KR20080045466A - 용기 자동교환장치 및 이를 이용한 용기 자동교환 방법 - Google Patents

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KR20080045466A
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김수민
복성수
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삼성전자주식회사
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Abstract

용기 자동교환장치를 제공한다. 상기 용기 자동교환장치는 스테이지 및 상기 스테이지에 부착되어 상기 스테이지 상에 놓여지는 용기들의 무게를 측정하는 무게측정기를 구비하는 스테이지 유닛과, 상기 스테이지를 구동시키어 상기 용기들을 이동시키는 구동유닛과, 상기 구동유닛에 의해 이동 가능하고 상기 용기들의 입구를 개폐시키는 용기마개 착탈유닛과, 상기 용기들 중 어느 하나의 용기 내의 물질을 배출시키는 노즐부를 구비하고 상기 노즐부를 상/하로 이동시키는 노즐 유닛, 및 상기 스테이지 유닛, 상기 구동유닛, 상기 용기마개 착탈유닛, 및 상기 노즐 유닛의 동작을 제어하는 제어부를 구비한다.

Description

용기 자동교환장치 및 이를 이용한 용기 자동교환 방법{Auto replacement apparatus of container and method for replacing container automatically using the same}
도 1은 본 발명에 따른 용기 교환장치를 구비한 도포 설비를 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1의 스테이지 및 용기 마개 착탈 유닛과의 관계를 보여주기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1의 용기 마개 착탈 유닛의 구성요소를 구체적으로 나타내기 위한 사시도이다.
도 4는 도 1의 노즐 유닛의 구성요소를 구체적으로 나타내기 위한 사시도이다.
도 5는 용기 교환장치의 구성요소 간의 연결관계를 나타내기 의한 블럭다이어그램이다.
본 발명은 반도체소자 제조장치에 관한 것으로, 특히, 반도체 상에 회로 패턴을 형성하기 위한 포토레지스트를 반도체 기판 상에 원할히 공급하기 위해서 포토레지스트 용기를 자동으로 교환하여 공급하는 포토레지스트 용기 자동교환장치에 관한 것이다.
반도체소자는 기판 상에 트랜지스터 및 이를 서로 연결하는 배선 들을 다층으로 집적시켜 이루어지는 매우 정밀한 전기소자이다. 상기 반도체소자는 일반적으로 기판 상에 반도체막, 부도체막, 도체층막 등을 산화, 증착, 성장 등의 방법으로 형성하고 가공하여 형성하는데 그 구조가 정교하고 기능이 정확해야 하므로 가공 공정 또한 엄격하고 정밀하게 진행되어야 한다.
상기 반도체소자를 제조하기 위해 적층되는 여러가지 막을 가공하는 방법중 가장 대표적인 것이 패터닝(patterning) 작업이며 이 패터닝 작업은 포토리소그래피(photolithography)와 에칭(etching)을 결합시켜 이루어지는 것이 대부분이다. 여기서 포토리소그래피는 막 위에 포토레지스트막을 도포하고 일정 패턴을 가진 포토마스크(photomask)를 위에 놓고 노광한 다음 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 작업으로, 포토마스크상의 미세한 패턴을 광화학적인 반응을 이용하여 포토레지스트막에 전사하는 공정이다. 그리고 이때 형성된 포토레지스트 패턴은 에칭 공정에서 에칭마스크로 작용하게 된다.
상기 공정중 포토레지스트를 반도체기판에 도포하는 과정에 대해서 설명하면 다음과 같다. 상기 포토레지스트는 포토레지스트 용기에 담겨진 상태에서 도포설비의 일측에 보관된다. 상기 포토레지스트는 노즐 등에 의해 분사펌프로 이동한 후에 분사노즐에 의해 도포장치에서 반도체기판에 분사된다.
일반적으로 상기 포토레지스트는 1Gal 용량으로 담겨져 보관되는데, 도포 공정이 계속되는 중에 상기 포토레지스트 용기에 포토레지스트가 없는 것으로 확인되면 수작업으로 새로운 포토레지스트 용기를 대체시키게 된다.
