KR101470673B1

KR101470673B1 - 액처리 장치, 액처리 방법, 및 프로그램 기록 매체

Info

Publication number: KR101470673B1
Application number: KR1020100070029A
Authority: KR
Inventors: 가즈히사 마츠모토
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2009-07-31
Filing date: 2010-07-20
Publication date: 2014-12-08
Also published as: KR20110013239A; CN101989537A; TW201133578A; JP5474666B2; CN101989537B; US8425686B2; US20110023912A1; JP2011049526A; TWI460775B

Abstract

본 발명은 액 사용량을 저감할 수 있고, 피처리체 간의 처리 정도의 차이를 억제할 수 있는 액처리 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
액처리 장치(10)는 주배관(20)과, 주배관에 접속된 액공급 기구(40)와, 주배관에 설치된 주개폐 밸브(22)와, 주배관으로부터 분기된 복수의 분기관(25)과, 각 분기관과 접속된 복수의 처리 유닛(50)을 갖는다. 액공급 기구는 주배관 상에 설치된 혼합기(43)와, 제1 액을 공급하는 제1 액 공급관(41b)과, 제2 액을 공급하는 제2 액원(42a)을 포함하며, 제1 액과 제2 액을 혼합기 내에서 혼합하여 이루어진 혼합액을 주배관에 일측으로부터 공급한다. 주개폐 밸브는 처리 유닛 내에서 피처리체가 처리되고 있을 때, 주배관을 액공급 기구에 대하여 타측으로부터 폐쇄한다.

Description

액처리 장치, 액처리 방법, 및 프로그램 기록 매체{LIQUID PROCESSING APPARATUS, LIQUID PROCESSING METHOD, AND RECORDING MEDIUM HAVING PROGRAM STORED THEREIN}

본 발명은 액을 이용하여 피처리체를 처리하는 액처리 장치 및 액처리 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 액을 이용하여 피처리체를 처리하는 액처리 방법을 실행하기 위한 프로그램 및 이 프로그램을 기록한 기록 매체에 관한 것이다.

종래, 상이한 복수의 액체를 혼합하여 이루어진 혼합액을 이용한 피처리체의 처리, 예를 들어 반도체 웨이퍼(이하, 간단히 웨이퍼라고 부름)나 유리 기판에 대한 세정 처리가 실시되어 왔다. 웨이퍼나 유리 기판 등의 피처리체에 대하여 액체를 이용하여 처리하는 액처리 장치에는, 통상, 처리 챔버를 형성하는 처리 유닛이 복수개 설치되고, 각 처리 유닛 내에서 피처리체가 순차 처리되게 되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1).

일본 특허 공개 평 6-204201호 공보

그런데, 특허문헌 1에 개시된 액처리 장치에서는, 상이한 액을 혼합하여 공급하는 액공급 기구가 각 처리 유닛에 대하여 별개로 할당되어 있다. 이러한 종류의 액처리 장치에서는, 각 처리 유닛에서의 액체의 소비에 맞춰, 액이 대응하는 액공급 기구로부터 그 처리 유닛에 공급되게 되어 있다. 그러나, 이러한 액처리 장치에서는, 복수의 액공급 기구로부터 공급되는 혼합액의 농도가 달라, 상이한 처리 유닛에서 처리된 피처리체 간에 처리 정도가 달라진다. 또한, 액처리 장치의 구성 및 액처리 장치의 제어가 복잡해진다.

또한, 액체, 특히 약액을 이용하여 피처리체를 처리하는 액처리에서는, 처리 비용의 절감의 관점 및 환경 유지의 관점에서, 액 절약을 실현하는 것도 큰 과제가 되고 있다.

본 발명의 일 양태에 따른 액처리 장치는,

주배관과,

상기 주배관 상에 설치된 혼합기와, 제1 액을 상기 혼합기에 공급하는 제1 액 공급관과, 제2 액을 상기 혼합기에 공급하는 제2 액원을 가지며, 상기 제1 액과 상기 제2 액을 상기 혼합기에서 혼합하여 이루어진 혼합액을 상기 주배관에 일측으로부터 공급하는 액공급 기구와,

상기 주배관에 설치되고, 상기 주배관을 상기 액공급 기구에 대하여 타측으로부터 폐쇄할 수 있는 주개폐 밸브와,

상기 액공급 기구와 상기 주개폐 밸브 사이의 구간에서 상기 주배관으로부터 각각 분기된 복수의 분기관과,

각 분기관에 각각 대응하여 설치된 복수의 처리 유닛으로서, 대응하는 분기관을 통해 공급되는 혼합액을 이용하여 피처리체를 처리하도록 구성되는 복수의 처리 유닛을 포함하며,

상기 주개폐 밸브는, 상기 복수의 처리 유닛 중 어느 하나에서 피처리체가 처리되고 있을 때, 상기 주배관을 상기 액공급 기구에 대하여 타측으로부터 폐쇄한다.

본 발명의 일 양태에 따른 액처리 방법은,

복수의 처리 유닛에 각각 통해 있는 복수의 분기관이 뻗어 있는 주배관 내에, 제1 액 공급관으로부터 공급되는 제1 액과 제2 액원으로부터 공급되는 제2 액을 혼합하여 이루어진 혼합액을 상기 주배관에 일측으로부터 충전하는 공정과,

상기 주배관 내의 혼합액이 각 분기관을 통해 각 처리 유닛에 공급되고, 그 혼합액을 이용하여 각 처리 유닛 내에서 피처리체의 처리가 실시되는 공정을 포함하며,

상기 주배관으로부터 공급되는 혼합액을 이용하여 각 처리 유닛 내에서 처리가 이루어지고 있는 동안, 상기 주배관은 주개폐 밸브에 의해 타측이 폐쇄된다.

본 발명의 일 양태에 다른 프로그램은 액처리 장치를 제어하는 제어 장치에 의해 실행되는 프로그램으로서, 상기 제어 장치에 의해 실행됨으로써, 전술한 본 발명의 일 양태에 따른 액처리 방법 중 어느 하나를 액처리 장치에 실시시킨다.

본 발명의 일 양태에 따른 기록 매체는 액처리 장치를 제어하는 제어 장치에 의해 실행되는 프로그램이 기록된 기록 매체로서, 상기 프로그램이 상기 제어 장치에 의해 실행됨으로써, 전술한 본 발명의 일 양태에 따른 액처리 방법 중 어느 하나를 액처리 장치에 실시시킨다.

