KR100382045B1 - 다채널 약액 정량공급장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

정량공급기가 주제어장치로부터 정량공급 명령을 받아 직접 공급관로의 밸브를 열거나 주제어장치에 신호를 출력하여 관로의 밸브를 개방한 다음 유량센서의 유량 검출신호를 직접 계측하여 연산하고, 지정유량의 공급완료시점에서 직접 밸브를 닫거나 주제어장치에 신호를 출력하여 밸브를 닫아 공급을 종료하는 약액의 정량공급장치에서, 공정 운영에 필요한 각종 정보를 생성 및 표시하는 수단과, 유량센서의 유량신호에 기초하여 정확한 양의 약액을 공급하는 수단과, 공정 이상 감시 수단을 포함하는 약액의 정량공급장치가 제공된다.

Description

다채널 약액 정량공급장치 및 그 방법{Multi-channel Batch Controller and the Method Therefor}
본 발명은 약액 공급장치에 관한 것이며, 특히 웨이퍼 가공용 약액의 단일 또는 복수의 약액을 동시에 공급할 수 있는 다채널 정량공급장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정 중에 에칭 공정은 레지스트로 덮여 있지 않은 기판 부분을 화학 약품 등으로 제거하는 공정을 말하며, 통상 액상 에칭과 기상 에칭 방법을 사용한다. 액상 에칭은 예를 들어 암모니아수(NH4OH), 과산화수소수(H2O2), 황산(H2SO4), 불산(HF), 염화수소(HCl) 등의 약액과 초순수 중 두가지 이상을 일정 비율로 혼합한 용액이 담긴 수조(bath)에 웨이퍼를 일정시간 담구어 두는 처리 방법이다.
액상 에칭 방법에서 통상 한번 혼합된 용액은 한차례 이상 사용하게 되는 데, 혼합 이후 조건에 따라 화학반응을 일으키고 시간이 경과함에 따라 약액이 휘발하는 등 에칭 공정에 적합한 농도 범위를 벗어나게 되므로 적정농도를 유지하기 위해 한가지 이상의 약액을 일정량 보충하여 재사용 한다. 이 때, 약액의 재사용 횟수는 한계가 있고 사용이 끝난 혼합용액은 제거 후 각각의 약액을 다시 적정비율로 혼합하여 처리과정을 반복하게 된다.
종래 약액의 공급 방식은 크게 전량 공급방식과 소량 보충공급방식의 두가지로 구분될 수 있다. 전량 공급방식은 비어있는 수조에 복수의 약액을 혼합비율에 따라 양을 계산하여 해당량 만큼 동시 또는 순차적으로 공급하는 방식이고, 소량 보충공급방식은 한가지의 약액을 일정량씩 주기 또는 비주기적으로 보충공급하거나 복수의 약액을 주기 또는 비주기적으로 동시에 보충공급하는 방식이다.
소량 보충공급방식에서 비주기적으로 보충공급하는 경우, 농도 확인수단(예를 들어, 농도계)에 의한 농도 정보를 프로그래머블 로직 콘트롤러(PLC)등의 주제어 장치가 수신하여 적정 농도범위를 벗어났을 때만 프로그램에 의해 해당 약액을 일정량 보충 공급한다.
약액의 공급을 위해 약액별 액 교환용 약액저장탱크를 별개로 두고 각 저장탱크에 레벨 센서(수위 감지센서)를 설치하여 적정량의 약액을 유지하면서 액 교환 공급시 저장탱크의 약액을 공급하고, 보충공급은 약액별 정량 펌프를 이용하여 일정 소량을 보충공급 한다.
종래의 약액 정량공급시스템은 각 저장 탱크에서 수조로 연결되는 약액 공급관로별로 유량센서와 밸브가 각각 설치되어 있으며, 일정량의 약액이 수조로 공급되도록 밸브의 개폐를 제어하기 위해 정량공급기 또는 주제어기가 상기 유량센서 및 밸브에 전기적으로 결합된다.
여기서, 약액의 수와 각 약액의 공급량 가지수를 곱한 수량의 유량센서와 정량공급기가 일대일 대응으로 설치되고, 주제어기가 각각의 정량공급기를 개별적으로 제어하는 방식을 취하거나, 정량공급기를 이용하지 않고 주제어기가 관로별로 설치된 밸브를 직접 제어하도록 한 방식을 사용하고 있었다.