도포공정 진행 중에 포토레지스트 용기에 내용물이 없는 경우에는 도포공정을 중지하고 새로운 용기로 교체해야 하므로 생산성이 떨어지게 되는 문제가 있게 된다.
또한, 수작업에 의한 교체가 이루어지므로 교환작업시에 노즐의 꺽임, 포토레지스트액의 오염 등의 문제가 발생할 수 있다.
따라서, 본 발명은 이상과 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로써, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 포토레지스트 용기에 잔존하는 포토레지스트가 부족할 경우에 자동으로 새로운 포토레지스트 용기로 교체함으로써 도포공정이 원할히 진행될 수 있는 용기 자동교환장치 및 이를 이용한 포토레지스트 공급방법을 제공하는데 있다.
이와 같은 기술적 과제를 구현하기 위한 본 발명의 일 관점에 따르면, 스테이지 및 상기 스테이지에 부착되어 상기 스테이지 상에 놓여지는 용기들의 무게를 측정하는 무게측정기를 구비하는 스테이지 유닛과, 상기 스테이지를 구동시키어 상기 용기들을 이동시키는 구동유닛과, 상기 구동유닛에 의해 이동 가능하고 상기 용기들의 입구를 개폐시키는 용기마개 착탈유닛과, 상기 용기들 중 어느 하나의 용 기 내의 물질을 배출시키는 노즐부를 구비하고 상기 노즐부를 상/하로 이동시키는 노즐 유닛, 및 상기 스테이지 유닛, 상기 구동유닛, 상기 용기마개 착탈유닛, 및 상기 노즐 유닛의 동작을 제어하는 제어부를 구비하는 용기 교환장치가 제공된다..
상기 물질은 포토레지스트일 수 있다.
상기 포토레지스트 용기 교환장치는 상기 포토레지스트 용기에 부착되는 포토레지스트명을 판독하기 위한 판독유닛을 더 구비할 수 있다.
상기 구동 유닛은 상기 스테이지를 구동하는 제1구동부, 및 상기 용기마개 착탈유닛을 구동하는 제2구동부로 이루어질 수 있다.
상기 무게측정기는 압전 센서를 사용할 수 있다.
이와 같은 기술적 과제를 구현하기 위한 본 발명의 일 관점에 따르면, 상기 무게 측정기를 사용하여 상기 노즐부와 연결된 제 1용기의 무게를 측정하고, 상기 제 1용기의 무게가 일정값보다 작은 경우에, 상기 제1 용기를 상기 용기들 중 제2 용기로 대체시키는 것을 포함하는 용기 자동교환방법이 제공된다.
여기에서, 상기 제1 용기를 상기 제2 용기로 대체시키는 것은 상기 용기마개 착탈유닛을 동작시키어 상기 제2 용기의 입구를 개방시키고, 상기 노즐 유닛을 동작시키어 상기 제1 용기 내의 상기 노즐부를 상승시키고, 상기 구동 유닛을 동작시키어 상기 용기들을 이동시킴으로써 상기 제2 용기를 상기 상승된 노즐부 하부에 위치시키고, 상기 노즐 유닛을 동작시키어 상기 노즐부를 상기 제2 용기 내의 상기 물질 내로 하강시키는 단계를 구비한다.
상기 물질은 포토레지스트일 수 있다.
상기 제2 용기의 입구를 개방시키는 것은 상기 제1 용기 내의 상기 노즐부를 상승시킨 후에 실시될 수 있다.
상기 구동 유닛을 동작시키어 상기 용기들을 이동하는 것은 상기 스테이지를 회전시킴으로써 가능할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명에 따른 포토레지스트 용기 교환장치를 구비한 도포 설비를 나타낸 구성도이고, 도 2는 도 1의 스테이지 및 용기 마개 착탈 유닛과의 관계를 보여주기 위한 도면이다.
도 3은 도 1의 용기 마개 착탈 유닛의 구성요소를 구체적으로 나타내기 위한 사시도이고, 도 4는 도 1의 노즐 유닛의 구성요소를 구체적으로 나타내기 위한 사시도이며, 도 5는 포토레지스트 용기 교환장치의 구성요소 간의 연결관계를 나타내기 의한 블럭다이어그램이다.
