TW202330376A - 自動供氣系統 - Google Patents

Abstract

一種自動供氣系統包括：氣瓶傳送單元，被配置成傳送其中儲存有一或多個氣瓶的托架，所述一或多個氣瓶中儲存氣體；氣瓶檢驗單元，被配置成檢查儲存於自氣瓶傳送單元傳送的氣瓶中的氣體的性質且檢查氣體是否自氣瓶洩漏；儲存佇列，被配置成藉由移動式機器人自氣瓶檢驗單元接收氣瓶且被配置成根據儲存於氣瓶中的氣體的性質來對所傳送的氣瓶進行分類及儲存；以及氣瓶櫃，被配置成藉由所述移動式機器人自儲存佇列接收氣瓶且將連接至半導體製造製程線的氣體管道緊固至設置於所接收的氣瓶的一個側處的氣體噴射噴嘴。

Description

自動供氣系統

本揭露是有關於一種自動供氣系統。

製造半導體及顯示器的製程使用各種氣體（例如清潔氣體及蝕刻氣體）。所述製程所需的氣體的供應是以對自車輛卸載的氣瓶進行運輸開始。一般而言，氣瓶由工人使用叉車或手推車直接運輸且供應至每一製程元件。此處，氣瓶的重量根據氣體的性質而變化，但近似為120公斤或大於120公斤。因此，反覆運輸作為重物的氣瓶的工人的肌肉骨骼系統可能會受到影響。

另外，所運輸的氣瓶常常儲存於櫃中，且在需要更換氣瓶的示例性實施例中，工人將氣瓶自所述櫃取出且將氣瓶緊固至製程設備。因此，工人可能暴露於氣體且可能面臨氣體事故、爆炸或著火的風險。

本揭露的各態樣提供一種自動供氣系統，所述自動供氣系統能夠藉由自倉儲（warehousing）氣瓶至運出氣瓶的所有製程的自動化而防止工人由於在一系列任務之間暴露於氣體而處於危險之中。

應注意，本揭露的目的並不限於上述目的，且本揭露的其他未提及的目的對於熟習此項技術者而言根據以下說明將顯而易見。

根據本發明概念的示例性實施例，一種自動供氣系統包括：氣瓶傳送單元，被配置成傳送其中儲存有一或多個氣瓶的托架，所述一或多個氣瓶中儲存氣體；氣瓶檢驗單元，被配置成檢查儲存於自所述氣瓶傳送單元傳送的所述氣瓶中的所述氣體的性質且檢查所述氣體是否自所述氣瓶洩漏；儲存佇列，被配置成藉由移動式機器人自所述氣瓶檢驗單元接收所述氣瓶且被配置成根據儲存於所述氣瓶中的所述氣體的所述性質來對所傳送的所述氣瓶進行分類及儲存；以及氣瓶櫃（gas cabinet），被配置成藉由所述移動式機器人自所述儲存佇列接收所述氣瓶且將連接至半導體製造製程線的氣體管道緊固至設置於所接收的所述氣瓶的一個側處的氣體噴射噴嘴，以將儲存於所述氣瓶中的所述氣體供應至所述半導體製造製程線，其中所述氣瓶櫃包括殘留氣體偵測器，所述殘留氣體偵測器被配置成偵測儲存於緊固至所述氣體管道的所述氣瓶中的所述氣體的殘留量，且當所述殘留氣體偵測器偵測到的所述氣體的所述殘留量小於或等於設定的氣體殘留量時，所述移動式機器人自所述氣瓶櫃內部回收所述氣瓶且將儲存於所述儲存佇列中的氣瓶傳送至所述氣瓶櫃。

在下文中，將參照圖1至圖23闡述根據本揭露一些示例性實施例的自動供氣系統。

圖1及圖2是用於闡述根據本揭露一些示例性實施例的自動供氣系統的視圖。圖3是用於闡述圖1及圖2所示氣瓶傳送單元的視圖。

參照圖1至圖3，根據本揭露一些示例性實施例的自動供氣系統可包括氣瓶傳送單元100、氣瓶檢驗單元200、氣瓶儲存單元300、氣瓶更換單元400、至少一個移動式機器人500及控制器600。

控制器600可控制自動供氣系統。控制器600可控制氣瓶傳送單元100、氣瓶檢驗單元200、氣瓶儲存單元300、氣瓶更換單元400及至少一個移動式機器人500。

自車輛卸載的氣瓶20可儲存於托架10中且被提供至自動供氣系統。

氣瓶傳送單元100可包括傳送單元110及傳送機器人140。氣瓶傳送單元100可藉由自動供氣系統的門120將氣瓶20傳送至自動供氣系統中。氣瓶傳送單元100及門120可根據控制器600的命令進行操作。

托架10可裝載於傳送單元110上。當托架10被裝載於傳送單元110上時，工人可將氣瓶倉儲資訊傳遞至控制器600。控制器600可控制氣瓶傳送單元100及門120。

傳送單元110可包括第一傳送單元112及第二傳送單元114。第一傳送單元112可在第一方向D1上延伸。第一傳送單元112可在第一方向D1上移動托架10。托架10可進入自動供氣系統。

第二傳送單元114可在第二方向D2上延伸。第二方向D2可為垂直於第一方向D1的方向。第二傳送單元114可在第二方向D2上移動托架10。

在第二傳送單元114的側表面處可設置有導軌130。導軌130可在第二方向D2上延伸。傳送機器人140可沿著導軌130在第二方向D2上移動。

傳送機器人140可以氣瓶20為單位將儲存於托架10中的一或多個氣瓶20分離。亦即，傳送機器人140可夾持氣瓶20且將氣瓶20移動至氣瓶檢驗單元200。傳送機器人140可更包括視覺模組（vision module）（未示出）。傳送機器人140可藉由視覺模組將夾持部分定位於瓶外部。另外，傳送機器人140可藉由視覺模組辨識距氣瓶檢驗單元200的距離。因此，傳送機器人140可更精確地將氣瓶20移動至氣瓶檢驗單元200。

同時，當空的氣瓶20被運出時，傳送機器人140可以托架10為單位聚集氣瓶20。亦即，傳送機器人140可拾取氣瓶20且將氣瓶20聚集於托架10上。因此，可以托架10為單位運出氣瓶20。

圖4是用於闡述圖1及圖2所示氣瓶檢驗單元的視圖。參照圖1、圖2及圖4，氣瓶檢驗單元200可包括工作單元210、條形碼讀取器230、第一夾持器220及第一氣體偵測器240。氣瓶檢驗單元200可檢查氣瓶20中的氣體的性質且檢查氣體是否洩漏。

氣瓶檢驗單元200可辨別氣瓶20且打開/關閉氣瓶檢驗單元200的入口。傳送機器人140可將氣瓶20傳送至氣瓶檢驗單元200。氣瓶20可藉由傳送機器人140安置於工作單元210上。

