KR100908907B1 - 포토레지스트 저장백 블로잉 장치 - Google Patents

포토레지스트 저장백 블로잉 장치 Download PDF

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Abstract

포토레지스트 저장백 블로잉 장치가 개시된다. 개시된 포토레지스트 저장백 블로잉 장치는, 포토레지스트 주입부가 구비되어 있는 포토레지스트 저장백을 수용하는 것으로, 포토레지스트 저장백 투입부가 구비되어 있는 캐니스터; 상기 포토레지스트 저장백 투입부를 통해 외부로 돌출된 상기 포토레지스트 주입부와 밀착가능하게 배치되는 것으로, 블로잉 가스 주입구 및 이와 연통된 블로잉 가스 배출구가 형성되어 있는 노즐부; 및 상기 포토레지스트 저장백과 상기 노즐부 사이에 배치되는 것으로, 상기 포토레지스트 주입부의 적어도 일부분을 상기 포토레지스트 저장백 투입부의 상단부 상에 지지하도록 구성된 결합지지부를 구비하고, 상기 포토레지스트 주입부와 밀착하는 상기 노즐부의 부분이 원추형으로 형성되어 상기 포토레지스트 주입부 내부로 삽입 밀착되는 것을 특징으로 한다.
따라서, 개시된 포토레지스트 저장백 블로잉 장치는 블로잉시 노즐과 포토레지스트 주입부의 밀착이 용이하고 손상된 캐니스터에 대해서도 높은 작업성이 유지될 수 있으며 포토레지스트의 오염을 방지할 수 있다.

Description

포토레지스트 저장백 블로잉 장치{Photoresist storage bag blowing machine}
본 발명은 포토레지스트 저장백 블로잉 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 블로잉시 노즐과 포토레지스트 저장백의 포토레지스트 주입부와의 밀착이 용이하고 손상된 캐니스터에 대해서도 높은 작업성이 유지될 수 있으며 포토레지스트의 오염을 방지할 수 있는 포토레지스트 저장백 블로잉 장치에 관한 것이다.
포토레지스트는 빛이나, 열 등 여러가지 형태의 에너지에 노출되었을 때 그 내부구조가 바뀌는 특성을 가진 혼합물이다. 포토레지스트라고 불리우는 이러한 감광제는 반도체 분야에서 흔히 사용된다. 구체적으로, 포토레지스트는 반도체 제조공정인 사진식각공정(lithography)에서 설계된 회로를 웨이퍼로 전사할 때 사용되며, 반도체 제조공정의 성패를 좌우하는 핵심소재 중 하나이다.
포토레지스트는 반도체 분야 등에 사용되기 전에 원통형의 저장용기에 담겨 보관되거나 운반되게 되는데, 이러한 저장용기는 내구성을 갖추어야할 뿐만 아니라 포토레지스트의 내부구조 변경을 방지하기 위하여 빛이나 열을 차단할 수 있는 재질로 형성되어야 한다. 이러한 요구를 충족시키기 위한 저장용기로는 갈색 유리병 이나 캐니스터(canister)가 있다. 이중 캐니스터는 스테인레스스틸 등의 금속 재질로 형성되어 포토레지스트와 접촉시 화학반응을 일으키는 문제점이 있다. 이 때문에, 캐니스터를 저장용기로 사용할 경우에는 캐니스터 안에 화학반응에 안정한 테프론 재질 등의 포토레지스트 저장백(storage bag)을 삽입하고, 상기 저장백에 포토레지스트를 주입하여 충진하게 된다.
그런데, 포토레지스트 저장백을 캐니스터에 원활하게 삽입하기 위해서는 이를 접힌 상태로 삽입하여야 하고, 상기 저장백에 포토레지스트 충진을 원활하게 하기 위해서는 저장백 삽입후 포토레지스트 충진전에 상기 저장백을 클린에어 또는 고순도 질소 등의 블로잉 가스로 블로잉시킴으로써 저장백의 접힌 상태를 원상태로 풀어주고 그 내부를 팽창시켜 내부 공간을 확보해 주어야 한다.