먼저, 도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 포토레지스트 도포 설비(100)의 일반적인 구성을 살핀다.
상기 포토레지스트 도포 설비(100)는 챔버(101), 온습도 조절기(108), 도 포부(106), 및 제어부(104)를 구비한다.
상기 도포부(106)는 웨이퍼가 낱장 단위로 로딩될 수 있도록 회전척 등이 마련되고 상기 웨이퍼 상면에 포토레지스트를 도포하게 된다. 상기 온습도 조절기(108)는 상기 챔버(101) 외측에 마련되어 챔버(101)내의 포토레지스트의 상태를 최적의 조건으로 보관하기 위해서 온도, 습도를 자동으로 조절한다.
상기 챔버(101)에는 포토레지스트 용기 교환장치(102)가 마련된다. 상기 포토레지스트 용기 교환장치(102)는 스테이지유닛(110), 구동유닛(124), 용기마개 착탈유닛(150), 및 노즐유닛(160)을 구비한다.
상기 스테이지유닛(110)은 스테이지몸체(112), 복수의 용기 안착부(116), 및 상기 스테이지몸체(112)와 용기 안착부(116) 사이에 배치되는 무게측정기(114)로 구성된다. 상기 무게측정기(114)는 압전소자가 내장되어 있어서 그 위에 안착되는 포토레지스트 용기(120)의 무게를 측정할 수 있게 한다. 상기 무게측정기(114)는 포토레지스트 용기(120)의 무게에 대한 기준치가 기설정되어 있는 제어부(104)에 전기적으로 접속되어 있다.
구체적으로 도 2를 참조하면, 상기 용기 안착부(116)는 상기 스테이지몸체(112) 상에서 동일 원주상에 균일 간격으로 배치될 수 있고, 포토레지스트 용기(120)하단부의 형상을 따라서 홈이 형성되어 상기 포토레지스트 용기(120)를 정확히 안착시킬 수 있도록 한다. 바람직하게, 상기 용기 안착부(116)는 6개가 등간격으로 배치될 수 있다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 용기마개 착탈유닛(150)은 마개고정지 그(156), 지그회전축(153), 모터(151), 모터홀더(152), 상기 모터홀더(152)에 연결고정되는 아암(154), 및 제1 회전축(155)을 구비한다. 상기 제1 회전축(155)은 상기 아암(154)에 형성된 홀(155a)을 관통하여 결합되고, 상기 스테이지유닛(110)을 관통하여 구동유닛(124)에 연결된다.
상기 마개고정지그(156)는 지그몸체(157), 지그바(158), 및 홀더(159)로 구성된다. 상기 지그몸체(157)는 지그회전축(153)에 직접 연결되고, 지그바(158)는 지그몸체(157) 및 홀더(159)를 연결하는 역할을 한다. 상기 홀더(159)는 내측으로 경사지게 배치되며, 바람직하게 고무 재질로 형성됨으로써 포토레지스트 용기(120)의 마개(122)를 미끄러짐 없이 견고하게 잡을 수 있도록 한다.
상기 마개고정지그(156)는 지그회전축(153)에 의해 모터(151)에 연결되는데, 상기 모터(151)로부터의 동력 전달에 의해 구동 가능하다. 즉, 상기 모터(151)의 회전력이 지그회전축(153)에 의해 상기 마개고정지그(156)에 전달되어, 상기 마개고정지그(156)의 회전을 가능하게 한다. 상기 모터(151)는 모터홀더(152)에 고정된다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 노즐유닛(160)은 노즐부(161), 노즐마개(162), 실린더(163), 실린더 로드(164), 및 가이드 로드(169)를 구비한다. 상기 실린더 로드(164) 및 가이드 로드(169)는 상하 양끝단부가 각각 상부, 하부 지지대(166,165)에 의해 지지된다.