氣瓶檢驗單元200可更包括照相機（未示出）。照相機可辨識由於第一夾持器220而旋轉的氣瓶20的外部形狀且可辨識貼合至氣瓶20外部的條形碼21的位置。另外，照相機可檢查氣瓶20的閥的形狀。

條形碼讀取器230可辨別貼合至氣瓶20的條形碼21。控制器600可自條形碼讀取器230接收所辨別的條形碼資料。舉例而言，條形碼資料可包括關於氣體的資訊，例如儲存於氣瓶20中的氣體的性質。舉例而言，控制器600可判斷自條形碼讀取器230接收的儲存於氣瓶20中的氣體的性質是否與自氣瓶傳送單元100接收的儲存於氣瓶20中的氣體的性質匹配。

另外，控制器600可基於自條形碼讀取器230接收的關於儲存於氣瓶20中的氣體的資訊而確定自動化供氣系統中的氣瓶20的庫存。

第一夾持器220可環繞氣瓶20的側壁的至少一部分。舉例而言，第一夾持器220可具有鉗子形狀的結構。本揭露並不限於此，且第一夾持器220亦可具有另一種結構，只要所述結構能夠固定氣瓶20即可。第一夾持器220可使氣瓶20旋轉，以使條形碼讀取器230能夠辨別氣瓶20的條形碼21。工作單元210可被設計成減少在第一夾持器220旋轉的同時產生的摩擦。

第一氣體偵測器240可在其中氣瓶檢驗單元200的所有入口及出口均關閉的狀態下檢查氣體是否自氣瓶20洩漏。因此，氣瓶檢驗單元200可在傳送氣瓶20的製程中判斷氣瓶20中是否出現異常。

圖5是用於闡述圖1及圖2所示氣瓶儲存單元的視圖。圖6是用於闡述圖5所示第一安置單元的視圖，且圖7是用於闡述圖5所示辨別單元的視圖。

參照圖1、圖2及圖5至圖7，氣瓶儲存單元300可包括至少一個儲存佇列310。儲存佇列310可包括進入/退出單元311、第一安置單元312、第二夾持器313、第二氣體偵測器314及辨別單元315。儲存佇列310可藉由以下將闡述的移動式機器人500自氣瓶檢驗單元200接收氣瓶20。

進入/退出單元311可在第二方向D2上移動，且儲存佇列310可被打開/關閉。當上面裝載有氣瓶20的移動式機器人500移動至儲存佇列310時，可打開進入/退出單元311。進入/退出單元311可為滑動門。

第一安置單元312可設置於儲存佇列310的下表面處。氣瓶20可藉由移動式機器人500安置於第一安置單元312上。第二夾持器313可設置於儲存佇列310的側壁上。第二夾持器313可環繞儲存於第一安置單元312中的氣瓶20的側表面。可藉由第二夾持器313將氣瓶20固定至儲存佇列310。

第一安置單元312可更包括第一安置單元本體312_1、滾筒單元312_3及移動單元312_2。第一安置單元本體312_1可具有L形狀。第一安置單元本體312_1可包括具有第一高度的一部分及具有高於第一高度的第二高度的一部分。滾筒單元312_3及移動單元312_2可設置於具有第一安置單元本體312_1的第一高度的所述部分上。

滾筒單元312_3可包括在第一方向D1上延伸的多個滾筒。氣瓶20可藉由滾筒單元312_3在第一方向D1上移動。

移動單元312_2可設置於滾筒單元312_3的下表面處。移動單元312_2可在第一方向D1上移動滾筒單元312_3。氣瓶20可藉由移動單元312_2在第二方向D2上移動。亦即，氣瓶20可藉由滾筒單元312_3在第二方向D2上對齊且藉由移動單元312_2在第一方向D1上對齊。

在其中第一安置單元312的底表面是平整的示例性實施例中，當氣瓶20藉由第二夾持器313安置於第一安置單元312上時，由第二夾持器313固定的氣瓶20的上部部分可能由於摩擦力而朝向儲存佇列310內部傾斜。因此，氣瓶20無法安全地儲存於儲存佇列310中。

然而，根據本揭露的一些示例性實施例，由於滾筒單元312_3設置於第一安置單元312上，因此可減少或防止氣瓶20的上部部分傾斜，且因此氣瓶20可更安全地安置於第一安置單元312上。

在第二夾持器313上可設置有固持感測器（未示出）。固持感測器可偵測第二夾持器313是否固持氣瓶20。控制器600可自固持感測器接收關於第二夾持器313是否固持氣瓶20的資訊。

根據第二夾持器313是否固持氣瓶20，控制器600可確定第二夾持器313的將固持氣瓶20的位置，亦即，第一安置單元312的上面安置氣瓶20的位置。移動式機器人500可將氣瓶20提供至由控制器600確定的位置。

當儲存佇列310關閉時，第二氣體偵測器314可偵測氣體是否自氣瓶20洩漏。控制器600可自第二氣體偵測器314接收關於氣體是否自儲存佇列310中的氣瓶20洩漏的所偵測的資訊。

辨別單元315可設置於儲存佇列310的側壁上。辨別單元315可包括氣動致動器316、條形碼讀取器317及多個位置感測器318。

根據控制器600的控制，氣動致動器316可沿著儲存佇列310的側壁在第二方向D2上移動。由於氣瓶20中可儲存可燃氣體，因此在其中使用電動致動器的示例性實施例中可能存在著火或爆炸的風險。然而，由於使用氣動致動器316，本揭露能夠減少或防止由儲存於氣瓶20中的氣體引起的著火或爆炸的風險。

根據控制器600的控制，條形碼讀取器317可辨別貼合至氣瓶20的條形碼21。條形碼讀取器317可耦合至氣動致動器316且由於氣動致動器316而在第二方向D2上移動。由於氣動致動器316的特性，氣動致動器316可能難以控制條形碼讀取器317到達設定位置。因此，本揭露的辨別單元315可更包括多個位置感測器318。

所述多個位置感測器318可沿著氣動致動器316在第二方向D2上以預定的或者作為另一種選擇期望的間隔設置。在其中氣瓶20安置於第一安置單元312上的示例性實施例中，所述多個位置感測器318可在第二方向D2上設置於氣瓶20的兩個側表面處。亦即，預定的或者作為另一種選擇期望的間隔可大於氣瓶20在第二方向D2上的寬度。

條形碼讀取器317可辨別貼合至氣瓶20的條形碼21，同時由於氣動致動器316而在彼此相鄰的位置感測器318之間的區段S中在第二方向D2上移動。亦即，條形碼讀取器317可在設置於上面安置氣瓶20的第一安置單元312前面的位置感測器318處開始條形碼辨別操作，且可在設置於上面安置氣瓶20的第一安置單元312後面的位置感測器318處結束條形碼辨別操作。控制器600可自條形碼讀取器317接收所辨別的條形碼資料。

