JPH11319686A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薬液収納容器と薬液供給管との接続ミスを有
効に防止することができる基板処理装置を提供すること
を目的とする。 【解決手段】 基板処理装置は、基板１を処理するため
の基板処理部２と、薬液を収納した薬液収納容器３と、
薬液収納容器３から基板処理部２へ薬液を送液するため
の薬液供給管４とを備える。薬液収納容器３の側面に
は、この薬液収納容器３に収納された薬液の種類を示す
バーコードを表示したデータ表示部５が付設されてい
る。また、薬液供給管４における薬液収納容器３との接
続部付近には、読取部６が配設されている。この読取部
６は、薬液収納容器３のデータ表示部５に表示されたバ
ーコードを読み取るためのバーコードリーダを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハや
液晶表示パネル用ガラス基板あるいは半導体製造装置用
マスク基板等の基板を処理する基板処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】このような基板処理装置においては、ガ
ロン瓶やコート瓶と呼称される薬液収納容器に収納され
た薬液を、薬液供給管を介して、スピンコータやスピン
デベロッパ等の基板処理部に送液することにより、基板
に所望の薬液を供給する構成となっている。そして、薬
液収納容器内の薬液が空になった場合には、オペレータ
が新たな薬液収納容器を薬液供給管に接続するようにし
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】近年、一つの基板処理
ラインで複数種の基板を処理するケースが増加してい
る。このような場合には、各基板の種類に応じて使用す
る薬液が各々異なることから、一つの基板処理装置にお
いて極めて多数の薬液が使用されることになる。

【０００４】このため、薬液収納容器の交換時に、薬液
収納容器を本来接続すべき薬液供給管とは異なる薬液供
給管に接続してしまうという薬液収納容器と薬液供給管
との接続ミスが発生する場合がある。このような接続ミ
スが発生した場合には、その薬液で処理された基板を廃
棄せざるを得ず、また、薬液供給管の洗浄も必要になる
という問題を生ずる。

【０００５】この発明は上記課題を解決するためになさ
れたものであり、薬液収納容器と薬液供給管との接続ミ
スを有効に防止することができる基板処理装置を提供す
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、複数の薬液収納容器に収納された薬液を各々基板処
理部に送液することにより、基板に所望の薬液を供給し
て処理を行う基板処理装置において、前記薬液収納容器
と接続されることにより当該薬液収納容器から前記基板
処理部に薬液を送液するための薬液供給管と、前記薬液
収納容器に収納された薬液の種類を示すデータを表示す
るため、前記薬液収納容器に付設されたデータ表示部
と、前記データ表示部に表示された薬液の種類を示すデ
ータを読み取る読取手段と、前記読取手段により読み取
られた薬液の種類を示すデータに基づき、前記薬液収納
容器とこの薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管と
の接続情報を表示する表示手段とを備えたことを特徴と
する。

【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記読取手段は前記薬液供給管におけ
る前記薬液収納容器との接続部付近に配設されており、
前記表示手段は、前記読取手段により読み取られた薬液
収納容器における薬液の種類を示すデータに基づき、こ
の薬液収納容器と薬液の種類を示すデータを読み取った
読取手段が配設された薬液供給管との接続の適否を表示
する。

【０００８】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、前記表示手段は、前記薬液供給管にお
ける前記薬液収納容器との接続部付近に配設されてい
る。

【０００９】請求項４に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記表示手段は、前記読取手段により
読み取られた薬液収納容器における薬液の種類を示すデ
ータに基づき、この薬液収納容器が接続されるべき薬液
供給管を表示する。

【００１０】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の発明において、前記表示手段は、前記薬液供給容器設
置すべき場所を表示することにより、この薬液収納容器
が接続されるべき薬液供給管を表示する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図１はこの発明の第１実施形態
に係る基板処理装置の要部を示す説明図である。

【００１２】この基板処理装置は、基板１を処理するた
めの基板処理部２と、薬液を収納した薬液収納容器３
と、薬液収納容器３から基板処理部２へ薬液を送液する
ための薬液供給管４とを備える。

