CN112399883B - 液体混合供给装置 - Google Patents

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Abstract

本发明通过维持恒压的液体供给部并基于容器内部和药品排出管内的压力传感器持续且实时地测定压力，当压力发生异常时能够迅速地排出气体，从而可稳定地供给原液，混合原液后确认基准浓度，当未满足基准浓度时，将混合液体重新传递给混合罐部，并通过射流喷嘴部件喷射混合液体，以缩短第一次混合的液体的混合时间，因此本发明具有可实现大量生产混合液体和确保质量稳定的优点。

Description

液体混合供给装置
技术领域
本发明涉及液体混合供给装置，具体涉及一种液体混合供给装置，其用于将具有化学成分的多个原液混合并将混合的液体供给到指定的工艺，该装置包括：原液储罐部，其用于分别储存多个原液；维持恒压的液体供给部，其将由各所述原液储罐部传递的各原液在维持一定压力的状态下选择性地供给到混合装置部；混合装置部，其用于混合由所述维持恒压的液体供给部供给的多个原液；混合罐部，其用于储存由所述混合装置部传递的混合液体；浓度确认部，其用于确认由所述混合罐部传递的液体的浓度；吐出管道部，其用于吐出满足通过所述浓度确认部预设的浓度的混合液体；循环管道部，其将未满足通过所述浓度确认部预设的浓度的混合液体重新传递到所述混合罐部。
背景技术
通常，在半导体工艺、LCD工艺、制药制造工艺等各种产业现场生产线中，液体供给装置在材料供给压力不稳定、过高时，为了使供给压力稳定且为了通过减压效果来实现精确的分配作业，组合使用除抽送装置以外的压力调压器、压差式流量计及各种传感器。
所述液体压力调压器作为通过对从泵中高压吐出的液体进行减压并以适当的压力供给到Pro-Pump后吐出且在液体的供给压力(Inlet Pressure)以各种方式变化的情况下可维持一定出口压力(Outlet Pressure)的装置，是为了使大量装置稳定地运行所必备的装置。优选地，使用者应该选择最适合作业的压力调压器产品，此时重要的考量内容包括种类、材质、入口及出口的压力、流量条件、温度、压力、大小、其他限制条件等。
另外，压差式流量计结构简单且可应用于液体、气体、蒸汽中的任意一个，而且压差式流量计很久以前就作为工业用流量计被广为使用。压差式流量计的基本配置包括缩窄机构及压差检测仪，如果在流体流动的管道中间设置缩窄机构并使流体的通过面积变窄，则基于缩窄机构上产生的阻力，其前后产生压力差，在该压力差，即压差和流量之间存在可用伯努利原理(Bernoulli's Principle)表达的一定的关系式。利用该原理的便是压差式流量计。生成压差的传感器中具有代表性的包括文丘里管、孔口、流量喷嘴V-Cone等，所述压差检测仪根据传送方式、测量原理可大体分为气式、电式、光式，目前主流为电式。
另外，作为一正在使用的液体供给装置，公开了以下专利文献1的“液态产品的制造或者供给方法(韩国公开专利公报第10-2014-0090639号)”。
所述专利文献1的“液态产品的制造或者供给方法”是为了将包括二氧化碳或者二氧化氮的气体溶解在液体中利用薄膜接触器制造或者供给液态产品，所述薄膜接触器具有利用多个气体透过性中空纤维而且与所述纤维的内部连通的气体端口；围绕所述纤维且与所述接触器内部空间连通的液体用输入端口；以及输出端口，所述方法的特征在于包括：将所述气体以控制的压力向所述气体端口供给的步骤；通过包括与液体供给部连通的第一阀门入口端口及与液体用入口端口连通的第一阀门出口端口的第一阀门,以高于所述气体的压力将液体从所述液体供给部共给到所述液体用输入端口的步骤；通过供给嘴从所述液体用输出端口向周围供给溶解有所述气体的液体的步骤，而且供给所述液体的步骤包括开始供给的供给开始步骤及用于结束供给的供给中断步骤；所述第一阀门在所述供给开始步骤中与所述供给嘴一起开放，在所述供给中断步骤中被关闭，从所述第一阀门被关闭开始，在所述第一阀门处于关闭状态的期间，通过与所述空间连通来解除液体压力的上升的步骤，如果液体没有流动所需条件，则可防止纤维被水浸入，在供给液体的较短的时间，将施加高于输入的气体压力的液体压力，这不会对薄膜起到长期作用，具有可防止所述接触器和所述供给嘴之间的管道中碳酸液体的过度饱和的优点。
