JP4932665B2 - 処理液供給ユニット、液処理装置、処理液供給方法および記憶媒体 - Google Patents

Description

本発明は、被処理体を処理する処理部に処理液を供給する処理液供給ユニット、当該処理液供給ユニットを有する液処理装置、処理液供給方法および当該処理液供給方法を格納した記憶媒体に関する。

従来から、被処理体である半導体ウエハ（以下、ウエハとも呼ぶ）を処理する処理部に、処理液を供給するための処理液供給ユニットが知られている。そして、このような処理液供給ユニットは、処理部に供給する処理液を貯留する貯留槽を含む供給部を有している。

しかしながら、処理液供給ユニットが、供給部を一つしか有しておらず処理液を貯留する貯留槽を一つしか有していない場合には、貯留槽に収容された処理液を完全に使用してしまうと、新たに生成された処理液を貯留槽に貯留するまで、処理部に処理液を供給することができない。また、処理部でウエハを連続して処理することができる時間は、貯留槽に収容された処理液を完全に使い切るまでの時間に制限されてしまう。

この点、処理液供給ユニットが、貯留槽を含む供給部を複数有しているものも知られている（例えば、特許文献１参照）。このような処理液供給ユニットは、複数の貯留槽を有しているため、一の貯留槽から実際に処理液を供給させるとともに、別の貯留槽に、次回使用する処理液を貯留することができる。このため、上述のような一つしか貯留槽がない処理液供給ユニットと異なり、新たに生成された処理液を貯留するまで待つ必要がない。
特開平０９−２６０３３０号公報

しかしながら、上述のように複数の供給部を有している処理液供給ユニットにおいては、一供給部から処理液を実際に供給している際に、処理液を供給する貯留槽を当該一供給部の貯留槽から別の供給部の貯留槽に切り換えると、処理部に供給される処理液の液圧が変化する。このため、処理部からウエハに対して供給される処理液に脈動が生じてしまい、処理対象であるウエハを精度良く処理することができなくなる。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、処理部から被処理体に対して供給される処理液に脈動が生じることなく、かつ、待ち時間が発生することなく被処理体を連続して処理することができる処理液供給ユニット、当該処理液供給ユニットを有する液処理装置、処理液供給方法、および、当該処理液供給方法を格納した記憶媒体を提供することを目的とする。

本発明による処理液供給ユニットは、
被処理体を処理する処理部に処理液を供給するための処理液供給ユニットにおいて、
処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部に供給する第一供給部と、
処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部に供給する第二供給部と、
第一供給部および第二供給部内の処理液の流れを制御する制御部と、を備え、
第一供給部が、処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第一圧送手段を有し、
第二供給部が、処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第二圧送手段を有し、
制御部が、処理部への処理液の供給を第一供給部から第二供給部へ変更する際には、第一供給部内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部から処理部に処理液を供給させ始めるよう第二圧送手段を制御し、その後、第一供給部からの処理部への処理液の供給を停止する。

このような構成によれば、処理部に供給される処理液の液圧が急激に下がることがなく、処理部から被処理体に対して供給される処理液に脈動が生じることがない。また、第一供給部から第二供給部へと切り換えるための待ち時間が発生することがなく、被処理体を連続して処理することができる。

本発明による処理液供給ユニットにおいて、
制御部は、処理部への処理液の供給を第一供給部から第二供給部へ変更する際には、第一供給部内の処理液の圧送状態および非圧送状態の周期から予想して、第一供給部内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部から処理部に処理液を供給させ始めるよう第二圧送手段を制御することが好ましい。

このような構成により、処理部から被処理体に対して供給される処理液に脈動が生じることを、さらに確実に防止することができる。

本発明による処理液供給ユニットにおいて、
第一供給部は、処理液を循環させる第一循環路を有し、
第二供給部は、処理液を循環させる第二循環路を有し、
制御部は、処理部への処理液の供給を第一供給部から第二供給部へ変更する際には、第二供給部の第二循環路で処理液を循環させるとともに、第一供給部内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部から処理部に処理液を供給させ始めるよう第二圧送手段を制御することが好ましい。

このような構成により、第一供給部の処理液および第二供給部内の処理液を均一な濃度にすることができる。

本発明による処理液供給ユニットにおいて、
第一供給部は、第一供給部内を流れる処理液の液圧を高めるための第一加圧部材を有し、
第二供給部は、第二供給部内を流れる処理液の液圧を高めるための第二加圧部材を有し、
制御部は、第一供給部が処理液を処理部に供給しているときには、第二加圧部材によって第二供給部内の処理液の液圧を高めた後、第二供給部から処理部に処理液を供給させ始め、その後、第一供給部から処理部への処理液の供給を停止させることが好ましい。

