JP2003154243A

JP2003154243A - 混合装置

Info

Publication number: JP2003154243A
Application number: JP2001358240A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Tsunokake; 泰洋角掛; Kazumasa Kawasaki; 一政川嵜
Original assignee: Tokico Ltd
Current assignee: Tokico Ltd
Priority date: 2001-11-22
Filing date: 2001-11-22
Publication date: 2003-05-27

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は２種以上の流体を所定の比率で均一
に混合させることを課題とする。【解決手段】混合装置１０は、薬液供給経路１２を介
して供給された５０％フッ化水素酸（薬液）と、純水供
給経路１４を介して供給された純水とを混合ノズル１６
で混合するように構成されている。混合装置１０は、流
体供給開始時、混合比率の高い方の流体（純水）を供給
する流量調整弁５０を開弁させた後、混合比率の低い方
の流体（薬液）を供給するための開閉弁３０及び４４を
開弁させ、且つ、流体供給停止時、混合比率の低い方の
流体（薬液）を供給する開閉弁３０及び４４を閉弁させ
た後、混合比率の高い方の流体（純水）を供給する流量
調整弁５０を閉弁させるため、混合ノズル１６から吐出
される純水と薬液とが混合された液の濃度が規定以下に
低下することがなく、所定濃度の液を安定供給すること
が可能になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば成分の異な
る複数の薬液を混合することで半導体や液晶などフラッ
トパネルディスプレイ製造プロセスに使用される混合液
を供給する混合装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】以下、２種類の液体を混合するための混
合装置として純水と薬液とを混合する混合装置を例に挙
げて説明する。

【０００３】従来、成分の異なる２種類の薬液を混合す
る混合装置では、薬液の原液を計量槽で一定量にはかり
採り、その後、計量した薬液を調合槽へ投下して混合し
た後、純水で所定濃度まで希釈し、その後調合・希釈し
た薬液を貯留槽へ投下し、所定の温度まで加熱して半導
体製造装置へ供給されるように構成されている。

【０００４】この方式の混合装置では、薬液の計量及び
純水での希釈量は、各槽内の液面高さを計測（検出）し
て管理している。

【０００５】また、薬液と純水とを夫々供給する供給管
路に夫々の流量を測定する流量計を設け、流量計を用い
て流量を計測しながら流量調整弁の弁開度を制御して薬
液と純水との混合比を調節することも考えられている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成とされた従来の混合装置では、計量槽や調合
槽、供給タンク等のタンク数が多く、且つ各タンク容量
も大きいので、装置の小型化を図ることが難しかった。

【０００７】また、薬液の秤量、及び希釈に用いる純水
の秤量、及び貯留槽への薬液補給の要求の検出には、液
面センサを用いるため、槽内で液が発泡したり液面が波
立ったりすると、液面センサが誤作動して薬液が所定濃
度の混合比で調合できなくなる。しかも、各槽に設けら
れる液面センサは、高価であるので、装置の製造コスト
を安価にすることが難しかった。

【０００８】また、前述した流量調整弁の弁開度を制御
する装置では、薬液と純水との混合比が例えば１：９９
の場合、生成される混合液の液量が２０Ｌ（リットル）
とすると、薬液の供給量が２００ｍＬ（ミリリットル）
であるのに対し、純水の供給量が１９８００ｍＬとな
る。このように２液の混合比が大きく相違する場合に
は、例えば、流量計を用いて流量を計測しながら流量調
整弁の弁開度を制御して薬液を微少流量で供給されるよ
うに流量調整することが難しく、一定の比率に混合され
た液の混合比が安定しなかった。

【０００９】また、薬液の流量を微少流量に調整しなが
ら純水に混合する場合、濃厚な薬液（原液）を供給タン
クへ投下すると、予め供給タンク内に貯溜されていた薬
液と十分に混合せず、濃厚な原液が拡散しないまま供給
タンク内の薬液へ落下してしまうため、できるだけ薬液
を少量ずつ供給しなければならないが、純水の供給量に
対して薬液の供給が早くなると、一定の濃度が得られ
ず、高濃度の薬液が供給されてしまうおそれがある。

