JPH1076153A - 液体自動供給装置及びその異常検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は供給ポイントに向け液体圧送装置から
液体供給配管を用いて液体を供給する液体自動供給装置
及びその異常検出装置に関し、各供給ポイントにおける
流量を一定化すると共に正確に異常検出を行なうことを
課題とする。 【解決手段】複数の供給ポイント25〜27と、この供給ポ
イント25〜27に夫々設けられた供給バルブ30〜32と、薬
液を供給ポイント25〜27に向け圧送するポンプ22と、供
給ポイント25〜27とポンプ22とを接続する液体供給配管
24とを具備する液体自動供給装置において、複数の供給
ポイント25〜27を液体供給配管24に直列に接続すると共
に、液体供給配管24の供給ポイント25〜27の接続位置よ
り下流位置に供給バルブ30〜32開弁状態に応じて液体供
給配管24を流れる液体の流量が一定となるよう流量調整
を行なう流量調整装置28を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液体自動供給装置及
びその異常検出装置に係り、特に供給ポイントに向け液
体圧送装置から液体供給配管を用いて液体を供給する液
体自動供給装置及びその異常検出装置に関する。

【０００２】例えば、半導体製造の洗浄・エッチング工
程においては、硫酸，弗酸，アンモニア水等の種々の薬
品（液体）が使用される。このため、半導体製造ライン
にはこれらの薬品を半導体製造装置に供給するための液
体自動供給装置が設けられている。

【０００３】また、通常半導体製造ラインは複数ライン
設けられており、これに伴い半導体製造装置も複数台設
けられている。このため、液体自動供給装置には半導体
製造装置の台数に対応するよう複数の供給ポイントが設
けられており、各供給ポイントより夫々の半導体製造装
置に薬品を供給する構成とされている。

【０００４】従って、半導体製造装置が良好な状態て半
導体装置の製造処理を行なうには、供給ポイントに安定
した薬品（液体）の供給を行なうことが重要となる。

【０００５】

【従来の技術】図６は、半導体製造ラインに適用された
従来の液体自動供給装置の一例を示している。同図に示
されるように、液体自動供給装置１は、ストレージタン
ク２，ポンプ３，濾過フィルタ４，圧力センサ５，圧力
調整バルブ６等を具備しており、液体供給配管７を介し
て薬品（液体）を複数（同図に示す例では３箇所）の供
給ポイント８〜１０に供給する構成とされている。

【０００６】ストレージタンク２は内部に薬液が貯留さ
れたタンクであり、このストレージタンク２内の薬液は
ポンプ３が駆動するとにより液体供給配管７に圧送され
る。また、ポンプ３と液体供給配管７とを接続する接続
配管１１には濾過フィルタ４が配設されており、よって
薬液はこの濾過フィルタ４を通過する際に内部に含まれ
ている不純物や微粒子が除去される。

【０００７】一方、上記した接続配管１１は還流配管１
２によりストレージタンク２と接続されており、また還
流配管１２の途中位置には圧力調整バルブ６が配設され
ている。更に、液体供給配管７には液体供給配管７内の
液圧を測定する圧力センサ５が配設されており、前記し
た圧力調整バルブ６はこの圧力センサ５が出力する液体
供給配管７内の液圧により開弁度が制御される構成とさ
れている。

【０００８】ところで、供給ポイント８〜１０はタンク
構造とされており、図示しない半導体製造ラインに配設
された半導体製造装置に接続されている。この供給ポイ
ント８〜１０は液体供給配管７に直列状態に配置されて
いる。また、供給ポイント８〜１０と液体供給配管７と
の接続位置には供給バルブ１３〜１５が配設されてお
り、この供給バルブ１３〜１５が開弁することにより液
体供給配管７から各供給ポイント８〜１０に薬液が供給
される構成とされている。

【０００９】また、各供給ポイント８〜１０に接続され
た半導体製造装置毎に薬液の使用量は異なるため、供給
ポイント８〜１０に貯留された薬液の残量が少なくなる
と、残量の少なくなった供給ポイント８〜１０に対応す
る供給バルブ１３〜１５が開弁し、常に供給ポイント８
〜１０内に貯留される薬液量が一定となるよう構成され
ている。

【００１０】従って、仮に供給バルブ１３〜１５の全て
が開弁した場合には、全ての供給ポイント８〜１０に対
して薬液の供給処理が行なわれるため、液体供給配管７
の液圧は小さくなる。このような場合には、液体供給配
管７の液圧変化（液圧の低下）を圧力センサ５が検出
し、圧力調整バルブ６を閉弁するよう制御する。