このような構成によれば、処理部から被処理体に対して供給される処理液に脈動が生じることを、さらに確実に防止することができる。

本発明による液処理装置は、
被処理体を処理する処理部と、
当該処理部に処理液を供給するための処理液供給ユニットと、を備え、
前記処理液供給ユニットが、
処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部に供給する第一供給部と、
処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部に供給する第二供給部と、
第一供給部および第二供給部内の処理液の流れを制御する制御部と、を備え、
第一供給部が、処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第一圧送手段を有し、
第二供給部が、処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第二圧送手段を有し、
制御部が、処理部への処理液の供給を第一供給部から第二供給部へ変更する際には、第一供給部内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部から処理部に処理液を供給させ始めるよう第二圧送手段を制御し、その後、第一供給部からの処理部への処理液の供給を停止する。

このような構成によれば、処理部に供給される処理液の液圧が急激に下がることがなく、処理部から被処理体に対して供給される処理液に脈動が生じることがない。また、第一供給部から第二供給部へと切り換えるための待ち時間が発生することがなく、被処理体を連続して処理することができる。

本発明による処理液供給方法は、
処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部に供給する第一供給部と、処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部に供給する第二供給部と、を含み、第一供給部が、処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第一圧送手段を有し、第二供給部が、処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第二圧送手段を有する処理液供給ユニットを用いて、被処理体を処理する処理部に処理液を供給するための処理液供給方法において、
第一供給部によって、処理部に処理液を供給する第一処理液供給工程と、
第二供給部によって、処理部に処理液を供給する第二処理液供給工程と、
処理部への処理液の供給を第一供給部から第二供給部へ変更する際に、第一供給部内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部から処理部に処理液を供給させ始めるよう第二圧送手段を制御する第二圧送手段制御工程と、
当該第二圧送手段制御工程の後、第一供給部からの処理部への処理液の供給を停止する第一処理液供給停止工程と、
を備えている。

このような方法によれば、処理部に供給される処理液の液圧が急激に下がることがなく、処理部から被処理体に対して供給される処理液に脈動が生じることがない。また、第一供給部から第二供給部へと切り換えるための待ち時間が発生することがなく、被処理体を連続して処理することができる。

本発明による処理液供給方法において、
第二圧送手段制御工程は、第一供給部内の処理液の圧送状態および非圧送状態の周期から予想して、第一供給部内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部から処理部に処理液を供給させ始めるよう第二圧送手段を制御することが好ましい。

このような方法によれば、処理部から被処理体に対して供給される処理液に脈動が生じることを、さらに確実に防止することができる。

本発明による処理液供給方法において、
第一処理液供給工程の間に、第二供給部で処理液を循環させる第二処理液循環工程と、
第二処理液供給工程の間に、第一供給部で処理液を循環させる第一処理液循環工程と、をさらに備え、
第二圧送手段制御工程は、第二処理液循環工程の間に、第一供給部内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部から処理部に処理液を供給させ始めるよう第二圧送手段を制御することが好ましい。

このような方法により、第一供給部の処理液および第二供給部内の処理液を均一な濃度にすることができる。

本発明による処理液供給方法において、
第一処理液供給工程の間に、第二供給部内の処理液の液圧を高める第二加圧工程と、
第二処理液供給工程の間に、第一供給部内の処理液の液圧を高める第一加圧工程と、
第二供給部から処理部への処理液の供給を停止させる第二処理液供給停止工程と、をさらに備え、
前記第二処理液供給工程は、前記第二加圧工程の後に開始され、
前記第一処理液供給停止工程は、当該第二処理液供給工程の後に開始され、
前記第一処理液供給工程は、前記第一加圧工程の後に開始され、
前記第二処理液供給停止工程は、当該第一処理液供給工程の後に開始されることが好ましい。

このような方法によれば、処理部から被処理体に対して供給される処理液に脈動が生じることを、さらに確実に防止することができる。

本発明による記憶媒体は、
コンピュータに処理液供給方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
当該処理液供給方法は、
処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部に供給する第一供給部と、処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部に供給する第二供給部と、を含み、第一供給部は、処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第一圧送手段を有し、第二供給部は、処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第二圧送手段を有する処理液供給ユニットを用いて、被処理体を処理する処理部に処理液を供給するための方法であって、
第一供給部によって、処理部に処理液を供給する第一処理液供給工程と、
第二供給部によって、処理部に処理液を供給する第二処理液供給工程と、
処理部への処理液の供給を第一供給部から第二供給部へ変更する際に、第一供給部内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部から処理部に処理液を供給させ始めるよう第二圧送手段を制御する第二圧送手段制御工程と、
当該第二圧送手段制御工程の後、第一供給部からの処理部への処理液の供給を停止する第一処理液供給停止工程と、
を備えた方法からなっている。

このような構成によれば、処理部に供給される処理液の液圧が急激に下がることがなく、処理部から被処理体に対して供給される処理液に脈動が生じることがない。また、第一供給部から第二供給部へと切り換えるための待ち時間が発生することがなく、被処理体を連続して処理することができる。

本発明によれば、処理部への処理液の供給を第一供給部から第二供給部へ変更する際には、第一供給部内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部から処理部に処理液を供給させ始めるよう第二圧送手段を制御し、その後、第一供給部からの処理部への処理液の供給を停止するので、処理部から被処理体に対して供給される処理液に脈動が生じることなく、かつ、待ち時間が発生することなく被処理体を連続して処理することができる。