【００１０】そこで、本発明は上記課題を解決した混合
装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項１
記載の発明は、異なる種類の流体を個別に供給する複数
の流体供給経路と、複数の流体供給経路に配された複数
の開閉弁と、複数の流体供給経路の下流端部が合流し、
複数種の流体が混合されて供給される混合経路と、流体
供給開始時、複数種の流体のうち、混合比率の高い方の
流体を供給する流体供給経路に配された開閉弁を順次開
弁させ、且つ、流体供給停止時、混合比率の低い方の流
体を供給する流体供給経路に配された開閉弁を順次閉弁
させる制御手段と、を備えたものであり、異なる種類の
流体の混合開始及び混合終了のときの濃度の変動を抑え
ることができ、混合された流体が濃度の薄い状態になる
ことを防止して所定比率の流体を安定供給できると共
に、構成の簡略化及び小型化が図れる。

【００１２】また、請求項２記載の発明は、第１の流体
を供給する第１の流体供給経路と、第１の流体供給経路
に配された第１の開閉弁と、第２の流体を供給する第２
の液体供給経路と、第２の流体供給経路に配された第２
の開閉弁と、第１の流体供給経路の下流端部と第２の流
体供給経路の下流端部とが合流し、第１の流体と第２の
流体とが混合されて供給される混合経路と、流体供給開
始時、第１の流体と第２の流体とのうち、混合比率の高
い方の流体を供給する流体供給経路に配された開閉弁を
開弁させた後、混合比率の低い方の流体を供給する流体
供給経路に配された開閉弁を開弁させ、且つ、流体供給
停止時、混合比率の低い方の流体を供給する流体供給経
路に配された開閉弁を閉弁させた後、混合比率の高い方
の流体を供給する流体供給経路に配された開閉弁を閉弁
させる制御手段と、を備えたものであり、異なる種類の
流体の混合開始及び混合終了のときの濃度の変動を抑え
ることができ、混合された流体が濃度の薄い状態になる
ことを防止して所定比率の流体を安定供給できると共
に、構成の簡略化及び小型化が図れる。

【００１３】また、請求項３記載の発明は、制御手段
が、混合比率の高い流体の開閉弁が閉弁されているか否
かを検出するための開弁検出手段と、開弁検出手段によ
り開弁が検出された場合に混合比率の低い流体の開閉弁
を開弁させる開弁制御手段と、混合比率の低い流体の開
閉弁が閉弁されているか否かを検出するための閉弁検出
手段と、閉弁検出手段により閉弁が検出された場合に混
合比率の高い流体の開閉弁を閉弁させる閉弁制御手段
と、を備えたものであり、異なる種類の流体の混合開始
及び混合終了のときの濃度の変動を抑えることができ、
混合された流体が濃度の薄い状態になることを防止して
所定比率の流体を安定供給できると共に、構成の簡略化
及び小型化が図れる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明の実施の
形態について説明する。図１は本発明になる混合装置の
一実施例の概略構成を示す構成図である。図１に示され
るように、混合装置１０は、例えば、薬液供給経路（第
１の流体供給経路）１２を介して供給された５０％フッ
化水素酸（薬液）と、純水供給経路（第２の流体供給経
路）１４を介して供給された純水とを混合ノズル１６で
混合して半導体製造ラインのウエハ（図示せず）に供給
するように構成されている。尚、フッ化水素酸は、フッ
化水素（hydrogen fluoride）の水溶液であり、以下
「薬液（ＨＦ液）」と記す。

【００１５】第１の流体供給経路１２は、薬液供給ライ
ンであり、薬液供給管路１８と、窒素ガス供給管路２０
とが貯留槽２２の上部に接続され、貯留槽２２の底部よ
り引き出された薬液吐出管路２４が混合ノズル１６に連
通されている。また、薬液吐出管路２４には、エア駆動
式の開閉弁４４が配設されている。

【００１６】また、窒素ガス供給管路２０には、薬液供
給圧力を所定圧力に減圧する減圧弁２６、窒素ガス中の
微粒子を除去するガスフィルタ２８、窒素ガスの供給の
開始または停止を行うエア駆動式の開閉弁３０が配設さ
れている。また、薬液供給管路１８には、薬液の流量を
計測する超音波式渦流量計３２、薬液の供給量を制御す
るエア駆動式の開閉弁３４が配設されている。尚、超音
波式渦流量計３２で計測された流量計測値は、制御回路
４０に入力されており、制御回路４０は、この流量計測
値に基づいて開閉弁３４の弁開度を制御する。

