KR20020054698A - 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시방법 및 공급감시용유량계측장치 - Google Patents

웨이퍼 코팅용 약액 공급감시방법 및 공급감시용유량계측장치 Download PDF

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Abstract

약액 저장탱크로부터 포토레지스트 약액이 복수의 공급관로를 통해 개개의 반도체 웨이퍼로 소정량 공급되게 하는 시스템에서, 상기 공급관로별로 PR 펌프가 설치되고 각 펌프 후단에서 공급관로 끝단의 노즐로 이어지는 관로 중간에 설치된 유량센서와, 약액의 공급여부 감시와 공급량을 계측하는 유량계측공급감시장치를 포함하고, 상기 유량센서의 출력은 유량계측공급감시장치의 신호 입력단에 연결되고, 유량계측공급감시장치는 약액도포장비의 주제어장치와 신호라인을 통해 서로 결합되어 노즐별 공급개시신호를 수신하고 명령신호에 대한 응답 및 공급완료/공급에러신호를 전송하는 반도체 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시 시스템이 제공된다.

Description

웨이퍼 코팅용 약액 공급감시방법 및 공급감시용 유량계측장치{Method of monitoring the supply of a wafer coating chemicals and the fluid measuring apparatus therefor}
본 발명은 반도체 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시방법 및 그 공급감시를 위한유량계측장치에 관한 것이다.
일반적으로 포토마스킹 공정은 웨이퍼의 최상층을 선택적으로 제거하거나 패턴을 형성하는 기술로서, 마스크에 의한 패턴 전사를 위한 준비작업으로 웨이퍼에 PR을 코팅하는 공정을 포함한다. PR 코팅공정은 포토레지스트라는 약액을 회전하는 웨이퍼위에 소량 떨어뜨려 원심력에 의해 확산도포시키는 것으로 수행된다.
약액 도포량은 공정에 따라 차이는 있으나 초당 수 cc 내외인데, 약액이 고가이므로 최소한의 양으로 웨이퍼 전체를 도포해야하며, 약액은 일정량 이상 과다토출시 원심력에 의해 도포되지 않은 약액은 버려진다.
종래의 PR 코팅공정에서는 코팅 불량을 방지하기 위해 웨이퍼로 공급되는 약액의 공급여부만 감시하는 방법을 사용해 왔다. 이 방법은 약액의 토출노즐을 투명재질로 하고 노즐 외부에 광센서를 설치하여 약액의 공급여부를 감시하고 있으나 서크 백(Suck-back)이라는 특수한 공정조건에 의해 약액의 토출여부 판단에 어려운 점이 있다.
즉, 약액은 일정시간이상 공기와 접촉시 응고되는 성질이 있고, 공급후 관로 및 노즐에 대기하고 있는 약액이 노즐 끝단까지 차 있을 경우 이물질이나 주제어장치의 다른 부위와 접촉하여 변질되거나 오염되기 쉬우므로 서크 백 밸브를 이용하여 공급직후 역류시켜 노즐끝단에서 관로 안쪽으로 소량이 빨려들어가게 한다. 이 때 그 빨려들어가는 양이 항상 일정하지 않기 때문에 광센서를 이용한 감시방법은 에러를 자주 발생한다.
또한 공급량의 계측이 불가능하여 매회 공급시에는 확인할 수 없고, 누적 공급량 또한 시험관을 이용하여 주기적으로 공급량을 확인하는 과정에서 간접적으로 추정할 수 밖에 없다.
따라서, 약액의 토출여부(도포여부)를 감시하는 수단과 약액의 공급량을 계측하는 수단을 필요로 한다.
또한, 약액의 특성상 공기와 일정시간이상 접촉시 응고되는 성질이 있기 때문에 일정용량의 병(Bottle)에 밀폐상태로 유지하고, 공급주제어장치에 체결 후 다른 기체의 주입과 동시에 토출된다. 따라서, 용기내 잔량의 확인이 필요하고, 사용을 다한 빈용기는 새로운 용기와 교환과정이 필연적이다.
그리고, 약액은 펌프를 이용하여 공급하는데, 이물질(Particle)을 걸러 내기위한 필터와 용기에서 뽑아낸 약액을 펌프로 공급하기 전 임시로 보관하는 보울(Bowl)도 적정사용기한이 있기 때문에 누적 공급횟수 또는 공급량을 설정하여 필터와 보울의 교체주기를 관리할 필요가 있다.
필터는 적정사용기한을 초과하여 사용할 경우 필터의 막힘은 물론 펌프의 고장을 초래하고, 미공급 에러에 따라 제품불량을 발생시킬 수 있으며, 보울의 적정사용기한을 초과할 경우 흐르는 물속의 돌에 이끼가 끼듯이 약액이 표면에 굳어 이물질이 생성되고, 이물질의 발생은 필터의 수명을 단축시키며 이물질이 후단으로 유출될 경우 웨이퍼에 손상을 주는 문제를 야기시킨다.
