JPH10211451A - 薬液供給容器用キャップユニットおよび薬液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 容器内の薬液を無駄なく使用できるととも
に、薬液を各種処理装置に確実に供給できる薬液供給装
置を提供する。 【解決手段】 薬液を収容する容器２と、容器２を置く
ベースユニット４と、容器２の蓋となるキャップユニッ
ト３と、表示ボックス５とから構成されている。ベース
ユニット４は、容器２を斜めに傾けて載置するフレーム
１０と、液面検知センサー１２を有している。キャップ
ユニット３は、キャップ本体１６と薬液を吸い上げるた
めのパイプ１７を有しており、パイプ１７はその先端が
斜めに傾いた容器２の最下部に位置するように屈曲して
いる。また、キャップユニット３とベースユニット４に
は、ベースユニット４上の容器２の向きを定めるための
固定棒１９とフック部１４がそれぞれ設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薬液供給容器用キ
ャップユニットおよび薬液供給装置に関し、特に各種の
半導体製造装置にフォトレジスト、現像液、シンナー等
の薬液を供給する際に用いて好適な薬液供給装置とその
一構成要素であるキャップユニットに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程におけるレジスト塗布装
置、現像装置等の各種処理装置には、フォトレジスト、
現像液、シンナー等のように、その工程での処理に用い
られる種々の薬液が供給される。近年、デバイスの発達
とともにこれらの薬液にも種々の改良が加えられ、成分
組成が極めて安定した高品質の薬液が市販されている。
したがって、半導体製造工程で用いるこの種の薬液は一
般に価格が高く、半導体メーカーはコスト低減のために
購入した薬液をできるだけ無駄なく使いたいという事情
を持っている。

【０００３】また、薬液が高品質であるが故に、市販の
容器から他の容器に移し替えて使用した場合に汚染物質
が混入して品質が低下することを恐れ、市販の容器から
薬液を直接吸い出したり、容器内を加圧して薬液を装置
まで送ることがよく行なわれている。一般に、この種の
処理装置には薬液を導入するためのポンプが付帯してい
るため、このポンプの作動、または高圧窒素ガス等によ
る加圧との併用により処理装置内に薬液が導入される。
その場合、容器内には薬液を送るためのパイプがキャッ
プを通して挿入されるが、パイプには当然ながら耐薬品
性が要求され、そのような耐薬品性を有する樹脂製パイ
プが用いられるのが通常であった。

【０００４】このような事情の下、本発明者らは、特開
平１−１９５３２８号公報に示すように、容器内の薬液
を最後まで利用できるように容器を傾けて載置する容器
載置盤を有する液量検知装置を提案した。この装置は、
薬液を収容した容器を傾けたことに加えて、液面の位置
を検出するセンサーや警報部を備えたことにより、従来
無駄に廃棄していた薬液を有効に利用できるという利点
を持つものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、容器内の薬
液を最後まで使い切るために容器を傾けること自体は、
通常考え得ることである。しかしながら、ここで重要な
のは、特に薬液の残量が少なくなってきた場合でもパイ
プの先端（吸込口）が傾いた容器の最下部に位置し、薬
液内に確実に浸っていることである。この観点からする
と、従来の樹脂製パイプは個々のパイプによって様々な
撓り具合や弾性を持っており、先端を容器の最下部に位
置させ、その位置を維持させることはなかなか難しいこ
とである。そして、容器内の薬液が空になった時には新
しい容器と交換するが、交換の度にパイプの位置を適切
な位置に調整するのは非常に手間が掛かる作業となって
しまう。

【０００６】また、仮にパイプの先端が薬液に浸ってい
なかったとすると、容器内に薬液が残ってしまうどころ
か、ポンプの作動によってパイプ内に気泡が入ることに
なる。そして、この気泡が処理装置にそのまま送られた
場合、ノズル等から吐出される薬液の吐出量が変化して
製品の処理にバラツキが生じ、不良品が発生したり、歩
留まりが低下するというように、半導体製造工程にとっ
て重大な問題点が発生することになる。