【００１７】貯留槽２２は、薬液供給管路１８から供給
された薬液（ＨＦ液）を一時的に貯留することで薬液
（ＨＦ液）を安定供給するものである。また、貯留槽２
２の上部には、圧力を測定する圧力センサ３８が設けら
れている。

【００１８】圧力センサ３８からの検出信号は、制御回
路４０に入力されており、制御回路４０によって貯留槽
２２の圧力が管理されている。また、薬液吐出管路２４
には、エア駆動式の開閉弁４４が配されており、開閉弁
４４は制御回路４０からの制御信号により開弁または閉
弁する。

【００１９】また、第２の流体供給経路１４は、純水供
給ラインであり、純水供給管路４５に純水の温度を所定
温度に調整する温度調整ユニット４６と、純水の流量を
計測する流量計４８と、純水の供給量を調整する流量調
整弁５０が配設されている。流量計４８で計測された流
量計測値は、制御回路４０に入力されており、制御回路
４０は、この流量計測値に基づいて流量調整弁５０の弁
開度を制御する。

【００２０】また、上記薬液供給管路１８及び純水供給
管路４５は、ハーフロロアルコキシ共重合体（ＰＦＡ樹
脂）、あるいはポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ樹脂）
などの不純物の溶出や微粒子の発生が極めて少ない材質
により形成されている。

【００２１】また、制御回路４０のメモリには、流体供
給開始時、混合比率の高い方の流体（純水）を供給する
純水供給管路４５に配された流量調整弁５０を開弁させ
た後、混合比率の低い方の流体（薬液）を供給する薬液
吐出管路２４に配された開閉弁３０及び４４を開弁さ
せ、且つ、流体供給停止時、混合比率の低い方の流体
（薬液）を供給する薬液吐出管路２４に配された開閉弁
３０及び４４を閉弁させた後、混合比率の高い方の流体
（純水）を供給する純水供給管路４５に配された流量調
整弁５０を閉弁させる制御プログラム（制御手段）が格
納されている。

【００２２】図２は混合ノズル１６の構成を拡大して示
す縦断面図である。図２に示されるように、混合ノズル
１６は、円錐形状に形成されたノズル本体５２と、ノズ
ル本体５２を貫通するノズル流路５４と、ノズル流路５
４に対して角度α傾斜した方向から斜めに交差したニー
ドルパイプ５６とから構成されている。

【００２３】ノズル流路５４の入口５４ａには、純水供
給管路４５が連通されており、ノズル流路５４の吐出口
５４ｂは、薬液と純水が所定の比率で混合された液を吐
出する。また、ニードルパイプ５６の入口５６ａには、
薬液吐出管路２４が連通されている。そして、ニードル
パイプ５６の先端に形成された吐出口５６ｂがノズル流
路５４の中心にまで延在し、且つ吐出方向へ向けて曲げ
られている。

【００２４】従って、貯留槽２２に供給された薬液は、
窒素ガスの圧力によりニードルパイプ５６からノズル流
路５４の中心に吐出される。このとき、薬液は、微少流
量で吐出されるが、ノズル流路５４を流れる純水の中に
吐出されるため、液滴にならず、周囲を流れる純水と均
一性を維持しながら所定の比率で混合される。また、ニ
ードルパイプ５６は、薬液の供給量が微少量であるの
で、小径なパイプにより形成されており、且つ先端部分
が絞られている。そして、ニードルパイプ５６からノズ
ル流路５４の中心に吐出された薬液は、ノズル流路５４
を流れる過程で周囲の純水の流れと混合されて半導体製
造ラインのウエハ（図示せず）に供給される。

【００２５】尚、ノズル本体５２は、耐薬品性に優れた
４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）により成形されてお
り、流体中に不純物が溶出しにくい構成になっている。

