JPH02138427U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02138427U JPH02138427U JP4685489U JP4685489U JPH02138427U JP H02138427 U JPH02138427 U JP H02138427U JP 4685489 U JP4685489 U JP 4685489U JP 4685489 U JP4685489 U JP 4685489U JP H02138427 U JPH02138427 U JP H02138427U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing liquid
- storage tank
- branch pipes
- liquid storage
- processing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 21
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る処理液供給装置の一実施
例を示す概略構成図、第２図はスプレー装置の従
来例を示す断面図、第３図は処理液供給装置の従
来を示す概略構成図である。 ７……ノズル（処理液吐出手段）、８……処理
液、１２……貯液槽、１３……処理液供給管、１
４……ポンプ（処理液供給手段）、１６，１６Ａ
，１６Ｂ，１６Ｃ……分岐管、２４……第１の戻
し配管、３０……三方弁（流路切替手段）、３１
Ａ，３１Ｂ……第２の戻し配管。
例を示す概略構成図、第２図はスプレー装置の従
来例を示す断面図、第３図は処理液供給装置の従
来を示す概略構成図である。 ７……ノズル（処理液吐出手段）、８……処理
液、１２……貯液槽、１３……処理液供給管、１
４……ポンプ（処理液供給手段）、１６，１６Ａ
，１６Ｂ，１６Ｃ……分岐管、２４……第１の戻
し配管、３０……三方弁（流路切替手段）、３１
Ａ，３１Ｂ……第２の戻し配管。
Claims (1)
- 処理液を貯蔵する貯液槽と、一端が前記貯液槽
に接続され、他端に複数個の分岐管が接続された
処理液供給管と、前記各分岐管に接続された複数
個の処理液吐出手段と、前記貯液槽内の処理液を
前記処理液供給管および前記各分岐管を経由して
前記各処理液吐出手段に送給する処理液供給手段
と、一端が前記処理液供給管の途中に接続され、
他端が開放もしくは前記貯液槽に接続された第１
の戻し配管と、前記各分岐管の途中に接続された
複数個の流路切替手段と、一端が前記各分岐管の
流路切替手段にそれぞれ接続され、他端が開放も
しくは前記貯液槽にそれぞれ接続された複数個の
第２の戻し配管とを備えたことを特徴とする処理
液供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4685489U JPH02138427U (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4685489U JPH02138427U (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02138427U true JPH02138427U (ja) | 1990-11-19 |
Family
ID=31562284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4685489U Pending JPH02138427U (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02138427U (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100539187B1 (ko) * | 1996-12-24 | 2006-03-20 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 처리액공급기구및처리액공급방법 |
| JP2008527689A (ja) * | 2004-12-31 | 2008-07-24 | セメス・カンパニー・リミテッド | 集積回路の製造設備の流体供給システム |
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| JP2012172760A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Ckd Corp | 流量制御ユニット |
| JP2012178512A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
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| CN109712910A (zh) * | 2017-10-26 | 2019-05-03 | 株式会社斯库林集团 | 处理液供给装置、基板处理装置以及处理液供给方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS62114228A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-26 | Nec Kansai Ltd | 半導体製造装置 |
-
1989
- 1989-04-24 JP JP4685489U patent/JPH02138427U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62114228A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-26 | Nec Kansai Ltd | 半導体製造装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100539187B1 (ko) * | 1996-12-24 | 2006-03-20 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 처리액공급기구및처리액공급방법 |
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| JP2019079995A (ja) * | 2017-10-26 | 2019-05-23 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 処理液供給装置、基板処理装置、および処理液供給方法 |
| CN109712910B (zh) * | 2017-10-26 | 2023-07-14 | 株式会社斯库林集团 | 处理液供给装置、基板处理装置以及处理液供给方法 |