JP2009290106A - 処理液供給装置およびその処理液容器交換方法 - Google Patents

Abstract

【課題】処理液供給装置の処理液容器の交換時における処理液の種別の取り違えを確実に防止する手段を提供する。
【解決手段】処理液供給装置が、種別の異なる処理液をそれぞれ収容する処理液容器と、処理液容器に連結部材により連結され、処理液の種別毎に設定された鍵と、処理液容器を種別毎に収納する収納部と、収納部に設置され、その収納部に設定された処理液の種別を示す鍵パターンが形成された受箱とを備え、処理液容器の処理液が空になったときに、当該収納部の空の処理液容器を、受箱の鍵パターンに噛合う鍵が連結された新たな処理液容器に交換する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体装置のフォトリソグラフィ工程におけるレジスト等の処理液を供給する処理液供給装置およびその処理液容器交換方法に関する。

従来の処理液供給装置は、種別の異なる処理液をそれぞれ収容する処理液容器と、処理液容器を種別毎に収納する収納部とを備え、それぞれの処理液容器に種別毎に設定されたバーコードを設けると共に、データベースに各収納部の位置に対応させて、それぞれに設定された種別のバーコードデータを登録しておき、処理液容器の処理液が空になったことを検出したときに、当該収納部の位置を表示して作業員に処理液容器が空になったことを報知し、作業員が用意した新たな処理液容器のバーコードデータをバーコードリーダにより読取り、読取ったバーコードデータと、データベースに登録されている当該収納部のバーコードデータとが一致した場合に、新たな処理液容器の処理液が正統であると判定して、処理液容器の交換時における処理液の交換ミスを防止している（例えば、特許文献１参照。）。

また、種別の異なる処理液をそれぞれ収容する処理液容器と、処理液容器を種別毎に収納する収納部とを備えた処理液供給装置において、処理液容器の上端部に処理液の種別毎に設定した凹部を形成すると共に、処理液容器の開口部を塞ぎ、処理液供給ラインの端部が挿入されたキャップに処理液容器の凹部に嵌合する凸部と、キャップの塞がり状態が良好であることを検出する近接センサを設け、処理液容器の処理液が空になったことが報知され、作業員が用意した新たな処理液容器と交換するときに、処理液容器の開口部を塞いだキャップの塞がり状態を近接センサで検出して処理液容器の正当性を判定し、処理液容器の交換時における処理液の交換ミスを防止しているものもある（例えば、特許文献２参照。）。
特開２００６−２１８３９１号公報（段落００４１、００７０、００８３−００８６、第５図、第６図） 特開２００２−２４６３０６号公報（主に、段落００２４−００２６、００３０−００３３、第１図）

しかしながら、上述した特許文献１の技術においては、バーコードリーダにより読取ったバーコードデータと、データベースに登録されている当該収納部のバーコードデータとが一致した場合に、新たな処理液容器の処理液が正統であると判定しているため、処理液容器の交換時に、作業員が誤って空になった処理液容器のバーコードを読取らせた後に、新たに用意した処理液容器を設置してしまうと、バーコードデータが一致して、新たな処理液容器が当該収納部に収納される正統な処理液容器と判定され、新たな処理液容器に異なる種別の処理液が収容されていた場合には、誤った種別の処理液が供給されてしまうという問題がある。

また、特許文献２の技術においては、処理液容器の開口部を塞いだキャップの塞がり状態を近接センサで検出して処理液容器の正当性を判定しているため、処理液容器の凹部とキャップの凸部とが嵌合せずにキャップが傾いた状態で取付けられた場合には、近接センサが、キャップと処理液容器との接近を検出してしまい、作業員が用意した新たな処理液容器を正統と判定して、誤った種別の処理液が供給されてしまう場合があるという問題がある。

上記のように、処理液の種別の取り違えが生ずると、処理液供給装置から誤った種別の処理液が供給され、例えばフォトリソグラフィ工程において、半導体ウェハ上に誤った種別のレジストが供給されてしまうと、その後に処理された半導体ウェハが全て無駄になり、半導体装置の製造に多大な影響を与えることになる。
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、処理液容器の交換時における処理液の種別の取り違えを確実に防止する手段を提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するために、処理液供給装置が、種別の異なる処理液をそれぞれ収容する処理液容器と、前記処理液容器に連結部材により連結され、前記処理液の種別毎に設定された鍵と、前記処理液容器を、前記種別毎に収納する収納部と、前記収納部に設置され、その収納部に設定された前記処理液の種別を示す鍵パターンが形成された受箱とを備え、前記処理液容器の処理液が空になったときに、当該収納部の空の処理液容器を、前記受箱の鍵パターンに噛合う鍵が連結された新たな処理液容器に交換することを特徴とする。

