JP6227895B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
図3に、混合液Mの濃度を計測して流量は計測しない場合における混合液Mの濃度制御のフローチャートを示す。混合液Mの流量を計測しない場合も、基板処理装置に薬液C及び純水Dが供給されると、混合液Mが生成され、洗浄機40における基板Wの洗浄が開始される(S11)。混合液Mが洗浄機40に供給されている際、制御装置60は、混合液濃度計51から実測濃度の信号を受信する(S13)。次に、制御装置60は、実測濃度と適合濃度との差が第3の所定の値以下か否かを判断する(S17)。第3の所定の値は、基板Wの洗浄に悪影響を与えない範囲で適宜決定した上限値であり、例えば適合濃度の10%と決定することができる。
10 薬液流量コントローラ
11 薬液差圧計
12 薬液調節弁
20 純水流量コントローラ
21 純水差圧計
22 純水調節弁
31 薬液供給管
32 純水供給管
33 混合液管
40 洗浄機
51 混合液濃度計
52 混合液流量計
60 制御装置
C 薬液
D 純水
M 混合液
W 基板
Claims (5)
- 第1の液体と、前記第1の液体とは異なる種類の第2の液体とが混合した混合液体を、基板に供給して前記基板を処理する基板処理部と;
前記第1の液体を流す第1の供給管と;
前記第1の供給管に設けられた第1の流量調節装置であって、差圧によって前記第1の液体の流量を計測する第1の流量計測部と、前記第1の液体の流量を調節する第1の流量調節部とを有する第1の流量調節装置と;
前記第2の液体を流す第2の供給管と;
前記第2の供給管に設けられた第2の流量調節装置であって、差圧によって前記第2の液体の流量を計測する第2の流量計測部と、前記第2の液体の流量を調節する第2の流量調節部とを有する第2の流量調節装置と;
前記第1の流量調節装置を通過した前記第1の液体と、前記第2の流量調節装置を通過した前記第2の液体とを混合させた前記混合液体を、前記基板処理部に導く混合液体管と;
前記混合液体管に設けられた濃度計であって、前記混合液体における前記第1の液体の濃度を計測する濃度計と;
前記混合液体管に設けられて前記混合液体の流量を計測する流量計と;
前記基板処理部における前記基板の処理に適した前記混合液体の濃度である適合濃度と、前記濃度計で計測された濃度である実測濃度との差が所定の値を超えたときに、相違解消対策を講ずる制御装置とを備え;
前記制御装置は、
前記混合液体が前記適合濃度となるように前記第1の流量調節装置の流量設定値及び前記第2の流量調節装置の流量設定値を算出し、前記第1の流量計測部で計測された流量が前記算出された第1の流量調節装置の流量設定値となるように前記第1の流量調節部を制御しつつ前記第2の流量計測部で計測された流量が前記算出された第2の流量調節装置の流量設定値となるように前記第2の流量調節部を制御し、
前記実測濃度と前記流量計で計測された流量とから、前記混合液体中の前記第1の液体分の流量である算出第1の液体流量及び前記混合液体中の前記第2の液体分の流量である算出第2の液体流量を算出し、
前記適合濃度と前記実測濃度との差が前記所定の値を超えた状態で、前記第1の流量調節装置の流量設定値と前記算出第1の液体流量との差及び前記第2の流量調節装置の流量設定値と前記算出第2の液体流量との差の両方が所定の流量以下のときに、前記相違解消対策として、前記第1の流量調節装置の流量設定値と前記算出第1の液体流量との差の分だけ前記第1の流量調節装置の流量設定値を補正すると共に前記第2の流量調節装置の流量設定値と前記算出第2の液体流量との差の分だけ前記第2の流量調節装置の流量設定値を補正する;
基板処理装置。 - 前記制御装置は、前記適合濃度と前記実測濃度との差が前記所定の値を超えた状態で、前記第1の流量調節装置の流量設定値と前記算出第1の液体流量との差及び前記第2の流量調節装置の流量設定値と前記算出第2の液体流量との差の少なくとも一方が所定の流量を超えたときに、前記相違解消対策としてアラームを作動させる;