【００１１】逆に、供給バルブ１３〜１５の全てが閉弁
した場合には、液体供給配管７の液圧は上昇するため、
この圧力変化を圧力センサ５が検出することにより圧力
調整バルブ６は開弁するよう制御される。このように従
来では、液体供給配管７の液圧変化を圧力センサ５で検
出し、この検出値に基づき圧力調整バルブ６の開弁度を
調整することにより、液体供給配管７内の液圧が一定に
なるよう調整する構成とされていた。

【００１２】尚、図中１６は、薬液をドレインに廃棄す
る際に開弁されるドレインバルブであり、このドレイン
バルブ１６は通常閉弁されている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、一般に液体
供給配管７は長い配管（例えば、数十メートルの長さを
有する）であり、また供給ポイント８〜１０は半導体製
造装置に近接した位置に配設する必要があるため各供給
ポイント８〜１０の配設位置も離間している。従って、
ポンプ３から圧送された薬液の流速は、液体供給配管７
で発生する圧損によりポンプ３から離間するに従い小さ
くなる。

【００１４】いま、圧力センサ５が液圧を検出する位置
における薬液の流速をＶ_0,供給バルブ１３の配設位置に
おける流速をＶ_1,供給バルブ１４の配設位置における流
速をＶ_2,供給バルブ１５の配設位置における流速をＶ₃
とすると、上記のように液体供給配管７で発生する圧損
によりポンプ３から離間するに従い流速は遅くなる（Ｖ
₃ ＜Ｖ₂ ＜Ｖ₁ ＜Ｖ₀ ）。

【００１５】従って、供給バルブ１３〜１５が全て開弁
した場合においては、各供給ポイント８〜１０に供給さ
れる薬液の流量が異なってしまう。即ち、ポンプ３に近
い供給ポイント８においては短時間で薬液を供給処理す
ることができるが、ポンプ３から遠い供給ポイント１０
においては薬液を供給処理するのに長い時間を要してし
まう。

【００１６】このように、各供給ポイント８〜１０に薬
液を供給処理する際に流量のバラツキがあると、各供給
ポイント８〜１０に一定の安定した薬液の供給処理を行
なうことが困難となり、各供給ポイント８〜１０毎に貯
留される薬液量が異なる事態が発生してしまう。

【００１７】また、従来の構成ではポンプ３に近接した
位置に配設された圧力センサ５の検出結果に基づき液体
供給配管７に圧送する薬液の流量を制御していたため、
圧力センサ５の配設位置では液体供給配管７で発生する
圧損の影響を検知することができず、よって実際に各供
給ポイント８〜１０における流量を検知することができ
なかった。

【００１８】更に、従来の液体自動供給装置では、例え
ば供給ポイント８〜１０に異常が発生していも、これを
検知する手段が設けられていなかったため、早期の異常
検出を行なうことができなかった。また、従来では異常
検出を人手による目視検査を行なっていたため、検査効
率及び検査精度が低いという問題点があった。

【００１９】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、各供給ポイントにおける流量を一定化しうると共
に、早期かつ正確に異常検出を行いうる液体自動供給装
置及びその異常検出装置を提供することを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記の課題は、下記の手
段を講じることにより解決することができる。請求項１
記載の発明では、複数の供給ポイントと、前記複数の供
給ポイントに夫々設けられた弁装置と、液体を前記供給
ポイントに向け圧送する液体圧送装置と、前記供給ポイ
ントと前記液体圧送装置とを接続する液体供給配管とを
具備する液体自動供給装置において、前記複数の供給ポ
イントを前記液体供給配管に直列に接続すると共に、前
記液体供給配管の前記供給ポイントの接続位置より下流
位置に、前記弁装置の開弁状態に応じて前記液体供給配
管を流れる液体の流量が一定となるよう流量調整を行な
う流量調整装置を設けたことを特徴とするものである。

【００２１】また、請求項２記載の発明では、前記請求
項１記載の液体自動供給装置において、前記流量調整装
置は、前記弁装置と同一開弁度を有する共に前記弁装置
と同一個数の第２の弁装置を並列配置した構成であるこ
とを特徴とするものである。

