JP2002282672A - 混合装置 - Google Patents
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- JP2002282672A JP2002282672A JP2001091133A JP2001091133A JP2002282672A JP 2002282672 A JP2002282672 A JP 2002282672A JP 2001091133 A JP2001091133 A JP 2001091133A JP 2001091133 A JP2001091133 A JP 2001091133A JP 2002282672 A JP2002282672 A JP 2002282672A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は成分の異なる液体を一定の比率で混
合して供給タンクに安定補充することを課題とする。 【解決手段】 混合装置10は、HFタンク11に貯溜
された薬液(HF液)と、純水製造装置21により生成
された純水とを供給タンク13に供給して所定の割合で
混合し、この混合液を供給タンク13の下流側に設置さ
れた半導体製造装置45に供給する。制御部19は、メ
モリ65に記憶された供給タンク13で薬液と純水を混
合する際に行われる薬液を間欠的に供給するための制御
データを読み込み、読み込まれた制御データに応じて薬
液を間欠的に供給するように薬液用電磁弁64の開閉動
作を制御する。定量タンク63に貯留された薬液は、窒
素ガスにより加圧されているので、薬液用電磁弁64が
開弁したとき、瞬間的に一定量の薬液が供給タンク13
に噴射される。
合して供給タンクに安定補充することを課題とする。 【解決手段】 混合装置10は、HFタンク11に貯溜
された薬液(HF液)と、純水製造装置21により生成
された純水とを供給タンク13に供給して所定の割合で
混合し、この混合液を供給タンク13の下流側に設置さ
れた半導体製造装置45に供給する。制御部19は、メ
モリ65に記憶された供給タンク13で薬液と純水を混
合する際に行われる薬液を間欠的に供給するための制御
データを読み込み、読み込まれた制御データに応じて薬
液を間欠的に供給するように薬液用電磁弁64の開閉動
作を制御する。定量タンク63に貯留された薬液は、窒
素ガスにより加圧されているので、薬液用電磁弁64が
開弁したとき、瞬間的に一定量の薬液が供給タンク13
に噴射される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば成分の異な
る複数の薬液を混合することで半導体や液晶などフラッ
トパネルディスプレイ製造プロセスに使用される混合液
を供給する混合装置に関する。
る複数の薬液を混合することで半導体や液晶などフラッ
トパネルディスプレイ製造プロセスに使用される混合液
を供給する混合装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、成分の異なる2種類の薬液を混合
する混合装置では、薬液の原液及び純水を供給する各補
充ラインに超音波渦流量計とエア駆動バルブとが組み込
まれた構成であり、超音波渦流量計から出力されるパル
スに応じて薬液の補充量を計量して供給タンク(薬液貯
溜槽)へ送液し、供給タンクにおいて薬液の原液及び純
水を混合している。その後、供給タンクで所定の比率に
混合された液は、半導体製造装置へと供給される。
する混合装置では、薬液の原液及び純水を供給する各補
充ラインに超音波渦流量計とエア駆動バルブとが組み込
まれた構成であり、超音波渦流量計から出力されるパル
スに応じて薬液の補充量を計量して供給タンク(薬液貯
溜槽)へ送液し、供給タンクにおいて薬液の原液及び純
水を混合している。その後、供給タンクで所定の比率に
混合された液は、半導体製造装置へと供給される。
【0003】また、薬液と純水との混合比が例えば1:
99の場合、生成される混合液の液量が20L(リット
ル)とすると、薬液の供給量が200mL(ミリリット
ル)であるのに対し、純水の供給量が19800mLと
なる。このように2液の混合比が大きく相違する場合に
は、薬液を微少流量で供給されるように流量調整するこ
とが難しい。また、濃厚な薬液(原液)を供給タンクへ
投下すると、予め供給タンク内に貯溜されていた薬液と
十分に混合せず、濃厚な原液が拡散しないまま供給タン
ク内の薬液へ落下してしまうため、できるだけ薬液を少
量ずつ供給しなければならない。
99の場合、生成される混合液の液量が20L(リット
ル)とすると、薬液の供給量が200mL(ミリリット
ル)であるのに対し、純水の供給量が19800mLと
なる。このように2液の混合比が大きく相違する場合に
は、薬液を微少流量で供給されるように流量調整するこ
とが難しい。また、濃厚な薬液(原液)を供給タンクへ
投下すると、予め供給タンク内に貯溜されていた薬液と
十分に混合せず、濃厚な原液が拡散しないまま供給タン
ク内の薬液へ落下してしまうため、できるだけ薬液を少
量ずつ供給しなければならない。
【0004】そのため、超音波渦流量計により計量され
た所定量の薬液(原液)は、エア駆動バルブのすぐ下流
に設けた予備貯留タンクへ一旦流入し、予備貯留タンク
の出口に設けられた手動絞り弁により薬液の供給時間が
純水の供給時間とが略一致するように流量調整されて供
給タンクへ供給する方法が検討されている。
た所定量の薬液(原液)は、エア駆動バルブのすぐ下流
に設けた予備貯留タンクへ一旦流入し、予備貯留タンク
の出口に設けられた手動絞り弁により薬液の供給時間が
純水の供給時間とが略一致するように流量調整されて供
給タンクへ供給する方法が検討されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成とされた従来の混合装置では、例えば混合比
を変更する場合、その都度、手動絞り弁の絞り開度を微
調整する必要があり、この調整操作が煩雑で時間がかか
るばかりか、目的の微少流量となるように、手動絞り弁
の絞り開度を正確に調整することが難しいといった問題