따라서, 소모성 부분품과 주기적으로 세정이 필요한 부분품의 교체주기를 반드시 관리해야할 필요가 있다.
본 발명은 공급장치의 이상에 따라 약액이 토출되지 않아 PR 도포공정을 거치지 않은 채 다음공정으로 투입되는 공정불량을 방지함과 동시에 고가의 약액을 최적의 양으로 웨이퍼로 토출하게 함으로써 비용을 절감을 목적으로 한다. 따라서, 본 발명은 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시방법 및 공급감시용 유량계측장치를 제공한다.
본 발명의 다른 목적은 시스템의 소모성 부분품과 주기적으로 세정이 필요한 부분품의 교체주기를 관리할 수 있는 장치의 제공에 있다.
본 발명에 따르면, 약액 저장탱크로부터 포토레지스트 약액이 개개의 반도체 웨이퍼로 소정량 공급되게 하는 복수의 공급관로와, 이 공급관로별로 PR 펌프가 설치되고 각 펌프 후단에 설치된 유량센서와, 이 유량센서의 출력신호에 의해 약액의 공급여부 감시 및 공급량을 계측하는 유량계측공급감시장치를 포함하는 약액 공급 감시 시스템의 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시방법으로서, 유량계측공급감시장치의 전원이 온되었을 시 장치를 초기화하고 장치상태 정상신호를 주제어장치로 출력하는 단계와, 주제어장치로부터의 공급명령에 따라 약액 공급이 개시되면 토출개시신호를 수신하였는지를 판단하는 단계와, 토출개시신호를 수신하였을 때 약액 토출신호 수신에 대한 응답 신호를 출력하고 나서 토출시간을 계측하기 위한 내부의 토출시간 타이머를 작동시키는 동시에 상기 유량센서로부터 유량신호가 입력되기까지의 지연시간을 계측하기 위한 유량신호입력 지연시간 타이머를 작동시키는 단계와, 유량센서로부터 유량신호가 검출되었는지를 판단하여 유량신호가 검출되었다면 입력된 유량신호로부터 유량계측을 실행하는 동시에 유량신호 입력지연 시간 타이머를정지시키고 사용자에 의해 미리 설정된 토출(공급) 소요시간 타이머를 작동시키는 단계와, 유량센서로부터 유량신호가 검출되지 않았다면 타이머에서 카운트된 유량신호 입력지연시간이 설정시간을 초과하였는지를 판단하는 단계와, 카운트된 입력지연시간이 설정시간을 초과하였다면, 유량신호 입력지연시간 타이머를 정지시키고 공급에러로 판정한 후 에러 메시지를 표시하는 한편 알람(NG)신호를 상기 주제어장치로 출력하고 비프 경보음을 발생하는 단계와, 그리고 타이머에서 카운트된 약액토출시간이 미리 설정된 토출시간을 경과하였는지를 판단하여 설정된 토출시간을 경과하였다면 토출시간 타이머를 정지시키고 타임 아웃 에러로 판정하고 이에 대한 에러 메시지를 표시하는 동시에 알람 신호 출력 및 비프 경보음을 발생하는 단계를 포함하는 약액 공급감시방법이 제공된다.
바람직하게, 상기 주제어장치로부터의 공급명령에도 불구하고 토출개시신호가 수신되지 않았다면 누수/누액 검출 루틴을 실행하고, 이 누수/누액 검출 루틴은 토출개시신호가 유량계측공급감시장치에서 수신되지 않았을 때 유량센서로부터 약액 토출신호가 입력되는지를 판단하고, 토출신호가 입력되지 않는다면 다시 유량신호가 검출되는지를 판단하는 단계와, 유량신호가 검출되었을 시 유량을 계측하여 누수량이 미리설정된 량 보다 큰지를 판단하는 단계와, 누수량이 설정량보다 크다면 공급에러로 판정하고 알람신호를 주제어장치로 출력하는 비프 경보음 및 에러 메시지를 발생하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 계측된 약액토출시간이 미리 설정된 토출시간 내에 있을 때, 유량센서로부터 유량신호가 계속 검출되는지를 판단하고, 유량신호가 검출되지 않을시 이제까지 계측된 토출량이 미리 설정된 상한치와 하한치 내에 속하는 지를 판단하는 단계와, 토출량이 상한치를 초과하거나 하한치에 미달인 것으로 판단되면 과다 또는 미달 토출 에러 판정신호를 출력하고 대응하는 에러 메시지를 표시하는 단계와, 기 토출시간 타이머에 의해 계측된 토출시간이 미리설정된 상하한 범위 내에 있는지를 판단하는 단계와, 계측된 토출시간이 미리설정된 범위를 초과하거나 미달인 경우 저속 토출 또는 과속 토출 에러 판정신호를 출력하고 그에 대응한 에러 메시지를 표시하는 단계와, 그리고 계측된 토출시간이 미리설정된 범위 내에 있는 것으로 확인되면 토출정상완료신호를 주제어장치로 출력하고 나서 내부 메모리에 공급횟수를 1만큼 누적하고 계측된 토출량을 누적 토출량에 더하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서, 상기 누적토출량을 사용기한으로 설정하여 예고하거나 누적공급횟수를 미리설정함에 의해 시스템의 소모성 부분품에 대한 사용기한 및 주기적 세정이 필요한 부분품의 교체주기를 판단한다.
