KR100744226B1 - 감광액 저장용기 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조를 위한 감광액 저장용기 장치에 관한 것이다.

본 발명은, 내부에 감광액이 수용되어 있고 그 입구를 통해 상기 감광액의 인출을 위한 인출노즐이 삽입되게 되는 저장용기와, 상기 저장용기가 놓여져 장착되게 되는 고정홀더를 포함하는 감광액 저장용기 장치에 있어서, 상기 저장용기의 하부측에 구비되어 상기 저장용기내의 상기 감광액이 소진됨에 따른 무게변화를 측정하게 되는 무게측정수단과, 상기 고정홀더의 기울기를 변화시키기 위해 구비되는 구동수단과, 상기 무게측정수단에서 측정된 무게값에 대응하여 상기 구동수단을 구동 제어하되 측정되는 무게값이 줄어들수록 상기 고정홀더가 일측으로 더욱 심하게 기울어지도록 하게 되는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

따라서, 저장용기내의 감광액을 최대한 잔량없이 사용할 수 있게 되므로, 감광액 절약에 따른 원가절감을 기할 수 있고, 폐기되는 감광액에 의해 환경오염이 유발되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

감광액, 저장, 용기

Description

감광액 저장용기 장치{PHOTO-RESIST BOTTLE APPARATUS}

도 1은 종래의 감광액 저장용기 장치를 보여주는 개략도,

도 2는 본 발명에 따른 감광액 저장용기 장치를 보여주는 개략도,

도 3은 본 발명에 따른 감광액 저장용기 장치의 일 작용상태를 보여주는 개략도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 감광액 10 : 저장용기

12 : 인출노즐 14 : 고정홀더

30 : 무게측정수단 32 : 제어부

34, 34a, 34b : 구동수단

본 발명은 반도체 제조를 위한 감광액 저장용기 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 저장용기내의 감광액을 최대한 잔량없이 사용할 수 있도록 하게 되는 감광액 저장용기 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조를 위한 포토(photo)공정은 웨이퍼(wafer)상에 감광 액(PR ; Photo Resist)을 도포하여 감광막을 형성시키는 코팅(coating)공정과, 감광막이 형성된 웨이퍼상에 노광용 광을 조사하여 패턴(pattern)을 그려주게 되는 노광(exposing)공정과, 노광된 웨이퍼를 현상하여 패턴을 형성시키게 되는 현상(Developing)공정으로 이루어져 있다.

그 중, 감광액을 도포하는 코팅공정은 주로 스핀코터(spin coater) 장비를 통해 수행되게 되며, 익히 주지된 바와 같이, 스핀코터는 웨이퍼를 회전시키면서 해당 웨이퍼의 중심부에 감광액을 떨어뜨려, 떨어진 감광액이 회전에 따른 원심력에 의해 외측으로 균일하게 퍼져 코팅되도록 하게 된다.

통상, 스핀코터로 공급되는 감광액(1)은 그 오염가능성의 차단을 위해 처음부터 용기(bottle)단위로 제공되며, 따라서 도 1에 나타낸 바와 같이, 그 저장용기(10)의 장착을 위한 고정홀더(holder)(14)가 있어 장착된 상태에서 내부의 감광액(1)이 펌핑(pumping)에 의해 스핀코터측으로 공급되게 되고, 하나의 저장용기(10)내의 것이 모두 소진되게 되면, 새로운 저장용기(10)로 교체되게 된다.

저장용기(10)는 내부에 저장공간을 갖는 통상적인 용기형태로서, 감광액(1)이 광에 반응하는 특성이 있으므로 광의 유입이 차단되도록 통상 검정색상으로 되어 있어 내부의 감광액(1) 잔량을 외부에서 확인할 수는 없도록 되어 있다.

전술한 바와 같이, 저장용기(10)는 고정홀더(14) 내측에 놓여져 장착되게 되며, 그 장착후 그 입구를 통해 내부의 감광액(1) 인출을 위한 인출노즐(nozzle)(12)이 깊숙히 삽입되게 된다.

그러나, 기존에는 저장용기(10)의 고정홀더(14)에의 장착위치 및 인출노즐 (12)의 장착위치 등에 따라서 내부에 수용된 감광액(1)을 전량 사용하지 못하고 바닥측에 일부 남아 있는 채로 버리게 되는 상황이 빈번히 발생되고 있으며, 이에 따라 해당 공정의 원가를 대부분 차지하는 고가의 감광액(1)을 다소 낭비하게 됨으로써, 제조원가를 상승시키게 되는 문제점이 있었다.

이에, 그 해결책으로, 소정각도 기울어지게 고정홀더(14)를 처음부터 설치하여 그 내측에 저장용기(10)를 또한 기울어지게 장착해 보기도 하였으나, 여전히 잔량이 남고 있는 실정이다.

