KR102326014B1 - 가스 실린더 보관 장치 - Google Patents

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KR102326014B1
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Abstract

가스 실린더 보관 장치가 개시된다. 상기 가스 실린더 보관 장치는, 가스 실린더들의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버와, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 지지하기 위한 서포트 부재들과, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 고정하기 위한 그리퍼들과, 상기 가스 실린더들에 각각 부착된 정보 태그들로부터 상기 가스 실린더들의 이력 정보를 획득하기 위한 정보 획득 유닛과, 상기 정보 획득 유닛이 상기 정보 태그들에 인접하도록 상기 정보 획득 유닛을 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부를 포함할 수 있다.

Description

가스 실린더 보관 장치{Apparatus for storing gas cylinders}
본 발명의 실시예들은 가스 실린더 보관 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 사용되는 공정용 가스들의 공급을 위한 가스 실린더들의 보관을 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있다. 상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정을 통해 개별화될 수 있으며 다이 본딩 공정과 패키징 공정을 통해 반도체 패키지들로서 제조될 수 있다.
상기 반도체 소자들의 제조를 위한 제조 공정들에는 다양한 종류의 공정 가스들이 공급될 수 있다. 상기 공정 가스들은 실린더 형태의 저장 용기들에 저장된 상태로 각 공정 설비들에 공급될 수 있으며, 상기 공정 가스들의 저장을 위한 가스 실린더들은 별도의 보관 장치를 통해 보관 및 관리될 수 있다. 그러나, 상기 가스 실린더들의 보관 및 관리에 대한 자동화가 충분하지 않음에 따라 작업자에 의한 수작업으로 보관 및 관리가 이루어지고 있으며, 이에 따라 상기 가스 실린더들의 보관을 위한 이동 중 안전 사고의 위험이 있으며 아울러 가스 누설에 의한 작업자의 위험 노출에 대한 대응 방안이 요구되고 있다.
본 발명의 실시예들은 가스 실린더들의 보관 및 관리를 자동화할 수 있는 가스 실린더 보관 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 보관 장치는, 가스 실린더들의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버와, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 지지하기 위한 서포트 부재들과, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 고정하기 위한 그리퍼들과, 상기 가스 실린더들에 각각 부착된 정보 태그들로부터 상기 가스 실린더들의 이력 정보를 획득하기 위한 정보 획득 유닛과, 상기 정보 획득 유닛이 상기 정보 태그들에 인접하도록 상기 정보 획득 유닛을 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 가스 실린더들에 각각 인접하도록 배치되며 상기 수평 구동부에 의해 이동되는 상기 정보 획득 유닛을 검출하기 위한 검출 센서들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수평 구동부는 상기 정보 획득 유닛이 상기 정보 태그들에 인접하는 위치들을 경유하여 이동하도록 상기 정보 획득 유닛을 수평 방향으로 이동시키고, 상기 정보 획득 유닛은 상기 수평 방향으로 이동하면서 상기 검출 센서들의 검출 신호에 따라 상기 위치들에서 상기 정보 태그들로부터 상기 가스 실린더의 이력 정보를 획득할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 정보 획득 유닛에 장착되며 상기 검출 센서들에 대응하는 센서 도그를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 가스 실린더들에 각각 인접하도록 배치되는 센서 도그들과, 상기 정보 획득 유닛에 장착되며 상기 정보 획득 유닛이 상기 수평 구동부에 의해 이동되는 동안 상기 센서 도그들을 검출하기 위한 검출 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 정보 태그들은 각각 바코드 또는 QR 코드를 포함하며, 상기 정보 획득 유닛은 바코드 리더기 또는 QR 코드 리더기를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수평 구동부는 로드리스 실린더를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 보관 챔버의 일측에 구비되며 상기 내부 공간을 개폐하기 위한 적어도 하나의 도어와, 상기 가스 실린더들의 이송을 위한 이송 장치와 통신이 가능하도록 구성되며 상기 이송 장치가 상기 도어에 근접하는 경우 상기 도어의 개폐를 