도 1은 종래기술에 따른 포토레지스트 저장백 블로잉 장치를 도시한 단면도이고, 도 2는 도 1의 A 부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 종래기술에 따른 포토레지스트 저장백 블로잉 장치(10)는 프레임부(11), 제어부(12), 에어실린더(13), 피스톤 로드(14), 노즐연결부(15), 노즐부(16), 와셔(17), 결합지지부(18), 및 캐니스터(19)를 구비한다.
프레임부(11)는 제어부(12), 캐니스터(19) 및 에어실린더(13) 등 장치(10)의 다른 부분을 지지하는 부재이다.
제어부(12)는 노즐부(16)의 동작을 제어하고 블로잉 상태를 표시하는 부재이다. 제어부(12)에는 압력계(PRESSURE GUAGE), 시작(START) 및 리셋(RESET) 버튼과, 충진(FILLING), 패스(PASS) 및 실패(FAIL) 표시기가 구비되어 있다. 시작 버 튼(START)을 누르면 장치(10)의 블로잉이 시작되고, 블로링 중에는 충진(FILLING) 표시기가 켜지며, 충진이 정상적으로 완료되면 패스(PASS) 표시기가 켜지고, 충진이 비정상적으로 완료되면 실패(FAIL) 표시기가 켜지게 된다. 리셋(RESET) 버튼을 누르면 블로잉이 중단되게 된다.
에어실린더(13)는 에어의 힘으로 후술하는 피스톤 로드(14), 노즐연결부(15) 및 노즐부(16)를 상하로 이동시키는 부재이다. 에어실린더(13)에는 두개의 에어주입구(13a, 13b)가 형성되어 있으며, 에어주입구(13a)로 에어가 주입될 경우 에어가 피스톤 로드 헤드(14a)를 하방으로 밀어내림으로써 후술하는 피스톤 로드(14)가 하방으로 이동하고 에어주입구(13b)로 에어가 주입될 경우 에어가 피스톤 로드 헤드(14a)를 상방으로 밀어올림으로써 피스톤 로드(14)가 상방으로 이동한다.
피스톤 로드(14)는 일단부가 에어실린더(13)와 이동가능하게 결합되고 타단부는 후술하는 노즐연결부(15)와 결합되어 에어실린더(13)의 동작에 의해 왕복운동을 실행하는 부재이다. 피스톤 로드(14)의 왕복운동에 연동되어 노즐부(16)도 왕복운동을 하게 된다.
노즐연결부(15)는 피스톤 로드(14)와 노즐부(16)를 볼트(15a) 등에 의해 연결시키는 부재이다.
노즐부(16)는 포토레지스트 저장백(20)에 클린 에어나 고순도 질소 등의 블로잉 가스를 불어 넣어주는 부재이다. 노즐부(16)에는 블로잉 가스 주입구(16a) 및 이와 연통된 블로잉 가스 배출구(16b)가 형성되어 있다. 노즐부(16)의 하단부는 그 일부가 포토레지스트 주입부(20a)의 상단부와 접한다. 서로 접하는 노즐부(16)와 결합지지부(18) 사이에는 고무 등의 탄성 재질로 형성된 와셔(17)가 배치되어 장치(10)내에서 블로잉 가스의 기밀을 유지한다.
결합지지부(18)는 포토레지스트 저장백(20)과 노즐부(16) 사이에 배치되어, 포토레지스트 주입부(20a)의 적어도 일부분을 후술하는 캐니스터(19)에 구비된 포토레지스트 저장백 투입부(19a)의 상단부 상에 지지하도록 구성된 부분으로서, 노즐부(16)가 포토레지스트 주입부(20a)와 밀착될 때 포토레지스트 주입부(20a)가 캐니스터(19) 내부로 밀려 들어가는 것을 방지해 주는 역할을 한다.
