KR102380665B1 - 용기 수용 장치 - Google Patents

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가츠히로 오오카와
요시노리 우츠노미야
히카루 아카다
가즈히사 하세베
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

반도체 제조용의 처리액을 저류하는 용기를 복수 수용하는 용기 수용 장치는, 용기가 배치되는 배치대와, 배치대에 배치되는 용기 내의 처리액의 액량에 따라서 승강하는 지지판과, 지지판의 승강에 따라서 용기에 대한 상대적인 위치가 변화하는 셔터를 갖는다. 셔터는, 용기 내의 액량이 소정의 값을 하회하는 경우에, 용기의 배치대로부터의 이동을 저해하는 위치까지 상승한다.

Description

용기 수용 장치{CONTAINER ACCOMMODATION DEVICE}
(관련 출원의 상호 참조)
본원은, 2014년 9월 24일에 일본에 출원된 일본 특허 출원 2014-193581호 및 2015년 8월 10일에 일본에 출원된 일본 특허 출원 2015-158322호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.
본 발명은, 예컨대 레지스트액이나 현상액 등, 반도체 제조용의 처리액을 저류하는 용기를 수용하는 용기 수용 장치에 관한 것이다.
예컨대 반도체 디바이스의 제조 공정에서의 포토리소그래피 공정에서는, 웨이퍼 상에 레지스트액을 도포하여 레지스트막을 형성하거나, 현상액을 공급하여 레지스트막을 현상 처리하거나 하기 위해, 여러가지 액처리가 행해진다. 이들 일련의 액처리는, 각종 액처리 장치나 장치 사이에서 웨이퍼를 반송하는 반송 기구 등을 탑재한 기판 처리 시스템에 의해 행해진다.
이러한 기판 처리 시스템에 있어서, 각종 처리액은, 그 처리액을 저류하는 용기로부터 각종 액처리 장치에 공급되지만, 처리액에는 예컨대 레지스트액이나 현상액과 같이 복수의 것이 이용되고, 또한, 레지스트액이나 현상액 그 자체도 여러가지 종류의 것이 이용되기 때문에, 그 기판 처리 시스템에는 처리액의 용기가 여러 종류에 걸쳐 배치된다.
그 때문에, 예컨대 특허문헌 1에는, 예컨대 다 사용하여 빈 용기를 교환할 때 다른 종류의 용기와 잘못 교환해 버리는 것을 방지하기 위해, 각 용기를 관리하는 방법이 제안되어 있다.
특허문헌 1의 방법에서는, 예컨대 처리액의 용기 표면에 식별용 바코드를 부착해 두고, 용기 교환시에 그 바코드를 판독하여 미리 등록해 놓은 데이터와 비교함으로써, 교환하는 용기의 적합 여부를 판정한다.
특허문헌 1 : 일본 특허 공개 제2001-217217호 공보
그런데, 상기한 바와 같은 기판 처리 시스템에서는, 다수의 용기를 효율적으로 수용하기 위해, 예컨대 도 29에 도시한 바와 같이, 상하 방향으로 다단으로 설치되는 선반(200)을 갖춘 수용 랙(201)이 이용된다. 그리고, 각 단의 선반(200)에는 용기(210)가 다수 배치된다.
그 때문에, 용기(210)가 비었을 때, 다수의 용기(210) 중에서 교환이 필요한 용기(210)를 특정하기 위해 시간을 요하게 된다. 특히, 통상은 용기(210)에 색깔이 있어 외부에서 처리액의 잔량을 확인할 수 없고, 또한, 용기(210)의 크기나 형상은 처리액의 종류에 상관없이 대략 동일하므로, 외부로부터의 시인에 의해 빈 용기(210)를 특정하는 것이 어렵다.
따라서, 용기(210)의 교환 작업시에, 대상과는 다른 용기(210)를 잘못 교환해 버릴 우려가 있다. 그리고, 용기(210)를 잘못 교환하여 처리액이 혼합 접촉해 버리면, 처리액 계통의 세정 등을 행할 필요가 있기 때문에, 기판 처리 시스템의 복구에 많은 시간과 비용이 걸리게 된다.
본 발명은, 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 교환 대상이 되는 처리액의 용기를 단시간에 특정함과 함께, 용기를 잘못 교환하는 것을 방지하는 것을 목적으로 하고 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 반도체 제조용의 처리액을 저류하는 용기를 복수 수용하는 용기 수용 장치로서, 상기 용기가 배치되는 복수의 배치대와, 상기 배치대 상의 상기 용기의 교환을 위해 그 용기를 상기 배치대로부터 이동시키는 것을 저해하는 위치에 배치되고, 또한 소정의 조건이 성립했을 때 상기 배치대 상의 용기에 대한 상대적인 위치가 변화하여, 상기 용기의 교환을 위한 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴하는 이동 부재를 갖는다.
본 발명에 의하면, 용기를 교환하기 위해 그 용기를 배치대로부터 이동시키는 것을 저해하는 위치에 이동 부재가 배치되고, 이 이동 부재가 소정의 조건이 성립했을 때 용기의 교환을 위한 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴한다. 또, 소정의 조건이란, 예컨대 용기 내의 처리액의 액량이 소정의 값을 하회하여, 그 용기의 교환이 필요해진 경우 등이다. 따라서, 예컨대 처리액의 액량이 소정의 값을 하회하는 용기를 교환할 때, 교환 대상과는 다른 용기, 즉 이동 부재가 용기의 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴하지 않은 배치대에 대응하는 용기를, 잘못 교환해 버리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이동 기구가 이동하기 때문에, 그 이동 기구의 위치를 시인함으로써, 교환 대상이 되는 용기를 용이하게 특정할 수 있다.