제어하기 위한 제어 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 보관 챔버의 내부 공간은 상기 서포트 부재들이 각각 구비되는 복수의 수납 공간들을 포함하며, 상기 제어 유닛은 가스 실린더의 수납을 위해 상기 수납 공간들 중 빈 수납 공간에 대한 위치 정보 또는 상기 보관 챔버에 보관된 가스 실린더들 중 반출하고자 하는 가스 실린더의 위치 정보를 상기 이송 장치로 전송할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 보관 챔버 내부의 압력을 기 설정된 압력으로 유지하기 위한 압력 조절 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 보관 챔버 내부의 온도를 기 설정된 온도로 유지하기 위한 온도 조절 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더로부터 누설된 가스를 검출하기 위한 가스 센서를 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더들은 상기 이송 장치에 의해 상기 보관 챔버 내부에 수납되거나 상기 보관 챔버로부터 반출될 수 있다. 상기 정보 획득 유닛은 상기 가스 실린더들에 부착된 정보 태그들로부터 상기 가스 실린더들의 이력 정보를 획득할 수 있으며, 상기 획득된 이력 정보는 상기 제어 유닛에 의해 관리될 수 있다. 또한, 상기 제어 유닛은 상기 가스 실린더들의 수납 또는 반출을 위해 상기 도어 및 상기 그리퍼들을 개폐할 수 있으며 아울러 상기 도어가 개방되는 경우에도 상기 압력 조절 유닛을 통해 상기 보관 챔버 내부의 압력을 일정하게 유지할 수 있다.
상기와 같이 상기 가스 실린더들의 보관 및 관리가 상기 가스 실린더 보관 장치에 의해 자동화될 수 있으며 이에 따라 상기 가스 실린더들의 취급 과정에서 발생될 수 있는 안전 사고가 크게 감소될 수 있다. 특히, 상기 가스 실린더들의 이력 정보 획득 및 관리가 상기 정보 획득 유닛 및 제어 유닛에 의해 자동화될 수 있으며 이에 따라 상기 가스 실린더들의 이력 관리에 소요되는 시간과 비용이 크게 절감될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3 및 도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 가스 실린더 보관 장치에 대한 가스 실린더의 수납 및 반출 방법을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이며, 도 2는 도 1에 도시된 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예들은 가스 실린더 보관 장치(100)에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 사용되는 공정용 가스의 공급을 위한 가스 실린더들(10)의 보관을 위한 장치(100)에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는, 가스 실린더들(10)의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버(102)와, 상기 보관 챔버(102) 내에 배치되며 상기 가스 실린더들(10)을 지지하기 위한 서포트 부재들(110)과, 상기 보관 챔버(102) 내에 배치되며 상기 가스 실린더들(10)을 고정하기 위한 그리퍼들(120)을 포함할 수 있다.
상기 보관 챔버(102)의 일측에는 상기 내부 공간을 개폐하기 위한 적어도 하나의 도어(130)가 구비될 수 있으며, 상기 도어(130)의 개폐는 제어 유닛(140)에 의해 제어될 수 있다. 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 실린더들(10)의 이송을 위한 이송 장치(20)와 통신이 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 이송 장치(20)의 동작에 대응하여 상기 도어(130)를 개폐할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(20)가 가스 실린더(10)의 수납 또는 반출을 위해 상기 도어(130)에 근접하는 경우 상기 도어(130)를 개방할 수 있으며 상기 가스 실린더(10)의 수납 또는 반출이 완료된 후 상기 도어(130)를 닫을 수 있다.
상기 보관 챔버(102)의 내부 공간은 상기 서포트 부재들(110)이 각각 구비되는 복수의 수납 공간들(104)을 포함할 수 있다. 도시된 바에 의하면 상기 수납 공간들(104)을 구획하기 위한 별도의 격벽이 구비되지는 않고 있으나 필요에 따라 복수의 격벽들이 상기 보관 챔버(102) 내에 구비될 수도 있다.
상기 가스 실린더들(10)에는 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보가 저장되는 정보 태그(12)가 각각 부착될 수 있다. 예를 들면, 상기 정보 태그(12)에는 각각의 가스 실린더(10)에 저장되는 가스 재료를 나타내는 자재 코드, 제조 번호, 충전 가스의 순도, 제조 일자, 만기 일자 등 일련의 정보들이 저장될 수 있으며, 상기 보관 챔버(102) 내에는 상기 가스 실린더들(10)의 정보 태그들(12)로부터 상기 이력 정보를 획득하기 위한 정보 획득 유닛(150)이 구비될 수 있다.
