JP2001340743A

JP2001340743A - 混合装置

Info

Publication number: JP2001340743A
Application number: JP2000163656A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Tsunokake; 泰洋角掛; Tatsuya Funahashi; 達也舟橋
Original assignee: Tokico Ltd
Current assignee: Tokico Ltd
Priority date: 2000-05-31
Filing date: 2000-05-31
Publication date: 2001-12-11

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は薬液補充処理停止時に供給タンクに残
留する所定混合比の薬液を廃棄することなく、有効に利
用することを課題とする。【解決手段】混合装置１０は、制御部１９を用いてＨＦ
タンク１１に貯留された５０％フッ化水素酸と、純水製
造装置２１により生成された純水とを供給タンク１３に
供給して所定の割合で混合し、供給タンク１３において
混合された混合液を供給タンク１３の下流側に設置され
た半導体製造装置４５に供給する。この供給タンク１３
は、混合液の液面を監視する第１液面センサ３６、第２
液面センサ３７、第３液面センサ３８、オーバーフロー
検知センサ３２が設けられている。また、制御部１９
は、接続されたメモリ４１に混合装置１０の動作状態を
判別するデータを格納し、これらのセンサ、制御部１９
により、供給タンク１３の液位を監視し、供給タンク１
３内の液体の混合比を調整する。これにより、再起動時
における供給タンク内の液体を有効に利用できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、成分の異なる複数
の薬液を混合することで半導体や液晶などフラットパネ
ルディスプレイ製造プロセスに使用される混合液を供給
する混合装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、成分の異なる薬液を混合する混合
装置では、薬液の原液及び純水を超音波過流量計とエア
駆動バルブとが組み込まれた構成であり、超音波過流量
計から出力されるパルスに応じて薬液の補充量を計量し
て薬液貯留槽（供給タンク）へ送液し、薬液貯留槽にお
いて、薬液の原液及び純水を混合している。その後、薬
液貯留槽の混合液は、半導体製造装置へ送られる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成とされた従来の混合装置では、次のような問
題点があった。

【０００４】まず、従来の混合装置では、混合装置自体
あるいはこれと連動している装置に何らかのトラブルが
生じると、自動または手動操作により混合装置を非常停
止させる。そして、トラブルの原因を調べて修理、点検
を行った後に装置を再起動させて混合液の生成を再開す
る。このように、停止後に装置を再起動させる場合、供
給タンクとしての薬液貯留槽に貯められている薬液（混
合液）は、濃度の正誤に関わらず無条件で全量廃棄され
た後、薬液貯留槽において、薬液の混合動作が最初から
やり直しされる。

【０００５】そのため、従来の混合装置では、薬液貯留
槽において所定濃度に混合された濃度の薬液（混合液）
を廃棄してしまうため、無駄が多いといった問題があ
る。

【０００６】さらに、従来の混合装置では、薬液貯留槽
の薬液（混合液）を廃棄するたびに原液の消費量や廃液
の量が増加してしまい、その分ランニングコストがかさ
むといった問題もある。

【０００７】そこで、本発明は、上記課題を解決した混
合装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下のような特徴を有する。

【０００９】本発明は、成分の異なる液体毎に設けられ
た計量手段及び弁手段を有して前記液体を供給タンクに
補充する複数の補充ラインと、前記各液体を所定の比率
で前記供給タンクにて混合させるために前記各補充ライ
ンから所定量の液体を補充させるべく、前記計量手段か
らの信号に基づき前記各弁手段を制御する制御手段と、
を有する混合装置において、前記計量手段から出力され
る信号を一定時間毎に読み込み、該信号の有無に応じた
前記計量手段の動作状態を判別するための状況判別デー
タとして記憶する記憶手段と、装置再起動時、装置停止
直前に前記記憶手段に記憶された状況判別データを読み
込み、当該状況判別データに応じて前記供給タンク内に
残留された液体の混合状態を判別する判別手段と、該判
別手段により前記供給タンク内の液体が所定の混合比で
あると判断されたときは、前記供給タンクの液体を使用
し、前記供給タンクの液体が所定の混合比でないと判断
されたときは、前記供給タンクの液体を排出した後、前
記供給タンクへの液補充を再開して液体の濃度を調整す
る濃度調整手段を備えてなることを特徴とするものであ
る。