発明を実施するための形態

実施の形態
以下、本発明に係る処理液供給ユニット、液処理装置、処理液供給方法および当該処理液供給方法を格納した記憶媒体の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図３は本発明の実施の形態を示す図である。

本実施の形態による処理液供給ユニットは、被処理体である半導体ウエハ（以下、ウエハとも呼ぶ）を処理する処理部６０に、薬液と溶媒とを混合して生成された処理液を供給するためのものである。

図１に示すように、処理液供給ユニットは、処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部６０に供給する第一供給部１０と、第一供給部１０と同じ成分の処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部６０に供給する第二供給部２０と、第一供給部１０および第二供給部２０内の処理液の流れを制御する制御部５０と、を備えている。

また、図１に示すように、第一供給部１０は、生成された処理液を収容する第一貯留槽１１と、処理液を第一貯留槽１１から処理部６０に向かって案内する第一供給管３６と、第一供給管３６から導かれた処理液の一部を分岐して処理部６０に供給する主供給管５５と、処理部６０に供給されなかった残りの処理液を第一貯留槽１１まで導く第一戻り管３７と、を有している。なお、第一供給管３６と第一戻り管３７との間には、これら第一供給管３６と第一戻り管３７を連通する第一連通管３９が設けられている。また、第一供給管３６のうち第一連通管３９との連結箇所より上流側の領域と、第一戻り管３７のうち第一連通管３９との連結箇所より下流側の領域と、第一供給管３６と第一戻り管３７との間に設けられた第一連通管３９とから、第一循環路１５が構成されている。

また、図１に示すように、処理部６０は複数個（図１では４個）設けられており、各処理部６０の上流側には、開閉自在のバルブ６１が設けられている。また、各処理部６０には、回収管６３を介して基板処理部６０で使用された処理液を回収する回収部６５が連結され、当該回収部６５には回収された処理液を第一戻り管３７または後述する第二戻り管４７へと導く回収管６８が連結されている。なお、回収管６８には、回収部６５で回収された処理液に駆動力を与えるポンプ６６が設けられている。

また、図１に示すように、第一貯留槽１１には、第一貯留槽１１に薬液を供給する薬液供給部３１と、第一貯留槽１１に溶媒を供給する溶媒供給部３２とが連結されている。また、第一貯留槽１１内には、処理液（または、薬液および溶媒）の容量を検知するための検知センサ７１ａ，７１ｂ，７１ｃが設けられている。

また、図１に示すように、第一供給管３６には開閉自在の第一供給バルブ１６が設けられ、第一戻り管３７には開閉自在の第一回収バルブ１７が設けられ、第一連通管３９には開閉自在の第一連通バルブ１９が設けられている。また、第一戻り管３７には、閉じられることによって、第一供給部１０内を流れる処理液の液圧を高める第一加圧バルブ（第一加圧部材）１２が設けられている。

また、第二供給部２０も第一供給部１０と同様の構成からなっている。すなわち、図１に示すように、第二供給部２０は、生成された処理液を収容する第二貯留槽２１と、処理液を第二貯留槽２１から処理部６０に向かって案内する第二供給管４６と、第二供給管４６から導かれた処理液の一部を分岐して処理部６０に供給する主供給管５５と、処理部６０に供給されなかった残りの処理液を第二貯留槽２１まで導く第二戻り管４７と、を有している。なお、第二供給管４６と第二戻り管４７との間には、これら第二供給管４６と第二戻り管４７を連通する第二連通管４９が設けられている。なお、第二供給管４６のうち第二連通管４９との連結箇所より上流側の領域と、第二戻り管４７のうち第二連通管４９との連結箇所より下流側の領域と、第二供給管４６と第二戻り管４７との間に設けられた第二連通管４９とから、第二循環路２５が構成されている。

また、図１に示すように、第二貯留槽２１には、第二貯留槽２１に薬液を供給する薬液供給部３１と、第二貯留槽２１に溶媒を供給する溶媒供給部３２とが連結されている。また、第二貯留槽２１内には、処理液（または、薬液および溶媒）の容量を検知するための検知センサ７２ａ，７２ｂ，７２ｃが設けられている。

また、図１に示すように、第二供給管４６には開閉自在の第二供給バルブ２６が設けられ、第二戻り管４７には開閉自在の第二回収バルブ２７が設けられ、第二連通管４９には開閉自在の第二連通バルブ２９が設けられている。また、第二戻り管４７には、閉じられることによって、第二供給部２０内を流れる処理液の液圧を高める第二加圧バルブ（第二加圧部材）２２が設けられている。

また、図１に示すように、第一供給管３６には、第一供給部１０内の処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第一ポンプ（第一圧送手段）１３が設けられ、第二供給管４６には、第二供給部２０内の処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第二ポンプ（第二圧送手段）２３が設けられている。なお、第一ポンプ１３および第二ポンプ２３としては、例えばベローズポンプなどを用いることができる。

