JP2022176911A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の効果が上述した効果らに限定されるものではなく、言及されない効果らは本明細書及び添付された図面から本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者に明確に理解されることができるであろう。
510 ボディー
512 上部ボディー
514 下部ボディー
520 加熱部材
530 流体供給ユニット
540 支持部材
550 第1排気ユニット
560 第2排気ユニット
570 昇降部材
Claims (20)
- 基板を処理する装置において、
内部空間を有するチャンバと、
前記内部空間に処理流体を供給する供給ライン、そして、前記供給ラインに前記処理流体を供給する流体供給源を有する流体供給ユニットと、
前記内部空間を排気する第1排気ユニットと、
前記供給ラインを排気する第2排気ユニットと、そして、
前記流体供給ユニット、前記第1排気ユニット、そして、前記第2排気ユニットを制御する制御機を含み、
前記制御機は、
前記内部空間への基板搬入を待機する待機段階が遂行される時間のうち少なくとも一部の時間の間、前記供給ラインの圧力が前記処理流体が超臨界状態を維持することができるようにする臨界圧力以上の圧力になるように前記流体供給ユニット、前記第2排気ユニットを制御することを特徴とする基板処理装置。 - 前記制御機は、
前記待機段階が遂行される時間のうち少なくとも一部の時間の間、前記供給ラインの圧力が前記臨界圧力より低くなる場合前記流体供給源が前記供給ラインに前記処理流体を供給するように前記流体供給ユニットを制御することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記流体供給ユニットは、
前記供給ラインに設置されて前記供給ライン内の前記処理流体を加熱するヒーターをさらに含むことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記制御機は、
前記待機段階が遂行されるうちに前記ヒーターが前記供給ラインを続いて加熱するように前記流体供給ユニットを制御することを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記供給ラインは、
前記流体供給源と連結されるメイン供給ラインと、
前記メイン供給ラインから分岐され、前記チャンバと連結される第1供給ラインと、そして、
前記メイン供給ラインから分岐され、前記第1供給ラインと相異な位置で前記チャンバと連結される第2供給ラインを含み、
前記流体供給ユニットは、
前記メイン供給ラインに設置されるメインバルブと、
前記第1供給ラインに設置される第1バルブと、そして、
前記第2供給ラインに設置される第2バルブをさらに含み、
前記ヒーターは、
前記メインバルブ、前記第1バルブ、そして、前記第2バルブの間に設置されることを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記ヒーターは、
複数で提供され、
前記メイン供給ライン、前記第1供給ライン、そして、前記第2供給ラインそれぞれに設置されることを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。 - 前記制御機は、
前記待機段階と、基板を処理する処理段階を相互に遂行するように前記流体供給ユニット及び前記第1排気ユニットを制御し、
前記処理段階が始まる設定時間の前に前記供給ラインを排気して前記供給ラインの圧力が常圧になるように前記第2排気ユニットを制御し、
前記待機段階で前記供給ラインの圧力が前記臨界圧力以上の圧力で維持される時間は、前記待機段階で前記供給ラインの圧力が前記常圧に転換される時間より長いように前記第2排気ユニットを制御することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記制御機は、
前記処理段階が、前記内部空間に前記処理流体を供給して前記内部空間の圧力を高める加圧段階及び前記加圧段階が遂行された以後、前記内部空間の圧力を常圧に減圧する減圧段階を含むが、
前記減圧段階が遂行される途中から前記待機段階が遂行される時間のうち少なくとも一部の時間まで前記供給ラインの圧力が前記臨界圧力以上の圧力になるように前記流体供給ユニット、そして、前記第2排気ユニットを制御することを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。 - 基板を処理する装置において、
内部空間を有するチャンバと、
前記内部空間に処理流体を供給する供給ライン及び前記供給ラインを加熱するヒーターを有する流体供給ユニットと、
前記内部空間を排気する第1排気ユニットと、
前記供給ラインを排気する第2排気ユニットと、そして、
前記流体供給ユニット、前記第1排気ユニット、そして、前記第2排気ユニットを制御する制御機を含み、
前記制御機は、
前記内部空間で基板が搬出された以後一定時間の間、前記処理流体が残留する前記供給ラインを前記ヒーターが加熱するように前記流体供給ユニット、前記第1排気ユニット、そして、前記第2排気ユニットを制御する基板処理装置。 - 前記制御機は、