【０００７】また、上述したように、樹脂製パイプはあ
る程度の撓りと弾性を持っているため、容器交換時にパ
イプの抜き差しを行なう際にパイプの先端が容器の口部
に引っ掛かってはね返り、パイプに付着した薬液が飛び
散ることがある。そうすると、薬液が無駄になったり、
容器や周囲の床等が汚れるといった問題もあった。この
ように、従来の薬液供給システムは多くの問題点を抱え
ており、この種の装置を使用する作業者にとって容器内
の薬液の量やパイプが薬液に浸っていることを確認した
り、容器を交換するのは極めて神経を使う作業となって
いた。

【０００８】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであって、容器内の薬液を最後まで無駄なく
使用できるとともに、薬液を処理装置に確実に供給する
ことができ、これを用いる作業者の負担を低減し得るキ
ャップユニットおよび薬液供給装置を提供することを目
的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の請求項１に記載の薬液供給容器用キャッ
プユニットは、薬液供給容器の蓋となるキャップ本体
と、このキャップ本体に固定され、薬液供給容器内の薬
液を吸い上げるための剛性を有する材料で形成されたパ
イプを有し、薬液供給容器に装着された状態でパイプ先
端の吸込口が斜めに傾いた薬液供給容器の最下部に位置
するようにパイプが屈曲していることを特徴とするもの
である。

【００１０】また、請求項２に記載の薬液供給容器用キ
ャップユニットは、前記パイプが金属で形成され、その
パイプの外面側と内面側の双方が薬液に対する耐性を有
する樹脂で被覆されたことを特徴とするものである。

【００１１】また、請求項３に記載の薬液供給容器用キ
ャップユニットは、前記パイプの先端が斜めに傾いた薬
液供給容器の最下部に位置するように、薬液供給容器を
任意の場所に載置する際にその薬液供給容器の向きを決
めるための位置決め手段が設けられたことを特徴とする
ものである。

【００１２】また、請求項４に記載の薬液供給容器用キ
ャップユニットは、前記パイプ先端の吸込口からの薬液
の滴下を防止するための液だれ防止手段がパイプの先端
に設けられたことを特徴とするものである。

【００１３】そして、本発明の請求項５に記載の薬液供
給装置は、供給すべき薬液を収容する薬液供給容器と、
この薬液供給容器が斜めに傾いた状態で載置されるフレ
ームと、このフレーム上に載置された薬液供給容器内の
液面の位置を検知して薬液の残量が設定値以下の際に信
号を発する液面検知センサー、を含むベースユニット
と、薬液供給容器の蓋となるキャップ本体と、このキャ
ップ本体に固定され、薬液供給容器に装着した状態で先
端の吸込口が斜めに傾いた薬液供給容器の最下部に位置
するように屈曲したパイプ、を含むキャップユニット
と、液面検知センサーからの信号を受けて薬液の残量が
設定値以下であることを使用者に知らせる出力部、を有
することを特徴とするものである。

【００１４】また、請求項６に記載の薬液供給装置は、
前記キャップユニットのパイプが金属で形成され、その
パイプの外面側と内面側の双方が薬液に対する耐性を有
する樹脂で被覆されたことを特徴とするものである。

【００１５】また、請求項７に記載の薬液供給装置は、
前記キャップユニットに固定棒が設けられるとともに、
このキャップユニットが装着された薬液供給容器がベー
スユニット上に載置された状態で固定棒が掛止されるフ
ック部がベースユニットに設けられ、固定棒がフック部
に掛止された状態でキャップユニットのパイプの先端が
斜めに傾いた薬液供給容器の最下部に位置するようにな
っていることを特徴とするものである。

【００１６】また、請求項８に記載の薬液供給装置は、
前記キャップユニットのパイプ先端の吸込口からの薬液
の滴下を防止するための液だれ防止手段がパイプの先端
に設けられたことを特徴とするものである。