다른 관점에 의한 본 발명은, 반도체 제조용의 처리액을 저류하는 용기를 복수 수용하는 용기 수용 장치로서, 상기 용기가 배치되는 복수의 배치대와, 상기 배치대 상의 상기 용기의 교환을 위해 그 용기를 상기 배치대로부터 이동시키는 것을 저해하는 위치에 배치되는 이동 부재와, 상기 이동 부재를 이동시키는 구동 기구와, 상기 용기로부터 외부에 공급되는 처리액의 유량을 검출하는 유량 검출 기구와, 상기 유량 검출 기구에서의 검출 유량이 소정의 값을 하회하는 경우에, 상기 이동 부재를, 상기 용기의 교환을 위한 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴시키도록, 상기 구동 기구를 제어하는 제어부를 갖는다.
본 발명에 의하면, 교환 대상이 되는 처리액의 용기를 단시간에 특정함과 함께, 잘못된 용기를 교환하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 실시형태에 관한 용기 수용 장치의 구성의 개략을 나타내는 정면도이다.
도 2는 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 3은 셔터의 형상을 나타내는 횡단면도이다.
도 4는 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 5는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 6은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 7은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 8은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 9는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 10은 유지 부재의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 11은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 12는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 13은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 14는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 15는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 16은 다른 실시형태에 관한 유지 부재의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 17은 다른 실시형태에 관한 유지 부재의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 18은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 19는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 20은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 21은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 22는 다른 실시형태에 관한 유지 부재의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 23은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 정면도이다.
도 24는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 우측도이다.
도 25는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 26은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 27은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 28은 다른 본 실시형태에 관한 용기 수용 장치의 구성의 개략을 나타내는 정면도이다.
도 29는 종래의 수용 랙의 구성의 개략을 나타내는 사시도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 관해 설명한다. 도 1은, 본 실시형태에 관한 용기 수용 장치(1)의 정면도이다. 용기 수용 장치(1)에 수용되는 용기(10)는, 예컨대 반도체 제조용의 처리액을 저류한다. 또, 처리액으로는, 예컨대 레지스트액이나 현상액, 반사 방지막을 형성하기 위한 약액 등이다.
용기 수용 장치(1)는, 수용 랙(11)과, 수용 랙(11) 내에 다단으로 설치되는 선반(12)과, 선반(12)의 상면에 배치되는 복수의 배치대(13)를 갖는다. 또, 도 1에서는, 상하 방향으로 선반(12)이 2단 설치되고, 각 선반(12)의 상면에는, 수평 방향을 따라서 각각 4개의 배치대(13)가 설치되어 있는 상태를 도시하고 있지만, 수용 랙(11)의 형상이나 선반(12), 배치대(13)의 수나 배치에 관해서는 본 실시형태의 내용에 한정되는 것이 아니며, 임의로 설정할 수 있다. 또한, 상단측의 선반(12)의 상방에는 상부판(14)이 설치된다.
각 배치대(13)에는, 처리액을 저류하는 용기(10)가 각각 배치된다. 용기(10)의 상방의 개구부에는, 용기(10)의 내부에 삽입되는 공급관(20)과 일체로 접속되는 캡(21)이 부착된다. 용기(10) 내의 처리액은, 공급관(20) 및 캡(21)을 통해 용기(10)의 외부로 공급된다.
배치대(13)는, 예컨대 도 2에 도시한 바와 같이, 선반(12)의 상면에 설치되는 예컨대 상면이 개구된 대략 원통 형상의 배치판(30)과, 배치판(30) 상면에 상하 방향으로 연신하여 설치되는 스프링(31)과, 스프링(31)의 배치판(30)과 반대측의 단부에 설치되는, 용기(10)의 하면을 지지하는 지지판(32)과, 지지판(32)의 하면에 접속되는 변위 전달 부재로서의 캠기구(33)와, 캠기구(33)에 의해 승강 이동하는 이동 부재로서의 셔터(34)를 갖는다. 지지판(32)의 측면은, 예컨대 원통 형상의 가이드(35)에 의해 슬라이딩 가능하게 지지된다. 따라서, 지지판(32)에 용기(10)를 배치하면, 그 용기(10) 내의 처리액의 액량에 따라서 스프링(31)이 신축하여 지지판(32)이 상하 방향으로 이동하고, 이 상하 이동이 캠기구(33)에 전달된다.
캠기구(33)는, 예컨대 지지판(32)의 하면에 접속되는 연결봉(40)과, 그 연결봉(40)을 슬라이딩 가능하게 지지하는 베어링(41)을 갖는다. 연결봉(40)은 회동 가능한 관절을 복수 가지며, 베어링(41)을 시점으로 해서 회전할 수 있도록 구성된다. 연결봉(40)의 지지판(32)과 반대측의 단부는, 예컨대 타원형의 캠부재(42)와 슬라이딩 가능하게 접속된다. 따라서, 지지판(32)의 상하 이동에 따라 연결봉(40)을 통해 캠부재(42)가 이동한다.
캠부재(42)의 상면에서는, 예컨대 셔터(34)의 하방에 접속되는 지지봉(43)을 통해 셔터(34)가 지지된다. 따라서, 캠기구(33)를 동작시킴으로써 셔터(34)를 이동시킬 수 있다. 또, 도 2에서는, 예컨대 용기(10) 내의 처리액이 가득 차있고, 셔터(34)가 대략 상한 위치까지 이동한 상태를 도시하고 있다. 또한, 셔터(34)는, 예컨대 도 3에 도시한 바와 같이, 용기(10)의 교환시에 작업원이 액세스하는 면(도 3의 좌측 방향)을 덮는 것 같은 반원통 형상을 갖는다. 또, 셔터(34)의 형상으로는 본 실시형태의 것에 한정되지 않고, 예컨대 용기(10)의 외주를 덮는 것 같은 원통 형상이어도 좋고, 평판형의 부재이어도 좋다.