본 발명에 의하면, 하나의 액공급 기구로부터 주배관에 공급되는 혼합액이 복수의 처리 유닛에서의 피처리체의 처리에 이용된다. 따라서, 상이한 처리 유닛에서 처리된 피처리체 간의 처리 차이를 저감할 수 있다. 또한, 약액 절약의 관점에서도 바람직하다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 액처리 장치의 전체 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1의 액처리 장치를 이용하여 실시될 수 있는 피처리체에 대한 액처리 방법의 일례를 설명하기 위한 흐름도이다.
도 3은 액처리 장치의 일 변형예를 도시하는 모식도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일실시형태에 관해 설명한다. 본 명세서에 첨부하는 도면에서는, 도시와 용이한 이해의 편의상, 적절하게 축척 및 종횡의 치수비 등을 이용해 실물을 변경하고 과장하여 나타낸다.

이하의 실시형태에서는, 본 발명을, 반도체 웨이퍼(피처리체의 일례)의 세정 처리, 특히 약액을 이용한 처리(약액 처리)에 적용한 예를 나타낸다. 그러나, 당연히 본 발명은 웨이퍼의 세정 처리에 대한 적용에 한정되는 것이 아니다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 액처리 장치(10)는, 주배관(20)과, 주배관(20)에 일측으로부터 접속되어 주배관(20)에 혼합액을 공급하는 액공급 기구(40)와, 주배관(20)에 설치된 주개폐 밸브(22)와, 주배관(20)으로부터 분기된 복수의 분기관(25)을 갖는다. 복수의 분기관(25)의 각각에 대응하여 처리 유닛(50)이 설치된다. 각 분기관(25)에는, 분기관(25)을 개폐하는 분기관용 개폐 밸브(27)가 설치된다. 또한, 액처리 장치(10)는 액처리 장치(10)의 각 구성 요소의 동작 등을 제어하는 제어 장치(12)를 갖는다. 이하, 각 구성 요소에 관해 순서대로 설명한다.

우선, 액공급 기구(40)에 관해 설명한다. 액공급 기구(40)는 주배관(20) 및 분기관(25)을 통해, 다수의 처리 유닛(50)의 각각에, 웨이퍼[피처리체(W)]의 처리에 이용되는 혼합액을 공급한다. 본 실시형태에서, 액공급 기구(40)는 웨이퍼[피처리체(W)]의 약액 처리에 이용되는 약액을 주배관(20) 내에 공급하도록 구성되어 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서, 액공급 기구(40)는 주배관(20)의 일측에 설치된 혼합기(43)와, 제1 액을 공급하는 제1 액 공급관(41b)과, 제1 액과는 상이한 제2 액을 공급하는 제2 액원(42a)을 갖는다. 제1 액 공급관(41b)은 혼합기(43)와 제1 액원(41a) 사이에 뻗어 있다. 제2 액원(42a)과 혼합기(43) 사이에 제2 액 공급관(42b)이 설치되고, 제2 액 공급관(42b)을 통해 제2 액원(42a)으로부터 혼합기(43)에 제2 액이 공급된다. 혼합기(43)는 제1 액 공급관(41b)과 제2 액 공급관(42b)의 합류부를 이루는 부재이다. 제1 액원(41a)으로부터의 제1 액 및 제2 액원(42a)으로부터의 제2 액은 혼합기(43)에서 합류되어 혼합되고, 이에 따라, 제1 액과 제2 액을 혼합하여 이루어진 혼합액을 얻을 수 있게 된다. 혼합기(43)는 제1 액과 제2 액을 적극적으로 혼합하는 기능을 갖는 부재로 구성될 수 있다. 단, 이것에 한정되지 않고, 혼합기(43)는 오로지 제1 액 및 제2 액의 합류전의 각 액류에 기인하여 제1 액 및 제2 액이 혼합되게 되는 부재(예를 들어, T 자형 이음매인 치즈)로 구성될 수도 있다.

본 실시형태에서는, 물, 특히 순수가 제1 액원(41a)으로부터 제1 액으로서 공급되고, 고농도 약액이 제2 액원(42a)으로부터 제2 액으로서 공급된다. 액공급 기구(40)는 제1 액 공급관(41b)으로부터의 물과 제2 액원(42a)으로부터의 고농도 약액을 혼합하여, 원하는 농도로 조절한 약액으로서의 혼합액을 주배관(20) 내에 공급할 수 있게 구성되어 있다. 제2 액원(42a)으로부터 공급되는 고농도 약액(제2 액)으로서, 웨이퍼(W)를 세정 처리하기 위해 이용될 수 있는 여러가지 약액을 채택할 수 있다. 예를 들어, 제2 액원(42a)으로부터, 희불산, 암모니아과수(SC1) 또는 염산과수(SC2)가 공급되는 것이 가능하다. 또한, 제1 액원(41a)은 액처리 장치(10)가 설치되는 장소에 설비된 수원, 예를 들어 공장의 용력일 수도 있다.

그런데, 액공급 기구(40)는 주배관(20)에 접속된 복수의 처리 유닛(50) 전체에 동시에 공급할 수 있는 압력으로, 혼합비가 조절된 혼합액을 주배관(20) 내에 공급하도록 구성되어 있다. 도시하는 예에서는, 액공급 기구(40)의 제1 액 공급관(41b) 상에 정압 밸브(41c)가 설치된다. 이러한 구성에 의해, 주배관(20)에 접속된 복수의 처리 유닛(50) 전체에 제1 액을 동시에 공급할 수 있는 압력으로, 제1 액이 제1 액원(41a)으로부터 제1 액 공급관(41b)을 통해 주배관(20)에 공급될 수 있다. 한편, 제2 액 공급관(42b)에는, 유량 조정 밸브(42c) 및 유량계(42d)가 설치된다. 제2 액원(42a)으로부터의 제2 액은, 웨이퍼(W)를 처리하고 있는 처리 유닛(50)의 수에 따른 양으로, 혼합기(43)를 통해 주배관(20)에 공급되게 된다. 일례로서, 유량 조정 밸브(42c)는, 주배관(20)에 접속된 처리 유닛(50) 중, 주배관(20) 내의 액을 소비하여 웨이퍼(W)를 처리하고 있는 처리 유닛(50)의 수에 따라 제2 액의 액량을 조절하고, 조절된 양의 제2 액이 주배관(20)에 공급되도록 구성될 수도 있다. 이러한 구성에 의해, 액공급 기구(40)는 주배관(20) 내부를 미리 정해진 농도의 혼합액에 의해, 미리 정해진 압력으로 유지할 수 있다. 또, 처리 유닛(50)의 가동 상황에 따라 필요한 양으로, 미리 정해진 농도의 혼합액이 액공급 기구(40)로부터 주배관(20)에 공급되게 된다.