圖8是用於闡述根據本揭露一些其他示例性實施例的圖1及圖2所示氣瓶儲存單元的視圖。將主要闡述與圖5的不同之處。

參照圖1、圖2及圖8，氣瓶儲存單元300可包括至少一個儲存佇列320。儲存佇列320可包括進入單元321、滾筒單元322、旋轉模組323、第二夾持器324、視覺模組325及退出單元326。可藉由進入單元321將氣瓶20提供至儲存佇列320中。

氣瓶20可裝載於滾筒單元322上。視覺模組325可藉由進入單元321讀取關於被提供至儲存佇列320中的氣瓶20的資訊。舉例而言，視覺模組325可為對貼合至氣瓶20的條形碼21進行辨別的條形碼讀取器。

一或多個第二夾持器324可圍繞旋轉模組323沿著旋轉模組323的側表面設置。因此，可將大量的氣瓶20高效地儲存於小的空間中。

第二夾持器324可沿著旋轉模組323的外側表面以預定的或者作為另一種選擇期望的間隔設置。第二夾持器324可環繞氣瓶20的側表面且固定氣瓶20。當氣瓶20藉由進入單元321被提供至儲存佇列320時，旋轉模組323可旋轉。隨著旋轉模組323旋轉，固定至第二夾持器324的氣瓶20可藉由滾筒單元322移動。

退出單元326可設置於儲存佇列320的面對進入單元321的側表面處。

儲存於儲存佇列320中的氣瓶20可沿著旋轉模組323的旋轉方向向左或向右移動。因此，氣瓶20可根據氣瓶20儲存於儲存佇列320中的次序而設置於退出單元326處，且可藉由退出單元326被提供至氣瓶更換單元400。因此，氣瓶20可根據其到期日而自儲存佇列320被提供至氣瓶更換單元400，而不會發生擁擠。

圖9是用於闡述圖1及圖2所示氣瓶更換單元的視圖。

參照圖1、圖2及圖9，氣瓶更換單元400可包括至少一個氣瓶櫃410。氣瓶20中的氣體可藉由氣瓶櫃410連接至與半導體製程線連接的氣體管道且被供應至半導體製程線。

氣瓶櫃410可包括殘留氣體偵測器（未示出）、下部夾具模組423、上部夾具模組425、加熱套（heating jacket）427、第二安置單元421、行進單元430、共用緊固裝置440、緊固單元450及壓縮氣體協會（CGA）插塞單元460。

殘留氣體偵測器可在氣瓶櫃410中偵測儲存於連接至與半導體製程線連接的氣體管道的氣瓶20中的氣體量。控制器600可自殘留氣體偵測器接收所偵測的儲存於氣瓶20中的殘留氣體量。控制器600可判斷殘留氣體量是否小於或等於設定的殘留氣體量，且可控制移動式機器人500及氣瓶櫃410以更換氣瓶20。移動式機器人500可由於控制器600的控制而自氣瓶櫃410回收氣瓶20，且可根據儲存於所回收的氣瓶20中的氣體的性質而將氣瓶20自氣瓶儲存單元300提供至氣瓶櫃410。

此處，考慮到移動式機器人500的電池或移動式機器人500的位置，控制器600可控制最高效的移動式機器人500以自氣瓶櫃410回收氣瓶20。另外，控制器600可控制最高效的移動式機器人500，以將氣瓶20自氣瓶儲存單元300提供至氣瓶櫃410。

圖10是用於闡述圖9所示行進單元的視圖。圖11是用於闡述圖9所示共用緊固裝置的視圖。圖12是用於闡述圖9所示緊固單元的視圖。圖13是用於闡述氣瓶的視圖。

參照圖1、圖2及圖9至圖12，在氣瓶櫃410的上表面上可設置有第一導軌412。第一導軌412可在第二方向D2上延伸，第二方向是氣瓶櫃410的縱向方向。在第一導軌412的下表面上可設置有第二導軌413。第二導軌413可在第一方向D1上延伸。在第二導軌413的下表面上可設置有第三導軌414。第三導軌414可在第三方向D3上延伸。

行進單元430可耦合至第三導軌414。行進單元430可包括其中的第一致動器（未示出）。行進單元430可自第一致動器獲得動力且沿著第一導軌412、第二導軌413及第三導軌414在第一方向D1、第二方向D2及第三方向D3上移動。

共用緊固裝置440可耦合至行進單元430。共用緊固裝置440可耦合至行進單元430的下表面。由於行進單元430，共用緊固裝置440可沿著第一導軌412、第二導軌413及第三導軌414在第一方向D1、第二方向D2及第三方向D3上移動。

同時，參照圖13，氣瓶20可包括閥本體26及氣體噴射噴嘴24。閥可連接至閥本體26。氣體噴射噴嘴24可自閥本體26向外突出。儲存於氣瓶20中的氣體可藉由氣體噴射噴嘴24而被供應至外部。端蓋（未示出）可耦合至氣體噴射噴嘴24。舉例而言，端蓋可以螺紋方式耦合至氣體噴射噴嘴24。

返回參照圖9至圖13，在氣瓶櫃410的側壁上可設置有多個緊固單元450。緊固單元450可在第二方向D2上設置於氣瓶20的氣體噴射噴嘴24的側表面處。緊固單元450可包括自緊固單元450的外側表面突出的CGA固持器單元452及端蓋固持器單元454。CGA固持器單元452可連接至與半導體製程線連接的氣體管道。端蓋固持器單元454可耦合至與氣瓶20的氣體噴射噴嘴24耦合的端蓋。

在緊固單元450的上表面上可形成有對齊標記456。對齊標記456可為指示緊固單元450的對齊狀態的標記。舉例而言，如圖12中所示，對齊標記456可具有包括形成於其中的十字形狀的圓形形狀，但本揭露並不限於此。

共用緊固裝置440可包括視覺感測器442及第二致動器（未示出）。

共用緊固裝置440可耦合至行進單元430且移動至緊固單元450所處的教示點。然後，視覺感測器442可偵測設置於緊固單元450的上表面上的對齊標記。基於由視覺感測器442偵測到的對齊標記，控制器600可確定出共用緊固裝置440與緊固單元450在第一方向D1及第二方向D2上的對齊。

控制器600可控制行進單元430，使得共用緊固裝置440與緊固單元450對齊。由於行進單元430，共用緊固裝置440可在第一方向D1及第二方向D2上移動且與緊固單元450對齊。然後，對齊的共用緊固裝置440可在第三方向D3上移動且耦合至緊固單元450。亦即，共用緊固裝置440與緊固單元450未對齊的度數可由行進單元430及共用緊固裝置440補償。

因此，根據本揭露，單個共用緊固裝置440可根據控制器600的控制而耦合至所述多個緊固單元450中的任一者。

另外，為了耦合至氣瓶20，耦合至共用緊固裝置440的緊固單元450可移動至氣體噴射噴嘴24所處的教示點。視覺感測器442可偵測氣體噴射噴嘴24的輪廓。基於自視覺感測器442接收的氣體噴射噴嘴24的輪廓，控制器600可判斷緊固單元450與氣體噴射噴嘴24是否在第一方向D1、第二方向D2及第三方向D3上對齊。

