）を覆うような半円筒形状を有している。なお、シャッター３４の形状としては本実施の形態のものに限定されるものではなく、例えば容器１０の外周を覆うような円筒形状であってもよく、平板状の部材であってもよい。

本実施の形態に係る容器収容装置１は以上のように構成されており、次に、容器収容装置１における容器１０の交換作業について説明する。

図２に示すように、容器１０内に処理液が満杯の状態では、当該容器１０の重量に応じて支持板３２を介してバネ３１が押し下げられる。この際、変位機構としてのバネ３１と支持板３２は、容器内の処理液の残量を検出する液量検出機構として機能する。そして、バネ３１及び支持板３２が押し下げられた状態では、カム部材４２によりシャッター３４が上方に押し上げられた状態となる。このように、シャッター３４が上方に押し上げられると、当該シャッター３４が障害物となることで例えば上方の棚１２あるいは天板１４と、当該シャッター３４の上端との間のクリアランスが小さくなり、容器１０を載置台１３から移動させられなくなる。換言すれば、シャッター３４は、載置台１３上の容器１０を交換するために当該容器１０を載置台１３から移動させることを阻害する位置に配置された状態となっている。

そして、容器１０内の薬液が減少すると、容器１０の重量の減少と共に、バネ３１により支持板３２が徐々に押し上げられる。それにより、例えば図４に示すように、連結棒４０を介してカム部材４２が移動して、シャッター３４が降下する。そして、所定の条件が成立すると、具体的には容器１０内の処理液が概ね空になると、障害物としてのシャッター３４は下限位置まで降下する。換言すればシャッター３４は、容器１０の交換のための移動を阻害する位置から退避する。その結果、シャッター３４の上端と棚１２あるいは天板１４との間のクリアランスが、容器１０を載置台１３から移動させられる程度に確保された状態となり、当該容器１０を交換することが可能となる。また、シャッター３４が下降することで、当該シャッター３４の上下方向の位置が、空になっていない他の容器１０とは異なった状態となるために、当該シャッター３４の位置を確認することで、作業員が目視により容易に空になった容器１０を特定できる状態となる。

そして、作業員がシャッター３４の位置を確認して空になった容器１０を特定すると、当該容器１０の交換が行われる。容器１０交換後は、新たな容器１０の自重により、バネ３１及び支持板３２か下降し、それに伴いカム機構３３により再びシャッター３４が上限の位置まで押し上げられる。これにより、載置台１３の容器１０は、再びシャッター３４により取り外しができない状態となる。

以上の実施の形態によれば、シャッター３４が容器１０内の液量に応じて容器に対して相対的に上下動し、液量が所定の値を下回った場合、例えば空になった場合に、載置台１３上の容器１０を交換のために移動させることを阻害する位置から退避するので、容器１０の交換作業時に交換対象とは異なる容器１０、即ちシャッター３４が容器１０の移動を阻害する位置から退避していない載置台１３に対応する容器１０を、誤って交換してしまうことを防止できる。

また、通常の容器１０の交換作業においては、例えば容器１０に添付されたラベルなどを確認して空になった容器１０を特定するが、ラベルのような識別物は常に作業者側を向いているとは限らない。そのため、空の容器１０を特定するのに時間を要することがある。これに対して本発明では、シャッター３４の位置を目視で確認することで、交換対象となる容器１０を容易に特定することができる。さらには、シャッター３４が容器１０内の液量に応じて動作するので、例えば作業員が現場でシャッターの高さ方向の位置を確認することで、容器１０内のおおよその液量を知ることができる。そのため、容器１０のおおよその交換時期の把握にも役立つ。したがって本発明によれば、交換ミスを防止し、且つ効率的に容器１０の交換作業を行うことができる。

加えて、カム機構３３やバネ３１といった、電気的な駆動装置を必要としない機構によりシャッターを上下させることができるので、例えば容器収容装置１が用いられる基板処理システム（図示せず）の制御装置などにおいて特段の制御を必要としない。そのため、制御装置の負荷が増加したり、配線作業が発生したりすることがなく、低コストで容器収容装置１を実現することができる。