일 예로서, 상기 가스 실린더(10)에 바코드가 부착될 수 있으며, 이 경우 상기 보관 챔버(102) 내에는 상기 바코드의 정보를 읽기 위한 바코드 리더기가 구비될 수 있다. 다른 예로서, 상기 가스 실린더(10)에는 QR(Quick Response) 코드가 부착될 수도 있으며, 이 경우 상기 보관 챔버(102) 내에는 QR 코드 리더기가 구비될 수 있다. 또 다른 예로서, 상기 가스 실린더(10)에는 NFC(Near Field Communication) 태그, RFID(Radio Frequency Identification) 태그 등과 같은 전자 태그가 부착될 수도 있으며, 이 경우 상기 보관 챔버(102) 내에는 상기 NFC 태그, RFID 태그 등과 무선 통신이 가능한 무선 단말기가 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 상기 정보 획득 유닛(150)이 상기 정보 태그들(12)에 인접하도록 상기 정보 획득 유닛(150)을 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부(152)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 정보 태그들(12)은 상기 가스 실린더들(10)의 상부에 부착될 수 있으며, 상기 정보 획득 유닛(150)은 상기 수평 구동부(150)에 의해 상기 가스 실린더들(10)의 위에서 수평 방향으로 이동될 수 있다.
상기 수납 공간들(104)에는 상기 가스 실린더들(10)에 각각 인접하도록 배치되며 상기 수평 구동부(152)에 의해 이동되는 상기 정보 획득 유닛(150)을 검출하기 위한 검출 센서들(154)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 검출 센서들(154)은 상기 가스 실린더들(10)의 상부 즉 상기 수납 공간들(104)의 상부에 배치될 수 있으며 상기 수평 구동부(152)에 의해 상기 가스 실린더들(10)의 상부에서 이동되는 상기 정보 획득 유닛(150)을 검출할 수 있다. 즉, 상기 수평 구동부(152)는 상기 정보 획득 유닛(150)이 상기 가스 실린더들(10)에 부착된 상기 정보 태그들(12)에 인접하는 위치들을 경유하여 이동하도록 상기 정보 획득 유닛(150)을 이동시킬 수 있으며, 상기 정보 획득 유닛(150)은 상기 수평 방향으로 이동하면서 상기 검출 센서들(154)의 검출 신호에 따라 상기 위치들에서 상기 정보 태그들(12)로부터 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 획득할 수 있다.
예를 들면, 상기 수평 구동부(152)와 상기 정보 획득 유닛(150)의 동작은 상기 제어 유닛(140)에 의해 제어될 수 있다. 특히, 상기 검출 센서들(154)은 상기 정보 획득 유닛(150)에 대한 검출 신호를 상기 제어 유닛(140)으로 전송할 수 있으며, 상기 제어 유닛(140)은 상기 검출 센서들(154)로부터 상기 검출 신호가 수신되면 상기 검출 신호에 대응하는 가스 실린더(10)의 정보 태그(12)로부터 이력 정보를 획득할 수 있다. 특히, 상기 정보 획득 유닛(150)은 이동 중에 상기 검출 센서들(154)의 검출 신호에 따라 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 획득할 수 있으며, 이에 따라 상기 수평 구동부(152)는 상기 가스 실린더들(10)의 상부에서 상기 정보 획득 유닛(150)을 정지시킬 필요가 없으며, 결과적으로 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보 획득에 소요되는 시간이 단축될 수 있다.
한편, 상기 정보 획득 유닛(150)에는 상기 검출 센서들(154)에 의한 검출을 위해 상기 검출 센서들(154)에 대응하는 센서 도그(156)가 장착될 수 있다. 예를 들면, 상기 검출 센서들(154)로서 광 센서가 사용되는 경우 상기 정보 획득 유닛(150)에는 상기 센서 도그(154)로서 기능하는 반사판이 장착될 수 있다. 즉, 상기 검출 센서들(154)은 상기 센서 도그(156)를 검출할 수 있으며, 상기 센서 도그(156)가 검출된 위치에서 상기 정보 획득 유닛(150)은 그 아래에 위치된 가스 실린더(10)의 정보 태그(12)로부터 그 이력 정보를 획득할 수 있다.