【００１７】請求項１に記載の薬液供給容器用キャップ
ユニットは、斜めに傾けた状態で置かれる薬液供給容器
に使用することを前提としたものである。このキャップ
ユニットでは、キャップ本体に固定されて容器内の薬液
を吸い上げるためのパイプが屈曲しているため、このキ
ャップユニットを容器に装着した際にパイプの先端が容
器の最下部に位置し、薬液の残量が少なくなっても薬液
中に確実に浸る。また、パイプが剛性を有する材料で形
成されているため、パイプの形状が場合によって変わっ
てしまうようなことがなく、パイプは常に一定の形状を
保持する。

【００１８】また、請求項２に記載の薬液供給容器用キ
ャップユニットにおいては、パイプが金属製であるた
め、従来の樹脂製パイプと異なって剛性が高く、パイプ
は常に一定の形状を保持する。しかも、パイプの外面、
内面の双方が薬液に対する耐性を持つ樹脂で被覆されて
いるため、金属が薬液に侵されてパイプが劣化したり、
薬液が汚染されることが防止される。

【００１９】また、請求項３に記載の薬液供給容器用キ
ャップユニットにおいては、位置決め手段を用いること
により、パイプの先端が容器の最下部に位置するように
このキャップユニットを装着することができるため、キ
ャップユニットの装着、容器の位置決め作業が容易にな
る。

【００２０】また、請求項４に記載の薬液供給容器用キ
ャップユニットにおいては、パイプの先端に液だれ防止
手段が設けられているため、パイプの抜き差しを行なう
際にパイプの先端から薬液が滴下することがない。

【００２１】そして、請求項５に記載の薬液供給装置
は、請求項１に記載のキャップユニットを含み、薬液供
給容器、ベースユニット、表示ボックスと組み合わせて
システム構成したものである。したがって、ベースユニ
ット上に容器を置くと容器は自ずと傾いた状態に保持さ
れる。また、前記キャップユニットの作用により容器内
の薬液の残量が少なくなってもパイプの先端が薬液中に
確実に浸るようになる。そして、薬液の残量が設定値以
下になった時、液面検知センサーが信号を発し、その信
号を受けて出力部が薬液の残量が設定値以下になったこ
とを知らせる。

【００２２】また、請求項６〜８に記載の薬液供給装置
は、請求項２〜４に記載の薬液供給容器用キャップユニ
ットに関する部分で同様の作用を有するものである。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
１〜図５を参照して説明する。図１は本実施の形態の薬
液供給装置１の全体構成を示す図であって、この薬液供
給装置１はレジスト塗布装置にフォトレジスト（薬液）
を供給するためのものである。図中符号２は薬液供給容
器、３はキャップユニット、４はベースユニット、５は
表示ボックス（出力部）、である。

【００２４】図１に示すように、この薬液供給装置１
は、薬液供給容器２（以下、単に容器と記す）、キャッ
プユニット３、ベースユニット４、表示ボックス５で構
成されている。本実施例の場合、容器２として、フォト
レジストを購入した際にフォトレジストが入ってくるガ
ラスビン（容量：１ガロン）をそのまま用いるものとす
る。なお、ガラスビンの口部はネジによって蓋を開閉す
るタイプのものである。また、図２、図３に示すよう
に、ベースユニット４は、容器を載せる載置板６が手前
側から奥側に向かって傾斜しており、載置板６上面の左
右の縁部に側板７が設けられ、これら側板７間に後板
８、９が設けられた形状のものである。そして、これら
金属製の板体によって容器２を置くためのフレーム１０
が構成されている。

【００２５】下側の後板９にはセンサー取付板１１が載
置板６にかけて斜めに掛け渡されており、センサー取付
板１１の中央には容器２内のフォトレジストＲの液面を
検知するための静電容量式のセンサー１２が取り付けら
れている。そして、上側の後板８にはフック部取付板１
３が上方に向けて突出し、その先端にはテフロン製のフ
ック部１４（位置決め手段）が取り付けられている。フ
ック部１４は、後述するキャップユニット３の固定棒１
９を掛止するための溝１４ａを有するものである。さら
に、載置板６の手前側の両側部には、容器２を置く際に
容器２の位置決めを行なうためのガイド棒１５が容器２
の寸法に対応する位置に固定されている。したがって、
このフレーム１０上に容器２を置いた場合、図２に示す
ように、容器２の前面が２本のガイド棒１５に接触する
と同時に、後面下側の湾曲面がセンサー１２に接触する
ような位置関係となる。