상기 노즐부(161)는 연성 노즐(168,flexible nozzle), 연결체(167), 및 직선 노즐(168a)로 구성된다. 상기 연성 노즐(168)의 일측단은 챔버(101)의 외측으로 연장되어 도포부(106)의 펌프유닛(미도시)에 연결되고, 타측단은 상기 직선 노즐(168a)에 연결된다. 상기 연결체(167)는 연성 노즐(168) 및 직선 노즐(168a)을 연결하는 연결부재로서 포토레지스트의 누설을 방지하는 패킹의 기능을 할 수 있는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 노즐부(161)에 의해서 포토레지스트 용기(120)로부터 포토레지스트가 공급되는 경우에, 상기 노즐마개(162)는 포토레지스트 용기(120)를 외부와 밀폐시킬 수 있는 구조를 갖는 것이 바람직하다.
상기 실린더(163)는 외부로부터의 유압 또는 공압이 공급되면 실린더 로드(164)를 따라서 이동 가능하게 할 수 있다. 상기 공압 등을 공급하여 실린더를 승하강하는 기술은 종래의 공지기술을 사용할 수 있다.
다른 한편으로, 상기 실린더(163)는 모터로서 기능할 수 있다. 상기 실린더(163)의 내부에 암나사산을 구비하고, 실린더 로드(164)의 외주면에 수나사산이 형성됨으로써 볼 스크류의 형태와 유사하게 구동 가능하다. 즉, 상기 실린더(163) 내부에 앵귤러 베어링이 장착되었다고 본다면, 상기 앵귤러 베어링의 외측부가 실린더(163)에 고정되고 내측부가 실린더 로드(164)에 고정될 수 있다. 상기 실린더(163)는 제어부(104)에 전기적으로 접속되는데, 구체적으로 상기 실린더 로드(164)에 고정된 앵귤러 베어링의 내측부를 회전시킴으로써 노즐부(161)의 승하강을 가능하게 한다.
상기 구동유닛(124)은 스테이지 유닛 구동부(130) 및 용기마개 착탈유닛 구동부(140)로 이루어진다.
상기 스테이지 구동부(130)는 모터(132), 제1구동풀리(136), 및 제1벨트(138)로 구성된다. 미설명부호 134는 모터(132)와 제1구동풀리(136)를 연결하는 연결축으로 상기 모터(132)의 구동력을 제1구동풀리(136)에 전달한다.
상기 용기마개 착탈유닛 구동부(140)는 모터(142), 제2구동풀리(146), 및 제2벨트(148)로 구성된다. 미설명부호 144는 모터(142)와 제1구동풀리(146)를 연결하는 연결축으로 상기 모터(142)의 구동력을 제1구동풀리(146)에 전달한다.
상기 제1구동풀리(136)는 제1종동풀리(105)와 쌍을 이루고, 제2구동풀리(146)는 제2종동풀리(158)와 쌍을 이루게 된다. 상기 스테이지몸체(112)의 하단에 고정되는 베어링부(103)는 제1종동풀리(105)의 홈에 삽입된다. 그럼으로써, 제1종동풀리(105)의 회전에 따라서 스테이지몸체(112)도 회전가능하다.
상기 베어링부(103)는 내부의 중공의 홀을 통해 상기 제1회전축(155)이 관통되어진다. 상기 베어링부(103)의 내부에는 원주방향을 따라서 볼이 배열되고, 상기 베어링부(103)과 맞닫는 상기 제1회전축(155)의 내면에는 볼이 구름동작을 할 수 있도록 홈이 형성될 수 있다. 그결과 상기 종동풀리(105) 및 제1회전축(155)은 각자의 운동에 영향받지 않고 회전가능하게 되므로써 스테이지유닛(110) 및 용기마개 착탈유닛(150)이 각자 별도의 구동원에 의해서 구동가능하게 된다.
스테이지몸체(112)로부터 일정거리 이격된 위치에는 판독센서(170)가 설치된다. 상기 판독센서(170)는 포토레지스트 용기(120)에 부착된 바코드를 인식할 수 있으며, 상기 포토레지스트 용기(120) 내부의 포함물의 종류나 공정의 종류를 즉각 파악할 수 있게 한다.