【００１０】従って、本発明によれば、記憶手段に各計
量手段から出力される信号を一定時間毎に記憶し、記憶
された状況判別データを基に、供給タンク内の液体が所
定の混合比であると判断されたときは、供給タンクの液
体を使用し、供給タンクの液体が所定の混合比でないと
判断されたときは、供給タンクの液体を排出した後、供
給タンクへの液補充を再開して液体の濃度を調整するた
め、記憶された状況判別データにより停止時の直前の装
置動作状況を確認でき、再起動時に停止時の装置動作状
況に応じて供給タンク内の液体の廃棄処理あるいは、補
充処理を選択的に行うことができる。これにより、再起
動時における供給タンク内の液体をできるだけ有効に利
用できる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明の実施の
形態について説明する。

【００１２】図１は本発明になる混合装置の一実施例の
概略構成を示すブロック図である。図１に示されるよう
に、混合装置１０は、ＨＦタンク１１に貯留された５０
％フッ化水素酸と、純水製造装置２１により生成された
純水とを供給タンク１３に供給して所定の割合で混合
し、供給タンク１３において混合された混合液を供給タ
ンク１３の下流側に設置された半導体製造装置４５に供
給するように構成されている。尚、フッ化水素酸は、フ
ッ化水素（ｈｙｄｒｏｇｅｎｆｌｕｏｒｉｄｅ）の水
溶液であり、以下「ＨＦ液」と記す。

【００１３】ＨＦタンク１１に貯留されたＨＦ液は、Ｈ
Ｆ補充路１２を介して供給タンク１３に補充される。こ
のＨＦ補充路１２の接液部の材質は、耐薬品性に優れ、
極めて不純物の溶出の少ないフッ素樹脂、例えばＰＦＡ
（バーフロロアルコキシ共重合体）などにより構成され
る。

【００１４】１４は、ＨＦ計量用超音波過流量計であ
り、ＨＦ補充路１２を送液されるＨＦ液の流量を計測す
る。また、ＨＦ計量用超音波過流量計１４の接液部は、
上記ＰＦＡにより形成されている。

【００１５】ＨＦ計量用超音波過流量計１４の下流側に
は、流量調整機構付のＨＦ補充用エア駆動弁１５が設け
られている。このＨＦ補充用エア駆動弁１５を駆動する
圧縮空気は、エア供給路２５から分岐したエア供給路１
６より約０．５〜０．７ＭＰａ範囲内の圧力で流入し、
減圧弁１７により０．３〜０．５ＭＰａまで減圧され
る。

【００１６】また、エア供給路１６から供給される圧縮
空気は、三方電磁弁１８の切替え動作によりＨＦ補充用
エア駆動弁１５へ供給される。

【００１７】制御部１９は、ブザー４０、メモリ（記憶
手段）４１、ＨＦ計量用超音波過流量計１４、三方電磁
弁１８と接続され、ＨＦ計量用超音波過流量計１４から
出力される流量パルスを計数し、そのパルス数に応じて
三方電磁弁１８の吐出側流路を排気路２０側または管路
１６ｃ側に切替え制御を行っている。

【００１８】また、ブザー４０は、混合装置１０の異常
時に制御部１９からの信号により鳴動される。メモリ４
１は、制御部１９から一定時間毎に送られる状況判別デ
ータを格納する。この状況判別データは、計量手段の動
作状態を判別するためのデータであり、メモリ４１に設
けられた記憶領域に格納され、且つ一定時間毎に最新の
データに更新される。本実施例では、状況判別データ
は、ＨＦ計量用超音波過流量計１４及び純水計量用超音
波過流量計２３から出力される流量パルスの有無を示し
ている。