【００２６】図３は制御回路４０が実行する制御処理を
示すフローチャートである。図３に示されるように、制
御回路４０は、ステップＳ１１（以下「ステップ」を省
略する）において、電源スイッチ（図示せず）がオンに
操作されると、Ｓ１２に進み、薬液供給管路１８の開閉
弁３４を開弁させてＨＦ液の原液を貯留槽２２に供給す
る。次のＳ１３では、超音波式渦流量計３２により計測
された薬液（ＨＦ液）の流量値が予め設定された所定値
（目標値）に達したかどうかをチェックする。Ｓ１３に
おいて、超音波式渦流量計３２により計測された流量値
が予め設定された所定値に達するまで貯留槽２２への薬
液供給が続く。そして、Ｓ１３において、超音波式渦流
量計３２により計測された流量値が予め設定された所定
値に達した時点でＳ１４に進み、開閉弁３４を閉弁させ
る。

【００２７】続いて、Ｓ１５では、上位の処理装置から
供給要求信号が発信されたかどうかをチェックしてお
り、供給要求信号が発信されると共に、Ｓ１６に進み、
混合比率の高い方の流体（純水）を供給する純水供給管
路４５に配された流量調整弁５０を先に開弁させる。続
いて、Ｓ１７では、流量計４８により計測された流量値
に基づいて流量調整弁５０の弁開度を調整する。

【００２８】次のＳ１８では、流量計４８により計測さ
れた流量値（瞬時流量）が所定値かどうかをチェックす
る。Ｓ１８において、流量計４８により計測された流量
値（瞬時流量）が所定値でないときは、Ｓ１７に戻り、
流量調整弁５０の弁開度を調整する。また、Ｓ１８にお
いて、流量計４８により計測された流量値（瞬時流量）
が所定値に達したときは、Ｓ１９に進み、混合比率の低
い方の流体（薬液）を供給するための開閉弁３０及び４
４を開弁させて窒素ガスを貯留槽２２へ供給してガス圧
で貯留槽２２の薬液を混合ノズル１６へ供給する。

【００２９】続いて、Ｓ２０に進み、圧力センサ３８に
より測定された貯留槽２２の圧力がしきい値（圧力上限
値）以下かどうかをチェックする。Ｓ２０において、圧
力センサ３８により測定された貯留槽２２の圧力がしき
い値（圧力上限値）以下のときは、上記Ｓ１９の処理を
繰り返すことで貯留槽２２への窒素ガス供給を継続す
る。

【００３０】また、Ｓ２０において、圧力センサ３８に
より測定された貯留槽２２の圧力がしきい値（圧力上限
値）を越えたときは、Ｓ２１に進み、混合比率の低い方
の流体（純水）を供給するための開閉弁３０及び４４を
先に閉弁させて窒素ガスの供給を停止させて、混合ノズ
ル１６への薬液供給を停止させる。その後、Ｓ２２で混
合比率の高い方の流体（純水）を供給する純水供給管路
４５の流量調整弁５０を閉弁させて混合ノズル１６への
純水供給を停止させる。

【００３１】次のＳ２３において、電源スイッチがオン
であるときは、上記Ｓ１２に戻り、Ｓ１２以降の処理を
繰り返す。すなわち、貯留槽２２へ所定量の薬液を注入
して上位コンピュータからの供給要求信号が入力される
のを待つ。そして、供給要求信号が入力されると、上記
Ｓ１６〜Ｓ２２の処理手順で一定の比率で混合された液
体を混合ノズル１６から吐出させる。

【００３２】このように、本実施例では、流体供給開始
時、混合比率の高い方の流体（純水）を供給する流量調
整弁５０を開弁させた後、混合比率の低い方の流体（薬
液）を供給するための開閉弁３０及び４４を開弁させ、
且つ、流体供給停止時、混合比率の低い方の流体（薬
液）を供給する開閉弁３０及び４４を閉弁させた後、混
合比率の高い方の流体（純水）を供給する流量調整弁５
０を閉弁させるため、混合ノズル１６から吐出される純
水と薬液とが混合された液の濃度が規定以下に低下する
ことがなく、所定濃度の液を安定供給することが可能に
なる。従って、本実施例では、異なる種類の流体の混合
開始及び混合終了のときの濃度の変動を抑えることが可
能となる。

【００３３】さらに、本実施例では、従来の装置のよう
に、計量槽や調合槽、供給タンク等のタンクを削減して
装置の小型化を図ることが可能になる。

【００３４】また、従来のように薬液の秤量、及び希釈
に用いる純水の秤量、及び貯留槽への薬液補給の要求の
検出すのに、液面センサを用いないため、液面センサの
誤作動による影響がなくなり、且つ液面センサを使用し
ないので、その分、装置の製造コストを安価にすること
ができる。