但是，所述专利文献1的“液态产品的制造或者供给方法”是在主供给管中主要直接供给液体的方式，主液体供给的升压，减压的压力变化或者在主管道上同时连接多个设备使用时，因主供给压力的变化导致经常发生液体供给量的不规则变化，从而存在液体供给生产量及后续工序的质量下降的问题。
发明内容
【技术问题】
本发明是为了解决上述问题而提出的，本发明的目的在于，提供一种液体混合供给装置，在液体混合供给装置的结构中通过在用于容纳以可变的液体供给压力供给的液体的容器(vessel)上设置主氮气供给手段和用于微调压力的氮气加压手段，而且通过配置实时地监视所述容器内部的压力并控制操作的维持恒压的液体供给部，从而即使主供给压力因外部影响而发生变化也能够使最终供给端维持一定恒压，因此不仅能够十分稳定地供给混合液体，而且使设备的驱动率提高，从而可扩大生产量并提高质量。
此外，本发明提供一种液体混合供给装置，通过射流喷嘴部件混合由维持恒压的液体供给部供给的多个原液，然后确认基准浓度，当未满足基准浓度时，将混合的液体重新传递给混合罐部以实现连续循环，而且通过射流喷嘴部件喷射混合的液体，从而可缩短第一次混合的液体的混合时间。
【技术方案】
为了解决如上所述的技术问题，根据本发明的液体混合供给装置，其用于混合具有化学成分的多个原液并将混合的液体供给到指定的工艺，该装置包括：原液储罐部，其用于分别储存多个原液；维持恒压的液体供给部，其将由各所述原液储罐部传递的各原液在维持一定压力的状态下选择性地供给到混合装置部；混合装置部，其用于混合由所述维持恒压的液体供给部供给的多个原液；混合罐部，其用于储存由所述混合装置部传递的混合液体；浓度确认部，其用于确认由所述混合罐部传递的液体的浓度；吐出管道部，其用于吐出满足通过所述浓度确认部预设的浓度的混合液体；循环管道部，其将未满足通过所述浓度确认部预设的浓度的混合液体重新传递到所述混合罐部。
此外，所述维持恒压的液体供给部上形成有容器、主液体供给手段、第一次加压手段、第二次加压手段、水位传感器以及输出端压力维持手段，所述容器容纳用于维持一定压力的液体，所述主液体供给手段与所述容器流体连接且向所述容器供给适当量的用于维持一定压力的液体，所述第一次加压手段与所述容器流体连接且向所述容器供给用于维持一定恒压的主氮气，所述第二次加压手段与所述容器流体连接，而且通过附加供给或者排出氮气来微调所述液体的供给压力与所述主氮气的恒定压力的压差，从而使所述容器内的压力维持一定，所述水位传感器设置于所述容器，而且用于感知所述容器内液体的水位，所述输出端压力维持手段用于将从所述容器排出的液体的排出压力维持一定。
此外，进一步包括防过压排气手段，当在所述容器内感知到异常过压时，从所述容器向外部强制排出氮气。
此外，所述主液体供给手段包括：第一泵，其用于向所述容器内抽送用于维持一定压力的液体；主液体输入端自动阀，其设置于在所述第一泵与所述容器之间延伸的第一导管上；以及主液体输入端压力传感器。
此外，所述第一次加压手段包括：所述第一次加压手段包括：第二泵，其用于向所述容器内抽送用于维持一定恒压的氮气；氮气抽出用自动阀，其设置于在所述第二泵与所述容器之间延伸的第二导管上；以及主氮气压力传感器。