【００１９】また、三方電磁弁１８の吐出側流路が管路
１６ｃ側に切替えられると、ＨＦ補充用エア駆動弁１５
は開弁し、三方電磁弁１８の吐出側流路が排気路２０側
に切替えられると、ＨＦ補充用エア駆動弁１５は閉弁す
る。そして、ＨＦ補充用エア駆動弁１５は、液垂れ検出
センサ２９及びＨＦ補充用管路１２ｂを介して供給タン
ク１３と連通されている。

【００２０】純水製造装置２１により生成された純水
は、純水補充路２２を介して供給タンク１３に補充され
る。また、純水補充路２２には、純水計量用超音波過流
量計２３と流量調整機能付の純水補充用エア駆動弁２４
が配設されている。この純水補充用エア駆動弁２４を駆
動する圧縮空気は、エア供給路２５より約０．５〜０．
７ＭＰａ範囲内の圧力で流入し、減圧弁１７により０．
３〜０．５ＭＰａまで減圧される。

【００２１】また、エア供給路２５から供給される圧縮
空気は、三方電磁弁２７の切替え動作により純水補充用
エア駆動弁２４へ供給される。

【００２２】制御部１９は、純水計量用超音波過流量計
２３及び三方電磁弁２７と接続されており、純水計量用
超音波過流量計２４から出力される流量パルスを計数
し、そのパルス数に応じて三方電磁弁２７の吐出側流路
を排気路２８側または管路２５ｃ側に切替え制御を行っ
ている。

【００２３】また、三方電磁弁２７の吐出側流路が管路
２５ｃ側に切替えられると、純水補充用エア駆動弁２４
は開弁し、三方電磁弁２７の吐出側流路が排気路２８側
に切替えられると、純水補充用エア駆動弁２４は閉弁す
る。そして、純水補充用エア駆動弁２４は、液垂れ検出
センサ３０及び純水補充用管路２２ｂを介して供給タン
ク１３と連通されている。

【００２４】供給タンク１３では、上記ＨＦ補充用エア
駆動弁１５の開弁によりＨＦ液が補充されると共に、上
記純水補充用エア駆動弁２４の開弁びより純水が補充さ
れ、ＨＦ液と純水が所定の割合で混合された混合液が生
成され、貯留される。

【００２５】この供給タンク１３は、混合液の液面を検
出する第１液面センサ３６、第２液面センサ３７、第３
液面センサ３８が夫々異なる高さ位置に設けられてい
る。第１液面センサ３６は、供給タンク１３の上部に設
置され、補充される薬液（混合液）の上限位置を検知す
るレベルゲージである。

【００２６】第２液面センサ３７は、第１液面センサ３
６と第３液面センサ３８との間に設置され、液補充の要
求位置を検知するレベルゲージである。また、第３液面
センサ３８は、供給タンク１３の下部に設置され、混合
液の液面の下限位置を検知するレベルゲージである。

【００２７】さらに、供給タンク１３は、第１液面セン
サ３６よりもわずかに高い位置にオーバーフロー流路４
２が接続されており、このオーバーフロー流路４２には
供給タンク１３からのオーバーフローを検知するオーバ
ーフロー検知センサ３２が設けられている。そのため、
ＨＦ液や純水の供給が、所定量を超えても停止しなかっ
た等の誤作動があった場合、混合液がオーバーフロー流
路４２により外部に排出されるとともに、オーバーフロ
ー検知センサ３２がオーバーフロー検知信号を制御部１
９に出力する。

【００２８】供給タンク１３内で混合された混合液（薬
液）は、薬液供給ポンプ３３により圧送されて供給管路
３４を介して半導体製造装置４５へ送液される。また、
薬液供給ポンプ３３の下流側には、流量調整機能付の薬
液供給用エア駆動弁３５が設けられている。また、半導
体製造装置４５へ過剰に供給された薬液は、回収管路５
９を介して供給タンク１３に送られる。