但し、容器収容装置１に例えば電動アクチュエータといった電動の駆動機器を用いることを否定するものではなく、例えばバネ３１の変位量を電気的に測定する測定機構や容器１０の重量を測定する圧電素子により容器１０内の液量を検出し、当該検出信号基づいて、シャッター３４を移動させる電気式や空気作動式の駆動機構などを用いてもよい。

また、電気的に容器１０内の液量を測定する場合には、例えば容器１０内の供給管２０に流量計や液面計を設け、例えば流量計の検出値がゼロになったり、液面計の検出値がゼロレベルになったら容器１０の交換時期と判断し、シャッター３４を移動させるようにしてもよい。

なお、以上の実施の形態では、シャッター３４を上下に移動させたが、シャッター３４の移動の方向については本実施の形態の内容に限定されるものではなく、容器１０の交換が不要な状態において、当該容器１０の載置台１３からの移動を阻害するように移動するものであれば、その移動の方向については任意に設定できる。さらには、シャッター３４などの移動部材を移動させる機構についても、カム機構３３に限定されるものではなく、公知の様々な機構を用いることができる。

他の実施の形態として、例えば図５に示すように、シャッター３４を移動させる機構として、カム機構３３に代えて空圧シリンダ５０などを用いてもよい。空圧シリンダ５０を用いる場合、例えば支持板３２の下方に、内部に気体が充填され上下方向に伸縮自在なエアバック５１を設け、当該エアバック５１と空圧シリンダ５０が給気管５２により接続される。そして、支持板３２の上下に伴いエアバック５１内の気体の体積が変化し、その体積変化が給気管５２を介して空圧シリンダに伝達されることで、空圧シリンダ５０により支持棒４３を介してシャッター３４の上下動が行われる。

なお、空圧シリンダ５０を用いる場合、エアバック５１は必ずしも設ける必要はない。例えば支持板３２とガイド３５により囲まれる空間Ａが気密に維持できるように、支持板３２とガイド３５を構成し、当該支持板３２とガイド３５により囲まれる空間Ａに給気管５２を連通して設けるようにしてもよい。かかる場合も空間Ａがエアバックとして機能し、さらに給気管５２から空圧シリンダ５０へ空間Ａの体積変化が伝達されるので、空圧シリンダによりシャッター３４を上下動させることができる。なお、他の構成については、図２の場合と同様であるので説明を省略する。

また、他の実施の形態として、例えば図６に示すように、支持板３２の動作をシャッター３４に伝達する変位伝達部材として、ラック・アンド・ピニオン６０を用いてもよい。かかる場合、例えば一つのラック６１を支持板３２に接続し、例えばガイド３５の外方に設けたピニオン６２を挟んでさらに他のラック６３を設ける。なお、ピニオン６２は高さ方向の位置が固定されて設けられる。また、図６では、例えば他のラック６３がシャッター３４に直接固定されている。

そして、例えば図７に示すように、容器１０を交換後は、支持板３２と共にラック６１が下方に移動し、それにより、ピニオン６２を挟んで設けられた他のラック６３が上昇し、シャッター３４が容器１０の交換を阻害する位置まで上昇する。なお、他の構成については図２の場合と同様であるので説明を省略する。

なお、容器１０の移動を阻害するための部材としてはシャッター３４に限定されるものではなく、様々な部材を用いることができる。例えば図８に示すように、ガイド３５と載置板３０との間の空間にシャッター３４に代わる移動部材としてエアバック７０を設けてもよい。かかる場合、支持板３２とガイド３５により囲まれる空間Ａを気密に構成し、空間Ａとエアバック７０に連通して給気管５２が設けられる。なお、他の構成については図２の場合と同様である。

そして、図８に示すように、容器１０内に処理液が満たされている状態では、空間Ａが圧縮されることによりエアバック７０に空間Ａ内の気体が移動し、エアバック７０が上方に伸張する。これにり、エアバック７０は、交換のための容器１０の移動を阻害するように機能する。また、容器１０内の処理液が減少すると、バネ３１により支持板３２が上方に押し上げられ、空間Ａの容積が増加する。そうすると、給気管５２を介してエアバック７０から空間Ａ側に気体が流入し、図９に示すように、エアバック７０が収縮して容器１０の交換が可能な状態となる。なお、シャッター３４に代えてエアバックを用いる場合も、必ずしも電動の駆動機器や電気的な計測機器の使用を否定するものではない。例えばシャッター３４を電気的に移動させる場合と同様に、例えば容器１０内の処理液の残量を電気的に測定し、当該残量に応じてエアバック７０内に例えば空気圧縮機などにより気体を供給してエアバック７０を伸張させ、電磁弁などを用いて気体を排気してエアバック７０を収縮させるようにしてもよい。