此外，所述第二次加压手段包括：第三泵，其用于向所述容器内抽送用于微调压力的氮气；氮气共给用自动阀，其设置于在所述第三泵与所述容器之间延伸的第三导管上；第四泵，其用于排出供给至所述容器内的氮气的一部分；以及氮气排出用自动阀，其设置于在所述第四泵与所述容器之间延伸的第四导管上。
此外，所述输出端压力维持手段包括：第五泵，其通过抽送将从所述容器排出的液体供给到所需位置；累计流量计，其设置于在所述第五泵与所述容器之间延伸的第五导管上；输出端自动阀；调压器；以及输出端压力传感器。
此外，所述混合罐部的内侧进一步形成有射流喷嘴部件，其喷射通过所述循环管道部重新传递到所述混合罐部的第一次混合的液体，以缩短混合时间。
【有益效果】
根据如上所述的本发明，在液体混合供给装置的结构中通过在用于容纳以可变的液体供给压力供给的液体的容器(vessel)上设置主氮气供给手段和用于微调压力的氮气加压手段，而且通过配置实时地监视所述容器内部的压力并控制操作的维持恒压的液体供给部，从而即使主供给压力因外部影响而发生变化也能够使最终供给端维持一定恒压，因此不仅能够十分稳定地混合并供给多个液体，而且使设备的驱动率提高，从而可扩大生产量并提高质量。
此外，混合由维持恒压的液体供给部供给的原液，然后确认基准浓度，当未满足基准浓度时，将混合的液体重新传递到混合罐部，并通过射流喷嘴部件喷射混合的液体，从而可缩短被第一次混合的液体的混合时间。
附图说明
图1是图示根据本发明优选实施例的液体混合供给装置的整个工艺状态的工艺流程图。
图2是图示根据本发明优选实施例的液体混合供给装置的结构中维持恒压的液体供给部的结构的模式图。
图3是图2中图示的维持恒压的液体供给部的概略方框图。
图4和图5是图示根据本发明优选实施例的液体混合供给装置的结构中利用维持恒压的液体供给部进行供给的方法的流程图。
具体实施方式
下面，参照附图对根据本发明一实施例的液体混合供给装置1进行详细说明。首先，需要注意的是，附图中相同的附图标记显示相同的组成要素或者部件。在说明本发明的过程中，为了避免使本发明的主旨发生混淆，将省略对相关的已知功能或结构的具体说明。
参照图1或者图2，根据本发明一实施例的液体混合供给装置1大体上由原液储罐部200、维持恒压的供给部100、混合装置部300、混合罐部400、浓度确认部500、吐出管道部600及循环管道部700构成。
在详细说明之前需要阐明的是，根据本发明一实施例的液体混合供给装置1，为了使操作顺利地进行，具有用于控制根据本发明一实施例的液体混合供给装置1整体的控制部、用于控制维持恒压的液体供给部100的控制装置、外部的供电装置等的联动的组件，所述组件的配置及工作原理是本发明所属技术领域众所周知的技术，因此省略其详细说明。
此外，在本发明中，根据原液的种类可形成多个原液储罐部200和维持恒压的液体供给部100。
首先，对原液储罐部200进行说明。如图1所示，所述原液储罐部200作为分别储存硫酸药液、过氧化氢药液、HF药液等多个原液的组件，储存于所述原液储罐部200的原液可供给到后述的各维持恒压的液体供给部100。
接下来，对维持恒压的液体供给部100进行说明。如图1、图2或图3所示，所述维持恒压的液体供给部100作为将从所述原液储罐部200传递的各原液维持在一定压力的状态下选择性地供给至混合装置部300的组件，由容器110(vessel)，其容纳用于维持一定压力的液体；主液体供给手段120，其与所述容器110流体连接且向所述容器110供给适当量的用于维持一定压力的液体；第一次加压手段130，其与所述容器110流体连接且用于向所述容器110供给用于维持一定恒压的主氮气；第二次加压手段140，其与所述容器110流体连接，而且通过附加供给或者排出氮气来微调所述液体的供给压力与所述主氮气的恒压间的差压，从而使所述容器110内的压力维持一定；水位传感器160，其设置于所述容器110，而且用于感知所述容器110内液体的水位；以及输出端压力维持手段170，其用于将从所述容器110排出的液体的排出压力维持一定构成。
