KR20110071831A

KR20110071831A - 기판 코터 장비의 약액 공급 장치 및 그 제어 방법

Info

Publication number: KR20110071831A
Application number: KR1020090128496A
Authority: KR
Inventors: 조강일
Original assignee: 주식회사 케이씨텍
Priority date: 2009-12-21
Filing date: 2009-12-21
Publication date: 2011-06-29
Also published as: KR101091606B1

Abstract

본 발명은 기판 코터 장비의 약액 공급 장치 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 기판에 약액을 도포하는 분사 노즐과, 상기 약액을 저장하는 약액 저장탱크와, 약액 공급관을 통해 상기 약액 저장통 내의 약액을 상기 분사 노즐로 토출시키는 펌프를 구비한 기판 코터 장비에 있어서, 상기 펌프와 상기 분사 노즐 사이에 설치되어 상기 약액 공급관의 압력을 측정하는 압력 센서와; 상기 압력 센서에 의해 측정값을 모니터링하여 상기 약액 공급관을 통해 이송되는 토출 압력의 보정값을 출력하는 제어 유닛과; 상기 제어부의 제어 신호에 의해 상기 약액 공급관의 토출 압력을 조절하는 압력 조절부를; 포함하여 구성되어, 분사 노즐로부터 약액을 피처리 기판에 도포하는 초기에 압력의 오버슈트 또는 언더슈트가 발생하더라도, 압력 센서에 의하여 약액 공급관의 압력을 실시간으로 측정하여, 약액 공급관의 토출 압력을 압력 조절부에 의해 실시간으로 자동 조절함으로써, 분사 노즐로부터 약액이 배출되는 약액 배출압을 초기부터 일정하게 하여 기판의 표면에 도포되는 약액의 두께를 일정하게 유지시킬 수 있는 기판 코터 장비의 약액 공급 장치 및 그 제어 방법을 제공한다.

압력 센서, 약액, 약액 공급통, 약액 공급관, 약액 배출압

Description

기판 코터 장비의 약액 공급 장치 및 그 제어 방법{DEVICE OF SUPPLYING PHOTORESIST SOLUTION IN COATER APPARATUS AND CONTROL METHOD USING SAME}

본 발명은 기판 코터 장비의 약액 공급 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 슬릿 노즐로부터 약액을 피처리 기판에 도포하는 초기에 압력의 오버슈트 또는 언더슈트의 발생으로 도포 개시 시점에서 두께가 일정해지지 않는 문제점을 해결한 기판 코터 장비의 약액 공급 장치에 관한 것이다.

LCD 등 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리 등으로 제작된 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다. LCD의 크기가 작았던 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다.

그러나, LCD 화면의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐과 피 처리 기판을 상대 이동시키면서 슬릿 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 표면에 도포하는 방식의 코팅 방법이 사용되고 있다.

도1은 종래의 기판 코터 장비(1)의 구성을 도시한 도면이다. 도면에 도시한 바와 같이, 스테이지(10) 상에 위치한 기판(G)은 기판(G)의 상측에 위치한 슬릿 노즐(20)에 대하여 상대 이동하면서, 슬릿 노즐(20)의 토출구로부터 토출되는 약액에 의해 기판(G)의 표면이 약액으로 코팅된다. 이 때, 슬릿 노즐(20)을 고정하는 갠츄리(30)가 기판(G)의 길이 방향을 따라 이동하는 것에 의해 슬릿 노즐(20)과 기판(G)의 상대 이동이 이루어질 수도 있고, 스테이지(10)가 기판(G)을 고정하여 슬릿 노즐(20)을 하부를 통과하여 이동하거나 스테이지(10)에 기판(G)이 부상한 상태로 별도의 이동 부재에 의해 기판(G)이 노즐(20)의 하부를 통과하여 이동하는 것에 의해 슬릿 노즐(20)과 기판(G)의 상대 이동이 이루어질 수도 있다.

이 때, 슬릿 노즐(20)으로부터 약액(PR)이 기판(G)의 표면에 도포되기 위하여 약액 공급관(41)을 통해 약액 저장통(40)으로부터 약액(PR)이 공급되며, 공급되는 약액(PR)은 약액 저장통(40)과 슬릿 노즐(20)의 사이에 위치한 펌프(40a)에 의해 이송된다. 도면 중 미설명 부호인 42는 약액 공급관(41)을 선택적으로 개폐하는 밸브(42)이다.