また、種別の異なる処理液をそれぞれ収容する処理液容器と、前記処理液容器に連結部材により連結され、前記処理液の種別毎に設定された鍵と、前記処理液容器を、前記種別毎に収納する収納部と、前記収納部に設置され、その収納部に設定された前記処理液の種別を示す鍵パターンが形成され、前記鍵と前記鍵パターンとが噛合ったことを検出する噛合検出センサが設けられた受箱とを備えた処理液供給装置の処理液容器交換方法であって、前記処理液容器の処理液が空になったことを報知するステップと、前記報知後に、前記空になった処理液容器を、当該収納部から取出すステップと、新たな処理液容器に連結された鍵を、当該収納部の前記受箱に挿入するステップと、前記鍵と前記受箱の鍵パターンとの噛合を、前記噛合検出センサで検出するステップと、前記鍵と前記鍵パターンとが噛合ったことを検出したときに、当該収納部に前記新たな処理液容器を設置するステップと、を備えることを特徴とする。

これにより、本発明は、受箱の鍵パターンと鍵とが一致しない限りは、当該収納部に新たな処理液容器を設置することができず、処理液容器の交換時における処理液の種別の取り違えを確実に防止することができるという効果が得られる。

以下に、図面を参照して本発明による処理液供給装置の実施例について説明する。

図１は実施例１の処理液供給装置の概略構成を示す説明図、図２は実施例１の処理液容器を示す説明図、図３は実施例１の鍵を示す説明図、図４は実施例１の受箱を示す説明図である。
図１において、１は処理液供給装置である。本実施例では、フォトリソグラフィ工程において、スピンコート法により、半導体ウェハ上に塗布する、材料や粘度等が異なる複数の種別のレジストをそれぞれ供給する処理液供給装置である。

２は収納部であり、図２に示す１つの種別の処理液名が印刷されたラベル３ａが貼付され、当該処理液（本実施例では、レジスト）が収容された処理液容器３（本実施例では、ガロン瓶）を収納する箱体であって、処理液供給装置１で取扱う全ての種別の処理液の処理液容器３を、種別毎に個別に収納するように複数設けられている。
５は鍵であり、図２に示すように、処理液容器３に、紐やチェーン等の連結部材６で連結された、金属または樹脂材料で形成された矩形の平板部材であって、処理液の種別毎に設定された鍵溝形状を有している。

本実施例の鍵５は、平板の一方の端部に開口を有する鍵溝７を形成するための、図３に２点鎖線で示す非対称に配置された溝形成領域８が複数（本実施例では５箇所）設定されており、この溝形成領域８の一部を用いて、後述する鍵パターン（図５参照）に噛合う複数の鍵溝７（本実施例では、７ａ、７ｂの２箇所）からなる鍵溝形状が形成される。
また、鍵５の一方の端部で、非対称に配置された溝形成領域８の反対側の隅部には、噛合検出センサとしてのリミットスイッチ１７（後述）を押圧する押圧部５ａ（図３等にハッチングを付して示す部位）が形成され、鍵５の他方の端部の一隅には、連結部材６を挿通させるための取付穴９が形成されている。

１０は収納部２の内面に設置された受箱であり、鍵５を挿入する挿入部１１が形成された箱状部材であって、図４に示すように、正面板１０ａおよび背面板１０ｂ（図７参照）の、挿入された鍵５の溝形成領域８に対応する位置にマトリックス状に配置（本実施例では２行５列）された複数のピン穴１２が形成されており、そのピン穴１２の一部に鍵溝７に遊嵌する鍵ピンとしてのピン１３（図４等にピン穴１２との区別のために網掛けで示す。）を圧入等により嵌合させて処理液の種別を個別に示す鍵パターンが形成される。

図１において、１５は処理液供給装置１の制御部であり、処理液供給装置１内の各部を制御して、処理液の供給処理や、空になった処理液容器３の交換処理等を実行する機能等を備えている。
１６は記憶部であり、制御部１５が実行するプログラムやそれに用いる各種のデータおよび制御部１５による処理結果等が格納される。