【００２６】図４、図５に示すように、キャップユニッ
ト３は、実質的に容器２の蓋となる円柱状のキャップ本
体１６と、フォトレジストＲを吸い上げるためのパイプ
１７と、容器２の口部に螺合するネジ部を持つキャップ
スクリュー１８と、容器２の位置決め用の固定棒１９
（位置決め手段）、継手２３、２４等から構成されてい
る。キャップ本体１６はテフロンで形成されており、そ
の下面にパイプ１７が固定されている。図４に示すよう
に、パイプ１７の本体はＳＵＳ２０で形成されており、
その外面側と内面側の双方にフォトレジストに対する耐
性を有する樹脂製チューブ２１ａ、２１ｂ、２１ｃが被
覆、溶着されている。特に、外面側には樹脂製チューブ
２１ｂ、２１ｃが二重に被覆されている。そして、この
パイプ１７は途中で屈曲しており、先端には液だれ防止
キャップ２２（液だれ防止手段）が装着されている。液
だれ防止キャップ２２はテフロンで形成されており、先
端が閉塞された上、外周面にはフォトレジストＲを吸い
込むための吸込口２２ａが設けられている。そして、吸
込口２２ａの径がフォトレジストＲの表面張力が得られ
るだけの寸法に設定されていることにより、フォトレジ
ストＲの液だれが防止できる構造になっている。

【００２７】図５に示すように、キャップ本体１６に
は、吐出側継手２３と加圧側継手２４の２つの継手が設
けられている。図１に示すように、吐出側継手２３はポ
ンプ２５、処理装置２６側の管路２７に接続するための
もの、加圧側継手２４は高圧窒素ガスライン等の加圧源
２８側の管路２９に接続するためものである。吐出側継
手２３とパイプ１７とはキャップ本体１６内部のレジス
ト流路（図示略）で連通しており、その一方、加圧側継
手２４と容器２内空間とはキャップ本体１６内部の孔
（図示略）で連通している。

【００２８】また、図４に示すように、キャップ本体１
６には、上記２つの継手２３、２４と垂直な方向に延び
るＳＵＳ製の固定棒１９が設けられている。固定棒１９
は、ベースユニット４上に容器２を置く際にベースユニ
ット４のフック部１４の溝１４ａに引っ掛けることによ
ってベースユニット４に対する容器２の向きを定めるた
めのものである。上述したようにパイプ１７は途中で屈
曲しているが、その屈曲する方向は、キャップユニット
３を平面視した（上から見た）際に固定棒１９の延びる
方向と一致している。また、図５に示すように、キャッ
プ本体１６の下部には拡径部１６ａが設けられ、この拡
径部１６ａにキャップスクリュー１８が係合されてい
る。キャップスクリュー１８の内側には容器の口部のネ
ジに螺合するネジ部（図示せず）が形成されているが、
キャップ本体１６とキャップスクリュー１８とは別体と
なっており、キャップスクリュー１８を回してもキャッ
プ本体１６は回らない構造となっている。

【００２９】図１に示すように、表示ボックス５がケー
ブル３０を通じてベースユニット４のセンサー１２と電
気的に接続されている。表示ボックス５には電源スイッ
チやＬＥＤ等が備えられている。そして、センサー１２
が容器２内のフォトレジストＲの液面を検知し、フォト
レジストＲの残量が設定値以下の場合には信号を発す
る。すると、その信号がケーブル３０を通じて表示ボッ
クス５に送られ、表示ボックス５が信号を受けてＬＥＤ
を点灯させることにより、フォトレジストＲの残量が少
ないことを作業者に知らせる。なお、作業者に知らせる
手段として、ＬＥＤ等に限らず、例えばブザー等の音に
よって警報を発する手段を用いてもよい。