控制器600可控制行進單元430，使得緊固單元450與氣體噴射噴嘴24對齊。由於行進單元430，緊固單元450可在第一方向D1、第二方向D2及第三方向D3上移動且與氣體噴射噴嘴24對齊。亦即，氣體噴射噴嘴24與緊固單元450未對齊的度數可由行進單元430及共用緊固裝置440補償。

第二致動器可將動力傳遞至緊固單元450的CGA固持器單元452及端蓋固持器單元454，緊固單元450耦合至共用緊固裝置440。第二致動器可為例如馬達。CGA固持器單元452及端蓋固持器單元454可由於第二致動器而順時針或逆時針旋轉。

因此，CGA固持器單元452可由於第二致動器而耦合至氣體噴射噴嘴24或自氣體噴射噴嘴24分離。端蓋固持器單元454可由於第二致動器而耦合至與氣體噴射噴嘴24耦合的端蓋且將端蓋與氣體噴射噴嘴24分離，或者可將與端蓋固持器單元454耦合的端蓋再次耦合至氣體噴射噴嘴24。

亦即，在其中氣瓶20安置於氣瓶櫃410中的示例性實施例中，共用緊固裝置440可與設置於所安置的氣瓶20的側表面處的緊固單元450對齊且然後耦合。與氣瓶20的氣體噴射噴嘴24耦合的端蓋可由於共用緊固裝置440而耦合至緊固單元450的端蓋固持器單元454，且氣體噴射噴嘴24可連接至緊固單元450的CGA固持器單元452。在其中儲存於氣瓶20中的氣體被排出的示例性實施例中，由於共用緊固裝置440，氣體噴射噴嘴24可自緊固單元450的CGA固持器單元452分離且可耦合至端蓋固持器單元454且再次耦合至端蓋。

圖14是用於闡述圖9所示CGA插塞單元的視圖。

參照圖1、圖2及圖9至圖14，CGA插塞單元460可設置於氣瓶櫃410的側壁上。CGA插塞單元460可在第二方向D2上設置於氣瓶20的氣體噴射噴嘴24的側表面處。

在其中儲存於連接至緊固單元450的CGA固持器單元452的氣瓶20中的殘留氣體量小於或等於設定的殘留氣體量的示例性實施例中，氣瓶20可由移動式機器人500回收。在其中氣瓶20被回收的示例性實施例中，緊固單元450的CGA固持器單元452可連接至CGA插塞單元460。在其中藉由移動式機器人500向氣瓶櫃410提供新的氣瓶20的示例性實施例中，共用緊固裝置440可耦合至緊固單元450且可向CGA固持器單元452提供動力以將CGA插塞單元460自CGA固持器單元452分離。

圖15是用於闡述圖9所示氣瓶更換單元的操作的視圖。圖16是用於闡述圖9所示下部夾具模組的視圖。

參照圖1、圖2及圖9至圖16，下部夾具模組423及上部夾具模組425可設置於氣瓶櫃410的側壁上。上部夾具模組425可在第三方向D3上設置於下部夾具模組423上方。

下部夾具模組423可夾持氣瓶20的下側表面。上部夾具模組425可夾持氣瓶20的上側表面。下部夾具模組423與上部夾具模組425可具有相同的結構。在下文中，將闡述下部夾具模組423。

下部夾具模組423可包括夾具本體423_1、夾具臂423_2及第三致動器423_4。

夾具本體423_1可設置於氣瓶櫃410的側壁上。夾具臂423_2可相對於夾具本體423_1設置於兩個側處。

夾具臂423_2可具有鉗子的形狀，以環繞氣瓶20的側表面。夾具臂423_2的內側表面可具有圓的形狀以環繞氣瓶20。夾具臂423_2可包括滾筒423_3。

第三致動器423_4可設置於夾具臂423_2的下表面處。第三致動器423_4可連接至滾筒423_3的下表面。第三致動器423_4可向滾筒423_3提供動力。

另外，加熱套427可設置於下部夾具模組423與上部夾具模組425之間。加熱套427可環繞氣瓶20的一部分。本揭露並不限於此，且加熱套427亦可環繞整個氣瓶20。在其中氣瓶20中的氣體處於液態的示例性實施例中，加熱套427可向氣瓶20施加熱量。加熱套427可使氣瓶20的溫度升高，且據以，可將氣體平穩地提供至氣體管道。

在其中為了耦合至氣瓶20的氣體噴射噴嘴24，耦合至共用緊固裝置440的緊固單元450移動至氣體噴射噴嘴24所處的教示點的示例性實施例中，視覺感測器442可偵測氣瓶20的氣體噴射噴嘴24的輪廓及氣瓶20的閥本體26的輪廓。

控制器600可對自視覺感測器442接收的氣體噴射噴嘴24的輪廓的中心與氣瓶20的閥本體26的輪廓的中心進行比較。藉由對氣體噴射噴嘴24的輪廓的中心與氣瓶20的閥本體26的輪廓的中心進行比較，控制器600可判斷氣瓶20是否對齊。亦即，控制器600可判斷氣瓶20是否相對於第三方向D3傾斜。

控制器600可控制下部夾具模組423及上部夾具模組425，使得氣瓶20不相對於第三方向D3傾斜。下部夾具模組423及/或上部夾具模組425可使用滾筒423_3在第三方向D3上使氣瓶20對齊。亦即，氣瓶20相對於第三方向D3傾斜的度數可由滾筒423_3補償。

因此，在根據本揭露一些示例性實施例的自動供氣系統中，將共用緊固裝置440與緊固單元450對齊且然後耦合至緊固單元450，且在氣瓶20在第三方向D3上對齊之後，將氣體噴射噴嘴24與緊固單元450耦合。因此，可將氣瓶20與連接至半導體製程線的氣體管道自動對齊及連接。

圖17是用於闡述圖9所示墊圈供應裝置的視圖。

參照圖1、圖2及圖9至圖17，墊圈供應裝置470可包括墊圈供應單元472、墊圈474及墊圈盒476。

墊圈供應單元472可設置於氣瓶櫃410的側表面上。墊圈供應單元472可在第一方向D1上設置於氣瓶櫃410的一個側表面上。墊圈供應單元472可在第二方向D2上突出。墊圈供應單元472中可儲存一或多個墊圈474。

墊圈供應單元472可更包括彈性本體，例如彈簧。墊圈供應單元472可由於彈性本體而在第二方向D2上提供墊圈474。墊圈供應單元472可能可附接至氣瓶櫃410且可自氣瓶櫃410拆卸。因此，在其中墊圈供應單元472中不再留下墊圈474的示例性實施例中，墊圈供應單元472可自氣瓶櫃410拆卸且使用墊圈474填充，且然後再次附接至氣瓶櫃410。