所述主液体供给手段120包括：第一泵(122)，其用于向所述容器(110)内抽送用于维持一定压力的液体；主液体输入端自动阀(124)，其设置于在所述第一泵(122)与所述容器(110)之间延伸的第一导管(121)上；以及主液体输入端压力传感器(126)。
所述第一次加压手段130包括用于向容器110抽送用于维持一定恒压的主氮气的第二泵132，而且包括设置于在所述第二泵132与所述容器110之间延伸的第二导管131上的主氮气压力传感器136。
所述第二次加压手段140包括向容器110内抽送用于微调压力的氮气的第三泵142，而且包括设置于在所述第三泵142与所述容器110之间延伸的第三导管141上的氮气共给用自动阀144。
此外，所述第二次加压手段140包括用于排出供给到容器110内的部分氮气的作为排气泵的第四泵148和设置于在所述第四泵148与所述容器110之间延伸的第四管道145上的氮气排出用自动阀146。
防过压排气手段150由调压阀(relief valve)组成，所述调压阀设置在与容器110流体连接且向外部延伸的另外的管道(未图示)上，如前所述，当在容器110内感知到过压时执行向外部排出氮气的功能。
所述输出端压力维持手段170包括为了将从容器110排出的液体供给到下一作业端的所需位置，例如混合腔(未图示)而执行抽送作业的第五泵172，而且包括设置于在所述第五泵172与所述容器110之间延伸的第五管道171上的累计流量计173、输出端自动阀174、调压器175及输出端压力传感器176。
下面，将对利用具有如前所述的结构的所述维持恒压的液体供给装置100的维持恒压的液体供给方法进行说明。
参照图4及图5，如前所述，所述容器110通过容纳以可变的液体供给压力导入的液体起到持续地维持一定压力的作用。为此，容器110内的压力可设定为所需的预定压力。例如，容器110内部的目标压力可设定为1kgf/cm2。
为了便于说明，从根据本发明的维持恒压的液体供给部100最初开始操作的状态进行说明。
所述主液体供给手段120以预先设定的压力向容器110内供给液体，例如以低于容器110内部的目标压力0.7kgf/cm2的压力供给液体。即，根据从控制装置输入的信号驱动主液体供给手段120的第一泵122，在第一管道21上通过打开设置于第一泵122下游的主液体输入端自动阀124来供给液体，此时，在第一管道121中设置于第一泵122下游的主液体输入端压力传感器126将感知从第一泵122向容器110侧供给的液体的压力。
所述维持恒压的液体供给部100开始操作，直至容器110内的液体水位到达一定水位，控制装置关闭输出端压力维持手段170的第五泵172及输出端自动阀174的操作，并在中断向混合腔(未图示)方向供给液体的状态下，使主液体供给手段120的液体输入端自动阀124继续维持打开状态，从而继续向容器110内供给液体(步骤S1)。
如果设置于容器110上的水位传感器160通过感知容器110内的液体水位来向控制部80传递水位感知信号，则控制装置判断容器110内的液体水位是否到达最低水位LL(步骤S2)。
只是，当容器110内的液体水位未到达最低水位LL时，如所述步骤S1，控制装置关闭输出端压力维持手段170的第五泵172及输出端自动阀174的操作，并在中断下一作业端例如混合腔(未图示)侧的液体供给的状态下，使主液体供给手段120的液体输入端自动阀124继续维持打开状态，从而可继续向容器110内供给液体。
如果容器110内的液体水位上升至最低水位LL以上，则使输出端压力维持手段170的输出端自动阀174操作并维持打开状态，由此从容器110向作为下一作业端的混合腔(未图示)供给液体(步骤S3)。