【００２９】また、制御部１９は、ＬＥＤ表示付き又は
液晶画面からなる計数設定器（図示せず）が付随してお
り、薬液の混合比等の諸条件の設定や装置の運転状態等
の表示を行うようになっている。

【００３０】また、制御部１９は、装置再起動時、装置
停止直前にメモリ４１に記憶された状況判別データを読
み込み、当該状況判別データに応じて供給タンク１３内
に残留された液体の混合状態を判別する第１の制御プロ
グラム（判別手段）と、供給タンク１３内の液体が所定
の混合比であると判断されたときは、供給タンク１３の
液体を使用し、供給タンク１３の液体が所定の混合比で
ないと判断されたときは、供給タンク１３の液体を排出
した後、供給タンク１３への液補充を再開して液体の濃
度を調整する第２の制御プログラム（濃度調整手段）を
有する。

【００３１】次に上述のように構成された混合装置１０
の薬液補充処理について説明する。尚、本実施例の形態
では、供給タンク１３の容量が２０Ｌ（リットル）の場
合で、ＨＦ：Ｈ_２Ｏ＝１：９９の比率で混合する場合に
ついて説明する。このとき、ＨＦ計量超音波過流量計１
４及び純水計量用超音波過流量計２３からは０．２８ｍ
Ｌあたり１パルス出力されるものとする。その場合、Ｈ
Ｆ液と純水の混合比が１：９９であるから、供給タンク
１３内にはＨＦ液を２００ｍＬ（７１４パルスに相当す
る）補充し、純水を１９８００ｍＬ（７０７１４パルス
に相当する）補充しなければならない。

【００３２】図２から図６は制御部１９で実行される薬
液補充処理の手順を説明するためのフローチャートであ
る。

【００３３】図２に示されるように、制御部１９は、ス
テップＳ１１（以下「ステップ」を省略する）でＨＦ補
充用エア駆動弁１５及び純水補充用エア駆動弁２４を開
弁させるように三方電磁弁１８、２７の吐出側流路を管
路１６ｃ、２５ｃ側に切替える。これにより、ＨＦタン
ク１１に貯留された５０％フッ化水素酸及び純水製造装
置２１により生成された純水が供給タンク１３に補充さ
れる。

【００３４】次のＳ１２では、ＨＦ計量用超音波過流量
計１４から出力された流量パルスのカウント値が７１４
かどうかをチェックする。このＳ１２において、ＨＦ計
量用超音波過流量計１４から出力された流量パルスのカ
ウント値が７１４に達したときは、Ｓ１３に進み、三方
電磁弁１８の吐出側流路を排気管路２０側へ切替えてＨ
Ｆ補充用エア駆動弁１５を閉弁させる。これにより、供
給タンク１３へのＨＦ液の補充が停止する。

【００３５】また、Ｓ１２において、ＨＦ計量用超音波
過流量計１４から出力された流量パルスのカウント値が
７１４に達していない時は、Ｓ１４に進み、純水計量用
超音波過流量計２３から出力された流量パルスのカウン
ト値が７０７１４かどうかをチェックする。このＳ１４
において、純水計量用超音波過流量計２３から出力され
た流量パルスのカウント値が７０７１４に達していない
ときは、上記Ｓ１２に戻り、ＨＦ計量用超音波過流量計
１４から出力された流量パルス数を監視する。このよう
に、Ｓ１２でＨＦ計量用超音波過流量計１４から出力さ
れた流量パルスのカウント値を監視すると共に、Ｓ１４
で純水計量用超音波過流量計２３から出力された流量パ
ルスのカウント値を監視している。

【００３６】本実施例の形態では、ＨＦ：Ｈ_２Ｏ＝１：
９９の比率で混合するため、供給タンク１３へのＨＦ液
の補充時間が純水の補充時間よりも短い。そのため、上
記Ｓ１３でＨＦ液の補充が停止された後も純水の補充が
継続される。

