JP6484248B2 - 圧力無反応性自己検証質量流量制御装置を提供するシステムおよび方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 29
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 7
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 36
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 9
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/76—Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
- G01F1/86—Indirect mass flowmeters, e.g. measuring volume flow and density, temperature or pressure
Description
本願は、「圧力無反応性自己検証質量流量制御装置を提供するシステムおよび方法」と題し2014年2月13出願、代理人整理番号086400−0189(MKS−233US)の、米国特許出願第14/180,063号、および「質量流量コントローラを通る流量をリアルタイムで監視するシステムおよび方法」と題し、2012年1月20出願、代理人整理番号086400−0090 (MKS−227)の、米国特許出願第13/354,988号に基づくとともに優先権を主張する。これらの出願の各々の内容全てをここに参照して援用する。
Claims (17)
- 質量流量制御装置であって、
前記質量流量制御装置を流れる質量の流量を測定するように構成かつ配置した圧力式流量計と、
前記質量流量制御装置を流れる質量の流量を測定するように構成かつ配置した熱式流量計と、
前記流量計のうち1つで測定した流量に応じて生成した制御信号に応答して、前記質量流量制御装置を流れる質量の流量を制御するように構成かつ配置した制御弁と、
ガスを入力する入力口と、
前記測定した流量が相対的に低く、前記入力口に圧力障害がない場合、前記熱式流量計で測定した流量に応じて前記制御信号を生成し、前記測定した流量が相対的に低く、前記圧力障害がある場合、前記圧力式流量計で測定した流量に応じて前記制御信号を生成するように変更し、かつ、前記流量が相対的に高い場合、前記質量流量制御装置が入力口における圧力摂動に対して相対的に無反応となるように、前記圧力式流量計で測定した流量に応じて前記制御信号を生成するように構成かつ配置したシステム制御装置と、
を備える質量流量制御装置。 - 前記システム制御装置は交差値を用いて構成され、
前記システム制御装置は、前記測定した流量が前記交差値よりも低い場合に、前記熱式流量計で測定した流量に応じて前記制御信号を生成するとともに、
前記測定した流量が前記交差値よりも高い場合に、前記圧力式流量計で測定した前記流量に応じて前記制御信号を生成する、請求項1に記載の質量流量制御装置。 - 前記質量流量制御装置が制御する流量の範囲に応じて前記交差値を選択する、請求項2に記載の質量流量制御装置。
- 前記交差値は手動で入力される、請求項2に記載の質量流量制御装置。
- 前記交差値は工場組込み済である、請求項2に記載の質量流量制御装置。
- 前記圧力障害は、前記熱式流量計と前記圧力式流量計との間の突然の大きな流量の偏差によって表される、請求項2に記載の質量流量制御装置。
- 前記熱式流量計および前記圧力式流量計の出力を比較して、前記熱式流量計が較正外となっているか否かを判定する、請求項2に記載の質量流量制御装置。
- 前記熱式流量計の出力値が前記圧力式流量計の出力値から所定量だけ変化した場合に、前記熱式流量計へ零偏差修正信号が供給される、請求項7に記載の質量流量制御装置。
- ガスの質量流量を質量流量制御装置で制御する方法であって、
前記質量流量制御装置を流れる質量の流量を熱式流量計で測定する工程と、
前記質量流量制御装置を流れる質量の流量を圧力式流量計で測定する工程と、
前記流量計のうち1つで測定した流量に応じて生成する制御信号に応答する制御弁で、前記質量流量制御装置を流れる質量の流量を制御する工程と、を備え、
前記質量の流量を制御する工程は、
(a)前記測定した流量が相対的に低く、前記質量流量制御装置の入力口に圧力障害がない場合には、前記熱式流量計で測定した流量に応じて、前記制御信号を生成し、
(b)前記流量が相対的に低く、前記入力口に圧力障害がある場合には、前記圧力式流量計で測定した流量に応じて、前記制御信号を生成し、
(c)前記流量が相対的に高い場合には、前記質量流量制御装置が入力口における圧力摂動に対して相対的に無反応となるように、前記圧力式流量計で測定した流量に応じて、前記制御信号を生成する工程を含む方法。 - 前記質量の流量を制御する工程は、
(a)前記測定した流量が交差値より低い場合には、前記熱式流量計で測定した流量に応じて、前記制御信号を生成するとともに、
(b)前記流量が前記交差値よりも高い場合には、前記流量の制御が圧力摂動に対して相対的に無反応となるように、前記圧力式流量計で測定した流量に応じて、前記制御信号を生成する工程を含む、請求項9に記載の方法。 - 前記交差値を、前記制御する流量の範囲に応じて選択する請求項10に記載の方法。
- 前記交差値は手動で入力される、請求項10に記載の方法。
- 前記交差値は工場組込み済である、請求項10に記載の方法。
- 前記圧力障害は、2つの流量センサ間の、突然の大きな流量の測定値の偏差によって表される、請求項10に記載の方法。
- 前記突然の大きな流量の偏差は、前記偏差が閾値を超えたときに発生する、請求項14に記載の方法。
- 前記熱式流量計および前記圧力式流量計の出力を比較して、前記熱式流量計が較正外となっているか否かを判定する工程をさらに備える、請求項9に記載の方法。
- 前記熱式流量計の出力値が前記圧力式流量計の出力値から所定量だけ変化した場合に、前記熱式流量計へ零偏差修正信号を供給する工程をさらに備える、請求項16に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/180,063 | 2014-02-13 | ||
US14/180,063 US9471066B2 (en) | 2012-01-20 | 2014-02-13 | System for and method of providing pressure insensitive self verifying mass flow controller |
PCT/US2015/012851 WO2015123008A1 (en) | 2014-02-13 | 2015-01-26 | System for and method of providing pressure insensitive self verifying mass flow controller |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017506744A JP2017506744A (ja) | 2017-03-09 |
JP6484248B2 true JP6484248B2 (ja) | 2019-03-13 |
Family
ID=53800526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016550840A Active JP6484248B2 (ja) | 2014-02-13 | 2015-01-26 | 圧力無反応性自己検証質量流量制御装置を提供するシステムおよび方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3105647B1 (ja) |