단, 이러한 예에 한정되지 않고, 예를 들어 제1 액 공급관(41b)에 설치된 유량계(41d)에서의 측정 결과에 기초하여, 즉 제1 액 공급관(41b)을 통해 주배관(20)에 공급되는 제1 액의 유량에 따라, 제2 액 공급관(42b)을 통해 주배관(20)에 공급되는 제2 액의 유량이 조절되도록 할 수도 있다. 이 경우, 주배관(20)에 접속된 복수의 처리 유닛(50) 전체에 동시에 공급될 수 있는 압력으로 주배관(20)에 공급되는 제1 액의 공급량에 대하여 일정한 비율이 되는 공급량으로, 제2 액이 주배관(20)에 공급되도록 할 수 있다. 이것에 의해, 액공급 기구(40)는 주배관(20) 내부를 미리 정해진 농도의 혼합액에 의해, 미리 정해진 압력으로 유지할 수 있다.

다음으로, 주배관(20) 및 주개폐 밸브(22)에 관해 설명한다. 주배관(20)은 일측이 전술한 바와 같이 액공급 기구(40)에 접속되어 있다. 그리고, 주배관(20)은 액공급 기구(40)가 접속된 일측과는 반대측에 해당하는 타측이 폐기 라인에 통해 있다. 주개폐 밸브(22)는 주배관(20)의 액공급 기구(40)에 대하여 타측에 부착되어 있다. 주개폐 밸브(22)는 유체압 구동에 의해 개폐 동작을 구동할 수 있는 밸브, 예를 들어 공기압으로 개폐 동작을 구동하는 에어 오퍼레이트 밸브로 구성되어 있다. 그리고, 주개폐 밸브(22)의 개폐 동작은 제어 장치(12)에 의해 제어된다. 그 결과, 주개폐 밸브(22)는 제어 장치(12)로부터의 제어 신호에 기초하여, 주배관(20)을 폐기 라인으로부터 폐쇄한 상태와, 주배관(20)을 폐기 라인에 연통시킨 상태 중 어느 하나의 상태를 선택적으로 유지하게 된다.

다음으로, 분기관(25), 분기관용 개폐 밸브(27) 및 처리 유닛(50)에 관해 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 복수의 분기관(25)은 액공급 기구(40)와 주개폐 밸브(22) 사이의 구간에서 주배관(20)으로부터 뻗어 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 각 분기관(25)은 주배관(20)에 접속되어 있는 측과는 반대측에서, 대응하는 처리 유닛(50) 내부에 뻗어서 들어가 있다. 각 분기관(25)은, 주배관(20)에 접속되어 있는 측과는 반대측의 단부로서, 액을 토출하는 토출 개구(26a)를 갖고, 토출 개구(26a)는 처리 유닛(50) 내에서 지지 부재(54)에 지지된다. 또, 분기관(25)에는 유량을 조절하기 위한 조절기(26b)가 설치되고, 이 조절기(26b)에 의해 토출 개구(26a)로부터 토출되는 액체의 유량이 조절될 수 있다.

분기관용 개폐 밸브(27)는 전술한 주개폐 밸브(22)와 마찬가지로, 유체압 구동에 의해 개폐 동작을 구동할 수 있는 밸브, 예를 들어 공기압으로 개폐 동작을 구동하는 에어 오퍼레이트 밸브로 구성되어 있다. 그리고, 분기관용 개폐 밸브(27)의 개폐 동작은 제어 장치(12)에 의해 제어되게 된다. 이 분기관용 개폐 밸브(27)는 분기관(25) 상에 설치된 다연(多連) 개폐 밸브(35) 중의 하나로서 구성되고, 다연 개폐 밸브(35)에는 후술하는 린스액용 개폐 밸브(28) 및 폐액용 개폐 밸브(29)도 포함되어 있다.

처리 유닛(50)은 웨이퍼(W)를 유지하는 유지 기구(52)와, 웨이퍼(W)를 처리하기 위한 처리 챔버를 구획하는 칸막이 벽(도시하지 않음)을 갖는다. 유지 기구(52)는 웨이퍼(W)의 표면이 대략 수평 방향을 따르게 하여 웨이퍼(W)를 유지한다. 유지 기구(52)는 원판형의 형상으로 이루어진 웨이퍼(W)의 중심을 축으로 하여, 유지한 웨이퍼(W)를 회전시킬 수 있도록 구성되어 있다. 분기관(25)은 칸막이 벽의 내부로 뻗어 들어가고, 분기관(25)의 토출 개구(26a)는 처리 챔버 내에 배치된다.

지지 부재(54)는 웨이퍼(W)에 대하여 이동 가능(예를 들어 요동 가능)하게 구성되어 있다. 지지 부재(54)가 이동함으로써, 분기관(25)의 토출 개구(26a)는 유지 기구(52)에 유지된 웨이퍼(W)의 대략 중심에 위쪽으로부터 대면하는 처리 위치와, 웨이퍼(W)의 위쪽 영역으로부터 가로 방향으로 어긋난 대기 위치의 사이를 이동할 수 있다. 토출 개구(26a)가 처리 위치에 있는 경우, 토출 개구(26a)로부터 토출되는 액체는 웨이퍼(W)에 공급되고, 웨이퍼(W)는 공급된 액체에 의해 처리되게 된다. 한편, 토출 개구(26a)가 대기 위치에 있는 경우, 토출 개구(26a)로부터 토출되는 액체는 웨이퍼(W)에 공급되지는 않고, 예를 들어 폐기되게 된다.

또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 처리 유닛(50)은 토출 개구(26a)로부터 웨이퍼(W)를 향해 토출된 액을 회수하는 컵(56)을 더 갖는다. 컵(56)은 처리 챔버 내에 설치되며, 토출 개구(26a)로부터 토출된 액이 처리 챔버 내에서 비산되는 것을 방지한다.

그런데, 전술한 바와 같이, 본 실시형태에서의 액공급 기구(40)는, 주배관(20) 및 분기관(25)을 통해, 처리 유닛(50) 내의 웨이퍼(W)에 농도 조절된 약액을 혼합액으로서 공급하게 되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서, 액처리 장치(10)는 웨이퍼(W)의 세정 처리에 필요하게 되는 그 밖의 액, 예를 들어 린스액도 웨이퍼(W)에 공급할 수 있도록 구성되어 있다.

