KR100393289B1

KR100393289B1 - 포토레지스트 토출 감시장치

Info

Publication number: KR100393289B1
Application number: KR10-2001-0036699A
Authority: KR
Inventors: 박종학; 이재희; 김장석
Original assignee: 주식회사 실리콘 테크
Priority date: 2001-06-26
Filing date: 2001-06-26
Publication date: 2003-07-31
Also published as: KR20020020628A; US20030002026A1; JP2003017380A; US6712956B2

Abstract

본 발명은 토출 펌프에 의해 토출되는 포토레지스트의 토출량을 감시하여 이를 바탕으로 토출 펌프를 제어함으로써 일정한 포토레지스트의 토출이 이루어지도록 하며, 케미컬 필터의 수명에 의해 토출되는 포토레지스트의 량이 부족할 경우 필터 교환시기를 표시하여 줌으로써 토출 펌프에 의한 공정 불량을 방지할 수 있도록 한 포토레지스트 토출 감시장치를 제공한다.

이는 토출 펌프로부터 토출되는 포토레지스트 량을 감지하기 위한 PR량 감지센서와; 상기 PR량 감지센서의 출력을 감시하여 상기 토출 펌프로부터 토출되는 포토레지스트 량을 자동으로 제어하며, 상기 스텝핑 모터가 동작 한계치에 이르면 케미컬 필터의 교환시기로 판단하여 필터 교체신호를 표시하는 PR량 콘트롤러를 구비함에 의해 달성될 수 있으며, 이러한 본 발명은 토출되는 포토레지스트의 모니터링이 가능하므로 공정불량의 원인 추적이 가능하게 된다.

Description

포토레지스트 토출 감시장치{PHOTORESIST OUTPUT MONITORING SYSTEM}

본 발명은 포토레지스트 토출 감시장치에 관한 것으로, 특히 토출 펌프에 의해 토출되는 포토레지스트 토출량을 감시하여 이를 바탕으로 토출 펌프를 제어하여 일정한 포토레지스트의 토출이 이루어지도록 함과 더불어 토출 펌프에 의한 공정불량을 방지할 수 있도록 하는 포토레지스트 토출 감시장치에 관한 것이다.

반도체 제조프로세스에 있어서의 포토레지스트 처리공정에서는 반도체 웨이퍼 등의 피처리기판의 표면에 포토레지스트를 도포하여 레지스트 막을 형성하고, 소정 패턴으로 노광한 후에 현상액으로 현상처리하고 있다.

이중 포토레지스트의 도포는 도 1에 도시한 바와 같이, 스피너(Spinner) 제어장치로부터의 펌핑신호에 따라 동작하는 토출 펌프(3)에 의해 포토레지스트가 들어있는 포토레지스트 저장용기(1)로부터 포토레지스트가 토출되며, 이때 케미컬 필터(2)를 통해 포토레지스트 중의 불순물이 제거되어 토출되도록 되어 있으며, 토출 펌프(3)에 의해 토출되는 포토레지스트는 차단(Cut-off)/흡인(Suck-back) 밸브 (4) 및 노즐(5)을 통해 웨이퍼(6)에 도포되도록 되어 있다.

상기 토출 펌프(3)에 의한 포토레지스트 토출시 통상 스텝핑 모터를 이용하여 포토레지스트를 일정하게 토출하는데, 만일 설비의 오동작이나 케미컬 필터(2)의 수명이 다되어 필터가 막혀 필터링이 되지 않을 경우 포토레지스트가 제대도 도포되지 않아 웨이퍼 불량이 발생하게 된다.

본 발명은 이러한 점을 감안한 것으로, 토출 펌프에 의해 토출되는 포토레지스트 토출량을 감시하여 이를 바탕으로 토출 펌프를 제어함으로써 일정한 포토레지스트의 토출이 이루어지도록 한 포토레지스트 토출 감시장치를 제공함에 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 케미컬 필터의 수명에 의해 토출되는 포토레지스트량 부족시 필터 교환시기를 표시하여 줌으로써 토출 펌프에 의한 공정 불량을 방지할 수 있도록 한 포토레지스트 토출 감시장치를 제공함에 있다.

도 1은 일반적인 포토레지스트 도포장치의 개략 구성도.