ところで、本願で、処理液を圧送状態にするとは、供給部１０，２０内の処理液にポンプ１３，２３によって駆動力を加えることによって、当該処理液の液圧を高圧状態にすることを意味し、処理液を非圧送状態にするとは、供給部１０，２０内の処理液にポンプ１３，２３によって駆動力が加えられておらず、当該処理液の液圧が低圧状態になっていることを意味している。

また、図１に示すように、第一供給バルブ１６、第一回収バルブ１７、第一連通バルブ１９、第一加圧バルブ１２、第二供給バルブ２６、第二回収バルブ２７、第二連通バルブ２９および第二加圧バルブ２２には、第一供給部１０および第二供給部２０内の処理液の流れを制御する制御部５０が接続されている。

なお、この制御部５０は、処理部６０への処理液の供給を第一供給部１０から第二供給部２０へ変更する際には、第一供給部１０内の処理液の圧送状態および非圧送状態の周期から予想して、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部２０内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部２０から処理部６０に処理液を供給させ始めるよう第二ポンプ２３を制御し、また、処理部６０への処理液の供給を第二供給部２０から第一供給部１０へ変更する際には、第二供給部２０内の処理液の圧送状態および非圧送状態の周期から予想して、第二供給部２０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であるときに、第一供給部１０から処理部６０に処理液を供給させ始めるよう、第一ポンプ１３を制御するようになっている。

さらに、この制御部５０は、第一供給部１０が処理液を処理部６０に供給しているときには、第二ポンプ２３から駆動力を与えて第二供給部２０の第二循環路２５で処理液を循環させ、他方、第二供給部２０が処理液を処理部６０に供給しているときには、第一ポンプ１３から駆動力を与えて第一供給部１０の第一循環路１５で処理液を循環させるようになっている。

また、図１に示すように、制御部５０は、第一ポンプ１３、第二ポンプ２３、薬液供給部３１および第二溶媒供給部３２にも接続されている。

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。なお、図２（ａ）−（ｃ）および図５（ａ）−（ｃ）においては、簡略化のため、処理部６０、バルブ６１、回収管６３、回収部６５、ポンプ６６、回収管６８を図示していない。

まず、第一供給部１０によって、処理部６０に処理液が供給される（第一処理液供給工程８４）（図２（ａ）および図３参照）。このとき、第一供給バルブ１６、第一回収バルブ１７および第一加圧バルブ１２が開かれており、第一連通バルブ１９は閉じられている（図２（ａ）参照）。

また、この第一処理液供給工程８４において、第一供給部１０内の処理液には第一ポンプ１３から駆動力が加えられており、第一供給部１０内の処理液は交互に圧送状態および非圧送状態になっている（図２（ａ）、図３および図４（ａ）（ｂ）参照）。

上述のように、第一供給部１０によって処理部６０に処理液が供給されている間、第二供給部２０によって薬液と溶媒の混合液である処理液が循環される（第二処理液循環工程９１）（図２（ａ）および図３参照）。このとき、第二連通バルブ２９および第二加圧バルブ２２が開かれており、第二供給バルブ２６および第二回収バルブ２７は閉じられている。また、第二供給部２０内の処理液には第二ポンプ２３から駆動力が加えられており、第二供給部２０内の処理液は交互に圧送状態および非圧送状態になっている（図２（ａ）、図３および図４（ａ）（ｂ）参照）。

なお、後述する第二加圧工程９３、第二圧送手段制御工程９２および第二処理液供給工程９４の間も、第二供給部２０内の処理液には第二ポンプ２３から駆動力が加えられており、第二供給部２０内の処理液は交互に圧送状態および非圧送状態になっている（図３および図４（ａ）（ｂ）参照）。また、上述のように、第二供給部２０によって薬液と溶媒の混合液である処理液が循環されるので、第二供給部２０内で薬液と溶媒を十分に混合させることができ、処理液を均一な濃度にすることができる。

次に、制御部５０は、第一供給部１０内の処理液の圧送状態および非圧送状態の周期から予想して、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部２０内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部２０から処理部６０に処理液を供給させ始めるよう、第二ポンプ２３を制御する（第二圧送手段制御工程９２）（図４（ａ）参照）。

より具体的には、本実施の形態おいては、制御部５０は、前回の圧送状態の時間的長さｔ_０から、第一供給部１０内の処理液の圧送状態の時間的長さｔ_１を予想して、第二供給部２０内の処理液の（圧送状態および非圧送状態の）周期に対して第一供給部１０内の処理液の周期を調整し、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部２０内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部２０から処理部６０に処理液を供給させ始めるようにしている（図４（ａ）参照）。