캐니스터(19)는 포토레지스트 저장백(20)을 수용하는 부분으로서, 포토레지스트의 안전한 저장을 위해 스테인레스 스틸 등 내구성이 강한 재질로 형성된다. 포토레지스트 저장백(20)은 캐니스터(19)에 구비된 포토레지스트 저장백 투입부(19a)를 통해 캐니스터(19) 내부로 삽입된다.
상기 장치(10)에 의해 블로잉된 포토레지스트 저장백(20)에는 포토레지스트가 충진되게 된다. 포토레지스트 충진후 상기 저장백(20)이 수용된 캐니스터(19)는 특정 장소에서 장기간 보관되기도 하고, 보관 또는 사용을 위해 다른 장소로 운반되기도 하며, 사용후에는 잔류 포토레지스트의 제거를 위해 클리닝되기도 하는데, 이와 같은 보관, 운반 및 클리닝 과정 중에 캐니스터(19)가 외부 충격 등에 의해 찌그러져 변형될 수 있다. 이와 같이 캐니스터(19)가 변형되게 되면 프레임부(11)상에 캐니스터(19)를 배치할 때 수평이 맞지 않아 노즐부(16)와 포토레지스트 주입부(20a)를 밀착시키기 어렵게 되는 문제점이 있으며, 이를 보완하기 위해서는 캐니스터(19) 하부에 받침대 등을 끼워넣어야 하는 번거로움이 있다.
또한, 상기와 같은 구성을 갖는 종래의 포토레지스트 저장백 블로잉 장치(10)는 고무 등의 탄성재료로 형성된 와셔(17)가 열 또는 장기간 사용에 의한 마모로 손상되어 이를 자주 교체해 주어야 할 뿐만 아니라 와셔(17) 부스러기가 포토레지스트 저장백(20)으로 유입되어 포토레지스트를 오염시키는 문제점이 있다.
본 발명은 블로잉시 노즐과 포토레지스트 저장백 투입부의 밀착이 용이하고 손상된 캐니스터에 대해서도 높은 작업성이 유지될 수 있는 포토레지스트 저장백 블로잉 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 포토레지스트의 오염을 방지할 수 있는 포토레지스트 저장백 블로잉 장치를 제공하는 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명은,
포토레지스트 주입부가 구비되어 있는 포토레지스트 저장백을 수용하는 것으로, 포토레지스트 저장백 투입부가 구비되어 있는 캐니스터;
상기 포토레지스트 저장백 투입부를 통해 외부로 돌출된 상기 포토레지스트 주입부와 밀착가능하게 배치되는 것으로, 블로잉 가스 주입구 및 이와 연통된 블로잉 가스 배출구가 형성되어 있는 노즐부; 및
상기 포토레지스트 저장백과 상기 노즐부 사이에 배치되는 것으로, 상기 포토레지스트 주입부의 적어도 일부분을 상기 포토레지스트 저장백 투입부의 상단부 상에 지지하도록 구성된 결합지지부를 구비하고,
상기 포토레지스트 주입부와 밀착하는 상기 노즐부의 부분이 원추형으로 형성되어 상기 포토레지스트 주입부 내부로 삽입 밀착되는 포토레지스트 저장백 블로잉 장치를 제공한다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 상기 포토레지스트 저장백 블로잉 장치는, 적어도 하나의 에어주입구가 형성되어 있는 에어실린더; 상기 에어실린더에 이동가능하게 결합되어 상기 에어주입구에 주입된 에어의 힘에 의해 상기 에어실린더의 내벽을 슬라이딩하는 피스톤 로드; 상기 피스톤 로드의 일단부에 결합되어 상기 피스톤 로드를 상기 노즐부와 연결하는 노즐연결부; 및 상기 노즐연결부와 상기 노즐부 사이에 배치되는 탄성 패드를 더 구비한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 상기 탄성 패드는 실리콘 패드이다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 포토레지스트 저장백 블로잉 장치는, 상기 노즐부의 동작을 제어하고 블로잉 상태를 표시하는 제어부를 더 구비하고, 상기 제어부는 PLC(programmable logic controller) 방식이다.
