JPH08222498A - レジストコータにおける薬液吐出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 少量多品種の薬液サンプルの導入を容易に行
うことができるレジストコータにおける薬液吐出装置を
提供する。 【構成】 一端にサンプル容器９が装着され、かつ他端
にノズル７ａが形成されるチューブ７と、このチューブ
７に作用する蠕動ポンプ６とを備え、前記サンプルビン
９を取り換え可能にし、少量多品種サンプルの薬液吐出
を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置におけ
るレジストコータの薬液吐出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の半導体製造装置における
レジストコータは、ガロンビンもしくはコートビンを取
付け、ベローズポンプもしくはダイヤフラムポンプにて
薬液を吐出するようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の半導体製造装置におけるレジストコータは、少
量多品種の薬液サンプル評価品を装置に導入するには、
薬液ラインチューブ内の洗浄等が必要となり、少量サン
プルでは対応が困難という問題点があった。本発明は、
上記問題点を除去し、少量多品種の薬液サンプルの導入
を容易に行うことができるレジストコータにおける薬液
吐出装置を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 （１）請求項１記載のレジストコータにおける薬液吐出
装置において、一端にサンプル容器（９）が装着され、
かつ他端にノズル（７ａ）が形成されるチューブ（７）
と、このチューブ（７）に作用する蠕動ポンプ（６）と
を備え、前記サンプル容器（９）を取り換え可能にし、
少量多品種サンプルの薬液吐出を行うようにしたもので
ある。

【０００５】（２）請求項２記載のレジストコータにお
ける薬液吐出装置において、ノズル支持板（２１）と、
このノズル支持板（２１）に装着されるとともに、薬液
供給口（２７）を有するベローズノズル（２２）と、ラ
ックガイド支持板（２５）と、このラックガイド支持板
（２５）に支持されるラックガイド（２６）と、このラ
ックガイド（２６）にガイドされるとともに、前記ベロ
ーズノズル（２２）のキャップ（２３）に作用するラッ
ク（２４）と、このラック（２４）を駆動するピニオン
（２９）と、このピニオン（２９）の駆動装置（２８）
とを備え、前記薬液供給口（２７）より薬液の追加が行
えるようにしたものである。

【０００６】（３）請求項３記載のレジストコータにお
ける薬液吐出装置において、ノズル支持板（３１）と、
このノズル支持板（３１）に装着されるベローズノズル
ボトル（３２）と、ラックガイド支持板（２５）と、こ
のラックガイド支持板（２５）に支持されるラックガイ
ド（２６）と、このラックガイド（２６）にガイドされ
るとともに、前記ベローズノズルボトル（３２）の上端
に当接する押圧子（３４）を有するラック（３３）と、
このラック（３３）を駆動するピニオン（２９）と、こ
のピニオン（２９）の駆動装置（２８）とを備え、前記
ベローズノズルボトル（３２）毎にレジスト種によって
交換するようにしたものである。

【０００７】（４）請求項４記載のレジストコータにお
ける薬液吐出装置において、ノズル支持板（２１）と、
このノズル支持板（２１）に装着されるシリンジ（４
１）と、ラックガイド支持板（２５）と、このラックガ
イド支持板（２５）に支持されるラックガイド（２６）
と、このラックガイド（２６）にガイドされるととも
に、前記シリンジ（４１）に作用するピストン（４２）
を有するラック（２４）と、このラック（２４）を駆動
するピニオン（２９）と、このピニオン（２９）の駆動
装置（２８）とを備え、薬液の吐出およびサックバック
を行うようにしたものである。