【００３７】そして、Ｓ１４において、純水計量用超音
波流量計２３から出力された流量パルスのカウント値が
７０７１４に達したときは、Ｓ１５に進み、三方電磁弁
２７の吐出側流路を排気管路２８側へ切り替えて純水補
充用エア駆動弁２４を閉弁させる。これにより、供給タ
ンク１３への純水の補充が停止する。そして、供給タン
ク１３には、ＨＦ：Ｈ_２Ｏ＝１：９９の比率で混合され
た混合液が貯留される。

【００３８】続いて、Ｓ１６に進み、例えばＨＦ補充用
エア駆動弁１５あるいは純水補充用エア駆動弁２４の故
障などにより、供給タンク１３の混合液の液面が上昇し
て混合液がオーバーフロー流路４２を介して排出され、
オーバーフロー検知センサ３２により検出されたとき
は、Ｓ１９に進み、制御部１９に警告信号を出力する。
制御部１９は、警告信号の供給により接続されたブザー
４０を鳴動させると共に、警告を表示装置に表示する。
その後、ステップＳ２０に進み、制御部１９によって、
混合装置の動作を停止させる。このように、薬液の過補
充等の異常が発生した場合、混合装置は停止される。

【００３９】また、Ｓ１６において、供給タンク１３の
混合液がオーバーフローせず、オーバーフロー検知セン
サ３２がオフのときは、Ｓ１７に進み、薬液供給用エア
駆動弁３５が開弁され、薬液供給ポンプ３３により吐出
された混合液が半導体製造装置４５に供給される。これ
により、供給タンク１３内の液位が次第に低下する。次
のＳ１８では、混合液の補充を要求する位置を検知する
第２液面センサ３７からの液面検出信号の出力があるこ
とを確認する。

【００４０】Ｓ１８で第２液面センサ３７からの液面検
出信号があると、供給タンク１３に貯留された混合液の
液面が補充を要求する位置にまで低下したものと判断
し、図３に示すＳ２１に進み、薬液補充処理が行われ
る。

【００４１】図３に示すＳ２１では、ＨＦ補充用エア駆
動弁１５及び純水補充用エア駆動弁２４を開弁させるよ
うに三方電磁弁１８、２７の吐出側流路を管路１６ｃ、
２５ｃ側に切替える。これにより、ＨＦタンクに貯留さ
れた５０％フッ化水素酸及び純水製造装置２１により生
成された純水が再度供給タンク１３に補充される。

【００４２】次のＳ２２では、ＨＦ計量用超音波過流量
計１４から出力された流量パルスのカウント値が１７８
かどうかをチェックする。このＳ２２において、ＨＦ計
量用超音波過流量計１４から出力された流量パルスのカ
ウント値が１７８に達したときは、Ｓ２３に進み、三方
電磁弁１８の吐出側流路を排気管路２０側へ切り替えて
ＨＦ補充用エア駆動弁１５を閉弁させる。これにより、
供給タンク１３へのＨＦ液の補充が停止する。

【００４３】また、Ｓ２２において、ＨＦ計量用超音波
過流量計１４から出力された流量パルスのカウント値が
１７８に達していないときは、Ｓ２４に進み、純水計量
用超音波過流量計２３から出力された流量パルスのカウ
ント値が１７６７８かどうかをチェックする。このＳ２
４において、純水計量用超音波過流量計２３から出力さ
れた流量パルスのカウント値が１７９７８に達していな
いときは、上記Ｓ２２に戻り、ＨＦ計量用超音波過流量
計１４から出力された流量パルス数を監視する。このよ
うに、Ｓ２２でＨＦ計量用超音波過流量計１４から出力
された流量パルスのカウント値を監視すると共に、Ｓ２
４で純水計量用超音波過流量計２３から出力された流量
パルスのカウント値を監視している。