구체적인 구성으로는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 전술한 분기관용 개폐 밸브(27)와 병렬하도록, 분기관(25) 상에 린스액용 개폐 밸브(28)가 설치된다. 이 린스액용 개폐 밸브(28)에, 린스액원(30)과 통하는 린스액 공급관(31)이 접속되어 있다. 즉, 도시하는 예에서는, 액처리 장치(10)의 분기관(25)의 하류측의 일부분이 린스액의 공급관으로서도 기능한다.

또한, 분기관용 개폐 밸브(27) 및 린스액용 개폐 밸브(28)와 병렬하도록, 폐액용 개폐 밸브(29)가 설치된다. 폐액용 개폐 밸브(29)는 폐액관(32)에 통해 있다. 예를 들어 폐액용 개폐 밸브(29)를 개폐함으로써, 분기관(25)의 분기관용 개폐 밸브(27)보다도 하류측 내의 액체를 폐기할 수 있다.

다음으로, 제어 장치(12)에 관해 설명한다. 제어 장치(12)에는, 공정 관리자 등이 액처리 장치(10)를 관리하기 위해 커맨드의 입력 조작 등을 수행하는 키보드나, 액처리 장치(10)의 가동 상황을 가시화하여 표시하는 디스플레이 등으로 이루어진 입출력 장치가 접속되어 있다. 또, 제어 장치(12)는, 액처리 장치(10)에서 실행되는 처리를 실현하기 위한 프로그램 등이 기록된 기록 매체(13)에 액세스 가능하게 되어 있다. 기록 매체(13)는 ROM 및 RAM 등의 메모리, 하드 디스크, CD-ROM, DVD-ROM 및 플렉시블 디스크 등의 디스크형 기록 매체 등, 기지의 프로그램 기록 매체로 구성될 수 있다.

다음으로, 이상과 같은 구성으로 이루어진 액처리 장치(10)를 이용하여 실행될 수 있는 액처리 방법의 일례에 관해 설명한다. 이하에 설명하는 액처리 방법에서는, 도 2에 나타낸 바와 같이 하여, 피처리체로서의 웨이퍼(W)가 하나의 처리 유닛(50) 내에서 세정 처리된다. 그리고, 도 2에 나타내는 일련의 액처리 방법 중 약액 처리 공정 S2에서, 웨이퍼(W)는 전술한 액처리 장치(10)의 액공급 기구(40)로부터 공급되는 혼합액을 이용하여 처리된다. 이하에서는, 우선, 도 2에 나타내는 흐름도를 참조하면서, 하나의 처리 유닛(50) 내에서 웨이퍼(W)에 대하여 실시되는 액처리 방법을 개략적으로 설명하고, 그 후에, 약액 처리 공정 S2를 수행하는 것에 관련된 액처리 장치(10)의 동작에 관해 설명한다.

이하에 설명하는 액처리 방법을 실행하기 위한 각 구성 요소의 동작은 미리 프로그램 기록 매체(13)에 저장된 프로그램에 따른 제어 장치(12)로부터의 제어 신호에 의해 제어된다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 우선, 세정 처리가 실시되는 웨이퍼(W)가 액처리 장치(10)의 각 처리 유닛(50) 내에 반입되어, 각 처리 유닛(50) 내에서 유지 기구(52)에 의해 유지된다(도 2의 공정 S1).

다음으로, 제1 액 공급관(41b)으로부터의 물(제1 액)과, 제2 액원(42a)으로부터의 고농도 약액(제2 액)의 혼합액이 액공급 기구(40)로부터 처리 유닛(50) 내에 공급된다. 그리고, 이 혼합액이 각 처리 유닛(50)에 반입된 웨이퍼(W)를 향해 토출되어, 웨이퍼(W)에 대한 처리가 실시된다(공정 S2). 웨이퍼(W)의 세정 처리에서는, 예를 들어 희불산, 암모니아과수(SC1), 염산과수(SC2) 등의 농도 조절된 약액이 액공급 기구(40)로부터 혼합액으로서 공급될 수 있다.

혼합액(약액)을 이용한 웨이퍼(W)의 처리가 종료되면, 다음으로, 물, 특히 순수를 린스액으로서 이용하는 린스 처리가 웨이퍼(W)에 실시된다(공정 S3). 구체적으로는, 린스액 공급관(31) 및 린스액용 개폐 밸브(28)를 통해, 린스액이 처리 유닛(50) 내에 공급된다. 그리고, 린스액이 각 처리 유닛(50)에서, 혼합액이 남아 있는 웨이퍼(W)를 향해 토출되고, 웨이퍼(W) 상에 잔류하는 혼합액이 린스액에 의해 치환된다.

린스 처리가 종료되면, 유지 기구(52)에 의해 웨이퍼(W)를 고속 회전시킴으로써, 웨이퍼(W)의 건조 처리가 실시된다(공정 S4). 이상과 같이 하여, 하나의 처리 유닛(50) 내에서의 웨이퍼(W)의 세정 처리가 종료되고, 처리가 종료된 웨이퍼(W)가 처리 유닛(50)으로부터 반출된다(공정 S5).

다음으로, 약액 처리 실시와 관련된 액처리 장치(10)의 동작에 관해 설명한다.

우선, 혼합액(약액)을 이용하여 웨이퍼(W)를 처리하는 약액 처리 공정 S2에 앞서서, 혼합액이 주배관(20)에 충전된다. 주배관(20)에 대한 혼합액의 충전은 전술한 웨이퍼(W)를 각 처리 유닛(50) 내에 반입하는 공정 S1 전에 개시된다. 또한, 주배관(20)에 대한 혼합액의 충전은 웨이퍼(W)를 각 처리 유닛(50) 내에 반입하는 공정 S1과 병행하여 실시될 수도 있다.

구체적인 혼합액의 충전 방법으로는, 우선 주개폐 밸브(22)가 폐쇄되고 복수의 분기관용 개폐 밸브(27) 중 적어도 어느 하나가 개방되어 있는 상태에서, 액공급 기구(40)에 의해 주배관(20)에 혼합액을 일측으로부터 공급한다. 주개폐 밸브(22)에 의해 타측으로부터 폐쇄되어 있는 주배관(20)에 충전된 혼합액은 대응하는 분기관용 개폐 밸브(27)가 개방되어 있는 분기관(25)에 유입되게 된다. 이 때, 각 처리 유닛(50)의 지지 부재(54)를 요동시켜, 분기관(25)의 토출 개구(26a)를 대기 위치에 배치해 둔다. 이것에 의해, 주배관(20)으로부터 분기관(25)에 유입된 혼합액은 대기 위치에 배치된 토출 개구(26a)로부터 토출되게 된다. 이 상태에서, 대응하는 분기관용 개폐 밸브(27)를 닫고, 이것에 의해, 주배관(20) 및 분기관(25)의 토출 개구(26a)까지 혼합액이 충전된 상태가 된다.

