KR19990034446U

KR19990034446U - 약액 정량공급 감지 시스템

Info

Publication number: KR19990034446U
Application number: KR2019980000783U
Authority: KR
Inventors: 최확순
Original assignee: 구본준; 엘지반도체 주식회사
Priority date: 1998-01-23
Filing date: 1998-01-23
Publication date: 1999-08-25

Abstract

본 고안은 반도체 제조공정상의 소정 라인에 약액을 정상적으로 공급하기 위한 약액 공급 시스템에 관한 것으로, 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)로부터 발생된 약액 공급신호를 중앙공급장치(C)에서 전달받아 해당 제어밸브(V)를 개방하므로써 약액을 공급하는 구조에 있어서, 상기 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)에 각각 연결 설치되어 약액 공급시간을 계수하는 타이머(T1, T2, T3, T4, T5)와, 이들 각 타이머(T1, T2, T3, T4, T5)에 연결되어 기입력 설정시간과 상기 측정시간을 비교 연산하기 위한 프로그램 논리제어기(P.L.C.; Programmable Logic Controller)(C)와, 이 프로그램 논리제어기(C)에 의해 연산된 수치가 설정시간을 초과하는 경우에 경보음을 발생할 수 있도록 상기 프로그램 논리제어기(C)에 연결된 경보기(A)를 구비하여서 된 것으로서, 타이머(T1, T2, T3, T4, T5)에 의하여 약액 공급시간을 계수하고 이 측정시간과 기설정시간을 프로그램 논리제어기(C)에 의해 비교 연산하여 약액이 과공급되었을 경우에 경보음을 발생할 수 있도록 구성하므로써 중앙공급장치(S)로부터 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)에 약액을 공급할 때 감지센서 및 기타 장치 등에 이상이 발생하여 약액 공급이 불량한 경우에는 이를 즉시 감지한 후 사용자에게 인식시켜 줄 수 있도록 되어 있어 신속히 보수 처리할 수 있게 한 약액 정량공급 감지시스템에 관한 것이다.

Description

약액 정량공급 감지시스템

본 고안은 반도체 제조공정상의 소정 라인에 약액을 정상적으로 공급하기 위한 약액 공급 시스템에 관한 것으로, 특히 중앙공급장치로부터 각 공급부에 약액을 공급할 때 감지센서 등의 장치에 이상이 발생하거나 또는 기타 원인으로 인하여 각 공급부에 약액이 과공급되는 현상에 대해 신속히 대처할 수 있도록 감지하기 위한 약액 정량공급 감지시스템에 관한 것이다.

일반적인 약액 공급 시스템은 도 1에 개략적으로 도시한 바와 같이, 약액(Chemical)을 저장하고 있는 중앙공급장치(S)로부터 각 공급부(P.O.U.; Point Of Use)(M1, M2, M3, M4, M5)로 필요한 양의 약액을 각각 공급할 수 있도록 연결되어 있고, 상기 중앙공급장치(S)의 이송 라인상에는 약액 공급 및 차단을 위한 제어밸브(V)가 설치되어 있다.

이와 같은 종래의 약액 공급 시스템에 의한 작동을 간단히 설명하면, 상기 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)에서는 상기 중앙공급장치(S)로 공급신호를 발생하게 되고, 상기 중앙공급장치(S)에서는 상기의 공급부 신호를 수신하여 해당 제어밸브(V)를 개방한 후, 펌프 또는 질소(N₂)의 가압에 의해 약액을 밀어내므로써, 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)로 약액 공급이 이루어지게 되는 것이다.

그러나, 종래의 약액 공급 시스템은 그 작동 과정에 있어서 공급부 신호가 정상적으로 전달되었는데도 불구하고 상기 중앙공급장치(S)의 기계적인 이상으로 인하여 약액 공급이 제대로 이루어지지 못하거나, 또는 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)의 감지센서나 기타 기계적인 이상으로 인하여 약액의 공급량을 인식하지 못하므로써 상기 약액이 과공급는 경우가 빈번히 발생되는 문제점이 있었다.