이와 같이 구성된 종래의 기판 코터 장비(1)의 약액 공급 장치는 펌프(40a)에 의한 구동력으로 약액 저장통(40)으로부터 슬릿 노즐(20)로 약액(PR)을 토출 이동시키면서 약액(PR)이 기판(G)에 도포되는 데, 펌프 동작의 특성상 슬릿 노즐(20)에 약액(PR)을 토출하는 시점에서 압력 조절이 용이하지 않아 도3에 도시된 바와 같이 오버슈팅된 압력값(Pm)에 도달한 후, 기판(G)의 슬릿 노즐(20)에 대한 상대 이동이 지속되면 원하는 압력값(Ps)로 안정화되는 경향을 보인다. 또는, 도3에 나타난 바와 반대로, 언더슈팅된 압력값으로부터 기판(G)의 슬릿 노즐(20)에 대한 상대 이동이 지속되면 원하는 압력값(Ps)로 수렴하여 안정화되는 경향을 갖기도 한다.

그러나, 이와 같이 슬릿 노즐(20)의 약액 배출압이 일정하지 않으면, 도2에 도시된 바와 같이 기판(G)에 도포되는 약액(PR)의 두께가 일정하지 않아, 최종적인 생산품인 LCD 제품의 성능을 저하하는 원인이 되므로, 슬릿 노즐(20)의 약액 배출압을 일정하게 유지시킬 필요성이 크게 대두되고 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 슬릿 노즐로부터 약액을 최초에 도포하는 시점에서부터 약액 배출압의 오버슈트나 언더슈트의 발생을 배제하여 도포 개시 시점에서부터 기판에 코팅되는 약액의 두께를 일정하게 유지시킬 수 있는 기판 코터 장비의 약액 공급 장치 및 그 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

본 발명은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 기판에 약액을 도포하 는 분사 노즐과, 상기 약액을 저장하는 약액 저장탱크와, 약액 공급관을 통해 상기 약액 저장통 내의 약액을 상기 분사 노즐로 토출시키는 펌프를 구비한 기판 코터 장비에 있어서, 상기 펌프와 상기 분사 노즐 사이에 설치되어 상기 약액 공급관의 압력을 측정하는 압력 센서와; 상기 압력 센서에 의해 측정값을 모니터링하여 상기 약액 공급관을 통해 이송되는 토출 압력의 보정값을 출력하는 제어 유닛과; 상기 제어부의 제어 신호에 의해 상기 약액 공급관의 토출 압력을 조절하는 압력 조절부를; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장비의 약액 공급 장치를 제공한다.

이를 통해, 분사 노즐로부터 약액을 피처리 기판에 도포하는 초기에 압력의 오버슈트 또는 언더슈트가 발생하더라도, 압력 센서에 의하여 약액 공급관의 압력을 실시간으로 측정하여, 약액 공급관의 토출 압력을 압력 조절부에 의해 실시간으로 자동 조절함으로써, 분사 노즐로부터 출력되는 약액 배출압을 초기부터 일정하게 하여, 기판의 표면에 도포되는 약액의 두께를 일정하게 유지시킬 수 있다.

이 때, 상기 압력 조절부는 별도의 구동 수단으로 이루어질 수도 있지만, 구동 수단을 제어하는 데에는 응답시간이 오래 소요되므로, 상기 약액 공급관의 유체 통로의 단면을 조절하는 니들 밸브로 구성되어, 유량의 순간적인 조절을 통해 분사 노즐을 통해 배출되는 약액 배출압을 일정하게 유지시키는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 압력 조절부는 상기 노즐의 토출구로부터 토출되는 시초 압력에 근접하도록 상기 약액의 정상 상태의 토출 압력을 조절한다.

한편, 발명의 다른 분야에 따르면, 본 발명은, 기판에 약액을 도포하는 분사 노즐과, 상기 약액을 저장하는 약액 저장탱크와, 약액 공급관을 통해 상기 약액 저장통 내의 약액을 상기 분사 노즐로 토출시키는 펌프를 구비한 기판 코터 장비의 상기 분사 노즐에 상기 약액을 공급하는 방법으로서, 상기 펌프와 상기 분사 노즐 사이에 설치되어 상기 약액 공급관의 압력을 압력 센서로 측정하는 단계와; 상기 압력 센서에 의해 측정된 약액의 압력이 미리 정해진 기준 압력보다 크거나 작은지를 비교하는 단계와; 상기 약액의 압력이 상기 기준 압력을 초과하면 상기 약액 공급관의 약액 통과 단면을 줄이고, 상기 약액의 압력이 상기 기준 압력에 미달하면 상기 약액 공급관의 약액 통과 단면을 크게하는 압력조절단계를; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장비의 약액 공급 방법을 제공한다.