모든 분기관(25)에 혼합액을 충전하기 위해, 복수의 분기관용 개폐 밸브(27) 모두는 주배관(20) 내에 혼합액이 공급되고 있는 동안의 적어도 한 기간(한 시기), 즉 이 공정 동안 적어도 1회 개방되게 된다. 이 때, 모든 분기관용 개폐 밸브(27)를 모두 동일한 타이밍에 일제히 개방할 수도 있고, 또는 2 이상의 분기관용 개폐 밸브(27)를 타이밍을 다르게 하여 순서대로 개방할 수도 있으며, 또는 분기관용 개폐 밸브(27)를 하나씩 타이밍을 다르게 하여 순서대로 개방할 수도 있다. 또한, 이 공정에서의 전술한 「주개폐 밸브(22)가 폐쇄되고 복수의 분기관용 개폐 밸브(27) 중 적어도 어느 하나가 개방되어 있는 상태」란, 이 공정 동안에 걸쳐, 항상 어느 하나의 분기관용 개폐 밸브(27)가 계속 개방되어 있는 것만을 의미하는 것이 아니라, 개방되어 있는 분기관용 개폐 밸브(27)가 전환될 때 타임 러그가 발생하는, 즉 모든 분기관용 개폐 밸브(27)가 폐쇄되어 있는 상태를 포함할 수도 있다.

이 공정 중, 액공급 기구(40)의 제1 액원(41a)으로부터 물이 혼합기(43)에 공급되고, 액공급 기구(40)의 제2 액원(42a)으로부터 고농도 약액이 혼합기(43)에 공급된다. 이것에 의해, 주배관(20) 상에 설치된 혼합기(43)에서, 물과 고농도 약액과의 혼합액인 약액이 조합되고, 이 약액이 주배관(20)에 일측으로부터 공급되게 된다. 이 때, 물은 미리 정해진 압력으로 주배관(20)에 공급되고, 한편, 고농도 약액은 대응하는 분기관용 개폐 밸브(27)가 개방되어 혼합액이 토출되고 있는 처리 유닛수에 따른 양으로 주배관(20)에 공급된다. 따라서, 액공급 기구(40)로부터 주배관(20)에 공급되는 약액은 미리 정해진 농도로 유지된다. 고농도 약액(제2 액)의 혼합기(43)에 대한 공급량이, 전술한 바와 같이, 제1 액 공급관(41b)으로부터 주배관(20)에 공급되는 물(제1 액)의 양에 따라 결정되는 경우에도, 액공급 기구(40)로부터 주배관(20)에 공급되는 약액의 농도를 미리 정해진 농도로 유지할 수 있다.

이상과 같이 하여 주배관(20) 및 모든 분기관(25)에 혼합액이 충전되면, 모든 분기관용 개폐 밸브(27) 및 주개폐 밸브(22)가 폐쇄된다. 그리고, 이와 같이 주배관(20)이 밀폐된 상태가 되면, 제1 액의 공급이 정지된다. 이렇게 하여, 준비 공정으로서의 주배관(20)에 혼합액을 충전하는 공정과, 분기관(25)에 혼합액을 충전하는 공정이 종료된다.

단, 여기서 설명한 주배관(20) 내 및 분기관(25) 내에 혼합액을 충전하는 방법의 구체예는 예시에 지나지 않고, 다양하게 변경할 수 있다. 일례로서, 우선 모든 분기관용 개폐 밸브(27)를 폐쇄하고 주개폐 밸브(22)를 개방한 상태에서, 액공급 기구(40)로부터 혼합액을 주배관(20)에 공급하기 시작하여, 주배관(20) 내에 혼합액을 충전할 수도 있다. 그 후, 전술한 방법과 동일하게 하여, 주배관(20) 및 분기관(25) 양쪽에 혼합액을 충전할 수 있다. 즉, 혼합액을 충전하는 공정은, 분기관용 개폐 밸브(27)를 모두 폐쇄하고 주개폐 밸브(22)를 개방하고 있는 상태에서 주배관(20)에 혼합액을 일측으로부터 공급하는 공정과, 그 후, 주개폐 밸브(22)를 폐쇄하고 복수의 분기관용 개폐 밸브(27) 중 어느 하나를 개방하고 있는 상태에서 주배관(20)에 혼합액을 일측으로부터 공급하는 공정과, 그 후, 주개폐 밸브(22)를 폐쇄하고 분기관용 개폐 밸브(27)를 모두 폐쇄하는 공정을 포함할 수도 있다.

주배관(20)에 대한 혼합액의 공급을 개시할 때 주개폐 밸브(22)를 개방해 둠으로써, 배압에 의해, 혼합액이 주배관(20) 내에 잘 유입되지 않게 되는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 주배관(20) 내에 혼합액을 신속하고 안정적으로 골고루 퍼지게 할 수 있다. 그 후, 전술한 바와 같이 하여, 주배관(20)에 충전된 혼합액을 분기관(25) 내에 유입시켜, 분기관(25) 내에도 혼합액을 충전할 수 있다.

이러한 방법에서는, 고농도 약액(제2 액)의 혼합기(43)에 대한 공급량이, 제1 액 공급관(41b)으로부터 주배관(20)에 공급되는 물(제1 액)의 양에 따라 결정되는 것이 바람직하다. 이 경우, 분기관용 개폐 밸브(27)가 모두 폐쇄되고 주개폐 밸브(22)가 개방되어 있는 상태에서 주배관(20)에 공급되기 시작하는 약액(혼합액)의 농도를 원하는 농도로 할 수 있다.

이상과 같이 하여 혼합액이 주배관(20) 내 및 분기관(25) 내에 충전되고, 전술한 바와 같이 처리 유닛(50) 내에 웨이퍼(W)가 반입되면, 그 처리 유닛(50) 내에서 웨이퍼(W)가 순차 처리되게 된다(전술한 공정 S2).