JP (1) | JP6484248B2 (ja) |
KR (1) | KR102237868B1 (ja) |
CN (1) | CN106104402B (ja) |
SG (1) | SG11201606712XA (ja) |
TW (1) | TWI550376B (ja) |
WO (1) | WO2015123008A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2557670B (en) * | 2016-12-15 | 2020-04-15 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Improved gas flow control |
JP7131561B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2022-09-06 | 日立金属株式会社 | 質量流量制御システム並びに当該システムを含む半導体製造装置及び気化器 |
US10725484B2 (en) | 2018-09-07 | 2020-07-28 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for pulse gas delivery using an external pressure trigger |
AT522357B1 (de) * | 2019-03-18 | 2020-11-15 | Avl List Gmbh | Messsystem zur Messung eines Massendurchflusses, einer Dichte, einer Temperatur und/oder einer Strömungsgeschwindigkeit |
DE102020210777A1 (de) * | 2020-08-26 | 2022-03-03 | Festo Se & Co. Kg | Durchflussregler, Ventilanordnung und Verfahren |
KR102359130B1 (ko) * | 2021-05-04 | 2022-02-08 | 주식회사 삼양발브종합메이커 | 유량 제어 스마트 밸브와 이를 이용한 유량 제어 시스템 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6047462B2 (ja) * | 1978-06-02 | 1985-10-22 | 株式会社日立製作所 | 電子制御燃料噴射装置の吸入空気量計測装置 |
JP3637278B2 (ja) * | 2000-12-20 | 2005-04-13 | Smc株式会社 | 2センサ式流量計 |
KR101006537B1 (ko) * | 2002-06-24 | 2011-01-07 | 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 압력변동에 영향을 받지 않는 질량 유량 제어장치 |
JP4137666B2 (ja) * | 2003-02-17 | 2008-08-20 | 株式会社堀場エステック | マスフローコントローラ |
US6945123B1 (en) * | 2004-06-28 | 2005-09-20 | The General Electric Company | Gas flow sensor having redundant flow sensing capability |
US8197133B2 (en) * | 2008-02-22 | 2012-06-12 | Brooks Instruments, Llc | System and method for sensor thermal drift offset compensation |
JP5177864B2 (ja) * | 2008-06-04 | 2013-04-10 | 株式会社フジキン | 熱式質量流量調整器用自動圧力調整器 |
US7826986B2 (en) * | 2008-09-26 | 2010-11-02 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and system for operating a mass flow controller |
JP4750866B2 (ja) * | 2009-02-18 | 2011-08-17 | 信越化学工業株式会社 | 石英ガラスの製造方法及び装置 |
JP5562712B2 (ja) * | 2010-04-30 | 2014-07-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置用のガス供給装置 |
US9846074B2 (en) * | 2012-01-20 | 2017-12-19 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of monitoring flow through mass flow controllers in real time |
US9760096B2 (en) * | 2012-03-07 | 2017-09-12 | Illinois Tool Works Inc. | System and method for using a model for improving control of a mass flow controller |
-
2015
- 2015-01-26 WO PCT/US2015/012851 patent/WO2015123008A1/en active Application Filing
- 2015-01-26 SG SG11201606712XA patent/SG11201606712XA/en unknown
- 2015-01-26 CN CN201580008399.0A patent/CN106104402B/zh active Active
- 2015-01-26 JP JP2016550840A patent/JP6484248B2/ja active Active
- 2015-01-26 EP EP15748793.5A patent/EP3105647B1/en active Active
- 2015-01-26 KR KR1020167022177A patent/KR102237868B1/ko active IP Right Grant
- 2015-02-04 TW TW104103651A patent/TWI550376B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3105647A1 (en) | 2016-12-21 |
TW201539167A (zh) | 2015-10-16 |
TWI550376B (zh) | 2016-09-21 |
KR20160122732A (ko) | 2016-10-24 |
SG11201606712XA (en) | 2016-09-29 |
WO2015123008A1 (en) | 2015-08-20 |
KR102237868B1 (ko) | 2021-04-12 |
EP3105647B1 (en) | 2019-01-23 |
CN106104402A (zh) | 2016-11-09 |
CN106104402B (zh) | 2020-03-24 |
EP3105647A4 (en) | 2017-09-13 |
JP2017506744A (ja) | 2017-03-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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