본 발명의 다른 양상에 따르면, 공급량의 초과 및 미달량을 감시함으로써 주공급원의 이상 유무를 확인할 수 있는 공급량 계측치에 대한 상하한치 설정수단과, 유량센서 후단의 누수발생시 유량센서의 유량신호 입력에 의해 (관로밖으로 유출되거나 수조로 공급되는 경우) 누액을 확인할 수 있는누액발생 감지수단과, 펌프 미동작시 약액이 공급되지않는 것을 확인할 수 있는 펌프고장 감지수단과, 그리고 약액 공급시 유량신호가 입력되지 않을 경우 센서고장을 확인할 수 있는 센서고장 감지수단을 포함하는 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시용 유량계측장치가 제공된다.
상기 유량계측공급감시장치와 주제어장치는 주제어장치의 공급개시신호 출력단자와 공급감시장치의 수신단자 결선되고, 유량계측공급감시장치의 공급완료신호 출력단자와 주제어장치의 수신단자가 결선되며, 유량계측공급감시장치의 상태신호 출력단자와 주제어장치의 수신단자 결선되고, 유량계측공급감시장치의 약액 미공급에러 및 문제발생신호 출력단자와 주제어장치의 수신단자가 결선되는 것에 의해 서로 결합된다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시 시스템을 나타내는 개략도.
도 2는 도 1의 유량계측 및 공급감시장치의 구성을 나타내는 블록 다이어그램.
도 3은 본 발명에 따른 약액 공급감시 방법을 나타내는 플로우 차트.
도 4는 도 3의 누수검출루틴을 나타낸 플로우 차트.
*도면의 주요부분에 대한 부호설명
100: 유량계측공급감시장치200: 주제어장치
P1, P2: 약액공급관로S1, S2: 유량센서
W1, W2: 반도체 웨이퍼M1, M2: PR 펌프
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시 시스템이 나타나 있다. 약액 저장탱크로부터 포토레지스트 약액(PR)이 2개의 공급관로(P1, P2)를 통해 각각의 반도체 웨이퍼 W1, W2로 소정량 공급되게 하는 시스템에서, 상기 공급관로별로 PR 펌프(M1, M2)가 설치되고 각 펌프 후단에서 공급관로 끝단의 노즐로 이어지는 관로 중간에 유량센서(S1, S2)가 설치된다.
상기 유량센서(S1, S2)의 출력은 약액의 공급여부 감시와 공급량의 계측을 위해 유량계측공급감시장치(100)의 신호 입력단에 연결된다.
유량계측공급감시장치(100)는 도 2를 참고로 후술되겠지만 약액도포장비의 주제어장치(PLC; 200)와 신호라인을 통해 서로 결합되어 노즐별 공급개시신호를 수신하고 명령신호에 대한 응답 및 공급완료/공급에러신호 등을 전송한다.
도 2는 도 1의 유량계측공급감시장치(100)의 구성을 나타내는 블록 다이어그램이다. 본 발명에 따른 유량계측공급감시장치(100)는 마이크로프로세서(10)와, 어드레스 버스 및 데이터 버스를 통해 마이크로프로세서(10)와 연결된 프로그램 메모리(22), 데이터 메모리(24) 및 파라메타 메모리(26)를 가지며, 마이크로프로세서(10)의 입력단에는 센서 인터페이스부(12), 아날로그-디지털 신호변환부(14), 공급명령 입력부(15), 스위치 입력부(16), 시리얼통신 드라이버부(18)가 연결되고, 마이크로프로세서(10)의 출력단에 디지털 제어부(30), 디지털-아날로그 신호변환부(40), 전류신호출력부(41), 디지털신호출력부(42), 통신 드라이버부(45), 이벤트 출력부(47) 및 표시부(50)가 연결된다. 본 발명의 유량계측공급감시장치(100)는 상기 각 회로부에 필요한 소정 전원을 공급하는 전원부(8)를 가진다.