본 실시형태에 관한 용기 수용 장치(1)는 이상과 같이 구성되고, 다음으로 용기 수용 장치(1)에서의 용기(10)의 교환 작업에 관해 설명한다.
도 2에 도시한 바와 같이, 용기(10) 내에 처리액이 가득 찬 상태에서는, 그 용기(10)의 중량에 따라서 지지판(32)을 통해 스프링(31)이 밀려 내려간다. 이 때, 변위 기구로서의 스프링(31)과 지지판(32)은, 용기 내의 처리액의 잔량을 검출하는 액량 검출 기구로서 기능한다. 그리고, 스프링(31) 및 지지판(32)이 밀려 내려간 상태에서는, 캠부재(42)에 의해 셔터(34)가 상방으로 밀려 올라간 상태가 된다. 이와 같이, 셔터(34)가 상방으로 밀려 올라가면, 그 셔터(34)가 장애물이 됨으로써 예컨대 상방의 선반(12) 혹은 상부판(14)과, 그 셔터(34)의 상단과의 사이의 클리어런스가 작아져, 용기(10)를 배치대(13)로부터 이동시킬 수 없게 된다. 바꾸어 말하면, 셔터(34)는, 배치대(13) 상의 용기(10)를 교환하기 위해 그 용기(10)를 배치대(13)로부터 이동시키는 것을 저해하는 위치에 배치된 상태가 된다.
그리고, 용기(10) 내의 약액이 감소하면, 용기(10)의 중량의 감소와 함께, 스프링(31)에 의해 지지판(32)이 서서히 밀려 올라간다. 이것에 의해, 예컨대 도 4에 도시한 바와 같이, 연결봉(40)을 통해 캠부재(42)가 이동하고, 셔터(34)가 하강한다. 그리고, 소정의 조건이 성립하면, 구체적으로는 용기(10) 내의 처리액이 거의 비면, 장애물로서의 셔터(34)는 하한 위치까지 하강한다. 바꾸어 말하면 셔터(34)는, 용기(10)의 교환을 위한 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴한다. 그 결과, 셔터(34)의 상단과 선반(12) 혹은 상부판(14)과의 사이의 클리어런스가, 용기(10)를 배치대(13)로부터 이동시킬 수 있을 정도로 확보된 상태가 되어, 그 용기(10)를 교환하는 것이 가능해진다. 또한, 셔터(34)가 하강함으로써, 그 셔터(34)의 상하 방향의 위치가, 비어 있지 않은 다른 용기(10)와는 상이한 상태가 되기 때문에, 그 셔터(34)의 위치를 확인함으로써, 작업원이 육안으로 용이하게 빈 용기(10)를 특정할 수 있는 상태가 된다.
그리고, 작업원이 셔터(34)의 위치를 확인하여 빈 용기(10)를 특정하면, 그 용기(10)의 교환이 행해진다. 용기(10) 교환 후에는, 새로운 용기(10)의 자체 중량에 의해, 스프링(31) 및 지지판(32)이 하강하고, 그에 따라 캠기구(33)에 의해 다시 셔터(34)가 상한의 위치까지 밀려 올라간다. 이것에 의해, 배치대(13)의 용기(10)는, 다시 셔터(34)에 의해 제거를 할 수 없는 상태가 된다.
이상의 실시형태에 의하면, 셔터(34)가 용기(10) 내의 액량에 따라서 용기에 대하여 상대적으로 상하 이동하고, 액량이 소정의 값을 하회하는 경우, 예컨대 빈 경우에, 배치대(13) 상의 용기(10)를 교환을 위해 이동시키는 것을 저해하는 위치로부터 후퇴하기 때문에, 용기(10)의 교환 작업시에 교환 대상과는 다른 용기(10), 즉 셔터(34)가 용기(10)의 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴하지 않은 배치대(13)에 대응하는 용기(10)를, 잘못 교환해 버리는 것을 방지할 수 있다.
또한, 통상의 용기(10)의 교환 작업에 있어서는, 예컨대 용기(10)에 첨부된 라벨 등을 확인하여 빈 용기(10)를 특정하지만, 라벨과 같은 식별물이 항상 작업자측을 향해 있는 것은 아니다. 그 때문에, 빈 용기(10)를 특정하는 데 시간을 요하는 경우가 있다. 이것에 대하여 본 발명에서는, 셔터(34)의 위치를 육안으로 확인함으로써, 교환 대상이 되는 용기(10)를 용이하게 특정할 수 있다. 나아가, 셔터(34)가 용기(10) 내의 액량에 따라서 동작하기 때문에, 예컨대 작업원이 현장에서 셔터의 높이 방향의 위치를 확인함으로써, 용기(10) 내의 대강의 액량을 알 수 있다. 그 때문에, 용기(10)의 대강의 교환 시기의 파악에도 도움이 된다. 따라서 본 발명에 의하면, 교환 미스를 방지하고, 또한 효율적으로 용기(10)의 교환 작업을 행할 수 있다.
게다가, 캠기구(33)나 스프링(31)과 같은, 전기적인 구동 장치를 필요로 하지 않는 기구에 의해 셔터를 상하 이동시킬 수 있기 때문에, 예컨대 용기 수용 장치(1)가 이용되는 기판 처리 시스템(도시하지 않음)의 제어 장치 등에 있어서 특별한 제어를 필요로 하지 않는다. 그 때문에, 제어 장치의 부하가 증가하거나, 배선 작업이 발생하거나 하지 않고, 저비용으로 용기 수용 장치(1)를 실현할 수 있다.