도 2는 본 발명에 따른 포토레지스트 토출 감시장치의 전체적인 구성도.

도 3은 도 2의 PR량 콘트롤러의 상세 구성도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 포토레지스트 저장용기 2 : 케미컬 필터

3 : 토출 펌프 4 : 차단/흡인 밸브

5 : 노즐 6: 웨이퍼

10 : PR량 감지센서 20 :PR량 콘트롤러

21 : PR량 산출부 22 : PR량 제어부

23 : 표시부

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 포토레지스트 토출 감시장치는, 스텝핑 모터에 의해 구동되는 토출 펌프로부터 토출되는 포토레지스트 량을 감지하기 위한 PR량 감지센서와; 상기 PR량 감지센서의 출력을 감시하여 상기 토출 펌프로부터 토출되는 포토레지스트 량을 자동으로 제어하는 PR량 콘트롤러를 구비하는 포토레지스트 토출 감시장치에 있어서, 상기 PR량 콘트롤러는 상기 토출 펌프의 스텝핑 모터가 동작 한계치에 이르러도 원하는 포토레지스트 토출이 이루어지지 못하면 케미컬 필터의 교체시기로 판단하여 필터 교환시기를 표시할 수 있도록 표시부에 필터 교체신호를 출력하는 PR량 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조로 하여 보다 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 포토레지스트 토출 감시장치의 전체적인 구성도를 나타낸 것으로, 도 1과 같은 일반적인 포토레지스트 도포장치에, 토출 펌프(3)로부터 토출되는 포토레지스트 량을 감지하기 위한 PR량 감지센서(10) 및 상기 PR량 감지센서(10)의 출력을 감시하여 상기 토출 펌프(3)로부터 토출되는 포토레지스트 량을 자동으로 제어하기 위한 펌핑제어신호를 상기 토출 펌프(3)로 제공하며, 펌핑제어신호에 따라 동작하는 토출 펌프(3)의 스텝핑 모터가 동작 한계치에 이르면 케미컬 필터(2)의 교체시기로 판단하여 케미컬 필터(2) 교체신호를 표시하는 PR량 콘트롤러(20)가 더 구비되며, 종래와 동일부분에 대해서는 동일부호를 사용한다.

상기 PR량 감지센서(10)는 토출 펌프(3)로부터 토출되는 포토레지스트 량에 따라 소정의 펄스를 출력하는 센서이다.

상기 PR량 콘트롤러(20)는 PR량 산출부(21), PR량 제어부(22), 표시부(23)로 구성되며, 상기 PR량 산출부(21)는 상기 PR량 감지센서(10)로부터 입력되는 소정의 펄스로부터 토출 펌프(3)에서 토출되는 포토레지스트 량을 산출하며, PR량 제어부(22)는 상기 PR량 산출부(21)의 산출값을 바탕으로 상기 토출 펌프(3)에 펌핑제어신호를 보내 토출 펌프(3)의 스텝핑 모터의 구동을 제어하여 토출되는 포토레지스트 량을 자동으로 제어하며, 토출 펌프(3)의 스텝핑 모터가 동작 한계치에 이르면 케미컬 필터(2)의 교체시기로 판단하여 표시부(23)에 케미컬 필터(2) 교체신호를 출력하며, 표시부(23)는 PR량 제어부(22)로부터의 각종 표시신호를 표시한다.

상기와 같이 구성된 본 발명에서 토출 펌프(3)는 도시하지 않은 스피너 제어장치로부터 제공되는 펌핑신호에 따라 포토레지스트 저장용기(1)에 저장되어 있는 포토레지스트를 토출한다. 이때, 상기 스피너 제어장치는 PR량 콘트롤러(20)로 토출실행신호를 보내 토출이 개시됨을 알려준다.

상기 토출 펌프(3)가 포토레지스트를 토출하게 되면 PR량 감지센서(10)는 토출되는 포토레지스트 량에 따라 해당 펄스를 출력하게 된다.

상기 PR량 감지센서(10)에서 출력되는 펄스는 PR량 산출부(21)에 입력되며, PR량 산출부(21)는 입력되는 펄스에 따른 포토레지스트 토출량을 산출하여 PR량 제어부(22)로 입력한다.