以上の実施の形態では、容器１０の交換を阻害するように移動する移動部材としてシャッター３４を用いたが、移動部材として用いるものはシャッターに限定されない。例えば図１０、図１１に示すように、容器１０のキャップ２１よりも低い位置で当該キャップ２１を挟み込むように容器１０を保持する、略Ｕ字状に形成された保持部材８０を設け、この保持部材８０を支持板３２の上下動に連動して動作するようにしてもよい。

かかる場合、保持部材８０は、載置台１３における容器１０の交換の際に作業員がアクセスする側（図１０、図１１の左方向）とは反対側に設けられる。そして、支持板３２の下面に接続された連結棒４０の上下動に伴い保持部材８０を図１１のθ方向に可動させる可動機構８１が設けられ、保持部材８０の容器１０を保持する側と反対側の端部は、可動機構８１により支持される。これにより、例えば図１１に示すように、交換直後の容器１０を載置台１３に載置すると、保持部材８０が容器１０を上方から抑えるように移動して、容器１０の移動を阻害するように機能する。

そして、容器１０内の処理液が減少すると、保持部材８０は可動機構８１を支点として水平方向から徐々に鉛直方向に起立するように動作して、容器１０が空になると、例えば図１２に示すように、容器１０の上方から退避した位置まで移動する。これにより、容器１０の移動が保持部材８０により阻害されることがなくなり、容器１０の交換作業が実施可能となる。

なお、以上の実施の形態では、容器１０内の処理液の液量に応じてカム機構３３や可動機構８１を介してシャッター３４や保持部材８０を移動させたが、例えばカム機構３３や可動機構８１といった変位伝達部材などを容易に取り外せるように構成しておき、非定常時に取り外しを行うことで、空になっていない容器１０の取り外しを可能にするようにしてもよい。

また、シャッター３４を電気的な駆動装置により移動させる場合と同様に、例えば容器１０内の処理液の残量を電気的に測定し、当該残量に応じて保持部材８０を移動させる、図１３に示す電気的な駆動機構９０を可動機構８１に代えて用いるようにしてもよい。駆動機構９０としては、例えば電動アクチュエータやエアシリンダーなどを用いることができる。かかる場合も、容器１０を交換する際には駆動機構９０により保持部材８０を鉛直方向に起立するように回動させ、それ以外の場合、即ち容器１０の交換を行わない場合には、保持部材８０が水平方向を向くように回動させることで、誤った容器１０を交換してしまうことを防止できる。なお、電気的に駆動する駆動機構９０を用いる場合、図１３に示すように、カム機構３３やバネ３１といった機構は不要となり、また、支持板３２も昇降する必要はない。かかる場合、容器１０を載置板３０上に直接載置するようにしてもよい。

なお、電気的に容器１０内の液量を測定する場合には、例えば図１３に示すように、供給管２０の概ね先端の、容器１０の底面に近い位置に液面計９１を設け、容器１０底面近傍における処理液の有無を検出したり、例えば図１３に示すように、容器１０から需要先に対して処理液を供給する外部供給管１００に流量検出機構としての流量計１０１を設け、外部供給管１００内を流れる処理液の有無を検出したりすることで、容器１０内の処理液の有無を検出するようにしてもよい。液面計９１を用いる場合、例えば液面計９１の検出値がゼロレベルになったら容器１０の交換時期と判断できる。また、流量計１０１を用いる場合においても、当該流量計１０１の検出値がゼロとなったら容器１０の交換時期と判断できる。なお、液面計９１の検出値や流量計１０１の検出値は、制御装置１０２に入力され、制御装置１０２では、これらの検出値に基づいて駆動機構９０の動作の制御を行う。

