JP2011049526A - 液処理装置、液処理方法、プログラムおよびプログラム記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液処理装置10は、主配管20と、主配管に接続した液供給機構40と、主配管に設けられた主開閉弁22と、主配管から分岐した複数の分岐管25と、各分岐管と接続した複数の処理ユニット50と、を有する。液供給機構は、主配管上に設けられた混合器43と、第1液を供給する第1液供給管41bと、第2液を供給する第2液源42aと、を有し、第1液と第2液とを混合器内で混合してなる混合液を、主配管に一側から供給する。主開閉弁は、処理ユニット内で被処理体が処理されている際、主配管を液供給機構に対して他側から閉鎖する。
【選択図】図1
Description
主配管と、
前記主配管上に設けられた混合器と、第1液を前記混合器へ供給する第1液供給管と、第2液を前記混合器へ供給する第2液源と、を有し、前記第1液と前記第2液とを前記混合器で混合してなる混合液を、前記主配管に一側から供給する液供給機構と、
前記主配管に設けられ、前記主配管を前記液供給機構に対して他側から閉鎖し得る主開閉弁と、
前記液供給機構と前記主開閉弁との間の区間において前記主配管からそれぞれ分岐した複数の分岐管と、
各分岐管にそれぞれ対応して設けられた複数の処理ユニットであって、対応する分岐管を通じて供給される混合液を用いて被処理体を処理するように構成された、複数の処理ユニットと、を有し、
前記主開閉弁は、前記処理ユニットのいずれかにおいて被処理体が処理されている際、前記主配管を前記液供給機構に対して他側から閉鎖する。
別個の処理ユニットへそれぞれ通じている複数の分岐管が延び出している主配管内に、第1液供給管から供給される第1液と第2液源から供給される第2液とを混合してなる混合液を、前記主配管に一側から充填する工程と、
前記主配管内の混合液が各分岐管を通じて各処理ユニットへ供給され、当該混合液を用いて各処理ユニット内で被処理体の処理が実施される工程と、を有し、
前記主配管から供給される混合液を用いて各処理ユニット内で処理が行われている間、前記主配管は主開閉弁によって他側から閉鎖されている。
12 制御装置
13 記録媒体
20 主配管
21a,21b 管路
22 主開閉弁
25 分岐管
26a 吐出開口
27 分岐管用開閉弁
40 液供給機構
41 第1液源
42 第2液源
43 混合器
50 処理ユニット
52 保持機構
54 支持部材
Claims (12)
- 主配管と、
前記主配管上に設けられた混合器と、第1液を前記混合器へ供給する第1液供給管と、第2液を前記混合器へ供給する第2液源と、を有し、前記第1液と前記第2液とを前記混合器で混合してなる混合液を、前記主配管に一側から供給する液供給機構と、
前記主配管に設けられ、前記主配管を前記液供給機構に対して他側から閉鎖し得る主開閉弁と、
前記液供給機構と前記主開閉弁との間の区間において前記主配管からそれぞれ分岐した複数の分岐管と、
各分岐管にそれぞれ対応して設けられた複数の処理ユニットであって、対応する分岐管を通じて供給される混合液を用いて被処理体を処理するように構成された、複数の処理ユニットと、を有し、
前記主開閉弁は、前記処理ユニットのいずれかにおいて被処理体が処理されている際、前記主配管を前記液供給機構に対して他側から閉鎖する、液処理装置。 - 前記液供給機構は、前記第1液と前記第2液とを混合してなる前記混合液を、前記複数の処理ユニットのすべてへ同時に供給し得る圧力で、前記主開閉弁によって他側から閉鎖された前記主配管へ、前記主配管の一側から供給するように構成されている、請求項1に記載の液処理装置。
- 前記第1液供給管は、前記複数の処理ユニットのすべてへ前記第1液を同時に供給し得る圧力で、前記主配管に前記第1液を供給するように構成され、
前記第2液源からは、被処理体を処理している処理ユニットの数に応じた量の前記第2液を、前記主配管に供給するようになっている、請求項1または2に記載の液処理装置。 - 前記処理ユニットにおいて被処理体の処理が開始される前に、前記混合液が前記主配管および前記分岐管に充填されるようになっている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 別個の処理ユニットへそれぞれ通じている複数の分岐管が延び出している主配管内に、第1液供給管から供給される第1液と第2液源から供給される第2液とを混合してなる混合液を、前記主配管の一側から充填する工程と、
前記主配管内の混合液が各分岐管を通じて各処理ユニットへ供給され、当該混合液を用いて各処理ユニット内で被処理体の処理が実施される工程と、を有し、
前記主配管から供給される混合液を用いて各処理ユニット内で処理が行われている間、前記主配管は主開閉弁によって他側から閉鎖されている、液処理方法。 - 前記主配管から供給される混合液を用いて各処理ユニット内で処理が行われている間、前記第1液と前記第2液とを混合してなる前記混合液を、前記複数の処理ユニットのすべてへ同時に供給し得る圧力で、前記主開閉弁によって他側から閉鎖された前記主配管へ、前記主配管の一側から供給する、請求項5に記載の液処理方法。
- 前記混合液を前記主配管に充填する工程は、
前記主開閉弁が閉鎖され、且つ、前記複数の分岐管の各々に一つずつ設けられた分岐管用開閉弁の少なくともいずれかが開放されている状態で、前記主配管に混合液を一側から供給する工程と、
その後、前記主開閉弁を閉鎖し且つ前記複数の分岐管用開閉弁をすべて閉鎖した状態にする工程と、を有し、
前記主開閉弁が閉鎖され且つ前記分岐管用開閉弁の少なくともいずれかが開放されている状態で前記主配管に混合液を供給する工程において、各分岐管用開閉弁は当該工程中の少なくとも一期間開放される、請求項5または6に記載の液処理方法。 - 前記混合液を前記主配管に充填する工程は、
前記複数の分岐管の各々に一つずつ設けられた分岐管用開閉弁がすべて閉鎖され且つ前記主開閉弁が開放されている状態で、前記主配管に混合液を一側から供給する工程と、
その後、前記主開閉弁が閉鎖され、且つ、前記複数の分岐管用開閉弁の少なくともいずれかが開放されている状態で、前記主配管に混合液を一側から供給する工程と、
その後、前記主開閉弁を閉鎖し且つ前記複数の分岐管用開閉弁をすべて閉鎖した状態にする工程と、を有し、
前記主開閉弁が閉鎖され且つ前記分岐管用開閉弁の少なくともいずれかが開放されている状態で前記主配管に混合液を供給する工程において、各分岐管用開閉弁は当該工程中の少なくとも一期間開放される、請求項5または6に記載の液処理方法。 - 前記主配管から供給される混合液を用いて各処理ユニット内で処理が行われている間、 前記第1液供給管は、前記複数の処理ユニットのすべてへ前記第1液を同時に供給し得る圧力で、前記主配管に前記第1液を供給し、
前記第2液源からは、被処理体を処理している処理ユニットの数に応じた量の前記第2液が、前記主配管に供給される、請求項5〜8のいずれか一項に記載の液処理方法。 - 前記主配管に混合液を充填する際に、前記分岐管にも混合液が充填される、請求項5〜9のいずれか一項に記載の液処理方法。
- 液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムであって、
前記制御装置によって実行されることにより、請求項5〜10のいずれか一項に記載された液処理方法を、液処理装置に実施させる、プログラム。 - 液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムが記録された記録媒体であって、
前記プログラムが前記制御装置によって実行されることにより、請求項5〜10のいずれか一項に記載された液処理方法を、液処理装置に実施させる、記録媒体。
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