상기와 다르게, 상기 가스 실린더들(10)에 각각 인접하도록 센서 도그들이 배치될 수도 있으며, 이 경우 상기 정보 획득 유닛(150)에는 상기 정보 획득 유닛(150)이 상기 수평 구동부(152)에 의해 이동되는 동안 상기 센서 도그들을 검출하기 위한 검출 센서가 장착될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 수평 구동부(152)는 로드리스 실린더(rodless cylinder)를 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 수평 구동부(152)는 상기 로드리스 실린더로 압축 공기를 공급하기 위한 밸브들을 구비할 수 있으며, 상기 밸브들의 동작은 상기 제어 유닛(154)에 의해 제어될 수 있다. 상기와 같이 로드리스 실린더를 이용하는 경우 모터와 볼 스크루 등의 구동 기구와 별도의 가이드 기구 등을 이용하는 다른 경우와 비교하여 상기 수평 구동부(152)의 장착 공간을 감소시킬 수 있고 아울러 소요 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.
한편, 상기 정보 획득 유닛(150)에 의해 획득된 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보는 상기 제어 유닛(140)으로 전송될 수 있으며, 상기 보관 챔버(102)의 외측에는 사용자에게 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 제공하기 위한 디스플레이 유닛(160)이 배치될 수 있다. 상기 제어 유닛(140)은 상기 전송된 이력 정보를 별도의 메모리 장치(미도시)에 저장하여 관리할 수 있으며 또한 상기 디스플레이 유닛(160)을 통해 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 사용자에게 제공할 수 있다.
도 3 및 도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 가스 실린더 보관 장치에 대한 가스 실린더의 수납 및 반출 방법을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 가스 실린더들(10)은 무인 반송 로봇과 같은 이송 장치(20)에 의해 상기 보관 챔버(102) 내에 수납되거나 상기 보관 챔버(102)로부터 반출될 수 있다. 상기 제어 유닛(140)은 상기 이송 장치(20)와 무선 통신 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 가스 실린더(10)의 수납을 위해 상기 수납 공간들(104) 중 빈 수납 공간(104)에 대한 위치 정보 또는 상기 보관 챔버(102)에 보관된 가스 실린더들(10) 중 반출하고자 하는 가스 실린더(10)의 위치 정보를 상기 이송 장치(20)로 전송할 수 있다.
상기 이송 장치(20)는 상기 제어 유닛(140)으로부터 전송된 위치 정보를 이용하여 상기 빈 수납 공간(104) 또는 상기 반출하고자 하는 가스 실린더(10)에 인접한 위치로 이동할 수 있으며, 상기 제어 유닛(140)은 상기 이송 장치(20)가 상기 도어(130)에 근접하는 경우 상기 도어(130)를 개방할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 복수의 도어들(130)을 구비할 수 있으며, 상기 이송 장치(20)가 근접하는 경우 상기 도어들(130) 중 상기 빈 수납 공간(104) 또는 반출하고자 하는 가스 실린더(10)에 인접하는 도어(130)를 개방할 수 있다. 도시된 바에 의하면, 두 개의 도어들(130)이 구비되고 있으나, 상기 도어들(130)의 개수는 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
상기와 같이 빈 수납 공간(104)에 대한 상기 가스 실린더(10)의 수납이 완료된 후 또는 상기 반출하고자 하는 가스 실린더(10)의 반출이 완료된 후 상기 제어 유닛(140)은 상기 개방된 도어(130)를 닫을 수 있다. 일 예로서, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 상기 도어들(130)의 개폐를 위한 도어 구동부(미도시)를 구비할 수 있으며, 상기 제어 유닛(140)은 상기 도어 구동부의 동작을 제어할 수 있다.