본 발명에 의하면, 블로잉시 노즐과 포토레지스트 저장백 투입부의 밀착이 용이하고 손상된 캐니스터에 대해서도 높은 작업성이 유지될 수 있는 포토레지스트 저장백 블로잉 장치가 제공될 수 있다.
또한 본 발명에 의하면, 포토레지스트의 오염을 방지할 수 있는 포토레지스트 저장백 블로잉 장치가 제공될 수 있다.
이어서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 포토레지스트 저장백 블로잉 장치에 관하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 포토레지스트 저장 백 블로잉 장치를 도시한 단면도이고, 도 4는 도 3의 B 부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 포토레지스트 저장백 블로잉 장치(100)는 프레임부(101), 제어부(102), 에어실린더(103), 피스톤 로드(104), 노즐연결부(105), 탄성 패드(106), 노즐부(107), 결합지지부(108), 및 캐니스터(109)를 구비한다.
프레임부(101)는 제어부(102), 캐니스터(109) 및 에어실린더(103) 등 장치(100)의 다른 부분을 지지하는 부재이다.
제어부(102)는 노즐부(107)의 동작을 제어하고 블로잉 상태를 표시하는 부재이다. 또한, 제어부(102)는 노즐부(107) 외에 에어실린더(103)의 동작으로 제어하도록 구성될 수도 있다. 이러한 제어부(102)는 PLC(programmable logic controller) 방식인 것이 바람직하나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 여기서, PLC 방식 제어부란 종래의 릴레이 타이머, 카운터 등의 기능을 LSI(large scale integrated circuit), 트랜지스터 등의 반도체 소자로 대체시켜, 기본적인 시퀀스 제어 기능에 수치 연산기능을 추가하여 프로그램 제어가 가능하도록 한 자율성이 높은 제어 장치를 통칭하는 개념이다. 제어부(102)에는 에어 압력계(P/G), 에어 압력 조정기(P/R), 블로잉 가스 압력 조정기(P/SENSOR), 시작(START) 및 스 톱(STOP) 버튼과, 파워 램프(POWER LAMP), 패스(PASS) 및 실패(FAIL) 표시기가 구비되어 있는데, 이에 관하여는 후술하기로 한다.
에어실린더(103)는 후술하는 피스톤 로드(104), 노즐연결부(105) 및 노즐부(107)를 에어의 힘으로 상하로 동시에 이동시키는 부재이다. 에어실린더(103)에는 에어가 택일적으로 주입되는 두개의 에어주입구(103a, 103b)가 형성되어 있으며, 에어주입구(103a)로 에어가 주입될 경우 에어가 피스톤 로드 헤드(104a)를 하방으로 밀어내림으로써 후술하는 피스톤 로드(104)가 하방으로 이동하고 에어주입구(103b)로 에어가 주입될 경우 에어가 피스톤 로드 헤드(104a)를 상방으로 밀어올림으로써 피스톤 로드(104)가 상방으로 이동한다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 이러한 에어실린더(103)는, 여기에서는 비록 도시되지 않았지만, 하나의 에어주입구와 스프링을 포함함으로써 연속적으로 주입되는 에어의 힘에 의해 피스톤 로드(104)가 일방향으로 이동하고, 에어 주입 중단시 스프링의 복원력에 의해 피스톤 로드(104)가 원위치로 복귀하는 방식으로 구성될 수도 있다.
피스톤 로드(104)는 일단부가 에어실린더(103)에 이동가능하게 결합되고 타단부는 후술하는 노즐연결부(105)와 결합되어 에어실린더(103)의 동작에 의해 왕복운동을 실행하는 부재이다. 피스톤 로드(104)의 왕복운동에 연동되어 노즐부(107)도 왕복운동을 하게 된다.
노즐연결부(105)는 피스톤 로드(104)와 노즐부(107)를 볼트(105a) 등에 의해 연결시키는 부재이다.