即，控制装置使输出端压力维持手段170的第五泵172操作并使输出端自动阀174打开，使液体从容器110经过第五管道171向例如下一作业端的混合腔(未图示)侧供给。此时，设置于第五管道171的累计流量计173计算从容器110供给到外部的液体的适当的供应量，调压器175将从容器110供给到外部的液体的出口压力调至适当的压力，例如0.7kgf/cm2，并维持该压力。布置于调压器175下游的输出端压力传感器176感知排出液体的压力并发送至控制部180。只要容器110内的液体水位不低于最低水位LL，输出端压力维持手段170的所述动作就一直进行，并将维持一定恒压的液体供给到下一作业端的需要供给液体的位置。
主液体输入端自动阀124继续维持打开状态，因此通过第一泵122使用于维持恒压的液体继续供给到容器110内，由此容器110内的液体水位上升至低水位L以上。
接下来，如果设置于容器110上的水位传感器60感知到容器110内的液体水位并将水位感知信号传递至控制装置，则控制装置判断容器110内的液体水位是否到达最高水位H(步骤S4)。
如果容器110内的液体水位未到达最高水位H，则如前面所述，使主液体输入端自动阀124继续维持打开状态，并继续向容器110供给液体。
如果液体水位到达高水位H以上，则根据从控制装置输入的信号使主液体输入端自动阀124关闭(off)，并维持闭合状态，以此中断向容器110供给液体。在这种状态下，根据从控制装置输入的信号驱动第一次加压手段130并将一定恒压的氮气供给至容器110(步骤S5)。即，根据从控制装置输入的信号驱动第二泵132，通过开放设置于第二泵132的下游用于输出氮气的自动阀134并将氮气供给至容器110，此时在第二管道131上，设置于用于输出氮气的自动阀134下游的氮气压力传感器136感知从第二泵132向容器110侧供给的氮气压力。
另外，控制装置计算从主液体输入端压力传感器126传递的液体的供给压力和从氮气压力传感器136传递的主氮气的供给压力，并使第二次加压手段140操作从而进一步向容器110供给用于微调压力的氮气或者排出容器110内的氮气压力。
即，控制装置基于从主液体输入端压力传感器126传递的液体的供给压力和从氮气压力传感器136传递的主氮气的供给压力，判断它们的压力之和是否大于容器110内预定的目标压力(步骤S6)。
如果液体的供给压力和主氮气的供给压力之和未到达容器110内部的目标压力，例如1kgf/cm2，则使第三泵142操作并打开氮气共给用自动阀144，从而进一步向容器110内供给用于微调压力的氮气(步骤S7-1)。
如果供给的液体的供给压力和主氮气的供给压力之和超过容器110内部的目标压力，例如1kgf/cm2，则使氮气共给用自动阀144关闭(off)并维持闭合状态，并使作为排气泵的第四泵148操作且打开氮气排出用自动阀146，从而从容器110排出氮气(步骤S7-2)。
与用于将容器110内的氮气压力向外部排出的氮气排出用自动阀146的操作无关地，控制装置判断容器110内是否感知到将要超过基于第二次加压手段140的可调节的范围的严重过压，即相当于预先设定的压力水平的过压(步骤S8)。
如果在容器110内感知到严重过压，则控制装置执行使调压阀150打开并向外部强制排出氮气的功能(步骤S9-1)。
如果在容器110内未感知到严重过压，则控制装置继续使调压阀150维持闭合状态(步骤S9-2)。
接下来，控制装置根据氮气排出用自动阀146的排气操作，判断容器110内的液体水位是否到达低水位L(步骤S10)。
如果设置于容器110上的水位传感器160感知到容器110内的液体水位且液体水位未到达低水位L，则如前面所述，使氮气排出用自动阀146打开，并继续执行从容器110排出氮气的操作。