がある。
ような構成とされた従来の混合装置では、例えば混合比
を変更する場合、その都度、手動絞り弁の絞り開度を微
調整する必要があり、この調整操作が煩雑で時間がかか
るばかりか、目的の微少流量となるように、手動絞り弁
の絞り開度を正確に調整することが難しいといった問題
がある。
【0006】また、絞り弁の調整不良による混合比のバ
ラツキを防止するため、所定の混合比に計測された薬液
の所定量と純水の所定量を供給タンクに一括供給し、そ
の後供給タンク内を攪拌して均一な濃度にする方法があ
る。
ラツキを防止するため、所定の混合比に計測された薬液
の所定量と純水の所定量を供給タンクに一括供給し、そ
の後供給タンク内を攪拌して均一な濃度にする方法があ
る。
【0007】しかしながら、所定量の薬液と純水を一括
投入する方法では、供給タンク内で攪拌しなければ均一
な濃度にならないため供給タンク内の液全体を一定濃度
にするのにかなりの時間を要する。そのため、例えば下
流側へ混合しながら連続供給することができず、供給タ
ンク内の攪拌が終了するまで、下流側の装置を待機させ
る必要がある。
投入する方法では、供給タンク内で攪拌しなければ均一
な濃度にならないため供給タンク内の液全体を一定濃度
にするのにかなりの時間を要する。そのため、例えば下
流側へ混合しながら連続供給することができず、供給タ
ンク内の攪拌が終了するまで、下流側の装置を待機させ
る必要がある。
【0008】そこで、本発明は上記課題を解決した混合
装置を提供することを目的とする。
装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項1
記載の発明は、第2の液体供給手段と前記供給タンクと
の間に設けられた開閉弁と、第2の液体供給手段の供給
量を供給タンクに供給するための所要時間が、第1の液
体の前記供給タンクへの供給量を第1の供給手段により
供給するための所要時間と一致するように開閉弁を所定
周期で開閉制御する弁制御手段と、を備えてなるもので
あり、供給タンクで混合された液の濃度ムラをできるだ
け小さくして均一に混合された液体を短時間で安定供給
することができる。
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項1
記載の発明は、第2の液体供給手段と前記供給タンクと
の間に設けられた開閉弁と、第2の液体供給手段の供給
量を供給タンクに供給するための所要時間が、第1の液
体の前記供給タンクへの供給量を第1の供給手段により
供給するための所要時間と一致するように開閉弁を所定
周期で開閉制御する弁制御手段と、を備えてなるもので
あり、供給タンクで混合された液の濃度ムラをできるだ
け小さくして均一に混合された液体を短時間で安定供給
することができる。
【0010】また、請求項2記載の発明は、第2の液体
供給手段と開閉弁との間に設けられ、第2の液体を一定
量貯留する定量タンクと、定量タンク内に所定の圧力の
気体を供給する加圧手段と、を備えており、開閉弁が開
弁されたとき第2の液体を瞬間的に供給タンクへ供給す
ることができる。
供給手段と開閉弁との間に設けられ、第2の液体を一定
量貯留する定量タンクと、定量タンク内に所定の圧力の
気体を供給する加圧手段と、を備えており、開閉弁が開
弁されたとき第2の液体を瞬間的に供給タンクへ供給す
ることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明の実施の
形態について説明する。図1は本発明になる混合装置の
一実施例の概略構成を示すブロック図である。図1に示
されるように、混合装置10は、HFタンク11に貯溜
された50%フッ化水素酸(薬液)と、純水製造装置2
1により生成された純水とを供給タンク13に補充して
所定の割合で混合し、供給タンク13において混合され
た混合液を供給タンク13の下流側に設置された半導体
製造装置45に供給するように構成されている。尚、フ
ッ化水素酸は、フッ化水素(hydrogen fluoride)の水
溶液であり、以下「薬液(HF液)」と記す。
形態について説明する。図1は本発明になる混合装置の
一実施例の概略構成を示すブロック図である。図1に示
されるように、混合装置10は、HFタンク11に貯溜
された50%フッ化水素酸(薬液)と、純水製造装置2
1により生成された純水とを供給タンク13に補充して
所定の割合で混合し、供給タンク13において混合され
た混合液を供給タンク13の下流側に設置された半導体
製造装置45に供給するように構成されている。尚、フ
ッ化水素酸は、フッ化水素(hydrogen fluoride)の水
溶液であり、以下「薬液(HF液)」と記す。
【0012】HFタンク11に貯溜されたHF液は、H
F補充路12を介して供給タンク13に補充される。こ
のHF補充路12の接液部の材質は、耐薬品性に優れ、
極めて不純物の溶出の少ないフッ素樹脂、例えばPFA
(バーフロロアルコキシ共重合体)などにより構成され
る。
F補充路12を介して供給タンク13に補充される。こ
のHF補充路12の接液部の材質は、耐薬品性に優れ、
極めて不純物の溶出の少ないフッ素樹脂、例えばPFA
(バーフロロアルコキシ共重合体)などにより構成され
る。
【0013】14はHF計量用超音波渦流量計であり、
HF補充路12を送液されるHF液の流量を計測する。
また、HF計量用超音波渦流量計14の接液部は、上記
PFAにより形成されている。
HF補充路12を送液されるHF液の流量を計測する。
また、HF計量用超音波渦流量計14の接液部は、上記
PFAにより形成されている。
【0014】HF計量用超音波渦流量計14の下流側に
は、流量調整機構付のHF補充用エア駆動弁15が設け
られている。このHF補充用エア駆動弁15を駆動する
圧縮空気は、エア供給路25から分岐したエア供給路1
6より約0.5〜0.7MPa範囲内の圧力で流入し、
減圧弁17により0.3〜0.5MPaまで減圧され
る。
は、流量調整機構付のHF補充用エア駆動弁15が設け
られている。このHF補充用エア駆動弁15を駆動する
圧縮空気は、エア供給路25から分岐したエア供給路1