종래 제어방식의 한가지 형태는 약액의 공급을 위해 제어장치에서 관로의 밸브를 단순히 개방, 폐쇄를 반복하는 장치로서 공급량에 대해 밸브의 개방시간을 차등 제어하는 방식, 즉 공급량에 비례하여 밸브의 개방시간을 타이머로 계측하여 제어하는 기술을 적용하였으나 그 공급량이 정확하지 않는 단점이 있었고,또 다른 형태는 관로에 유량계와 밸브를 설치하여 약액의 공급을 위해 밸브를 개방한 후 약액을 공급함에 있어 단위시간당 흐르는 양(순시유량 또는 순간유량)을 계측하여 표시함과 동시에 이를 감시하여 순시유량이 적정범위를 이탈하여 과다하게 흐르거나 반대로 적게 흐를경우 이를 경고하는 기술을 적용하였으나 필요한 양의 약액이 정확히 공급될 수 있게 하는 수단은 개시된 바 없다.또한, 웨이퍼 코팅공정에 있어서 종래의 기술은 약액의 양 계측없이 펌프를 이용하여 웨이퍼위에 토출하는 방식을 사용하고 있기 때문에 약액의 정량공급이 불가능한 단점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 복수의 약액을 개별 또는 동시에 설정량대로 정확하게 공급하기 위해 공급량은 물론 공급시간 등 각종 공급상태를 계측하고 제어정보를 생성, 저장, 전달할 수 있는 다채널 약액 정량공급 장치 및 그 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명에 따르면, 주제어장치와의 접점 온/오프 신호 및 데이터 통신 등으로 공급개시명령 송수신, 공급강제종료명령 송수신, 공급일시정지명령 송수신, 리셋명령 송수신, 공급명령수신 응답, 공급종료결과 회신, 공급비정상종료 송신, 관로이상 알람발생 송신 등의 제어신호체계를 가지며 다수의 약액을 다수의 센서와 밸브를 제어하여 동시에 정량공급하는 장치로서, 주제어장치로부터 공급 명령을 바다 지정유량을 공급하는 수단과, 지정유량의 정량공급을 위해 유량센서의 오차를 보정하는 펙터 입력 및 연산 수단과, 오버런 유량 오차를 보정하는 수단과, 각종 공정운영에 필요한 정보를 생성 및 표시, 저장, 전달하는 수단을 포함하는 약액 정량공급장치가 제공된다.
본 발명의 다른 양상에 따르면, 주제어장치의 접점 온/오프 신호 및 데이터 통신 신호 입출력단이 정량공급장치의 신호 입출력단에 연결됨에 있어, 주제어장치의 공급개시명령 신호출력단이 정량공급장치의 신호입력단에 연결되고, 주제어장치의 공급강제 종료명령 신호출력단이 정량공급장치의 신호입력단에 연결되고, 주제어장치의 공급일시정지명령 신호출력단이 정량공급장치의 신호입력단에 연결되고, 주제어장치의 리셋명령 신호출력단이 정량공급장치의 신호입력단에 연결되고, 주제어장치의 신호입력단에 정량공급기의 공급명령수신 응답신호 출력단이 연결되고, 주제어장치의 신호 입력단에 정량공급장치의 공급종료결과 신호출력단이 연결되고, 주제어장치의 신호입력단에 정량공급장치의 공급비정상종료 신호출력단이 연결되고, 정량공급장치의 관로이상 알람발생신호출력단이 주제어장치의 신호입력단에 연결되어 있는 약액 정량공급 장치에서, 다수의 센서의 신호출력단이 정량공급장치에 연결되고 정량공급장치의 다수의 제어신호가 밸브의 신호입력단에 연결되어 동시에 다수의 약액을 정량공급하는 방법으로서,주제어장치로부터 공급 명령을 받아 명령정상수신 및 공급개시를 회신하고 밸브를 개방하여 유량의 공급개시가 설정시간내 이루어 지는지 지연시간을 계산하는 단계와,설정유량의 정량공급을 위해 최소공급량과 최대공급량 범위내에서 공급량에 대한 다수의 펙터를 기준으로 유량을 계산하는 단계와,유량센서 자체의 비직선성 데이터를 기준으로 오차를 보정하기 위해 연산을 수행하는 단계와,오버런 유량 오차를 보정하는 단계와,공정운영에 필요한 정보를 생성 및 표시, 저장, 전달하는 단계를 포함하는 약액 정량공급방법이 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 정량공급장치의 시스템 구성도.