탄성 패드(106)는 노즐연결부(105)와 노즐부(107) 사이에 배치되는 것으로, 노즐부(107)가 포토레지스트 주입부(120a)내에 일부 삽입 밀착될 때, 피스톤 로드(104)로부터 전달되는 힘을 노즐부(107)와 포토레지스트 주입부(120a)의 접촉 상태에 따라 적절히 배분하여 주는 역할을 한다. 이와 같은 원리로, 탄성 패드(106)는 장기간 사용 또는 부주의한 사용으로 캐니스터(109)의 외형이 변형되어 캐니스터(109)가 프레임부(101)에 배치될 때 수평을 유지하지 못하더라도, 포토레지스트 주입부(120a) 내에 노즐부(107)가 완전히 밀착되도록 함으로써 블로잉 가스의 누출 방지를 돕는 역할을 한다. 이러한 탄성 패드(106)는 실리콘 패드인 것이 바람직하나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 이러한 탄성 패드(106)는 선택에 의해 생략될 수도 있는데, 이 경우 노즐연결부(105)는 노즐부(107)에 직접 결합되게 된다.
노즐부(107)는 포토레지스트 저장백(120)에 클린 에어나 고순도 질소 등의 블로잉 가스를 불어 넣어주는 부재이다. 노즐부(107)에는 블로잉 가스 주입구(107a) 및 이와 연통된 블로잉 가스 배출구(107b)가 형성되어 있다. 또한, 노즐부(107)의 일단부, 즉 포토레지스트 주입부(120a)의 내부로 삽입되는 단부는 원추형으로 형성된다. 이와 같이 함으로써, 포토레지스트 저장백(120)에 블로잉 가스를 주입할 경우, 노즐부(107)의 외표면과 포토레지스트 주입부(120a)의 내표면과의 상호 접촉시 접촉 가능 면적을 늘여 블로잉 가스의 기밀성을 향상시킬 수 있다. 구체적으로, 블로잉 가스 주입시 이와 같이 상기 두 부재들(107, 120a) 사이의 접촉 가능 면적을 증가시킴으로써, 장기간 사용 또는 부주의한 사용으로 캐니스터(109)의 외형이 변형되어 캐니스터(109)가 프레임부(101)에 배치될 때 수평을 유지하지 못 하더라도, 이들 두 부재(107, 120a)의 접촉면들이 서로 완전히 밀착되어 그 사이로 블로잉 가스가 누출되는 것을 방지할 수 있다.
결합지지부(108)는 포토레지스트 저장백(120)과 노즐부(107) 사이에 배치되어, 포토레지스트 주입부(120a)의 적어도 일부분을 후술하는 캐니스터(109)에 구비된 포토레지스트 저장백 투입부(109a)의 상단부 상에 지지하도록 구성된 부분으로서, 노즐부(107)가 포토레지스트 주입부(120a)내에 삽입 밀착될 때 포토레지스트 주입부(120a)가 캐니스터(109) 내부로 밀려 들어가는 것을 방지하여 준다. 결합지지부(108)는 탄성 재질로 형성되어 있고, 그 일부분에 세로방향의 절개부(미도시)가 형성되어 있어서, 손으로 상기 절개부를 벌려 도 4에 도시된 바와 같은 적정 위치에 장착할 수 있으며 장착후에는 탄성력에 의해 절개부가 복원되어 포토레지스트 저장백 투입부(109a)와 포토레지스트 주입부(120a)에 부분적으로 밀착되게 된다.
캐니스터(109)는 포토레지스트 저장백(120)을 수용하는 부분으로서, 포토레지스트의 안전한 저장을 위해 스테인레스 스틸 등 내구성이 강한 재질로 형성된다. 포토레지스트 저장백(120)은 캐니스터(109)에 구비된 포토레지스트 저장백 투입부(109a)를 통해 캐니스터(109) 내부로 삽입된다.