PR량 제어부(22)는 PR량 산출부(21)에서 입력된 값을 바탕으로 토출 펌프(3)를 구동하는 스텝핑 모터의 구동을 자동으로 제어하여 토출이 일정하게 수행되도록 한다.

즉, 상기 PR량 제어부(22)에는 상기 토출 펌프(3)를 구동하는 스텝핑 모터의 구동값이 정해져 있어서 상기 PR량 산출부(21)에서 입력된 소정 단위 시간 동안의 포토레지스트 토출량이 정해진 값보다 적을 경우 스텝핑 모터의 구동을 보다 빨리하여 토출 펌프(3)로부터 토출되는 포토레지스트 량이 많아지도록 하고, 상기 PR량 산출부(21)에서 입력된 소정 단위 시간 동안의 포토레지스트 토출량이 정해진 값보다 많을 경우 스텝핑 모터의 구동을 천천히 하여 토출 펌프(3)로부터 토출되는 포토레지스트 량이 적어지도록 하여 항상 일정한 포토레지스트가 토출되도록 한다.

만일, 상기 PR량 제어부(22)내에 정해진 스텝핑 모터의 최대 구동값(동작 한계치) 만큼 스텝핑 모터를 구동하였는데도, 토출되는 포토레지스트 량이 적을 경우에는 케미컬 필터(2)의 교체시기로 판단한다. 따라서 PR량 제어부(22)는 표시부(23)에 필터 교환시기를 알리는 교체신호를 출력하여 표시부(23)에 해당 메시지가 표시되도록 한다. 이때, PR량 제어부(22)는 스피너 제어장치로도 필터 교환시기를 알리는 교체신호나 기타 에러신호를 보내준다.

또한, 상기 PR량 제어부(22)는 상기 PR량 산출부(21)에서 입력된 포토레지스트 토출량을 바탕으로 상기 표시부(23)에 소정 단위 시간마다 포토레지스트 토출량 표시신호를 보내 소정 단위 시간마다 토출되는 포토레지스트 량을 표시하도록 할 수 있으며, 이에 따라 토출되는 포토레지스트 량의 모니터링을 가능하게 할 수 있다.

또한, 상기 PR량 제어부(22)에 상기 포토레지스트 저장용기(1)에 수용된 포토레지스트 총량 값을 저장하면 토출 펌프(3)를 통해 토출되는 포토레지스트 량의 감시가 가능하므로 포토레지스트 저장용기(1)에 남아있는 포토레지스트의 잔량을 알 수 있게 된다.

본 발명은 상기에 기술된 실시 예에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되는 본 발명의 취지와 범위에 포함된다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 다음과 같은 효과를 얻게 된다.

첫째, 토출 펌프를 통해 토출되는 포토레지스트 량을 감시할 수 있어 이를 바탕으로 일정한 포토레지스트의 토출이 가능하게 된다.

둘째, 토출 펌프를 구동하는 스텝핑 모터의 정해진 구동값에 따라 케미컬 필터의 교체시기를 판단하여 이를 표시하여 줄 수 있게 된다.

셋째, 토출되는 포토레지스트의 모니터링이 가능하므로 공정불량의 원인 추적이 가능하게 된다.

넷째, 소정 단위시간당 토출되는 포토레지스트 량을 알 수 있으므로 포토레지스트 잔량 및 토출할 잔여 포토레지스트의 잔여토출시간을 알 수 있게 된다.

Claims

스텝핑 모터에 의해 구동되는 토출 펌프로부터 토출되는 포토레지스트 량을 감지하기 위한 PR량 감지센서와; 상기 PR량 감지센서의 출력을 감시하여 상기 토출 펌프로부터 토출되는 포토레지스트 량을 자동으로 제어하는 PR량 콘트롤러를 구비하는 포토레지스트 토출 감시장치에 있어서,

상기 PR량 콘트롤러는 상기 토출 펌프의 스텝핑 모터가 동작 한계치에 이르러도 원하는 포토레지스트 토출이 이루어지지 못하면 케미컬 필터의 교체시기로 판단하여 필터 교환시기를 표시할 수 있도록 표시부에 필터 교체신호를 출력하는 PR량 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 토출 감시장치.
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