상기 센서 인터페이스부(12)의 입력단에 신호라인을 통해 상기 유량센서(S1, S2)의 디지털 출력이 연결되며, 아날로그 신호를 출력하는 유량센서(S1, S2)인 경우 그 각각의 출력은 아날로그-디지털 신호변환부(14)의 입력단에 연결된다.
상기 스위치 입력부(16)는 유량계측공급감시장치(100)의 전면 패널(도시되지 않음)상에 설치된 다수의 조작 스위치와 연결된다. 조작 스위치는 바람직하게 동작모드 표시선택 스위치, 프리셋 스위치, 스타트 스위치, 스톱 스위치, 리세트 스위치를 포함한다.
상기 시리얼통신 드라이버부(18)의 입력단은 다른 주제어장치 또는 타장치의 통신단자와 연결되고, 상기 공급신호 입력부(15)의 입력단은 주제어장치(PLC: 200)의 공급개시신호 출력단자와 연결된다.
상기 디지털-아날로그 신호변환부(40)의 출력단은 전류신호출력부(41)를 통해 상기 주제어장치(200) 또는 타장치로 연결되고, 상기 디지털신호출력부(42)의출력단은 상기 주제어장치(200)의 입력단 또는 타장치의 입력으로 연결된다. 상기 전류신호출력부(41) 및 디지털신호출력부(42)의 출력단에서 정상 공급종료신호, 상태신호 및 공급실패 및 문제발생신호가 출력된다.
또한, 통신 드라이버부(45)의 출력단은 컴퓨터(400)의 통신포트와 연결되고, 상기 이벤트 출력부(47)의 출력단은 프린터(410)와 연결된다.
또한, 상기 마이크로프로세서(10)의 일 출력단은 표시부(50)와 연결된다. 표시부(50)는 통상의 LCD 또는 VFD 패널로 구성되며, 최초 전원 인가시 공급채널 1에 대한 순시유량(단위시간당 통과유량), 공급유량, 누적적산유량, 공급횟수, 공급소요시간을 표시하고, 특정 스위치의 조작에 따라 다른 공급채널에 대한 공급유량, 공급횟수 및 공급량 설정을 위한 화면을 표시한다.
바람직하게, 유량계측공급감시장치(100)는 공급실패, 유량센서의 이상, 누액, 공급관로 이상, 약액 미달공급 또는 과다공급 및 결선이상을 검출하여 에러신호를 출력하는 동시에 상기 표시부(50)에 소정의 에러 메시지 표시 및 비프 경보음을 출력한다.
도 3은 본 발명에 따른 약액의 공급여부 감시와 공급량 계측방법을 나타내는 플로우차트이다.
단계 100에서, 유량계측공급감시장치(100)의 전원이 온(ON)되면 내부 장치를 초기화하고 장치상태 정상신호를 주제어장치(200)로 출력한다.
다음 단계 102에서 주제어장치(200)로부터의 공급명령에 따라 약액 공급이 개시되면 토출개시신호를 수신하였는지를 판단하고, 토출개시신호를 수신하였다면유량계측공급감시장치(100)는 단계 104에서 약액 토출신호 수신에 대한 응답 신호를 출력하고 나서 토출시간을 계측하기 위한 내부의 토출시간 타이머를 작동시키는 동시에 관로의 유량센서(S1, S2)로부터 유량신호가 입력되기까지의 지연시간을 계측하기 위한 유량신호입력 지연시간 타이머를 작동시킨다.
단계 102에서 주제어장치(200)로부터의 공급명령에도 불구하고 토출개시신호가 수신되지 않았다면 후술하는 바와 같은 단계 130의 누수/누액 검출 루틴으로 진행한다.
다음 단계 106에서, 유량센서(S1, S2)로부터 유량신호가 검출되었는지를 판단한다. 이 유량신호는 펄스 또는 전류신호 형태로 유량계측공급감시장치(100)로 입력된다.
유량신호가 검출되었다면, 단계 107로 진행하여 입력된 유량신호로부터 유량계측을 실행하는 동시에 유량신호 입력지연시간 타이머를 정지시키고 사용자에 의해 미리 설정된 토출(공급) 소요시간 타이머를 작동시킨다. 계측된 순시유량은 표시부(50)에 표시된다.
상기 단계 106에서 유량신호가 검출되지 않았다면, 단계 122로 가서 타이머에서 카운트된 유량신호 입력지연시간이 설정시간을 초과하였는지를 판단한다. 입력지연시간이 설정시간을 초과하였다면, 단계 124로 가서 유량신호 입력지연시간 타이머를 정지시키고 공급에러로 판정한 후 에러 메시지를 표시부(50)에 표시한다. 이어서 단계 126에서 알람(NG)신호를 주제어장치(200)로 출력하는 한편 비프 경보음을 발생한다.