【００３５】図４は変形例の構成を示す構成図である。
尚、図４において、上記図１と同一部分には、同一符号
を付してその説明を省略する。

【００３６】図４に示されるように、変形例の混合装置
６０では、窒素ガス供給管路２０に減圧弁２６、ガスフ
ィルタ２８、エア駆動式の開閉弁３０の他に質量流量計
（マスコントローラ）６２が配設されている。

【００３７】また、貯留槽２２の上部には、ガス抜きの
ためのエア駆動式の逃がし弁６４と、圧力を測定する圧
力センサ３８とが設けられている。尚、逃がし弁６４
は、薬液の注入時に開弁されて貯留槽２２の内部に残留
した窒素ガスを外部へ排気することで薬液注入時の負荷
を軽減して薬液注入時間を短縮できる。

【００３８】また、混合ノズル１６の吐出口５４ｂに
は、内部に撹拌機能を有するインラインミキサ６６が取
り付けられており、純水と薬液との混合液は混合ノズル
１６のノズル流路５４からインラインミキサ６６に流入
して吐出される過程で混合され、且つインラインミキサ
６６において、微少量の薬液がほぼ均一の濃度に撹拌さ
れる。

【００３９】図５は変形例の制御回路４０が実行する制
御処理を示すフローチャートである。図５に示されるよ
うに、制御回路４０は、制御回路４０は、Ｓ３１におい
て、電源スイッチ（図示せず）がオンに操作されると、
Ｓ３２に進み、薬液供給管路１８の開閉弁３４及び逃が
し弁６４を開弁させてＨＦ液の原液を貯留槽２２に供給
する。このように、薬液を貯留槽２２に供給するとき
は、開閉弁３４及び逃がし弁６４を開弁させることで、
貯留槽２２の圧力が大気圧に減圧されるため、薬液の供
給による液面上昇に伴う圧力上昇が回避され、その分薬
液の注入負荷が減少するため、短時間で所定量の薬液を
貯留槽２２に供給することが可能になる。

【００４０】次のＳ３３では、超音波式渦流量計３２に
より計測された薬液（ＨＦ液）の流量値が予め設定され
た所定値（目標値）に達したかどうかをチェックする。
Ｓ３３において、超音波式渦流量計３２により計測され
た流量値が予め設定された所定値に達するまで貯留槽２
２への薬液供給が続く。そして、Ｓ３３において、超音
波式渦流量計３２により計測された流量値が予め設定さ
れた所定値に達した時点でＳ３４に進み、開閉弁３４及
び逃がし弁６４を閉弁させる。

【００４１】続いて、Ｓ３５では、上位の処理装置から
供給要求信号が発信されたかどうかをチェックしてお
り、供給要求信号が発信されると共に、Ｓ３６に進み、
混合比率の高い方の流体（純水）を供給する純水供給管
路４５に配された流量調整弁５０を先に開弁させる。続
いて、Ｓ３７では、流量計４８により計測された流量値
に基づいて流量調整弁５０の弁開度を調整する。

【００４２】次のＳ３８では、流量計４８により計測さ
れた流量値（瞬時流量）が所定値かどうかをチェックす
る。Ｓ３８において、流量計４８により計測された流量
値（瞬時流量）が所定値でないときは、Ｓ３７に戻り、
流量調整弁５０の弁開度を調整する。また、Ｓ３８にお
いて、流量計４８により計測された流量値（瞬時流量）
が所定値に達したときは、Ｓ３９に進み、混合比率の低
い方の流体（薬液）を供給するための開閉弁３０及び４
４を開弁させて窒素ガスを貯留槽２２へ供給してガス圧
で貯留槽２２の薬液を混合ノズル１６へ供給する。

【００４３】また、混合ノズル１６の吐出口５４ｂに
は、インラインミキサ６６が設けられているので、混合
ノズル１６で混合された純水と薬液は、インラインミキ
サ６６を通過する過程で均一の濃度に撹拌される。

【００４４】続いて、Ｓ４０に進み、圧力センサ３８に
より測定された貯留槽２２の圧力がしきい値（圧力上限
値）以下かどうかをチェックする。Ｓ４０において、圧
力センサ３８により測定された貯留槽２２の圧力がしき
い値（圧力上限値）以下のときは、上記Ｓ３９の処理を
繰り返すことで貯留槽２２への窒素ガス供給を継続す
る。