このとき、制御部５０からの信号に基づいて第二加圧バルブ２２が少し閉じられ（完全には閉じられていない）、第二供給部２０内の処理液の液圧が高められる（第二加圧工程９３）（図２（ａ）、図３および図４（ａ）（ｂ）参照）。なお、図４（ａ）において、第二加圧バルブ２２を少し閉じることによって第二供給部２０内の液圧が変化する周期が変化しているが、これは、第二ポンプ２３内で駆動される液圧の圧力が高くなると、（例えば、ベローズポンプからなる）第二ポンプ２３の駆動周期が遅くなるためである。

ところで、図４（ａ）では、ポンプ１３，２３の駆動状態を示しているが、このポンプ１３，２３の駆動状態は、供給部１０，２０内の処理液の圧力と密接に関連しており、ポンプ１３，２３が処理液に駆動力を加えているときには、供給部１０，２０内の処理液は圧送状態となり、ポンプ１３，２３が処理液に駆動力を加えていないときには、供給部１０，２０内の処理液は非圧送状態となっている。

次に、制御部５０からの信号に基づいて第二供給バルブ２６および第二回収バルブ２７が開かれ、第二供給部２０から処理部６０に処理液が供給される（第二処理液供給工程９４）（図２（ｂ）、図３および図４（ａ）（ｂ）参照）。このとき、制御部５０は、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部２０内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部２０から処理部６０に処理液を供給させ始める（図４（ａ）（ｂ）参照）。

このように本実施の形態によれば、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部２０内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部２０から処理部６０に処理液を供給させ始めるので、処理部６０に供給される処理液の液圧が急激に下がり、処理部６０からウエハに対して供給される処理液に脈動が生じることがない。

すなわち、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部２０内の処理液が非圧送状態であるときに、第二供給部２０から処理部６０に処理液を供給させ始めると、処理部６０に供給される処理液の液圧が急激に下がり、処理部６０からウエハに対して供給される処理液に脈動が生じる。

他方、第一供給部１０内の処理液の液圧が非圧送状態であり、かつ、第二供給部２０内の処理液の液圧が圧送状態であるときに、第二供給部２０から処理部６０に処理液を供給させ始めると、処理部６０からウエハに対して供給される処理液の液圧が急激に上がり、処理部６０からウエハに対して供給される処理液に脈動が生じる。

従って、本実施の形態のように、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部２０内の処理液が圧送状態であるときに、第二供給部２０から処理部６０に処理液を供給させ始めることによって、処理部６０からウエハに対して供給される処理液に脈動が生じることを、防止することができるのである。

また、このように、第一供給部１０によって処理部６０に処理液が供給されている間に、第二供給部２０からの処理液の供給を開始するので、第一供給部１０から第二供給部２０へと切り換えるための待ち時間が発生することがなく、ウエハを連続して処理することができる。

さらに、第一供給部１０によって処理部６０に処理液が供給されている間に、第二加圧バルブ２２を少し閉じて第二供給部２０内の処理液の液圧を高くした後、第二供給バルブ２６および第二回収バルブ２７を開いて、第二供給部２０から処理部６０に処理液を供給する。このため、処理部６０からウエハに対して供給される処理液に脈動が生じることを、さらに確実に防止することができる。

上述のように第二供給部２０から処理部６０に処理液を供給し始めた後、制御部５０からの信号に基づいて、第一供給バルブ１６および第一回収バルブ１７が閉じられ、第一供給部１０から処理部６０への処理液の供給が停止される（第一処理液供給停止工程８９）。このとき、制御部５０からの信号に基づいて、第一連通バルブ１９が開かれ、第二連通バルブ２９が閉じられる（図２（ｃ）、図３および図４（ａ）（ｂ）参照）。

次に、第一ポンプ１３の駆動が止められた後（図４（ａ）参照）、薬液供給部３１から第一貯留槽１１内に薬液が供給されるとともに、溶媒供給部３２から第一貯留槽１１内に溶媒が供給される。

次に、第一ポンプ１３によって第一供給部１０内で薬液と溶媒の混合液である処理液が循環される（第一処理液循環工程８１）。その後は、第一供給部１０が上述した第二供給部２０と同様の機能を果たし、他方、第二供給部２０が上述した第一供給部１０と同様の機能を果たすこととなる（図３参照）。

すなわち、制御部５０は、第一供給部１０によって薬液と溶媒の混合液である処理液を、所定時間、循環させた（第一処理液循環工程８１）後、第二供給部２０内の処理液の圧送状態および非圧送状態の周期から予想して、第二供給部２０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であるときに、第一供給部１０から処理部６０に処理液を供給させ始めるよう、第一ポンプ１３を制御する（第一圧送手段制御工程８２）。このとき、制御部５０からの信号に基づいて第一加圧バルブ１２が少し閉じられ（完全には閉じられていない）、第一供給部１０内の処理液の液圧が高められる（第一加圧工程８３）（図３、図５（ａ）および図６（ａ）（ｂ）参照）。

次に、制御部５０からの信号に基づいて第一供給バルブ１６および第一回収バルブ１７が開かれ、第一供給部１０から処理部６０に処理液が供給される（第一処理液供給工程８４）（図３、図５（ｂ）および図６（ａ）（ｂ）参照）。このとき、制御部５０は、第二供給部２０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であるときに、第一供給部１０から処理部６０に処理液を供給させ始める（図６（ａ）（ｂ）参照）。