【００４４】そして、Ｓ２４において、純水計量用超音
波過流量計２３から出力された流量パルスのカウント値
が１７６７８に達したときは、Ｓ２５に進み、三方電磁
弁２７の吐出側流路を排気管路２８側へ切り替えて純水
補充用エア駆動弁２４を閉弁させる。これにより、供給
タンク１３への純水の補充が停止する。そして、供給タ
ンク１３には、ＨＦ：Ｈ_２Ｏ＝１：９９の比率で混合さ
れた混合液が貯留される。

【００４５】続いて、Ｓ２６に進み、補充される混合液
の上限位置を検知する第１液面センサ３６からの液面検
出出力があることを確認する。Ｓ２６で第１液面センサ
３６からの液面検出信号があると、供給タンク１３に貯
留された混合液の液面が上限位置にまで達すると、図２
に示すＳ１６に進み、供給タンク１３の混合液の液面が
オーバーフローかどうかをチェックする。

【００４６】また、Ｓ２６で第１液面センサ３６からの
液面検出信号がなく、供給タンク１３に貯留された混合
液の液面が上限位置にまで達しないとき、図２に示すＳ
１７に戻り、薬液供給用エア駆動弁３５が開弁され、薬
液供給ポンプ３３により吐出された混合液が半導体製造
装置４５に供給される。これにより、供給タンク１３内
の液位が次第に低下する。

【００４７】このように、第２液面センサ３７により供
給タンク１３の液位を監視し、液位が下がると薬液補充
処理が繰り返される。

【００４８】また、Ｓ２０等で何らかの異常発生（トラ
ブル）により混合装置が停止された場合、一定時間毎
（例えば、５０ｍｓｅｃ毎）に図４に示すＳ３５以降の
処理が行われ、再起動割り込み処理が行われる。

【００４９】Ｓ３５では、混合装置が液を混合、補充し
ている途中で停止し、その後に再び混合装置１０が起動
したかをチェックする。Ｓ３５で混合装置が再起動され
ると、Ｓ３６に進み、制御部１９がメモリ４１に格納さ
れたデータを読み込む。メモリ４１には、混合装置１０
が停止する直前にＨＦ計量用超音波流量計１４及び純水
計量用超音波流量計２３から出力される流量パルスの有
無が格納されている。その後、Ｓ３７に進み、メモリ４
１のデータから停止時に供給タンク１３に薬液及び純水
が供給されていたかをチェックする。Ｓ３７で、供給タ
ンク１３にＨＦ液及び純水が供給されていたとき、薬液
が補充されていた途中で混合装置１０が停止し、設定し
た混合比率と異なる混合液となるため、Ｓ３８に進み、
排液用エア駆動弁３１を開弁し、供給タンク１３内の薬
液を排出する。また、Ｓ３７で、供給タンク１３にＨＦ
液及び純水が供給されていないとき、ＨＦ補充用エア駆
動弁１５及び純水補充用エア駆動弁２３からの漏れ等な
どにより図２に示すＳ１７に進み、薬液供給用エア駆動
弁３５が開弁され、薬液供給ポンプ３３により吐出され
た混合液が半導体製造装置４５に供給される。

【００５０】Ｓ３８で、排液用エア駆動弁３１を開弁
し、供給タンク１３内の薬液が排出されると、Ｓ３９に
進み、第３液面センサ３８から液面検出信号があるかを
判断する。Ｓ３９で第３液面センサ３８から液面検出信
号があると、供給タンク１３に貯留された混合液の液面
が下限位置にあると判断し、Ｓ３８に戻り、供給タンク
１３内に残っている混合液の排出を行う。

【００５１】Ｓ３９で第３液面センサ３８からの液面検
出信号がないとき、供給タンク１３内に混合液が残って
いないと判断し、Ｓ４０に進み、混合液を排出するため
の薬液供給用エア駆動弁３５を閉弁させる。そして、図
２に示すＳ１１へ進み、再び供給タンク１３にＨＦ液及
び純水が供給される。

