JP2006074027A - 薬液混合供給装置及びその方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明は、半導体製造工程において2種類以上の薬液を混合割合に適合するように流量がリアルタイムで調節されて混合/供給される半導体製造工程での薬液混合供給装置及びその方法に関する。
【解決手段】本発明の薬液混合供給装置は、少なくとも二つの薬液ソース部と、前記少なくとも二つの薬液ソース部の各々に連結される移送ラインと、前記移送ラインと連結され、前記移送ラインから移送された薬液が混合して前記処理装置に移送されるメイン移送ラインと、前記移送ラインの各々に移送される薬液流量を検出する検出部と、前記検出部から供給された流量データと、既設定された薬液の混合割合を相互比較して、薬液の流量を調節する調節部材とを含む。
【選択図】図1

Description

本発明は、半導体製造工程において2種以上の薬液を混合割合に適合してリアルタイムで混合して供給することができる半導体製造工程での薬液混合装置及びその方法に関する。
一般的に半導体製造工程のうちで基板表面の膜を除去する湿式エッチング工程及び洗浄工程では薬液と純水(DI水)または少なくとも2種の薬液を一定の混合割合で混合した混合液を使用する。
薬液と純水を一定の割合で混合して処理装置に供給するための一般的な薬液供給装置において、薬液は定量だけミキシングタンクに各々供給される。この際、薬液供給は移送ラインに設置された積算流量計、制御部、および制御部によってon/offされる遮断バルブによって行われる。すなわち、A薬液とB薬液の混合比が1:2であり、300Lの混合液が必要であると仮定すれば、積算流量計を使用してA薬液は100L、B薬液は200Lを各々積算する方式によってミキシングタンクに供給する。そしてミキシングタンクで混合した混合液はバッファタンクに移送されて処理装置に供給される。
このように、既存の薬液混合及び供給方式はリアルタイムで供給するのではなく、時間が多く必要とされた。それだけでなく、既存の薬液供給装置は二つのタンクと、それによる循環ラインなどが複雑に構成されており、薬液混合及び供給手順が複雑で多くの設置空間が必要になる短所があった。
本発明は、このような従来の問題点を解決するためのものであり、その目的は、2種以上の薬液をリアルタイムで混合して供給することができる新しい形態の半導体製造工程での薬液混合装置及びその方法を提供することにある。また他の目的は、構成が単純であり、薬液の混合及び供給過程が単純な新しい形態の半導体製造工程での薬液混合装置及びその方法を提供することにある。
上述の課題を達成するために、本発明の薬液混合供給装置は、少なくとも二つの薬液ソース部と、前記少なくとも二つの薬液ソース部の各々に連結される移送ラインと、前記移送ラインと連結され、前記移送ラインから移送された薬液が混合して前記処理装置に移送されるメイン移送ラインと、前記移送ラインの各々へ移送される薬液流量を検出する検出部と、前記検出部から供給された流量データと既設定された薬液の混合割合とを相互比較して、薬液の流量を調節する調節部材とを含む。
本発明の実施形態によると、前記部材は、前記移送ラインの各々に設置され、前記検出部より上流に配置される流量制御バルブと、前記検出部から流量データが供給され、いずれか一つの薬液流量データを基準にして残りの薬液流量データとの間の混合割合を算出し、この算出された混合割合を既設定された混合割合と相互比較判断して、前記流量制御バルブの開度を調節する制御信号を出力する制御部とを具備する。
本発明の実施形態によると、前記薬液混合供給装置は、前記移送ラインの各々に連結され、初期に流れる不規則な流量の薬液をドレインするドレインラインをさらに含む。
本発明の実施形態によると、前記制御部はPID自動制御方式のコントローラである。
上述の課題を達成するために、本発明の薬液混合供給方法は、少なくとも二つの薬液の混合割合を設定する段階と、前記薬液ソース部と連結された各々の移送ラインを通じて薬液を前記処理装置に移送する段階と、前記移送ラインの各々へ移送される薬液流量を検出する段階と、前記検出された流量データと既設定された薬液の混合割合とを相互比較して、薬液の流量を調節する段階とを含む。
本発明の実施形態によると、前記調節段階は、前記検出された流量データのうちのいずれか一つの薬液流量データを基準にして残りの薬液流量データとの混合割合を算出する段階と、その算出された混合割合を既設定された混合割合と相互比較判断する段階と、その比較判断に従って前記移送ラインの各々に設置された流量制御バルブの開度を調節する段階とを含む。