このように、第二供給部２０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であるときに、第一供給部１０から処理部６０に処理液を供給させ始めるので、処理部６０に供給される処理液の液圧が急激に下がり、処理部６０からウエハに対して供給される処理液に脈動が生じることがない。

また、このように、第二供給部２０によって処理部６０に処理液が供給されている間に、第一供給部１０からの処理液の供給を開始するので、第二供給部２０から第一供給部１０へと切り換えるための待ち時間が発生することがなく、ウエハを連続して処理することができる。

さらに、第二供給部２０によって処理部６０に処理液が供給されている間に、第一供給部１０内の処理液の液圧を高くした後、第一供給部１０から処理部６０に処理液を供給する。このため、処理部６０からウエハに対して供給される処理液に脈動が生じることを、さらに確実に防止することができる。

上述のように第一供給部１０から処理部６０に処理液を供給し始めた後、制御部５０からの信号に基づいて、第二供給バルブ２６および第二回収バルブ２７が閉じられ、第二供給部２０から処理部６０への処理液の供給が停止される（第二処理液供給停止工程９９）。このとき、制御部５０からの信号に基づいて、第二連通バルブ２９が開かれ、第一連通バルブ１９が閉じられる（図３、図５（ｃ）および図６（ａ）（ｂ）参照）。

次に、第二ポンプ２３の駆動が止められた後（図６（ａ）参照）、薬液供給部３１から第二貯留槽２１内に薬液が供給されるとともに、溶媒供給部３２から第二貯留槽２１内に溶媒が供給される。

次に、第二ポンプ２３によって第二供給部２０内で薬液と溶媒の混合液である処理液が循環される（第二処理液循環工程９１）。

ところで、上記の第二処理液供給工程９４では、第二連通バルブ２９が開いたままの状態で、制御部５０からの信号に基づいて第二供給バルブ２６および第二回収バルブ２７が開かれて、第二供給部２０から処理部６０に処理液が供給される態様を用いて説明したが、これに限らず、第二回収バルブ２７は閉じたままの状態で、制御部５０からの信号に基づいて第二連通バルブ２９が閉じられるとともに第二供給バルブ２６が開かれて、第二供給部２０から処理部６０に処理液が供給されるようにしてもよい（図２（ａ）−（ｃ）参照）。

このように、第二回収バルブ２７および第二連通バルブ２９を閉じた状態で、第二供給バルブ２６のみを開くことによって、第二供給部２０から供給される処理液の液圧を高く保つことができる。このため、処理槽１１，２１の大きさや、第一供給管３６および第二供給管４６の大きさなどの状態から、処理液の供給を第一供給部１０から第二供給部２０に切り換える際に第二供給部２０内の処理液の液圧をより高くする必要がある場合には、第二回収バルブ２７および第二連通バルブ２９を閉じた状態で、第二供給バルブ２６のみを開くことが好ましい。

なお、第一処理液供給工程８４でも、同様に、第一回収バルブ１７を閉じたままの状態で、制御部５０からの信号に基づいて第一連通バルブ１９が閉じられるとともに第一供給バルブ１６が開かれて、第一供給部１０から処理部６０に処理液が供給されるようにしてもよい（図５（ａ）−（ｃ）参照）。

また、上記では、第一供給部１０と第二供給部２０の二つの供給部を用いて説明したが、これに限ることなく、処理液を供給する供給部は三つ以上あってもよい。

また、上記では、供給部１０，２０から処理部６０に処理液を供給しているときに処理液を循環路１５，２５で循環させるとともに、処理部６０へ処理液を供給する供給部１０、２０を変更する際に、ポンプ１３，２３を制御して、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部２０内の処理液が圧送状態になるようにする態様を用いて説明したが、これに限らない。例えば、第一供給部１０から処理部６０に処理液を供給しているときであって、第一貯留槽１１内の処理液の残量が少なくなったときに、第二供給部２０の第二ポンプ２３を駆動させ始め、処理部６０への処理液の供給を第一供給部１０から第二供給部２０へ変更する際に、第一供給部１０内の処理液が圧送状態であり、かつ、第二供給部２０内の処理液が圧送状態になるように、第二ポンプ２３の駆動を調整してもよい。

なお、本実施の形態によれば、上述したような処理液供給方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラムや、このようなコンピュータプログラムを格納した記憶媒体も提供することができる。

本発明の実施の形態による処理液供給ユニットを示す概略構成図。 本発明の実施の形態による処理液供給ユニットを用いた処理液供給方法の一部の工程を説明する概略構成図。 本発明の実施の形態による処理液供給方法の流れを示すフロー図。 所定の時間軸において、本発明の実施の形態による各ポンプの駆動状態とバルブの制御との関係を示すグラフ図。 本発明の実施の形態による処理液供給ユニットを用いた処理液供給方法の別の一部の工程を説明する概略構成図。 別の所定の時間軸において、本発明の実施の形態による各供給部内の液圧とバルブの制御との関係を示すグラフ図。