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記制御装置が、前記流量計で計測された前記混合液体の流量が前記基板処理部における前記基板の処理に適した流量となるように、前記第1の流量調節装置を通過する前記第1の液体の流量及び前記第2の流量調節装置を通過する前記第2の液体の流量を調節する;
請求項1又は請求項2に記載の基板処理装置。 - 第1の液体と、前記第1の液体とは異なる種類の第2の液体とが混合した混合液体を、基板に供給して前記基板を処理する基板処理部と;
前記第1の液体を流す第1の供給管と;
前記第1の供給管に設けられた第1の流量調節装置であって、差圧によって前記第1の液体の流量を計測する第1の流量計測部と、前記第1の液体の流量を調節する第1の流量調節部とを有する第1の流量調節装置と;
前記第2の液体を流す第2の供給管と;
前記第2の供給管に設けられた第2の流量調節装置であって、差圧によって前記第2の液体の流量を計測する第2の流量計測部と、前記第2の液体の流量を調節する第2の流量調節部とを有する第2の流量調節装置と;
前記第1の流量調節装置を通過した前記第1の液体と、前記第2の流量調節装置を通過した前記第2の液体とを混合させた前記混合液体を、前記基板処理部に導く混合液体管と;
前記混合液体管に設けられた濃度計であって、前記混合液体における前記第1の液体の濃度を計測する濃度計と;
前記混合液体管に設けられて前記混合液体の流量を計測する流量計と;
前記基板処理部における前記基板の処理に適した前記混合液体の濃度である適合濃度と、前記濃度計で計測された濃度である実測濃度との差が所定の値を超えたときに、相違解消対策を講ずる制御装置とを備え;
前記制御装置は、前記相違解消対策として、前記流量計で計測された前記混合液体の流量が前記基板処理部における前記基板の処理に適した前記混合液体の流量である適合流量となるように、前記第1の液体の流量及び前記第2の液体の流量の増減を同じ方向に行い、次いで、前記実測濃度が前記適合濃度となるように、前記第1の液体の流量及び前記第2の液体の流量の増減を一方を増方向に他方を減方向に行うように、前記第1の流量調節装置の流量設定値及び前記第2の流量調節装置の流量設定値を調節する;
基板処理装置。 - 第1の液体と、前記第1の液体とは異なる種類の第2の液体とが混合した混合液体を、基板に供給して前記基板を処理する基板処理部と;
前記第1の液体を流す第1の供給管と;
前記第1の供給管に設けられた第1の流量調節装置であって、差圧によって前記第1の液体の流量を計測する第1の流量計測部と、前記第1の液体の流量を調節する第1の流量調節部とを有する第1の流量調節装置と;
前記第2の液体を流す第2の供給管と;
前記第2の供給管に設けられた第2の流量調節装置であって、差圧によって前記第2の液体の流量を計測する第2の流量計測部と、前記第2の液体の流量を調節する第2の流量調節部とを有する第2の流量調節装置と;
前記第1の流量調節装置を通過した前記第1の液体と、前記第2の流量調節装置を通過した前記第2の液体とを混合させた前記混合液体を、前記基板処理部に導く混合液体管と;
前記混合液体管に設けられた濃度計であって、前記混合液体における前記第1の液体の濃度を計測する濃度計と;
前記混合液体管に設けられて前記混合液体の流量を計測する流量計と;
前記基板処理部における前記基板の処理に適した前記混合液体の濃度である適合濃度と、前記濃度計で計測された濃度である実測濃度との差が所定の値を超えたときに、相違解消対策を講ずる制御装置とを備え;
前記制御装置は、前記相違解消対策として、前記実測濃度が前記適合濃度となるように、前記第1の液体の流量及び前記第2の液体の流量の増減を一方を増方向に他方を減方向に行い、次いで、前記流量計で計測された前記混合液体の流量が前記基板処理部における前記基板の処理に適した前記混合液体の流量である適合流量となるように、前記第1の液体の流量及び前記第2の液体の流量の増減を同じ方向に行うように、前記第1の流量調節装置の流量設定値及び前記第2の流量調節装置の流量設定値を調節する;
基板処理装置。
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