JP2009027165A - 少量レジストディスペンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少量レジストディスペンサは、スピンコータのノズルに、及びスピンコータへの液体供給を制御するために弁を開閉する制御装置出力部に接続可能な逆吸引可能圧力作動弁を含む。ディスペンサは、ガス圧を与えることによって瓶内の流体を加圧する瓶用のホルダを備える。ディスペンサは、例えば、100mlから300mlのレジストのレジストサンプルを含んだレジストサンプル事前充填瓶で使用するのに適切である。
【選択図】図2
Description
Claims (16)
- リソグラフィトラック装置に使用する少量化学溶液ディスペンサであって、
第一及び第二流体連絡開口を設けた密封表面を有する流体連絡部材と、使用時に、化学溶液のサンプルを含むリザーバを前記密封表面に押しつけ、前記リザーバの内容積を前記第一及び第二流体連絡開口と接続する部材とを備える、ディスペンサ。 - 前記リザーバが瓶である、請求項1に記載のディスペンサ。
- 前記瓶が100〜300mlの範囲から選択された容積を有する、請求項2に記載のディスペンサ。
- 前記瓶が、前記化学溶液の供給業者によって化学溶液のサンプルが供給されたサンプル瓶である、請求項3に記載のディスペンサ。
- 前記第一流体連絡開口が、流体導管を介して逆吸引可能弁に接続され、前記第二流体連絡開口が、流体導管を介して前記内容積に圧力を供給するデバイスに接続可能である、請求項1に記載のディスペンサ。
- 前記リザーバが瓶である、請求項5に記載のディスペンサ。
- 前記瓶が100〜300mlの範囲から選択された容積を有する、請求項6に記載のディスペンサ。
- 前記瓶が、前記化学溶液の供給業者によって化学溶液のサンプルが供給されたサンプル瓶である、請求項7に記載のディスペンサ。
- 前記化学溶液がフォトレジスト溶液である、請求項1から8のいずれか一項に記載のディスペンサ。
- 化学溶液を基板に供給するノズルを備えた、該化学溶液を基板に与えるスピンコータを備え、前記ノズルは、流体導管を介して、少量化学溶液ディスペンサの逆吸引可能弁に接続され、
前記少量化学溶液ディスペンサが、第一及び第二流体連絡開口を設けた密封表面を有する流体連絡部材と、使用時に、前記化学溶液のサンプルを含むリザーバを前記密封表面に押しつけ、前記リザーバの内容積を前記第一及び第二流体連絡開口と接続する部材とを含み、
前記第一流体連絡開口が、前記逆吸引可能弁及び流体導管を介して前記ノズルに接続され、
前記第二流体連絡開口が、流体導管を介して前記内容積に圧力を供給するデバイスに接続可能である、トラック装置。 - 前記逆吸引可能弁の弁開放又は弁閉鎖状態が圧力信号の変化に応答するものであり、該圧力信号を出力信号とする制御装置をさらに備える、請求項10に記載のトラック装置。
- 前記リザーバが瓶である、請求項11に記載のトラック装置。
- 前記瓶が100〜300mlの範囲から選択された容積を有する、請求項12に記載のトラック装置。
- 前記瓶が、前記化学溶液の供給業者によって化学溶液のサンプルが供給されたサンプル瓶である、請求項13に記載のトラック装置。
- 流体導管を介して前記内容積に圧力を供給する前記デバイスが、前記トラックの一部である、請求項10に記載のトラック装置。
- 前記化学溶液がフォトレジスト溶液である、請求項10から15のいずれか一項に記載のトラック装置。
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