前記内部空間で前記処理流体で基板を乾燥する乾燥段階と、そして、
前記一定時間を含み、前記内部空間への基板の搬入を待機する待機段階を遂行するように前記流体供給ユニット、前記第1排気ユニット、そして、前記第2排気ユニットを制御することを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。 - 前記制御機は、
前記一定時間の間前記供給ラインの圧力が設定圧力で維持されるように前記流体供給ユニット、前記第1排気ユニット、そして、前記第2排気ユニットを制御することを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。 - 前記制御機は、
前記設定圧力が前記処理流体が前記供給ラインで超臨界状態を維持することができるようにする臨界圧力以上の圧力になるように前記流体供給ユニットを制御することを特徴とする請求項11に記載の基板処理装置。 - 前記制御機は、
前記供給ラインの圧力が前記設定圧力より低くなる場合、前記供給ラインに前記処理流体を供給するように前記流体供給ユニットを制御することを特徴とする請求項12に記載の基板処理装置。 - 前記供給ラインは、
前記処理流体を貯蔵する流体供給源と連結されるメイン供給ラインと、
前記メイン供給ラインから分岐され、前記チャンバと連結される第1供給ラインと、そして、
前記メイン供給ラインから分岐され、前記第1供給ラインと相異な位置で前記チャンバと連結される第2供給ラインを含み、
前記流体供給ユニットは、
前記メイン供給ラインに設置されるメインバルブと、
前記第1供給ラインに設置される第1バルブと、そして、
前記第2供給ラインに設置される第2バルブをさらに含み、
前記制御機は、
前記乾燥段階が遂行される途中前記メインバルブ、前記第1バルブ、そして、前記第2バルブを閉めて前記乾燥段階が遂行される少なくとも一部の時間及び前記一定時間の間前記メインバルブ、前記第1バルブ、そして、前記第2バルブを閉めるように前記流体供給ユニットを制御することを特徴とする請求項10乃至請求項13のうちで何れか一つに記載の基板処理装置。 - 超臨界状態の処理流体を利用して基板を乾燥処理する基板処理装置において、
内部空間を有するチャンバと、
前記内部空間に処理流体を供給する供給ラインを有する流体供給ユニットと、
前記内部空間を排気する第1排気ユニットと、
前記供給ラインを排気する第2排気ユニットと、そして、
前記流体供給ユニット、前記第1排気ユニット、そして、前記第2排気ユニットを制御する制御機を含み、
前記流体供給ユニットは、
前記供給ラインに前記処理流体を伝達する流体供給源と、そして、
前記供給ラインに設置されるヒーターと、
前記供給ラインに設置されるバルブを含み、
前記供給ラインは、
前記流体供給源と連結されるメイン供給ラインと、
前記メイン供給ラインから分岐される第1供給ラインと、そして、
前記メイン供給ラインから分岐され、前記第1供給ラインと相異な位置で前記チャンバに連結される第2供給ラインを含み、
前記流体供給ユニットは、
前記メイン供給ラインに設置されるメインバルブと、
前記第1供給ラインに設置される第1バルブと、そして、
前記第2供給ラインに設置される第2バルブを含み、
前記制御機は、
前記内部空間で前記処理流体で基板を乾燥する乾燥段階と、
前記内部空間で基板が搬出された以後、基板の搬入を待機する待機段階を遂行するが、
前記待機段階が遂行される時期のうち少なくとも一部の時期の間前記メインバルブ、前記第1バルブ、そして、前記第2バルブを閉鎖するように前記流体供給ユニット、前記第1排気ユニット、そして、前記第2排気ユニットを制御する基板処理装置。 - 前記ヒーターは、
前記メインバルブ、前記第1バルブ、そして、前記第2バルブの間で前記処理流体が残留する前記供給ラインを加熱することを特徴とする請求項15に記載の基板処理装置。 - 前記ヒーターは、
前記待機段階が遂行されるうちに前記供給ラインを加熱することを特徴とする請求項15または請求項16に記載の基板処理装置。 - 前記制御機は、
前記メインバルブ、前記第1バルブ、そして、前記第2バルブの間で前記処理流体が残留する前記供給ラインの圧力が設定圧力で維持されるように前記流体供給ユニット、前記第1排気ユニット、そして、前記第2排気ユニットを制御することを特徴とする請求項15または請求項16に記載の基板処理装置。 - 前記制御機は、
前記設定圧力が前記処理流体が前記供給ラインで超臨界状態を維持することができるようにする臨界圧力より高い圧力になるように前記流体供給ユニットを制御することを特徴とする請求項18に記載の基板処理装置。 - 前記流体供給ユニットは、
前記メインバルブより下流、そして、前記第1バルブまたは前記第2バルブより上流に配置される圧力センサーをさらに含み、
前記制御機は、
前記メインバルブ、前記第1バルブ、そして、前記第2バルブが閉鎖されたうちに前記圧力センサーが測定する圧力値が前記設定圧力より低くなる場合、前記メインバルブを開放して前記供給ラインに前記処理流体を供給するように前記流体供給ユニットを制御することを特徴とする請求項19に記載の基板処理装置。
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