【０００８】（５）請求項５記載のレジストコータにお
ける薬液吐出装置において、レボルバー（５１）と、こ
のレボルバー（５１）の支持装置（５４）と、前記レボ
ルバー（５１）の回転装置（５３）と、前記レボルバー
（５１）に装着される複数のシリンジ（４１）と、ラッ
クガイド支持板（２５）と、このラックガイド支持板
（２５）に支持されるラックガイド（２６）と、このラ
ックガイド（２６）にガイドされるとともに、前記シリ
ンジ（４１）に作用するピストン（４２）を有するラッ
ク（２４）と、このラック（２４）を駆動するピニオン
（２９）と、このピニオン（２９）の駆動装置（２８）
とを備え、前記複数のシリンジ（４１）にそれぞれ異な
る薬液を入れ、前記レボルバー（５１）の回転により、
シリンジ（４１）を選択し、多種類の薬液吐出を可能に
するようにしたものである。

【０００９】

【作用】

（１）請求項１記載のレジストコータにおける薬液吐出
装置によれば、サンプル容器がノズル兼用チューブに装
着されており、他種の薬液を使用時は、ノズル兼用チュ
ーブを容易に交換でき、従来のようにチューブ洗浄の必
要がない。また、省スペース機構である。

【００１０】したがって、多品種少量サンプルに適した
レジストコータにおける薬液吐出装置を得ることができ
る。 （２）請求項２記載のレジストコータにおける薬液吐出
装置によれば、ベローズノズルの一部に薬液供給口を設
けたことにより、ベローズノズル内の薬液が不足時に、
薬液供給口より薬液を供給可能とし、ベローズノズルの
交換を行うことなく、連続的に薬液の滴下が可能であ
る。また、必要な時に必要な量を供給でき、ウエハを何
枚でも連続的にコーティングすることができる。

【００１１】（３）請求項３記載のレジストコータにお
ける薬液吐出装置によれば、ベローズノズルボトル内に
薬液が装填されており、従来のような薬液容器及び薬液
供給口のチューブが不要である。多種薬液使用が可能で
ある。また、使用後、容易にベローズノズルを着脱可能
であるため、保・冷等の必要な薬液は、保冷庫にて保存
が可能である。また、ベローズノズル等の洗浄が全く不
要である。

【００１２】（４）請求項４記載のレジストコータにお
ける薬液吐出装置によれば、シリンジによる吐出であ
り、高精度で滴下量のコントロールが容易にできる。ま
た、サックバックも精度良く行うことができる。もちろ
んシリンジ等の洗浄は全く必要がなく、取扱いが容易で
ある。 （５）請求項５記載のレジストコータにおける薬液吐出
装置によれば、レボルバー方式により多種の薬液の滴下
が容易であり、なおかつ多種膜を連続的にコーティング
できる。

【００１３】

【実施例】本発明の実施例について図を参照しながら説
明する。図１は本発明の第１実施例を示す半導体製造装
置におけるレジストコータの構成図である。図１に示す
ように、少量のサンプルを入れるサンプル容器９をキャ
ップ８により、ノズル兼用チューブ７に取り付ける。ノ
ズル兼用チューブ７とキャップ８は一体であっても良
い。液の吐出は蠕動ポンプ６により実行する。

【００１４】なお、図１において、１はウエハ、２はカ
ップ、３はチャック、４は排液管、５はモータ、７ａは
ノズル、１０は排気管、１１はモータ軸である。以下、
本発明の第１実施例の動作について説明する。サンプル
容器９は専用容器もしくはメーカから供給されたサンプ
ル容器を取り付ける。蠕動ポンプ６を動作させることに
より、薬液を吐出させる。吐出させる量は、蠕動ポンプ
６の動作時間により制御する。サックバックは、蠕動ポ
ンプ６を逆動作させることにより実行する。次のサンプ
ルを取り付けるに当たり、サンプル容器９に洗浄液を充
填し、ノズル兼用チューブ７のチューブを洗浄後、次の
サンプルを取り付ける。また、ノズル兼用チューブ７及
びキャップ８は交換可能な構造として、サンプルごとに
交換して使用しても良い。