6より約0.5〜0.7MPa範囲内の圧力で流入し、
減圧弁17により0.3〜0.5MPaまで減圧され
る。
【0015】また、エア供給路16から供給される圧縮
空気は、三方電磁弁18の切替え動作によりHF補充用
エア駆動弁15へ供給される。
空気は、三方電磁弁18の切替え動作によりHF補充用
エア駆動弁15へ供給される。
【0016】制御部19は、HF計量用超音波渦流量計
14及び三方電磁弁18と接続されており、HF計量用
超音波渦流量計14から出力される流量パルスを計数
し、そのパルス数に応じて三方電磁弁18の吐出側流路
を排気路20側または管路16c側に切替え制御を行っ
ている。
14及び三方電磁弁18と接続されており、HF計量用
超音波渦流量計14から出力される流量パルスを計数
し、そのパルス数に応じて三方電磁弁18の吐出側流路
を排気路20側または管路16c側に切替え制御を行っ
ている。
【0017】また、制御部19は、記憶手段としてのメ
モリ65を有する。メモリ65には、供給タンク13で
薬液(HF液)と純水を混合する際に行われる薬液(H
F液)を間欠的に供給するための制御データが格納され
たデータベース65a、及びデータベース65aから読
み込まれた制御データに応じて薬液(HF液)を間欠的
に供給するように弁制御を行う制御プログラム(弁制御
手段)65bが格納されている。
モリ65を有する。メモリ65には、供給タンク13で
薬液(HF液)と純水を混合する際に行われる薬液(H
F液)を間欠的に供給するための制御データが格納され
たデータベース65a、及びデータベース65aから読
み込まれた制御データに応じて薬液(HF液)を間欠的
に供給するように弁制御を行う制御プログラム(弁制御
手段)65bが格納されている。
【0018】また、制御部19は、LCD表示付きの係
数設定器66と接続されており、薬液(HF液)の混合
比率や容量等の諸条件の設定や装置の運転状態等の表示
を行うようになっている。
数設定器66と接続されており、薬液(HF液)の混合
比率や容量等の諸条件の設定や装置の運転状態等の表示
を行うようになっている。
【0019】また、三方電磁弁18の吐出側流路が管路
16c側に切替えられると、HF補充用エア駆動弁15
は開弁し、三方電磁弁18の吐出側流路が排気路20側
に切替えられると、HF補充用エア駆動弁15は閉弁す
る。そして、HF補充用エア駆動弁15は、HF補充用
管路12bを介して供給タンク13と連通されている。
16c側に切替えられると、HF補充用エア駆動弁15
は開弁し、三方電磁弁18の吐出側流路が排気路20側
に切替えられると、HF補充用エア駆動弁15は閉弁す
る。そして、HF補充用エア駆動弁15は、HF補充用
管路12bを介して供給タンク13と連通されている。
【0020】純水製造装置21により生成された純水
は、純水補充路22を介して供給タンク13に補充され
る。また、純水補充路22には、純水計量用超音波渦流
量計23と流量調整機構付の純水補充用エア駆動弁24
が配設されている。この純水補充用エア駆動弁24を駆
動する圧縮空気は、エア供給路25より約0.5〜0.
7MPa範囲内の圧力で流入し、減圧弁17により0.
3〜0.5MPaまで減圧される。
は、純水補充路22を介して供給タンク13に補充され
る。また、純水補充路22には、純水計量用超音波渦流
量計23と流量調整機構付の純水補充用エア駆動弁24
が配設されている。この純水補充用エア駆動弁24を駆
動する圧縮空気は、エア供給路25より約0.5〜0.
7MPa範囲内の圧力で流入し、減圧弁17により0.
3〜0.5MPaまで減圧される。
【0021】また、HF補充路12には、純水計量用超
音波渦流量計23の上流で窒素ガス供給路60が接続さ
れている。この窒素ガス供給路60は、圧縮された窒素
ガスを生成するガス供給源(図示せず)に連通されてお
り、減圧弁61と逆止弁62が配設されている。この窒
素ガス供給路60から供給された窒素ガスは、減圧弁6
1により所定圧に減圧されてHF補充路12に供給さ
れ、HF液を加圧する。
音波渦流量計23の上流で窒素ガス供給路60が接続さ
れている。この窒素ガス供給路60は、圧縮された窒素
ガスを生成するガス供給源(図示せず)に連通されてお
り、減圧弁61と逆止弁62が配設されている。この窒
素ガス供給路60から供給された窒素ガスは、減圧弁6
1により所定圧に減圧されてHF補充路12に供給さ
れ、HF液を加圧する。
【0022】さらに、HF補充路12には、窒素ガスに
より加圧されたHF液を一旦貯留するための定量タンク
63と、定量タンク63の吐出口を開閉する薬液用電磁
弁64とが設けられている。定量タンク63は、HF計
量用超音波渦流量計14により計測された一定量(例え
ば、20mL)を一時的に貯留させるための容器であ
り、内部に窒素ガス供給路60から供給された窒素ガス
が充填されて加圧されている。薬液用電磁弁64は、制
御部19からの制御信号により所定時間間隔で開弁と閉
弁とを交互に行うことによりHF液を微少量ずつ間欠的
に供給するための弁装置である。
より加圧されたHF液を一旦貯留するための定量タンク
63と、定量タンク63の吐出口を開閉する薬液用電磁
弁64とが設けられている。定量タンク63は、HF計
量用超音波渦流量計14により計測された一定量(例え
ば、20mL)を一時的に貯留させるための容器であ
り、内部に窒素ガス供給路60から供給された窒素ガス
が充填されて加圧されている。薬液用電磁弁64は、制
御部19からの制御信号により所定時間間隔で開弁と閉
弁とを交互に行うことによりHF液を微少量ずつ間欠的
に供給するための弁装置である。
【0023】また、エア供給路25から供給される圧縮
空気は、三方電磁弁27の切替え動作により純水補充用
エア駆動弁24へ供給される。
空気は、三方電磁弁27の切替え動作により純水補充用
エア駆動弁24へ供給される。
【0024】制御部19は、純水計量用超音波渦流量計
23及び三方電磁弁27と接続されており、純水計量用
超音波渦流量計23から出力される流量パルスを計数
し、そのパルス数に応じて三方電磁弁27の吐出側流路
を排気路28側または管路25b側に切替え制御を行っ
