JPS6084136A - 密閉型通い缶からの薬液の供給方法並びに供給看視装置 - Google Patents
密閉型通い缶からの薬液の供給方法並びに供給看視装置Info
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- JPS6084136A JPS6084136A JP19251483A JP19251483A JPS6084136A JP S6084136 A JPS6084136 A JP S6084136A JP 19251483 A JP19251483 A JP 19251483A JP 19251483 A JP19251483 A JP 19251483A JP S6084136 A JPS6084136 A JP S6084136A
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- liquid
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
- B01J4/008—Feed or outlet control devices
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体等電子拐料や精密機器部品ｑ−の薬液
処理工程に用いられる各種薬液の供給方法並びに供給看
視装置に関し、詳細には前記各種薬液の充填された密閉
型通い缶から、薬液処理］。、程に薬液を供給するに際
し、前記通い缶と接続して前記薬液の量を検知しつつ、
安定に供給する方法及び、供給看視装置に関するもので
ある。
処理工程に用いられる各種薬液の供給方法並びに供給看
視装置に関し、詳細には前記各種薬液の充填された密閉
型通い缶から、薬液処理］。、程に薬液を供給するに際
し、前記通い缶と接続して前記薬液の量を検知しつつ、
安定に供給する方法及び、供給看視装置に関するもので
ある。
集積回路、トランジスターなどの微細加工技術の進歩は
めざましいものであり、その製造に使用される各種薬液
の品質管理に対する要求は、とみに厳しくなってきてい
る。特に製品歩どまりに直接影響する微細粒子異物の混
入は禁忌であり、そのため語法は通常精密、濾過され、
清浄な環境（クリーンルーム内）下で清浄な容器に充填
されて製品となる。一般には、その容器としてガラス製
の約ＩＪ〜８１のびんが用いられている。ところが各種
薬液のガラスびんへの充填はクリーンルーム内ではある
が、開放下で行なわれるため、外気におけるほどではな
いにしてもゴミ、異物等の混入の可能性は避けがたい。
めざましいものであり、その製造に使用される各種薬液
の品質管理に対する要求は、とみに厳しくなってきてい
る。特に製品歩どまりに直接影響する微細粒子異物の混
入は禁忌であり、そのため語法は通常精密、濾過され、
清浄な環境（クリーンルーム内）下で清浄な容器に充填
されて製品となる。一般には、その容器としてガラス製
の約ＩＪ〜８１のびんが用いられている。ところが各種
薬液のガラスびんへの充填はクリーンルーム内ではある
が、開放下で行なわれるため、外気におけるほどではな
いにしてもゴミ、異物等の混入の可能性は避けがたい。
しかも、流通段階ｔこおいて、ガラスびんであるが故に
破損事故を生じる欠点があり、また容器そのものは使い
捨てであるためその処置が問題である。さらに使用者側
において、ガラスびん容器を開封し、集積回路等の製造
ラインの装置の容器へ移しかえる手間を必要としその際
、せっかく精密；濾過して清浄にした内容物にゴミや異
物を混入させたり、甚だしい場合は、こばしたり、あふ
れさぜたりするという問題も生ずる。そこで本発明者は
、使用の毎Ｇこ内容物を移しかえるための開封をするこ
となく前記薬液処理工程の配管に接続しで簡便に使用で
き、かつ上記欠点の解消された各種薬液用の通い缶とし
ての収納容器を開発し、別途特許出願した（特願昭５７
−１３０８７６号）。
破損事故を生じる欠点があり、また容器そのものは使い
捨てであるためその処置が問題である。さらに使用者側
において、ガラスびん容器を開封し、集積回路等の製造
ラインの装置の容器へ移しかえる手間を必要としその際
、せっかく精密；濾過して清浄にした内容物にゴミや異
物を混入させたり、甚だしい場合は、こばしたり、あふ
れさぜたりするという問題も生ずる。そこで本発明者は
、使用の毎Ｇこ内容物を移しかえるための開封をするこ
となく前記薬液処理工程の配管に接続しで簡便に使用で