【００１３】前記基板処理部２は、基板１をその下面よ
り吸着保持した状態で鉛直軸１１のまわりを回転するス
ピンチャック１２と、スピンチャック１２に保持されて
回転する基板１の表面に薬液を吐出するための薬液吐出
ノズル１５とを有する。薬液吐出ノズル１５から基板１
の表面に吐出された薬液は、基板１の回転に伴う遠心力
により、基板１の表面で薄膜を形成する。

【００１４】前記薬液収納容器３は、その内部に基板処
理部２で使用される薬液を貯留するものである。この薬
液収納容器３の側面には、この薬液収納容器３に収納さ
れた薬液の種類を示すバーコードを表示したデータ表示
部５が付設されている。

【００１５】前記薬液供給管４は、その先端部を薬液収
納容器３内に挿入してこの薬液収納容器３と接続される
ことにより、薬液収納容器３から基板処理部２へ薬液を
送液するためのものである。この薬液供給管４には、薬
液収納容器３内の薬液の有無を検出するための薬液検出
部９と、薬液を圧送するためのポンプ１４とが配設され
ている。また、薬液検出部９は、薬液収納容器３から送
液された薬液を一時的に貯留する貯留部１６と、この貯
留部１６内の薬液の液位を検出するセンサ１７とを備え
る。

【００１６】この薬液供給管４における薬液収納容器３
との接続部付近には、読取部６が配設されている。この
読取部６は、図２に示すように、薬液収納容器３のデー
タ表示部５に表示されたバーコードを読み取るためのバ
ーコードリーダ８を有する。この読取部６は、配線２８
を介して、後述する制御部２４と接続されている。

【００１７】図３は、この基板処理装置の主要な電気的
構成を示すブロック図である。

【００１８】この基板処理装置は、装置の制御に必要な
動作プログラムが格納されたＲＯＭ２１と、制御時にデ
ータ等が一時的にストアされるＲＡＭ２２と、論理演算
を実行するＣＰＵ２３とから成る制御部２４を備える。
この制御部２４は、インターフェース２５を介して、上
述した読取部６および薬液検出部９と接続されている。
また、この制御部２４は、薬液収納容器３と薬液供給管
４との接続の適否を表示するための警告灯やＣＲＴ等を
備えた表示部１０と接続されている。

【００１９】なお、上述した説明においては、薬液収納
容器３および薬液供給管４を、各々１個のみ図示してい
るが、この基板処理装置には、薬液収納容器３および薬
液供給管４がそれぞれ複数個配設されている。

【００２０】このような基板処理装置において、基板１
の処理を継続するに伴い、薬液収納容器３内の薬液がな
くなったことを薬液検出部９が検出すれば、制御部２４
の制御により表示部１０に薬液がなくなった旨の警告表
示が表示される。これにより、オペレータは空になった
薬液収納容器３を新たな薬液収納容器３と交換する。

【００２１】この交換時においては、オペレータは、新
たな薬液収納容器３のデータ表示部５に表示されたバー
コードを、薬液供給管４に配設された読取部６における
バーコードリーダ８により読み取る。読取部６は、デー
タ表示部５におけるバーコードの情報から、この薬液収
納容器３が読取部６が配設された薬液供給管４と接続す
べきものか否かを判断し、その結果を制御部２４に送信
する。そして、表示部１０には、制御部２４の制御によ
り、薬液収納容器３と薬液供給管４との接続の適否が表
示される。

【００２２】このため、薬液収納容器３の交換時に、薬
液収納容器３を本来接続すべき薬液供給管４とは異なる
薬液供給管に接続してしまうという薬液収納容器３と薬
液供給管４との接続ミスを防止することが可能となる。

【００２３】なお、上述した表示部１０は、警告灯やＣ
ＲＴ等の薬液収納容器３と薬液供給管４との接続の適否
を視覚的に表示するものに限らず、ブザー等の薬液収納
容器３と薬液供給管４との接続の適否を音で表示するも
のを使用してもよい。

