KR0135455Y1 - 반도체 제조 장치 - Google Patents

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KR0135455Y1 KR2019960002724U KR19960002724U KR0135455Y1 KR 0135455 Y1 KR0135455 Y1 KR 0135455Y1 KR 2019960002724 U KR2019960002724 U KR 2019960002724U KR 19960002724 U KR19960002724 U KR 19960002724U KR 0135455 Y1 KR0135455 Y1 KR 0135455Y1
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Abstract

본 고안은 제조 장치에 사용되는 약액의 공급량을 모니터링하고 제어하는 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 외부로부터 공급된 캐리어개스를 공정챔버로 공급하는 캐리어개스공급라인과, 상기 캐리어개스공급라인과 약액용기 사이에 연결되어서 상기 약액용기로부터 제공된 약액을 상기 캐리어개스공급라인으로 공급하는 약액공급라인을 구비한 반도체 제조 장치에 있어서, 상기 약액공급라인상에 설치된 유량계와; 상기 유량계와 연결된 모니터링수단을 포함하고 있다. 이러한 장치에 의해서, 반도체 제조 장치에서 사용되는 약액의 공급량을 측정하여 약액공급여부를 제어할 수 있고, 따라서 반도체소자의 제조 경비 및 제조 시간을 절약할 수 있다.