き、かつ上記欠点の解消された各種薬液用の通い缶とし
ての収納容器を開発し、別途特許出願した（特願昭５７
−１３０８７６号）。
この場合、前記通い缶は新たに、該用途に用いられるよ
うになった為に、従来のガラスびんに比較して薬液を多
量に収容し得るが、該通い缶の材質によっては液量の監
視ができず、かつ多１であるが故に、その減少を常時監
視し交換することが困難であり、若し薬液が無くなった
ことを知らず薬液処理装置を稼動させれば、未処理の不
良品を製造するおそれがある。
うになった為に、従来のガラスびんに比較して薬液を多
量に収容し得るが、該通い缶の材質によっては液量の監
視ができず、かつ多１であるが故に、その減少を常時監
視し交換することが困難であり、若し薬液が無くなった
ことを知らず薬液処理装置を稼動させれば、未処理の不
良品を製造するおそれがある。
本発明は、上記の欠点を解決し、前記薬液を外気に触れ
ることなく、清浄状態を１ａ持したまま、前記薬液量を
検知しつつ供給し、適量の残液になった時点で警報を発
し、かつ空となった前記通い缶を交換する間も、薬液処
理装置を停止させることなく、連続して該廓液を供給可
能とする方法及−び装置を提供するものである。
ることなく、清浄状態を１ａ持したまま、前記薬液量を
検知しつつ供給し、適量の残液になった時点で警報を発
し、かつ空となった前記通い缶を交換する間も、薬液処
理装置を停止させることなく、連続して該廓液を供給可
能とする方法及−び装置を提供するものである。
本発明方法の要旨は、密閉型薬液通い缶から液面加圧方
式により薬液を薬液処理工程に送液するに際し、密閉型
の液面看視槽を通して前記工程に送液し、該液面看視槽
内液面が所定位置に降下したとき、警報を発すると共に
前記通い缶と液面看視種間の管路を遮断し、通い缶を交
換し薬液の看視槽内への充填が開始されるまでの間、液
面看視槽に液面加圧用気体を導入し薬液の供給を維持す
る密閉型通い缶からの薬液の供給方法に在る。
式により薬液を薬液処理工程に送液するに際し、密閉型
の液面看視槽を通して前記工程に送液し、該液面看視槽
内液面が所定位置に降下したとき、警報を発すると共に
前記通い缶と液面看視種間の管路を遮断し、通い缶を交
換し薬液の看視槽内への充填が開始されるまでの間、液
面看視槽に液面加圧用気体を導入し薬液の供給を維持す
る密閉型通い缶からの薬液の供給方法に在る。
即ち、密閉型通い缶と薬液処理工程間に液面看視槽を介
在させ、この槽を通して送液し、通い缶が空になって後
、この樽の液面が降下し所定位置となったとき、通い缶
を交換すべきことを警報すると共Ｇこ、通い缶が交換で
きるように通い缶と行視槽間の管路を遮断し、かつ通い
缶交換中も荷視槽に液面加圧用気体を導入して看視槽内
の液面を加圧して工程への薬液の供給を継続することを
可能とし、かつ交換した通い缶からの薬液が新たに看視
槽へ移送されている間も薬液の供給を可能としたもので
、通い缶の液面加圧用気体供給源と組合せることにより
、猾視槽に善報用容器及び缶交換時のクッションタンク
としての機能を保留せしめたものである。
在させ、この槽を通して送液し、通い缶が空になって後
、この樽の液面が降下し所定位置となったとき、通い缶
を交換すべきことを警報すると共Ｇこ、通い缶が交換で
きるように通い缶と行視槽間の管路を遮断し、かつ通い
缶交換中も荷視槽に液面加圧用気体を導入して看視槽内
の液面を加圧して工程への薬液の供給を継続することを
可能とし、かつ交換した通い缶からの薬液が新たに看視
槽へ移送されている間も薬液の供給を可能としたもので
、通い缶の液面加圧用気体供給源と組合せることにより
、猾視槽に善報用容器及び缶交換時のクッションタンク
としての機能を保留せしめたものである。
次をこ、本発明方法を具体化した密閉型通い缶からの薬
液供給看視装置を、半導体製造の場合を例にとって説明
する。
液供給看視装置を、半導体製造の場合を例にとって説明
する。
第１図は薬液２０の収納されている通い缶であるキャニ
スタ−１０の斜視図で、第２図は同断面図を示し、キャ
ニスタ−１０は、＃収納容器本体１３とフランジ１４と
からなり、該フランジ＋４ｉこは液輸送管用カプラー１
１及び気体流通用雄カプラー１２が具備され、該カプラ
ーＨ，＋２は、第３図または第４図に示す方法により、
キャップ３゜で保護されている。
スタ−１０の斜視図で、第２図は同断面図を示し、キャ
ニスタ−１０は、＃収納容器本体１３とフランジ１４と
からなり、該フランジ＋４ｉこは液輸送管用カプラー１