단, 용기 수용 장치(1)에 예컨대 전동 액츄에이터와 같은 전동의 구동 기기를 이용하는 것을 부정하는 것은 아니며, 예컨대 스프링(31)의 변위량을 전기적으로 측정하는 측정 기구나 용기(10)의 중량을 측정하는 압전 소자에 의해 용기(10) 내의 액량을 검출하고, 그 검출 신호에 기초하여, 셔터(34)를 이동시키는 전기식 또는 공기 작동식의 구동 기구 등을 이용해도 좋다.
또한, 전기적으로 용기(10) 내의 액량을 측정하는 경우에는, 예컨대 용기(10) 내의 공급관(20)에 유량계나 액면계를 설치하여, 예컨대 유량계의 검출치가 제로가 되거나 액면계의 검출치가 제로 레벨이 되면, 용기(10)의 교환 시기라고 판단하여 셔터(34)를 이동시키도록 해도 좋다.
이상의 실시형태에서는, 셔터(34)를 상하로 이동시켰지만, 셔터(34)의 이동 방향에 관해서는 본 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니며, 용기(10)의 교환이 불필요한 상태에 있어서, 그 용기(10)의 배치대(13)로부터의 이동을 저해하도록 이동하는 것이라면, 그 이동의 방향에 관해서는 임의로 설정할 수 있다. 나아가, 셔터(34) 등의 이동 부재를 이동시키는 기구에 관해서도, 캠기구(33)에 한정되는 것은 아니며, 공지의 여러 기구를 이용할 수 있다.
다른 실시형태로서, 예컨대 도 5에 도시한 바와 같이, 셔터(34)를 이동시키는 기구로서, 캠기구(33) 대신에 공압 실린더(50) 등을 이용해도 좋다. 공압 실린더(50)를 이용하는 경우, 예컨대 지지판(32)의 하방에, 내부에 기체가 충전되고 상하 방향으로 신축 가능한 에어백(51)을 설치하고, 그 에어백(51)과 공압 실린더(50)가 급기관(52)에 의해 접속된다. 그리고, 지지판(32)의 상하 이동에 따라 에어백(51) 내의 기체의 체적이 변화하고, 그 체적 변화가 급기관(52)을 통해 공압 실린더에 전달됨으로써, 공압 실린더(50)에 의해 지지봉(43)을 통해 셔터(34)의 상하 이동이 행해진다.
또, 공압 실린더(50)를 이용하는 경우, 에어백(51)은 반드시 설치할 필요는 없다. 예컨대 지지판(32)과 가이드(35)에 의해 둘러싸인 공간(A)을 기밀하게 유지할 수 있도록 지지판(32)과 가이드(35)를 구성하고, 그 지지판(32)과 가이드(35)에 의해 둘러싸인 공간(A)에 급기관(52)을 연통하도록 설치해도 좋다. 이러한 경우도 공간(A)이 에어백으로서 기능하고, 또한 급기관(52)으로부터 공압 실린더(50)에 공간(A)의 체적 변화가 전달되기 때문에, 공압 실린더에 의해 셔터(34)를 상하 이동시킬 수 있다. 또, 다른 구성에 관해서는, 도 2의 경우와 동일하므로 설명을 생략한다.
또한, 다른 실시형태로서, 예컨대 도 6에 도시한 바와 같이, 지지판(32)의 동작을 셔터(34)에 전달하는 변위 전달 부재로서, 랙ㆍ앤드ㆍ피니언(60)을 이용해도 좋다. 이러한 경우, 예컨대 하나의 랙(61)을 지지판(32)에 접속하고, 예컨대 가이드(35)의 외방에 설치되는 피니언(62)을 사이에 두고 또 다른 랙(63)을 설치한다. 또, 피니언(62)은 높이 방향의 위치가 고정되도록 설치된다. 또한, 도 6에서는, 예컨대 다른 랙(63)이 셔터(34)에 직접 고정된다.
그리고, 예컨대 도 7에 도시한 바와 같이, 용기(10)를 교환한 후에는, 지지판(32)과 함께 랙(61)이 하방으로 이동하고, 이것에 의해, 피니언(62)을 사이에 두고 설치되는 다른 랙(63)이 상승하여, 셔터(34)가 용기(10)의 교환을 저해하는 위치까지 상승한다. 또, 다른 구성에 관해서는 도 2의 경우와 동일하므로 설명을 생략한다.
또, 용기(10)의 이동을 저해하기 위한 부재로는 셔터(34)에 한정되지 않고 여러가지 부재를 이용할 수 있다. 예컨대 도 8에 도시한 바와 같이, 가이드(35)와 배치판(30) 사이의 공간에 셔터(34)를 대신하는 이동 부재로서 에어백(70)을 설치해도 좋다. 이러한 경우, 지지판(32)과 가이드(35)에 의해 둘러싸인 공간(A)을 기밀하게 구성하고, 공간(A)과 에어백(70)에 연통하도록 급기관(52)이 설치된다. 또, 다른 구성에 관해서는 도 2의 경우와 동일하다.
그리고, 도 8에 도시한 바와 같이, 용기(10) 내에 처리액이 채워져 있는 상태에서는, 공간(A)이 압축되는 것에 의해 에어백(70)으로 공간(A) 내의 기체가 이동하고, 에어백(70)이 상방으로 신장된다. 이에 따라, 에어백(70)은 교환을 위한 용기(10)의 이동을 저해하도록 기능한다. 또한, 용기(10) 내의 처리액이 감소하면, 스프링(31)에 의해 지지판(32)이 상방으로 밀려 올라가고, 공간(A)의 용적이 증가한다. 그렇게 되면, 급기관(52)을 통해 에어백(70)으로부터 공간(A)측으로 기체가 유입되고, 도 9에 도시한 바와 같이, 에어백(70)이 수축하여 용기(10)의 교환이 가능한 상태가 된다. 또, 셔터(34) 대신에 에어백을 이용하는 경우도, 반드시 전동의 구동 기기나 전기적인 계측 기기의 사용을 부정하는 것은 아니다. 예컨대 셔터(34)를 전기적으로 이동시키는 경우와 마찬가지로, 예컨대 용기(10) 내의 처리액의 잔량을 전기적으로 측정하고, 그 잔량에 따라서 에어백(70) 내에 예컨대 공기 압축기 등에 의해 기체를 공급하여 에어백(70)을 신장시키고, 전자 밸브 등을 이용하여 기체를 배기시켜 에어백(70)을 수축시키도록 해도 좋다.