墊圈盒476可設置於墊圈供應單元472的側表面處。墊圈盒476可儲存用過的墊圈474。墊圈盒476亦可能可附接至氣瓶櫃410且可自氣瓶櫃410拆卸。

同時，參照圖11及圖12，共用緊固裝置440可更包括墊圈移動單元444及墊圈夾持器446。

墊圈移動單元444可設置於共用緊固裝置440的側表面處。墊圈夾持器446可連接至墊圈移動單元444。墊圈移動單元444可根據共用緊固裝置440的移動而移動至墊圈供應裝置470及緊固單元450。

墊圈夾持器446可夾持墊圈474且可在由第一方向D1與第三方向D3形成的平面上旋轉。墊圈夾持器446可夾持墊圈474且將墊圈474提供至CGA固持器單元452。墊圈夾持器446可夾持耦合至CGA固持器單元452的墊圈474，以自CGA固持器單元452移除墊圈474。被移除的墊圈474可儲存於墊圈盒476中。墊圈夾持器446可藉由例如氣動致動器、步進馬達或伺服馬達等致動器接收動力。

當氣體噴射噴嘴24耦合至CGA固持器單元452時，墊圈474可設置於CGA固持器單元452與氣體噴射噴嘴24之間。舉例而言，墊圈474可減少或防止自氣體噴射噴嘴24提供的氣體洩漏至CGA固持器單元452。

因此，由於控制器600的控制，墊圈474可被自動提供至CGA固持器單元452或者自動與CGA固持器單元452分離。

圖18是用於闡述圖1及圖2所示移動式機器人及氣瓶櫃的視圖。在圖18中，僅示出氣瓶櫃的一些元件。圖19是圖18所示部分A的放大視圖。圖20是用於闡述圖9所示第二安置單元的視圖。

參照圖1、圖2及圖9至圖20，移動式機器人500可包括本體單元510、臂單元520及第二裝載偵測感測器530。

臂單元520可設置於本體單元510的一個表面處。臂單元520可包括第三夾持器522、驅動單元523及第三安置單元524。驅動單元523可連接本體單元510與第三夾持器522。驅動單元523的一端可連接至本體單元510，且驅動單元523的另一端可連接至第三夾持器522。

第三夾持器522可環繞氣瓶20的側表面。氣瓶20可藉由第三夾持器522固定至移動式機器人500。

驅動單元523可在第一方向D1、第二方向D2及第三方向D3上移動。固定至第三夾持器522的氣瓶20可藉由驅動單元523在第一方向D1、第二方向D2及第三方向D3上移動。

在驅動單元523的兩個側表面上可設置有第一距離量測感測器525。第一-第一距離量測感測器525_1可設置於驅動單元523的一個側表面上，且第一-第二距離量測感測器525_2可設置於面對第一-第一距離量測感測器525_1的表面上。

第一距離量測感測器525可使用雷射來偵測第二安置單元421的面對第一距離量測感測器525的第一表面421_2。基於第二安置單元421的由第一距離量測感測器525偵測的第一表面421_2，控制器600可辨別自移動式機器人500至第二安置單元421的距離。另外，基於第二安置單元421的由第一距離量測感測器525偵測的第一表面421_2，控制器600可偵測移動式機器人500與第二安置單元421之間的坡度差。亦即，控制器600可偵測第二安置單元421相對於移動式機器人500傾斜的角度。第一距離量測感測器525可為例如雷射距離感測器（laser distance sensor，LDS）。

因此，由於控制器600的控制，移動式機器人500可與第二安置單元421對齊。

第三安置單元524可設置於驅動單元523的底部處。第三安置單元524可自驅動單元523的中心在第一方向D1上突出。氣瓶20可安置於第三安置單元524上。

第三安置單元524可更包括第二距離量測感測器526。第二距離量測感測器526可設置於第三安置單元524上。第二距離量測感測器526可偵測第二安置單元421的面對第二距離量測感測器526的第一表面421_2。第二距離量測感測器526可偵測設置於第一表面421_2上的快速響應（quick response，QR）標記。第二距離量測感測器526可為例如QR碼閱讀器。基於由第二距離量測感測器526偵測到的QR標記，控制器600可偵測移動式機器人500與第二安置單元421之間的位置差及/或移動式機器人500與第二安置單元421傾斜的角度。

因此，由於控制器600的控制，移動式機器人500可與第二安置單元421對齊。移動式機器人500可藉由第一距離量測感測器525及/或第二距離量測感測器526與氣瓶櫃410對齊。儘管移動式機器人500在圖式中被示出為包括第一距離量測感測器525及第二距離量測感測器526，但本揭露並不限於此。亦即，移動式機器人500可僅包括第一距離量測感測器525及第二距離量測感測器526中的至少一者。

在根據本揭露一些示例性實施例的移動式機器人500中，由於第一距離量測感測器525及第二距離量測感測器526包括於臂單元520中，因此在其中臂單元520裝載有氣瓶20且臂單元520的位置由於氣瓶20的重量而未對齊的示例性實施例中，第一距離量測感測器525與第二距離量測感測器526的位置亦可能未對齊。因此，控制器600可更精確地校正及控制移動式機器人500與第二安置單元421之間的對齊。

第二裝載偵測感測器530可設置於本體單元510上。第二裝載偵測感測器530可設置於本體單元510的一個表面的上部部分上，臂單元520設置於本體單元510處。第二裝載偵測感測器530可偵測氣瓶20是否裝載於氣瓶櫃410中的面對第二裝載偵測感測器530的第二安置單元421上。

第二安置單元421、下部夾具模組423及上部夾具模組425可設置於氣瓶櫃410中。在上部夾具模組425上可設置有第一裝載偵測感測器429。第一裝載偵測感測器429可偵測氣瓶20是否裝載於第二安置單元421上。儘管第一裝載偵測感測器429在圖式中被示出為設置於上部夾具模組425上，但本揭露並不限於此。舉例而言，第一裝載偵測感測器429可設置於第二安置單元421或下部夾具模組423上，以偵測氣瓶20是否被裝載。

第一裝載偵測感測器429可偵測氣瓶20是否裝載於第二安置單元421上。基於第一裝載偵測感測器429的偵測結果，控制器600可確定出氣瓶20未裝載於第二安置單元421上。在其中氣瓶20未裝載於第二安置單元421上的示例性實施例中，控制器600可判斷氣瓶20是否裝載於移動式機器人500上。此乃因氣瓶20應被提供至上面未裝載氣瓶20的第二安置單元421。

根據控制器600的控制，上面裝載有氣瓶20的移動式機器人500可移動至氣瓶櫃410。移動式機器人500可移動至氣瓶櫃410中的第二安置單元421，氣瓶20將被提供至第二安置單元421。設置於移動式機器人500中的第二裝載偵測感測器530可偵測氣瓶20是否裝載於第二安置單元421上。基於第二裝載偵測感測器530的偵測結果，控制器600可進一步確定氣瓶20未裝載於第二安置單元421上。