또한, 상기 제어 유닛(140)은 상기 보관 챔버(102) 내에서 상기 가스 실린더들(10)을 고정하기 위한 상기 그리퍼들(120)의 동작을 제어할 수 있다. 일 예로서, 도시된 바와 같이 상기 그리퍼들(120)은 각각 집게 형태로 구성되는 한 쌍의 그리퍼 부재들과 상기 그리퍼 부재들을 구동하기 위한 그리퍼 구동부(122)를 포함할 수 있다. 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 실린더(10)의 수납 및 반출 동작에 따라 상기 그리퍼 부재들이 개폐되도록 상기 그리퍼 구동부(122)의 동작을 제어할 수 있다.
상기와 같이 가스 실린더들(10)이 상기 보관 챔버(102) 내에 수납되면 상기 제어 유닛(140)은 상기 수평 구동부(152)를 이용하여 상기 정보 획득 유닛(150)을 수평 방향으로 이동시킬 수 있으며, 상기 정보 획득 유닛(150)은 상기 수평 구동부(152)에 의한 이동 중에 상기 검출 센서들(154)에 의한 검출 신호에 기초하여 상기 수납된 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 획득할 수 있다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 보관 챔버(102) 내부의 온도는 상기 가스 실린더들(10)로부터의 가스 누설을 방지하기 위하여 기 설정된 온도로 일정하게 유지되는 것이 바람직하다. 이를 위해 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 상기 보관 챔버(102) 내부의 온도를 기 설정된 온도로 유지하기 위한 온도 조절 유닛(170)을 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 온도 조절 유닛(170)은 상기 보관 챔버(102)의 내부 온도를 측정하기 위한 온도 센서와 상기 보관 챔버(102)의 내부 온도를 조절하기 위한 히터와 냉각기 등을 구비할 수 있다.
아울러, 상기 보관 챔버(102)의 내부는 외부로부터 밀폐되는 것이 바람직하며, 이를 위해 도시되지는 않았으나 상기 도어들(130) 사이 그리고 상기 보관 챔버(102)와 상기 도어들(130) 사이에는 가스 누설을 방지하기 위한 밀봉 부재(미도시)가 구비될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 보관 챔버(102)의 내부는 상기 가스 실린더들(10)로부터 가스가 누설되는 경우 상기 누설된 가스가 외부로 확산되지 않도록 항시 대기압보다 낮은 음압 상태로 유지되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 상기 보관 챔버(102) 내부의 압력을 기 설정된 압력으로 유지하기 위한 압력 조절 유닛(180)을 포함할 수 있다. 상기 압력 조절 유닛(180)은 가스 누설을 방지하기 위하여 상기 보관 챔버(102)의 내부 압력을 대기압보다 낮은 음압, 특히 상기 보관 챔버(102)의 내부 압력을 외부 압력보다 낮게 유지할 수 있다. 일 예로서, 상기 보관 챔버(102)의 상부에는 팬 필터 유닛이 배치될 수 있으며, 상기 가스 실린더들(10)로부터 가스가 누설되는 경우 상기 누설된 가스는 상기 팬 필터 유닛에 의해 제거될 수 있다. 이 경우, 상기 팬 필터 유닛은 가스 정제를 위한 가스 스크러버 등의 장치와 연결될 수 있다. 그러나, 본 발명의 범위가 상기 팬 필터 유닛에 의해 한정되지는 않으며 다양한 변형이 가능하다. 상기와 다른 예로서, 상기 보관 챔버(102)는 상기 진공 펌프, 진공 이젝터 등의 진공 제공부와 연결될 수도 있으며, 상기 진공 제공부에 의해 배출되는 공기와 가스 등은 상기 가스 스크러버를 통해 정제된 후 외부로 배출될 수 있다.
상기 제어 유닛(140)은 상기 보관 챔버(102) 내부의 압력이 기 설정된 압력으로 유지되도록 상기 압력 조절 유닛(180)의 동작을 제어할 수 있다. 특히, 상기 가스 실린더(10)의 수납 또는 반출을 위해 상기 도어(130)가 개방되는 경우에도 상기 보관 챔버(102)의 외측에서 내측으로 기류가 형성되도록 상기 압력 조절 유닛(180)의 동작을 제어할 수 있으며 이를 통해 상기 가스 실린더(10)의 수납 또는 반출 과정에서 혹시라도 있을 수 있는 가스 유출 사고를 방지할 수 있다.