이 공정 S2 중, 처리 유닛(50) 내에 반입된 웨이퍼(W)는 유지 기구(52)에 의해 유지되고, 유지 기구(52)에 의해서 회전된다. 또한, 지지 부재(54)는 토출 개구(26a)가 웨이퍼(W)에 위쪽으로부터 대면하도록 이루어진 처리 위치에 위치하도록 배치된다. 이 상태에서, 분기관용 개폐 밸브(27)가 개방되어, 충분한 압력으로 유지된 주배관(20)으로부터 분기관(25)에 혼합액이 유입된다. 그리고, 혼합액이 분기관(25)의 토출 개구(26a)를 통해 웨이퍼(W)의 상면(바깥쪽 면)에 토출된다. 혼합액은 회전중인 웨이퍼(W)의 표면 상에 퍼져, 웨이퍼(W)의 표면이 혼합액에 의해 처리된다.

웨이퍼(W)를 처리 유닛(50)에 반입할 때(공정 S1), 웨이퍼(W)는 통상 복수의 처리 유닛(50) 각각에 순서대로 반송되게 된다. 따라서, 각 처리 유닛(50)에 웨이퍼(W)가 반입되는 타이밍은 서로 다르고, 이 때문에, 처리 유닛(50) 내에서의 혼합액을 이용한 웨이퍼(W)의 처리는 통상 액처리 장치(10)에 포함되는 복수의 처리 유닛(50) 간에 일제히 개시되는 것은 아니다. 웨이퍼(W) 처리가 준비된 처리 유닛(50)에 대응하는 분기관용 개폐 밸브(27)로부터 순서대로 개방되어, 대응하는 각 처리 유닛(50)에서의 혼합액을 이용한 웨이퍼(W)의 처리가 순차로 개시되게 된다.

그런데, 혼합액이 주배관(20)으로부터 분기관(25)을 통해 각 처리 유닛(50)에 공급되면, 주배관(20) 내의 압력이 저하된다. 그리고, 주배관(20)으로부터 공급되는 혼합액을 이용하여 각 처리 유닛(50) 내에서 처리가 이루어지고 있는 동안, 전술한 바와 같이, 액공급 기구(40)는 복수의 처리 유닛(50) 전체에 동시에 공급할 수 있는 압력으로, 농도 조절된 혼합액을 주배관(20) 내에 주입한다. 따라서, 주배관(20)에 충전되어 있던 혼합액이 처리 유닛(50)에서의 처리에 사용되면, 액공급 기구(40)가 농도 조절된 혼합액을 주배관(20)으로 보내고, 주배관(20) 내에서의 혼합액의 액압이 일정한 압력으로 유지된다. 이에 따라, 하나의 액공급 기구(40)를 이용하여, 다수의 처리 유닛(50)에 대해, 웨이퍼(W)의 처리에 이용되는 혼합액을 안정된 유량으로 공급할 수 있다.

이상과 같이 하여 처리 유닛(50) 내에서 웨이퍼(W)에 대하여 적당량의 혼합액이 공급되면, 그 처리 유닛(50)에 대응하는 분기관(25)이 분기관용 개폐 밸브(27)에 의해 폐쇄된다. 이와 같이 하여, 각 처리 유닛(50)에서의 혼합액을 이용한 웨이퍼(W)의 처리(약액 처리)가 순차로 종료되게 된다.

웨이퍼(W)에 대한 약액 처리(공정 S2)가 종료되면, 전술한 바와 같이 그 웨이퍼(W)에 대하여 린스 처리(공정 S3)가 실시된다. 이 린스 처리에서, 웨이퍼(W)에 공급되는 린스액은 린스액용 개폐 밸브(28)를 통해 분기관(25)에 유입되고, 분기관(25)의 토출 개구(26a)로부터 토출된다. 이 때문에, 린스 처리 개시 시에는, 분기관(25)의 하류측의 부분 내에 잔류한 혼합액이 물에 의해 압출되게 된다. 이와 같은 방법에 의하면, 약액 처리(공정 S2)로부터 린스 처리(공정 S3)로, 웨이퍼(W)에 대하여 연속적으로 액체를 공급함으로써, 웨이퍼(W)의 표면을 건조시키지 않고, 그 웨이퍼(W)에 대한 처리 내용을 변경할 수 있다. 이에 따라, 워터마크의 발생 등의 문제를 회피할 수 있다.

이와 같이 하여 린스 처리 공정이 종료된 시점에는, 분기관(25)의 린스액용 개폐 밸브(28)[분기관용 개폐 밸브(27)]보다 하류측의 부분 내에 린스액이 잔류하게 된다. 그리고, 다음 웨이퍼(W)에 대한 처리를 개시할 때에는, 다음 웨이퍼(W)의 반입 공정에 앞서 또는 다음 웨이퍼(W)의 반입 공정에 병행하여, 폐액용 개폐 밸브(29) 및 폐액관(32)을 통해, 분기관(25) 내에 잔류하는 린스액을 분기관(25)으로부터 폐액해 두는 것이 바람직하다. 이러한 처치를 해 둠으로써, 다음 웨이퍼(W)에 대한 약액 처리 공정 S2 중, 웨이퍼(W)에 대하여 일정한 혼합비의 혼합액을 공급할 수 있다.

처리가 끝난 웨이퍼(W)가 각 처리 유닛(50)으로부터 반출되면, 다음에 처리되어야 할 웨이퍼(W)가 각 처리 유닛(50)에 반입된다. 다음에 처리되어야 할 웨이퍼(W)에 대하여, 동일한 처리 유닛(50) 내에서 직전에 처리된 웨이퍼(W)에 대한 처리와 동일한 처리가 실시되는 경우에는, 즉, 액공급 기구(40)로부터 공급되는 혼합액의 혼합비(농도)를 변화시킬 필요가 없는 경우에는, 주배관(20) 내 및 분기관(25) 내의 혼합액을 그대로 잔류시켜 두면 된다.

한편, 다음에 처리되어야 할 웨이퍼(W)와, 동일한 처리 유닛(50) 내에서 직전에 처리된 웨이퍼(W) 사이에 처리 내용이 상이하여, 웨이퍼(W)의 처리에 이용되는 혼합액의 농도를 변경해야 하는 경우에는, 다음에 처리되어야 할 웨이퍼(W)의 약액 처리가 개시되기 전에, 다음에 이용되는 혼합액을 주배관(20) 내에 충전한다. 이 경우, 우선, 제1 액원(41a)으로부터의 물(특히, 순수)만을 액공급 기구(40)로부터 주배관(20) 내에 공급하고, 주배관(20) 내 및 분기관(25) 내에 잔류하는 약액을 물로 치환한다. 구체예로서, 우선, 주개폐 밸브(22)를 개방하여 주배관(20) 내부를 물로 치환한다. 다음으로, 주개폐 밸브(22)를 폐쇄하고 분기관용 개폐 밸브(27)를 개방하여, 분기관(25) 내부를 물로 치환한다. 이 때, 대기 위치에 위치하는 분기관(25)의 토출 개구(26a)로부터 물을 토출하고, 분기관(25)을 전체 길이에 걸쳐 물로 씻어낸다. 이와 같이 하여, 주배관(20) 내 및 분기관(25) 내부를 물로 씻어낸 후, 전술한 방법과 동일하게 하여, 원하는 농도로 조절된 혼합액을 액공급 기구(40)로부터 주배관(20)에 충전하고, 원하는 농도로 조절된 혼합액을 분기관(25)에 충전한다. 이상과 같은 준비 공정가 종료된 후, 상이한 농도의 혼합액을 이용한 웨이퍼(W)의 처리가 실시된다.