なお、図１３では、駆動機構９０により保持部材８０を鉛直方向と水平方向との間で回動させる場合を図示しているが、保持部材８０をどのように移動させるかについては本実施の形態の内容に限定されるものではなく、例えば図１４に示すように、水平に保った状態の保持部材８０を水平方向に往復移動させる駆動機構１１０を設け、保持部材８０を例えば図１４の左方向に移動させることで容器１０の交換のための移動を阻害し、図１４の右方向に移動させることで容器１０を交換可能な状態とすることができる。また、例えば図１５に示すように、水平に保った状態の保持部材８０を鉛直方向に往復移動させる駆動機構１２０を設け、保持部材８０を例えば図１５の下方向に移動させることで容器１０の交換のための移動を阻害し、図１５の上方向に移動させることで容器１０を交換可能な状態とするようにしてもよい。なお、図１４や図１５では、制御装置１０２や液面計９１、流量計１０１の描図を省略しているが、これらの機器については以降に示す他の実施の形態においても必要に応じて適宜設けられる。

また、保持部材８０の形状は本実施の形態の内容に限定されるものではなく、容器１０の交換の際に当該容器１０の移動を阻害するように機能する形状であれば任意に設定できる。例えば図１６に示すように、平面視において半円形状の保持部材１３０ａ、１３０ｂを、容器１０のキャップ２１よりも低い位置で当該キャップ２１近傍を挟み込むように配置し、各保持部材１３０ａ、１３０ｂをそれぞれ駆動機構１３１により水平方向（図１６の上下方向）に移動させるようにしてもよい。

また、保持部材８０は容器１０そのものを保持する必要はなく、例えば図１７に示すように、略平板状の保持部材１４０を平面視において容器１０のキャップ２１を覆う位置であって且つキャップ２１上方の直近の位置に配置することで、容器１０の上下方向の移動を制限し、容器１０の交換のための移動を阻害するようにしてもよい。かかる場合、保持部材１４０の動作としては、例えば図１４に示す駆動機構１１０を用いて図１７の左右方向に移動させてもよいし、例えば図１５に示す駆動機構１２０を用いて鉛直方向に移動させてもよいし、図１６に示す駆動機構１３１を用いて図１７の上下方向に移動させてもよい。

なお、図１７では略平板状の保持部材１４０をキャップ２１の上方直近に設けた様子を描図したが、保持部材１４０に代えて、例えば図１８に示すような、底面が開口した蓋体１４１によりキャップ２１を囲うことで容器１０の上下方向の移動を制限し、必要に応じて駆動機構１２０でキャップ２１を上方向に退避させるようにしてもよく、保持部材や蓋体の形状は本実施の内容に限定されるものではなく任意に設定できる。また、容器１０と保持部材８０、１４０や蓋体１４１とを相対的に移動させるという観点からは、必ずしも保持部材８０、１４０や蓋体１４１を移動させる必要はなく、例えば図１５に示す駆動機構１２０を支持板３２に接続して、保持部材８０、１４０や蓋体１４１に対して容器１０そのものを移動させるようにしてもよい。

容器１０そのものを移動させる場合、例えば図１９に示すように、バネ３１を容器１０の中心から偏心した位置に配置すると共に、支持板３２におけるバネ３１に支持された側と反対側の端部を例えばヒンジ１４２によりガイド３５に回動自在に固定し、容器１０のキャップ２１の上方に保持部材１４０を設けるようにしてもよい。なお、図１９のヒンジ１４２側がアクセス面である。かかる場合、容器１０内の処理液が減少するとバネ３１により支持板３２のヒンジ１４２と反対側の端部が徐々に押し上げられ、例えば図２０に示すように、容器１０がアクセス面の方向に向けて傾く。そうすると、例えばキャップ２１が平面視において保持部材１４０とは干渉しない位置まで移動し、載置台１３から容器１０を斜め方向に引き抜くことが可能となる。かかる場合、バネ３１、支持板３２、ヒンジ１４２といった、容器１０を傾けるように移動させる機構も、容器１０の交換を阻害するように移動する本発明の移動部材の範疇内であるものと了解される。