이하, 도 1 내지 도 5를 참조하여, 포토레지스트 용기(120)를 교환하는 과정에 대해서 설명한다.
먼저, 도포부(106)로 포토레지스트 공급이 이루어지고 있는 제1 포토레지스트 용기(120a)에 대해서 그 하부의 무게측정수단(114a)이 무게를 측정하여 실시간으로 상기 무게측정수단(114a)에 전기적으로 접속된 제어부(104)에 그 측정 데이터를 전송한다. 상기 제1 포토레지스트 용기(120a) 내의 포토레지스트가 모두 소모되는 경우에는 새로운 용기로의 교체가 이루어져야 한다. 즉, 상기 포토레지스트 용기(120)의 무게가 상기 제어부(104)에 기설정되어 있는 기준치에 부합하지 않으면, 상기 제어부(104)는 제어부(104)에 전기적으로 접속된 노즐 유닛(160)에 신호를 전달한다.
이후, 상기 노즐 유닛(160)은 그 내부의 실린더(163)를 작동시킴으로써 노즐부(161)를 상승시키게 된다. 그럼으로써, 사용완료된 제1 포토레지스트 용기(120a)는 입구가 개방된 상태로 대기하게 된다.
이후, 판독센서(170)가 교환대기중인 제2 포토레지스트 용기(120b)의 바코드 센싱을 실시한다. 상기 바코드 센싱을 통하여 포토레지스트의 정보를 입수하고 공정에 부합하는지 여부를 확인한다.
상기 바코드 센싱된 제2 포토레지스트 용기(120b)의 내용물을 도포부(106)로 공급하기 위하여 먼저 용기마개 착탈유닛(150)에 의해서 마개(122)의 제거가 이루어져야 한다. 용기마개 착탈유닛 구동부(140)의 구동에 의해서 제1회전축(155)의 회전이 이루어지게 된다. 마개고정지그(156)가 상기 제2 포토레지스트 용기(120b) 상부에 위치하게 된 후에, 지그바(158) 및 홀더(159)는 마개(122)를 클램핑하게 된다. 그후, 모터(151)의 구동에 의해서 CCW방향으로 회전되어 상기 마개(122)를 분리하게 된다.
상기 제2 포토레지스트 용기(120b)의 내용물이 외부와 접촉되는 것을 최대한 방지하기 위해서, 상기 제2 포토레지스트 용기(120b)는 제1 포토레지스트 용기(120a)보다 늦게 개방되는 것이 바랍직하다.
다음으로, 입구가 개방된 제2 포토레지스트 용기(120b)를 노즐 유닛(160) 인근에 위치시키기 위해서 스테이지 유닛(110)의 작동이 이루어진다. 제어부(104)에 연결된 스테이지 유닛 구동부(130)의 구동에 의해서 상기 스테이지 유닛(110)이 회전한다. 결국, 상기 제2 포토레지스트 용기(120b)는 사용위치 즉, 도포부(106)로 포토레지스트를 공급할 수 있는 위치로 이동하게 된다.
상기 사용위치로 이동되면, 노즐 유닛(160)에 의해서 노즐부(161)가 하강함으로써 포토레지스트를 공급할 수 있는 준비가 완료된다.
상기 스테이지 유닛(110)의 회전 과정중에 사용이 완료된 제1 포토레지스트 용기(120a)는 마개(122)를 닫기 위해서 대기하게 된다. 용기마개 착탈유닛(150)은 상기 사용이 완료된 제1 포토레지스트 용기(120a) 측으로 이동하여 상기 제2 포토레지스트 용기(120b)의 마개(122)를 장착한다.
이상과 같이 본 발명에 따른 포토레지스트 용기 자동교환장치는 노광 공정이 이루어지는 과정에서 용기를 교체할 필요가 있는 경우에 기존의 수작업을 통한 방법을 탈피하여 자동으로 교환할 수 있게 한다.
또한, 포토레지스트 용기를 자동으로 교체하므로 노광 공정의 연속적인 작업을 가능하게 하고 용기 교체의 정확성을 기하게 된다.