ている。
23及び三方電磁弁27と接続されており、純水計量用
超音波渦流量計23から出力される流量パルスを計数
し、そのパルス数に応じて三方電磁弁27の吐出側流路
を排気路28側または管路25b側に切替え制御を行っ
ている。
【0025】また、三方電磁弁27の吐出側流路が管路
25b側に切替えられると、純水補充用エア駆動弁24
は開弁し、三方電磁弁27の吐出側流路が排気路28側
に切替えられると、純水補充用エア駆動弁24は閉弁す
る。そして、純水補充用エア駆動弁24は、純水補充用
管路22bを介して供給タンク13と連通されている。
25b側に切替えられると、純水補充用エア駆動弁24
は開弁し、三方電磁弁27の吐出側流路が排気路28側
に切替えられると、純水補充用エア駆動弁24は閉弁す
る。そして、純水補充用エア駆動弁24は、純水補充用
管路22bを介して供給タンク13と連通されている。
【0026】供給タンク13では、上記HF補充用エア
駆動弁15の開弁によりHF液が補充されると共に、上
記純水補充用エア駆動弁24の開弁により純水が補充さ
れ、HF液と純水が所定の割合で混合された混合液が生
成される。
駆動弁15の開弁によりHF液が補充されると共に、上
記純水補充用エア駆動弁24の開弁により純水が補充さ
れ、HF液と純水が所定の割合で混合された混合液が生
成される。
【0027】また、供給タンク13には、混合液の液面
を監視する第1、第2液面センサ36,37が挿入され
ている。第1液面センサ36は、混合液の上限位置を検
知するレベルゲージであり、第2液面センサ37は、混
合液の補充要求位置を検知するレベルゲージである。
を監視する第1、第2液面センサ36,37が挿入され
ている。第1液面センサ36は、混合液の上限位置を検
知するレベルゲージであり、第2液面センサ37は、混
合液の補充要求位置を検知するレベルゲージである。
【0028】供給タンク13内で混合された混合液は、
薬液供給ポンプ33により圧送されて供給管路34を介
して半導体製造装置45へ送液される。また、薬液供給
ポンプ33の下流側には、流量調整機構付きの薬液供給
用電磁弁35が設けられている。
薬液供給ポンプ33により圧送されて供給管路34を介
して半導体製造装置45へ送液される。また、薬液供給
ポンプ33の下流側には、流量調整機構付きの薬液供給
用電磁弁35が設けられている。
【0029】また、薬液供給ポンプ33と薬液供給用電
磁弁35との間の管路34からは攪拌用リターン管路5
2が分岐しており、後述するように供給タンク13内へ
の薬液(HF液)の供給が終了した時点で薬液供給ポン
プ33が起動され、供給タンク13の底部から吐出され
た混合液が攪拌用リターン管路52を介して供給タンク
13の上部へ還流されることにより供給タンク13内の
混合液を攪拌して濃度を均一化する。尚、攪拌用リター
ン管路52には、供給タンク13内の液体を循環させて
撹拌するときに手動操作で開弁される薬液循環用弁53
が配設されている。
磁弁35との間の管路34からは攪拌用リターン管路5
2が分岐しており、後述するように供給タンク13内へ
の薬液(HF液)の供給が終了した時点で薬液供給ポン
プ33が起動され、供給タンク13の底部から吐出され
た混合液が攪拌用リターン管路52を介して供給タンク
13の上部へ還流されることにより供給タンク13内の
混合液を攪拌して濃度を均一化する。尚、攪拌用リター
ン管路52には、供給タンク13内の液体を循環させて
撹拌するときに手動操作で開弁される薬液循環用弁53
が配設されている。
【0030】また、供給タンク13と半導体製造装置4
5との間には、半導体製造装置45で余った余剰混合液
を供給タンク13へ戻す回収管路59が連通されてい
る。そのため、供給タンク13では、HF補充用管路1
2cから補充されるHF液と、純水補充用管路22bか
ら補充される純水と、攪拌用リターン管路52から還流
された混合液と、回収管路59から回収された混合液と
が混合される。
5との間には、半導体製造装置45で余った余剰混合液
を供給タンク13へ戻す回収管路59が連通されてい
る。そのため、供給タンク13では、HF補充用管路1
2cから補充されるHF液と、純水補充用管路22bか
ら補充される純水と、攪拌用リターン管路52から還流
された混合液と、回収管路59から回収された混合液と
が混合される。
【0031】次に上記のように構成された混合装置11
の薬液混合処理について説明する。尚、本実施の形態で
は、供給タンク13の容量が20L(リットル)の場合
で、HF:H2O=1:99の比率で混合する場合につ
いて説明する。このとき、HF計量用超音波渦流量計1
4及び純水計量用超音波渦流量計23からは0.28m
Lあたり1パルス出力されるものとする。その場合、H
F液と純水の混合比が1:99であるから、供給タンク
13内にはHF液を200mL(714パルスに相当す
る)補充し、純水を19800mL(70714パルス
に相当する)補充しなければならない。
の薬液混合処理について説明する。尚、本実施の形態で
は、供給タンク13の容量が20L(リットル)の場合
で、HF:H2O=1:99の比率で混合する場合につ
いて説明する。このとき、HF計量用超音波渦流量計1
4及び純水計量用超音波渦流量計23からは0.28m
Lあたり1パルス出力されるものとする。その場合、H
F液と純水の混合比が1:99であるから、供給タンク
13内にはHF液を200mL(714パルスに相当す
る)補充し、純水を19800mL(70714パルス
に相当する)補充しなければならない。
【0032】図2はデータベース65aの一例を模式的
に示す図である。
に示す図である。
【0033】図2に示されるように、データベース65
aは、供給タンク13の液供給可能容量とHF液と純水
との比率に応じた時間間隔t1a〜t1n,t2a〜t
2n,t3a〜t3n・・・が制御データとして予め登
録されている。従って、制御部19は、HF液と純水と
の混合液の供給を開始する前にデータベース65aから
そのときの供給タンク13の液供給可能容量とHF液と
純水との比率に応じた時間間隔tを読み込んで純水供給