また、シャッターを用いる場合の他の実施の形態として、既述の半円筒形状のシャッター３４に代えて、例えば図２１、図２２に示すような所定の高さを有する平板状のシャッター１５０ａ、１５０ｂを作業員がアクセスする面（図２１の左方向、図２２の左方向）に設けると共に、当該シャッター１５０ａ、１５０ｂの端部にヒンジ等の回転軸１５１を設けて、開き戸のように開閉できるようにしてもよい。かかる場合、例えば容器１０の交換が不要な場合は、回転軸１５１を電磁ブレーキ（図示せず）等により固定してシャッター１５０ａ、１５０ｂを開閉できないようにしておき、液面計９１や流量計１０１により交換が必要であることが検出された場合は、電磁ブレーキを解除することで、作業員がシャッター１５０ａ、１５０ｂを開けて容器１０にアクセスできるようになる。

また、以上の実施の形態では、シャッター３４やシャッター１５０ａ、１５０ｂといった容器１０の移動を阻害する部材を、例えば載置板３０の内側に配置していたが、これらの配置についても本実施の形態の内容に限定されるものではない。例えば図２３に示すように、作業員がアクセスする側の面から見て容器１０の手前に当該容器１０の移動を阻害する、略Ｕ形状を有する棒状の棒状部材１５２と、当該棒状部材１５２を例えば図２４に示すように作業員がアクセスする側の面に向かって回動させる駆動機構１５３を設けるようにしてもよい。なお、図２４は図２３の右側面から容器１０を見た状態を描図しており、図２４の左方向が作業員のアクセス面である。また、棒状部材１５２を回動させる場合、例えば図２５に示すように、図６に示す載置台１３から他のラック６３とシャッター３４を取り除き、高さ方向の位置が固定されたピニオン６２に棒状部材１５２を接続し、ピニオン６２の回転により棒状部材１５２を回動させてもよい。

また、交換が不要な容器１０を誤って交換してしまうことを防止するという観点からは、必ずしも容器１０そのものの移動を阻害する必要はない。一般に、キャップ２１には、例えば図２６に示すように、回転防止用のブラケット１６０が設けられている。したがって、例えば図２６に示すように、ブラケット１６０を固定するための固定部材１６１と、固定部材１６１を移動させる駆動機構１６２を設け、容器１０の交換が不要な場合は、ブラケット１６０を固定する位置に固定部材１６１を移動させ、交換が必要な場合はブラケット１６０の固定を解除するように固定部材１６１を移動させるようにしてもよい。このように、キャップ２１を容器１０から取り外すことを阻害する固定部材１６１や駆動機構１６２も、容器１０の交換を阻害するように移動する本発明の移動部材の範疇内であるものと了解される。

なお、以上の実施の形態では、エアバック７０を伸縮させることでシャッター３４の代わりとして用いたが、例えば図２７に示すように、載置板３０の内周面に沿って例えば環状のエアバック１７０を配置し、液面計９１や流量計１０１により容器１０の交換が必要であることが検出された場合に、給気管５２を介してエアバック１７０に図示しない気体供給源から気体を供給するようにしてもよい。気体を供給することで、エアバック１７０により容器１０が挟持され、交換のための容器１０の移動を阻害することが可能となる。

また、電気的な機構を利用する場合、保持部材８０を電気的に移動させたり、容器１０内の処理液の残量を電気的に検出したりする以外に、例えば交換対象となる容器１０を識別するための表示灯１８０を設けることも考えられる。かかる場合、例えば図２８に示すように、各載置台１３の近傍に表示灯１８０を設け、容器交換位置に移動可能な容器１０に対応する表示灯１８０を点灯させるようにしてもよい。また、容器収容装置１が用いられる基板処理システム（図示せず）は、通常、クリーンルーム内に複数設けられるため、容器収容装置１も複数設けられることとなる。そのため、どの容器収容装置１の容器１０が交換対象であるかを一瞥して判断することが難しい場合がある。かかる場合、例えば図２８に示すように、容器収容装置１の天板１４など、視認しやすい任意の箇所に表示灯１８１を設け、どの容器収容装置１が交換対象となる容器１０を有しているかを一瞥して判断できるようにしてもよい。なお、表示灯１８０、１８１の点灯、消灯については、例えば制御装置１０２により制御される。