本発明の実施形態によると、前記調節段階は、前記検出された流量データのうちのいずれか一つの薬液流量データを基準にして残りの薬液流量データとの混合割合を算出する段階と、算出された混合割合を既設定された混合割合と相互比較判断する段階と、その比較判断に従って前記基準になる薬液を除外した残りの薬液の流量を調節するように、それに該当する移送ラインに設置された流量制御バルブの開度を調節する段階とを含む。
本発明の実施形態によると、薬液混合供給方法は前記移送ラインを通じて初期に移送される薬液を一定期間の間ドレインする段階をさらに含む。
本発明の実施形態によると、前記薬液流量を検出する段階は前記薬液が移送される初期の以後から薬液の流量を検出する。
本発明によると、2種以上の薬液をリアルタイムで混合して供給することができる。薬液の定量供給のための構成が単純であり、薬液の混合及び供給過程が単純である。
以下、添付の図を参照して本発明の望ましい実施形態を詳細に説明する。しかし、本発明は、ここで説明される実施形態に限定されず、他の形態に具体化されることもできる。むしろ、ここで紹介される実施形態は、開示された内容が十分に完全なものとなるように、そして当業者に本発明の思想を十分に伝達するために提供されるものである。明細書の全体にわたって同一の参照番号で表示された部分は同一の構成要素を示す。
図1を参照すると、本発明の実施形態による薬液混合供給装置100は第1薬液と第2薬液とを一定の割合で混合して処理装置に供給するための装置である。この装置100は、第1、2薬液ソース部112、122、第1、2移送ライン114、124、第1、2流量計116、126、部材130、およびメイン移送ライン140を含んでいる。
前記第1移送ライン114には遮断バルブM/V、A/Vと第1流量計116が設置され、第2移送ライン124には遮断バルブM/V、A/Vと流量調節バルブと第2流量計126が設置される。前記第1移送ライン114と第2移送ライン124はメイン移送ライン140と連結される。そして前記第1移送ライン114と第2移送ライン124の後段にはドレインライン150が連結される。
前記第1流量計116は第1移送ライン114へ流れる第1薬液の流量を検出し、第2流量計126は第2移送ライン124へ流れる第2薬液の流量を検出する。各流量計で検出された電気的信号は前記部材130の制御部132に供給される。本発明の望ましい実施形態に従って、流量計は任意タイプの非接触式測定装置でありうる。
前記部材130は、前記第1、2流量計116、126から供給された流量データと既設定された薬液の混合割合とを相互比較して薬液の流量を調節する。この調節部材は流量制御バルブ134と制御部132とを含む。
前記流量制御バルブ134は前記第2移送ライン124上に前記第2流量計126より上流に設置される。前記流量制御バルブ134は第1移送ラインにも設置されることができる。前記制御部132は、前記第1、2流量計から検出された流量データが供給され、このうちの前記第1薬液の流量データを基準流量にして前記第2薬液との割合を算出する。そして、制御部132は、その算出された割合を既設定された混合割合と相互比較判断して、前記流量制御バルブ134の開度をリアルタイムで調節する制御信号を出力する。前記制御部132から出力された制御信号によってエア調節器(air regulator)136が制御され、そのエア調節器136によって前記流量制御バルブ134の開度が調節される。
一方、前記制御部132は、アラームを鳴らして、薬液供給工程を停止させるか、または他の適当な措置を取ることができる。例えば、前記制御部132は流量をフィードバック(Feed−back)して比例、比例積分または比例積分微分制御PIDを利用した制御方式が使用されることが望ましい。また、前記制御部132は処理工程の全体処理作動を制御するように構成された設備の制御コンピュータを含むこともできる。追加して、制御コンピュータは流量調節過程を作業者が観察することができるモニタと連結されることができる。
このように、本発明の構造的な特徴は、既設定された混合割合に適合するように調節された薬液をリアルタイムで混合して移送するように構成されたものである。
前記第1移送ライン114と第2移送ライン124の各々にはドレインライン150が連結される。一般的に、初期に移送される薬液はその流量が非常に不規則であるので、おおよそ3〜5秒程度ドレインライン150を通じてドレインされ、その後、安定化した流量だけが使用される。すなわち、本装置は、初期流量ハンティング(hunting)時、ドレインするようにされており、このドレインラインは薬液ソース部に連結されることができる。