時間の開始から終了までの間をHF液供給回数で等分し
た時間間隔(HF液間欠時間)を設定する。
aは、供給タンク13の液供給可能容量とHF液と純水
との比率に応じた時間間隔t1a〜t1n,t2a〜t
2n,t3a〜t3n・・・が制御データとして予め登
録されている。従って、制御部19は、HF液と純水と
の混合液の供給を開始する前にデータベース65aから
そのときの供給タンク13の液供給可能容量とHF液と
純水との比率に応じた時間間隔tを読み込んで純水供給
時間の開始から終了までの間をHF液供給回数で等分し
た時間間隔(HF液間欠時間)を設定する。
【0034】尚、本実施例では、データベース65aに
薬液用電磁弁64を間欠的に開弁させる時間間隔が液供
給可能容量とHF液と純水との比率に応じて登録されて
いる場合を一例として挙げたが、これに限らず、例えば
演算式に応じて時間間隔(HF液間欠時間)を演算する
ための他のパラメータを登録するようにしても良い。
薬液用電磁弁64を間欠的に開弁させる時間間隔が液供
給可能容量とHF液と純水との比率に応じて登録されて
いる場合を一例として挙げたが、これに限らず、例えば
演算式に応じて時間間隔(HF液間欠時間)を演算する
ための他のパラメータを登録するようにしても良い。
【0035】図3(A)(B)は純水の供給時間とHF
液の間欠供給の時間間隔を示すタイミングチャートであ
る。図3(A)(B)に示されるように、例えば、1回
のHF液供給量が10mLの場合、200mLのHF液
を20回間欠供給することになり、純水を19800m
L供給するのに要する時間T(純水補充用エア駆動弁2
4の開弁時間)が5分間(300秒)とした場合、HF
液間欠時間tは300秒/20回=15秒間隔となる。
このHF液間欠時間t(薬液用電磁弁64の開弁間隔)
は、上記薬液用電磁弁64を開弁させるための時間間隔
である。また、薬液用電磁弁64の開弁時間taは、例
えば、1回のHF液供給量が10mLとなる時間に設定
されており、薬液用電磁弁64は開弁時間taが経過し
た時点で閉弁される。
液の間欠供給の時間間隔を示すタイミングチャートであ
る。図3(A)(B)に示されるように、例えば、1回
のHF液供給量が10mLの場合、200mLのHF液
を20回間欠供給することになり、純水を19800m
L供給するのに要する時間T(純水補充用エア駆動弁2
4の開弁時間)が5分間(300秒)とした場合、HF
液間欠時間tは300秒/20回=15秒間隔となる。
このHF液間欠時間t(薬液用電磁弁64の開弁間隔)
は、上記薬液用電磁弁64を開弁させるための時間間隔
である。また、薬液用電磁弁64の開弁時間taは、例
えば、1回のHF液供給量が10mLとなる時間に設定
されており、薬液用電磁弁64は開弁時間taが経過し
た時点で閉弁される。
【0036】このように、HF液を微少量ずつ間欠供給
することにより、HF補充用管路12cから補充される
HF液は、供給タンク13に純水が供給開始されてから
供給終了するまでの間、一定時間毎に一定量ずつ供給さ
れるため、供給タンク13においてHF液の濃度むらを
減らすことができる。
することにより、HF補充用管路12cから補充される
HF液は、供給タンク13に純水が供給開始されてから
供給終了するまでの間、一定時間毎に一定量ずつ供給さ
れるため、供給タンク13においてHF液の濃度むらを
減らすことができる。
【0037】ここで、制御部19が実行する制御処理に
ついて説明する。図4及び図5は制御部19で実行され
る薬液混合制御処理の手順を説明するためのフローチャ
ートである。
ついて説明する。図4及び図5は制御部19で実行され
る薬液混合制御処理の手順を説明するためのフローチャ
ートである。
【0038】図4に示されるように、制御部19は、混
合装置10の電源スイッチ(図示せず)がオンに操作さ
れると、ステップS11(以下「ステップ」を省略す
る)で係数設定器66により設定されたプリセット値
(本実施例では容量、混合比率)を読み込む。
合装置10の電源スイッチ(図示せず)がオンに操作さ
れると、ステップS11(以下「ステップ」を省略す
る)で係数設定器66により設定されたプリセット値
(本実施例では容量、混合比率)を読み込む。
【0039】S12では、純水供給量と薬液供給量を演
算する。例えば、供給タンク13の容量が20L(リッ
トル)で、HF:H2O=1:99の比率で混合する場
合、薬液供給量(HF液)が200mL、純水供給量が
19800mLとなる。
算する。例えば、供給タンク13の容量が20L(リッ
トル)で、HF:H2O=1:99の比率で混合する場
合、薬液供給量(HF液)が200mL、純水供給量が
19800mLとなる。
【0040】次のS13では、三方電磁弁18,27を
切替えてHF補充用エア駆動弁15及び純水補充用エア
駆動弁24及び薬液用電磁弁64を開弁させる。続い
て、S14に進み、HF計量用超音波渦流量計14及び
純水計量用超音波渦流量計23から出力される流量パル
スを計数して供給タンク13に供給されたHF液の積算
流量及び純水の積算流量を測定する。
切替えてHF補充用エア駆動弁15及び純水補充用エア
駆動弁24及び薬液用電磁弁64を開弁させる。続い
て、S14に進み、HF計量用超音波渦流量計14及び
純水計量用超音波渦流量計23から出力される流量パル
スを計数して供給タンク13に供給されたHF液の積算
流量及び純水の積算流量を測定する。
【0041】次のS15では、純水供給量が所定量(本
実施例では19800mL)に達したかどうかをチェッ
クする。S15において、純水供給量が所定量に達して
いないときはS16に進み、薬液供給量が所定量(本実
施例では200mL)に達したかどうかをチェックす
る。S16において、薬液供給量が所定量に達していな
いときはS14に戻り、HF液及び純水の流量計測を行
う。
実施例では19800mL)に達したかどうかをチェッ
クする。S15において、純水供給量が所定量に達して
いないときはS16に進み、薬液供給量が所定量(本実
施例では200mL)に達したかどうかをチェックす
る。S16において、薬液供給量が所定量に達していな