如果设置于容器110上的水位传感器60感知到容器110内的液体水位并且液体水位到达低水位L，则如前面所述，使氮气排出用自动阀146关闭(off)并维持闭合状态。与此同时，根据从控制装置输入的信号打开液体输入端自动阀124并重新开始供给液体(步骤S11)。
即，维持恒压的液体供给部100以闭循环的形态反复执行各步骤，对于主供给压力因外部影响而发生变化的液体(原液)的供给压力，使其通过第一次加压手段及用于微调压力的氮气加压手段的协同作用在最终供给端维持一定。
另外，优选地，在连接原液储罐部200与维持恒压的液体供给部的主管道上进一步设置有用于调节原液的流速、流量等的主管道自动阀800。
接下来，对混合装置部300进行说明。如图1所示，混合装置部300作为将从维持恒压的液体供给部100供给的多个原液进行混合的装置，可由多个混合单元形态构成。
接下来，对混合罐部400进行说明。如图1所示，混合罐部400作为用于储存从混合装置部300传递的混合液体的组件，混合罐部400的内侧形成有射流喷嘴部件410，从而喷射通过后述的循环管道部700重新传递给混合罐部400的第一次混合的液体时，可缩短液体的混合时间。
另外，优选地，在连接混合罐部400与混合装置部300的主管道上进一步设置有用于调节混合液体的流速、流量等的主管道自动阀800，为了移动预定以上的流量，还优选进一步设置主管道泵900。
接下来，对浓度确认部500进行说明。如图1所示，浓度确认部500作为用于确认从所述混合罐部400传递的液体的浓度的组件，在连接浓度确认部500与混合罐部400的主管道上优选进一步设置用于调节混合液体的流速、流量等的主管道自动阀800，为了移动预定以上的流量，还优选进一步设置主管道泵900。
接下来，对吐出管道部600进行说明。如图1所示，吐出管道部600作为向下一工序吐出满足通过浓度确认部500预设的浓度的混合液体的组件，吐出管道部600上进一步优选设置有用于调节混合液体的流速、流量等的主管道自动阀800。
接下来，对循环管道部700进行说明。如图1所示，循环管道部700作为将未满足通过浓度确认部500预设的浓度的第一次混合的液体重新传递到所述混合罐部400的组件，循环管道部700进一步优选设置有用于调节混合液体的流速、流量等的主管道自动阀800。
附图和说明书中公开了最佳实施例。其中虽然使用了特定术语，但这只是用于说明本发明而非用于限定含义或者限定权利要求书中记载的本发明的范围。因此对于本技术领域普通技术人员而言，应该理解,由此可进行各种变形并实施等同的其他实施例。因此,本发明的真正的技术保护范围应基于附上的权利要求书的技术思想而决定。

Claims (5)

1.一种液体混合供给装置(1)，其用于混合具有化学成分的多个原液并将混合的液体供给到指定的工艺，其特征在于，该装置包括：
原液储罐部(200)，其用于分别储存多个原液；
维持恒压的液体供给部(100)，其将由各所述原液储罐部(200)传递的各原液在维持一定压力的状态下选择性地供给到混合装置部(300)；
混合装置部(300)，其用于混合由所述维持恒压的液体供给部(100)供给的多个原液；
混合罐部(400)，其用于储存由所述混合装置部(300)传递的混合液体；
浓度确认部(500)，其用于确认由所述混合罐部(400)传递的液体的浓度；
吐出管道部(600)，其用于吐出满足通过所述浓度确认部(500)预设的浓度的混合液体；
循环管道部(700)，其将未满足通过所述浓度确认部(500)预设的浓度的混合液体重新传递到所述混合罐部(400)；
所述维持恒压的液体供给部(100)上形成有容器(110)、主液体供给手段(120)、第一次加压手段(130)、第二次加压手段(140)、水位传感器(160)以及输出端压力维持手段(170)，