本実施例のリミットスイッチ１７は、受箱１０の底部に取付けられ、処理液供給装置１の制御部１５に電気的に接続しており、その接点の開閉信号を制御部１５へ送信する機能等を有している。
１８はインタロック部であり、制御部１５からの指令により、処理液供給装置１の処理液の供給処理を一時的に停止させる機能等を有している。

本実施例の鍵パターンは、図５に示すように、第１行と第２行のピン穴１２にそれぞれ１つ、合計２つのピン１３を嵌合させ、その列の位置を同じ列を避けて配置することによって複数のパターン（本実施例では２０種類）を形成して、処理液の１つの種別に対して１つの鍵パターンが設定され、それぞれに鍵番号が設定されている。
また、鍵５の溝形成領域８には、鍵パターンのピン１３の位置に対応させて、ピン１３の数と同数の、互いに長さの異なる鍵溝７、つまり第１行に取付けたピン１３に噛合わせる長さの長い鍵溝７ａと、第２行に取付けたピン１３に噛合わせる長さの短い鍵溝７ｂとの２つの鍵溝７が形成される。

なお、図４、図７に示したピン１３は、図５に示す鍵番号「１」の鍵パターンを図示したものであり、図２、図７の鍵５に示した鍵溝７は、鍵番号「１」の鍵パターンに噛合う鍵溝形状を図示したものである。
本実施例の処理液は、図６に示す処理液管理テーブルを用いて管理され、種別毎に１つの鍵番号が設定されており、それぞれの処理液容器３には、処理液容器３に収容された処理液の種別に該当する鍵番号の鍵溝形状が形成された鍵５が連結部材６で連結され、処理液棚等に保管されている。

また、同一の種別の処理液に用いる収納部２には、その種別に設定された鍵パターン、つまり同一の種別の処理液が収容された処理液容器３に連結された鍵５の鍵溝形状に噛合う鍵パターンが形成された受箱１０が設置されている。
上記の構成の作用について、図７に示す説明図および図８に示すフローチャートを用い、Ｓで示すステップに従って説明する。

Ｓ１、処理液供給装置１の制御部１５は、収納部２の図示しない液面センサ等の処理液切れ検出センサからの検出信号により、収納部２に収納されている処理液容器３の処理液が空になったことを判定したときに、当該収納部２の表示ランプ等を点灯させ、および／もしくは警報ブザー等による警報を発して、処理液容器３が空になったことを報知すると共に、インタロック部１８へ停止指令を送信して、処理液供給装置１の処理液の供給処理を一時的に停止させる。

Ｓ２、この報知により処理液容器３が空になったことを認識した作業員は、報知の対象となった収納部２の図示しない扉を開け、受箱１０から鍵５を抜取って空になった処理液容器３を取出し、その処理液容器３のラベル３ａ等により処理液の種別を確認する。
このとき、リミットスイッチ１７の接点が開放され、それを示す開信号が制御部１５へ送信される。

Ｓ３、交換すべき処理液の種別を確認した作業員は、処理液棚等から当該種別の処理液を収容した処理液容器３を取出し、新たな処理液容器３を用意する。
Ｓ４、新たな処理液容器３を用意した作業員は、その処理液容器３に連結されている鍵５を、図７に示すように、当該収納部２に設置された受箱１０の挿入部１１に、鍵溝７の側から鍵溝７ａ、７ｂとを、受箱１０に形成された鍵パターンを構成する２本のピン１３に噛合わせながら、鍵溝７がピン１３に係止されるまで挿入する。

このとき、受箱１０の鍵パターンと鍵５の鍵溝形状とが一致して、これらが噛合った場合は、挿入された鍵５の押圧部５ａによってリミットスイッチ１７が押圧され、その接点が閉じたことを示す閉信号が制御部１５へ送信される。
また、鍵５の鍵溝７ａ、７ｂのいずれか一方、または両方が鍵パターンのピン１３に噛合わない場合は、鍵５の押圧部５ａがリミットスイッチ１７まで達しないので、リミットスイッチ１７は開信号を制御部１５へ送信し続ける。

Ｓ５、制御部１５は、リミットスイッチ１７からの閉信号の着信を待って待機しており、閉信号を受信したときに、新たな処理液容器３の処理液の種別を正統と判定してステップＳ７へ移行する。
リミットスイッチ１７からの閉信号を受信しない場合、つまり開信号を受信し続けている場合は、表示ランプの点灯や警報による報知を継続する。