１及び気体流通用雄カプラー１２が具備され、該カプラ
ーＨ，＋２は、第３図または第４図に示す方法により、
キャップ３゜で保護されている。
第５図は、前記通い缶を半導体製造装置１に接続して使
用している従来技術を説明するものであ 。
用している従来技術を説明するものであ 。
る。即ち、清浄窒素をカプラー＋７，１２よりキャニス
タ−１０に供給し、その圧力で薬液２ｏをカプラー１６
．１１より前記装ｆｉｌｌに供給し使用するものである
。
タ−１０に供給し、その圧力で薬液２ｏをカプラー１６
．１１より前記装ｆｉｌｌに供給し使用するものである
。
元来、半導体製造装置に、例えば積算流ＩＩ Ｗｆ等の
液使用状況を検知し得る機能があれば、この状態でも使
用し得るものであるが、しかし使用中の通い缶内の液を
使い尽し、新たな通い缶に切換える装置が極めて複雑と
なる。
液使用状況を検知し得る機能があれば、この状態でも使
用し得るものであるが、しかし使用中の通い缶内の液を
使い尽し、新たな通い缶に切換える装置が極めて複雑と
なる。
第６図は、本発明に係る薬液供給看視装置１００を示し
、本装置は薬液２０の所定量を収容する看視槽５０．液
面位置を検出する液面計８０．薬液の特定期間中の供給
力となる気体の受入管の接続ロア０、槽内気体（窒素）
の排気管の接続口９０．窒素ガス及び薬液の回路の開閉
を行なう電磁弁６１゜６２ 、６３ 、６４ 、該装置
と通い缶であるキャニスタ−１０との接続用離カプラー
ｊ７ 、１６ 、半導体製造装置１への工程薬液給液管
の接続ロア３．窒素ガスと薬液の流通回路である配管、
及び前記各電磁弁６１．６２．６３．６４ 、前記液面
計の作動電力の供給回路、操作盤（図示せず）の操作ス
イッチ及び表示用電力の供給回路より構成されている。
、本装置は薬液２０の所定量を収容する看視槽５０．液
面位置を検出する液面計８０．薬液の特定期間中の供給
力となる気体の受入管の接続ロア０、槽内気体（窒素）
の排気管の接続口９０．窒素ガス及び薬液の回路の開閉
を行なう電磁弁６１゜６２ 、６３ 、６４ 、該装置
と通い缶であるキャニスタ−１０との接続用離カプラー
ｊ７ 、１６ 、半導体製造装置１への工程薬液給液管
の接続ロア３．窒素ガスと薬液の流通回路である配管、
及び前記各電磁弁６１．６２．６３．６４ 、前記液面
計の作動電力の供給回路、操作盤（図示せず）の操作ス
イッチ及び表示用電力の供給回路より構成されている。
本装置の使用原理は、窒素圧力によりキャニスタ−１０
中の液を該装置の看視槽５ｏに送り、前記液面計８０に
て液面を検知しつつ所定液量を保ち、該看視槽５ｏより
前記装＠１に該薬液を送液するものであり、該薬液の使
用に伴い液量が減少し前記キャニスタ−１０が空になり
、前記看視槽５０の液面が所定液面以下になると前記液
面計８０にて、それを検知し、警報を発するものであり
、使用者はその警報により前記キャニスタ−１０の液量
が空となっていることを知り、薬液の充填された別のキ
ャニスタ−１ｏと交換するのである。同時に本装置の特
徴として、キャニスタ−を交換している最中においても
、看視槽中の残液分により前記半導体製造装置１を稼動
し得るものである。第６図〜第９図につき詳細にその使
用状態を説明する。図中太線で示される配置は回路が形
成されていることを示す。
中の液を該装置の看視槽５ｏに送り、前記液面計８０に
て液面を検知しつつ所定液量を保ち、該看視槽５ｏより
前記装＠１に該薬液を送液するものであり、該薬液の使
用に伴い液量が減少し前記キャニスタ−１０が空になり
、前記看視槽５０の液面が所定液面以下になると前記液
面計８０にて、それを検知し、警報を発するものであり
、使用者はその警報により前記キャニスタ−１０の液量
が空となっていることを知り、薬液の充填された別のキ
ャニスタ−１ｏと交換するのである。同時に本装置の特
徴として、キャニスタ−を交換している最中においても
、看視槽中の残液分により前記半導体製造装置１を稼動
し得るものである。第６図〜第９図につき詳細にその使
用状態を説明する。図中太線で示される配置は回路が形
成されていることを示す。
キャニスタ−１０の雄カプラー４２．Ｎと前記装置１０
０の雌カプラー１７．１６を接続する。α５〜１・Ｏｋ
ｇ／ｃｍ ” Ｑに調整された浄化窒素を接続ロア０に
供給する。所定の電力を供給する。（第６図）操作盤中
のスタートスイッチ（図示せず）を押し、操作を開始す
る。第７図に示す如く看視槽５０中の液量が所定量以下