미공급 에러 및 유량계측불가의 원인으로는 펌프고장, 이물질에 의한 관로 막힘, 배관 꺽임/눌림, 체결부위 이탈, 누액 발생 또는 유량센서(S1, S2)의 고장 및 장치(100)와의 결선 이상을 들 수 있다.
단계 108에서, 타이머에서 카운트된 약액토출시간이 미리 설정된 토출시간을 경과하였는지를 판단한다. 설정된 토출시간을 경과하였다면 약액이 멈추지 않고 웨이퍼로 계속 토출되는 것으로 판단하여 단계 109로 가서 토출시간 타이머를 정지시키고 타임 아웃 에러로 판정하고 이에 대한 에러 메시지를 표시부(50)에 표시하는 동시에 단계 126의 알람 신호 출력 및 비프 음 출력 동작을 수행한다.
다음 단계 110에서, 약액토출시간이 미리 설정된 토출시간 내에 있을 때 유량센서(S1, S2)로부터 유량신호가 계속 검출되는지를 판단하고, 유량신호가 검출되지 않는다면 단계 112로 진행하여 이제까지 계측된 유량, 즉 토출량이 미리 설정된 상한치보다 작은지를 판단한다. 토출량이 미리 설정된 상한치보다 작다면 단계 114로 가서 그 토출량이 미리 설정된 하한치보다 큰지를 판단한다. 단계 112에서 토출량이 상한치를 초과한 것으로 판단되면 단계 113으로 가서 과다 토출 에러 판정신호를 출력하고 에러 메시지를 표시한다. 또 단계 114에서 토출량이 하한치에 미달인 것으로 판단되면 단계 115로 가서 미달 토출 에러 판정신호를 출력하고 이에 대응한 에러 메시지를 표시한다. 이때 단계 126에서 알람신호를 출력하는 동시에 비프 경보음을 발생한다.
또한, 단계 112 및 114에서 토출량이 미리 설정된 범위 내에 있음을 확인하고 나서 단계 116으로 진행하고, 여기서 토출시간 타이머에 의해 계측된 토출시간이 미리설정된 상한치보다 작은지를 판단한다. 그리고 단계 118에서 그 토출시간이 미리설정된 하한치보다 큰지를 판단한다. 단계 116 및 118에서, 계측된 토출시간이 미리설정된 범위내에 있지 않은 것으로 판단되면, 단계 117 및 119로 각각 진행하여 저속 토출 및 과속 토출 에러 판정신호를 출력하고 그 각각에 대응한 에러 메시지를 표시한다. 이때 단계 126에서 알람신호를 출력하는 동시에 비프 경보음을 발생한다.
상기 단계 116 및 118에서, 계측된 토출시간이 미리설정된 범위 내에 있는 것으로 확인되면, 단계 120으로 진행하여 토출정상완료신호를 주제어장치(200)로 출력하고 나서 내부 메모리에 공급횟수를 1만큼 누적하고, 또 계측된 토출량을 누적 토출량에 더한다.
본 발명에서 상기 누적된 공급횟수 및 누적된 토출량은 장치내에 미리 설정된 누적 공급횟수 및 누적 토출량과 비교되고, 그 설정값에 도달하였을 때 시스템의 소모성 부분품에 대한 사용기한으로 판단하여 예고하거나 주기적 세정이 필요한 부분품의 교체주기로 판단하여 이를 사용자에게 경고한다.
이후 유량계측공급감시장치(100)는 단계 102로 리턴하여 주제어장치(200)로부터 토출개시신호의 입력을 대기하는 정상 동작 모드로 전환된다.
또한 상기 단계 126에서 알람신호 출력 및 비프 경보음 출력후 단계 128로 진행하여 알람 해제 신호가 입력되는지를 판단한다. 알람해제신호는 사용자가 관로나 밸브를 검사하여 고장원인을 제거한 후 감시장치(100)의 리세트 키의 누름 또는 주제어장치(200)의 리세트 신호 입력에 의해 발생된다.
알람해제신호가 입력되면 단계 129에서 시스템의 에러 상황을 취소하고 정상 동작 모드로 전환한다.
상기한 단계 130의 누수검출루틴을 도 4의 플로우 차트를 참고로 설명한다. 도 3의 단계 102에서 토출개시신호가 유량계측공급감시장치(100)에서 수신되지 않았다면 단계 132로 가서 유량센서로부터 약액 토출신호가 입력되는지를 판단하고, 토출신호가 입력되지 않는다면 다시 유량신호가 검출되는지를 판단한다(단계 133). 이때 유량신호가 검출된다면, 유량을 계측하여 누수량이 미리설정된 량 보다 큰지를 판단한다(단계 134). 누수량이 설정량보다 크다면 단계 135로 진행하여 공급에러로 판정하고 알람신호를 주제어장치(200)로 출력하는 비프 경보음을 출력하고, 에러 메시지를 표시부(50)에 표시한다.