이 때, 상기 약액 공급관을 통해 약액을 공급하는 시초 압력(Pm)은 상기 기판의 약액 도포 공정 중의 정상 상태의 압력(Po)에 근접하게 제어하여 상기 약액을 상기 슬릿 노즐에 공급하는 것이 보다 짧은 시간에 최종적인 약액 도포 공정 중의 정상 상태의 압력(Po)에 수렴할 수 있고, 시초 압력(Pm)과 정상 상태의 압력(Po)과의 편차도 줄일 수 있으므로, 매우 효과적이다.

이 때, 상기 기준 압력은 상기 약액 도포 공정 중의 정상 상태의 압력(Po)으로 설정된다.

이 때, 상기 압력 조절 단계는 상기 약액 공급관에 설치된 니들 밸브에 의해 행해지는 것이 복잡한 장치를 구비하지 않고 빠른 응답 속도로 분사 노즐의 토출압을 조절할 수 있으므로 효과적이다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 기판에 약액을 도포하는 분사 노즐과, 상기 약액을 저장하는 약액 저장탱크와, 약액 공급관을 통해 상기 약액 저장통 내의 약액을 상기 분사 노즐로 토출시키는 펌프를 구비한 기판 코터 장비에 있어서, 상기 펌프와 상기 분사 노즐 사이에 설치되어 상기 약액 공급관의 압력을 측정하는 압력 센서와; 상기 압력 센서에 의해 측정값을 모니터링하여 상기 약액 공급관을 통해 이송되는 토출 압력의 보정값을 출력하는 제어 유닛과; 상기 제어부의 제어 신호에 의해 상기 약액 공급관의 토출 압력을 조절하는 압력 조절부를; 포함하여 구성되어, 분사 노즐로부터 약액을 피처리 기판에 도포하는 초기에 압력의 오버슈트 또는 언더슈트가 발생하더라도, 압력 센서에 의하여 약액 공급관의 압력을 실시간으로 측정하여, 약액 공급관의 토출 압력을 압력 조절부에 의해 실시간으로 자동 조절함으로써, 분사 노즐로부터 약액이 배출되는 약액 배출압을 초기부터 일정하게 하여 기판의 표면에 도포되는 약액의 두께를 일정하게 유지시킬 수 있는 기판 코터 장비의 약액 공급 장치 및 그 제어 방법을 제공한다.

그리고, 본 발명은 분사 노즐의 약액 배출액을 일정하기 위하여 약액 공급관의 압력값에 연동하여 유량을 조절하는 간단한 니들 밸브에 의하여 분사 노즐의 약액 배출압을 조절함으로써, 간단하고 저렴한 비용으로 기판에 도포되는 약액의 도포 두께를 일정하게 유지할 수 있고, 무엇보다도 빠른 응답 특성을 가지면서 실시간으로 약액 배출압을 조정하는 것이 가능해지는 유리한 효과가 얻어진다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 구비한 기판 코터 장비(100)를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.

도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장비의 약액 공급 장치의 구성을 도시한 도면, 도5는 도4의 압력 조절부의 단면도, 도6은 도4의 분사 노즐을 통해 배출되는 약액의 배출압 분포도, 도7은 도4의 약액 배출 압력 조절 방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 구비한 기판 코터 장비(100)는 기판(G)을 지지하는 스테이지(110)와, 스테이지(110)에 의해 지지되는 기판(G)에 대하여 상대이동하면서 기판(G)의 표면에 약액을 도포하는 슬릿 노즐(120)과, 슬릿 노즐(120)을 고정하여 위치시키고 프라이밍 모듈(미도시)에 의해 예비 토출 공정을 행하기 위해 슬릿 노즐(120)을 이동시키는 갠츄리(130)와, 슬릿 노즐(120)에 의해 기판(G)의 표면에 도포될 약액(PR)을 공급하는 약액 공급통(140)과, 약액 공급통(140)으로부터 슬릿 노즐(120)에 약액(PR)을 공급하는 약액 공급관(141) 상에 설치되어 슬릿 노즐(120)로 공급되는 약액 공급관(141)내의 압력을 측정하는 압력 센서(150)와, 압력 센서(150)의 압력 측정값에 따라 약액 공급관(141)의 약액 공급 압력을 조절하는 압력 조절부(160)와, 압력 센서(150)에서 측정된 압력값을 기초로 압력 조절부(160)를 제어하는 제어 유닛(170) 으로 구성된다.