であることを液面計ｆ８０が感知し、電磁弁６１が開き
キャニスタ−１０をＩＪＤ圧する。同時に電磁弁６４が
開いて、該薬液の回路をつくり、槽内気体排気管の電磁
弁６３が開し１て窒紫逃がし口をつくり、自動的に窒素
圧にて薬液が看視槽５０に送液される。（この状態を充
填中と称す。） 第８図に示すように看視槽５０の液面が所定位置に達す
ると液面計８０が検知し、電磁弁６３が閉じて槽内気体
排気管の接続口９０が閉じ、液面は看視槽５０中で窒素
押込み圧と平衡になるまで上昇して、液の流入が停止す
る。該キャニスタ−中に液が存在する限り、この状態が
定常状態となり前記半導体製造装置１での薬液の使用を
Ｉ）ＩＪ始する。
０の雌カプラー１７．１６を接続する。α５〜１・Ｏｋ
ｇ／ｃｍ ” Ｑに調整された浄化窒素を接続ロア０に
供給する。所定の電力を供給する。（第６図）操作盤中
のスタートスイッチ（図示せず）を押し、操作を開始す
る。第７図に示す如く看視槽５０中の液量が所定量以下
であることを液面計ｆ８０が感知し、電磁弁６１が開き
キャニスタ−１０をＩＪＤ圧する。同時に電磁弁６４が
開いて、該薬液の回路をつくり、槽内気体排気管の電磁
弁６３が開し１て窒紫逃がし口をつくり、自動的に窒素
圧にて薬液が看視槽５０に送液される。（この状態を充
填中と称す。） 第８図に示すように看視槽５０の液面が所定位置に達す
ると液面計８０が検知し、電磁弁６３が閉じて槽内気体
排気管の接続口９０が閉じ、液面は看視槽５０中で窒素
押込み圧と平衡になるまで上昇して、液の流入が停止す
る。該キャニスタ−中に液が存在する限り、この状態が
定常状態となり前記半導体製造装置１での薬液の使用を
Ｉ）ＩＪ始する。
（使用中と称す）。
使用に伴い、キャニスタ−１０の液は看視槽５０へ流入
を続け、やがてキャニスタ−１０は空となり、社視槽５
０の液面は低下しはじめ、所定のレベル以下になると液
面計８０が作動して警報を発し、操作盤上に表示する。
を続け、やがてキャニスタ−１０は空となり、社視槽５
０の液面は低下しはじめ、所定のレベル以下になると液
面計８０が作動して警報を発し、操作盤上に表示する。
（かうと称す）。
同時に第９図に示すように電磁弁６１．６４が閉じてキ
ャニスタ−１０との回路を切り部し、電磁弁６２が開い
て看視槽５０に窒素圧がかかり、残液を使用可能状態と
する。薬液供給管の下端は看視槽の槽底に開口している
ので、残液のある限り、この状態でも使用できる。
ャニスタ−１０との回路を切り部し、電磁弁６２が開い
て看視槽５０に窒素圧がかかり、残液を使用可能状態と
する。薬液供給管の下端は看視槽の槽底に開口している
ので、残液のある限り、この状態でも使用できる。
警報に従い、残液が未だ存在する間に、作業者は充填さ
れているギヤニスターと交換する。
れているギヤニスターと交換する。
ついで、操作盤のリセットボタン（図示せず）を押すと
、前述の１充填中」の状態となり、キャニスタ−１０か
らの送液が開始される。この場合、看視槽５０の電磁弁
６３が開き、気体（窒素）排気管の接続口９０が開とな
り、看視槽５０内の圧力が低下するが、気体排気管の接
続口９０の流出量をオリフィス等を用いて、キャニスタ
−からの押し込み量より少なくなるようにし、看視槽５
０の圧力が大気圧や配管抵抗、ヘッド差に対し、陽圧に
なるように調整しているため、この状態でも継続して、
前記半導体製造装置１での使用を可能ならしめるもので
ある。
、前述の１充填中」の状態となり、キャニスタ−１０か
らの送液が開始される。この場合、看視槽５０の電磁弁
６３が開き、気体（窒素）排気管の接続口９０が開とな
り、看視槽５０内の圧力が低下するが、気体排気管の接
続口９０の流出量をオリフィス等を用いて、キャニスタ
−からの押し込み量より少なくなるようにし、看視槽５
０の圧力が大気圧や配管抵抗、ヘッド差に対し、陽圧に
なるように調整しているため、この状態でも継続して、
前記半導体製造装置１での使用を可能ならしめるもので
ある。
上述の如く、本発明は看視槽５０中の圧力を上手に制御
する。ことにより、単に液爪の警報を発するのみならず
、キャニスタ−１０の交換時においても連続して使用可
能ならしめるという利点を有する薬液の供給方法及び供
給看視装置を提示するものである。
する。ことにより、単に液爪の警報を発するのみならず
、キャニスタ−１０の交換時においても連続して使用可
能ならしめるという利点を有する薬液の供給方法及び供
給看視装置を提示するものである。
本装置の原理に基すけば、例えば液面側８０としては、