이상의 실시형태에서는, 용기(10)의 교환을 저해하도록 이동하는 이동 부재로서 셔터(34)를 이용했지만, 이동 부재로서 이용하는 것은 셔터에 한정되지 않는다. 예컨대 도 10, 도 11에 도시한 바와 같이, 용기(10)의 캡(21)보다 낮은 위치에서 그 캡(21)을 사이에 끼우도록 용기(10)를 유지하는, 대략 U자형으로 형성되는 유지 부재(80)를 설치하고, 이 유지 부재(80)를 지지판(32)의 상하 이동에 연동하여 동작하도록 해도 좋다.
이러한 경우, 유지 부재(80)는, 배치대(13)에서의 용기(10)의 교환시에 작업원이 액세스하는 측(도 10, 도 11의 좌측 방향)과는 반대측에 설치된다. 그리고, 지지판(32)의 하면에 접속되는 연결봉(40)의 상하 이동에 따라 유지 부재(80)를 도 11의 θ 방향으로 가동시키는 가동 기구(81)가 설치되고, 유지 부재(80)의 용기(10)를 유지하는 측과 반대측의 단부는 가동 기구(81)에 의해 지지된다. 이에 따라, 예컨대 도 11에 도시한 바와 같이, 교환 직후의 용기(10)를 배치대(13)에 배치하면, 유지 부재(80)가 용기(10)를 상방으로부터 억제하도록 이동하여, 용기(10)의 이동을 저해하도록 기능한다.
그리고, 용기(10) 내의 처리액이 감소하면, 유지 부재(80)는 가동 기구(81)를 지점으로 하여 수평 방향으로부터 서서히 수직 방향으로 기립하도록 동작하여, 용기(10)가 비면, 예컨대 도 12에 도시한 바와 같이, 용기(10)의 상방으로부터 후퇴한 위치까지 이동한다. 이에 따라, 용기(10)의 이동이 유지 부재(80)에 의해 저해되지 않게 되어, 용기(10)의 교환 작업을 실시할 수 있게 된다.
또, 이상의 실시형태에서는, 용기(10) 내의 처리액의 액량에 따라서 캠기구(33)나 가동 기구(81)를 통해 셔터(34)나 유지 부재(80)를 이동시켰지만, 예컨대 캠기구(33)나 가동 기구(81)와 같은 변위 전달 부재 등을 용이하게 제거할 수 있도록 구성해 두고, 비정상시에 제거를 행함으로써, 비어 있지 않은 용기(10)의 제거를 가능하게 하도록 해도 좋다.
또한, 셔터(34)를 전기적인 구동 장치에 의해 이동시키는 경우와 마찬가지로, 예컨대 용기(10) 내의 처리액의 잔량을 전기적으로 측정하고, 그 잔량에 따라서 유지 부재(80)를 이동시킨다, 도 13에 나타내는 전기적인 구동 기구(90)를 가동 기구(81) 대신에 이용하도록 해도 좋다. 구동 기구(90)로는, 예컨대 전동 액츄에이터나 에어 실린더 등을 이용할 수 있다. 이러한 경우도, 용기(10)를 교환할 때에는 구동 기구(90)에 의해 유지 부재(80)를 수직 방향으로 기립하도록 회동시키고, 그 이외의 경우, 즉 용기(10)의 교환을 행하지 않는 경우에는, 유지 부재(80)가 수평 방향을 향하도록 회동시킴으로써, 용기(10)를 잘못 교환해 버리는 것을 방지할 수 있다. 또, 전기적으로 구동하는 구동 기구(90)를 이용하는 경우, 도 13에 도시한 바와 같이, 캠기구(33)나 스프링(31)과 같은 기구는 불필요해지고, 또한, 지지판(32)도 승강할 필요는 없다. 이러한 경우, 용기(10)를 배치판(30) 상에 직접 배치하도록 해도 좋다.
또, 전기적으로 용기(10) 내의 액량을 측정하는 경우에는, 예컨대 도 13에 도시한 바와 같이, 공급관(20)의 대략 선단의, 용기(10)의 저면에 가까운 위치에 액면계(91)를 설치하여, 용기(10) 저면 근방에서의 처리액의 유무를 검출하거나, 예컨대 도 13에 도시한 바와 같이, 용기(10)로부터 수요처에 대하여 처리액을 공급하는 외부 공급관(100)에 유량 검출 기구로서의 유량계(101)를 설치하여, 외부 공급관(100) 내를 흐르는 처리액의 유무를 검출하거나 함으로써, 용기(10) 내의 처리액의 유무를 검출하도록 해도 좋다. 액면계(91)를 이용하는 경우, 예컨대 액면계(91)의 검출치가 제로 레벨이 되면 용기(10)의 교환 시기라고 판단할 수 있다. 또한, 유량계(101)를 이용하는 경우에 있어서도, 그 유량계(101)의 검출치가 제로가 되면 용기(10)의 교환 시기라고 판단할 수 있다. 또, 액면계(91)의 검출치나 유량계(101)의 검출치는 제어 장치(102)에 입력되고, 제어 장치(102)에서는, 이들 검출치에 기초하여 구동 기구(90)의 동작을 제어한다.