【００３０】次に、上記構成の薬液供給装置１を使用す
る方法について、特に、空になった容器２を交換する場
合を例に採り、図１を用いて説明する。まず、ポンプ２
５を停止させた後、空になった容器２からキャップユニ
ット３を取り外し、フォトレジストＲが入った新しい容
器２に装着する。その場合、キャップユニット３の各継
手２３、２４が管路２７、２９にそれぞれ接続されてい
るため、そのままの状態で空の容器２からパイプ１７を
抜いた後、新しい容器２内に差し込み、キャップスクリ
ュー１８を締める。この時、キャップ本体１６が回わる
ことなく外側のキャップスクリュー１８のみを回すこと
ができるので、キャップユニット３を各管路２７、２９
に接続したままでもキャップユニット３を支障なく脱着
することができる。そして、キャップユニット３の固定
棒１９をベースユニット４のフック部１４の溝１４ａに
入れるようにしながら容器２をベースユニット４上に置
き、ポンプ２５を作動させる。

【００３１】本実施の形態の薬液供給装置１の場合、ベ
ースユニット４上に容器２を置くと、残り少なくなった
フォトレジストＲを充分に使い切るために容器２が傾い
た状態となる。この状態で仮にパイプ１７が直線状であ
るとパイプ１７の先端が容器２の最下部に達しないが、
この装置１ではパイプ１７が屈曲しているため、パイプ
１７の先端が容器２の最下部に達する。また、パイプ１
７がＳＵＳ製のため、従来の樹脂製パイプのように形状
が変わってしまうようなことがなく、パイプ１７は常に
一定の形状を保持する。したがって、フォトレジストＲ
の残量が少なくなってもパイプ１７がフォトレジストＲ
中に確実に浸るので、フォトレジストＲを無駄に廃棄す
ることなく、最後まで使い切ることができる。

【００３２】また、パイプ１７が常にフォトレジストＲ
中に浸っているので、パイプ１７内に気泡が入るような
こともなく、レジスト塗布装置に一定量のフォトレジス
トを安定して供給することができ、不良品の発生、歩留
まりの低下といった従来の問題点を解消することができ
る。さらに、パイプ１７が常に一定の形状を保持するた
め、容器交換時にパイプ１７の抜き差しを行なう場合で
も作業が行ないやすく、パイプ１７の先端を容器２の口
部に引っ掛けてフォトレジストＲを飛び散らせたりする
恐れも少なくなる。しかも、パイプ１７の先端に液だれ
防止キャップ２２が装着されているため、パイプ１７を
抜いたときにフォトレジストＲが液だれすることもな
い。

【００３３】さらに、単にパイプ１７が屈曲しているだ
けでは、キャップユニット３を装着した容器２を置く向
きによってはパイプ１７の先端が容器２の最下部に位置
しないこともある。ところが、本実施の形態の場合、キ
ャップユニット３に固定棒１９が、また、ベースユニッ
ト４の載置板６の低い側にフック部１４が設けられ、固
定棒１９の延びる方向がパイプ１７の先端が延びる方向
に一致しているため、固定棒１９をフック部１４の溝１
４ａに入れるようにして容器２をベースユニット４上に
置けば、パイプ１７の先端は自ずと容器２の最下部に位
置することになる。したがって、作業者は容器２を置く
向きを細かく気にすることなく、ベースユニット４に容
器２をセットすることができる。さらに、固定棒１９が
フック部１４の溝１４ａに掛止されるので、使用中にベ
ースユニット４上で容器２が回転し、パイプ１７の先端
がフォトレジストＲ中から浮いてしまうといった不具合
が生じることもない。

【００３４】また、ベースユニット４にセンサー１２が
設置されており、そのセンサー１２が容器２内のフォト
レジストＲの液面を検知し、フォトレジストＲの残量が
設定値以下の場合には表示ボックス５のＬＥＤが点灯す
るため、作業者はフォトレジストＲの残量が少ないこと
を容易に知ることができる。フォトレジストＲを入れる
容器２は感光を避けるため、通常茶色のガラスビンであ
ることが多く、内部が見にくいため、この種の液面検知
センサー１２と表示ボックス５を備えたことは特に有効
である。