Ｓ６、一方、作業員は、報知の継続等により鍵５が当該受箱１０の鍵パターンに合わないことを認識し、処理液容器３のラベル３ａ等を再確認して、上記ステップＳ２で認識した種別との相違を認識し、正統な種別の処理液が収容された他の処理液容器３を改めて用意し、上記ステップＳ４と同様にして、用意した他の処理液容器３の鍵５を、当該受箱１０の挿入部１１に挿入する。

その後の作業員の作業や制御部１５の作動は、上記ステップＳ４〜Ｓ６と同様であるので、その説明を省略する。
Ｓ７、鍵５の鍵溝形状と受箱１０の鍵パターンとが噛合ったことを検出し、新たな処理液容器３の処理液の種別を正統と判定した制御部１５は、インタロック部１８へ解除指令を送信し、インタロック部１８による処理液の供給処理の一時停止を解除し、当該収納部２の表示ランプ等の消灯や警報の停止により、用意された処理液容器３が正当なものであることを報知する。

これにより、用意した処理液容器３が正当なものであることを認識した作業員は、図示しない処理液供給配管等を処理液容器３に取付け、当該収納部２に処理液容器３を設置した後に、収納部２の図示しない扉を閉鎖する。
上記の処理液容器交換方法により、本実施例の受箱１０およびそれに噛合う鍵５が連結された処理液容器３による処理液の交換作業が行われる。

このように本実施例では、同一の種別の処理液に用いる収納部２の受箱１０、および処理液容器３に連結された鍵５に、互いに噛合う鍵パターンおよび鍵溝形状を形成しておき、処理液容器３の処理液が空になったときに、これを処理液供給装置１が報知し、当該収納部２の空の処理液容器３を、受箱１０の鍵パターンに噛合う鍵溝形状の鍵５が連結された新たな処理液容器３に交換するので、受箱１０の鍵パターンと鍵５の鍵溝形状が一致しない限りは、当該収納部２に新たな処理液容器３を設置することができず、処理液容器の交換時における処理液の種別の取り違えを確実に防止することができると共に、処理液容器３の交換時に、作業員が、誤って空になった処理液容器３の鍵５を再び受箱１０に挿入した場合には、処理液供給装置１の一時停止が解除され、処理液の供給処理が再開されるが、その直後に処理液容器３が空であることが報知されるので、作業員は空の処理液容器３を設置したことに気付くことができる。

また、本実施例では、鍵５を受箱１０の挿入部１１に挿入して、底部に設けられたリミットスイッチ１７を鍵５の押圧部５ａで押圧して、処理液供給装置１の一時停止を解除するので、例え鍵５が傾いた状態で挿入されてとしても、その傾きは挿入部１１に案内されて矯正され、受箱１０のピン１３による鍵パターンと鍵５の鍵溝７による鍵溝形状とを確実に噛合わせることができ、誤った種別の処理液の処理液容器３が設置されることを防止することができる。

更に、本実施例では、鍵５の溝形成領域８を非対称に設定してあるので、作業員が鍵５の表裏を間違えて挿入した場合の誤判定、例えば図５に示す鍵番号「１」の鍵パターンと鍵番号「５」の鍵パターンとの誤判定を防止することができる。
更に、本実施例では、マトリックス状に配置したピン穴１２の各行に、ピン１３を１つずつ取付け、これらのピン１３を列の重複を避けた状態で配置して鍵パターンを形成し、これに噛合わせる鍵溝形状を、互いに長さの異なるピン１３と同数の鍵溝７で形成するので、１つの鍵パターンに噛合う鍵溝形状が一意に定まり、１つの鍵パターンに複数の鍵溝形状が噛合うことを防止することができ、誤った種別の処理液の処理液容器３が設置されることを確実に防止することができる。

以上説明したように、本実施例では、１つの種別の処理液を収容する処理液容器が空になったときに、空になった処理液容器を、当該収納部に設置された受箱に形成された鍵パターンに噛合う鍵が連結された新たな処理液容器に交換するようにしたことによって、受箱の鍵パターンと鍵とが一致しない限りは、当該収納部に新たな処理液容器を設置することができず、処理液容器の交換時における処理液の種別の取り違えを確実に防止することができる。