여기서 설명한, 주배관(20) 내 및 분기관(25) 내부를 상이한 혼합액으로 치환하는 방법의 구체예는 예시에 지나지 않으며, 다양하게 변경이 가능하다. 예를 들어, 주개폐 밸브(22) 및 분기관용 개폐 밸브(27)를 개방 및 폐쇄하는 타이밍은 전술한 예에 한정되지 않는다. 따라서, 주배관(20) 내에 잔류하는 혼합액과, 분기관(25) 내에 잔류하는 혼합액을 병행하여 물로 치환할 수도 있다. 또한, 주배관(20) 내 및 분기관(25) 내에 잔류하는 혼합액을 우선 물로 치환하고, 그 후, 주배관(20) 내 및 분기관(25) 내에 다음에 이용되어야 할 혼합액을 충전함으로써, 주배관(20) 내 및 분기관(25) 내부를 상이한 혼합액으로 치환하도록 한 예를 개시하지만, 이것에 한정되지 않는다. 주배관(20) 내 및 분기관(25) 내에 잔류하는 혼합액을, 직접, 다음에 이용되어야 할 혼합액으로 치환할 수도 있다.

이상과 같은 본 실시형태에 의하면, 액공급 기구(40)는 조절된 혼합비로 제1 액과 제2 액을 혼합하여 이루어진 혼합액을, 다수의 처리 유닛(50)에 대하여 동시에 공급할 수 있는 압력으로, 주개폐 밸브(22)에 의해 타측이 폐쇄된 주배관(20) 내에 일측으로부터 주입하게 되어 있다. 따라서, 다수의 처리 유닛(50)에 대하여, 하나의 액공급 기구(40)를 이용하여, 혼합액을 안정적으로 공급할 수 있다. 또한, 처리 유닛(50) 내에서 웨이퍼(W)를 처리하고 있는 동안, 각 처리 유닛(50)의 가동 상황에 따라 필요하게 되는 양의 혼합액만이 액공급 기구(40)로부터 주배관(20)에 공급되게 된다. 따라서, 혼합액을 대량으로 낭비하지 않아 혼합액을 절약할 수 있고, 이에 따라, 피처리체[웨이퍼(W)]의 처리 비용을 절감할 수 있다. 또한, 액공급 기구(40)로부터 공급되는 혼합액이 약액인 경우에는, 약액 처리 시의 약액의 폐기량을 저감시킬 수 있기 때문에, 환경의 관점에서도 바람직하다. 또한, 동시에 처리가 이루어지고 있는 상이한 처리 유닛(50)에서, 주배관(20)으로부터 공급되는 동일한(예를 들어 동일한 농도) 혼합액을 이용하여 상이한 웨이퍼(W)를 처리할 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼(W) 간에 처리 정도를 균일화할 수 있다.

전술한 실시형태에 대하여 다양하게 변경하는 것이 가능하다. 이하, 변형의 일례에 관해 설명한다.

예를 들어, 전술한 실시형태에서, 주배관(20)이 1개의 선형으로 형성되어 있는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어 도 3에 나타낸 바와 같이, 주배관(20)은 액공급 기구(40)로부터 이격된 타측이 복수의 관로(21a, 21b)로 나뉘어져 있을 수 있다. 도 3에 나타내는 예에서, 각 관로(21a, 21b)에, 주배관(20)을 액공급 기구(40)에 대하여 타측으로부터 폐쇄할 수 있는 주개폐 밸브(22)가 설치된다. 그리고, 액공급 기구(40)와 각 주개폐 밸브(22) 사이의 구간에서, 각 관로(21a, 21b)로부터 복수의 분기관(25)이 뻗어 있다. 도 3에서는, 도시 및 용이한 이해의 편의상, 전술한 린스액용 개폐 밸브(28), 린스액 공급관(31), 폐액용 개폐 밸브(29) 및 폐액관(32)이 생략되어 있다. 또한, 도 3에 나타내는 변형예에서의 그 밖의 구성은 전술한 실시형태와 동일하게 구성될 수 있어, 여기서는 중복되는 설명은 생략한다.

또한, 전술한 실시형태에서, 액공급 기구(40)의 구성의 구체예를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않는다. 전술한 구성과는 상이한 구성으로, 액공급 기구(40)가 제1 액과 제2 액을 혼합하여 이루어진 혼합액을, 복수의 처리 유닛(50) 전체에 동시에 공급할 수 있는 압력으로, 주개폐 밸브(22)에 의해 폐쇄된 주배관(20)에 공급하도록 구성할 수도 있다.

또한, 전술한 실시형태에서, 액공급 기구(40)가, 물을 공급하는 제1 액 공급관(41b)과, 고농도 약액을 공급하는 제2 액원을 갖는 예를 개시했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 액공급 기구(40)가 2종류 이상의 약액원을 가질 수도 있다.

이상에서 전술한 실시형태에 대한 몇가지 변형예를 설명했지만, 당연히, 복수의 변형예를 적절하게 조합하여 적용하는 것도 가능하다.

또한, 첫머리에서도 설명한 바와 같이, 본 발명을 웨이퍼의 세정 처리 이외의 처리에도 적용할 수 있다.

