JP5220707B2 - 液処理装置、液処理方法、プログラムおよびプログラム記録媒体 - Google Patents
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Description
液を供給する液供給機構と、
前記液供給機構に接続され、温度調節された液を吐出する吐出開口を有した供給ラインと、
前記供給ラインを支持し、前記供給ラインの吐出開口から吐出される温度調節された液を用いて前記被処理体を処理し得るように構成された処理ユニットと、
前記供給ラインに供給された液を前記液供給機構へ戻す戻しラインと、
前記供給ライン上に設けられ、前記処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる液の前記吐出開口への供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁と、を有し、
前記液供給切り替え弁は、前記供給ラインから前記戻しラインを介して前記液供給機構へ戻る液の経路上に、位置している。
液供給機構から供給ラインに流れ込む温度調節された液を、戻しラインを介して前記液供給機構へ戻すことにより、温度調節された液が前記供給ラインおよび前記戻しラインを含む経路を循環するようにして、前記供給ラインを温度調節する工程と、
前記液供給機構から前記供給ラインに流れ込む温度調節された液を、前記供給ラインの吐出開口から吐出し、前記被処理体を処理する工程と、を有し、
前記供給ラインを温度調節している際に、前記処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる液の前記吐出開口への供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁であって前記供給ライン上に設けられた液供給切り替え弁も、温度調節される、液処理方法。
12 制御装置
13 記録媒体
15 液供給機構(第1液供給機構)
20 循環ライン
22 液供給機構
22a 貯留装置
22b 温度調節機構(加熱機構)
24 循環路
26 送出機構
30 供給ライン(第1供給ライン)
30a 吐出開口
31a,31b 管路
35 戻しライン
34 開閉弁(液供給切り替え弁)
35a 端部
38 流路制御機構
38a 三方弁(液供給切り替え弁)
38b 開閉弁
38c 流量制御弁
39a 第1リリーフ弁
39b 第2リリーフ弁
40 液供給機構(第2液供給機構)
45 供給ライン(第2供給ライン)
45a 吐出開口
50 処理ユニット
52 保持機構
54 隔壁
60 支持部材
62 アーム
62a 先端部流域
62b 基端部流域
63 仕切り部材
64 軸部材
66 筒状部
Claims (18)
- 温度調節された液を用いて被処理体を処理する液処理装置であって、
液を供給する液供給機構と、
前記液供給機構に接続され、温度調節された液を吐出する吐出開口を有した供給ラインと、
前記供給ラインを支持し、前記供給ラインの吐出開口から吐出される温度調節された液を用いて前記被処理体を処理し得るように構成された処理ユニットと、
前記供給ラインに供給された液を前記液供給機構へ戻す戻しラインと、
前記供給ライン上に設けられ、前記処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる液の前記吐出開口への供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁と、
前記処理ユニット内で前記被処理体の処理が行われていない場合に前記戻しライン内を流れている液の単位時間あたりの量が、前記処理ユニット内で前記被処理体の処理が行われている場合に前記供給ラインの前記吐出開口から吐出されている液の単位時間あたりの量よりも多くなるように、液の流量を制御する制御装置と、を有し、
前記液供給切り替え弁は、前記供給ラインから前記戻しラインを介して前記液供給機構へ戻る液の経路上に、位置している、液処理装置。 - 前記液供給切り替え弁は、前記供給ライン上に設けられ且つ前記戻しラインの一端とも接続された三方弁として、構成されている、請求項1に記載の液処理装置。
- 前記戻しライン上に設けられた開閉弁を、さらに有する、請求項2に記載の液処理装置。
- 前記戻しライン上に設けられ、前記戻しラインを通過し得る液の流量を調節し得る流量制御弁を、さらに有する、請求項2に記載の液処理装置。
- 温度調節された液を用いて被処理体を処理する液処理装置であって、
液を供給する液供給機構と、
前記液供給機構に接続され、温度調節された液を吐出する吐出開口を有した供給ラインと、