【００２４】次に、この発明の他の実施の形態について
説明する。図４はこの発明の第２実施形態に係る基板処
理装置に使用される読取部７の斜視図である。

【００２５】この読取部７には、第１実施形態に係る読
取部６と同様、薬液収納容器３のデータ表示部５に表示
されたバーコードを読み取るためのバーコードリーダ８
が配設されている。また、この読取部７には、緑色のＬ
ＥＤ２１と赤色のＬＥＤ２２とから成る表示部２０が配
設されている。なお、この読取部７および表示部２０
は、図３に示す制御部２４と接続されている。

【００２６】この第２実施形態に係る基板処理装置にお
いて、オペレータが空になった薬液収納容器３を新たな
薬液収納容器３と交換する場合においては、オペレータ
は、新たな薬液収納容器３のデータ表示部５に表示され
たバーコードを、薬液供給管４に配設された読取部７に
おけるバーコードリーダ８により読み取る。読取部７
は、データ表示部５におけるバーコードの情報から、こ
の薬液収納容器３が読取部７が配設された薬液供給管４
と接続すべきものか否かを判断する。

【００２７】そして、この薬液収納容器３が読取部７が
配設された薬液供給管４に接続すべきものである場合に
は、表示部２０における緑色のＬＥＤ２１を点灯する。
また、この薬液収納容器３が読取部７が配設された薬液
供給管４に接続すべきものではない場合には、表示部２
０における赤色のＬＥＤ２２を点灯する。

【００２８】このため、第１実施形態の場合と同様、薬
液収納容器３の交換時における薬液収納容器３と薬液供
給管４との接続ミスを防止することが可能となる。

【００２９】次に、この発明のさらに他の実施の形態に
ついて説明する。図５はこの発明の第３実施形態に係る
基板処理装置に使用される薬液収納容器３の設置部２６
付近を示す拡大図である。

【００３０】この基板処理装置における薬液収納容器３
の設置部２６には、各薬液供給管４と接続すべき薬液収
納容器３を載置するための複数の凹部２７が形成されて
いる。そして、この凹部２７の側方には、各々ランプを
有する複数の表示部３０が配設されている。また、この
設置部２６内には、第１実施形態と同様の読取部６が配
設されている。この読取部６は、配線２８を介して、図
３に示す制御部２４と接続されている。

【００３１】この第３実施形態に係る基板処理装置にお
いて、オペレータが空になった薬液収納容器３を新たな
薬液収納容器３と交換する場合においては、オペレータ
は、新たな薬液収納容器３のデータ表示部５に表示され
たバーコードを、設置部２６内に配設された読取部６に
おけるバーコードリーダ８により読み取る。読取部６
は、データ表示部５におけるバーコードの情報から、こ
の薬液収納容器３が接続されるべき薬液供給管４を判断
し、その結果を制御部２４に送信する。

【００３２】一方、制御部２４は、読取部６から送信さ
れた情報に基づいて、この薬液収納容器３が接続される
べき薬液供給管４と対応する凹部２７の側方に配設され
た表示部３０におけるランプを点灯する。オペレータ
は、ランプが点灯した表示部３０の側方の凹部２７に薬
液収納容器３を載置し、この薬液収納容器３とそこに対
応する薬液供給管４とを接続する。

【００３３】このため、第１、第２実施形態の場合と同
様、薬液収納容器３の交換時における薬液収納容器３と
薬液供給管４との接続ミスを防止することが可能とな
る。

【００３４】なお、上述した実施の形態においては、い
ずれも、薬液収納容器３の表示部５として、バーコード
を表示したものを使用し、読取部６、７に配設されたバ
ーコードリーダ８によりこのバーコードを読み取る場合
について説明したが、表示部５には、薬液収納容器３に
収納された薬液の種類を示す何らかのデータが表示され
ていればよく、また、読取部６、７は、このデータを読
取可能な何らかの構成を有すればよい。