10 : 액처리 장치 12 : 제어 장치
13 : 기록 매체 20 : 주배관
21a, 21b : 관로 22 : 주개폐 밸브
25 : 분기관 26a : 토출 개구
27 : 분기관용 개폐 밸브 40 : 액공급 기구
41a : 제1 액원 42a : 제2 액원
43 : 혼합기 50 : 처리 유닛
52 : 유지 기구 54 : 지지 부재

Claims

주배관과,
상기 주배관 상에 설치된 혼합기와, 제1 액을 상기 혼합기에 공급하는 제1 액 공급관과, 제2 액을 상기 혼합기에 공급하는 제2 액원을 가지며, 상기 제1 액과 상기 제2 액을 상기 혼합기에서 혼합하여 이루어진 혼합액을 상기 주배관에 일측으로부터 공급하는 액공급 기구와,
상기 주배관에 설치되고, 상기 주배관을 상기 액공급 기구에 대하여 타측으로부터 폐쇄할 수 있는 주개폐 밸브와,
상기 액공급 기구와 상기 주개폐 밸브 사이의 구간에서 상기 주배관으로부터 각각 분기된 복수의 분기관과,
각 분기관에 각각 대응하여 설치된 복수의 처리 유닛으로서, 대응하는 분기관을 통해 공급되는 혼합액을 이용하여 피처리체를 처리하도록 구성되는 복수의 처리 유닛
을 포함하며,
상기 주개폐 밸브는, 상기 복수의 처리 유닛 중 어느 하나에서 피처리체가 처리되고 있을 때, 상기 주배관을 상기 액공급 기구에 대하여 타측으로부터 폐쇄하고,
상기 처리 유닛에서 피처리체가 처리되기 전에 상기 혼합액을 상기 주배관 및 상기 분기관에 충전할 때,
우선, 상기 복수의 분기관의 각각에 하나씩 설치된 분기관용 개폐 밸브가 모두 폐쇄되고 상기 주개폐 밸브가 개방되어 있는 상태에서, 상기 주배관에 혼합액을 일측으로부터 공급하고,
그 후, 상기 주개폐 밸브가 폐쇄되고 상기 복수의 분기관용 개폐 밸브 중 적어도 어느 하나가 개방되어 있는 상태에서, 상기 주배관에 혼합액을 일측으로부터 공급하며,
그 후, 상기 주개폐 밸브를 폐쇄하고 상기 복수의 분기관용 개폐 밸브를 모두 폐쇄하도록 되어 있고,
이 중, 상기 주개폐 밸브가 폐쇄되고 상기 분기관용 개폐 밸브 중 적어도 어느 하나가 개방되어 있는 상태에서 상기 주배관에 혼합액을 공급할 때에, 각 분기관용 개폐 밸브는 그 공정 동안의 적어도 한 기간 개방되는 것인 액처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 액공급 기구는 상기 제1 액과 상기 제2 액을 혼합하여 이루어진 상기 혼합액을, 상기 복수의 처리 유닛 전체에 동시에 공급할 수 있는 압력으로, 상기 주개폐 밸브에 의해 타측이 폐쇄된 상기 주배관에, 상기 주배관의 일측으로부터 공급하도록 구성되는 것인 액처리 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 액 공급관은 상기 복수의 처리 유닛 전체에 상기 제1 액을 동시에 공급할 수 있는 압력으로 상기 주배관에 상기 제1 액을 공급하도록 구성되고,
상기 제2 액원으로부터는 피처리체를 처리하고 있는 처리 유닛의 수에 따른 양의 상기 제2 액을 상기 주배관에 공급하도록 되어 있는 것인 액처리 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 처리 유닛에서 피처리체의 처리가 시작되기 전에, 상기 혼합액은 상기 주배관 및 상기 분기관에 충전되어 있는 것인 액처리 장치.
복수의 처리 유닛에 각각 통해 있는 복수의 분기관이 뻗어 있는 주배관 내에, 제1 액 공급관으로부터 공급되는 제1 액과, 제2 액원으로부터 공급되는 제2 액을 혼합하여 이루어진 혼합액을 상기 주배관의 일측으로부터 충전하는 공정과,
상기 주배관 내의 혼합액이 각 분기관을 통해 각 처리 유닛에 공급되고, 그 혼합액을 이용하여 각 처리 유닛 내에서 피처리체의 처리가 실시되는 공정
을 포함하며,
상기 주배관으로부터 공급되는 혼합액을 이용하여 각 처리 유닛 내에서 처리가 이루어지고 있는 동안, 상기 주배관은 주개폐 밸브에 의해 타측이 폐쇄되어 있고,
상기 혼합액을 상기 주배관에 충전하는 공정은,
상기 복수의 분기관의 각각에 하나씩 설치된 분기관용 개폐 밸브가 모두 폐쇄되고 상기 주개폐 밸브가 개방되어 있는 상태에서, 상기 주배관에 혼합액을 일측으로부터 공급하는 공정과,
그 후, 상기 주개폐 밸브가 폐쇄되고 상기 복수의 분기관용 개폐 밸브 중 적어도 어느 하나가 개방되어 있는 상태에서, 상기 주배관에 혼합액을 일측으로부터 공급하는 공정과,
그 후, 상기 주개폐 밸브를 폐쇄하고 상기 복수의 분기관용 개폐 밸브를 모두 폐쇄한 상태로 하는 공정
을 포함하며,
상기 주개폐 밸브가 폐쇄되고 상기 분기관용 개폐 밸브 중 적어도 어느 하나가 개방되어 있는 상태에서 상기 주배관에 혼합액을 공급하는 공정에 있어서, 각 분기관용 개폐 밸브는 그 공정 동안의 적어도 한 기간 개방되는 것인 액처리 방법.
제5항에 있어서, 상기 주배관으로부터 공급되는 혼합액을 이용하여 각 처리 유닛 내에서 처리가 이루어지고 있는 동안, 상기 제1 액과 상기 제2 액을 혼합하여 이루어진 상기 혼합액을, 상기 복수의 처리 유닛 전체에 동시에 공급할 수 있는 압력으로, 상기 주개폐 밸브에 의해 타측이 폐쇄된 상기 주배관에, 상기 주배관의 일측으로부터 공급하는 액처리 방법.
제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 주배관으로부터 공급되는 혼합액을 이용하여 각 처리 유닛 내에서 처리가 이루어지고 있는 동안, 상기 제1 액 공급관은 상기 복수의 처리 유닛 전체에 상기 제1 액을 동시에 공급할 수 있는 압력으로 상기 주배관에 상기 제1 액을 공급하고,
상기 제2 액원으로부터는 피처리체를 처리하고 있는 처리 유닛의 수에 따른 양의 상기 제2 액이 상기 주배관에 공급되는 것인 액처리 방법.
제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 주배관에 혼합액을 충전할 때, 상기 분기관에도 혼합액이 충전되는 것인 액처리 방법.
액처리 장치를 제어하는 제어 장치에 의해 실행되는 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체로서,
상기 프로그램이 상기 제어 장치에 의해 실행됨으로써, 제5항 또는 제6항에 기재한 액처리 방법을 액처리 장치에 실시시키는 것인 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체.
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