상기 스테이지(110)는 기판(G)을 부상시키고 도면에 도시되지 않은 이동 수단에 의해 기판(G)이 슬릿 노즐(120)의 하부를 통과하도록 이동시키는 것에 의해 슬릿 노즐(120)과 기판(G)의 상대 이동을 구현한다. 다만, 본 실시예와 달리, 기판(G)이 스테이지(110) 상에 고정되고, 슬릿 노즐(120)을 고정하는 갠츄리(130)가 기판(G)의 길이 방향을 따라 이동하는 것에 의해 슬릿 노즐(20)과 기판(G)의 상대 이동을 구현할 수도 있다.

상기 슬릿 노즐(120)은 기판(G)과의 1회의 상대이동에 의해 기판(G)의 표면에 약액을 도포하기 위하여, 기판(G)의 폭에 대응하는 길이의 슬릿(slit) 형태의 토출구가 형성되어 약액(PR)을 도포하는 노즐이다.

상기 약액 공급통(140)은 외부로부터 기포없는 약액(PR)을 공급받아 공급 펌프(145)의 작동에 따라 슬릿 노즐(120)로 약액 공급관(141)을 통해 약액(PR)을 공급한다.

상기 압력 센서(150)는 약액 공급관(141)을 흐르는 약액(PR)의 압력을 측정하며, 측정된 압력값을 제어 유닛(170)으로 전송하여, 제어 유닛(170)에서 의도한 압력으로 약액(PR)이 슬릿 노즐(120)에 공급되고 있는지를 확인할 수 있도록 한다.

상기 압력 조절부(160)는 도5에 도시된 바와 같이 약액 공급관(141)의 내부 단면을 160d로 표시된 방향으로 자유자재로 조절하여 약액의 공급 유량(88)을 조절할 수 있는 니들밸브로 형성된다. 이를 통해, 제어 유닛(170)으로부터 약액 공급관(141)을 통해 이송되는 압력의 보정값에 부합하도록, 니들 밸브가 작동하여 슬릿 노즐(120)로 공급하는 약액(PR)의 압력을 조절할 수 있게 된다.

상기 제어 유닛(170)은 압력 센서(150)에서 측정된 압력값을 모니터링하여 미리 정해진 압력값과 차이가 발생되면, 실시간으로 니들 밸브로 형성된 압력 조절부(160)의 개방 면적을 조절하여, 약액 공급관(141)을 통해 공급되어 슬릿 노즐(120)의 약액(PR) 배출압을 조절한다.

도면 중 미설명 부호인 141a는 약액 공급통(140)으로부터 약액(PR)을 공급하는 약액 공급관(141)을 개폐하는 약액공급 조절밸브이고, 도면부호 142는 슬릿 노즐(120)로 공급되는 약액을 이중으로 차단하도록 설치된 토출 밸브이다

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장비의 약액 공급 장치의 작동 원리를 도6 및 도7을 참조하여 상술한다.

단계 1: 약액(PR)을 도포하고자 하는 기판(G)이 이송되어 공급되면, 약액공급 조절밸브(141a)와 토출 밸브(142)가 개방되고, 펌프(145)의 작동에 의하여 약액 저장통(140)에 저장된 약액(PR)은 슬릿 노즐(120)로 공급되기 시작한다(S110).

단계 2: 이 때, 약액 공급관(141)에 설치된 압력 센서(150)는 약액 공급통(140)으로부터 슬릿 노즐(120)에 공급되는 약액의 압력을 실시간으로 측정한다(S120).

단계 3: 압력 센서(150)에 의해 측정된 측정값은 제어 유닛(170)으로 전송되어, 압력 측정값이 미리 정해진 기준 압력보다 큰지 작은지를 판단한다. 이는, 펌프의 특성 상, 도3에 도시된 바와 같이, 약액이 최초에 토출되는 시점에는 일반적으로 오버슈팅 된 높은 압력으로 공급되므로, 대체로 압력 센서(150)에서 측정된 압력값은 미리 정해진 기준 압력보다 큰 값으로 검출된다.