이에 본 고안은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 중앙공급장치로부터 각 공급부에 약액을 공급할 때 감지센서 등의 장치에 이상이 발생하거나 또는 기타 원인으로 인하여 각 공급부에 약액이 과공급되는 현상에 대해 신속히 대처할 수 있도록 감지하기 위한 약액 정량공급 감지시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 일반적인 약액 공급 시스템의 개략도,

도 2는 본 고안에 따른 약액 정량공급 감지시스템의 개략도,

도 3은 본 고안의 약액 정량공급 감지시스템에 따른 제어 흐름도이다.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

A ; 경보기 C ; 프로그램 논리제어기

M1, M2, M3, M4, M5 ; 공급부 S ; 중앙공급장치

T1, T2, T3, T4, T5 ; 타이머 V ; 제어밸브

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 약액 정량공급 감지시스템은 각 공급부로부터 발생된 약액 공급신호를 중앙공급장치에서 전달받아 해당 제어밸브를 개방하므로써 약액을 공급하는 구조에 있어서, 상기 각 공급부에 각각 연결 설치되어 약액 공급시간을 계수하는 타이머와, 이들 각 타이머에 연결되어 기입력 설정시간과 상기 측정시간을 비교 연산하기 위한 프로그램 논리제어기와, 이 프로그램 논리제어기에 의해 연산된 수치가 설정시간을 초과하는 경우에 경보음을 발생할 수 있도록 상기 프로그램 논리제어기에 연결된 경보기로 구성된 것을 특징으로 한다.

이하, 본 고안을 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.

도 2에 도시한 바와 같이, 본 고안에 따른 약액 정량공급 감지시스템은 약액을 저장하고 있는 중앙공급장치(S)로부터 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)로 필요한 양의 약액을 각각 공급할 수 있도록 연결되어 있고, 상기 중앙공급장치(S)의 이송 라인상에는 약액 공급 및 차단을 위한 제어밸브(V)가 설치되어 있으며, 상기 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)에 각각 연결 설치되어 약액 공급시간을 계수하는 타이머(T1, T2, T3, T4, T5)와, 이들 각 타이머(T1, T2, T3, T4, T5)에 연결되어 기입력 설정시간과 상기 측정시간을 비교 연산하기 위한 프로그램 논리제어기(P.L.C.; Programmable Logic Controller)(C)와, 이 프로그램 논리제어기(C)에 의해 연산된 수치가 설정시간을 초과하는 경우에 경보음을 발생할 수 있도록 상기 프로그램 논리제어기(C)에 연결된 경보기(A)가 구비되어 있다.

이러한 본 고안의 약액 정량공급 감지시스템에 의한 약액공급 제어동작을 도 3에 도시한 흐름도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 상기 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)에서는 상기 중앙공급장치(S)로 약액 공급신호를 발생하게 되고, 상기 중앙공급장치(S)에서는 상기의 공급부 신호를 수신하여 해당 제어밸브(V)를 개방한 후, 펌프 또는 질소(N₂)의 가압에 의해 약액을 밀어내므로써, 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)로 약액 공급이 이루어지게 된다.

이때, 상기 각 타이머(T1, T2, T3, T4, T5)에서는 상기 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)에서 보낸 공급부 신호가 유지되는 시간을 계수하고, 상기 프로그램 논리제어기(C)에서는 정상적인 약액 공급시간에 대한 설정치가 기입력됨과 아울러, 이 시간 설정치와 상기 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)에서 보낸 공급부 신호를 유지하는 시간에 대한 측정치를 비교 연산하여, 상기 측정시간이 설정시간을 초과한 경우에는 경보기(A)에서 경보음을 발생하고, 상기 측정시간이 설정시간 이내인 경우에는 정상작동되어 약액을 지속적으로 공급할 수 있게 된다.

상기와 같은 구성및 제어 동작에 의해 기대할 수 있는 본 고안의 효과는 다음과 같다.

본 고안에 따른 약액 정량공급 감지시스템은 타이머(T1, T2, T3, T4, T5)에 의하여 약액 공급시간을 계수하고 이 측정시간과 기설정시간을 프로그램 논리제어기(C)에 의해 비교 연산하여 약액이 과공급되었을 경우에 경보음을 발생할 수 있도록 구성하므로써, 중앙공급장치(S)로부터 각 공급부(M1, M2, M3, M4, M5)에 약액을 공급할 때 감지센서 및 기타 장치 등에 이상이 발생하여 약액 공급이 불량한 경우에는 이를 즉시 감지한 후 사용자에게 인식시켜 줄 수 있도록 되어 있어 신속히 보수 처리할 수 있다는 이점이 있다.

Claims

각 공급부로부터 발생된 약액 공급신호를 중앙공급장치에서 전달받아 해당 제어밸브를 개방하므로써 약액을 공급하는 구조에 있어서, 상기 각 공급부에 각각 연결 설치되어 약액 공급시간을 계수하는 타이머와, 이들 각 타이머에 연결되어 기입력 설정시간과 상기 측정시간을 비교 연산하기 위한 프로그램 논리제어기와, 이 프로그램 논리제어기에 의해 연산된 수치가 설정시간을 초과하는 경우에 경보음을 발생할 수 있도록 상기 프로그램 논리제어기에 연결된 경보기로 구성된 것을 특징으로 하는 약액 정량공급 감지시스템.