【００２２】また、請求項３記載の発明では、複数の供
給ポイントと、前記複数の供給ポイントに夫々設けられ
た弁装置と、液体を前記供給ポイントに向け圧送する液
体圧送装置と、前記供給ポイントと前記液体圧送装置と
を接続する液体供給配管とを具備する液体自動供給装置
において、前記複数の供給ポイントを前記液体供給配管
に直列に接続すると共に、前記液体供給配管の前記供給
ポイントの接続位置より下流位置に前記液体供給配管内
の圧力検出を行なう圧力検出装置を設け、かつ、この圧
力検出装置が検出する前記液体供給配管内の液体圧力に
応じて、前記液体圧送装置が圧送する液体流量を調整す
る流量調整装置を設けたことを特徴とするものである。

【００２３】また、請求項４記載の発明では、複数の供
給ポイントと、前記複数の供給ポイントに夫々設けられ
た弁装置と、液体を前記供給ポイントに向け圧送する液
体圧送装置と、前記供給ポイントと前記液体圧送装置と
を接続する液体供給配管とを具備する液体自動供給装置
において、前記液体供給配管の端部を前記供給ポイント
の数に対応するよう分岐し、各分岐配管に夫々前記供給
ポイントを配設すると共に、前記液体供給配管内の液体
が前記分岐配管に均等に分配されるよう構成したことを
特徴とするものである。

【００２４】更に、請求項５記載の発明では、前記請求
項１乃至４のいずれかに記載の液体自動供給装置の異常
発生を検出する液体自動供給装置の異常検出装置であっ
て、前記供給ポイントに液体供給を開始した時点で始動
されるタイマと、前記供給ポイントに液体が所定量供給
された時点で信号を出力する供給完了検出センサと、前
記タイマが始動した後、前記供給ポイントに液体が所定
量供給される時間を経過した後に供給完了検出センサか
ら信号の出力がない場合に、前記液体圧送装置を停止さ
せる異常検出手段とを具備することを特徴とするもので
ある。

【００２５】上記した各手段は、次のように作用する。
請求項１記載の発明によれば、液体圧送装置から圧送さ
れた液体は、液体供給配管により供給ポイントに至り、
各供給ポイントに配設された弁装置が開弁することによ
り液体は供給ポイント内に流入する。

【００２６】また、液体供給配管の供給ポイントとの接
続位置より下流位置には流量調整装置が配設され、この
流量調整装置は弁装置の開弁状態に応じて液体供給配管
を流れる液体の流量が一定となるよう流量調整を行なう
構成とされているため、各供給ポイントに流入する液体
の流量を各供給ポイントの配設位置に拘わらず常に一定
とすることができる。これにより、各供給ポイントに対
して安定した液体供給を行なうことができる。

【００２７】また、請求項２記載の発明によれば、流量
調整装置を弁装置と同一開弁度を有する共に弁装置と同
一個数の第２の弁装置を並列配置した構成としたことに
より、１個の弁装置が開弁した場合にこれと対応して１
個の第２の弁装置を閉弁し、また２個の弁装置が開弁し
た場合にこれと対応して２個の第２の弁装置を閉弁する
よう制御する事が可能となり、これにより液体供給配管
を流れる液体の流量を常に一定とすることが可能とな
る。

【００２８】また、請求項３記載の発明によれば、液体
供給配管の供給ポイントの接続位置より下流位置に液体
供給配管内の圧力検出を行なう圧力検出装置を設け、こ
の圧力検出装置が検出する液体供給配管内の液体圧力に
応じて、流量調整装置により液体圧送装置が圧送する液
体流量を調整する構成としたことにより、各供給ポイン
トに対して安定した液体供給を行なうことができる。

【００２９】即ち、供給ポイントの接続位置より下流位
置においては、液体供給配管内の圧力は既に液体供給配
管による圧損の影響を受けた圧力である。よって、この
圧損の影響を受けた配管内圧力を圧力検出装置で検出
し、流量調整装置による上記検出結果に基づき液体圧送
装置が圧送する液体流量を調整することにより、液体供
給配管を流れる液体の流量を一定化することが可能とな
る。これにより、各供給ポイントに対して安定した液体
供給を行なうことができる。

【００３０】また、請求項４記載の発明によれば、液体
供給配管の端部を供給ポイントの数に対応するよう分岐
し、各分岐配管に夫々供給ポイントを配設すると共に、
液体供給配管内の液体が分岐配管に均等に分配されるよ
う構成したことにより、各分岐配管で発生する圧損の状
態も均等となる。従って、各供給ポイントに流入する液
体の流量を一定化することが可能となり、各供給ポイン
トに対して安定した液体供給を行なうことができる。