또, 도 13에서는, 구동 기구(90)에 의해 유지 부재(80)를 수직 방향과 수평 방향의 사이에서 회동시키는 경우를 도시하고 있지만, 유지 부재(80)를 어떻게 이동시킬지에 관해서는 본 실시형태의 내용에 한정되지 않고, 예컨대 도 14에 도시한 바와 같이, 수평으로 유지한 상태의 유지 부재(80)를 수평 방향으로 왕복 이동시키는 구동 기구(110)를 설치하여, 유지 부재(80)를 예컨대 도 14의 좌측 방향으로 이동시킴으로써 용기(10)의 교환을 위한 이동을 저해하고, 도 14의 우측 방향으로 이동시킴으로써 용기(10)를 교환할 수 있는 상태로 할 수 있다. 또한, 예컨대 도 15에 도시한 바와 같이, 수평으로 유지한 상태의 유지 부재(80)를 수직 방향으로 왕복 이동시키는 구동 기구(120)를 설치하여, 유지 부재(80)를 예컨대 도 15의 하방향으로 이동시킴으로써 용기(10)의 교환을 위한 이동을 저해하고, 도 15의 상방향으로 이동시킴으로써 용기(10)를 교환할 수 있는 상태로 하도록 해도 좋다. 또, 도 14나 도 15에서는, 제어 장치(102)나 액면계(91), 유량계(101)의 도시를 생략하고 있지만, 이들 기기에 관해서는 이후에 나타내는 다른 실시형태에 있어서도 필요에 따라서 적절하게 설치된다.
또한, 유지 부재(80)의 형상은 본 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니며, 용기(10)의 교환시에 그 용기(10)의 이동을 저해하도록 기능하는 형상이라면 임의로 설정할 수 있다. 예컨대 도 16에 도시한 바와 같이, 평면에서 볼 때 반원형의 유지 부재(130a, 130b)를, 용기(10)의 캡(21)보다 낮은 위치에서 그 캡(21) 근방을 끼워 넣도록 배치하고, 각 유지 부재(130a, 130b)를 각각 구동 기구(131)에 의해 수평 방향(도 16의 상하 방향)으로 이동시키도록 해도 좋다.
또한, 유지 부재(80)는 용기(10) 그 자체를 유지할 필요는 없고, 예컨대 도 17에 도시한 바와 같이, 대략 평판형의 유지 부재(140)를 평면에서 볼 때 용기(10)의 캡(21)을 덮는 위치이자 캡(21) 상방의 가장 가까운 위치에 배치함으로써, 용기(10)의 상하 방향의 이동을 제한하여, 용기(10)의 교환을 위한 이동을 저해하도록 해도 좋다. 이러한 경우, 유지 부재(140)의 동작으로는, 예컨대 도 14에 나타내는 구동 기구(110)를 이용하여 도 17의 좌우 방향으로 이동시켜도 좋고, 예컨대 도 15에 나타내는 구동 기구(120)를 이용하여 수직 방향으로 이동시켜도 좋고, 도 16에 나타내는 구동 기구(131)를 이용하여 도 17의 상하 방향으로 이동시켜도 좋다.
또, 도 17에서는 대략 평판형의 유지 부재(140)를 캡(21)의 상방 가장 가까이에 설치한 모습을 도시했지만, 유지 부재(140) 대신에, 예컨대 도 18에 도시한 바와 같은, 저면이 개구된 덮개(141)에 의해 캡(21)을 둘러쌈으로써 용기(10)의 상하 방향의 이동을 제한하고, 필요에 따라서 구동 기구(120)로 덮개(141)를 상방향으로 후퇴시키도록 해도 좋고, 유지 부재나 덮개의 형상은 본 실시의 내용에 한정되는 것이 아니라 임의로 설정할 수 있다. 또한, 용기(10)와 유지 부재(80, 140)나 덮개(141)를 상대적으로 이동시킨다고 하는 관점에서는, 반드시 유지 부재(80, 140)나 덮개(141)를 이동시킬 필요는 없고, 예컨대 도 15에 나타내는 구동 기구(120)를 지지판(32)에 접속하여, 유지 부재(80, 140)나 덮개(141)에 대하여 용기(10) 그 자체를 이동시키도록 해도 좋다.
용기(10) 그 자체를 이동시키는 경우, 예컨대 도 19에 도시한 바와 같이, 스프링(31)을 용기(10)의 중심으로부터 편심한 위치에 배치함과 함께, 지지판(32)에서의 스프링(31)에 지지된 측과 반대측의 단부를 예컨대 힌지(142)에 의해 가이드(35)에 회동 가능하게 고정하고, 용기(10)의 캡(21)의 상방에 유지 부재(140)를 설치하도록 해도 좋다. 또, 도 19의 힌지(142)측이 액세스면이다. 이러한 경우, 용기(10) 내의 처리액이 감소하면 스프링(31)에 의해 지지판(32)의 힌지(142)와 반대측의 단부가 서서히 밀려 올려가고, 예컨대 도 20에 도시한 바와 같이, 용기(10)가 액세스면의 방향을 향해 기울어진다. 그렇게 되면, 예컨대 캡(21)이 평면에서 볼 때 유지 부재(140)와는 간섭하지 않는 위치까지 이동하여, 배치대(13)로부터 용기(10)를 경사 방향으로 빼내는 것이 가능해진다. 이러한 경우, 스프링(31), 지지판(32), 힌지(142)와 같은, 용기(10)를 기울어지게 이동시키는 기구도, 용기(10)의 교환을 저해하도록 이동하는 본 발명의 이동 부재의 범주 내인 것으로 이해된다.