이 때, 슬릿 노즐(120)에 공급하는 압력이 변동되면 기판(G)의 표면에 도포되는 약액(PR)의 두께가 변동되어 최종적인 LCD 생산 제품의 디스플레이 성능이 저하되므로, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 조절부(160)는, 슬릿 노즐(120)의 토출구로부터 토출되는 시초 압력(Pm)이 도포 공정 중의 정상 상태(Steady-state)의 압력값(도3의 Ps)과의 편차를 신속하게 줄이는 것이 아니라, 슬릿 노즐(120)의 토출구로부터 토출되는 시초 압력(Pm)이 도포 공정 중의 정상 상태(Steady-state)의 압력값(Po)에 근접하게 약액의 토출 압력을 조절하는 것을 그 특징으로 한다.

즉, 펌프(145)가 작동하여 약액 공급통(140)으로부터 슬릿 노즐(120)에 공급하는 압력이 오버슈팅된 높은 압력으로 토출되는 성질을 이용하여, 슬릿 노즐(120)을 통해 약액(PR)이 토출되기 시작하는 시초의 압력값(Pm)이 도포 공정 중의 정상 상태(Steady-state)의 압력값(Po)에 근접하도록 낮게 제어하되, 시초의 압력값(Pm)을 측정하여 측정된 압력값이 미리 정해진 압력값(Po)에 근접해지도록 한다.

이를 위하여, 약액 공급관(141)에서의 측정 압력(Pm)이 미리 정해진 기준 압력(Po)보다 큰 경우에는 약액 공급관(141)의 니들 밸브(160)에 의해 약액 공급 관(141)의 약액 통과 면을 더 크게 조절하여, 슬릿 노즐(120)로 공급되는 약액의 압력이 기준 압력(Po)에 수렴하도록 한다(S130). 마찬가지로, 약액 공급관(141)에서의 측정 압력(Pm)이 미리 정해진 기준 압력(Po)보다 작은 경우에는 약액 공급관(141)의 니들 밸브(160)에 의해 약액 공급관(141)의 약액 통과 단면을 더 작게 조절하여, 슬릿 노즐(120)로 공급되는 약액의 압력이 기준 압력(Po)에 수렴하도록 한다(S140).

이 때, 압력 센서(150)에 의한 압력 측정값을 기초로 니들 밸브(160)에 의해 실시간으로 약액 공급관(141)의 통과 단면을 조절함으로써, 종래의 약액 도포 공정 중의 정상 상태의 압력(Ps)으로 도달하는 시간(도6의 Pm으로부터 Ps수평선에 도달하는 데 소요되는 데 걸리는 시간)보다 빠른 시간(즉, 도6의 t2로 표시된 시각으로부터 t1으로 표시된 시각을 뺀 시간) 내에 슬릿 노즐(120)의 토출압을 원하는 최종값(Po)으로 수렴할 수 있는 장점이 얻어진다.

이 뿐만 아니라, Ps로 표시된 약액 공급 과정에서의 정상 상태의 압력으로 맞추기 위하 Pa만큼의 큰 압력차만큼 압력을 저하시킴에 따라 기판(G)의 도포두께의 편차가 클 수 밖에 없었던 종래의 약액 공급 방법에 비하여, 본 발명의 일 실시에에 따른 약액 공급 방법은 슬릿 노즐(120)에서의 시초 압력(Pm)을 약액 공급 과정에서의 정상 상태의 압력에 근접하게 제어하여, 이를 기초로 작은 압력차만큼만을 보상하여 짧은 시간 내에 약액 공급 공정에서의 정상 상태의 압력값으로 수렴시킴으로써, 기판(G)의 표면의 약액 도포 두께의 편차를 최소화할 수 있는 유리한 효과가 얻어진다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구 범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.

도1은 기판 코터 장비의 종래의 약액 공급 장치의 구성을 도시한 도면

도2는 도1의 분사 노즐을 이용하여 기판에 약액을 도포하는 구성을 도시한 개략도

도3은 도1의 분사 노즐을 통해 배출되는 약액의 배출압 분포도

도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장비의 약액 공급 장치의 구성을 도시한 도면

도5는 도4의 압력 조절부의 단면도

도6은 도4의 분사 노즐을 통해 배출되는 약액의 배출압 분포도

도7은 도4의 약액 배출 압력 조절 방법을 순차적으로 도시한 순서도

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

100: 기판 코터 장비 110: 스테이지

120: 슬릿 노즐 130: 갠츄리

140: 약액 공급부 150: 압력 센서

160: 압력 조절부

Claims

기판에 약액을 도포하는 분사 노즐과, 상기 약액을 저장하는 약액 저장탱크와, 약액 공급관을 통해 상기 약액 저장통 내의 약액을 상기 분사 노즐로 토출시키는 펌프를 구비한 기판 코터 장비에 있어서,