【００３１】更に、請求項５記載の発明によれば、タイ
マは供給ポイントに液体供給を開始した時点で始動され
るため、このタイマにより供給ポイントに液体供給を開
始した時よりの時間を知ることができる。また、供給完
了検出センサは、供給ポイントに液体が所定量供給され
た時点で信号を出力する。また、請求項１乃至４記載の
いずれかに記載された構成の液体自動供給装置は、供給
ポイントに一定の流量で液体が供給されるため、供給ポ
イントに異常がない場合には、液体が供給ポイントに所
定量供給されるのに要する一定の時間が経過した後に供
給完了検出センサは信号を出力する。

【００３２】しかるに、液体供給が開始されることによ
りタイマが始動した後、供給ポイントに液体が所定量供
給される時間を経過した後に供給完了検出センサから信
号の出力がない場合は、供給ポイントに異常が発生して
いる場合である。よって、このような場合には、異常検
出手段により液体圧送装置を停止させる。これにより、
異常が発生している供給ポイントに液体が供給されるこ
とを防止でき、漏洩等の発生を未然に抑制することがで
きる。また、異常検出は自動的に実施されるため、高精
度の異常検出を行なうことが可能となる。

【００３３】

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
図面と共に説明する。図１は本発明の第１実施例である
液体自動供給装置２０を示しており、またこの液体自動
供給装置２０は本発明の一実施例である異常検出装置を
組み込んだ構成とされている。尚、本実施例では、液体
自動供給装置２０として半導体製造ラインに組み込まれ
るものを例に挙げて説明するが、液体自動供給装置２０
の適用は半導体製造ラインに限定されるものではない。

【００３４】液体自動供給装置２０は、大略するとスト
レージタンク２１，ポンプ２２，濾過フィルタ２３，液
体供給配管２４，複数（同図に示す例では３箇所）の供
給ポイント２５〜２７，流量調整装置２８，及び制御装
置２９等により構成されている。

【００３５】ストレージタンク２１は内部に液体状の薬
品（以下、薬液という）が貯留されたタンクであり、こ
のストレージタンク２１内の薬液はポンプ２２が駆動す
るとにより液体供給配管２４に圧送される構成とされて
いる。ポンプ２２は、例えばエア駆動ポンプであり、制
御装置２９により駆動制御されることにより、一定の送
液量で薬液を液体供給配管２４に圧送する。

【００３６】また、ポンプ２２と液体供給配管２４との
間には濾過フィルタ２３が配設されており、よって薬液
はこの濾過フィルタ２３を通過する際に内部に含まれて
いる不純物や微粒子が除去される。ところで、近年のよ
うに半導体装置の集積度が高まるにつれ、半導体製造工
程において使用される薬液中の金属不純物・微粒子が問
題視されるようになってきている。一般に、半導体装置
に形成されるパターンの１／１０程度の粒径の微粒子が
半導体装置のパターン内に取り込まれると不良が発生す
るといわれており、また半導体装置の最少線幅は１６Ｍ
−ＤＲＡＭで 0.5μｍ，６４Ｍ−ＤＲＡＭで0.35μｍ，
２５６Ｍ−ＤＲＡＭで0.25μｍと小さくなる。

【００３７】従って、半導体装置の製造工程で使用され
る薬液中の微粒子も低減することが望まれており、この
ため半導体製造装置に薬液を供給する液体自動供給装置
２０に濾過フィルタ２３を設け、薬液内における微粒子
の低減を図る構成とされている。

【００３８】一方、供給ポイント２５〜２７はタンク構
造とされており、図示しない半導体製造ラインに配設さ
れた半導体製造装置に接続されている。この供給ポイン
ト２５〜２７は液体供給配管２４に直列状態に配置され
ている。また、各供給ポイント２５〜２７と液体供給配
管２４との接続位置には供給バルブ３０〜３２が配設さ
れており、この供給バルブ３０〜３２が開弁することに
より液体供給配管２４から各供給ポイント２５〜２７に
薬液が供給される構成とされている。

【００３９】この際、各供給ポイント２５〜２７に接続
された半導体製造装置毎に薬液の使用量は異なるため、
供給ポイント２５〜２７に貯留された薬液の残量が少な
くなると、残量の少なくなった供給ポイント２５〜２７
に対応する供給バルブ３０〜３２が開弁し、常に供給ポ
イント２５〜２７内に貯留される薬液量が一定となるよ
う構成されている。