前記部材130によって既設定された混合割合に適合するように流量が調節された第1、2薬液はメイン移送ライン140を通じて処理装置10に供給される。例えば、前記メイン移送ライン140には第1、2薬液をより効果的にリアルタイムで混合をするための混合装置(ミキシング装置)142が設置されることができる。
一方、前記第1、2移送ラインを通じて移送される薬液の移送圧力の差によって薬液が逆流する現象が発生することを防止するために、前記第1、2移送ライン114、124とメイン移送ライン140との間にはバッファタンク160が設置されることもできる(図3参照)。
図1に示した本発明の薬液混合供給装置100は2種類の薬液を混合供給するように構成されているが、これは一つの例に過ぎず、本発明の薬液混合供給装置は最小2種類以上の薬液を混合供給することができるものである。また、薬液の移送は通常N加圧方式またはポンプ方式などにより行われる。
上述の本発明の望ましい実施形態による薬液混合供給装置による供給方法は次のとおりである。
図2には本実施形態による薬液混合供給方法に対するフローチャートが示されている。図2を参考すると、まず第1薬液と第2薬液の混合割合1:2が設定される(S12)。そして第1移送ライン114と第2移送ライン124などに設置された遮断バルブがオープンされる(S14)。第1、2移送ラインに移送される流量は流量計116、126によって検出される(S16)。初めの一定時間の間、そして薬液の流量の割合が既設定された混合割合に調節される前まで薬液はドレインライン150を通じてドレインされる(S18)。薬液の安定化は第1、2流量計から検出された流量データを通じて確認することができる。
前記第1移送ラインと第2移送ラインに移送される流量が安定化されれば、調節部材の制御部132は第1、2流量計116、126で検出された流量データのうちの第1薬液の流量データ(例、10m/s)を基準にして第2薬液の流量データ(例、30m/s)との流量割合を算出するようになる(S20)。制御部132はその算出された第1薬液と第2薬液の流量の割合(1:3)と既設定された混合割合(1:2)とを相互比較判断し(S22)、その比較判断によって第2移送ライン124に設置された流量制御バルブ134の開度を調節する信号を出力する(S24)。前記流量制御バルブ134は前記第2移送ラインへ流れる第2薬液の流量が20m/sになるまで調節される。
このように、前記第1薬液と第2薬液の流量の割合が、この既設定された混合割合と一致すれば、ドレインライン150への移送を遮断し、メイン移送ライン140への薬液移送を進行する(S26)。
第1、2薬液は前記メイン移送ライン140へ移送されながら混合して、特に、混合装置142を通じて混合した後、処理装置に供給される(S28)。
以上では、本発明による薬液混合供給装置の構成及び作用を上述の説明及び図に従って示したが、これは例をあげて説明したことに過ぎず、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で多様な変化及び変更が可能であることは勿論である。
本発明の望ましい実施形態による薬液混合供給装置の概略的な構成図である。 本実施形態による薬液混合供給方法に対するフローチャートである。 図1の装置でバッファタンクが追加設置された例を示す構成図である。
符号の説明
112 第1薬液ソース部
114 第1移送ライン
116 第1流量計
122 第2薬液ソース部
124 第2移送ライン
126 第2流量計
130 調節部材
132 制御部
134 流量調節バルブ
140 メイン移送ライン

Claims (14)

  1. 混合液を使用して基板を処理する装置に少なくとも2種の薬液を混合供給する装置において、
    少なくとも二つの薬液ソース部と、
    前記少なくとも二つの薬液ソース部の各々に連結される移送ラインと、
    前記移送ラインと連結され、前記移送ラインから移送された薬液が混合して前記処理装置に移送されるメイン移送ラインと、
    前記移送ラインの各々へ移送される薬液流量を検出する検出部と、
    前記検出部から供給された流量データと既設定された薬液の混合割合とを相互比較して、薬液の流量を調節する部材とを含むことを特徴とする半導体製造工程の薬液混合供給装置。
  2. 前記部材は、
    前記移送ラインの各々に設置され、前記検出部より上流に配置される流量制御バルブと、
    前記検出部から流量データが供給され、いずれか一つの薬液流量データを基準にして残りの薬液流量データとの間の混合割合を算出し、この算出された混合割合を既設定された混合割合と相互比較判断して、前記流量制御バルブの開度を調節する制御信号を出力する制御部とを具備することを特徴とする請求項1に記載の半導体製造工程の薬液混合供給装置。
  3. 前記薬液混合供給装置は、