【００１５】図２は本発明の第２実施例を示す半導体製
造装置におけるレジストコータの構成図、図３はこのレ
ジストコータのラックとピニオンの説明図、図４はこの
レジストコータのラックの説明図である。なお、図２に
おいて、第１実施例と同じ部分については、同じ番号を
付して、その説明は省略する。図２に示すように、薬液
供給口２７は、ベローズノズル２２内の薬液が不足時
に、ベローズノズル２２と同タイプの薬液サンプルにて
供給できるようになっている。ピニオン２９の回転動作
によって、ラック２４がベローズノズル２２を上下させ
る。そして、モータ２８を動作することにより、ピニオ
ン２９とラック２４にて直線運動に変え、ベローズノズ
ル２２を押す機構になっている。ベローズノズル２２と
キャップ２３は一体型で交換できるようになっている。

【００１６】なお、図２において、２１はノズル支持
板、２５はラックガイド支持板、２６はラックガイドで
ある。本発明の第３実施例の動作について説明する。図
５は本発明の第３実施例を示す半導体製造装置における
レジストコータの構成図、図６はこのレジストコータの
ラックとピニオンの説明図、図７はこのレジストコータ
のラックの説明図である。なお、図５において、第１及
び第２実施例と同じ部分については、同じ番号を付し
て、その説明は省略する。

【００１７】図５において、サンプルボトル支持板３１
には、薬液供給口を持たないベローズノズルボトル（ベ
ローズ付きサンプルノズルボトル）３２を取り付ける。
一方、ラック３３の下端には押圧子３４が設けられ、こ
の押圧子３４でベローズノズルボトル３２の上端を押す
ようにする。なお、このベローズノズルボトル３２は、
サンプルボトル支持板３１にねじ込み式で簡単に着脱自
在にすることができる。

【００１８】本発明の第３実施例の動作について説明す
る。まず、モータ２８を動作させ、ラック３３とピニオ
ン２９により押圧子３４でベローズノズルボトル３２を
押し、ベローズノズルボトル３２内の薬液を吐出させ
る。このベローズノズルボトル３２の容量は、例えば１
００〜２００ｍｌの容積にする。このようにして、簡単
に少量多品種サンプルの薬液を吐出させることができ
る。

【００１９】本発明の第４実施例について説明する。図
８は本発明の第４実施例を示す半導体製造装置における
レジストコータの構成図、図９はこのレジストコータの
ラックとピニオンの説明図、図１０はこのレジストコー
タのラックの説明図である。なお、図８において、第１
及び第２実施例と同じ部分については、同じ番号を付し
て、その説明は省略する。

【００２０】図８において、モータ２８を動作させる
と、ピニオン２９とラックガイド２６により、シリンジ
４１のピストン４２を押すことにより、薬液を吐出させ
る。つまり、シリンジ４１をサンプル容器として使用す
る。シリンジ４１は簡単に交換できる構造とする。ここ
で、シリンジ４１は、ノズル支持板２１に簡単に着脱で
きるようにする。モータ２８を動作させて、ピニオン２
９及びラックガイド２６により、シリンジ４１を押す。
シリンジを使用することにより、第２、第３実施例より
吐出量を精度よく制御できる。

【００２１】次に、本発明の第５実施例について説明す
る。上記した第４実施例のシリンジタイプを、図１１及
び図１２に示すように、レボルバー５１に、シリンジ５
２を多数個取り付ける。多層膜をコーティングすると
き、レボルバー５１を回転させ、シリンジ５２を変える
ことにより、シリンジ５２の取り替えを簡易にできるよ
うにする。

【００２２】すなわち、図１１に示すように、レボルバ
ー５１を回転させることにより、希望のシリンジ５２を
薬液吐出位置へ移動させる。レボルバー５１の回転には
モータ４５（図１２参照）を用いる。モータ４５からの
回転運動が、回転治具としての軸固定板５６に回転軸４
６が支持される歯車５３に伝わり、回転治具の回転によ
ってレボルバー５１を回転させる。なお、レボルバー固
定治具５４はその回転軸５５を軸固定板５７に支持され
るレボルバー５１を水平に固定するものである。