또한, 셔터를 이용하는 경우의 다른 실시형태로서, 전술한 반원통 형상의 셔터(34) 대신에, 예컨대 도 21, 도 22에 도시한 바와 같은 소정의 높이를 갖는 평판형의 셔터(150a, 150b)를 작업원이 액세스하는 면(도 21의 좌측 방향, 도 22의 좌측 방향)에 설치함과 함께, 그 셔터(150a, 150b)의 단부에 힌지 등의 회전축(151)을 설치하여, 여닫이문처럼 개폐할 수 있도록 해도 좋다. 이러한 경우, 예컨대 용기(10)의 교환이 불필요한 경우는, 회전축(151)을 전자 브레이크(도시하지 않음) 등에 의해 고정하여 셔터(150a, 150b)를 개폐할 수 없도록 해 두고, 액면계(91)나 유량계(101)에 의해 교환이 필요하다는 것이 검출된 경우는, 전자 브레이크를 해제함으로써, 작업원이 셔터(150a, 150b)를 열어 용기(10)에 액세스할 수 있게 된다.
또한, 이상의 실시형태에서는, 셔터(34)나 셔터(150a, 150b)와 같은 용기(10)의 이동을 저해하는 부재를, 예컨대 배치판(30)의 내측에 배치했었지만, 이들의 배치에 관해서도 본 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 도 23에 도시한 바와 같이, 작업원이 액세스하는 측의 면에서 볼 때 용기(10)의 바로 앞에 그 용기(10)의 이동을 저해하는, 대략 U형상을 갖는 막대형의 막대형 부재(152)와, 그 막대형 부재(152)를 예컨대 도 24에 도시한 바와 같이 작업원이 액세스하는 측의 면을 향해 회동시키는 구동 기구(153)를 설치하도록 해도 좋다. 또, 도 24는 도 23의 우측면으로부터 용기(10)를 본 상태를 도시하고 있고, 도 24의 좌측 방향이 작업원의 액세스면이다. 또한, 막대형 부재(152)를 회동시키는 경우, 예컨대 도 25에 도시한 바와 같이, 도 6에 나타내는 배치대(13)로부터 다른 랙(63)과 셔터(34)를 제거하고, 높이 방향의 위치가 고정된 피니언(62)에 막대형 부재(152)를 접속하여, 피니언(62)의 회전에 의해 막대형 부재(152)를 회동시켜도 좋다.
또한, 교환이 불필요한 용기(10)를 잘못 교환해 버리는 것을 방지한다고 하는 관점에서는, 반드시 용기(10) 그 자체의 이동을 저해할 필요는 없다. 일반적으로, 캡(21)에는, 예컨대 도 26에 도시한 바와 같이, 회전 방지용의 브래킷(160)이 설치된다. 따라서, 예컨대 도 26에 도시한 바와 같이, 브래킷(160)을 고정하기 위한 고정 부재(161)와, 고정 부재(161)를 이동시키는 구동 기구(162)를 설치하여, 용기(10)의 교환이 불필요한 경우는, 브래킷(160)을 고정하는 위치로 고정 부재(161)를 이동시키고, 교환이 필요한 경우는, 브래킷(160)의 고정을 해제하도록 고정 부재(161)를 이동시키도록 해도 좋다. 이와 같이, 캡(21)을 용기(10)로부터 제거하는 것을 저해하는 고정 부재(161)나 구동 기구(162)도, 용기(10)의 교환을 저해하도록 이동하는 본 발명의 이동 부재의 범주 내인 것으로 이해된다.
또, 이상의 실시형태에서는, 에어백(70)을 신축시킴으로써 셔터(34)를 대신하여 이용했지만, 예컨대 도 27에 도시한 바와 같이, 배치판(30)의 내주면을 따라서 예컨대 고리형의 에어백(170)을 배치하여, 액면계(91)나 유량계(101)에 의해 용기(10)의 교환이 필요하다는 것이 검출된 경우에, 급기관(52)을 통해 에어백(170)에 도시하지 않은 기체 공급원으로부터 기체를 공급하도록 해도 좋다. 기체를 공급함으로써, 에어백(170)에 의해 용기(10)가 사이에 끼어, 교환을 위한 용기(10)의 이동을 저해하는 것이 가능해진다.
또한, 전기적인 기구를 이용하는 경우, 유지 부재(80)를 전기적으로 이동시키거나, 용기(10) 내의 처리액의 잔량을 전기적으로 검출하거나 하는 것 이외에, 예컨대 교환 대상이 되는 용기(10)를 식별하기 위한 표시등(180)을 설치하는 것도 생각된다. 이러한 경우, 예컨대 도 28에 도시한 바와 같이, 각 배치대(13)의 근방에 표시등(180)을 설치하여, 용기 교환 위치로 이동할 수 있는 용기(10)에 대응하는 표시등(180)을 점등시키도록 해도 좋다. 또한, 용기 수용 장치(1)가 이용되는 기판 처리 시스템(도시하지 않음)은, 통상, 클린룸 내에 복수 설치되기 때문에, 용기 수용 장치(1)도 복수 설치되게 된다. 그 때문에, 어느 용기 수용 장치(1)의 용기(10)가 교환 대상인지를 한번 보고 판단하는 것이 어려운 경우가 있다. 이러한 경우, 예컨대 도 28에 도시한 바와 같이, 용기 수용 장치(1)의 상부판(14) 등, 시인하기 쉬운 임의의 개소에 표시등(181)을 설치하여, 어느 용기 수용 장치(1)가 교환 대상이 되는 용기(10)를 갖고 있는지를 한번 보고 판단할 수 있도록 해도 좋다. 또, 표시등(180, 181)의 점등, 소등에 관해서는, 예컨대 제어 장치(102)에 의해 제어된다.