【００５２】また、図５、６において、上記図２、３、
４の薬液補充処理過程で実行される割込み処理の手順を
説明するための図である。

【００５３】図５に示されるように、制御部１９は、Ｓ
４５でＨＦ計量用超音波過流量計１４及び純水計量用超
音波流量計２３から出力される流量パルスを読み込む。
この流量パルスが出力されている間は、ＨＦ補充用エア
駆動弁１５及び純水補充用エア駆動弁２４が開弁され、
供給タンク１３にＨＦ液及び純水が供給されている。次
にＳ４６では、流量パルスが出力されているかを判断
し、流量パルスが出力されているとき、即ち、供給タン
ク１３にＨＦ液及び純水が供給されているとき、Ｓ４７
に進み、給液中を示す給液中フラグ（状況判別データ）
をメモリ４１に格納する。これにより、供給タンク１３
にＨＦ液及び純水を供給している状態の給液中フラグ
（状況判別データ）をメモリ４１に格納することができ
る。

【００５４】Ｓ４６で流量パルスが出力されていないと
き、即ち、供給タンク１３にＨＦ液及び純水が供給され
ていないとき、Ｓ４７に進み、給液待機中を示す給液待
機中フラグ（状況判別データ）をメモリ４１に格納す
る。これにより、供給タンク１３にＨＦ液及び純水を供
給していない状態の給液待機中フラグ（状況判別デー
タ）をメモリ４１に格納することができる。

【００５５】また、上記のメモリ４１に上記各フラグを
格納する割込み処理は、一定時間経過後に繰り返し実行
される。このように、メモリ４１に流量パルスの有無に
応じたフラグが格納され、メモリ格納割込み処理が行わ
れる。

【００５６】図６に示されるように、制御部１９は、液
垂れセンサ２９、３０と接続され、これらの液垂れセン
サ２９、３０からの検出信号により警告信号を出力し、
混合装置１０を停止する等の制御を行う。Ｓ３０では、
ＨＦ補充用エア駆動弁１５、純水補充用エア駆動弁２４
が閉弁しているかをチェックする。これにより、ＨＦ
液、純水を供給タンク１３に供給中でないかを確認す
る。Ｓ３０でＨＦ補充用エア駆動弁１５、純水補充用エ
ア駆動弁２４が閉弁しているとき、Ｓ３１に進み、液垂
れセンサ２９、３０から信号が出力されるかを判断す
る。

【００５７】Ｓ３１で液垂れセンサ２９、３０から信号
が出力されるとき、ＨＦ補充用エア駆動弁１５、純水補
充用エア駆動弁２４が閉弁しているにも関わらず各弁の
シール部分から液が垂れていると判断し、Ｓ３２に進
み、警告信号を制御部１９に出力する。この時、制御部
１９では警告信号が供給されると、ブザー４０を鳴動さ
せ、ディスプレイ等に表示を行う。その後、Ｓ３３で
は、制御部１９によって、混合装置１０の動作を停止さ
せる。このように、薬液の液垂れ等の異常が発生した場
合、混合装置は停止される。

【００５８】また、Ｓ３０でＨＦ補充用エア駆動弁１
５、純水補充用エア駆動弁２４が閉弁していないとき、
Ｓ３４に進み、ＨＦ計量用超音波過流量計１４及び純水
計量用超音波過流量計２３からの流量パルスが正常であ
るかが判断される。Ｓ３４で例えば、ＨＦ補充用エア駆
動弁１５、純水補充用エア駆動弁２４が閉弁していない
のに流量パルスが出力されないときは、ＨＦ計量用超音
波過流量計１４及び純水計量用超音波過流量計２３で何
らかの異常が発生したものと判断する。このような異常
が発生したとき、Ｓ３２以降に進み、薬液補充処理の異
常を知らせるため、警告信号を制御部１９に出力する。

【００５９】よって、制御部１９が供給タンク１３への
ＨＦ液及び純水の供給時に発生される流量パルスの有無
（状況判別データ）をメモリ４１に格納し、混合装置１
０が停止した後の再起動で、格納された各種フラグ（状
況判別データ）により必要なときだけ供給タンク１３内
の薬液を廃棄することができる。