【００２３】この第５実施例の動作について説明する。
レボルバー５１に、第４実施例に示したようなシリンジ
５２を多数取り付ける。例えば、ＨＭＤＳ（ｈｅｘａｍ
ｅｔｈｙｌｄｉｓｉｌａｚａｎｅ：ヘキサメチルジシラ
ザン）、レジスト、ＣＥＬ（コントラスト・エンハンス
メント・レイア）バリヤ、ＣＥＬ等のように連続的に多
種膜をコーティングするとき、レボルバー５１を回転さ
せることにより、簡単に薬液をコーティングすることが
可能である。

【００２４】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。

【００２５】

【発明の効果】

（１）請求項１記載の発明によれば、サンプル容器がノ
ズル兼用チューブに具備されており、他種の薬液を使用
時は、ノズル兼用チューブを容易に交換でき、従来のよ
うにチューブ洗浄の必要がない。また、省スペース機構
である。したがって、多品種少量サンプルに適したレジ
ストコータにおける薬液吐出装置を得ることができる。

【００２６】（２）請求項２記載の発明によれば、ベロ
ーズノズルの一部に薬液供給口を設けたことにより、ベ
ローズノズル内の薬液が不足時、同タイプのベローズノ
ズルより薬液を供給可能とし、ベローズノズルの交換を
行うことなく、連続的に薬液の滴下が可能である。ま
た、必要な時に必要な量を供給でき、ウエハを何枚でも
連続的にコーティングができる。

【００２７】（３）請求項３記載の発明によれば、ベロ
ーズノズルボトル内に薬液が装填されており、従来のよ
うな薬液容器及び薬液供給口のチューブが不要である。
多種薬液使用が可能である。また、使用後、容易にベロ
ーズノズルを着脱可能であるため、保・冷等の必要な薬
液は、保冷庫にて保存が可能である。また、ベローズノ
ズル等の洗浄が全く不要である。

【００２８】（４）請求項４記載の発明によれば、シリ
ンジによる吐出であり、高精度で滴下量のコントロール
が容易にできる。また、サックバックも精度良く行うこ
とができる。もちろんシリンジ等の洗浄は全く必要がな
く、取扱いが容易である。 （５）請求項５記載の発明によれば、レボルバー方式に
より多種の薬液の滴下が容易であり、なおかつ多種膜を
連続的にコーティングできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す半導体製造装置にお
けるレジストコータの構成図である。