【００４５】また、Ｓ４０において、圧力センサ３８に
より測定された貯留槽２２の圧力がしきい値（圧力上限
値）を越えたときは、Ｓ４１に進み、混合比率の低い方
の流体（純水）を供給するための開閉弁３０及び４４を
先に閉弁させて窒素ガスの供給を停止させて、混合ノズ
ル１６への薬液供給を停止させる。その後、Ｓ４２で混
合比率の高い方の流体（純水）を供給する純水供給管路
４５の流量調整弁５０を閉弁させて混合ノズル１６への
純水供給を停止させる。これにより、異なる種類の流体
の混合開始及び混合終了のときの濃度の変動を抑えるこ
とが可能となる。

【００４６】次のＳ４３において、電源スイッチがオン
であるときは、上記Ｓ３２に戻り、Ｓ３２以降の処理を
繰り返す。すなわち、貯留槽２２へ所定量の薬液を注入
して上位の処理装置から供給要求信号が発信されるのを
待つ。そして、供給要求信号が発信されると、上記Ｓ３
６〜Ｓ４２の処理手順で一定の比率で混合された液体を
混合ノズル１６から吐出させる。

【００４７】尚、本実施の形態では、２種類の流体を混
合ノズル１６で混合するよう構成された装置を一例とし
て挙げたが、これに限らず、例えば、２種類の流体をタ
ンク内で混合し、撹拌して供給するように構成された混
合装置にも本発明が適用できるのは勿論である。また、
２種類の流体をタンク内で混合し、撹拌する場合、タン
クに供給される２種類の流体の供給の開始、終了のタイ
ミングをずらすことでタンク内での撹拌時間を短縮する
ことが可能になる。

【００４８】また、本実施の形態では、フッ化水素酸と
純水とを所定の割合で混合させる場合を一例として挙げ
たが、他の薬液を混合する場合にも本発明が適用できる
のは勿論である。

【００４９】また、本実施の形態では、フッ化水素酸と
純水との２種類の液体を混合する場合を一例として説明
したが、成分が異なる２種以上の流体を混合させる場合
にも本発明が適用できるのは勿論である。

【００５０】

【発明の効果】上述の如く、請求項１記載の発明によれ
ば、異なる種類の流体を個別に供給する複数の流体供給
経路と、複数の流体供給経路に配された複数の開閉弁
と、複数の流体供給経路の下流端部が合流し、複数種の
流体が混合されて供給される混合経路と、流体供給開始
時、複数種の流体のうち、混合比率の高い方の流体を供
給する流体供給経路に配された開閉弁を順次開弁させ、
且つ、流体供給停止時、混合比率の低い方の流体を供給
する流体供給経路に配された開閉弁を順次閉弁させる制
御手段と、を備えたため、異なる種類の流体の混合開始
及び混合終了のときの濃度の変動を抑えることができ、
混合された流体が濃度の薄い状態になることを防止して
所定比率の流体を安定供給できると共に、構成の簡略化
及び小型化が図れ、且つ製造コストを安価にできる。

【００５１】また、請求項２記載の発明によれば、第１
の流体を供給する第１の流体供給経路と、第１の流体供
給経路に配された第１の開閉弁と、第２の流体を供給す
る第２の液体供給経路と、第２の流体供給経路に配され
た第２の開閉弁と、第１の流体供給経路の下流端部と第
２の流体供給経路の下流端部とが合流し、第１の流体と
第２の流体とが混合されて供給される混合経路と、流体
供給開始時、第１の流体と第２の流体とのうち、混合比
率の高い方の流体を供給する流体供給経路に配された開
閉弁を開弁させた後、混合比率の低い方の流体を供給す
る流体供給経路に配された開閉弁を開弁させ、且つ、流
体供給停止時、混合比率の低い方の流体を供給する流体
供給経路に配された開閉弁を閉弁させた後、混合比率の
高い方の流体を供給する流体供給経路に配された開閉弁
を閉弁させる制御手段と、を備えたため、異なる種類の
流体の混合開始及び混合終了のときの濃度の変動を抑え
ることができ、混合された流体が濃度の薄い状態になる
ことを防止して所定比率の流体を安定供給できると共
に、構成の簡略化及び小型化が図れ、且つ製造コストを
安価にできる。