【００３５】このように、本実施の形態の薬液供給装置
１によれば、従来の薬液供給装置の持つ多くの問題点を
全て解決することができ、この装置を使用する作業者の
負担を充分に低減することができる。

【００３６】また、キャップユニット３にＳＵＳ製のパ
イプ１７を用いているが、パイプ１７の外面、内面の双
方がフォトレジストに対する耐性を持つ樹脂製チューブ
２１ａ、２１ｂ、２１ｃで被覆されているため、ＳＵＳ
部分２０がフォトレジストＲに侵されることがない。一
般に、半導体製造工程においては重金属による汚染を極
力嫌うが、パイプ１７をこのような構造としたことによ
り重金属による汚染を防ぐことができる。また、パイプ
１７の外面側は特に樹脂製チューブ２１ｂ、２１ｃで二
重に被覆されているため、長期間の使用によりパイプ１
７が容器２の口に擦れるなどしても樹脂製チューブが破
れてＳＵＳ部分２０が露出するのを防ぐことができる。

【００３７】なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態
に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない
範囲において種々の変更を加えることが可能である。例
えば上記実施の形態におけるキャップユニット３は口部
がネジ式のガラスビンに対応するものとしたが、これ以
外の形態の容器、例えばキャニスター等に対応するもの
でもよく、また、容器への固定手段としてもネジ式では
なく、単なる嵌め込み式のキャップユニットとしてもよ
い。しかしながら、その場合でも、容器をベースユニッ
ト上にセットする際に容器の向きを決める何らかの位置
決め手段を有することが望ましい。その位置決め手段と
しては、上記実施の形態のように固定棒１９とフック部
１４を用いる方法の他、例えば単にキャップユニットと
ベースユニットの相対する位置に印を付けておく等の方
法でもよい。

【００３８】また、ベースユニットやキャップユニット
の具体的な形状、構成材料、寸法等に関しては適宜設計
することができる。さらに、本発明の薬液供給装置をフ
ォトレジスト以外の種々の薬液に適用し得ることは勿論
である。そして、上記実施の形態のように薬液供給装置
を単体で使用するのではなく、１台の処理装置に複数台
の薬液供給装置を連結し、１つの容器が空になった時に
他の容器の薬液を随時供給するように複数台の薬液供給
装置を自動的に切り替える切替機構等を備える構成とし
てもよい。そうすると、より合理的な薬液供給システム
となる。

【００３９】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、容器内の薬液を吸い上げるためのパイプが屈曲し
ているため、キャップユニットを容器に装着した際にパ
イプの先端が容器の最下部に位置し、薬液の残量が少な
くなった時でも薬液中に確実に浸る。また、パイプが剛
性を有するため、パイプは常に一定の形状を保持する。
したがって、フォトレジストを無駄に廃棄することな
く、最後まで有効利用することができるとともに、パイ
プ内に気泡が入ることもなく、製品の処理工程で不良品
が発生したり、歩留まりが低下するといった問題を防止
することができる。さらに、容器交換時にパイプの抜き
差しを行なう場合でも作業が行ないやすく、薬液を飛び
散らせたりする恐れも少なくなる。また、ベースユニッ
トに液面検知センサーが設けられ、薬液の残量が設定値
以下の場合には出力部がそれを知らせるため、作業者は
薬液の残量が少ないことを容易に知ることができる。

【００４０】また、金属製パイプを薬液に対する耐性を
持つ樹脂で被覆した場合、金属が薬液に侵されて薬液が
汚染されることを防ぐことができる。そして、容器を置
く際に位置決め手段を用いると、パイプの先端を容器の
最下部に位置させることができるため、キャップユニッ
トの装着、容器の位置決め作業を容易に行なうことがで
きる。

【００４１】このように、本発明の薬液供給装置によれ
ば、従来の薬液供給装置の問題点を解決して作業者の負
担を充分に低減することができ、半導体製造工程の各種
処理装置に用いて好適なものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施の形態である薬液供給装置の
全体構成を示す概略図である。