【図２】本発明の第２実施例を示す半導体製造装置にお
けるレジストコータの構成図である。

【図３】本発明の第２実施例を示す半導体製造装置にお
けるレジストコータのラックとピニオンの説明図であ
る。

【図４】本発明の第２実施例を示す半導体製造装置にお
けるレジストコータのラックの説明図である。

【図５】本発明の第３実施例を示す半導体製造装置にお
けるレジストコータの構成図である。

【図６】本発明の第３実施例を示す半導体製造装置にお
けるレジストコータのラックとピニオンの説明図であ
る。

【図７】本発明の第３実施例を示す半導体製造装置にお
けるレジストコータのラックの説明図である。

【図８】本発明の第４実施例を示す半導体製造装置にお
けるレジストコータの構成図である。

【図９】本発明の第４実施例を示す半導体製造装置にお
けるレジストコータのラックとピニオンの説明図であ
る。

【図１０】本発明の第４実施例を示す半導体製造装置に
おけるレジストコータのラックの説明図である。

【図１１】本発明の第５実施例を示す半導体製造装置に
おけるレジストコータの部分平面図である。

【図１２】本発明の第５実施例を示す半導体製造装置に
おけるレジストコータの断面図である。

【符号の説明】

１ ウエハ ２ カップ ３ チャック ４ 排液管 ５，２８，４５ モータ（駆動装置） ６ 蠕動ポンプ ７ ノズル兼用チューブ ８，２３ キャップ ９ サンプル容器 １０ 排気管 １１ モータ軸 ２１ ノズル支持板 ２２ ベローズノズル ２４，３３ ラック ２５ ラックガイド支持板 ２６ ラックガイド ２７ 薬液供給口 ２９ ピニオン ３１ サンプルボトル支持板 ３２ ベローズノズルボトル ３４ 押圧子 ４１，５２ シリンジ ４２ ピストン ４６，５５ 回転軸 ５１ レボルバー ５３ 歯車（回転装置） ５４ レボルバー固定治具（支持装置） ５６，５７ 軸固定板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】（ａ）一端にサンプル容器が装着され、か
   つ他端にノズルが形成されるチューブと、（ｂ）該チュ
   ーブに作用する蠕動ポンプとを備え、（ｃ）前記サンプ
   ル容器を取り換え可能にし、少量多品種サンプルの薬液
   吐出を行うようにしたことを特徴とするレジストコータ
   における薬液吐出装置。
2. 【請求項２】（ａ）ノズル支持板と、（ｂ）該ノズル支
   持板に装着されるとともに、薬液供給口を有するベロー
   ズノズルと、（ｃ）ラックガイド支持板と、（ｄ）該ラ
   ックガイド支持板に支持されるラックガイドと、（ｅ）
   該ラックガイドにガイドされるとともに、前記ベローズ
   ノズルのキャップに作用するラックと、（ｆ）該ラック
   を駆動するピニオンと、（ｇ）該ピニオンの駆動装置と
   を備え、（ｈ）前記薬液供給口より薬液の追加が行える
   ようにしたことを特徴とするレジストコータにおける薬
   液吐出装置。
3. 【請求項３】（ａ）ノズル支持板と、（ｂ）該ノズル支
   持板に装着されるベローズノズルボトルと、（ｃ）ラッ
   クガイド支持板と、（ｄ）該ラックガイド支持板に支持
   されるラックガイドと、（ｅ）該ラックガイドにガイド
   されるとともに、前記ベローズノズルボトルの上端に当
   接する押圧子を有するラックと、（ｆ）該ラックを駆動
   するピニオンと、（ｇ）該ピニオンの駆動装置とを備
   え、（ｈ）前記ベローズノズルボトル毎にレジスト種に
   よって交換することを特徴とするレジストコータにおけ
   る薬液吐出装置。
4. 【請求項４】（ａ）ノズル支持板と、（ｂ）該ノズル支
   持板に装着されるシリンジと、（ｃ）ラックガイド支持
   板と、（ｄ）該ラックガイド支持板に支持されるラック
   ガイドと、（ｅ）該ラックガイドにガイドされるととも
   に、前記シリンジに作用するピストンを有するラック
   と、（ｆ）該ラックを駆動するピニオンと、（ｇ）該ピ
   ニオンの駆動装置とを備え、（ｈ）薬液の吐出およびサ
   ックバックを行うことを特徴とするレジストコータにお
   ける薬液吐出装置。
5. 【請求項５】（ａ）レボルバーと、（ｂ）該レボルバー
   の支持装置と、（ｃ）前記レボルバーの回転装置と、
   （ｄ）前記レボルバーに装着される複数のシリンジと、
   （ｅ）ラックガイド支持板と、（ｆ）該ラックガイド支
   持板に支持されるラックガイドと、（ｇ）該ラックガイ
   ドにガイドされるとともに、前記シリンジに作用するピ
   ストンを有するラックと、（ｈ）該ラックを駆動するピ
   ニオンと、（ｉ）該ピニオンの駆動装置とを備え、
   （ｊ）前記複数のシリンジにそれぞれ異なる薬液を入
   れ、前記レボルバーの回転により、シリンジを選択し、
   多種類の薬液吐出を可能にすることを特徴とするレジス
   トコータにおける薬液吐出装置。