JPH01195328A - 液量検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体の！（液面）を検知する装置に関し、特
に、半導体製造工程における薬液供給ラインに付設して
、該薬液斌を検知するに好適な装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、液体の量（液面）を検知する方法はいろいろ考え
られている。

ところで、近年半導体製造に関する工程の中で。

使用する薬液の量を測定することが重要になっている。

なかでも、スピンナーユニットでウェハを回転させつつ
薬液を吹き付け、ウェハ上に薄膜を形成する場合は特に
重要である。

スピンナーユニットでウェハ上に簿膜を形成する場合、
これに薬液を供給するには、特に図示しないが、薬液容
器（ボトル）からポンプで薬液を吸い上げてウェハ上に
吹き付け、薬液が減るとこのボトルを新しいボトルと交
換する。

ところで、スピンナーユニットはほとんどの場合、自動
運転され、そのため、薬液が不足すると、薄膜の厚さが
一定しなくなり、不良のウェハを大量に生産してしまう
という問題点があった。このため、従来、薬液の交換の
タイミングは、人間が通常巡回し、ボトルの薬液の残量
をチエツクし。

新しいボトルに交換せねばならなかった。

しかし、このため常に人が巡回するので、余分な人件費
が必要であった。

また、時には薬液が不足しているのを見落とし、不良の
ウェハを大量に生産してしまうという問題点があった。

更に、目視で残量を確認するため、安全を見て残量に余
裕を残して新しいボトルと交換している。

このため、このボトルに残った相当量の薬液は廃棄され
無駄になっていた。

そこで、これらの問題点を解決するため、ボトルの薬液
の残量を自動的に検出する手段がいろいろ考えられた。

その代表的な例として、特に図示しないが、ボトルの重
量を測り、重量が一定基準より減少すると他のボトルと
交換するか、または複数のボトルから薬液を吹き上げる
ようにして、これらを切換バルブで切り換える等の方法
がある。

しかし、この方法では時々ボトルの重量を測るための巡
回が必要であった。また、ボトル自体の重量にバラツキ
があるため、十分な安全を見て早目にボトルを取り換え
、または切り換えるので。

この時点では相当にまだ薬液が残されている。しかし、
この残った薬液はそのまま廃棄されており、薬液経費の
上昇のＪＪＸ囚にもなっていた。

また、フロートをボトル内に入れ、直接液の残量を測る
方法が考えられている。しかし、この方法では、このフ
ロー１−を交換用の新しいボトルに入れる時ゴミが入り
易く、処理ウェハの歩留りを低下させるという問題点が
あった。更に、古い薬液の付着したフロートを新しいボ
トルに挿入すると、両者が混じり、薬液の品質を低下さ
せ、これがために処理ウェハの品質を低下させるという
問題点があった。

本発明は、このような従来の問題点に鑑みなされたもの
で、その目的とするところは、薬液収納容器（ボトル）
の薬液残量を容量センサーで検知し、警報等を発するこ
とで、残量の監視の巡回を不要とし、また、薬液のほぼ
全量を有効に活用できて経済的である薬液残量を検知す
る装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

この目的を達成するため、本発明における液量検知装置
は、液体収納容器の底面部に近接した外側面に静電容量
センサーが設けられ、収納液体の液面が所定部位まで低
下した時に送出される静電容量センサーの出力信号によ
って警報等が発せられる構成としたものである。

〔実施例〕

以下１本発明の実施例を図面に基づきその作用と共に説
明する。

本実施例は、スピンナーユニットに薬液を供給する薬液
収納容器（以下、ボトルという）が定置される載置盤の
部分に、該ボトル内の薬液の残量を検知するための静電
容量センサー（以下、単にセンサーという）を設け、該
センサーの出力信号によって残量が減少したことを警報
したり、他の制御動作をさせるもので、詳述すると、第
１図および第２図において、ボトル１は載置盤２の上面
に突設の４つの高さ決めブロック３と３つの位置決めブ
ロック４により常にセンサー５に体して一定の位置に置
かれている。

ボトル１には収納薬液を吸い上げるためのバイブロが挿
入されており、ポンプ７により薬液が吸い上げられ、圧
送されて薬液吹付ノズル８から回転しているスピンチャ
ック９上のウェハ１０に吹き付けられ、薄膜が形成され
る。