【００４０】また、上記した各供給バルブ３０〜３２は
制御装置２９に接続されており、制御装置２９は各供給
バルブ３０〜３２の開弁状態を検知しうる構成とされて
いる。更に、各供給ポイント２５〜２７には供給完了検
出センサ３６〜３８が設けられており、この供給完了検
出センサ３６〜３８は供給ポイント２５〜２７に薬液が
所定量供給された時点で制御装置２９に向け供給完了信
号を出力する構成とされている。尚、この供給完了検出
センサ３６〜３８は、各供給ポイント２５〜２７に残留
する薬液量が少なくなった場合にも、制御装置２９に向
け残量減少信号を出力する構成とされている。

【００４１】一方、上記の液体供給配管２４は、流量調
整装置２８を介してストレージタンク２１に接続されて
おり、従って液体供給配管２４はポンプ２２，濾過フィ
ルタ２３，流量調整装置２８を介してループ状にストレ
ージタンク２１と接続された構成とされている。即ち、
ポンプ２２により液体供給配管２４に圧送された薬液
は、ストレージタンク２１に還流可能な構成とされてい
る。

【００４２】流量調整装置２８は、供給バルブ３０〜３
２と同一数の調整バルブ３３〜３５（第２の弁装置）に
より構成されており、薬液の流れ方向に対し供給ポイン
ト２５〜２７の配設位置より下流側（本実施例では、ス
トレージタンク２１の上部位置）に配設されている。こ
の調整バルブ３３〜３５は供給バルブ３０〜３２と同一
構成とれさた弁装置であり、液体供給配管２４に並列配
置されている。また、調整バルブ３３〜３５は制御装置
２９に接続され、その駆動を制御される構成とされてい
る。

【００４３】続いて、上記構成とされた液体自動供給装
置２０の動作について説明する。前記したように、液体
自動供給装置２０が稼働中はポンプ２２はストレージタ
ンク２１内に貯留された薬液を所定の圧力で液体供給配
管２４に圧送する。また、各供給ポイント２５〜２７に
配設された供給バルブ３０〜３２は、供給ポイント２５
〜２７に残留する薬液量が少なくなると、制御装置２９
により開弁駆動される。具体的には、供給ポイント２５
〜２７に残留する薬液量が少なくなると、供給完了検出
センサ３６〜３８は残量減少信号を制御装置２９に向け
出力し、制御装置２９はこの残量減少信号が供給された
時点で供給バルブ３０〜３２を閉弁駆動させる。

【００４４】この際、制御装置２９は供給バルブ３０〜
３２の駆動処理と同時に流量調整装置２８の駆動処理を
実施する。以下、この供給バルブ３０〜３２の駆動処理
が実施され場合に同時に実施される流量調整装置２８の
駆動処理について説明する。いま、３個設けられた供給
バルブ３０〜３２の内、１個の供給バルブ（例えば供給
バルブ３０）に対して制御装置２９が開弁駆動を行なっ
たとすると、制御装置２９は流量調整装置２８を構成す
る３個の調整バルブ３３〜３５の内、１個の調整バルブ
（例えば、調整バルブ３３）を閉弁駆動する。

【００４５】また、残量減少信号に基づき制御装置２９
が２個の供給バルブ（例えば、供給バルブ３０，３１）
を開弁駆動した場合には、制御装置２９は流量調整装置
２８を構成する３個の調整バルブ（例えば、調整バルブ
３３，３４）を閉弁駆動する。更に、制御装置２９が３
個の供給バルブ３０〜３２の全てを開弁駆動した場合に
は、制御装置２９は流量調整装置２８を構成する３個の
調整バルブ３３〜３５の全てを閉弁駆動する。

【００４６】上記のように流量調整装置２８を駆動制御
することにより、液体供給配管２４を流れる薬液の流量
は常に一定となり、従って供給ポイント２５〜２７に流
入する薬液の流量を他の条件（液体供給配管２４内で発
生する圧損，及び供給ポイント２５〜２７の配設位置
等）に拘わらず常に一定流量とすることができる。これ
により、各供給ポイント２５〜２７に対して等しい流量
で安定した薬液の供給を行なうことができる。