Description

반도체 제조장치
제1도는 종래 반도체 제조 장치의 구성을 개략적으로 보여주고 있는 도면.
제2도는 본 고안에 따른 반도체 제조 장치의 구성을 개략적으로 보여주고 있는 도면.
제3도는 본 고안에 따른 반도체 제조 장치의 약액공급량측정 및 약액공급량조절의 순서를 보여주고 있는 흐름도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
12 : 약액용기 16 : 유량조절계
18 : 온오프밸브 20 : 약액공급라인
21 : 유량계 22 : 캐리어개스공급라인
23 : 모니터
[산업상의 이용분야]
본 고안은 반도체소자를 제조하는 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반도체 제조 장치에 사용되는 약액의 공급량을 측정하고 모니터링하여 약액공급량을 조절하는 반도체 제조 장치에 관한 것이다.
[종래 기술 및 그의 문제점]
제1도에는 종래 반도체 제조 장치의 구성이 개략적으로 도시되어 있다.
제1도를 참조하면, 종래 반도체 제조 장치는 크게, 외부로부터 제공된 캐리어개스(24)를 공정챔버(26)로 공급하는 캐리어개스공급라인(22)과, 상기 캐리어개스공급라인(22)과 약액용기(12)사이에 연결되어서 상기 약액용기(12)로 부터 제공된 약액을 상기 캐리어개스공급라인(22)으로 공급하는 약액공급라인(20)과, 상기 약액용기(12)와 연결되고, 상기 약액용기(12)내에 공급된 약액을 버블링(bubbling)시키는 버블링개스의 유량을 조절하는 유량조절계(16)를 구비한 버블링개스공급라인(14)으로 구성된다.
상술한 바와같은 구성을 갖는 반도체 제조장치의 동작 및 그 문제점은 다음과 같다.
먼저, 제1온오프밸브(18a)를 온(on)으로 제어하고, 이어 상기 버블링개스공급라인(14)으로 질소개스를 주입하여 개스라인(10)을 통해 공급된 상기 약액용기(12)내의 약액을 버블링시킨다.
그리고, 상기 제2온오프밸브(18b)를 온시킨 후, 상기 버블링개스공급라인(14)으로 주입되는 질소개스량을 조절하여 상기 버블링된 약액을 상기 캐리어개스공급라인(22)으로 공급한다.
이때, 상기 질소개스의 양은 이미 설정된 기준량 만틈 상기 유량조절계(16)에 의해 조절되어 공급되고, 상기 캐리어개스공급라인(22)으로 캐리어개스(24)가 공급되면, 상기 약액공급라인(20)을 관통하여 공급된 약액이 공정챔버(26)로 공급되면서 반도체 제조공정이 수행된다.
그러나, 이와같은 종래 반도체 제조 장치에 있어서, 상기 공정챔버(26)로 공급되는 약액량은 상기 버블링개스공급라인(14)으로 주입되는 질소개스량에 의해 조절되고, 이 질소개스량은 상기 버블링개스공급라인(14)상에 설치된 유량조절계(16)에 의해 이미 설정된 기준량으로 조절되어 공급된다.
다시말하면, 반도체 제조 공정에서 필요한 약액의 양이 유량조절계(16)를 관통하는 질소개스량에 의해 결정되기 때문에, 공정이 진행되고 있는 단계에서 약액공급량이 기준량에 부합되는 범위내에서 공정챔버(26)로 공급되고 있는지 또는 기준량을 벗어난 약액공급량이 공급되고 있는지, 공정이 끝나서 웨이퍼를 검사하기 전에는 알 수 없는 문제점이 있다.
따라서, 반도체 제조 공정이 끝난 후 웨이퍼를 선별적으로 검사하여서 약액공급량의 많고적음을 알게되더라도, 이미 공정이 끝난 웨이퍼들에 대한 신뢰성이 저하되어 모두 불량처리되게 된다.
그리고, 약액공급량의 잘못된 원인을 밝히 위해서는 유량조절계(16)의 상태, 약액용기(12)의 온도 그리고 약액의 농도 등 많은 구성요소를 검사해야 할 뿐만아니라 매 공정완료 후 검사가 수행되어야 하기 때문에 반도체 제조 공정에 많은 시간과 경비가 낭비되는 문제점이 발생한다.
[고안의 목적]
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위해 제안된 본 고안은 반도체 제조장치에 사용되는 약액의 공급량을 측정하고 모니터링하여서 약액공급량을 조절할 수 있는 반도체 제조 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
[고안의 구성]
상술한 바와같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 특징에 의하면, 외부로부터 공급된 캐리어개스를 공정챔버로 공급하는 캐리어개스공급라인과, 상기 캐리어개스공급라인과 약액용기 사이에 연결되어서 상기 약액용기로부터 제공된 약액을 상기 캐리어개스공급라인으로 공급하는 약액공급라인을 구비한 반도체 제조 장치에 있어서, 상기 약액공급라인상에 설치되어 상기 캐리어개스공급라인으로 공급되는 약액공급량을 측정하는 측정수단과; 상기 측정수단과 연결되어 상기 측정수단에서 측정된 약액공급량의 측정치를 디스플레이하는 모니터링수단을 포함한다.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 측정수단은 유량계를 사용한다.
[작용]
이와같은 장치에 의해서, 반도체 제조 장치에서 사용되는 약액의 공급량을 측정하고 모니털링할 수 있고, 따라서 반도체소자의 제조 경비 및 제조 시간을 절약할 수 있다.
[실시예]
이하, 본 고안의 실시예를 첨부도면 제2도 그리고 제3도에 의거해서 상세히 설명한다.