이하, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 실시예에 따른 포토레지스트 저장백 블로잉 장치의 셋팅 및 작동 과정을 상세히 설명한다.
최초에, 프레임부(101)에는 제어부(102)와 에어실린더(103)가 설치되어 있고, 에어실린더(103)에는 피스톤 로드(104), 노즐연결부(105), 탄성 패드(106) 및 노즐부(107)가 결합되어 있다. 또한, 피스톤 로드(104)는 상방으로 이동되어 있는 상태로서 노즐부(107) 역시 상방으로 이동되어 있다.
먼저, 프레임부(101)에 캐니스터(109)를 위치시키고 포토레지스트 저장백(120)을 접힌 상태로 캐니스터(109)에 삽입한다. 이때, 포토레지스트 저장백 투입부(109a)의 밖으로 포토레지스트 주입부(120a)의 일부가 돌출되도록 삽입한다.
다음에, 결합지지부(108)를 도 4와 같이 배치함으로써 포토레지스트 주입부(120a)를 포토레지스트 저장백 투입부(109a)의 상단부상에 지지시킨다. 이로써, 장치(100)의 셋팅을 완료한다.
그 다음에, 에어 압력계(P/G)를 주시하면서 에어 압력 조정기(R/G)에 의해 에어의 압력을 적절히 조절한다. 또한, 블로잉 가스 압력 조정기(P/SENSOR)에 의해 블로잉 가스의 압력을 적절히 조절한다.
다음에, 에어주입구(103a)에 에어를 주입함으로써 피스톤 로드(104)를 하방으로 이동시켜 노즐부(107)의 원추형 부분을 포토레지스트 주입부(120a)에 삽입 밀착시킨다.
그 다음에, 제어부(102)에 전원을 인가한다. 전원을 인가하게 되면 파워 램프(POWER LAMP)가 켜지게 된다.
다음에, 시작(START) 버튼을 눌러 블로잉 가스 주입구(107a)로 블로잉 가스를 주입시킨다. 주입된 블로잉 가스는 블로잉 가스 배출구(107b)를 통해 포토레지스트 저장백(120)의 내부로 유입되어 접힌 상태의 포토레지스트 저장백(120)을 팽창시킨다. 포토레지스트 저장백(120) 내부의 압력이 일정한 수치(예를 들어, 3 KG)에 도달한 후 그 압력 변화가 소정 시간(예를 들어, 3시간) 동안 소정의 기준치 이 하로 유지되면, 블로잉 가스 주입구(107a)에서부터 포토레지스트 저장백(120)에 이르는 전 부분에 걸쳐 기밀이 유지됨으로써 블로잉 가스의 충진이 완료된 것으로, 패스(PASS) 표시기가 켜지게 된다. 만약, 블로잉 가스를 주입함에도 불구하고 포토레지스트 저장백(120) 내부의 압력이 일정한 수치에 도달하지 않거나, 일정한 압력 수치에 도달한 후 그 압력 변화가 소정 시간 동안 소정의 기준치를 초과하게되면, 블로잉 가스 주입구(107a)에서부터 포토레지스트 저장백(120)에 이르는 전 부분 중 적어도 한 부분에 기밀이 유지되지 않는 것으로, 실패(FAIL) 표시기가 켜지게 된다. 이 경우에는, 스탑(STOP) 버튼을 눌러 장치(100)의 동작을 멈춘 다음, 누출 검사(leak test)를 하여 누출 부위를 확인한 후 누출을 바로 잡음으로써 기밀을 유지시킨다. 포토레지스트 저장백(120) 자체에 누출 부위가 있는 경우에는, 이를 새로운 것으로 교체하여야 한다. 이후, 블로잉 가스의 주입을 재개한다.
블로잉이 완료되면, 에어주입구(103a)로의 에어 주입을 중단하고 에어주입구(103b)로의 에어 주입을 개시함으로써, 피스톤 로드(104)를 상방으로 이동시켜 노즐부(107)를 포토레지스트 주입부(120a)로부터 이격시킨다.