【００４７】図３は、本実施例に係る液体自動供給装置
２０の効果を従来と比較しつつ示す図である。同図で
は、横軸に供給ポイント数（本実施例では３個）を示
し、縦軸に液体供給配管２４を流れる流量を示してい
る。同図から明らかなように、図６に示した従来構成の
液体自動供給装置１では、供給ポイント数が増加するに
従い液体供給配管２４を流れる流量が低下している。

【００４８】これに対し、本実施例に係る液体自動供給
装置２０は、供給ポイント数が増加しても液体供給配管
２４を流れる流量は一定となっている。従って同図から
も、本実施例に係る液体自動供給装置２０によれば、各
供給ポイント２５〜２７に対して等しい流量で安定した
薬液の供給を行なうことができることが判る。

【００４９】尚、上記した実施例においては、流量調整
装置２８として３個の調整バルブ３３〜３５を用いた構
成を示したが、これに代えて開弁度を可変しうる流量制
御弁を用い、１個の流量制御弁により流量調整装置を構
成することも可能である。続いて、液体自動供給装置２
０に設けられた異常検出装置について説明する。

【００５０】異常検出装置は、大略すると制御装置２９
と供給完了検出センサ３６〜３８により構成される。制
御装置２９はマイクロコンピュータにより構成されてお
り、内部にタイマを有している。本実施例では、この制
御装置２９に内設されたタイマは、供給ポイント２５〜
２７に薬液供給を開始した時点で始動される構成とされ
ている。また、前記した説明から明らかなように、複数
の供給ポイント２５〜２７に同時に薬液供給が実施され
る可能性があるため、タイマは各供給ポイント２５〜２
７毎に時間の計測を行いうる構成とされている。

【００５１】また、制御装置２９には、予め図２に示す
異常検出プログラムが格納されており、この異常検出プ
ログラムに従い異常検出処理を行なう構成とされてい
る。以下、図２を用いて制御装置２９が実施する異常検
出処理について説明する。尚、以下の説明では、複数配
設された供給ポイント２５〜２７の内、供給ポイント２
５に対する異常検出処理を例に挙げて説明するものと
し、他の供給ポイント２６，２７に対する異常検出処理
は供給ポイント２５に対する異常検出処理と同様である
ため、その説明を省略する。

【００５２】図２に示す異常検出処理が起動すると、先
ずステップ１０において、供給ポイント２５に対応する
供給バルブ３０が開弁されたか否かが判断される。そし
て、ステップ１０において否定判断がされた場合、即ち
供給バルブ３０が閉弁状態である場合には、供給ポイン
ト２５に薬液が供給されず異常検出を行なえないため処
理を終了する。

【００５３】一方、ステップ１０で肯定判断がされた場
合、即ち供給バルブ３０が開弁され薬液の供給ポイント
２５への供給が開始されたと判断されると、処理はステ
ップ１２に進み、前記した制御装置２９に内設されたタ
イマを起動する。続くステップ１４では、供給完了検出
センサ３６から供給ポイント２５に対し薬液の供給が完
了したことを示す供給完了信号が出力されたか否かを判
断する。そして、ステップ１４で肯定判断がされた場合
は、供給ポイント２５に漏洩はなく正常な状態であるた
め、処理を終了する。

【００５４】一方、ステップ１４で否定判断がされた場
合は、処理はステップ１６に進み、所定時間が経過した
か否かを判断する。ここで所定時間とは、供給ポイント
２５が正常であった場合に薬液が供給ポイント２５に所
定量装填されるまでの時間である。前記したように、本
実施例に係る液体自動供給装置２０は各供給ポイント２
５〜２７に一定流量で薬液が供給されるため、供給ポイ
ント２５に異常がない場合には、薬液が供給ポイント２
５に充填されるのに要する時間は一定となる。ステップ
１６の処理は、この所定時間の経過を待つ処理である。

【００５５】ここで、ステップ１４で否定判断がされ、
かつステップ１６で肯定判断がされた場合について説明
する。この状態は、薬液が供給ポイント２５に充填され
るのに要する時間が経過しても、供給完了検出センサ３
６から供給ポイント２５に対し薬液の供給が完了したこ
とを示す供給完了信号が出力されない状態である。この
ような状態は、供給ポイント２５に漏洩等の異常が発生
している場合である。