前記供給ラインを支持し、前記供給ラインの吐出開口から吐出される温度調節された液を用いて前記被処理体を処理し得るように構成された処理ユニットと、
前記供給ラインに供給された液を前記液供給機構へ戻す戻しラインと、
前記供給ライン上に設けられ、前記処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる液の前記吐出開口への供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁と、を有し、
前記液供給切り替え弁は、前記供給ラインから前記戻しラインを介して前記液供給機構へ戻る液の経路上に、位置しており、
前記処理ユニットは、被処理体を保持する保持機構と、前記供給ラインの前記吐出開口を支持する支持部材と、を有し、
前記供給ラインの前記吐出開口が、前記保持機構に保持された被処理体に液を供給し得る処理位置と、前記処理位置からずれた非処理位置と、の間を移動し得るように、前記支持部材は構成され、
前記戻しラインは、前記非処理位置にある前記吐出開口と接続され得るように、構成されている、液処理装置。 - 前記処理ユニット内で前記被処理体の処理が行われていない場合に前記戻しライン内を流れている液の単位時間あたりの量が、前記処理ユニット内で前記被処理体の処理が行われている場合に前記供給ラインの前記吐出開口から吐出されている液の単位時間あたりの量よりも多くなるように、液の流量を制御する制御装置を、さらに有する、請求項5に記載の液処理装置。
- 前記供給ラインは、前記戻しラインとの接続位置よりも上流側における少なくとも一区間において、複数の管路に分かれて延び、
前記制御装置は、前記処理ユニット内で前記被処理体の処理が行われていない場合に、液が二以上の管路を通過して流れ、前記処理ユニット内で前記被処理体の処理が行われている場合に、液が前記二以上の管路に含まれる一部の管路のみを通過して流れるよう、前記複数の管路の開閉を制御する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の液処理装置。 - 前記液供給機構は、液供給源と、前記液供給源からの液が循環し得る循環路と、を有する循環ラインを有し、
前記供給ラインは、前記循環ラインの前記循環路から分岐して複数設けられ、
前記複数の供給ラインのそれぞれに対応して前記処理ユニットおよび前記戻しラインが設けられている、請求項1〜7のいずれか一項に記載の液処理装置。 - 温度調節された液を用いて被処理体を処理する方法であって、
液供給機構から供給ラインに流れ込む温度調節された液を、戻しラインを介して前記液供給機構へ戻すことにより、温度調節された液が前記供給ラインおよび前記戻しラインを含む経路を循環するようにして、前記供給ラインを温度調節する工程と、
前記液供給機構から前記供給ラインに流れ込む温度調節された液を、前記供給ラインの吐出開口から吐出し、前記被処理体を処理する工程と、を有し、
前記供給ラインを温度調節している際に、前記処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる液の前記吐出開口への供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁であって前記供給ライン上に設けられた液供給切り替え弁も、温度調節され、
前記供給ラインを温度調節している際に前記戻しライン内を流れている液の単位時間あたりの量が、前記被処理体を処理している際に前記吐出開口から吐出されている液の単位時間あたりの量よりも多い、液処理方法。 - 前記供給ラインは、少なくとも一区間において、複数の管路に分かれて延びており、
前記供給ラインを温度調節している際に、液は二以上の管路を通過して流れ、
前記被処理体を処理している際に、液は、前記二以上の管路に含まれる一部の管路のみを通過して流れる、請求項9に記載の液処理方法。 - 温度調節された液を用いて被処理体を処理する方法であって、
液供給機構から供給ラインに流れ込む温度調節された液を、戻しラインを介して前記液供給機構へ戻すことにより、温度調節された液が前記供給ラインおよび前記戻しラインを含む経路を循環するようにして、前記供給ラインを温度調節する工程と、
前記液供給機構から前記供給ラインに流れ込む温度調節された液を、前記供給ラインの吐出開口から吐出し、前記被処理体を処理する工程と、を有し、
前記供給ラインを温度調節している際に、前記処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる液の前記吐出開口への供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁であって前記供給ライン上に設けられた液供給切り替え弁も、温度調節され、