누액 발생의 원인으로는 펌프 또는 밸브 불량(O-링 훼손 포함) 및 고정구 체결 불량을 들 수 있다.
한편 상기 단계 132에서 약액 토출신호가 입력된다면 바로 도 3의 단계104로 진행하여 정상 토출 감시 동작을 수행한다. 또한 상기 단계 135의 경보음 및 에러 메시지 표시후에 단계 137에서 리세트 신호가 입력되었는지를 판단한다. 리세트 신호는 사용자가 관로나 밸브를 검사하여 고장원인을 제거한 다음 장치(100)의 리세트 키의 누름에 의해 발생된다.
리세트 신호가 입력되면 단계 138에서 시스템의 에러 상황을 취소하고 정상 동작 모드로 전환한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시 시스템에 의하면, 한 대의 유량계측공급감시장치(100)로 복수 채널의 약액의 공급감시 및 공급량을 계측할 수 있으므로 다채널 유량계측 및 공급감시가 가능하다.
본 발명의 감시 시스템에 따르면 토출량 및 토출시간의 상하한 범위 설정에 의해 정확한 량과 최소량의 약액을 웨이퍼에 공급할 수 있다. 또한, 공급량과 공급횟수를 통해 평균 공급량 및 누적공급량을 확인할 수 있고 누적된 공급횟수정보 및 누적토출량 정보를 통한 시스템 관리효율을 제고할 수 있다.
상기 누적된 공급횟수정보 및 누적토출량 정보에 의해 용기교환 예고기능과 필터 및 보울 사용기한 관리에 따른 교환 예고기능으로 생산성을 향상할 수 있고, 공정 편의성을 제공할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 유량계측공급감시장치(100)에 의하면, 공급량의 초과 및 미달량을 감시함으로써 주공급원의 이상 유무를 확인할 수 있는 공급량 계측치에 대한 상하한치 설정수단과, 유량센서후단의 누수발생시 유량센서의 유량신호 입력에 의해 (관로밖으로 유출되거나 수조로 공급되는 경우) 누액을 확인할 수 있는누액발생 감지수단과, 펌프 미동작시 약액이 공급되지않으므로 고장을 확인할 수 있는 펌프고장 감지수단과, 그리고 밸브가 열려 약액이 공급되는데도 유량신호가 입력되지않는 경우 센서고장으로 확인할 수 있는 센서고장 감지수단을 구비하고 있음으로써 공정문제 발생을 미리 방지할 수 있는 효과를 제공한다.
본 발명의 시스템은 유량계측공급감시장치(100)의 전원이 온 되면 유량계측공급감시장치 동작중 신호를 주제어장치(200)로 출력함으로써 주제어 장치가 이를확인할 수 있게 하는 유량계측공급감시장치의 이상감지수단을 제공할 수 있다.
따라서, 신호가 없을 경우 주제어장치(200)는 유량계측공급감시장치(100)가 오동작 하거나 전원이 꺼진 것으로 확인할 수 있다. 또한 장치간에 결선이상시에도 정상적인 신호가 출력되지 않으므로 이를 확인할 수 있는 결선이상 감지수단을 제공할 수 있다.

