JP6482979B2 - 液処理装置 - Google Patents
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Description
<1.基板処理システムの構成>
図1は、本実施形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。以下では、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
次に、処理ユニット16の構成について図3を参照してより具体的に説明する。図3は、処理ユニット16の具体的な構成の一例を示す模式図である。
つづいて、処理ユニット16の排気について説明する。上記した処理ユニット16の排気口52には、個別排気路100の一端が接続され、個別排気路100には処理ユニット16内からの排気が流れる。
次に、かかる制御装置4についてより具体的に図5を参照して説明する。図5は、制御装置4のブロック図である。なお、図5以降では、第1調整弁151や第2調整弁171の制御を例にとって説明する。なお、第1調整弁152,153や第2調整弁172,173の制御については、以下の第1調整弁151や第2調整弁171の説明が妥当するため、ブロック図での図示および詳細な説明を省略する。
次に、上記した基板処理システム1において実行される排気処理について説明する。ここで、排気処理の説明に入る前に、本実施形態に係る基板処理システム1において実行される一連の基板処理について説明しておく。
<6.第2の実施形態に係る基板処理システムの構成>
次いで、第2の実施形態に係る基板処理システム1について説明する。なお、以下の説明では、既に説明した部分と同様の部分については、既に説明した部分と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、第2の実施形態の説明でも、第1の実施形態の説明と同様、第1、第2調整弁151,171の制御を例にとって説明する。
図11は、第2の実施形態に係る基板処理システム1において実行される排気処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。
3 処理ステーション
4 制御装置
16 処理ユニット
18 制御部
18a 開閉機構制御部
18b 弁制御部
18c 状態検出部
19 記憶部
19a 所定量情報
19b 開度情報
100 個別排気路
101〜103 排気圧検出部
120 共通排気路
121〜123 専用共通排気路
121a〜121e 接続部位
122a〜122e 接続部位
123a〜123e 接続部位
141〜143 第1外気取込部
151〜153 第1調整弁
161〜163 第2外気取込部
171〜173 第2調整弁
200 開閉機構
W ウェハ
Claims (9)
- 被処理体に対して処理液を供給して前記被処理体を液処理する複数の液処理部と、
一端が前記液処理部のそれぞれに接続され、前記液処理部内からの排気が流れる複数の個別排気路と、
複数の前記個別排気路の他端が接続され、複数の前記個別排気路からの排気が流れる共通排気路と、
前記共通排気路において前記個別排気路が接続される複数の接続部位よりも排気の流れ方向の最上流側に設けられ、前記共通排気路に外気を取り込む第1外気取込部と、
前記第1外気取込部に設けられ、前記第1外気取込部から取り込まれる外気の流量を調整する第1調整弁と、
前記共通排気路において複数の前記接続部位のうち最上流に位置する接続部位よりも下流側に設けられ、前記共通排気路に外気を取り込む第2外気取込部と、
前記第2外気取込部に設けられ、前記第2外気取込部から取り込まれる外気の流量を調整する第2調整弁と、
複数の前記個別排気路の排気量を検出する排気量検出部と、
前記排気量検出部によって検出された複数の前記個別排気路の排気量が予め設定された所定量以上の場合、前記第1調整弁および前記第2調整弁のいずれか一方を開弁し、複数の前記個別排気路の排気量が前記所定量未満の場合、開弁している前記第1調整弁および前記第2調整弁のうちの一方に加え、さらに他方を開弁する弁制御部と
を備えることを特徴とする液処理装置。 - 前記第2外気取込部は、
前記共通排気路において複数の前記接続部位のうち排気の流れ方向の最下流に位置する接続部位よりも下流側に設けられること
を特徴とする請求項1に記載の液処理装置。 - 前記弁制御部は、
前記排気量検出部によって検出された複数の前記個別排気路の排気量が前記所定量以上の場合、前記第1調整弁を開弁し、複数の前記個別排気路の排気量が前記所定量未満の場合、さらに前記第2調整弁を開弁すること
を特徴とする請求項1または2に記載の液処理装置。 - 被処理体に対して処理液を供給して前記被処理体を液処理する複数の液処理部と、
一端が前記液処理部のそれぞれに接続され、前記液処理部内からの排気が流れる複数の個別排気路と、
複数の前記個別排気路の他端が接続され、複数の前記個別排気路からの排気が流れる共通排気路と、
前記共通排気路において前記個別排気路が接続される複数の接続部位よりも排気の流れ方向の最上流側に設けられ、前記共通排気路に外気を取り込む第1外気取込部と、
前記第1外気取込部に設けられ、前記第1外気取込部から取り込まれる外気の流量を調整する第1調整弁と、
前記共通排気路において複数の前記接続部位のうち最上流に位置する接続部位よりも下流側に設けられ、前記共通排気路に外気を取り込む第2外気取込部と、
前記第2外気取込部に設けられ、前記第2外気取込部から取り込まれる外気の流量を調整する第2調整弁と、
前記個別排気路に設けられ、前記個別排気路を開閉する開閉機構と、
前記開閉機構の状態として、前記開閉機構の開閉により前記共通排気路と連通している前記液処理部の数を検出する状態検出部と、
前記状態検出部によって検出された前記共通排気路と連通している前記液処理部の数が予め設定された所定数である場合、前記第1調整弁および前記第2調整弁のいずれか一方を開弁し、前記共通排気路と連通している前記液処理部の数が前記所定数未満の場合、開弁している前記第1調整弁および前記第2調整弁のうちの一方に加え、さらに他方を開弁する弁制御部と
を備えることを特徴とする液処理装置。 - 前記開閉機構の状態と該状態に対応する前記第1調整弁および前記第2調整弁の開度とを関連付けて開度情報として予め記憶しておく記憶部
を備え、
前記弁制御部は、
前記状態検出部によって検出された前記開閉機構の状態と前記記憶部に記憶された前記開度情報とに基づき、前記第1調整弁および前記第2調整弁の開度を制御すること
を特徴とする請求項4に記載の液処理装置。 - 前記開度情報は、
前記第1調整弁に対する前記開閉機構の位置関係と前記第1調整弁の開度とを関連付けた情報を含み、
前記弁制御部は、
前記状態検出部によって状態が検出された前記開閉機構の位置関係と前記記憶部に記憶された前記開度情報とに基づき、前記第1調整弁の開度を制御すること
を特徴とする請求項5に記載の液処理装置。 - 前記第2調整弁は、
前記第2外気取込部を介して取り込んだ外気の流れ方向が、前記共通排気路の前記第2外気取込部が設けられた位置における排気の流れ方向に対して直交するような位置に配置されること
を特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の液処理装置。 - 前記液処理部は、
前記被処理体に対して複数種類の処理液を供給し、
前記共通排気路は、
前記複数種類の処理液に対応して複数設けられるとともに、
前記個別排気路を流れる排気の流出先が処理液の種類に応じて複数の前記共通排気路のいずれかに切り替えられること
を特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の液処理装置。 - 前記第1外気取込部および前記第2外気取込部のうちの少なくともいずれか一方は、
前記液処理部周辺の雰囲気を外気として取り込むこと
を特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の液処理装置。
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