符号の説明

１０ 第一供給部
１１ 第一貯留槽
１２ 第一加圧バルブ（第一加圧部材）
１３ 第一ポンプ（第一圧送手段）
１６ 第一供給バルブ
１７ 第一回収バルブ
１９ 第一連通バルブ
２０ 第二供給部
２１ 第二貯留槽
２２ 第二加圧バルブ（第二加圧部材）
２３ 第二ポンプ（第二圧送手段）
２６ 第二供給バルブ
２７ 第二回収バルブ
２９ 第二連通バルブ
５０ 制御部
６０ 処理部
８１ 第一処理液循環工程
８３ 第一加圧工程
８４ 第一処理液供給工程
８９ 第一処理液供給停止工程
９１ 第二処理液循環工程
９３ 第二加圧工程
９４ 第二処理液供給工程
９９ 第二処理液供給停止工程

Claims (6)

1. 被処理体を処理する処理部に処理液を供給するための処理液供給ユニットにおいて、
   処理液を処理部に供給する第一供給部と、
   処理液を処理部に供給する第二供給部と、
   第一供給部および第二供給部内の処理液の流れを制御する制御部と、を備え、
   前記第一供給部は、処理液を貯留する第一貯留槽と、前記第一貯留槽に接続された処理液が循環する第一循環路と、前記第一循環路に設けられた第一圧送手段および第一加圧バルブを有しており、前記第一圧送手段は処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にして当該処理液に駆動力を与えるように構成され、前記第一加圧バルブは、その開度を小さくすることにより前記第一供給部内の処理液の液圧を高めることができるように設けられており、前記第一供給部に第一供給バルブが設けられ、当該第一供給バルブを開くことにより前記第一供給部と処理部とが連通するようなっており、
   前記第二供給部は、処理液を貯留する第二貯留槽と、前記第二貯留槽に接続された処理液が循環する第二循環路と、前記第二循環路に設けられた第二圧送手段および第二加圧バルブを有しており、前記第二圧送手段は処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にして当該処理液に駆動力を与えるように構成され、前記第二加圧バルブは、その開度を小さくすることにより前記第二供給部内の処理液の液圧を高めることができるように設けられており、前記第二供給部に第二供給バルブが設けられ、当該第二供給バルブを開くことにより前記第二供給部と処理部とが連通するようなっており、
   前記制御部は、前記第一供給部から処理部に処理液が供給されている状態から前記第二供給部から処理部に処理液が供給されている状態に移行させる際に、
   まず、前記第一供給部から前記第一供給バルブを介して処理部に処理液が供給されているときに、前記第二供給バルブを閉じた状態で前記第二加圧バルブの開度を小さくすることによって前記第二供給部内の処理液の液圧を高くして、この状態で前記第一供給部内の処理液および前記第二供給部内の処理液がともに圧送状態となった時に前記第二供給バルブを開いて、前記第二供給部から前記処理部に処理液が供給されるようにし、
   その後、第一供給バルブを閉じて、前記第一供給部から前記処理部への処理液の供給を停止する
   ように前記第一および第二供給部を制御するように構成されていることを特徴とする処理液供給ユニット。
2. 前記第一供給部の循環路に第一連通バルブが設けられ、前記第一連通バルブが開かれているときに前記第一循環路内を処理液が循環することができ、前記第一連通バルブが閉じているときには前記第一循環路内の処理液の循環が遮断されるようになっており、前記第二供給部の循環路に第二連通バルブが設けられ、前記第二連通バルブが開かれているときに前記第二循環路内を処理液が循環することができ、前記第二連通バルブが閉じているときには前記第二循環路内の処理液の循環が遮断されるようになっており、
   前記制御部は、前記第一供給部から処理部に処理液が供給されている状態から前記第二供給部から処理部に処理液が供給されている状態に移行させる際に、前記第二供給バルブを開いて前記第二供給部から前記処理部に処理液が供給されるようにした後に、前記第二連通バルブを閉じ、かつ、第一供給バルブを閉じて前記第一供給部から前記処理部への処理液の供給を停止した後に、前記第一連通バルブを開くように、前記第一および第二供給部を制御するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の処理液供給ユニット。
3. 被処理体を処理する処理部と、
   前記処理部に処理液を供給するための処理液供給ユニットと、を備え、
   前記処理液供給ユニットは、
   処理液を処理部に供給する第一供給部と、
   処理液を処理部に供給する第二供給部と、
   第一供給部および第二供給部内の処理液の流れを制御する制御部と、を備え、
   前記第一供給部は、処理液を貯留する第一貯留槽と、前記第一貯留槽に接続された処理液が循環する第一循環路と、前記第一循環路に設けられた第一圧送手段および第一加圧バルブを有しており、前記第一圧送手段は処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にして当該処理液に駆動力を与えるように構成され、前記第一加圧バルブは、その開度を小さくすることにより前記第一供給部内の処理液の液圧を高めることができるように設けられており、前記第一供給部に第一供給バルブが設けられ、当該第一供給バルブを開くことにより前記第一供給部と処理部とが連通するようなっており、