静電容量型液面側やフロート式液面訃。
静電容量型液面側やフロート式液面訃。
あるいは光電管衣液面別等用途に応し使い別は得る。ま
た操作電力の代りに空気圧作動方式を採用することも可
能であり、そのいずれを採ろうとも何ら本発明を制約す
るものではない。
た操作電力の代りに空気圧作動方式を採用することも可
能であり、そのいずれを採ろうとも何ら本発明を制約す
るものではない。
また本発明の原理によれば、看視槽田中の上昇液面は、
看視槽内の圧力により平衡に達し、液面言１は検知信号
を出すものであるから、所定レベルを検知する液面ｔ１
１基で充分その機能を果たすものであるが、低レベル及
び高レベルの２点を検知するよう、１基または２基を使
用することも可能である。
看視槽内の圧力により平衡に達し、液面言１は検知信号
を出すものであるから、所定レベルを検知する液面ｔ１
１基で充分その機能を果たすものであるが、低レベル及
び高レベルの２点を検知するよう、１基または２基を使
用することも可能である。
その他、種々の別法が考えられ得るが、要は、通い缶で
あるキャニスタ−を薬液供給看視装置を介して半導体製
造装置に接続して使用し、薬液の存在の有無、キャニス
タ−の交換のタイミングを警報し、キャニスタ−の交換
の間も半導体製造装置に連続的に薬液を供給することを
可能とするも、のであり、液レベルの検知方法は何ら本
発明を制限するものではない。
あるキャニスタ−を薬液供給看視装置を介して半導体製
造装置に接続して使用し、薬液の存在の有無、キャニス
タ−の交換のタイミングを警報し、キャニスタ−の交換
の間も半導体製造装置に連続的に薬液を供給することを
可能とするも、のであり、液レベルの検知方法は何ら本
発明を制限するものではない。
尚、本発明の用途に用いられる材質としては、腐蝕によ
るザビ等の異物を発生せず、かつ薬剤に侵されて該薬剤
中に溶出又は分散して汚染するようなものであってはな
らず、その選択は、目的とする薬剤により常法に従って
試験を行なって、使用可能であることを確認されねばな
らない。一般的に例示スレハ、Ｓ［Ｊｓ ３０４ 、
ＳＵＳ ３１６ 、７−’ニア ｏ ン。
るザビ等の異物を発生せず、かつ薬剤に侵されて該薬剤
中に溶出又は分散して汚染するようなものであってはな
らず、その選択は、目的とする薬剤により常法に従って
試験を行なって、使用可能であることを確認されねばな
らない。一般的に例示スレハ、Ｓ［Ｊｓ ３０４ 、
ＳＵＳ ３１６ 、７−’ニア ｏ ン。
ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル。
あるいはＳ［ＪＳ ３０４ 、 Ｓ［ＪＳ ３１６にテ
フロンライニングしたもの、繊維補強されたポリプロピ
レンのプラスチックといったものが挙げられるが、前述
の如く、該薬剤の性状に応じて使い分ければよく、材質
が何ら本発明を規制するものでないことは、自明である
。
フロンライニングしたもの、繊維補強されたポリプロピ
レンのプラスチックといったものが挙げられるが、前述
の如く、該薬剤の性状に応じて使い分ければよく、材質
が何ら本発明を規制するものでないことは、自明である
。
第１０図は、本発明の思想に基づく装置の例であり、キ
ャニスタ−１０を、本発明装置１００を取付けた架台２
００の下に収納できるようにしたものであり、使用床面
積の減少によるコンパクト化と接続の容易さを与える例
である。キャニスタ−１０を架台下の収納部からカート
５に載置されたまま引き出し、カプラー接続後、カート
５により再び押し込むという使用上の利点を付与したも
のである。
ャニスタ−１０を、本発明装置１００を取付けた架台２
００の下に収納できるようにしたものであり、使用床面
積の減少によるコンパクト化と接続の容易さを与える例
である。キャニスタ−１０を架台下の収納部からカート
５に載置されたまま引き出し、カプラー接続後、カート
５により再び押し込むという使用上の利点を付与したも
のである。
第１図は密閉型通い缶の斜視図で、第２図は同縦断面図
で、第３図及び第４図は通い缶フランジ部詳細図、第５
図は通い缶の薬液処理装置への従来の接続方法を示す説
明図で、第６図は本発明に係る薬液供給看視装置と通い
缶の連結状態を示す縦断面図で、第７図ないし第９図は
薬液供給看視装置の使用原理を示す説明図で、第１０図
は本発明装置の一実施例を示す図面である。 １・・・・半導体製造装置、５・・・・搬送カート。 １ｏ・・・・キャニスタ−１１１・・・・液輸送用雄カ