センサー５は、ボトル１の底面部に近接した外周部位に
スプリング（図示せず）により支持され十分接触するよ
うに設けられ、電源１１はセンサー５およびリレー１２
に電源を供給している。センサー５は増幅器付きのもの
で、センサー５から送出された信号はリレー１２に送ら
れ、リレー１２が作動すると電流が警報部１３に流れ、
ブザー等を作動させる。

以上の構成において、ボトル１内の薬液が消費され、液
面ａが第１図に示す実線の位置から、同図に示す想像線
の位置まで低下して減少してくると、センサー５がこれ
を感知してリレー１２に信号を送出し、リレー１２が作
動して電源１１より電流が警報部１３に流れ、ブザー等
の警報が発せられる。そこで、この警報等により作業者
は新しいボトルに交換する。

第３図は、２本のボトル１．１′の一方が減少して交換
時期になると自動的にバルブが切り換えられて、他方の
ボトルから供液されるように構成されたものである。

すなわち、２本のボトル１．１′を用意し、−方のボト
ル１の液面ａが低下して減少し、ボトル１の交換時期に
なると、センサー５から信号がリレー１２に送られ、リ
レー１２が作動して電源１１より電流が流れて判定回路
１４を作動させ、これにより電磁切換バルブ１５を作動
させて、他方のボトル１′からバイブロ′を介して吸い
上げるように自動的に切り換える。ここで、ボトル１が
空になったことは警報部１３によって発せられる警報等
によって確認でき、作業者はボトル１を新しいボトルと
交換する。

また、同様に他方のボトル１′の液面ａ′が低下して減
少すると、センサー５″から信号がリレー１２′に送ら
れ、リレー１２′が作動して電源１１′より電流が流れ
て判定回路１４を作動させ、これにより電磁切換バルブ
１５を作動させて、再び一方のボトル１からバイブロを
介して吸い上げるように自動的に切り換えられる。

第４図は、ボトル載置盤２の下面四隅に、該載置盤２を
傾斜させるためのそれぞれ一対の脚１６．１７を設けて
、ボトル１　（１’　）を傾けることで薬液を最後まで
利用することができて、従来無駄に廃棄されていた薬液
を最小限にすることができるようにしたものである。

なお、各一対の脚１６．１７のうち一方の脚１６は低く
、他方の脚１７は高く伸長できる構造を有している。

【発明の効果〕

しかして１本発明によれば、薬液が減少し、ボ１〜ルを
交換する時期になると、警報または制御信号によって知
ることができるので、従来の巡回にかかっていた人件費
や手間の時間を著しく減らすことができ、特に、バルブ
の自動切り換えによるボルトへの切り換えの場合には、
薬液交換に要する手間が大幅に省け、人件費を節減でき
る。

また１本発明によれば、薬液全量を限界近くまで利用で
きるので、従来無駄に廃棄していた薬液を有効に利用で
き、薬液コス１−を著しく節減できる。

また、巡回中の１１視や重量測定による残量の確認方法
で発生したミスによって起きる処理ウェハの不良発生が
なくなり、歩留りの向上が計られるばかりか、センサー
によりボトルの外部から薬液残量を測定するので、薬液
が汚染されることがなく、歩留りの高いウェハの処理が
可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る液量検知装置の一例での説明図、
第２図は載置盤の平面図、第３図は本発明の他例を示す
説明図、第４図は更に他例を示す一部省略の説明図であ
る。 １・・・液体収納容器（ボトル） ２・・・載置盤 ５・・・静電容量センサー １１・・・電　源 １２・・・リレー １３・・・警報部 １４・・・判定回路 １５・・・電磁切換バルブ １６．１７・・・脚 ａ・・・液　面

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、液体収納容器の底面部に近接した外側面に静電容量
   センサーが設けられ、収納液体の液面が所定部位まで低
   下した時に送出される前記静電容量センサーの出力信号
   によつて警報等が発せられる構成を特徴とする液量検知
   装置。 ２、複数の前記液体収納容器からの液供給ラインの切換
   バルブが、前記静電容量センサーの出力信号によつて切
   り換えられる特許請求の範囲第１項記載の液量検知装置
   。 ３、前記液体収納容器は載置盤上に定置されると共に、
   該載置盤の下面には、液体収納容器と共に、載置盤を傾
   斜させるための脚が設けられている特許請求の範囲第１
   項または第２項記載の液量検知装置。