Claims (8)

  1. 약액 저장탱크로부터 약액이 개개의 반도체 웨이퍼로 소정량 공급되게 하는 복수의 공급관로와, 이 공급관로별로 펌프가 설치되고 각 펌프 후단에 설치된 유량센서와, 이 유량센서의 출력신호에 의해 약액의 공급여부 감시 및 공급량을 계측하는 유량계측공급감시장치를 포함하는 약액 공급 감시 시스템의 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시방법으로서,
    상기 유량계측공급감시장치의 전원이 온되었을 시 장치를 초기화하고 장치상태 정상신호를 주제어장치로 출력하는 단계와,
    상기 주제어장치로부터의 공급명령에 따라 약액 공급이 개시되면 토출개시신호를 수신하였는지를 판단하는 단계와,
    상기 토출개시신호를 수신하였을 때 약액 토출신호 수신에 대한 응답 신호를 출력하고 나서 토출시간을 계측하기 위한 내부의 토출시간 타이머를 작동시키는 동시에 상기 유량센서로부터 유량신호가 입력되기까지의 지연시간을 계측하기 위한 유량신호입력 지연시간 타이머를 작동시키는 단계와,
    상기 유량센서로부터 유량신호가 검출되었는지를 판단하여 유량신호가 검출되었다면 입력된 유량신호로부터 유량계측을 실행하는 동시에 유량신호 입력지연 시간 타이머를 정지시키고 사용자에 의해 미리 설정된 토출(공급) 소요시간 타이머를 작동시키는 단계와,
    상기 유량센서로부터 유량신호가 검출되지 않았다면 타이머에서 카운트된 유량신호 입력지연시간이 설정시간을 초과하였는지를 판단하는 단계와,
    상기 카운트된 입력지연시간이 설정시간을 초과하였다면, 유량신호 입력지연시간 타이머를 정지시키고 공급에러로 판정한 후 에러 메시지를 표시하는 한편 알람(NG)신호를 상기 주제어장치로 출력하고 비프 경보음을 발생하는 단계와, 그리고
    타이머에서 카운트된 약액토출시간이 미리 설정된 토출시간을 경과하였는지를 판단하여 설정된 토출시간을 경과하였다면 토출시간 타이머를 정지시키고 타임 아웃 에러로 판정하고 이에 대한 에러 메시지를 표시하는 동시에 알람 신호 출력 및 비프 경보음을 발생하는 단계를 포함하는 약액 공급감시방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 주제어장치로부터의 공급명령에도 불구하고 토출개시신호가 수신되지 않았다면 누수/누액 검출 루틴을 실행하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시방법
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 누수/누액 검출 루틴은 토출개시신호가 유량계측공급감시장치에서 수신되지 않았을 때 유량센서로부터 약액 토출신호가 입력되는지를 판단하고, 토출신호가 입력되지 않는다면 다시 유량신호가 검출되는지를 판단하는 단계와,
    상기 유량신호가 검출되었을 시 유량을 계측하여 누수량이 미리설정된 량 보다 큰지를 판단하는 단계와,
    상기 누수량이 설정량보다 크다면 공급에러로 판정하고 알람신호를 주제어장치로 출력하는 비프 경보음 및 에러 메시지를 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 계측된 약액토출시간이 미리 설정된 토출시간 내에 있을 때 유량센서로부터 유량신호가 계속 검출되는지를 판단하고, 유량신호가 검출되지 않을 시 이제까지 계측된 토출량이 미리 설정된 상한치와 하한치 내에 속하는 지를 판단하는 단계와,
    상기 토출량이 상한치를 초과하거나 하한치에 미달인 것으로 판단되면 과다 또는 미달 토출 에러 판정신호를 출력하고 대응하는 에러 메시지를 표시하는 단계와,
    상기 토출시간 타이머에 의해 계측된 토출시간이 미리설정된 상하한 범위 내에 있는지를 판단하는 단계와,
    상기 계측된 토출시간이 미리설정된 범위를 초과하거나 미달인 경우 저속 토출 또는 과속 토출 에러 판정신호를 출력하고 그에 대응한 에러 메시지를 표시하는 단계와, 그리고
    상기 계측된 토출시간이 미리설정된 범위 내에 있는 것으로 확인되면 토출정상완료신호를 주제어장치로 출력하고 나서 내부 메모리에 공급횟수를 1만큼 누적하고 계측된 토출량을 누적 토출량에 더하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 누적토출량을 사용기한으로 설정하여 예고하거나 누적공급횟수를 미리설정함에 의해 시스템의 소모성 부분품에 대한 사용기한 및 주기적 세정이 필요한 부분품의 교체주기를 판단하는 것을 특징으로 하는 약액 공급감시방법.
  6. 공급량의 초과 및 미달량을 감시함으로써 주공급원의 이상 유무를 확인할 수 있는 공급량 계측치에 대한 상하한치 설정수단과,
    유량센서 후단의 누수발생시 유량센서의 유량신호 입력에 의해 (관로밖으로 유출되거나 수조로 공급되는 경우) 누액을 확인할 수 있는누액발생 감지수단과,
    펌프 미동작시 약액이 공급되지않는 것을 확인할 수 있는 펌프고장 감지수단과, 그리고
    약액 공급시 유량신호가 입력되지 않을 경우 센서고장을 확인할 수 있는 센서고장 감지수단을 포함하는 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시용 유량계측장치.
  7. 약액 저장탱크로부터 포토레지스트 약액이 복수의 공급관로를 통해 개개의 반도체 웨이퍼로 소정량 공급되게 하는 시스템에서,
    상기 공급관로별로 펌프가 설치되고 각 펌프 후단에서 공급관로 끝단의 노즐로 이어지는 관로 중간에 설치된 유량센서와,
    약액의 공급여부 감시와 공급량을 계측하는 유량계측공급감시장치를 포함하고,
    상기 유량센서의 출력은 유량계측공급감시장치의 신호 입력단에 연결되고, 유량계측공급감시장치는 약액도포장비의 주제어장치와 신호라인을 통해 서로 결합되어 노즐별 공급개시신호를 수신하고 명령신호에 대한 응답 및 공급완료/공급에러신호를 전송하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시 시스템.