プラー、１２・・・・気体流通用雄カプラー、１３・・
・・液取納通い缶本体、１４・・・・フランジ、１６・
・・・液ラインの酸カプラー、１７・・・・窒素ライン
の酸カプラー、２０・・・・薬液、３０・・・・キャッ
プ。 ５０・・・・看視槽、６１〜６４・・・・電磁弁、７０
・・・・加圧気体受入管の接続口、８０・・・・液面側
、９０・・・・槽内気体排気管の接続口、１００・・・
・薬液供給看視装置。 特許出願人 日本ゼオン株式会社 同 富士通株式会社 代理人 弁理士 松永圭司
で、第３図及び第４図は通い缶フランジ部詳細図、第５
図は通い缶の薬液処理装置への従来の接続方法を示す説
明図で、第６図は本発明に係る薬液供給看視装置と通い
缶の連結状態を示す縦断面図で、第７図ないし第９図は
薬液供給看視装置の使用原理を示す説明図で、第１０図
は本発明装置の一実施例を示す図面である。 １・・・・半導体製造装置、５・・・・搬送カート。 １ｏ・・・・キャニスタ−１１１・・・・液輸送用雄カ
プラー、１２・・・・気体流通用雄カプラー、１３・・
・・液取納通い缶本体、１４・・・・フランジ、１６・
・・・液ラインの酸カプラー、１７・・・・窒素ライン
の酸カプラー、２０・・・・薬液、３０・・・・キャッ
プ。 ５０・・・・看視槽、６１〜６４・・・・電磁弁、７０
・・・・加圧気体受入管の接続口、８０・・・・液面側
、９０・・・・槽内気体排気管の接続口、１００・・・
・薬液供給看視装置。 特許出願人 日本ゼオン株式会社 同 富士通株式会社 代理人 弁理士 松永圭司
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、密閉型看視槽い缶から液面加圧方式により薬液を薬
液処理工程に送液するに際し、密閉型の液面看視槽内通
して前記工程に送液し、該液面看視槽内の液面が所定位
置に降下したとき、警報を発す ３・ると共に前記通い
缶と液面看視種間の管路を遮断し、前記通い缶を交換し
、薬液の雪視槽への充填が開始されるまでの間、前記液
面看視槽に液面加圧用気体を導入し薬液の供給を継続せ
しめることを特徴とする密閉型通い缶からの薬液供給方
法。 ２、 液面加圧方式により給液する密閉型通い缶と接続
する受液管、薬液処理工程と接続する送液管。 加圧気体導入管、加圧気体排気管および液面計を設けた
密閉型看視槽１および該看視槽内の液面が前記液面計の
所定位置に降下したとき警報を発すると共に、前記通い
缶の加圧気体流入管のバルブおよび前記受液管のバルブ
が閉に、前記加圧気体導入管のバルブが開となり、前記
通いｆＪ”ｒを交換し前記各バルブの作動を逆に、かつ
加圧気体排気管のバルブを閉から開に操作して薬液を該
看視槽内に流入させて液面が前記液面側の所定位Ｖ５１
Ｉこ上昇したとき、前記加圧気体排気管のバルブを閉
とするようにしたバルブ制御機構とからなる密閉型通い
缶からの薬液の供給看視装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19251483A JPS6084136A (ja) | 1983-10-17 | 1983-10-17 | 密閉型通い缶からの薬液の供給方法並びに供給看視装置 |
| US06/660,412 US4676404A (en) | 1983-10-17 | 1984-10-12 | Method and apparatus for feeding drug liquid from hermetic returnable can |
| EP19840402079 EP0138718B1 (en) | 1983-10-17 | 1984-10-16 | Method and apparatus for feeding drug liquid from hermetic returnable can |
| DE8484402079T DE3465970D1 (en) | 1983-10-17 | 1984-10-16 | Method and apparatus for feeding drug liquid from hermetic returnable can |