所述容器(110)容纳用于维持一定压力的液体，
所述主液体供给手段(120)与所述容器(110)流体连接且向所述容器(110)供给适当量的用于维持一定压力的液体，
所述第一次加压手段(130)与所述容器(110)流体连接且向所述容器(110)供给用于维持一定恒压的主氮气，
所述第二次加压手段(140)与所述容器(110)流体连接，而且通过附加供给或者排出氮气来微调所述液体的供给压力与所述主氮气的恒定压力的压差，从而使所述容器(110)内的压力维持一定，
所述水位传感器(160)设置于所述容器(110)，而且用于感知所述容器(110)内液体的水位，
所述输出端压力维持手段(170)用于将从所述容器(110)排出的液体的排出压力维持一定；
所述第二次加压手段(140)包括：第三泵(142)，其用于向所述容器(110)内抽送用于微调压力的氮气；氮气供 给用自动阀(144)，其设置于在所述第三泵(142)与所述容器(110)之间延伸的第三导管(141)上；第四泵(148)，其用于排出供给至所述容器(110)内的氮气的一部分；以及氮气排出用自动阀(146)，其设置于在所述第四泵(148)与所述容器(110)之间延伸的第四导管(145)上，
其中，控制装置计算从主液体输入端压力传感器(126)传递的液体的供给压力和在第一次加压手段(130)中形成的从氮气压力传感器(136)传递的主氮气的供给压力，并使第二次加压手段(140)操作从而进一步向容器(110)供给用于微调压力的氮气或者排出容器(110)内的氮气压力，
所述输出端压力维持手段(170)包括：第五泵(172)，其通过抽送将从所述容器(110)排出的液体供给到所需处；累计流量计(173)，其设置于在所述第五泵(172)与所述容器(110)之间延伸的第五导管(171)上；输出端自动阀(174)；调压器(175)；以及输出端压力传感器(176)，
当容器(110)内的液体水位未到达最低水位LL时，控制装置关闭输出端压力维持手段(170)的第五泵(172)及输出端自动阀(174)的操作，并在中断混合腔侧的液体供给的状态下，使液体输入端自动阀继续维持打开状态，从而能继续向容器(110)内供给液体，
如果容器(110)内的液体水位上升至最低水位LL以上，则使输出端自动阀(174)操作并维持打开状态，由此从容器(110)向作为下一作业端的混合腔供给液体。
2.如权利要求1所述的液体混合供给装置(1)，其特征在于，进一步包括防过压排气手段(150)，当在所述容器(110)内感知到异常过压时，从所述容器(110)向外部强制排出氮气。
3.如权利要求1所述的液体混合供给装置(1)，其特征在于，所述主液体供给手段(120)包括：第一泵(122)，其用于向所述容器(110)内抽送用于维持一定压力的液体；主液体输入端自动阀(124)，其设置于在所述第一泵(122)与所述容器(110)之间延伸的第一导管(121)上；以及主液体输入端压力传感器(126)。
4.如权利要求1所述的液体混合供给装置(1)，其特征在于，所述第一次加压手段(130)包括：第二泵(132)，其用于向所述容器(110)内抽送用于维持一定恒压的氮气；氮气抽出用自动阀(134)，其设置于在所述第二泵(132)与所述容器(110)之间延伸的第二导管(131)上；以及主氮气压力传感器(136)。
5.如权利要求1所述的液体混合供给装置(1)，其特征在于，所述混合罐部(400)的内侧进一步形成有射流喷嘴部件(410)，其喷射通过所述循环管道部(700)重新传递到所述混合罐部(400)的第一次混合的液体，以缩短混合时间。
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