상기 펌프와 상기 분사 노즐 사이에 설치되어 상기 약액 공급관의 압력을 측정하는 압력 센서와;

상기 압력 센서에 의해 측정값을 모니터링하여 상기 약액 공급관을 통해 이송되는 토출 압력의 보정값을 출력하는 제어 유닛과;

상기 제어부의 제어 신호에 의해 상기 약액 공급관의 토출 압력을 조절하는 압력 조절부를;

포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장비의 약액 공급 장치.
제 1항에 있어서,

상기 압력 조절부는 상기 약액 공급관의 유체 통로의 단면을 조절하는 니들 밸브인 것을 특징으로 하는 기판 코터 장비의 약액 공급 장치.
제 1항에 있어서,

상기 분사 노즐은 상기 기판의 폭에 한꺼번에 약액을 토출하도록 상기 기판의 폭을 따라 길게 관통된 토출구를 구비한 슬릿 노즐인 것을 특징으로 하는 기판 코터 장비의 약액 공급 장치.
기판에 약액을 도포하는 분사 노즐과, 상기 약액을 저장하는 약액 저장탱크와, 약액 공급관을 통해 상기 약액 저장통 내의 약액을 상기 분사 노즐로 토출시키는 펌프를 구비한 기판 코터 장비의 상기 분사 노즐에 상기 약액을 공급하는 방법으로서,

상기 펌프와 상기 분사 노즐 사이에 설치되어 상기 약액 공급관의 압력을 압력 센서로 측정하는 단계와;

상기 압력 센서에 의해 측정된 약액의 압력이 미리 정해진 기준 압력보다 크거나 작은지를 비교하는 단계와;

상기 약액의 압력이 상기 기준 압력을 초과하면 상기 약액 공급관의 약액 통과 단면을 줄이고, 상기 약액의 압력이 상기 기준 압력에 미달하면 상기 약액 공급관의 약액 통과 단면을 크게하는 압력조절단계를;

포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장비의 약액 공급 방법.
제 4항에 있어서,

상기 약액 공급관을 통해 약액을 공급하는 시초 압력(Pm)은 상기 기판의 약액 도포 공정 중의 정상 상태의 압력(Po)에 근접하게 제어하여 상기 약액을 상기 슬릿 노즐에 공급하는 단계를;

추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장비의 약액 공급 방법.
제 5항에 있어서,

상기 미리 정해진 압력은 상기 약액 도포 공정 중의 정상 상태의 압력(Po)인 것을 특징으로 하는 기판 코터 장비의 약액 공급 방법.
제 4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 압력 조절 단계는 상기 약액 공급관에 설치된 니들 밸브에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장비의 약액 공급 방법.
기판에 약액을 도포하는 분사 노즐과, 상기 약액을 저장하는 약액 저장탱크와, 약액 공급관을 통해 상기 약액 저장통 내의 약액을 상기 분사 노즐로 토출시키는 펌프를 구비한 기판 코터 장비의 상기 슬릿 노즐에 상기 약액을 공급하는 방법으로서,

상기 약액 공급관을 통해 약액을 공급하는 시초 압력(Pm)을 상기 기판의 약액 도포 공정 중의 정상 상태의 압력(Po)에 근접하게 제어하여 상기 약액을 상기 슬릿 노즐에 공급하는 단계와;

상기 펌프와 상기 슬릿 노즐 사이에 설치되어 상기 약액 공급관의 압력을 압력 센서로 측정하는 단계와;

상기 압력 센서에 의해 측정된 약액의 압력이 상기 약액 도포 공정 중의 정상 상태의 압력(Po)보다 크거나 작은지를 비교하는 단계와;

상기 약액의 압력이 상기 기준 압력을 초과하면 상기 약액 공급관의 약액 통과 단면을 줄이고, 상기 약액의 압력이 상기 기준 압력에 미달하면 상기 약액 공급관의 약액 통과 단면을 크게 조절하여 상기 약액의 압력이 상기 약액 도포 공정 중의 정상 상태의 압력(Po)에 도달하도록 조절하는 압력조절단계와;

상기 압력조절단계에서 조절된 압력(Po)을 유지하며 상기 약액 공급관을 통해 약액을 상기 슬릿 노즐에 공급하는 단계를;

포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장비의 약액 공급 방법.
제 8항에 있어서,

상기 압력 조절 단계는 상기 약액 공급관에 설치된 니들 밸브에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장비의 약액 공급 방법.