前記供給ラインは、少なくとも一区間において、複数の管路に分かれて延びており、
前記供給ラインを温度調節している際に、液は二以上の管路を通過して流れ、
前記被処理体を処理している際に、液は、前記二以上の管路に含まれる一部の管路のみを通過して流れる、液処理方法。 - 前記戻しラインは、三方弁からなる前記液供給切り替え弁を介して、前記供給ラインの途中から分岐し、且つ、前記戻しライン上に開閉弁が設けられており、
前記供給ラインを温度調節している際に、前記供給ラインを流れてきた液は、前記液供給切り替え弁をなす前記三方弁を介して前記戻しラインに流れ込み、前記開閉弁を通過して流れ、
前記被処理体を処理している際に、前記供給ラインを流れてきた液は、前記液供給切り替え弁をなす前記三方弁を通過して前記供給ラインをさらに流れ、前記吐出開口から吐出される、請求項9〜11のいずれか一項に記載の液処理方法。 - 前記戻しラインは、三方弁からなる前記液供給切り替え弁を介して、前記供給ラインの途中から分岐し、且つ、前記戻しライン上に、前記戻しラインを通過し得る液の流量を調節し得る流量制御弁が、設けられており、
前記供給ラインを温度調節している際に、前記供給ラインを流れてきた液は、前記液供給切り替え弁をなす前記三方弁を介して前記戻しラインに流れ込み、前記流量制御弁を通過して流れ、
前記被処理体を処理している際に、前記供給ラインを流れてきた液は、前記液供給切り替え弁をなす前記三方弁を通過して前記供給ラインをさらに流れ、前記吐出開口から吐出され、
前記流量制御弁の開度は、前記供給ラインを温度調節している間よりも、前記被処理体を処理している間の方が、小さくなる、請求項9〜11のいずれか一項に記載の液処理方法。 - 前記供給ラインの前記吐出開口は、前記被処理体を処理している際に被処理体に液を供給し得る処理位置に配置され、前記供給ラインを温度調節している際に前記処理位置からずれた非処理位置に配置され、
前記供給ラインを温度調節している際、前記戻しラインは前記非処理位置にある吐出開口と接続され、前記供給ライン上に設けられた開閉弁からなる前記液供給切り替え弁が温度調節される、請求項9〜11のいずれか一項に記載の液処理方法。 - 温度調節された液を用いて被処理体を処理する方法であって、
液供給機構から供給ラインに流れ込む温度調節された液を、戻しラインを介して前記液供給機構へ戻すことにより、温度調節された液が前記供給ラインおよび前記戻しラインを含む経路を循環するようにして、前記供給ラインを温度調節する工程と、
前記液供給機構から前記供給ラインに流れ込む温度調節された液を、前記供給ラインの吐出開口から吐出し、前記被処理体を処理する工程と、を有し、
前記供給ラインを温度調節している際に、前記処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる液の前記吐出開口への供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁であって前記供給ライン上に設けられた液供給切り替え弁も、温度調節され、
前記供給ラインの前記吐出開口は、前記被処理体を処理している際に被処理体に液を供給し得る処理位置に配置され、前記供給ラインを温度調節している際に前記処理位置からずれた非処理位置に配置され、
前記供給ラインを温度調節している際、前記戻しラインは前記非処理位置にある吐出開口と接続され、前記供給ライン上に設けられた開閉弁からなる前記液供給切り替え弁が温度調節される、液処理方法。 - 前記液供給機構は、液供給源と、前記液供給源からの液が循環し得る循環路と、を有する循環ラインを有しており、
前記供給ラインは、前記循環ラインの前記循環路から分岐して複数設けられており、
各供給ラインに毎に、当該供給ラインの温度調節と、当該供給ラインから供給される温度調節された液を用いた被処理体の処理と、が実施される、請求項9〜15のいずれか一項に記載の液処理方法。 - 温度調節された液を用いて被処理体を処理する液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムであって、
前記制御装置によって実行されることにより、請求項9〜16のいずれか一項に記載された液処理方法を、液処理装置に実施させる、プログラム。 - 温度調節された液を用いて被処理体を処理する液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムが記録された記録媒体であって、
前記プログラムが前記制御装置によって実行されることにより、請求項9〜16のいずれか一項に記載された液処理方法を、液処理装置に実施させる、記録媒体。
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