いときはS14に戻り、HF液及び純水の流量計測を行
う。
【0042】また、S15において、純水供給量が所定
量に達したときは、S17に進み、三方電磁弁27を切
替えて純水補充用エア駆動弁24を閉弁させて純水の供
給を停止させる。次のS18では、HF計量用超音波渦
流量計14から出力される流量パルスを計数して定量タ
ンク63に供給されたHF液の積算流量を測定する。続
いて、S19に進み、薬液供給量が所定量(本実施例で
は200mL)に達したかどうかをチェックする。S1
9において、薬液供給量が所定量に達していないとき
は、S18に戻り、HF液の流量計測を行う。
量に達したときは、S17に進み、三方電磁弁27を切
替えて純水補充用エア駆動弁24を閉弁させて純水の供
給を停止させる。次のS18では、HF計量用超音波渦
流量計14から出力される流量パルスを計数して定量タ
ンク63に供給されたHF液の積算流量を測定する。続
いて、S19に進み、薬液供給量が所定量(本実施例で
は200mL)に達したかどうかをチェックする。S1
9において、薬液供給量が所定量に達していないとき
は、S18に戻り、HF液の流量計測を行う。
【0043】また、S19において、薬液供給量が所定
量に達したときは、S20に進み、三方電磁弁18を切
替えてHF補充用エア駆動弁15及び薬液用電磁弁64
を閉弁させて薬液(HF液)の供給を停止させる。
量に達したときは、S20に進み、三方電磁弁18を切
替えてHF補充用エア駆動弁15及び薬液用電磁弁64
を閉弁させて薬液(HF液)の供給を停止させる。
【0044】また、上記S16において、薬液供給量が
所定量に達したときは、S21に進み、三方電磁弁18
を切替えてHF補充用エア駆動弁15及び薬液用電磁弁
64を閉弁させて薬液(HF液)の供給を停止させる。
続いて、S22に進み、純水計量用超音波渦流量計23
から出力される流量パルスを計数して供給タンク13に
供給された純水の積算流量を測定する。続いて、S23
に進み、純水供給量が所定量(本実施例では19800
mL)に達したかどうかをチェックする。S23におい
て、純水供給量が所定量に達していないときは、S22
に戻り、純水の流量計測を行う。
所定量に達したときは、S21に進み、三方電磁弁18
を切替えてHF補充用エア駆動弁15及び薬液用電磁弁
64を閉弁させて薬液(HF液)の供給を停止させる。
続いて、S22に進み、純水計量用超音波渦流量計23
から出力される流量パルスを計数して供給タンク13に
供給された純水の積算流量を測定する。続いて、S23
に進み、純水供給量が所定量(本実施例では19800
mL)に達したかどうかをチェックする。S23におい
て、純水供給量が所定量に達していないときは、S22
に戻り、純水の流量計測を行う。
【0045】また、S23において、純水供給量が所定
量に達したときは、S24に進み、三方電磁弁27を切
替えて純水補充用エア駆動弁24を閉弁させて純水の供
給を停止させる。
量に達したときは、S24に進み、三方電磁弁27を切
替えて純水補充用エア駆動弁24を閉弁させて純水の供
給を停止させる。
【0046】次のS25では、三方電磁弁18,27を
作動停止状態にセットする。続いて、S26に進み、薬
液供給ポンプ33が起動され、供給タンク13の底部か
ら吐出された混合液が攪拌用リターン管路52を介して
供給タンク13の上部へ還流されることにより供給タン
ク13内の混合液を攪拌して濃度を均一化する。
作動停止状態にセットする。続いて、S26に進み、薬
液供給ポンプ33が起動され、供給タンク13の底部か
ら吐出された混合液が攪拌用リターン管路52を介して
供給タンク13の上部へ還流されることにより供給タン
ク13内の混合液を攪拌して濃度を均一化する。
【0047】S27では、薬液供給ポンプ33による攪
拌が開始されてから予め設定された所定時間が経過する
と、S28に進み、薬液供給用電磁弁35を開弁させて
半導体製造装置45への送液を開始する。このように、
混合装置10を起動させた場合の初回の薬液生成処理
は、上記S12で求められた薬液供給量(200m
L)、純水供給量(19800mL)を供給タンク13
に一括供給して攪拌することにより、目的の混合比で混
合された純水と薬液(HF液)との混合液を短時間で生
成できる。
拌が開始されてから予め設定された所定時間が経過する
と、S28に進み、薬液供給用電磁弁35を開弁させて
半導体製造装置45への送液を開始する。このように、
混合装置10を起動させた場合の初回の薬液生成処理
は、上記S12で求められた薬液供給量(200m
L)、純水供給量(19800mL)を供給タンク13
に一括供給して攪拌することにより、目的の混合比で混
合された純水と薬液(HF液)との混合液を短時間で生
成できる。
【0048】次のS29では、2回目以降の薬液生成処
理を行う場合、すなわち、第2液面センサ37が供給タ
ンク13内の薬液が補充要求位置まで低下したことを検
出すると、図5に示すS30で、係数設定器66により
設定されたプリセット値(本実施例では容量、混合比
率)を読み込む。
理を行う場合、すなわち、第2液面センサ37が供給タ
ンク13内の薬液が補充要求位置まで低下したことを検
出すると、図5に示すS30で、係数設定器66により
設定されたプリセット値(本実施例では容量、混合比
率)を読み込む。
【0049】S31では、純水供給量と薬液供給量を演
算する。例えば、供給タンク13の容量が20L(リッ
トル)で、HF:H2O=1:99の比率で混合する場
合、薬液供給量(HF液)が200mL、純水供給量が
19800mLとなる。
算する。例えば、供給タンク13の容量が20L(リッ
トル)で、HF:H2O=1:99の比率で混合する場
合、薬液供給量(HF液)が200mL、純水供給量が
19800mLとなる。
【0050】次のS32では、係数設定器66により設
定されたプリセット値(本実施例では容量、混合比率)
に応じた薬液用電磁弁64の作動周期(開弁時間間隔)
をメモリ65に登録されたデータベース65a(図2参
照)から読み込む。
定されたプリセット値(本実施例では容量、混合比率)
に応じた薬液用電磁弁64の作動周期(開弁時間間隔)