또한, 상기 보관 챔버(102) 내부에는 가스 누설을 감지하기 위한 가스 센서(190)가 배치될 수 있으며, 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 센서(190)의 출력 신호에 따라 가스 누설 여부를 판단하고 상기 가스 실린더(10)로부터 가스가 누설되는 경우 사용자에게 이를 알리는 경보 신호를 발생시킬 수 있다. 또한, 상기 압력 조절 유닛(180)을 통해 상기 누설된 가스를 배출할 수 있으며, 상기 보관 챔버(102) 내부에 누설된 가스가 모두 제거되기 전까지 상기 도어(130)가 개방되지 않도록 상기 도어 구동부의 동작을 제어할 수 있다.
추가적으로, 상기 보관 챔버(102) 내부의 상기 누설된 가스가 충분히 제거되고 안전이 확보된 후 상기 제어 유닛(140)은 상기 경보 신호의 중지와 함께 상기 디스플레이 유닛(160) 등을 통해 누설된 가스의 제거 상태를 사용자에게 알릴 수 있다. 특히, 여러 종류의 가스들을 검출할 수 있도록 복수의 가스 센서들(190)을 상기 보관 챔버(102) 내에 배치할 수 있으며, 가스 누설이 발생되는 경우 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 센서들(190)에 의해 검출된 상기 누설된 가스의 종류, 상기 보관 챔버(102) 내부의 가스 농도, 상기 보관 챔버(102)의 내부 압력, 상기 누설된 가스의 제거 상태 등을 상기 디스플레이 유닛(160)을 통해 사용자에게 알릴 수 있다. 특히, 누설된 가스의 무게에 따라 공기보다 무거운 가스와 공기보다 가벼운 가스를 모두 검출하기 위하여 상기 보관 챔버(102)의 바닥과 천장 부위에 각각 가스 센서들(190)이 배치될 수도 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더들(10)은 상기 이송 장치(20)에 의해 상기 보관 챔버(102) 내부에 수납되거나 상기 보관 챔버(102)로부터 반출될 수 있다. 상기 정보 획득 유닛(150)은 상기 가스 실린더들(10)에 부착된 정보 태그들(12)로부터 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 획득할 수 있으며, 상기 획득된 이력 정보는 상기 제어 유닛(140)에 의해 관리될 수 있다. 또한, 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 실린더들(10)의 수납 또는 반출을 위해 상기 도어(130) 및 상기 그리퍼들(120)을 개폐할 수 있으며 아울러 상기 도어(130)가 개방되는 경우에도 상기 보관 챔버(102) 내부의 압력을 일정하게 유지하기 위해 상기 압력 조절 유닛(180)의 동작을 제어할 수 있다.
상기와 같이 상기 가스 실린더들(10)의 보관 및 관리가 상기 가스 실린더 보관 장치(100)에 의해 자동화될 수 있으며 이에 따라 상기 가스 실린더들(10)의 취급 과정에서 발생될 수 있는 안전 사고가 크게 감소될 수 있다. 특히, 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보 획득 및 관리가 상기 정보 획득 유닛(150) 및 제어 유닛(140)에 의해 자동화될 수 있으며 이에 따라 상기 가스 실린더들(10)의 이력 관리에 소요되는 시간과 비용이 크게 절감될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 가스 실린더 12 : 정보 태그
20 : 이송 장치 100 : 가스 실린더 보관 장치
102 : 보관 챔버 104 : 수납 공간
110 : 서포트 부재 120 : 그리퍼
130 : 도어 140 : 제어 유닛
150 : 정보 획득 유닛 152 : 수평 구동부
154 : 검출 센서 160 : 디스플레이 유닛
170 : 온도 조절 유닛 180 : 압력 조절 유닛
190 : 가스 센서

Claims (12)

  1. 가스 실린더들의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버;
    상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 지지하기 위한 서포트 부재들;
    상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 고정하기 위한 그리퍼들;
    상기 가스 실린더들에 각각 부착된 정보 태그들로부터 상기 가스 실린더들의 이력 정보를 획득하기 위한 정보 획득 유닛;
    상기 정보 획득 유닛이 상기 정보 태그들에 인접하도록 상기 정보 획득 유닛을 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부; 및
    상기 가스 실린더들에 각각 인접하도록 배치되며 상기 수평 구동부에 의해 이동되는 상기 정보 획득 유닛을 검출하기 위한 검출 센서들을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 수평 구동부는 상기 정보 획득 유닛이 상기 정보 태그들에 인접하는 위치들을 경유하여 이동하도록 상기 정보 획득 유닛을 수평 방향으로 이동시키고,
    상기 정보 획득 유닛은 상기 수평 방향으로 이동하면서 상기 검출 센서들의 검출 신호에 따라 상기 위치들에서 상기 정보 태그들로부터 상기 가스 실린더의 이력 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 정보 획득 유닛에 장착되며 상기 검출 센서들에 대응하는 센서 도그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  5. 가스 실린더들의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버;