移動式機器人500的臂單元520可設置於第二安置單元421的前面，以便不與氣瓶櫃410中的其他元件碰撞。第二安置單元421可包括形成於中心部分中的凹槽。移動式機器人500的第三安置單元524可安置於形成於第二安置單元421中的凹槽上。

當臂單元520將氣瓶20提供至氣瓶櫃410時，下部夾具模組423及上部夾具模組425可半夾持氣瓶20。當下部夾具模組423及上部夾具模組425完全夾持氣瓶20時，移動式機器人500的臂單元520可將氣瓶20提供至氣瓶櫃410。

圖21是用於闡述根據本揭露一些其他示例性實施例的自動供氣系統的視圖。在下文中，將主要闡述與圖1及圖2所示自動供氣系統的不同之處。

根據本揭露的一些其他示例性實施例的自動供氣系統可在第三方向D3上包括一或多個層。所述一或多個層可包括第一層301及第二層302。舉例而言，第二層302可對應於第三方向D3上的頂部層。第一層301可儲存一或多個第一氣瓶20，所述一或多個第一氣瓶20各自儲存除可燃氣體之外的氣體。第二層302可儲存一或多個第二氣瓶22，所述一或多個第二氣瓶22各自儲存可燃氣體。在第二層302中，可設置第二傳送單元115、第三傳送機器人142、第二儲存佇列330及第四傳送機器人502。

可自叉車1提供其中儲存有一或多個第二氣瓶22的托架10。氣瓶傳送單元100可更包括升降機105。托架10可裝載於升降機105中的傳送帶107上。托架10可藉由升降機105在第三方向D3上移動且被提供至第二層302。

托架10可被提供至設置於第二層302中的第二傳送單元115。設置於第二層302中的第三傳送機器人142可以第二氣瓶22為單位分離儲存於托架10中的第二氣瓶22。第三傳送機器人142可為與傳送機器人140相同的傳送機器人。

第四傳送機器人502及第二儲存佇列330可設置於第二層302中。第四傳送機器人502可將第二氣瓶22提供至第二儲存佇列330。由於第二氣瓶22中儲存可燃氣體，因此第四傳送機器人502可更包括防爆框架506（參見圖22）。在下文中，將參照圖22給出說明。

同時，氣瓶傳送單元100可更包括設置於氣瓶儲存單元300與氣瓶更換單元之間的瓶提升器（cylinder lifter）165。氣瓶更換單元可設置於第一層301中。因此，可藉由瓶提升器165將第二氣瓶22提供至第一層301的氣瓶更換單元。作為另一種選擇，藉由連接路徑350，可將第二氣瓶22提供至設置於另一構件（building）中的氣瓶更換單元。

可藉由瓶提升器165將儲存於第二儲存佇列330中的第二氣瓶22提供至氣瓶更換單元400。瓶提升器165可在第三方向D3上移動第二氣瓶22。由於第二氣瓶22中包含可燃氣體，因此可將第二氣瓶22可裝載於防爆框架506（參見圖22）中且提供至瓶提升器165。

圖22是用於闡述圖21所示氣瓶櫃的視圖。

參照圖21及圖22，可將其中儲存可燃氣體的第二氣瓶22裝載於防爆框架506中且提供至第一層301。可將防爆框架506的一個側連接至移動式機器人500的下端及臂單元520。可將防爆框架506（第二氣瓶22裝載於防爆框架506中）連接至移動式機器人500且傳送至氣瓶櫃410。移動式機器人500可將防爆框架506移動至氣瓶櫃410的前面且對齊防爆框架506的位置。

在防爆框架506的另一側處可設置有對接單元（docking unit）516。對接單元516可與氣瓶櫃410對接。當對接單元516及氣瓶櫃410對接時，氣瓶櫃410的進入/退出單元431可打開。

防爆框架506可包括第一伸縮致動器512及第二伸縮致動器514。第一伸縮致動器512可設置於防爆框架506的上側處。第二伸縮致動器514可設置於防爆框架506的下端處。當氣瓶櫃410的進入/退出單元431打開時，第一伸縮致動器512及第二伸縮致動器514可朝向氣瓶櫃410移動。

第一伸縮致動器512可連接至氣瓶櫃410。第二伸縮致動器514可連接至氣瓶櫃410的裝載單元433，且可形成連接路徑。第二氣瓶22可藉由連接路徑移動至氣瓶櫃410且可由第一伸縮致動器512引導，以便不會掉落。因此，其中儲存可燃氣體的第二氣瓶22可被安全且自動地更換。另外，由於防爆框架506，可減少來自第二氣瓶22的氣體洩漏或其爆炸的損壞。

圖23是用於闡述根據本揭露一些示例性實施例的自動供氣系統的流程圖。

參照圖1至圖23，在根據本揭露一些示例性實施例的自動供氣系統中，可將氣瓶20放入自動供氣系統中（S100）。可藉由氣瓶傳送單元100將氣瓶20傳送至氣瓶檢驗單元200。

然後，氣瓶檢驗單元200可檢查氣瓶20的閥的形狀且夾持氣瓶的側表面（S110）。氣瓶檢驗單元200可藉由貼合至氣瓶20外部的條形碼21來讀取關於氣瓶20的資訊。另外，氣瓶檢驗單元200可檢查氣體是否自氣瓶20洩漏（S120）。

然後，可將由氣瓶檢驗單元200完成其檢查的氣瓶20裝載於移動式機器人500上（S130）。移動式機器人500可將氣瓶20傳送至儲存佇列310。可將氣瓶20儲存於儲存佇列310中（S140），且然後可將氣瓶20自移動式機器人500卸載（S150）。

在其中裝載於氣瓶櫃410中的氣瓶20中的氣體被排出的示例性實施例中，可將儲存於儲存佇列310中的氣瓶20裝載於移動式機器人500上（S160）。移動式機器人500可將氣瓶20放入氣瓶櫃410中（S170）。可藉由共用緊固裝置440將氣瓶20連接至氣瓶櫃410（S180）。可連接氣瓶20的閥快門（valve shutter）443（S190）。

以上揭露的一或多個元件可包括或實施於例如以下一或多個處理電路系統中：硬體，包括邏輯電路；硬體/軟體組合，例如執行軟體的處理器；或其組合。舉例而言，更具體而言，處理電路系統可包括但不限於中央處理單元（central processing unit，CPU）、算術邏輯單元（arithmetic logic unit，ALU）、數位訊號處理器、微型電腦、現場可程式化閘陣列（field programmable gate array，FPGA）、系統晶片（System-on-Chip，SoC）、可程式化邏輯單元、微處理器、專用積體電路（application-specific integrated circuit，ASIC）等。

以上已參照附圖闡述本揭露的實施例，但本揭露並不限於上述示例性實施例且可以其他各種形式實施。此項技術中具有通常知識者應理解，在不改變本揭露的技術思想或基本特徵的條件下，本揭露可以其他特定形式實施。因此，在所有態樣中，上述示例性實施例應被理解為例示性的，而非限制性的。