| KR1019840006391A KR930000225B1 (ko) | 1983-10-17 | 1984-10-16 | 밀폐형 반환식 통으로부터의 약액 공급방법 및 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19251483A JPS6084136A (ja) | 1983-10-17 | 1983-10-17 | 密閉型通い缶からの薬液の供給方法並びに供給看視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6084136A true JPS6084136A (ja) | 1985-05-13 |
| JPH0153572B2 JPH0153572B2 (ja) | 1989-11-14 |
Family
ID=16292547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19251483A Granted JPS6084136A (ja) | 1983-10-17 | 1983-10-17 | 密閉型通い缶からの薬液の供給方法並びに供給看視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6084136A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007311603A (ja) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Tokyo Electron Ltd | 処理液供給装置及び処理液供給方法並びに処理液供給用制御プログラム |
| JP2009135521A (ja) * | 1997-07-11 | 2009-06-18 | Advanced Technology Materials Inc | バルク化学物質供給システム |
| US9347616B2 (en) | 2011-05-28 | 2016-05-24 | Entegris, Inc. | Refillable ampoule with purge capability |
| CN107915302A (zh) * | 2016-10-10 | 2018-04-17 | 天津有序环境科技发展有限公司 | 半自动氨水倾倒笼 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58101732A (ja) * | 1981-12-14 | 1983-06-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薬液供給装置 |
-
1983
- 1983-10-17 JP JP19251483A patent/JPS6084136A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58101732A (ja) * | 1981-12-14 | 1983-06-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薬液供給装置 |
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| US7918242B2 (en) | 2006-05-19 | 2011-04-05 | Tokyo Electron Limited | Processing solution supply system, processing solution supply method and recording medium for storing processing solution supply control program |
| US9347616B2 (en) | 2011-05-28 | 2016-05-24 | Entegris, Inc. | Refillable ampoule with purge capability |
| US10551004B2 (en) | 2011-05-28 | 2020-02-04 | Entegris, Inc. | Refillable ampoule with purge capability |
| CN107915302A (zh) * | 2016-10-10 | 2018-04-17 | 天津有序环境科技发展有限公司 | 半自动氨水倾倒笼 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0153572B2 (ja) | 1989-11-14 |
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