이상, 본 발명은 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구의 범위와 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
상술한 바와 같이 본 발명인 포토레지스트 용기 자동교환장치 및 이를 이용한 포토레지스트 공급방법에 따르면, 노광공정 수행과정에서 포토레지스트 용기의 교체작업시에 기존의 수작업에 의한 교체작업을 자동교환장치로 대체함으로써, 연속적인 노광공정 수행을 가능하게 한다.
또한, 포토레지스트 용기 교환작업을 자동으로 함으로써 교환작업에서 발생할 수 있는 사고 및 설비의 오염을 미연에 방지할 수 있다.

Claims (10)

  1. 스테이지 및 상기 스테이지에 부착되어 상기 스테이지 상에 놓여지는 용기들의 무게를 측정하는 무게측정기를 구비하는 스테이지 유닛;
    상기 스테이지를 구동시키어 상기 용기들을 이동시키는 구동유닛;
    상기 구동유닛에 의해 이동 가능하고 상기 용기들의 입구를 개폐시키는 용기마개 착탈유닛;
    상기 용기들 중 어느 하나의 용기 내의 물질을 배출시키는 노즐부를 구비하고 상기 노즐부를 상/하로 이동시키는 노즐 유닛; 및
    상기 스테이지 유닛, 상기 구동유닛, 상기 용기마개 착탈유닛, 및 상기 노즐 유닛의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 용기 자동교환장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 물질은 포토레지스트인 것을 특징으로 하는 용기 자동교환장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 스테이지의 일측에 설치되고 상기 용기들에 부착되는 포토레지스트명을 판독하기 위한 판독유닛을 더 포함하되, 상기 판독유닛은 상기 제어부에 의해 동작하는 것을 특징으로 하는 용기 자동교환장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 구동 유닛은 상기 스테이지를 구동하는 제1구동부, 및 상기 용기마개 착탈유닛을 구동하는 제2구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 용기 자동교환장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 무게측정기는 압전 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 용기 자동교환장치.
  6. 제 1항의 용기 자동교환장치를 사용하여 용기들을 자동교환하는 방법에 있어서,
    상기 무게 측정기를 사용하여 상기 노즐부와 연결된 제 1용기의 무게를 측정하고,
    상기 제 1용기의 무게가 일정값보다 작은 경우에, 상기 제1 용기를 상기 용기들 중 제2 용기로 대체시키는 것을 포함하되,
    상기 제1 용기를 상기 제2 용기로 대체시키는 것은
    상기 용기마개 착탈유닛을 동작시키어 상기 제2 용기의 입구를 개방시키고,
    상기 노즐 유닛을 동작시키어 상기 제1 용기 내의 상기 노즐부를 상승시키고,
    상기 구동 유닛을 동작시키어 상기 용기들을 이동시킴으로써 상기 제2 용기를 상기 상승된 노즐부 하부에 위치시키고,
    상기 노즐 유닛을 동작시키어 상기 노즐부를 상기 제2 용기 내의 상기 물질 내로 하강시키는 것을 포함하는 용기 자동교환방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 물질은 포토레지스트인 것을 특징으로 하는 용기 자동교환방법.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 제2 용기의 입구를 개방시키는 것은 상기 제1 용기 내의 상기 노즐부를 상승시킨 후에 실시되는 것을 특징으로 하는 용기 자동교환방법.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 구동 유닛을 동작시키어 상기 용기들을 이동하는 것은 상기 스테이지를 회전시킴으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 용기 자동교환방법.
  10. 제 6항에 있어서,
    상기 제 1용기의 무게를 측정하는 것은 압전 센서를 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 용기 자동교환방법.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR200466091Y1 (ko) * 2011-05-19 2013-04-03 (주)러셀 반도체용 포토레지스트 주입장치
KR20170063573A (ko) * 2014-09-24 2017-06-08 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 용기 수용 장치
KR20200070383A (ko) * 2017-11-01 2020-06-17 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 처리액 공급 시스템, 처리액 공급 장치, 및 캐리어 보관 장치

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