【００５６】よって、ステップ１４で否定判断がされ、
かつステップ１６で肯定判断がされた場合は、処理をス
テップ１８に進め、ポンプ２２の駆動を停止させる構成
としている。これにより、異常が発生している供給ポイ
ント２５に薬液が供給されることを防止でき、多量の薬
液の漏洩を未然に抑制することができる。また、異常検
出は自動的に実施されるため、高精度の異常検出を行な
うことが可能となる。

【００５７】続いて、本発明の第２実施例に係る液体自
動供給装置について説明する。図４は、本発明の第２実
施例である液体自動供給装置２０Ａを示している。尚、
図４において図１に示した第１実施例に係る液体自動供
給装置２０と同一構成については同一符号を附してその
説明を省略する。

【００５８】本実施例に係る液体自動供給装置２０Ａ
は、従来構成の液体自動供給装置１（図６参照）と同様
に、複数の供給ポイント２５〜２７を液体供給配管２４
Ａに直列に接続すると共に、液体供給配管２４Ａの端部
はストレージタンク２１には接続されない構成とされて
いる。また、液体供給配管２４Ａのポンプ２２の配設位
置に近い位置には圧力センサ３９が配設されている。

【００５９】上記構成において、本実施例に係る液体自
動供給装置２０Ａでは、液体供給配管２４Ａの供給ポイ
ント２５〜２７の接続位置より下流位置に、液体供給配
管２４Ａ内の圧力検出を行なう圧力センサ（圧力検出装
置）４０が設けられている。また、制御装置２９Ａは、
圧力センサ４０が検出する液体供給配管２４Ａ内の液体
圧力に応じて、圧力調整バルブ４１（流量調整装置）を
調整制御することにより液体供給配管２４Ａ内の流量が
一定となるよう制御する構成とされている。

【００６０】ここで、供給ポイント２５〜２７の接続位
置より下流位置における液体供給配管２４Ａ内の圧力
は、既に液体供給配管２４Ａによる圧損の影響を受けた
圧力となっている。よって、この圧損の影響を受けた配
管内圧力を圧力センサ４０で検出し、この検出結果に基
づき液体供給配管２４Ａに圧送される薬液流量を調整す
ることにより、液体供給配管２４Ａを流れる液体の流量
を一定化することが可能となり、よって各供給ポイント
２５〜２７に対して安定した液体供給を行なうことが可
能となる。

【００６１】続いて、本発明の第３実施例に係る液体自
動供給装置について説明する。図５は、本発明の第２実
施例である液体自動供給装置２０Ｂを示している。尚、
図５において図１及び図４に示した液体自動供給装置２
０，２０Ａと同一構成については同一符号を附してその
説明を省略する。

【００６２】本実施例に係る液体自動供給装置２０Ｂ
は、液体供給配管２４Ｂの端部を供給ポイント２５〜２
７に対応するよう３本に分岐し、各分岐配管４２〜４３
に夫々供給ポイント２５〜２７を配設したことを特徴と
するものである。また、分岐配管４２〜４３は、液体供
給配管２４Ｂ内を流れる薬液が各分岐配管４２〜４３に
均等に分配されるよう構成されている。

【００６３】上記構成とすることにより、各分岐配管４
２〜４３で発生する圧損の状態も均等となり、従って各
供給ポイント２５〜２７に流入する液体の流量を一定化
することができる。これにより、各供給ポイント２５〜
２７に対して安定した液体供給を行なうことが可能とな
る。

【００６４】

【発明の効果】上述の如く本発明によれば、次に述べる
種々の効果を実現することができる。請求項１記載の発
明によれば、各供給ポイントに流入する液体の流量を各
供給ポイントの配設位置に拘わらず常に一定とすること
ができるため、各供給ポイントに対して安定した液体供
給を行なうことができる。

【００６５】また、請求項２記載の発明によれば、１個
の弁装置が開弁した場合にこれと対応して１個の第２の
弁装置を閉弁し、また２個の弁装置が開弁した場合にこ
れと対応して２個の第２の弁装置を閉弁するよう制御す
る事が可能となり、これにより液体供給配管を流れる液
体の流量を常に一定とすることが可能となる。

【００６６】また、請求項３記載の発明によれば、圧力
検出装置が検出する液体供給配管内の液体圧力に応じ
て、流量調整装置により液体圧送装置が圧送する液体流
量を調整する構成としたことにより、液体供給配管を流
れる液体の流量を一定化することが可能となり、これに
より各供給ポイントに対して安定した液体供給を行なう
ことができる。