【図２】 同装置のうち、ベースユニットとフォトレジ
ストを収容した容器の部分を示す側面図である。

【図３】 同、裏面図である。

【図４】 同装置におけるキャップユニットを示す側面
図である。

【図５】 同、裏面図である。

【符号の説明】

１ 薬液供給装置 ２ 薬液供給容器 ３ キャップユニット ４ ベースユニット ５ 表示ボックス（出力部） １０ フレーム １２ 液面検知センサー １４ フック部（位置決め手段） １６ キャップ本体 １７ パイプ １８ キャップスクリュー １９ 固定棒（位置決め手段） ２０ ＳＵＳ ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ 樹脂製チューブ ２２ 液だれ防止キャップ（液だれ防止手段） ２６ 処理装置 Ｒ フォトレジスト（薬液）

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理装置に供給すべき薬液が収容され、
   斜めに傾いた状態で載置される薬液供給容器の口部に装
   着されるキャップユニットであって、 前記薬液供給容器の蓋となるキャップ本体と、 このキャップ本体に固定され、前記薬液供給容器内の薬
   液を吸い上げるための剛性を有する材料で形成されたパ
   イプを有し、 前記薬液供給容器に装着された状態で前記パイプ先端の
   吸込口が斜めに傾いた薬液供給容器の最下部に位置する
   ように前記パイプが屈曲していることを特徴とする薬液
   供給容器用キャップユニット。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の薬液供給容器用キャッ
   プユニットにおいて、前記パイプが金属で形成され、そ
   のパイプの外面側と内面側の双方が前記薬液に対する耐
   性を有する樹脂で被覆されたことを特徴とする薬液供給
   容器用キャップユニット。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の薬液供給容器
   用キャップユニットにおいて、 前記パイプの先端が斜めに傾いた薬液供給容器の最下部
   に位置するように、前記薬液供給容器を任意の場所に載
   置する際にその薬液供給容器の向きを決めるための位置
   決め手段が設けられたことを特徴とする薬液供給容器用
   キャップユニット。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の薬
   液供給容器用キャップユニットにおいて、 前記パイプ先端の吸込口からの薬液の滴下を防止するた
   めの液だれ防止手段が前記パイプの先端に設けられたこ
   とを特徴とする薬液供給容器用キャップユニット。
5. 【請求項５】 処理装置に薬液を供給するための薬液供
   給装置であって、 供給すべき薬液を収容する薬液供給容器と、 この薬液供給容器が斜めに傾いた状態で載置されるフレ
   ームと、このフレーム上に載置された薬液供給容器内の
   液面の位置を検知して薬液の残量が設定値以下の際に信
   号を発する液面検知センサー、を含むベースユニット
   と、 前記薬液供給容器の蓋となるキャップ本体と、このキャ
   ップ本体に固定され、前記薬液供給容器に装着した状態
   で先端の吸込口が斜めに傾いた薬液供給容器の最下部に
   位置するように屈曲したパイプ、を含むキャップユニッ
   トと、 前記液面検知センサーからの信号を受けて薬液の残量が
   設定値以下であることを使用者に知らせる出力部、を有
   することを特徴とする薬液供給装置。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の薬液供給装置におい
   て、 前記キャップユニットのパイプが金属で形成され、その
   パイプの外面側と内面側の双方が前記薬液に対する耐性
   を有する樹脂で被覆されたことを特徴とする薬液供給装
   置。
7. 【請求項７】 請求項５または６に記載の薬液供給装置
   において、 前記キャップユニットに固定棒が設けられるとともに、
   このキャップユニットが装着された薬液供給容器が前記
   ベースユニット上に載置された状態で前記固定棒が掛止
   されるフック部がベースユニットに設けられ、 前記固定棒が前記フック部に掛止された状態で前記キャ
   ップユニットのパイプの先端が斜めに傾いた薬液供給容
   器の最下部に位置するようになっていることを特徴とす
   る薬液供給装置。
8. 【請求項８】 請求項５ないし７のいずれかに記載の薬
   液供給装置において、前記キャップユニットのパイプ先
   端の吸込口からの薬液の滴下を防止するための液だれ防
   止手段が前記パイプの先端に設けられたことを特徴とす
   る薬液供給装置。