【００３５】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、読取手
段により読み取られた薬液の種類を示すデータに基づ
き、薬液収納容器とこの薬液収納容器が接続されるべき
薬液供給管との接続情報を表示する表示手段とを備えた
ことから、薬液収納容器の交換時における薬液収納容器
と薬液供給管との接続ミスの発生を有効に防止すること
が可能となる。

【００３６】請求項２に記載の発明によれば、読取手段
が薬液供給管における薬液収納容器との接続部付近に配
設されており、また、表示手段が薬液収納容器と薬液供
給管との接続の適否を表示することから、薬液収納容器
と薬液供給管との接続時に、この薬液供給管における薬
液収納容器との接続部付近に配設された読取手段を使用
することにより、薬液収納容器と薬液供給管との接続の
適否を容易に確認することができる。

【００３７】請求項３に記載の発明によれば、表示手段
が薬液供給管における薬液収納容器との接続部付近に配
設されていることから、薬液収納容器と薬液供給管との
接続時に、この薬液供給管における薬液収納容器との接
続部付近に配設された表示手段により、薬液収納容器と
薬液供給管との接続の適否を容易に確認することができ
る。

【００３８】請求項４に記載の発明によれば、表示手段
が薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示する
ことから、薬液収納容器を接続すべき薬液供給管を容易
に特定することができる。

【００３９】請求項５に記載の発明によれば、表示手段
が薬液供給容器を設置すべき場所を表示することにより
この薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示す
ることから、薬液収納容器を接続すべき薬液供給管をさ
らに容易に特定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施形態に係る基板処理装置の
要部を示す説明図である。

【図２】読取部６の斜視図である。

【図３】基板処理装置の主要な電気的構成を示すブロッ
ク図である。

【図４】読取部７の斜視図である。

【図５】この発明の第３実施形態に係る基板処理装置に
使用される薬液収納容器３の設置部２６付近を示す拡大
図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 基板処理部 ３ 薬液収納容器 ４ 薬液供給管 ５ データ表示部 ６ 読取部 ７ 読取部 ８ バーコードリーダ ９ 薬液検出部 １０ 表示部 ２０ 表示部 ２１ ＬＥＤ ２２ ＬＥＤ ２４ 制御部 ３０ 表示部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の薬液収納容器に収納された薬液を
   各々基板処理部に送液することにより、基板に所望の薬
   液を供給して処理を行う基板処理装置において、 前記薬液収納容器と接続されることにより当該薬液収納
   容器から前記基板処理部に薬液を送液するための薬液供
   給管と、 前記薬液収納容器に収納された薬液の種類を示すデータ
   を表示するため、前記薬液収納容器に付設されたデータ
   表示部と、 前記データ表示部に表示された薬液の種類を示すデータ
   を読み取る読取手段と、 前記読取手段により読み取られた薬液の種類を示すデー
   タに基づき、前記薬液収納容器とこの薬液収納容器が接
   続されるべき薬液供給管との接続情報を表示する表示手
   段と、 を備えたことを特徴とする基板処理装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板処理装置におい
   て、 前記読取手段は前記薬液供給管における前記薬液収納容
   器との接続部付近に配設されており、前記表示手段は、
   前記読取手段により読み取られた薬液収納容器における
   薬液の種類を示すデータに基づき、この薬液収納容器と
   薬液の種類を示すデータを読み取った読取手段が配設さ
   れた薬液供給管との接続の適否を表示する基板処理装
   置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の基板処理装置におい
   て、 前記表示手段は、前記薬液供給管における前記薬液収納
   容器との接続部付近に配設されている基板処理装置。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の基板処理装置におい
   て、 前記表示手段は、前記読取手段により読み取られた薬液
   収納容器における薬液の種類を示すデータに基づき、こ
   の薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示する
   基板処理装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の基板処理装置におい
   て、 前記表示手段は、前記薬液供給容器を設置すべき場所を
   表示することにより、この薬液収納容器が接続されるべ
   き薬液供給管を表示する基板処理装置。