1:叉車 10:托架 20:氣瓶/第一氣瓶 21:條形碼 22:第二氣瓶 24:氣體噴射噴嘴 26:閥本體 100:氣瓶傳送單元 105:升降機 107:傳送帶 110:傳送單元 112:第一傳送單元 114、115:第二傳送單元 120:門 130:導軌 140:傳送機器人 142:第三傳送機器人 165:瓶提升器 200:氣瓶檢驗單元 210:工作單元 220:第一夾持器 230、317:條形碼讀取器 240:第一氣體偵測器 300:氣瓶儲存單元 301:第一層 302:第二層 310、320:儲存佇列 311:進入/退出單元 312:第一安置單元 312_1:第一安置單元本體 312_2:移動單元 312_3、322:滾筒單元 313、324:第二夾持器 314:第二氣體偵測器 315:辨別單元 316:氣動致動器 318:位置感測器 321:進入單元 323:旋轉模組 325:視覺模組 326:退出單元 330:第二儲存佇列 350:連接路徑 400:氣瓶更換單元 410:氣瓶櫃 412:第一導軌 413:第二導軌 414:第三導軌 421:第二安置單元 421_2:第一表面 423:下部夾具模組 423_1:夾具本體 423_2:夾具臂 423_3:滾筒 423_4:第三致動器 425:上部夾具模組 427:加熱套 429:第一裝載偵測感測器 430:行進單元 431:進入/退出單元 433:裝載單元 440:共用緊固裝置 442:視覺感測器 443:閥門 444:墊圈行進單元 446:墊圈夾持器 450:緊固單元 452:CGA固持器單元 454:端蓋固持器單元 456:對齊標記 460:壓縮氣體協會（CGA）插塞單元 470:墊圈供應裝置 472:墊圈供應單元 474:墊圈 476:墊圈盒 500:移動式機器人 502:第四傳送機器人 506:防爆框架 510:本體單元 512:第一伸縮致動器 514:第二伸縮致動器 516:對接單元 520:臂單元 522:第三夾持器 523:驅動單元 524:第三安置單元 525:第一距離量測感測器 525_1:第一-第一距離量測感測器 525_2:第一-第二距離量測感測器 526:第二距離量測感測器 530:第二裝載偵測感測器 600:控制器 A:部分 D1:第一方向 D2:第二方向 D3:第三方向 S:區段 S100、S110、S120、S130、S140、S150、S160、S170、S180、S190:操作

藉由參照附圖詳細闡述本揭露的示例性實施例，本揭露的上述及其他態樣及特徵將變得更加顯而易見，在附圖中： 圖1是用於闡述根據本揭露一些示例性實施例的自動供氣系統的視圖。 圖2是用於闡述根據本揭露一些示例性實施例的自動供氣系統的視圖。 圖3是用於闡述圖1及圖2所示氣瓶傳送單元的視圖。 圖4是用於闡述圖1及圖2所示氣瓶檢驗單元的視圖。 圖5是用於闡述圖1及圖2所示氣瓶儲存單元的視圖。 圖6是用於闡述圖5所示第一安置單元的視圖。 圖7是用於闡述圖5所示辨別單元的視圖。 圖8是用於闡述根據本揭露一些其他示例性實施例的圖1及圖2所示氣瓶儲存單元的視圖。 圖9是用於闡述圖1及圖2所示氣瓶更換單元的視圖。 圖10是用於闡述圖9所示行進單元的視圖。 圖11是用於闡述圖9所示共用緊固裝置的視圖。 圖12是用於闡述圖9所示緊固單元的視圖。 圖13是用於闡述氣瓶的視圖。 圖14是用於闡述圖9所示壓縮氣體協會（Compressed Gas Association，CGA）插塞單元的視圖。 圖15是用於闡述圖9所示氣瓶更換單元的操作的視圖。 圖16是用於闡述圖9所示下部夾具模組的視圖。 圖17是用於闡述圖9所示墊圈供應裝置的視圖。 圖18是用於闡述圖1及圖2所示移動式機器人及氣瓶櫃的視圖。 圖19是圖18所示部分A的放大視圖。 圖20是用於闡述圖9所示第二安置單元的視圖。 圖21是用於闡述根據本揭露一些其他示例性實施例的自動供氣系統的視圖。 圖22是用於闡述圖21所示氣瓶櫃的視圖。 圖23是用於闡述根據本揭露一些示例性實施例的自動供氣系統的流程圖。

20:氣瓶/第一氣瓶

100:氣瓶傳送單元

110:傳送單元

140:傳送機器人

200:氣瓶檢驗單元

300:氣瓶儲存單元

310:儲存佇列

400:氣瓶更換單元

410:氣瓶櫃

500:移動式機器人

D1:第一方向

D2:第二方向

D3:第三方向

Claims (10)