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 약액 정량공급장치의 시스템 구성도.
도 3은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 약액 정량공급장치의 시스템 구성도.
도 4는 본 발명에 따른 정량공급기의 구성을 나타낸 블록 다이어그램.
도 5는 본 발명에 따른 액액 정량공급방법을 나타낸 흐름도.
도 6은 본 발명에 따른 약액 정량공급방법을 나타낸 흐름도.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 정량공급장치의 시스템 구성이 나타나 있다. 웨이퍼 에칭용 약액 저장탱크로부터 3가지의 약액 A, B, C가 각각의 공급관로(Pa, Pb, Pc)를 통해 하나의 수조(BATH 1)로 일정량 공급되게 하는 시스템에서, 상기 공급관로별로 유량센서(Sa, Sb, Sc)가 설치되고, 각 공급관로에서 수조로 이어지는 2개의 하부 분기관(Pa1, Pa2), (Pb1, Pb2), (Pc1, Pc2) 각각에 밸브(Va1, Va2), (Vb1, Vb2), (Vc1, Vc2)가 설치되며, 교환공급이나 보충공급을 위해 관로별로 일정량의 약액이 수조로 공급되도록 밸브의 개폐를 제어하기 위해 정량공급기(100)의 신호입력단에 상기 유량센서(Sa, Sb, Sc)의 출력이 연결되고 또한 정량공급기(100)의 제어신호 출력단이 각각의 밸브(Va1, Va2), (Vb1, Vb2), (Vc1, Vc2)로 연결된다.
정량공급기(100)는 도 4를 참고로 후술되겠지만 에칭장비의 주제어기(PLC; 200)와 신호라인을 통해 결합되어 정량공급/종료 명령을 수신하고 명령신호에 대한 응답 및 정상완료신호를 출력한다.
상기 각 공급관로의 하부 분기관은 수조에 대한 약액 전량(교환) 공급 및 소량 보충공급용으로 사용되며, 교환공급용 분기관은 공급량이 크므로 직경이 큰 것을 사용하고 보충공급용 분기관은 가능한한 작은 직경의 관로를 사용한다.
또한, 유량센서 후단에 있는 각 분기관에 설치된 밸브(Va1, Va2), (Vb1, Vb2), (Vc1, Vc2)는 솔레노이드 밸브 또는 에어밸브로 구성된다.
본 실시예에서, 상기 밸브와 유량센서가 일체형으로 되거나 또는 밸브, 유량센서 및 정량공급기 모두 일체형으로 구성될 수 있다.
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 약액 정량공급장치의 시스템 구성도이다. 도 1의 실시예와 유사하게, 웨이퍼 에칭용 약액 저장탱크로부터 3가지의 약액 A, B, C가 각각의 공급관로를 통해 2개의 수조(BATH 1, BATH2)로 소정량 공급되게 하는 시스템으로서, 상기 공급관로별로 유량센서(Sa, Sb, Sc)가 설치되고, 각 공급관로에서 수조(BATH 1, BATH2)로 이어지는 2쌍의 하부 분기관 각각에 밸브(Va1- Va4), (Vb1- Vb4), (Vc1- Vc4)가 설치되며, 교환공급 또는 보충공급에 따라 일정량의 약액이 각각의 수조로 공급되도록 밸브의 개폐를 직접 제어하기 위해 정량공급기(100)의 신호입력단에 상기 유량센서(Sa, Sb, Sc)의 출력이 연결되고, 정량공급기(100)의 제어신호 출력단이 밸브(Va1- Va4), (Vb1- Vb4), (Vc1- Vc4)로 연결된다. 정량공급기(100)는 또한 에칭장비의 주제어기(PLC; 200)와 신호라인으로 결합된다.