【００６０】尚、本実施の形態では、上記混合液の比
率、各薬液の流量パルスのカウント値は一例であり、任
意に設定可能であることは勿論である。

【００６１】また、本実施の形態では、液種もＨＦ液と
記述したが、これにとらわれれず他の薬液も設定可能で
あることは勿論である。

【００６２】また、本実施の形態では、トラブル発生時
を想定した内容となっているが、通常のルーチンでの停
止でも本内容が適用できることは勿論である。

【００６３】

【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、記憶手段
に各計量手段から出力される信号を一定時間毎に記憶
し、記憶された状況判別データを基に、供給タンク内の
液体が所定の混合比であると判断されたときは、供給タ
ンクの液体を使用し、供給タンクの液体が所定の混合比
でないと判断されたときは、供給タンクの液体を排出し
た後、供給タンクへの液補充を再開して液体の濃度を調
整するため、記憶された状況判別データにより停止時の
直前の装置動作状況を確認でき、再起動時に停止時の装
置動作状況に応じて供給タンク内の液体の廃棄処理ある
いは、補充処理を選択的に行うことができる。従って、
装置で何らかのトラブルが発生して装置が停止した場合
でも、修理・点検後に再起動する際、供給タンクに残留
している液を廃棄せずに使用することが可能になる。こ
れにより、再起動時における供給タンク内の液体をでき
るだけ有効に利用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる混合装置の一実施例の概略構成を
示すブロック図である。

【図２】制御部１９で実行される薬液補充処理の手順を
説明するためのフローチャートである。

【図３】図２に示す処理に続いて実行される薬液補充処
理の手順を説明するための図である。

【図４】図２、図３に示す処理に関する再起動処理の手
順を説明するための図である。

【図５】図２、３、４の薬液補充処理過程で実行される
メモリ格納割込処理の手順を説明するための図である。

【図６】図２、３、４の薬液補充処理過程で実行される
割込み処理の手順を説明するための図である。

【符号の説明】

１０混合装置１１ＨＦタンク１２ＨＦ補充路１４ＨＦ計量用超音波過流量計１５ＨＦ補充用エア駆動弁１６エア供給路１７減圧弁１８、２７三方電磁弁１９制御部２０排気路２１純水製造装置２２純水補充路２３純水計量用超音波流量計２４純水補充用エア駆動弁３１排液用エア駆動弁３２オーバーフロー検知センサ３３薬液供給ポンプ３４供給管路３５薬液供給用エア駆動弁３６第１液面センサ３７第２液面センサ３８第３液面センサ４０ブザー４１メモリ４２オーバーフロー流路４５半導体製造装置

フロントページの続きＦターム(参考） 4G035 AB36 AE03 AE13 4G037 BA01 BB01 BC02 BD04 BE02 5F043 AA01 BB30 DD30 EE05 EE23 EE24 EE29 EE31 EE33

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】成分の異なる液体毎に設けられた計量手
段及び弁手段を有して前記液体を供給タンクに補充する
複数の補充ラインと、前記各液体を所定の比率で前記供
給タンクにて混合させるために前記各補充ラインから所
定量の液体を補充させるべく、前記計量手段からの信号
に基づき前記各弁手段を制御する制御手段と、を有する
混合装置において、前記計量手段から出力される信号を一定時間毎に読み込
み、該信号の有無に応じた前記計量手段の動作状態を判
別するための状況判別データとして記憶する記憶手段
と、装置再起動時、装置停止直前に前記記憶手段に記憶され
た状況判別データを読み込み、当該状況判別データに応
じて前記供給タンク内に残留された液体の混合状態を判
別する判別手段と、該判別手段により前記供給タンク内の液体が所定の混合
比であると判断されたときは、前記供給タンクの液体を
使用し、前記供給タンクの液体が所定の混合比でないと
判断されたときは、前記供給タンクの液体を排出した
後、前記供給タンクへの液補充を再開して液体の濃度を
調整する濃度調整手段を備えてなることを特徴とする混
合装置。