그리고, 이와 같이 잔량된 감광액(1)을 그대로 폐기하게 되면, 해당 감광액(1)이 환경오염을 일으키게 되는 문제점도 발생되게 된다.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 저장용기내의 감광액을 잔량없이 최대한 사용할 수 있도록 할 수 있는 감광액 저장용기 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 감광액 저장용기 장치는, 내부에 감광액이 수용되어 있고 그 입구를 통해 상기 감광액의 인출을 위한 인출노즐이 삽입되게 되는 저장용기와, 상기 저장용기가 놓여져 장착되게 되는 고정홀더를 포함하는 감광액 저장용기 장치에 있어서, 상기 저장용기의 하부측에 구비되어 상기 저장용기내의 상기 감광액이 소진됨에 따른 무게변화를 측정하게 되는 무게측정수단과, 상기 고정홀더의 기울기를 변화시키기 위해 구비되는 구동수단과, 상기 무게측정수단에서 측정된 무게값에 대응하여 상기 구동수단을 구동 제어하되 측정되는 무게값이 줄어들수록 상기 고정홀더가 일측으로 더욱 심하게 기울어지도록 하게 되는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 목적과 여러가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명에 따른 감광액 저장용기 장치를 보여주는 개략도이고, 도 3은 그 일 작용상태를 보여주는 개략도이다.

설명에 앞서, 종래와 동일한 구성요소에 대해서는 그 상세한 설명을 일부 생략함을 밝힌다.

본 발명에 따르면, 저장용기(10)내의 감광액(1)을 잔량없이 최대한 사용할 수 있도록 함으로써, 고가의 감광액(1)이 낭비되는 것을 방지하여 제조원가를 절감하게 된다.

이를 위해, 저장용기(10)의 하부측, 즉 고정홀더(14)의 내측면상에는 중량센서(sensor)와 같은 무게측정수단(30)이 구비되어, 저장용기(10)내의 감광액(1)이 소진됨에 따른 무게변화를 실시간으로 측정하여 그 결과값을 송신하게 된다.

그리고, 고정홀더(14)에 대해서는 그 기울기를 변화시킬 수 있는 구동수단(34)이 적정 개수 구비되게 되며, 바람직하게 구동수단(34)으로는 펄스모터(pulse motor)가 이용될 수 있고, 고정홀더(14)에 대해 좌우측에 각기 하나씩 두개가 구비 될 수 있다.

나아가, 전술한 무게측정수단(30)으로부터 수신되는 무게측정값의 변화에 따라 상기한 구동수단들(34a, 34b)을 구동 제어하기 위한 제어부(32)가 구비되게 되며, 바람직하게 제어부(32)는 무게측정수단(30)의 일 예인 중량센서의 저항값 변화에 따른 차이 만큼의 전류를 발생시키는 휘스톤브리지(Wheatstone bridge) 회로와 이 휘스톤브리지 회로로부터 발생되는 전류를 적정하게 증폭하여 공급되도록 하는 증폭기 등으로 이루어질 수 있다.

이상과 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 감광액 저장용기 장치의 작용에 대하여 이하 설명하기로 한다.

스핀코터에서의 코팅작업이 진행됨에 따라 점차 고정홀더(14) 내측에 장착된 저장용기(10)내의 감광액(1)은 줄어들게 되며, 이에 따라 무게측정수단(30)은 감광액(1)이 소진됨에 따른 무게변화를 실시간으로 측정하게 된다.

그리고, 그 측정된 값을 제어부(32)로 송신하면, 제어부(32)는 측정된 무게변화에 상응하는 기울기로 저장용기(10)가 기울어지도록 구동수단들(34a, 34b)을 구동 제어하게 된다.

즉, 저장용기(10)내에 잔류하는 감광액(1)의 양이 점차 적어짐에 따라서 저장용기(10)가 더욱 심하게 기울어지도록 하여, 내부에 잔류하는 감광액(1)이 계속적으로 일측으로 모여, 모여진 감광액(1)이 인출노즐(12)을 통해 원활히 흡입되어 인출되도록 하게 된다.

이에 따라, 종래에 비해 최대한 감광액(1)을 사용할 수 있게 되므로, 감광액 (1) 절감에 따른 원가절감을 이룰 수 있게 되고, 또한 감광액(1) 폐기에 따른 환경오염의 유발을 방지할 수 있게 되는 것이다.

이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정과 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.

본 발명에 따르면, 저장용기내의 감광액을 최대한 잔량없이 전량 사용할 수 있게 되므로, 감광액 절약에 따른 원가절감을 기할 수 있고, 폐기되는 감광액에 의해 환경오염이 유발되는 것을 방지할 수 있는 효과가 달성될 수 있다.

Claims (3)

1. 내부에 감광액이 수용되어 있고 그 입구를 통해 상기 감광액의 인출을 위한 인출노즐이 삽입되게 되는 저장용기와, 상기 저장용기가 놓여져 장착되게 되는 고정홀더를 포함하는 감광액 저장용기 장치에 있어서,

   상기 저장용기의 하부측에 구비되어 상기 저장용기내의 상기 감광액이 소진됨에 따른 무게변화를 측정하게 되는 무게측정수단과,

   상기 고정홀더의 기울기를 변화시키기 위해 구비되는 구동수단과,

   상기 무게측정수단에서 측정된 무게값에 대응하여 상기 구동수단을 구동 제어하되 측정되는 무게값이 줄어들수록 상기 고정홀더가 일측으로 더욱 심하게 기울어지도록 하게 되는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광액 저장용기 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 구동수단은,

   상기 고정홀더에 대해 좌우측에 하나씩 구비되게 되는 것을 특징으로 하는 감광액 저장용기 장치.
3. 삭제

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