をメモリ65に登録されたデータベース65a(図2参
照)から読み込む。
【0051】次のS33では、三方電磁弁18,27を
切替えてHF補充用エア駆動弁15及び純水補充用エア
駆動弁24を開弁させて薬液(HF液)を定量タンク6
3に供給すると共に、供給タンク13へ純水を供給す
る。続いて、S34では、薬液用電磁弁64を上記S3
1で得られた作動周期(開弁時間間隔)で間欠的に開弁
させる(図3参照)。
切替えてHF補充用エア駆動弁15及び純水補充用エア
駆動弁24を開弁させて薬液(HF液)を定量タンク6
3に供給すると共に、供給タンク13へ純水を供給す
る。続いて、S34では、薬液用電磁弁64を上記S3
1で得られた作動周期(開弁時間間隔)で間欠的に開弁
させる(図3参照)。
【0052】定量タンク63に貯留された薬液(HF
液)は、窒素ガス供給路60から供給された窒素ガスに
より加圧されているので、薬液用電磁弁64が開弁した
とき、瞬間的に一定量(例えば、10mL)の薬液(H
F液)が供給タンク13に噴射される。
液)は、窒素ガス供給路60から供給された窒素ガスに
より加圧されているので、薬液用電磁弁64が開弁した
とき、瞬間的に一定量(例えば、10mL)の薬液(H
F液)が供給タンク13に噴射される。
【0053】そして、S35に進み、HF計量用超音波
渦流量計14から出力される流量パルスを計数して定量
タンク63に供給されるHF液の積算流量及び、純水計
量用超音波渦流量計23から出力される流量パルスを計
数して供給タンク13に供給される純水の積算流量を測
定する。
渦流量計14から出力される流量パルスを計数して定量
タンク63に供給されるHF液の積算流量及び、純水計
量用超音波渦流量計23から出力される流量パルスを計
数して供給タンク13に供給される純水の積算流量を測
定する。
【0054】次のS36では、薬液供給量が所定量(本
実施例では200mL)に達したかどうかをチェックす
る。S36において、薬液供給量が所定量に達していな
いときはS35に戻り、HF液及び純水の流量計測を行
う。
実施例では200mL)に達したかどうかをチェックす
る。S36において、薬液供給量が所定量に達していな
いときはS35に戻り、HF液及び純水の流量計測を行
う。
【0055】また、S36において、薬液供給量が所定
量に達したときは、S37に進み、三方電磁弁18を切
替えて薬液補充用エア駆動弁15を閉弁させて純水の供
給を停止させる。これで、定量タンク63には、所定量
(本実施例では200mL)の薬液(HF液)が貯留さ
れる。
量に達したときは、S37に進み、三方電磁弁18を切
替えて薬液補充用エア駆動弁15を閉弁させて純水の供
給を停止させる。これで、定量タンク63には、所定量
(本実施例では200mL)の薬液(HF液)が貯留さ
れる。
【0056】次のS38では、純水計量用超音波渦流量
計23から出力される流量パルスを計数して供給タンク
13に供給された純水の積算流量を測定する。続いて、
S39に進み、純水供給量が所定量(本実施例では19
800mL)に達したかどうかをチェックする。S39
において、純水供給量が所定量に達していないときは、
S38に戻り、純水の流量計測を行う。
計23から出力される流量パルスを計数して供給タンク
13に供給された純水の積算流量を測定する。続いて、
S39に進み、純水供給量が所定量(本実施例では19
800mL)に達したかどうかをチェックする。S39
において、純水供給量が所定量に達していないときは、
S38に戻り、純水の流量計測を行う。
【0057】また、S39において、純水供給量が所定
量に達したときは、S40に進み、三方電磁弁27を切
替えて純水補充用エア駆動弁24及び薬液用電磁弁64
を同時に閉弁させて純水及び薬液(HF液)の供給を停
止させる。これにより、薬液用電磁弁64の所定時間間
隔t毎の開弁動作が終了して定量タンク63に一時的に
貯留された所定量(本実施例では200mL)の薬液
(HF液)が純水の供給時間Tに対して10mLずつ2
0回に分けた間欠供給が終了する。
量に達したときは、S40に進み、三方電磁弁27を切
替えて純水補充用エア駆動弁24及び薬液用電磁弁64
を同時に閉弁させて純水及び薬液(HF液)の供給を停
止させる。これにより、薬液用電磁弁64の所定時間間
隔t毎の開弁動作が終了して定量タンク63に一時的に
貯留された所定量(本実施例では200mL)の薬液
(HF液)が純水の供給時間Tに対して10mLずつ2
0回に分けた間欠供給が終了する。
【0058】次のS41では、連続運転を行うかどうか
をチェックする。S41において、連続運転する場合に
は、上記S29に戻り、S29以降の処理を繰り返す。
また、S41において、連続運転しない場合には、S4
2に進み、薬液供給ポンプ33を停止させると共に、薬
液供給用電磁弁35を閉弁させて今回の処理を中止す
る。
をチェックする。S41において、連続運転する場合に
は、上記S29に戻り、S29以降の処理を繰り返す。
また、S41において、連続運転しない場合には、S4
2に進み、薬液供給ポンプ33を停止させると共に、薬
液供給用電磁弁35を閉弁させて今回の処理を中止す
る。
【0059】このように、例えば、1:99の比率で2
液を混合する場合に、一方の供給量が微少となる薬液を
他方の多量に供給される液が供給されている時間内に間
欠供給するため、供給タンク13内の濃度むらをできる
だけ減らして均一な混合液を短時間で生成することが可
能になる。
液を混合する場合に、一方の供給量が微少となる薬液を
他方の多量に供給される液が供給されている時間内に間
欠供給するため、供給タンク13内の濃度むらをできる
だけ減らして均一な混合液を短時間で生成することが可
能になる。
【0060】尚、本実施の形態では、フッ化水素酸と純
水とを所定の割合で混合させる場合を一例として挙げた
が、他の薬液を混合する場合にも本発明が適用できるの
は勿論である。
水とを所定の割合で混合させる場合を一例として挙げた
が、他の薬液を混合する場合にも本発明が適用できるの
は勿論である。
【0061】また、本実施の形態では、フッ化水素酸と