    상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 지지하기 위한 서포트 부재들;
    상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 고정하기 위한 그리퍼들;
    상기 가스 실린더들에 각각 부착된 정보 태그들로부터 상기 가스 실린더들의 이력 정보를 획득하기 위한 정보 획득 유닛;
    상기 정보 획득 유닛이 상기 정보 태그들에 인접하도록 상기 정보 획득 유닛을 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부;
    상기 가스 실린더들에 각각 인접하도록 배치되는 센서 도그들; 및
    상기 정보 획득 유닛에 장착되며 상기 정보 획득 유닛이 상기 수평 구동부에 의해 이동되는 동안 상기 센서 도그들을 검출하기 위한 검출 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  6. 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 정보 태그들은 각각 바코드 또는 QR 코드를 포함하며, 상기 정보 획득 유닛은 바코드 리더기 또는 QR 코드 리더기를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  7. 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 수평 구동부는 로드리스 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  8. 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 보관 챔버의 일측에 구비되며 상기 내부 공간을 개폐하기 위한 적어도 하나의 도어와,
    상기 가스 실린더들의 이송을 위한 이송 장치와 통신이 가능하도록 구성되며 상기 이송 장치가 상기 도어에 근접하는 경우 상기 도어의 개폐를 제어하기 위한 제어 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 보관 챔버의 내부 공간은 상기 서포트 부재들이 각각 구비되는 복수의 수납 공간들을 포함하며,
    상기 제어 유닛은 가스 실린더의 수납을 위해 상기 수납 공간들 중 빈 수납 공간에 대한 위치 정보 또는 상기 보관 챔버에 보관된 가스 실린더들 중 반출하고자 하는 가스 실린더의 위치 정보를 상기 이송 장치로 전송하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  10. 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 보관 챔버 내부의 압력을 기 설정된 압력으로 유지하기 위한 압력 조절 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  11. 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 보관 챔버 내부의 온도를 기 설정된 온도로 유지하기 위한 온도 조절 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  12. 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더로부터 누설된 가스를 검출하기 위한 가스 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102414546B1 (ko) * 2022-03-22 2022-06-30 주식회사 엔이아이디 반도체 제조 공정에 사용되는 원료가 포함된 저장용기를 결합 고정하는 용기 홀더

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200488021Y1 (ko) 2018-09-18 2018-12-04 최용태 반도체 제조설비용 가스 캐비닛 모니터링 및 제어 시스템

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008011297A2 (en) * 2006-07-10 2008-01-24 Advanced Technology Materials, Inc. Systems and methods for managing material storage vessels having information storage elements
KR101285562B1 (ko) * 2011-12-15 2013-07-12 주식회사 플로웰 반도체 제조 공정용 블록형 가스 케비넷
KR101340092B1 (ko) * 2012-01-26 2013-12-11 한미아이티 주식회사 선반의 스캐닝 시스템
KR101589678B1 (ko) * 2014-04-07 2016-01-28 김영준 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템
KR101736724B1 (ko) * 2015-10-02 2017-05-17 김영준 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템
KR101993423B1 (ko) * 2017-12-14 2019-06-26 주식회사 쏠락 가스용기 고정장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200488021Y1 (ko) 2018-09-18 2018-12-04 최용태 반도체 제조설비용 가스 캐비닛 모니터링 및 제어 시스템

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