  8. 상기 유량계측공급감시장치는 마이크로프로세서(10)와, 어드레스 버스 및 데이터 버스를 통해 마이크로프로세서(10)와 연결된 프로그램 메모리(22), 데이터 메모리(24) 및 파라메타 메모리(26)를 가지며, 마이크로프로세서(10)의 입력단에는 센서 인터페이스부(12), 아날로그-디지털 신호변환부(14), 공급명령 입력부(15), 스위치 입력부(16), 시리얼통신 드라이버부(18)가 연결되고, 마이크로프로세서(10)의 출력단에 디지털 제어부(30), 디지털-아날로그 신호변환부(40), 전류신호출력부(41), 디지털신호출력부(42), 통신 드라이버부(45), 이벤트 출력부(47) 및 표시부(50)가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 약액 공급감시 시스템.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100393289B1 (ko) * 2001-06-26 2003-07-31 주식회사 실리콘 테크 포토레지스트 토출 감시장치
KR100452329B1 (ko) * 2002-10-04 2004-10-12 삼성전자주식회사 반도체 코팅설비의 포토레지스트 퍼지 제어장치
US7146235B2 (en) 2002-08-07 2006-12-05 Seiko Epson Corporation Manufacturing system and controller, controlling method, controlling system, and control program for the manufacturing system
KR100872872B1 (ko) * 2007-10-04 2008-12-10 세메스 주식회사 약액 누수 감지 장치 및 방법
KR100977844B1 (ko) * 2008-06-04 2010-08-25 삼성중공업 주식회사 본딩 제어 시스템 및 그 제어 방법
KR102366696B1 (ko) * 2021-09-17 2022-02-23 임지훈 도금 설비용 유량 측정 시스템

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101447648B1 (ko) * 2008-01-22 2014-10-07 씨앤지하이테크 주식회사 압력센서를 이용한 웨이퍼 코팅용 약액 공급감시장치
KR101021984B1 (ko) * 2008-10-24 2011-03-16 세메스 주식회사 유량 제어 시스템 및 그의 유량 알람 제어 방법

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0319317A (ja) * 1989-06-16 1991-01-28 Tokyo Electron Ltd 処理装置
KR970023610A (ko) * 1995-10-16 1997-05-30 김광호 반도체소자 제조용 화학용액의 공급장치
KR0135455Y1 (ko) * 1996-02-23 1999-03-20 김광호 반도체 제조 장치
KR19990041379U (ko) * 1998-05-18 1999-12-15 김영환 포토레지스트 공급장치
KR100281179B1 (ko) * 1998-07-06 2001-04-02 윤종용 반도체장치 제조용 포토레지스트 공급장치 및 포토레지스트의공급방법
KR100382045B1 (ko) * 2000-11-10 2003-04-26 씨앤지하이테크 주식회사 다채널 약액 정량공급장치 및 그 방법

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100393289B1 (ko) * 2001-06-26 2003-07-31 주식회사 실리콘 테크 포토레지스트 토출 감시장치
US7146235B2 (en) 2002-08-07 2006-12-05 Seiko Epson Corporation Manufacturing system and controller, controlling method, controlling system, and control program for the manufacturing system
US7353075B2 (en) 2002-08-07 2008-04-01 Seiko Epson Corporation Manufacturing system and controller, controlling method, controlling system, and control program for the manufacturing system
US7574279B2 (en) 2002-08-07 2009-08-11 Seiko Epson Corporation Manufacturing system and controller, controlling method, controlling system, and control program for the manufacturing system
US7920934B2 (en) 2002-08-07 2011-04-05 Seiko Epson Corporation Manufacturing system and controller, controlling method, controlling system, and control program for the manufacturing system
KR100452329B1 (ko) * 2002-10-04 2004-10-12 삼성전자주식회사 반도체 코팅설비의 포토레지스트 퍼지 제어장치
KR100872872B1 (ko) * 2007-10-04 2008-12-10 세메스 주식회사 약액 누수 감지 장치 및 방법
US7944363B2 (en) 2007-10-04 2011-05-17 Semes Co., Ltd. Apparatus and method of sensing leakage of chemical liquid
KR100977844B1 (ko) * 2008-06-04 2010-08-25 삼성중공업 주식회사 본딩 제어 시스템 및 그 제어 방법
KR102366696B1 (ko) * 2021-09-17 2022-02-23 임지훈 도금 설비용 유량 측정 시스템

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