純水との2種類の液体を混合する場合を一例として説明
したが、成分が異なる2種以上の液体を混合させる場合
にも本発明が適用できるのは勿論である。
純水との2種類の液体を混合する場合を一例として説明
したが、成分が異なる2種以上の液体を混合させる場合
にも本発明が適用できるのは勿論である。
【0062】
【発明の効果】上述の如く、請求項1記載の発明によれ
ば、第2の液体供給手段と前記供給タンクとの間に設け
られた開閉弁と、第2の液体供給手段の供給量を供給タ
ンクに供給するための所要時間が、第1の液体の前記供
給タンクへの供給量を第1の供給手段により供給するた
めの所要時間と一致するように開閉弁を所定周期で開閉
制御する弁制御手段と、を備えてなるものであり、供給
タンクで混合された液の濃度ムラをできるだけ小さくし
て均一に混合された液体を短時間で安定供給することが
できる。
ば、第2の液体供給手段と前記供給タンクとの間に設け
られた開閉弁と、第2の液体供給手段の供給量を供給タ
ンクに供給するための所要時間が、第1の液体の前記供
給タンクへの供給量を第1の供給手段により供給するた
めの所要時間と一致するように開閉弁を所定周期で開閉
制御する弁制御手段と、を備えてなるものであり、供給
タンクで混合された液の濃度ムラをできるだけ小さくし
て均一に混合された液体を短時間で安定供給することが
できる。
【0063】また、請求項2記載の発明によれば、第2
の液体供給手段と開閉弁との間に設けられ、第2の液体
を一定量貯留する定量タンクと、定量タンク内に所定の
圧力の気体を供給する加圧手段と、を備えており、開閉
弁が開弁されたとき第2の液体を瞬間的に供給タンクへ
供給することができる。
の液体供給手段と開閉弁との間に設けられ、第2の液体
を一定量貯留する定量タンクと、定量タンク内に所定の
圧力の気体を供給する加圧手段と、を備えており、開閉
弁が開弁されたとき第2の液体を瞬間的に供給タンクへ
供給することができる。
【図1】本発明になる混合装置の一実施例の概略構成を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図2】データベース65aの一例を模式的に示す図で
ある。
ある。
【図3】純水の供給時間とHF液の間欠供給の時間間隔
を示すタイミングチャートである。
を示すタイミングチャートである。
【図4】制御部19で実行される薬液混合制御処理の手
順を説明するためのフローチャートである。
順を説明するためのフローチャートである。
【図5】図4に示す処理に続いて実行される薬液混合制
御処理の手順を説明するためのフローチャートである。
御処理の手順を説明するためのフローチャートである。
10 混合装置 11 HFタンク 12 HF供給路 13 供給タンク 14 HF計量用超音波渦流量計 15 HF供給用エア駆動弁 19 制御部 21 純水製造装置 22 純水供給路 23 純水計量用超音波渦流量計 24 純水供給用エア駆動弁 33 薬液供給ポンプ 34 供給管路 36 第1液面センサ 37 第2液面センサ 35 薬液供給用電磁弁 45 半導体製造装置 52 攪拌用リターン管路 59 回収管路 60 窒素ガス供給路 61 減圧弁 63 定量タンク 64 薬液用電磁弁 65 メモリ 65a データベース 65b 制御プログラム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3E083 AE13 AH03 4G035 AB36 4G037 BA01 BB06 BC01 BD02 BE02
Claims (2)
- 【請求項1】 供給タンクと、 前記供給タンクに第1の液体を供給する第1の液体供給
手段と、 前記供給タンクに第2の液体を供給する第2の液体供給
手段と、 からなる混合装置において、 前記第2の液体供給手段と前記供給タンクとの間に設け
られた開閉弁と、 前記第2の液体供給手段の供給量を前記供給タンクに供
給するための所要時間が、前記第1の液体の前記供給タ
ンクへの供給量を前記第1の供給手段により供給するた
めの所要時間と一致するように前記開閉弁を所定周期で
開閉制御する弁制御手段と、 を備えてなることを特徴とする混合装置。 - 【請求項2】 前記第2の液体供給手段と前記開閉弁と
の間に設けられ、前記第2の液体を一定量貯留する定量
タンクと、 該定量タンク内に所定の圧力の気体を供給する加圧手段
と、 を備えてなることを特徴とする請求項1記載の混合装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001091133A JP2002282672A (ja) | 2001-03-27 | 2001-03-27 | 混合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001091133A JP2002282672A (ja) | 2001-03-27 | 2001-03-27 | 混合装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002282672A true JP2002282672A (ja) | 2002-10-02 |
Family
ID=18945811
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001091133A Pending JP2002282672A (ja) | 2001-03-27 | 2001-03-27 | 混合装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002282672A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007168862A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Cosmo Oil Co Ltd | 燃料給油装置及び燃料給油プログラム |
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