    前記移送ラインの各々に連結され、初期に流れる不規則な流量の薬液をドレインするドレインラインをさらに含むことを特徴とする請求項2に記載の半導体製造工程の薬液混合供給装置。
  4. 前記制御部はPID自動制御方式のコントローラであることを特徴とする請求項2に記載の半導体製造工程の薬液混合供給装置。
  5. 混合液を使用して基板を処理する装置に少なくとも2種の薬液を混合供給する装置において、
    第1薬液ソース部と、
    第2薬液ソース部と、
    前記第1薬液ソース部に連結される第1移送ラインと、
    前記第2薬液ソース部に連結される第2移送ラインと、
    前記第1、2移送ラインと連結され、前記第1、2移送ラインから移送された薬液が混合して前記処理装置に移送されるメイン移送ラインと、
    前記第1移送ラインと第2移送ラインの各々に連結され、不規則な流量の薬液が前記メイン移送ラインへ流れないように不規則な流量の薬液が排出される排出ラインと、
    前記第1、2移送ラインの各々へ移送される薬液流量を検出する第1、2流量計と、
    前記第1、2流量計から供給された流量データと既設定された薬液の混合割合とを相互比較して、薬液の流量を調節する調節部材とを含むことを特徴とする半導体製造工程の薬液混合供給装置。
  6. 前記部材は、
    前記第2移送ラインに設置され、前記第2流量計より上流に配置される流量制御バルブと、
    前記第1、2流量計によって検出された流量データが供給され、前記第1薬液の流量データを基準にして前記第2薬液との割合を算出し、その算出された割合を既設定された混合割合と相互比較判断して、前記流量制御バルブの開度を調節する制御信号を出力する制御部とを具備することを特徴とする請求項5に記載の半導体製造工程の薬液混合供給装置。
  7. 前記制御部はPID自動制御方式のコントローラであることを特徴とする請求項6に記載の半導体製造工程の薬液混合供給装置。
  8. 前記薬液供給装置は、
    前記1、2移送ラインと前記メイン移送ラインに設置され、前記第1、2移送ラインから移送された薬液が一時的に貯蔵されて混合する混合タンクをさらに含むことを特徴とする請求項6に記載の半導体製造工程の薬液混合供給装置。
  9. 前記薬液供給装置は、
    前記メイン移送ライン上に設置されて移送される薬液を混合する混合器をさらに含むことを特徴とする請求項6に記載の半導体製造工程の薬液混合供給装置。
  10. 少なくとも二つのの薬液ソース部から移送ラインとメイン移送ラインとを通じて処理装置に薬液を混合して供給する方法において、
    少なくとも二つの薬液の混合割合を設定する段階と、
    前記薬液ソース部と連結された各々の移送ラインを通じて薬液を前記処理装置に移送する段階と、
    前記移送ラインの各々へ移送される薬液流量を検出する段階と、
    前記検出された流量データと既設定された薬液の混合割合とを相互比較して、薬液の流量を調節する段階とを含むことを特徴とする半導体製造工程の薬液混合供給方法。
  11. 前記調節段階は、
    前記検出された流量データのうちのいずれか一つの薬液流量データを基準にして残りの薬液流量データとの混合割合を算出する段階と、
    その算出された混合割合を既設定された混合割合と相互比較判断する段階と、
    その比較判断に従って前記移送ラインの各々に設置された流量制御バルブの開度を調節する段階とを含むことを特徴とする請求項10に記載の半導体製造工程の薬液混合供給方法。
  12. 前記調節段階は、
    前記検出された流量データのうちのいずれか一つの薬液流量データを基準にして残りの薬液流量データとの混合割合を算出する段階と、
    算出された混合割合を既設定された混合割合と相互比較判断する段階と、
    その比較判断に従って前記基準になる薬液を除外した残りの薬液の流量を調節するように、それに該当する移送ラインに設置された流量制御バルブの開度を調節する段階とを含むことを特徴とする請求項10に記載の半導体製造工程の薬液混合供給方法。
  13. 薬液混合供給方法は、
    前記移送ラインを通じて初期に移送される薬液を一定期間の間ドレインする段階をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の半導体製造工程の薬液混合供給方法。
  14. 前記薬液流量を検出する段階は、
    前記薬液が移送される初期の以後から薬液の流量を検出することを特徴とする請求項13に記載の半導体製造工程の薬液混合供給方法。
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