도 3은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 약액 정량공급장치의 시스템 구성을 나타낸다. 도 3에서, 웨이퍼 에칭용 약액 저장탱크로부터 3가지의 약액 A, B, C가 각각의 공급관로를 통해 2개의 수조(BATH 1, BATH2)로 일정량 공급되게 하는 시스템에서, 상기 공급관로별로 유량센서(Sa, Sb, Sc)가 설치되고, 각 공급관로에서 수조(BATH 1, BATH2)로 이어지는 2쌍의 하부 분기관 각각에 밸브(Va1- Va4), (Vb1- Vb4), (Vc1- Vc4)가 설치된 것은 상기한 제 2 실시예의 관로구성과 동일하다. 그러나, 제어시스템에서 정량공급기(100)의 신호입력단에 유량센서(Sa, Sb, Sc)의 출력이 연결되는 한편, 정량공급기(100)의 제어신호출력이 주제어기(PLC; 200)로 연결되고 이 주제어기(200)의 출력단이 밸브(Va1- Va4), (Vb1- Vb4), (Vc1- Vc4)로 연결되게한 것이 상기 제 2 실시예와 차이가 있다. 즉, 본 발명의 정량공급기(100)는 주제어기(PLC; 200)를 통해 간접적으로 밸브의 개폐를 제어한다.
도 4를 참조하면, 상기 정량공급기(100)의 상세 구성이 나타나 있다. 본 발명에 따른 정량공급기(100)는 마이크로프로세서(10)와, 어드레스 버스 및 데이터 버스를 통해 마이크로프로세서(10)와 연결된 프로그램 메모리(22), 데이터 메모리(24) 및 파라메타 메모리(26)를 가지며, 마이크로프로세서(10)의 입력단에 센서 인터페이스부(12), 아날로그-디지털 신호변환부(14), 공급명령 입력부(15), 스위치 입력부(16), 시리얼통신 드라이버부(18)가 연결되고, 마이크로프로세서(10)의 출력단에 디지털 제어부(30), 디지털-아날로그 신호변환부(40), 전류신호출력부(41), 디지털신호출력부(42), 릴레이신호 출력부(43), 통신 드라이버부(45), 이벤트 출력부(47) 및 표시부(50)가 연결된다. 본 발명의 정량공급기(100)는 상기 각 회로부에 필요한 소정 전원을 공급하는 전원부(8)를 가진다.
상기 센서 인터페이스부(12)의 입력단에 신호라인을 통해 상기 유량센서(Sa, Sb, Sc)의 디지털 출력이 연결되며, 아날로그 신호를 출력하는 유량센서(Sa, Sb, Sc)인 경우 그 각각의 출력은 아날로그-디지털 신호변환부(14)의 입력단에 연결된다.
상기 스위치 입력부(16)는 정량공급기(100)의 전면 패널(도시되지 않음)상에 설치된 다수의 조작 스위치와 연결된다. 조작 스위치는 바람직하게 동작모드 표시선택 스위치, 프리셋 스위치, 스타트 스위치, 스톱 스위치, 리세트 스위치를 포함한다.
상기 시리얼통신 드라이버부(18)의 입력단은 타장비 또는 타장치의 통신단자와 연결되고, 상기 공급명령 입력부(15)의 입력단은 주제어기(PLC: 200)의 공급명령신호 출력단자와 연결된다.
상기 디지털-아날로그 신호변환부(40)의 출력단은 전류신호출력부(41)를 통해 상기 주제어기(200) 또는 타장치로 연결되고, 상기 디지털신호출력부(42)의 출력단은 상기 주제어기(200)의 입력단 또는 타장치의 입력으로 연결된다. 상기 전류신호출력부(41) 및 디지털신호출력부(42)의 출력단에서 정상 공급종료신호, 상태신호 및 공급실패 및 문제발생신호가 출력된다.
또한, 상기 릴레이신호 출력부(43)의 출력단은 제어라인을 통해 밸브(Va1- Va4), (Vb1- Vb4), (Vc1- Vc4)의 입력단에 연결되거나 상기 주제어기(200)의 입력단자로 연결되며, 통신 드라이버부(45)의 출력단은 컴퓨터(400)의 통신포트와 연결된다. 상기 이벤트 출력부(47)의 출력단은 프린터(410)와 연결된다.