【００６７】また、請求項４記載の発明によれば、各分
岐配管で発生する圧損の状態は均等となり、従って各供
給ポイントに流入する液体の流量を一定化することが可
能となり、各供給ポイントに対して安定した液体供給を
行なうことができる。更に、請求項５記載の発明によれ
ば、異常が発生している供給ポイントに液体が供給され
ることを防止でき、漏洩等の発生を未然に抑制すること
ができると共に、異常検出が自動的に実施されるため高
精度の異常検出を行なうことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例である液体自動供給装置及
び本発明の一実施例である液体自動供給装置の異常検出
装置を示す構成図である。

【図２】本発明の一実施例である液体自動供給装置の異
常検出装置が実施する異常検出処理を示すフローチャー
トである。

【図３】供給ポイント数と流量との関係を従来と比較し
つつ示す図である。

【図４】本発明の第２実施例である液体自動供給装置の
構成図である。

【図５】本発明の第３実施例である液体自動供給装置の
構成図である。

【図６】従来の液体自動供給装置の一例を示す構成図で
ある。

【符号の説明】

２０，２０Ａ，２０Ｂ 液体自動供給装置 ２１ ストレージタンク ２２ ポンプ ２３ 濾過フィルタ ２４，２４Ａ，２４Ｂ 液体供給配管 ２５〜２７ 供給ポイント ２８ 流量調整装置 ２９，２０Ａ 制御装置 ３０〜３２ 供給バルブ ３３〜３５ 調整バルブ ３６〜３８ 供給完了検出センサ ３９，４０ 圧力センサ ４１ 圧力調整バルブ ４２〜４４ 分岐配管

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の供給ポイントと、前記複数の供給
   ポイントに夫々設けられた弁装置と、液体を前記供給ポ
   イントに向け圧送する液体圧送装置と、前記供給ポイン
   トと前記液体圧送装置とを接続する液体供給配管とを具
   備する液体自動供給装置において、 前記複数の供給ポイントを前記液体供給配管に直列に接
   続すると共に、 前記液体供給配管の前記供給ポイントの接続位置より下
   流位置に、前記弁装置の開弁状態に応じて前記液体供給
   配管を流れる液体の流量が一定となるよう流量調整を行
   なう流量調整装置を設けたことを特徴とする液体自動供
   給装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の液体自動供給装置におい
   て、 前記流量調整装置は、前記弁装置と同一開弁度を有する
   共に前記弁装置と同一個数の第２の弁装置を並列配置し
   た構成であることを特徴とする液体自動供給装置。
3. 【請求項３】 複数の供給ポイントと、前記複数の供給
   ポイントに夫々設けられた弁装置と、液体を前記供給ポ
   イントに向け圧送する液体圧送装置と、前記供給ポイン
   トと前記液体圧送装置とを接続する液体供給配管とを具
   備する液体自動供給装置において、 前記複数の供給ポイントを前記液体供給配管に直列に接
   続すると共に、前記液体供給配管の前記供給ポイントの
   接続位置より下流位置に前記液体供給配管内の圧力検出
   を行なう圧力検出装置を設け、 かつ、該圧力検出装置が検出する前記液体供給配管内の
   液体圧力に応じて、前記液体圧送装置が圧送する液体流
   量を調整する流量調整装置を設けたことを特徴とする液
   体自動供給装置。
4. 【請求項４】 複数の供給ポイントと、前記複数の供給
   ポイントに夫々設けられた弁装置と、液体を前記供給ポ
   イントに向け圧送する液体圧送装置と、前記供給ポイン
   トと前記液体圧送装置とを接続する液体供給配管とを具
   備する液体自動供給装置において、 前記液体供給配管の端部を前記供給ポイントの数に対応
   するよう分岐し、各分岐配管に夫々前記供給ポイントを
   配設すると共に、前記液体供給配管内の液体が前記分岐
   配管に均等に分配されるよう構成したことを特徴とする
   液体自動供給装置。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載の液体
   自動供給装置の異常発生を検出する液体自動供給装置の
   異常検出装置であって、 前記供給ポイントに液体供給を開始した時点で始動され
   るタイマと、 前記供給ポイントに液体が所定量供給された時点で信号
   を出力する供給完了検出センサと、 前記タイマが始動した後、前記供給ポイントに液体が所
   定量供給される時間を経過した後に供給完了検出センサ
   から信号の出力がない場合に、前記液体圧送装置を停止
   させる異常検出手段とを具備することを特徴とする液体
   自動供給装置の異常検出装置。