   前記第二供給部は、処理液を貯留する第二貯留槽と、前記第二貯留槽に接続された処理液が循環する第二循環路と、前記第二循環路に設けられた第二圧送手段および第二加圧バルブを有しており、前記第二圧送手段は処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にして当該処理液に駆動力を与えるように構成され、前記第二加圧バルブは、その開度を小さくすることにより前記第二供給部内の処理液の液圧を高めることができるように設けられており、前記第二供給部に第二供給バルブが設けられ、当該第二供給バルブを開くことにより前記第二供給部と処理部とが連通するようなっており、
   前記制御部は、前記第一供給部から前記処理部に処理液が供給されている状態から前記第二供給部から前記処理部に処理液が供給されている状態に移行させる際に、
   まず、前記第一供給部から前記第一供給バルブを介して前記処理部に処理液が供給されているときに、前記第二供給バルブを閉じた状態で前記第二加圧バルブの開度を小さくすることによって前記第二供給部内の処理液の液圧を高くして、この状態で前記第一供給部内の処理液および前記第二供給部内の処理液がともに圧送状態となった時に前記第二供給バルブを開いて、前記第二供給部から前記処理部に処理液が供給されるようにし、
   その後、第一供給バルブを閉じて、前記第一供給部から前記処理部への処理液の供給を停止する
   ように前記第一および第二供給部を制御するように構成されていることを特徴とする液処理装置。
4. 前記第一供給部の循環路に第一連通バルブが設けられ、前記第一連通バルブが開かれているときに前記第一循環路内を処理液が循環することができ、前記第一連通バルブが閉じているときには前記第一循環路内の処理液の循環が遮断されるようになっており、前記第二供給部の循環路に第二連通バルブが設けられ、前記第二連通バルブが開かれているときに前記第二循環路内を処理液が循環することができ、前記第二連通バルブが閉じているときには前記第二循環路内の処理液の循環が遮断されるようになっており、
   前記制御部は、前記第一供給部から処理部に処理液が供給されている状態から前記第二供給部から処理部に処理液が供給されている状態に移行させる際に、前記第二供給バルブを開いて前記第二供給部から前記処理部に処理液が供給されるようにした後に、前記第二連通バルブを閉じ、かつ、第一供給バルブを閉じて前記第一供給部から前記処理部への処理液の供給を停止した後に、前記第一連通バルブを開くように前記第一および第二供給部を制御するように構成されていることを特徴とする請求項３に記載の液処理装置。
5. 処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部に供給する第一供給部と、処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部に供給する第二供給部と、を含み、第一供給部が、処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第一圧送手段を有し、第二供給部が、処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第二圧送手段を有する処理液供給ユニットを用いて、被処理体を処理する処理部に処理液を供給するための処理液供給方法において、
   前記第一供給部から前記処理部に処理液が供給されている状態から前記第二供給部から前記処理部に処理液が供給されている状態に移行させる際に、
   まず、前記第一供給部から前記処理部に処理液が供給されているときに、前記第二処理部の第二循環路内に設けられた第二加圧バルブの開度を小さくすることによって前記第二供給部内の処理液の液圧を高くして、この状態で前記第一供給部内の処理液および前記第二供給部内の処理液がともに圧送状態となった時に前記第二供給部と前記処理部とを連通させて、前記第二供給部から前記処理部に処理液が供給されるようにし、
   その後、前記第一供給部と前記処理部との連通を断ち、前記第一供給部から前記処理部への処理液の供給を停止する
   ことを特徴とする処理液供給方法。
6. コンピュータに処理液供給方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
   当該処理液供給方法は、
   処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部に供給する第一供給部と、処理液を循環させるとともに、当該処理液を処理部に供給する第二供給部と、を含み、第一供給部は、処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第一圧送手段を有し、第二供給部は、処理液を交互に圧送状態および非圧送状態にし、当該処理液に駆動力を与える第二圧送手段を有する処理液供給ユニットを用いて、被処理体を処理する処理部に処理液を供給するための方法であって、
   前記第一供給部から前記処理部に処理液が供給されている状態から前記第二供給部から前記処理部に処理液が供給されている状態に移行させる際に、
   まず、前記第一供給部から前記処理部に処理液が供給されているときに、前記第二処理部の第二循環路内に設けられた第二加圧バルブの開度を小さくすることによって前記第二供給部内の処理液の液圧を高くして、この状態で前記第一供給部内の処理液および前記第二供給部内の処理液がともに圧送状態となった時に前記第二供給部と前記処理部とを連通させて、前記第二供給部から前記処理部に処理液が供給されるようにし、
   その後、前記第一供給部と前記処理部との連通を断ち、前記第一供給部から前記処理部への処理液の供給を停止する
   方法であることを特徴とする記憶媒体。

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