이후, 상기 장치(100)에 의해 블로잉된 포토레지스트 저장백(120)에 포토레지스트를 충진시킨다.
상기와 같은 구성을 갖는 포토레지스트 저장백 블로잉 장치는 캐니스터의 외형이 변화된 경우에도, 별도의 조치없이 노즐부와 포토레지스트 주입부의 완전한 밀착을 가능하게 하여 블로잉 가스 충진 공간의 기밀성을 유지시킴으로써 포토레지스트 저장백의 블로잉(즉, 팽창) 작업을 성공적으로 수행할 수 있다. 또한, 본 발 명에 따른 포토레지스트 저장백 블로잉 장치는 종래의 장치에 사용된 고무 등 탄성재질의 와셔를 구비하지 않음으로써, 상기 와셔가 열분해 또는 마모되어 생성되는 와셔 부스러기들이 상기 저장백에 충진된 포토레지스트에 혼합되어 이를 오염시키는 종래기술의 문제점을 해결할 수 있다.
이상에서 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예가 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 포토레지스트 저장백 블로잉 장치를 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1의 A 부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 포토레지스트 저장 백 블로잉 장치를 도시한 단면도이다.
도 4는 도 3의 B 부분을 확대하여 도시한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10, 100: 포토레지스트 저장백 블로잉 장치 11, 101: 프레임부
12, 102: 제어부 13, 103: 에어실린더
14, 104: 피스톤 로드 15, 105: 노즐연결부
16, 107: 노즐부 17: 와셔
18, 108: 결합지지부 19, 109: 캐니스터
19a, 109a: 포토레지스트 저장백 투입부
20a, 120a: 포토레지스트 주입부
20, 120: 포토레지스트 저장백

Claims (4)

  1. 포토레지스트 주입부가 구비되어 있는 포토레지스트 저장백을 수용하는 것으로, 포토레지스트 저장백 투입부가 구비되어 있는 캐니스터;
    상기 포토레지스트 저장백 투입부를 통해 외부로 돌출된 상기 포토레지스트 주입부 내벽과 밀착가능하게 배치되는 것으로, 블로잉 가스 주입구 및 이와 연통된 블로잉 가스 배출구가 형성되어 있는 노즐부;
    상기 노즐부를 상기 포토레지스트 주입부쪽 또는 이와 반대쪽 방향으로 왕복이동시키는 피스톤 로드;
    상기 피스톤 로드의 일단부에 결합되어 상기 피스톤 로드를 상기 노즐부와 연결하는 노즐연결부; 및
    상기 노즐연결부와 상기 노즐부 사이에 배치되는 탄성 패드를 구비하고,
    상기 포토레지스트 주입부와 밀착하는 상기 노즐부의 부분이 원추형으로 형성되어 상기 포토레지스트 주입부 내부로 삽입 밀착되는 포토레지스트 저장백 블로잉 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    적어도 하나의 에어주입구가 형성되어 있는 것으로 에어의 힘에 의해 상기 피스톤 로드를 왕복이동시키는 에어실린더; 및
    상기 포토레지스트 저장백과 상기 노즐부 사이에 배치되는 것으로, 상기 포토레지스트 주입부의 적어도 일부분을 상기 포토레지스트 저장백 투입부의 상단부 상에 지지하도록 구성된 결합지지부를 추가로 구비하고,
    상기 피스톤 로드는 상기 에어실린더에 이동가능하게 결합되어 상기 에어주입구에 주입된 에어의 힘에 의해 상기 에어실린더의 내벽을 슬라이딩하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 저장백 블로잉 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 탄성 패드는 실리콘 패드인 것을 특징으로 하는 포토레지스트 저장백 블로잉 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 노즐부의 동작을 제어하고 블로잉 상태를 표시하는 제어부를 더 구비하고, 상기 제어부는 PLC(programmable logic controller) 방식인 것을 특징으로 하는 포토레지스트 저장백 블로잉 장치.
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