또한, 상기 마이크로프로세서(10)의 일 출력단은 표시부(50)와 연결된다. 표시부(50)는 통상의 LCD 또는 VFD 패널로 구성되며, 최초 전원 인가시 공급채널 #1에 대한 순시유량, 공급유량, 누적적산유량, 공급횟수, 공급소요시간을 표시하고, 특정 스위치의 조작에 따라 다른 공급채널에 대한 공급 총유량, 공급횟수 및 공급량 설정을 위한 화면을 표시한다.
바람직하게, 정량공급기(100)는 상기 밸브의 잠김/막힘에 따른 정량공급실패, 밸브 누수/누액 등의 임의 공급, 과속 공급, 시간 초과공급, 계기 전원 오프,계기 오동작, 결선이상을 검출하여 알람 정보를 표시한다.
도 5는 본 발명에 따른 액액 정량공급방법을 나타낸 흐름도이다. 단계 100에서, 정량공급기(100)의 전원이 온(ON)되면 내부 장치를 초기화하고 장치상태 정상신호를 주제어기(200)로 출력한다. 다음 단계 102에서 정량공급기(100)가 주제어기(200)로부터 공급명령신호를 수신하였는지를 판단하고, 공급명령신호를 수신하였다면 정량공급기(100)는 단계 103에서 공급명령신호에 대한 응답신호를 출력한 다음 각 관로의 밸브(Va1- Va4), (Vb1- Vb4), (Vc1- Vc4)를 직접 개방하거나, 밸브 개방신호를 주제어기(200)로 출력하여 밸브를 개방한다.
다음 단계 104에서 내부에 세팅된 유량신호 입력지연시간 타이머를 작동시켜유량센서(Sa, Sb, Sc)로부터 유량신호가 입력되기까지 대기한 다음 유량신호가 검출되었는지를 판단한다(단계 105). 유량신호는 펄스 또는 전류신호 형태로 정량공급기(100)로 입력된다.
단계 105에서 유량신호가 검출되었다면, 단계 106으로 진행하여 유량신호 입력지연시간 타이머를 정지시키고, 사용자에 의해 설정된 공급시간 타이머를 작동시킨 다음 입력된 유량신호로부터 유량계측을 실행한다.
유량을 측정하여 공급 총유량이 설정량에 도달하였는지를 판단하고(단계 107), 설정량에 도달하였다면 단계 108에서 해당 밸브 폐쇄신호를 출력하여 밸브(Va1- Va4), (Vb1- Vb4), (Vc1- Vc4)를 폐쇄한다. 밸브 폐쇄후 상기 공급시간 타이머를 정지시키고 총공급량이 미리설정된 범위 내에 있는지를 판단한다(단계 110, 112). 공급량이 설정된 범위 내에 있음을 확인하였다면 카운트된 공급시간이 미리설정된 정상공급시간 설정범위 내에 있는지를 판단한다(단계 114, 116). 이때 상기 밸브 폐쇄신호 출력 후 실제 밸브가 완전히 닫힐 때까지 유체가 흘러 유량신호가 추가로 출력되므로 이에 대한 대책으로 오버 런(over run) 보정이 수행된다. 아울러 관로별 오버 런 양이 다르고 관로별로 공급량의 차이(교환공급량 및 보충공급량의 차이)가 크므로 직선성을 가지지 않는 유량센서(Sa, Sb, Sc)에 대해 공급량별로 유량센서의 K 팩터를 지정하여 공급량별 유량을 정확히 맞추게 된다.
측정된 공급소요시간이 미리설정된 범위 내에 있는 것으로 확인되면 단계 118로 진행하여 공급 정상완료신호를 주제어기(200)로 출력하고 나서 공급횟수를 1만큼 누적하고 공급량을 누적공급량에 더한다.
이후 정량공급기(100)는 단계 102로 리턴하여 주제어기(200)로부터의 공급명령를 대기한다.
상기 공급량 및 공급시간 판단 단계에서 총공급량이 미리설정된 하한치보다 작거나 상한치보다 큰 것으로 판단되면, 단계 111 및 112로 가서 미달공급 및 초과공급 에러 메시지를 표시하고, 측정된 공급시간이 미리설정된 정상공급시간 설정범위를 벗어났을 때 단계 115 및 117로 가서 과속공급 및 저속공급 에러 메시지를 표시한다. 이때 단계 120에서 알람신호를 출력하는 동시에 비프음(경보음)을 발생한다.