제2도를 참고하면, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조 장치는, 외부로부터 공급된 캐리어개스를 공정챔버로 공급하는 캐리어개스공급라인과 약액용기 사이를 연결하는 약액공급라인상 설치된 유량계와; 상기 유량계와 연결된 모니터링수단을 포함한다. 이러한 장치에 의해서, 반도체 제조 장치에서 사용되는 약액의 공급량을 측정하여 약액공급량을 조절할 수 있다.
제2도에 있어서, 제1도에 도시된 반도체 장치의 구성요소와 동일한 기능을 갖는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기한다.
제2도를 참조하면, 본 고안에 따른 반도체 제조장치는 크게 외부로부터 제공된 캐리어개스(24)를 공정챔버(26)로 공급하는 캐리어개스공급라인(22)과, 상기 캐리어개스공급라인(22)과 약액용기(12)사이에 연결되어서 상기 약액용기(12)로 부터 제공된 약액을 상기 캐리어개스공급라인(22)으로 공급하되, 상기 약액공급라인(20)을 관통하는 약액공급량을 측정하는 유량계(21)를 갖는 약액공급라인(20)과, 상기 유량계(21)와 연결되어 상기 유량계(21)에서 측정된 약액공급량의 측정치가 디스플레이(display)되는 모니터(23)와, 상기 약액용기(12)와연결되고, 상기 약액용기(12)내에 공급된 약액을 버블링시키는 버블링개스의 유량을 조절하는 유량조절계(16)를 구비한 버블링개스공급라인(14)으로 구성된다.
상술한 바와같은 구성을 갖는 반도체 제조 장치의 동작 및 작용효과는 다음과 같다.
먼제, 제1온오프밸브(18a)를 온으로 제어하고, 이어 상기 버블링개스공급라인(14)으로 질소개스를 주입하여 개스라인(10)을 통해 공급된 상기 약액용기(12)내의 약액을 버블링시킨다.
그리고, 상기 제2온오프밸브(18b)를 온시킨 후, 상기 버블링개스공급라인(14)으로 주입되는 질소개스량을 조절하여 상기 버블링된 약액을 상기 캐리어개스공급라인(22)으로 공급한다.
이때, 상기 질소개스의 양은 이미 설전된 기준량 만큼 상기 유량조절계(16)에 의해 조절되어 공급되고, 상기 캐리어개스공급라인(22)으로 공급되는 버블링된 약액량도 질소개스량에 의해 조절된다.
그리고, 싱기 캐리어개스공급라인(22)으로 공급되는 약액공급량은 상기 약액공급라인(20)상에 설치된 유량게(21)에 의해 측정되고, 이 측정치는 상기 유량계(21)와 연결된 모니터에 표시된다.
다음, 상기 캐리어개스공급라인(22)으로 캐리어개스(24)가 공급되면, 상기 약액공급라인(20)을 관통하여 공급된 약액이 공정챔버(26)로 공급되면서 반도체 제조 공정이 수행된다.
제3도는 본 고안에 따른 약액공급제어여부의 순차흐름도를 보여주고 있다.
제3도를 참조하면, 반도체 제조 공정이 개시(100)되고, 유량계(21)에 의해 약액공급량이 측정(110)되면, 이 약액공급량 측정치는 모니터(23)에 디스플레이(120)된다.
그리고, 이 약액측정량과 제조 공정에 필요한 기준량이 비교(130)되어 상기 약액측정량이 기준량 보다 상대적으로 많거나 적으면, 유량조절계(16)를 조절하여 약액용기(12)내의 약액을 버블링시키는 질소개스량을 늘리거나 줄인 후, 공정을 진행시킨다.
한편, 상기 약액측정량이 기준량과 같을 경우에는 계속적으로 공정이 실행(150)되어서 반도체 제조 공정이 완료하게 된다.
[고안의 효과]
종래 반도체 제조 장치에 의하면, 반도체 제조 공정이 진행되고 있는 단계에서 약액공급량이 기준량에 부합되는 범위내에서 공정챔버로 공급되고 있는지, 공정이 완료된 후 웨이퍼를 검사하기 전에는 알 수 없는 문제점이 있었다.
이와같은 문제점을 해결하기 위해 제안된 본 고안은, 약액공급라인상에 유량계를 설치하여 약액용기로 부터 캐리어개스공급라인으로 공급되는 약액공급량을 측정한다.
그리고, 상기 약액측정량은 상기 유량계와 연결된 모니터에 디스플레이 되므로서 반도체 제조 공정이 진행되고 있는 단계에서 공급되고 있는 약액 공급량을 모니터링할 수 있을 뿐만아니라, 이 측정치를 기준하여 상기 버블링개스공급라인상에 설치된 유량조절계를 조절하여 약액공급량을 조절할 수 있다.
따라서, 웨이퍼의 신뢰성을 높일 수 있고, 약액공급량의 잘못된 원인을 밝히기 위해서 많은 시간을 낭비하지 않아도 되며, 매 공정완료 후 수행되는 검사시간을 절약할 수 있기 때문에 반도체 제조 경비 및 시간을 절감할 수 있다.

Claims (2)

  1. 외부로부터 공급된 캐리어개스(24)를 공정챔버(26)로 공급하는 캐리어개스공급라인(22)과 상기 캐리어개스공급라인(22)과 약액용기(12)사이에 연결되어서 상기 약액용기(12)로부터 제공된 약액을 상기 캐리어개스공급라인(22)으로 공급하는 약액공급라인(20)을 구비한 반도체 제조 장치에 있어서, 상기 약액공급라인(20)상에 설치되어 상기 캐리어개스공급라인(22)으로 공급되는 약액공급량을 측정하는 측정수단(21)과; 상기 측정수단(21)과 연결되어 상기 측정수단(21)에서 측정된 약액공급량의 측정치를 디스플레이하는 모니터링수단(23)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치.
  2. 상기 측정수단(21)은 유량계를 사용하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치.
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