図９は実施例２の処理液供給装置の概略構成を示す説明図、図１０は実施例２の鍵および処理液容器を示す説明図、図１１は実施例２の受箱を示す説明図である。
なお、上記実施例１と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図９において、２１はバーコード読取部であり、バーコードを光学的に読取るバーコードリーダを備えており、バーコードリーダで読取ったバーコードデータを制御部１５へ送信する機能を有している。

２２は表示部であり、ＬＣＤ等の表示画面を備えており、作業員に報知するための文言等を表示する機能を有している。
本実施例では、処理液の１つの種別に対して１つのバーコード２３が設定されており、図１０に示すように、処理液容器３のラベル３ａに印刷または貼付等により付されたバーコード２３と同じバーコード２３が、当該種別の鍵溝形状が形成された鍵５、およびその種別の処理液容器３を収納する収納部２に設置された当該種別の鍵パターンが形成された受箱１０の正面板１０ａ（図１１参照）に、それぞれ貼付等により付されている。

本実施例の処理液は、上記実施例１と同様に、図６に示す処理液管理テーブルを用いて管理され、作業員は、処理液容器３のラベル３ａに付されたバーコード２３と、鍵５に付されたバーコード２３との一致を確認した後に、確認した鍵５を該当する処理液容器３に連結部材６で連結して処理液棚等に保管する。
本実施例の記憶部１６には、各種別に設定されたバーコード２３のバーコードデータに対応させて、その処理液の種別を登録したバーコード対照テーブルが予め格納され、処理液を交換した交換日時と、交換した処理液の種別とからなる処理液交換履歴情報を保存するための履歴情報保存エリアが予め確保されている。

上記の構成の作用について、図１２に示すフローチャートを用い、ＳＡで示すステップに従って説明する。
本実施例のステップＳＡ１〜ＳＡ３の作業員の作業や制御部１５の作動は、上記実施例１のステップＳ１〜Ｓ３と同様であるので、その説明を省略する。
ＳＡ４、新たな処理液容器３を用意した作業員は、当該収納部２の受箱１０と、新たな処理液容器３と、その処理液容器３に連結された鍵５とに、それぞれ取付けられたバーコード２３を、バーコード読取部２１のバーコードリーダによって読取る。

このとき、バーコード読取部２１は、読取った３つのバーコード２３のバーコードデータを制御部１５へ送信する。
ＳＡ５、バーコードデータを受信した制御部１５は、３つのバーコードデータをそれぞれ比較し、少なくとも１つのバーコードデータが不一致の場合は、不一致の旨を表示部２２に表示する。

３つのバーコードデータが全て一致した場合は、一致の旨を表示部２２に表示し、ステップＳＡ６に移行して、リミットスイッチ１７からの閉信号の着信を待って待機する。
ＳＡ６、表示部２２に表示された一致の旨の表示を確認した作業員は、実施例１のステップＳ４と同様にして、処理液容器３に連結されている鍵５を当該収納部２の受箱１０に挿入する。

そして、受箱１０の鍵パターンと鍵５の鍵溝形状とが噛合った場合は、リミットスイッチ１７から閉信号が制御部１５へ送信され、受箱１０の鍵パターンと鍵５の鍵溝形状とが噛合わなかった場合は、リミットスイッチ１７から開信号が制御部１５へ送信し続けられる。
ＳＡ７、リミットスイッチ１７からの閉信号の着信を待って待機していた制御部１５は、閉信号を受信したときに、新たな処理液容器３の処理液の種別を正統と判定してステップＳＡ９へ移行する。

リミットスイッチ１７からの閉信号を受信しない場合は、実施例１のステップＳ５と同様に、報知を継続する。
ＳＡ８、一方、上記ステップＳＡ５において、表示部２２に表示された不一致の旨の表示を確認した、または報知の継続等により鍵５が当該受箱１０の鍵パターンに合わないことを認識した作業員は、処理液容器３のラベル３ａ等を再確認して、上記ステップＳＡ２で認識した種別との相違を認識し、正統な種別の処理液が収容され、正統なバーコード２３が付された鍵５が連結された他の処理液容器３を改めて用意し、上記ステップＳＡ４と同様にして、用意した他の処理液容器３とその鍵５および当該収納部２の受箱１０とのバーコード２３を読取る。