なお、以上の実施の形態では、容器１０を交換可能な状態にする所定の条件として、容器１０内の処理液の液量が所定量を下回って当該容器１０の交換が必要となった場合を例にして説明したが、容器１０を交換可能な状態にする所定の条件は本実施の形態の内容に限定されるものではない。例えば基板処理システム（図示せず）で使用する処理液の種類を変更する場合のように、容器１０内の処理液の残量によらず容器１０の交換が必要となるときがある。かかる場合、例えば図１３に示すように、制御装置１０２にスイッチ１０２ａを設けておき、液面計９１の検出値や流量計１０１の検出値に関係なく、このスイッチ１０２ａから駆動機構９０を直接操作できるようにしてもよい。同様に、表示灯１８０、１８１の点灯、消灯についても、スイッチ１０２ａにより制御可能としてもよい。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。以上の実施の形態では、容器収容装置１が半導体ウェハ製造用の処理液を貯留する容器を収容する場合を例に説明したが、処理液としては、半導体ウェハ製造用の処理液に限らず、例えば半導体ウェハ同士を貼り合せる接合プロセスに用いる接着剤の容器などを収容する場合においても当然に適用できる。

本発明は、処理液貯留用の容器を収容する際に有用である。

１ 容器収容装置
１０ 容器
１１ 収容ラック
１２ 棚
１３ 載置台
１４ 天板
２０ 供給管
２１ キャップ
３０ 載置板
３１ バネ
３２ 支持板
３３ カム機構
３４ シャッター
３５ ガイド
４０ 連結棒
４１ 軸受
４２ カム部材
５０ 空圧シリンダ
６０ ラック・アンド・ピニオン
７０ エアバック
８０ 保持部材

Claims (8)

1. 半導体製造用の処理液を貯留した容器を複数収容する容器収容装置であって、
   前記容器を載置する複数の載置台と、
   前記載置台上の前記容器の交換のために当該容器を前記載置台から移動させることを阻害する位置に配置され、且つ所定の条件が成立したときに前記載置台上の容器に対する相対的な位置が変化して、前記容器の交換のための移動を阻害する位置から退避する移動部材と、を有することを特徴とする、容器収容装置。
2. 前記所定の条件は、前記容器内の処理液の液量が所定の値を下回った場合に成立することを特徴とする、請求項１に記載の容器収容装置。
3. 前記容器内の処理液の液量を検出する液量検出機構をさらに有し、
   前記移動部材は、前記液量検出機構により検出される液量に応じて前記載置台上の容器に対する相対的な位置が変化することを特徴とする、請求項２に記載の容器収容装置。
4. 前記液量検出機構は、前記載置台に載置された容器の重量に応じて高さ方向の位置が変位する変位機構であり、
   前記変位機構には、当該変位機構の位置変化を前記移動部材に伝達して当該移動部材を移動させる変位伝達部材が接続されていることを特徴とする、請求項３に記載の容器収容装置。
5. 前記液量検出機構は、前記載置台に載置された容器の重量に応じて内部の気体の体積が変化するエアバックを備え、
   前記エアバックには、当該エアバック内部の気体の体積に応じて前記移動部材を移動させるシリンダ機構が接続されていることを特徴とする、請求項３に記載の容器収容装置。
6. 前記移動部材は、前記容器の側方で上下方向に移動するシャッターであることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の容器収容装置。
7. 前記移動部材は、前記容器内の処理液の液量が所定の値以上であるときは、前記容器の上下方向の移動を阻害するように、前記容器の上方に位置し、前記容器内の処理液の液量が所定の値を下回った場合は、前記容器の上方から退避した位置に移動することを特徴とする、請求項３〜５のいずれか一項に記載の容器収容装置。
8. 半導体製造用の処理液を貯留した容器を複数収容する容器収容装置であって、
   前記容器を載置する複数の載置台と、
   前記載置台上の前記容器の交換のために当該容器を前記載置台から移動させることを阻害する位置に配置された移動部材と、
   前記移動部材を移動させる駆動機構と、
   前記容器から外部に供給される処理液の流量を検出する流量検出機構と、
   前記流量検出機構での検出流量が所定の値を下回った場合に、前記移動部材を、前記容器の交換のための移動を阻害する位置から退避させるように、前記駆動機構を制御する制御部と、を有することを特徴とする、容器収容装置。
   
   

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