또, 이상의 실시형태에서는, 용기(10)를 교환 가능한 상태로 하는 소정의 조건으로서, 용기(10) 내의 처리액의 액량이 소정량을 하회하여 그 용기(10)의 교환이 필요해진 경우를 예를 들어 설명했지만, 용기(10)를 교환 가능한 상태로 하는 소정의 조건은 본 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 기판 처리 시스템(도시하지 않음)에서 사용하는 처리액의 종류를 변경하는 경우와 같이, 용기(10) 내의 처리액의 잔량에 상관없이 용기(10)의 교환이 필요해질 때가 있다. 이러한 경우, 예컨대 도 13에 도시한 바와 같이, 제어 장치(102)에 스위치(102a)를 설치해 두고, 액면계(91)의 검출치나 유량계(101)의 검출치에 관계없이, 이 스위치(102a)로부터 구동 기구(90)를 직접 조작할 수 있도록 해도 좋다. 마찬가지로, 표시등(180, 181)의 점등, 소등에 관해서도, 스위치(102a)에 의해 제어할 수 있도록 해도 좋다.
이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시형태에 관해 설명했지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다. 당업자라면, 청구범위에 기재된 사상의 범주 내에 있어서, 각종 변경예 또는 수정예에 이를 수 있는 것은 분명하며, 이들에 관해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것으로 이해된다. 본 발명은 이 예에 한정되지 않고 여러가지 양태를 채용할 수 있는 것이다. 이상의 실시형태에서는, 용기 수용 장치(1)가 반도체 웨이퍼 제조용의 처리액을 저류하는 용기를 수용하는 경우를 예를 들어 설명했지만, 처리액으로는, 반도체 웨이퍼 제조용의 처리액에 한정되지 않고, 예컨대 반도체 웨이퍼들을 서로 접착하는 접합 프로세스에 이용하는 접착제의 용기 등을 수용하는 경우에 있어서도 당연히 적용할 수 있다.
본 발명은 처리액 저류용의 용기를 수용할 때에 유용하다.
1 : 용기 수용 장치 10 : 용기
11 : 수용 랙 12 : 선반
13 : 배치대 14 : 상부판
20 : 공급관 21 : 캡
30 : 배치판 31 : 스프링
32 : 지지판 33 : 캠기구
34 : 셔터 35 : 가이드
40 : 연결봉 41 : 베어링
42 : 캠부재 50 : 공압 실린더
60 : 랙ㆍ앤드ㆍ피니언 70 : 에어백
80 : 유지 부재

Claims (8)

  1. 반도체 제조용의 처리액을 저류하는 용기를 복수 수용하는 용기 수용 장치로서,
    상기 용기가 배치되는 복수의 배치대와,
    상기 배치대 상의 상기 용기의 교환을 위해 그 용기를 상기 배치대로부터 이동시키는 것을 저해하는 위치에 배치되고, 또한 정해진 조건이 성립했을 때에 상기 배치대 상의 용기에 대한 상대적인 위치가 변화하여, 상기 용기의 교환을 위한 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴하는 이동 부재를 갖는 것을 특징으로 하는 용기 수용 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 정해진 조건은, 상기 용기 내의 처리액의 액량이 정해진 값을 하회하는 경우에 성립하는 것을 특징으로 하는 용기 수용 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 용기 내의 처리액의 액량을 검출하는 액량 검출 기구를 더 가지며,
    상기 이동 부재는, 상기 액량 검출 기구에 의해 검출되는 액량에 따라서 상기 배치대 상의 용기에 대한 상대적인 위치가 변화하는 것을 특징으로 하는 용기 수용 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 액량 검출 기구는, 상기 배치대에 배치되는 용기의 중량에 따라서 높이 방향의 위치가 변위하는 변위 기구이며,
    상기 변위 기구에는, 그 변위 기구의 위치 변화를 상기 이동 부재에 전달하여 그 이동 부재를 이동시키는 변위 전달 부재가 접속되는 것을 특징으로 하는 용기 수용 장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 액량 검출 기구는, 상기 배치대에 배치되는 용기의 중량에 따라서 내부의 기체의 체적이 변화하는 에어백을 구비하고,
    상기 에어백에는, 그 에어백 내부의 기체의 체적에 따라서 상기 이동 부재를 이동시키는 실린더 기구가 접속되는 것을 특징으로 하는 용기 수용 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 이동 부재는, 상기 용기의 측방에서 상하 방향으로 이동하는 셔터인 것을 특징으로 하는 용기 수용 장치.
  7. 제 3항에 있어서,
    상기 이동 부재는, 상기 용기 내의 처리액의 액량이 정해진 값 이상일 때에는, 상기 용기의 상하 방향의 이동을 저해하도록 상기 용기의 상방에 위치하고, 상기 용기 내의 처리액의 액량이 정해진 값을 하회하는 경우는, 상기 용기의 상방으로부터 후퇴한 위치로 이동하는 것을 특징으로 하는 용기 수용 장치.
  8. 반도체 제조용의 처리액을 저류하는 용기를 복수 수용하는 용기 수용 장치로서,
    상기 용기가 배치되는 복수의 배치대와,
    상기 배치대 상의 상기 용기의 교환을 위해 그 용기를 상기 배치대로부터 이동시키는 것을 저해하는 위치에 배치되는 이동 부재와,
    상기 이동 부재를 이동시키는 구동 기구와,
    상기 용기로부터 외부에 공급되는 처리액의 유량을 검출하는 유량 검출 기구와,
    상기 유량 검출 기구에서의 검출 유량이 정해진 값을 하회하는 경우에, 상기 이동 부재를, 상기 용기의 교환을 위한 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴시키도록 상기 구동 기구를 제어하는 제어부를 갖는 것을 특징으로 하는 용기 수용 장치.
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