その後の作業員の作業や制御部１５の作動は、ステップＳＡ４〜ＳＡ８と同様であるので、その説明を省略する。
ＳＡ９、上記ステップＳＡ５において、３つのバーコードデータが一致したことを確認し、鍵５の鍵溝形状が受箱１０の鍵パターンと噛合ったことを検出して、新たな処理液容器３の処理液の種別を正統と判定した制御部１５は、実施例１のステップＳ７と同様にして、用意された処理液容器３が正当なものであることを報知し、作業員は、当該収納部２に処理液容器３を設置した後に、収納部２の図示しない扉を閉鎖する。

ＳＡ１０、当該収納部２の扉の閉鎖を認識した制御部１５は、その時計機能により現在日時を取得してこれを交換日時として認識すると共に、バーコードデータを基に記憶部１６のバーコード対照テーブルを検索して、該当する処理液の種別を読出し、認識した交換日時と、読出した処理液の種別とからなる処理液交換履歴情報を、記憶部１６の履歴情報保存エリアに保存する。

上記の処理液容器交換方法により、本実施例のバーコード２３を付した収納部２や処理液容器３およびそれに連結された鍵５による処理液の交換作業が行われる。
このように本実施例では、同一の種別の処理液に用いる収納部２と処理液容器３およびそれに連結された鍵５に、同一のバーコード２３を付しておき、処理液容器３の処理液が空になったときに、これを処理液供給装置１が報知し、当該収納部２の空の処理液容器３を、バーコード２３と、受箱１０の鍵パターンに噛合う鍵溝形状の鍵５とで確認して、その鍵５が連結された新たな処理液容器３に交換するので、バーコード２３と受箱１０の鍵パターンと鍵５の鍵溝形状が一致しない限りは、当該収納部２に新たな処理液容器３を設置することができず、処理液容器３の交換時における処理液の種別の取り違えをより確実に防止することができると共に、処理液容器３の交換時に、作業員が、誤って空になった処理液容器３とその鍵５とのバーコード２３を読取らせ、その鍵５を再び受箱１０に挿入した場合には、処理液供給装置１の一時停止が解除され、処理液の供給処理が再開されるが、その直後に処理液容器３が空であることが報知されるので、作業員は空の処理液容器３を設置したことに気付くことができる。

なお、本実施例では、収納部２に付すバーコード２３は、受箱１０に取付けるとして説明したが、収納部２の内面等に直接貼付するようにしてもよい。
以上説明したように、本実施例では、上記実施例１と同様の効果に加えて、同一の種別の処理液に用いる収納部と処理液容器およびそれに連結された鍵に、同一のバーコードを付すようにしたことによって、処理液容器の交換時における処理液の種別の取り違えをより確実に防止することができる。

なお、上記各実施例においては、処理液容器はガロン瓶であるとして説明したが、処理液容器としてキャニスタを用いた場合も同様である。
また、上記各実施例においては、受箱に形成する鍵パターンはピン穴に、鍵ピンとしてのピンを嵌合させて形成するとして説明したが、ピン穴に挿通させた鍵ピンとしてのビスをナットで締結して鍵パターンを形成するようにしてもよい。

更に、上記各実施例においては、噛合検出センサはリミットスイッチであるとして説明したが、受箱の底部において、鍵と鍵パターンとが噛合ったときに押圧部の先端を検出する光学式のセンサ等であってもよい。
更に、上記各実施例においては、処理液容器が空になったことを検出する処理液切れ検出センサは液面センサであるとして説明したが、処理液と処理液容器とを合せた重量を検出する重量検出センサ等であってもよい。

実施例１の処理液供給装置の概略構成を示す説明図 実施例１の処理液容器を示す説明図 実施例１の鍵を示す説明図 実施例１の受箱を示す説明図 実施例１の鍵パターンの構成例を示す説明図 実施例１の処理液管理テーブルの構成例を示す説明図 実施例１の鍵の受箱への挿入状態を示す説明図 実施例１の処理液容器交換方法を示すフローチャート 実施例２の処理液供給装置の概略構成を示す説明図 実施例２の鍵および処理液容器を示す説明図 実施例２の受箱を示す説明図 実施例２の処理液容器交換方法を示すフローチャート

符号の説明

１ 処理液供給装置
２ 収納部
３ 処理液容器
３ａ ラベル
５ 鍵
５ａ 押圧部
６ 連結部材
７、７ａ、７ｂ 鍵溝
８ 溝形成領域
９ 取付穴
１０ 受箱
１０ａ 正面板
１０ｂ 背面板
１１ 挿入部
１２ ピン穴
１３ ピン
１５ 制御部
１６ 記憶部
１７ リミットスイッチ
１８ インタロック部
２１ バーコード読取部
２２ 表示部
２３ バーコード