한편, 단계 105에서 밸브 개방후 유량신호가 검출되지 않는다면, 단계 122에서 유량신호 지연시간이 미리설정된 기준시간보다 큰지를 판단하고, 기준시간보다 크다면 단계 124에서 밸브 고장상태, 관로막힘, 체결불량 등 공급불가상태를 감지하여 밸브 폐쇄신호 출력 및 지연시간 타이머 작동을 정지하고 나서 알람신호를 출력하는 동시에 표시부(50)에 에러 메시지를 표시한다.
이후 단계 126에서 주제어기(200)로부터 공급 취소 명령이 수신되기를 기다린 다음, 취소 명령이 수신되면 단계 128에서 시스템 에러 상태를 취소하고 정상동작모드로 전환한다. 이때 사용자는 관로나 밸브를 검사하여 고장원인을 제거하게 된다.
한편, 처음의 단계 102에서 정량공급기(100)가 주제어기(200)로부터 정량공급 명령신호를 수신하기 전에 유량신호가 입력되는 것을 검출하였다면(단계 130: 도 6), 유량신호를 계측하여 측정 유량(누수량)이 설정된 기준량 보다 큰지를 판단하고(단계 132), 측정된 유량이 설정된 기준량보다 크다면 단계 134로 진행하여 밸브고장, 관로 파손, 체결불량 등에 의한 누액 발생을 판정한다. 이때 알람 신호를 출력하고 누액 에러 상태를 표시부(50)에 표시하며 경보음을 출력한다. 따라서, 사용자는 관로나 밸브를 검사하여 고장원인을 제거하게 된다.
이후 단계 136에서 정량공급기(100)의 입력부(16)에서 리세트 키 입력이 수신되었는지를 판단하고, 리세트 신호가 입력되었다면 단계 138에서 에러 상태를 취소하고 장치를 정상동작모드로 전환시키게 된다. 또한, 단계 120에서 공급에러 판정후 알람신호 및 비프음을 출력한 후에도 단계 136으로 진행하여 상기와 같은 동작을 수행한다.
상기 정량공급기(100)는 긴급상황 또는 테스트시 주제어기(200)로부터 정량공급 강제종료신호를 수신하여 인터럽트 처리하면 공급도중 밸브를 폐쇄하고 공급을 중단할 수 있다. 이때 주제어기(200)가 밸브를 제어하는 경우에는 주제어기(200)가 직접 밸브를 폐쇄시킬 수 있으며 정량공급기(100)도 밸브 폐쇄신호를 출력하게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 정량공급기(100)는 정량공급명령신호 수신후 정량공급동작 개시시 응답신호를 주제어기(200)로 출력함으로써 명령신호를 정상적으로 수신하여 공급을 실행함을 즉시 확인할 수 있다.
또한, 정량공급기(100)에서 공급동작시간을 계산함에 의해 공급시간의 변화추이를 감시함으로써 주 공급원의 이상유무를 확인할 수 있다. 공급시간의 변화추이를 감시함으로써 관로의 막힘 등의 이상유무 상태를 확인할 수도 있다.
정량공급기(100)에서 공급량 계측치에 대한 상하한치를 미리 설정하여 공급량의 초과 및 미달량을 감시할 수 있고 주공급원의 이상유무를 확인할 수 있다. 또 유량센서 후단 관로의 누수 발생시 유량센서의 유량신호 입력을 감지하여 누액을 판정할 수 있다.
또한, 본 발명의 정량공급기(100)는 상기 유량센서로부터의 유량신호를 검출하여 밸브 미동작시 약액이 공급되지 않는 것을 감지하여 밸브 고장을 확인할 수 있다. 밸브 오동작시 약액이 공급되어 유량신호가 감지될 경우에도 밸브고장을 확인할 수 있다. 이때, 밸브가 열려 약액이 약액이 공급되었는데도 유량신호가 입력되지 않는 경우 센서에 고장이 발생하였음을 판단할 수 있다.
한편, 정량공급기에서 전원이 온(ON)되었을 때 동작중신호가 주제어기(200)로 전송됨으로써 주제어기(200)가 이를 확인할 수 있게 되고, 따라서 동작중신호가 없을 경우 정량공급기(100)가 오동작하거나 전원이 오프(OFF)된 것으로 확인할 수 있다. 또한, 정량공급기(100)와 유량센서간의 신호라인과 밸브간의 제어라인의 결선 이상일 경우 정량공급기(100)에서 정상적인 신호가 출력되지 않음으로써 주제어기(200)는 결선 이상상태를 확인할 수 있다.