【００５２】また、請求項３記載の発明によれば、制御
手段が、混合比率の高い流体の開閉弁が閉弁されている
か否かを検出するための開弁検出手段と、開弁検出手段
により開弁が検出された場合に混合比率の低い流体の開
閉弁を開弁させる開弁制御手段と、混合比率の低い流体
の開閉弁が閉弁されているか否かを検出するための閉弁
検出手段と、閉弁検出手段により閉弁が検出された場合
に混合比率の高い流体の開閉弁を閉弁させる閉弁制御手
段と、を備えたため、異なる種類の流体の混合開始及び
混合終了のときの濃度の変動を抑えることができ、混合
された流体が濃度の薄い状態になることを防止して所定
比率の流体を安定供給できると共に、構成の簡略化及び
小型化が図れ、且つ製造コストを安価にできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる混合装置の一実施例の概略構成を
示す構成図である。

【図２】混合ノズル１６の構成を拡大して示す縦断面図
である。

【図３】制御回路４０が実行する制御処理を示すフロー
チャートである。

【図４】変形例の構成を示す構成図である。

【図５】変形例の制御回路４０が実行する制御処理を示
すフローチャートである。

【符号の説明】

１０，６０混合装置１２薬液供給経路１４純水供給経路１６混合ノズル１８薬液供給管路２０窒素ガス供給管路２２貯留槽２４薬液吐出管路３０，３４，４４開閉弁３２超音波式渦流量計３８圧力センサ４０制御回路４５純水供給管路４６温度調整ユニット４８流量計５０流量調整弁５２ノズル本体５４ノズル流路５６ニードルパイプ６２質量流量計６４逃がし弁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 4G035 AB37 AC26 AE02 AE13 4G037 AA02 BA01 BB06 EA01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】異なる種類の流体を個別に供給する複数
の流体供給経路と、該複数の流体供給経路毎に配された複数の開閉弁と、前記複数の流体供給経路の下流端部が合流し、前記複数
種の流体が混合されて供給される混合経路と、流体供給開始時、前記複数種の流体のうち、混合比率の
高い方の流体を供給する流体供給経路に配された開閉弁
を開弁させた後に混合比率の低い方の流体を供給する流
体供給経路に配された開閉弁を順次開弁させ、且つ、流
体供給停止時、混合比率の低い方の流体を供給する流体
供給経路に配された開閉弁を閉弁させた後に混合比率の
高い方の流体を供給する流体供給経路に配された開閉弁
を順次閉弁させる制御手段と、を備えてなることを特徴とする混合装置。
【請求項２】第１の流体を供給する第１の流体供給経
路と、該第１の流体供給経路に配された第１の開閉弁と、第２の流体を供給する第２の液体供給経路と、該第２の流体供給経路に配された第２の開閉弁と、前記第１の流体供給経路の下流端部と前記第２の流体供
給経路の下流端部とが合流し、前記第１の流体と前記第
２の流体とが混合されて供給される混合経路と、流体供給開始時、前記第１の流体と前記第２の流体との
うち、混合比率の高い方の流体を供給する流体供給経路
に配された開閉弁を開弁させた後、混合比率の低い方の
流体を供給する流体供給経路に配された開閉弁を開弁さ
せ、且つ、流体供給停止時、混合比率の低い方の流体を
供給する流体供給経路に配された開閉弁を閉弁させた
後、混合比率の高い方の流体を供給する流体供給経路に
配された開閉弁を閉弁させる制御手段と、を備えてなることを特徴とする混合装置。
【請求項３】前記制御手段は、混合比率の高い流体の開閉弁が閉弁されているか否かを
検出するための開弁検出手段と、前記開弁検出手段により開弁が検出された場合に混合比
率の低い流体の開閉弁を開弁させる開弁制御手段と、混合比率の低い流体の開閉弁が閉弁されているか否かを
検出するための閉弁検出手段と、前記閉弁検出手段により閉弁が検出された場合に混合比
率の高い流体の開閉弁を閉弁させる閉弁制御手段と、を備えてなることを特徴とする請求項２記載の混合装
置。