1. 一種自動供氣系統，包括： 氣瓶傳送單元，被配置成傳送其中儲存有一或多個氣瓶的托架，所述一或多個氣瓶中儲存氣體； 氣瓶檢驗單元，被配置成檢查儲存於自所述氣瓶傳送單元傳送的所述氣瓶中的所述氣體的性質且檢查所述氣體是否自所述氣瓶洩漏； 儲存佇列，被配置成藉由移動式機器人自所述氣瓶檢驗單元接收所述氣瓶且被配置成根據儲存於所述氣瓶中的所述氣體的所述性質來對所傳送的所述氣瓶進行分類及儲存；以及 氣瓶櫃，被配置成藉由所述移動式機器人自所述儲存佇列接收所述氣瓶且將連接至半導體製造製程線的氣體管道緊固至設置於所接收的所述氣瓶的一個側處的氣體噴射噴嘴，以將儲存於所述氣瓶中的所述氣體供應至所述半導體製造製程線， 其中所述氣瓶櫃包括殘留氣體偵測器，所述殘留氣體偵測器被配置成偵測儲存於緊固至所述氣體管道的所述氣瓶中的所述氣體的殘留量，且 當所述殘留氣體偵測器偵測到的所述氣體的所述殘留量小於或等於設定的氣體殘留量時，所述移動式機器人自所述氣瓶櫃內部回收所述氣瓶且將儲存於所述儲存佇列中的氣瓶傳送至所述氣瓶櫃。
2. 如請求項1所述的自動供氣系統，其中： 所述氣瓶傳送單元包括：第一傳送單元，配置成在第一方向上移動所述托架，以將所述托架移動至所述自動供氣系統中；第二傳送單元，連接至所述第一傳送單元，以在垂直於所述第一方向的第二方向上移動所述托架；以及傳送機器人，設置於在所述第二方向上延伸的導軌上且被配置成將儲存於位於所述第二傳送單元上的所述托架中的所述氣瓶傳送至所述氣瓶檢驗單元；且 所述氣瓶檢驗單元包括：工作單元，自所述氣瓶傳送單元傳送的所述氣瓶裝載於所述工作單元上；條形碼讀取器，被配置成辨別貼合至所述氣瓶的條形碼以辨識所述氣瓶中的所述氣體的所述性質；第一夾持器，被配置成環繞所述氣瓶的側表面以固定所述氣瓶；以及氣體偵測器，被配置成偵測所述工作單元中的氣體洩漏。
3. 如請求項1所述的自動供氣系統，其中所述儲存佇列包括： 第二夾持器，設置於所述儲存佇列的側壁上且被配置成環繞所述氣瓶的側表面以固定所述氣瓶； 第一安置單元，設置於所述儲存佇列的下表面處，且所述氣瓶安置於所述第一安置單元上； 條形碼讀取器，被配置成辨別貼合至所述氣瓶的條形碼； 氣動致動器，設置於所述儲存佇列的所述側壁上且耦合至所述條形碼讀取器，以在第二方向上移動所述條形碼讀取器，所述第二方向是所述儲存佇列延伸的方向，以及 多個位置感測器，沿著所述氣動致動器在所述第二方向上以預定的間隔設置， 其中所述條形碼讀取器辨別貼合至所述多個位置感測器之中的相鄰的位置感測器之間的所述氣瓶的所述條形碼。
4. 如請求項3所述的自動供氣系統，其中所述第一安置單元包括： 滾筒單元，包括在垂直於所述第二方向的第一方向上延伸的多個滾筒；以及 移動單元，設置於所述滾筒單元的下表面處且被配置成在所述第一方向上移動所述滾筒單元， 其中所述氣瓶安置於所述滾筒單元上，且 所述滾筒單元使所述氣瓶在所述第二方向上對齊，且所述移動單元使所述氣瓶在所述第一方向上對齊。
5. 如請求項1所述的自動供氣系統，其中所述氣瓶櫃包括： 夾具模組，設置於所述氣瓶櫃的側壁上且被配置成夾持所述氣瓶的側表面； 第二安置單元，所述氣瓶安置於所述第二安置單元上； 緊固單元，在所述氣瓶的所述氣體噴射噴嘴的側表面處設置於所述氣瓶櫃的所述側壁上，且所述緊固單元包括壓縮氣體協會（CGA）固持器單元及端蓋固持器單元，所述壓縮氣體協會（CGA）固持器單元連接至所述氣體管道，所述端蓋固持器單元耦合至與所述氣瓶的所述氣體噴射噴嘴耦合的端蓋，以將所述端蓋自所述氣體噴射噴嘴分離或將所述端蓋耦合至所述氣體噴射噴嘴； 壓縮氣體協會插塞單元，在所述氣瓶的所述氣體噴射噴嘴的所述側表面處設置於所述氣瓶櫃的所述側壁上，且壓縮氣體協會插塞單元被配置成在其中所述氣瓶不存在於所述第二安置單元上的情形中緊固至所述壓縮氣體協會固持器單元； 第一導軌，設置於所述氣瓶櫃的上表面上且在作為所述氣瓶櫃的縱向方向的第二方向上延伸； 第二導軌，設置於所述第一導軌的下表面上且在垂直於所述第二方向的第一方向上延伸； 第三導軌，耦合至所述第二導軌且在垂直於所述第一方向及所述第二方向的第三方向上延伸； 行進單元，耦合至所述第三導軌且包括第一致動器，以沿著所述第一導軌至所述第三導軌在所述第一方向至所述第三方向上移動；以及 共用緊固裝置，耦合至所述行進單元以在所述第一方向至所述第三方向上移動且包括第二致動器，所述第二致動器耦合至所述緊固單元以使所述壓縮氣體協會固持器單元及所述端蓋固持器單元中的至少一者旋轉。
6. 如請求項5所述的自動供氣系統，其中所述共用緊固裝置更包括感測器，所述感測器被配置成偵測設置於所述氣瓶的一個側處的所述氣體噴射噴嘴的位置，且基於由所述感測器偵測到的所述氣體噴射噴嘴的所述位置來補償所述氣瓶在所述第二方向上傾斜的度數。
7. 如請求項6所述的自動供氣系統，其中： 所述夾具模組更包括滾筒，所述滾筒被配置成使所述氣瓶的所述側表面旋轉，以使由所述感測器偵測到的所述氣體噴射噴嘴的所述位置能夠與所述緊固單元對齊，以補償所述氣瓶在所述第二方向上傾斜的所述度數； 所述緊固單元更包括形成於所述緊固單元的上表面上的對齊標記； 所述感測器偵測所述對齊標記；且 基於由所述感測器偵測到的所述對齊標記，所述共用緊固裝置移動成與所述緊固單元對齊且然後耦合至所述緊固單元。
8. 如請求項5所述的自動供氣系統，其中： 所述第二安置單元更包括當安置所述氣瓶時設置於面對所述氣瓶的表面上的快速響應（QR）碼； 所述移動式機器人包括：第三夾持器，被配置成環繞所述氣瓶的所述側表面以固定所述氣瓶，且所述移動式機器人包括設置於兩個側表面上以偵測距所述第二安置單元的距離的第一距離感測器；以及第三安置單元，所述氣瓶安置於所述第三安置單元上，且所述第三安置單元包括被配置成辨別設置於所述第二安置單元上的所述快速響應碼以偵測距所述第二安置單元的所述距離的第二距離感測器；且 所述氣瓶基於由所述第一距離感測器及所述第二距離感測器偵測到的所述距離而安置於所述第二安置單元上。
9. 如請求項8所述的自動供氣系統，其中： 所述第三安置單元更包括第一裝載偵測感測器，所述第一裝載偵測感測器被配置成偵測所述氣瓶是否裝載於所述第二安置單元上；且 所述移動式機器人更包括第二裝載偵測感測器，所述第二裝載偵測感測器被配置成偵測所述氣瓶是否裝載於所述第二安置單元上，且所述移動式機器人根據由所述第一裝載偵測感測器及所述第二裝載偵測感測器偵測到的所述氣瓶是否裝載於所述第二安置單元上而使所述氣瓶能夠安置於所述第二安置單元上。
10. 如請求項5所述的自動供氣系統，其中： 所述氣瓶櫃更包括墊圈供應單元及墊圈盒，所述墊圈供應單元設置於所述氣瓶櫃的側表面上以藉由設置於所述墊圈供應單元中的彈簧供應墊圈，所述墊圈盒設置於所述墊圈供應單元的側表面處以儲存用過的墊圈； 所述共用緊固裝置更包括墊圈移動單元及墊圈夾持器，所述墊圈移動單元設置於所述共用緊固裝置的側表面處且在所述第二方向上延伸，所述墊圈夾持器連接至所述墊圈移動單元且被配置成自所述墊圈供應單元夾持所述墊圈，以將所述墊圈提供至所述氣瓶的所述氣體噴射噴嘴或所述壓縮氣體協會固持器單元或移除所述用過的墊圈；且 由於所述行進單元，所述墊圈移動單元向所述墊圈盒提供所述用過的墊圈。

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