본 발명의 정량공급장치에 의하면 하나의 정량공급기를 사용하여 복수의 약액에 대해 액교환 공급 및 보충공급량을 별도로 설정하고 구분하여 공급할 수 있으며, 약액별 및 공급량별 파라메터를 설정하여 직선성이 없는 유량센서일 경우에도 정확한 양을 공급할 수 있게 된다.
더욱이, 액교환 공급횟수와 보충공급 횟수의 관리를 통해 공정가동률을 확인할 수 있으며, 비주기적인 보충공급시 공급량과 공급횟수를 모니터하는 것에 의해 평균 공급량을 확인할 수 있는 장점이 있다.

Claims (4)

  1. 주제어장치와의 접점 온/오프 신호 및 데이터 통신 등으로 공급개시명령 송수신, 공급강제종료명령 송수신, 공급일시정지명령 송수신, 리셋명령 송수신, 공급명령수신 응답, 공급종료결과 회신, 공급비정상종료 송신, 관로이상 알람발생 송신 등의 제어신호체계를 가지며 다수의 약액을 다수의 센서와 밸브를 제어하여 동시에 정량공급하는 장치로서,
    주제어장치로부터 공급 명령을 받아 지정유량을 공급하는 수단과, 지정유량의 정량공급을 위해 유량센서의 오차를 보정하는 펙터 입력 및 연산 수단과, 오버런 유량 오차를 보정하는 수단과, 각종 공정운영에 필요한 정보를 생성 및 표시, 저장, 전달하는 수단을 포함하는 약액 정량공급장치.
  2. 주제어장치의 접점 온/오프 신호 및 데이터 통신 신호 입출력단이 정량공급장치의 신호 입출력단에 연결됨에 있어, 주제어장치의 공급개시명령 신호출력단이 정량공급장치의 신호입력단에 연결되고, 주제어장치의 공급강제 종료명령 신호출력단이 정량공급장치의 신호입력단에 연결되고, 주제어장치의 공급일시정지명령 신호출력단이 정량공급장치의 신호입력단에 연결되고, 주제어장치의 리셋명령 신호출력단이 정량공급장치의 신호입력단에 연결되고, 주제어장치의 신호입력단에 정량공급기의 공급명령수신 응답신호 출력단이 연결되고, 주제어장치의 신호 입력단에 정량공급장치의 공급종료결과 신호출력단이 연결되고, 주제어장치의 신호입력단에 정량공급장치의 공급비정상종료 신호출력단이 연결되고, 정량공급장치의 관로이상 알람발생신호출력단이 주제어장치의 신호입력단에 연결되어 있는 약액 정량공급 장치에서, 다수의 센서의 신호출력단이 정량공급장치에 연결되고 정량공급장치의 다수의 제어신호가 밸브의 신호입력단에 연결되어 동시에 다수의 약액을 정량공급하는 방법으로서,
    주제어장치로부터 공급 명령을 받아 명령정상수신 및 공급개시를 회신하고 밸브를 개방하여 유량의 공급개시가 설정시간내 이루어 지는지 지연시간을 계산하는 단계와,
    설정유량의 정량공급을 위해 최소공급량과 최대공급량 범위내에서 공급량에 대한 다수의 펙터를 기준으로 유량을 계산하는 단계와,
    유량센서 자체의 비직선성 데이터를 기준으로 오차를 보정하기 위해 연산을 수행하는 단계와,
    오버런 유량 오차를 보정하는 단계와,
    공정운영에 필요한 정보를 생성 및 표시, 저장, 전달하는 단계를 포함하는 약액 정량공급방법.
  3. 삭제
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 정량공급기가 주제어기로부터 정량공급 명령신호를 수신하기 전에 유량신호가 입력되는 것을 검출하였을 때, 유량신호를 계측하여 측정 유량이 설정된 기준량 보다 큰지를 판단하는 단계와,
    측정된 유량이 설정된 기준량보다 크다면 알람 신호를 출력하고 대응한 에러 상태를 표시부에 표시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다채널 약액 정량공급방법.
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