Claims (7)

1. 種別の異なる処理液を、それぞれ収容する処理液容器と、
   前記処理液容器に連結部材により連結され、前記処理液の種別毎に設定された鍵と、
   前記処理液容器を、前記種別毎に収納する収納部と、
   前記収納部に設置され、その収納部に設定された前記処理液の種別を示す鍵パターンが形成された受箱とを備え、
   前記処理液容器の処理液が空になったときに、当該収納部の空の処理液容器を、前記受箱の鍵パターンに噛合う鍵が連結された新たな処理液容器に交換することを特徴とする処理液供給装置。
2. 請求項１において、
   前記鍵を平板で形成すると共に、前記平板の一方の端部に開口を有する、互いに長さの異なる複数の鍵溝を形成し、
   前記受箱の鍵パターンを、前記鍵の鍵溝の数と同数の、前記鍵溝に遊嵌する鍵ピンで形成したことを特徴とする処理液供給装置。
3. 請求項１または請求項２において、
   前記受箱の底部に、前記鍵と前記鍵パターンとが噛合ったことを検出する噛合検出センサを設けたことを特徴とする処理液供給装置。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれか一項において、
   前記処理液の種別毎にバーコードを設定し、
   同一の種別の処理液に用いる前記収納部と、前記処理液容器、およびそれに連結された前記鍵に、同一のバーコードを付したことを特徴とする処理液供給装置。
5. 種別の異なる処理液を、それぞれ収容する処理液容器と、
   前記処理液容器に連結部材により連結され、前記処理液の種別毎に設定された鍵と、
   前記処理液容器を、前記種別毎に収納する収納部と、
   前記収納部に設置され、その収納部に設定された前記処理液の種別を示す鍵パターンが形成され、前記鍵と前記鍵パターンとが噛合ったことを検出する噛合検出センサが設けられた受箱とを備えた処理液供給装置の処理液容器交換方法であって、
   前記処理液容器の処理液が空になったことを報知するステップと、
   前記報知後に、前記空になった処理液容器を、当該収納部から取出すステップと、
   新たな処理液容器に連結された鍵を、当該収納部の前記受箱に挿入するステップと、
   前記鍵と前記受箱の鍵パターンとの噛合を、前記噛合検出センサで検出するステップと、
   前記鍵と前記鍵パターンとが噛合ったことを検出したときに、当該収納部に前記新たな処理液容器を設置するステップと、を備えることを特徴とする処理液供給装置の処理液容器交換方法。
6. 請求項５において、
   前記鍵を平板で形成すると共に、前記平板の一方の端部に開口を有する、互いに長さの異なる複数の鍵溝を形成し、
   前記受箱の鍵パターンを、前記鍵の鍵溝の数と同数の、前記鍵溝に遊嵌する鍵ピンで形成したことを特徴とする処理液供給装置の処理液容器交換方法。
7. 種別の異なる処理液を、それぞれ収容する処理液容器と、
   前記処理液容器に連結部材により連結され、前記処理液の種別毎に設定された鍵と、
   前記処理液容器を、前記種別毎に収納する収納部と、
   前記収納部に設置され、その収納部に設定された前記処理液の種別を示す鍵パターンが形成され、前記鍵と前記鍵パターンとが噛合ったことを検出する噛合検出センサが設けられた受箱とを備えた処理液供給装置の処理液容器交換方法であって、
   前記処理液の種別毎にバーコードを設定すると共に、同一の種別の処理液に用いる前記収納部と、前記処理液容器、およびそれに連結された前記鍵に、同一のバーコードを付しておき、
   前記処理液容器の処理液が空になったことを報知するステップと、
   前記報知後に、前記空になった処理液容器を、当該収納部から取出すステップと、
   当該収納部と、新たな処理液容器と、その処理液容器に連結された鍵とに、それぞれ付されたバーコードの一致を確認するステップと、
   前記新たな処理液容器に連結された鍵を、当該収納部の前記受箱に挿入するステップと、
   前記鍵と前記受箱の鍵パターンとの噛合を、前記噛合検出センサで検出するステップと、
   前記鍵と前記鍵パターンとが噛合ったことを検出したときに、当該収納部に前記新たな処理液容器を設置するステップと、を備えることを特徴とする処理液供給装置の処理液容器交換方法。

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