JP2008542147A - 流体保存および分配システムおよびプロセス - Google Patents
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Abstract
【選択図】 なし
Description
[00304] 図3に関して説明したような一般的タイプのライナー式流体保存および分配システムから流体を圧力の媒介で分配する際の空き検出監視のための圧力トランスジューサの有効性を判断し、上流プロセスフィルタを有する下流ディスペンサを含む分配トレーンの一部として、フォトレジストを分配する特定のライナー式流体保存および分配パッケージの適切性を判断するために、試験を実行した。この状況で、「下流ディスペンサ」という用語は、所定の量または所定の率で流体をツールに供給するために、流体を使用するツールに伴うプロセス機器を指す。例えば、作成された下流ディスペンサは最終分配ポンプ、例えば圧縮性チューブポンプ、または流量計量装置、注入器、エゼクタ、圧縮機、ブロワ、スプレヘッド、ノズルなどを含む。
Claims (221)
- 第1の結合本体と、第1のキーコード構造およびインタロックを含むリングと、第2のキーコード構造を含む第2の結合本体とを備える事前接続検証結合部であって、前記リングは、第1の結合本体と協働して、前記本体が前記第2の結合本体とともに事後検証結合部内のリングに対して並進運動できるようにし、前記インタロックが、前記第1のキーコード構造と前記第2のキーコード構造との検証結合前にこのような並進運動を防止する事前接続検証結合部。
- 前記第1の結合本体が、分配アセンブリの分配ヘッドを備える、請求項1に記載の事前接続検証結合部。
- 前記分配ヘッドが、プローブを含む、請求項2に記載の事前接続検証結合部。
- 前記第2の結合本体が、流体コンテナに接続される、請求項1に記載の事前接続検証結合部。
- 前記第2の結合本体が、前記流体コンテナのキャップを備える、請求項4に記載の事前接続検証結合部。
- 前記キャップが隔膜を備え、前記第1の結合本体が、前記第1の結合本体と前記第2の結合本体との前記事後検証結合部の前記隔膜を穿孔することができるプローブを含む、請求項5に記載の事前接続検証結合部。
- 前記隔膜が、ゴム、セルロース材料およびポリマー材料からなるグループから選択された材料を含む、請求項6に記載の事前接続検証結合部。
- 前記流体コンテナが、剛性オーバーパック内に可撓性ライナーを備える、請求項4に記載の事前接続検証結合部。
- 前記可撓性ライナーが、高純度液体を保持する、請求項8に記載の事前接続検証結合部。
- 前記可撓性ライナーが、3次元の閉鎖ヘッドライナーである、請求項8に記載の事前接続検証結合部。
- 前記可撓性ライナーが、吹き込み成形した管状ポリマーフィルム材料で形成される、請求項8に記載の事前接続検証結合部。
- 前記可撓性ライナーが、閉鎖ヘッドライナーである、請求項8に記載の事前接続検証結合部。
- 前記可撓性ライナーが、未使用のポリマー材料で形成される、請求項8に記載の事前接続検証結合部。
- 前記可撓性ライナーが、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリブチレン、および以上のポリマーのうち1つまたは複数のモノマーを含むコポリマーからなるグループから選択された材料を含む、請求項8に記載の事前接続検証結合部。
- 前記可撓性ライナーが、約5ミルから約30ミルの範囲の厚さを有する、請求項8に記載の事前接続検証結合部。
- 無線周波識別タグをさらに備える、請求項8に記載の事前接続検証結合部。
- 前記第1および第2のキーコード構造が、切り欠きおよびピン要素を備える、請求項1に記載の事前接続検証結合部。
- 前記第1および第2のキーコード構造が、通路と突起の要素を備える、請求項1に記載の事前接続検証結合部。
- 前記第1および第2のキーコード構造が、周方向に横断寸法が変化する相互に噛み合うリブを備える、請求項1に記載の事前接続検証結合部。
- 前記第1および第2のキーコード構造が、舌と溝の要素を含む、請求項1に記載の事前接続検証結合部。
- 前記第1の結合本体および前記リングが相互接続し、前記第1のキーコード構造と前記第2のキーコード構造との検証結合前に、前記第1の結合本体が付勢構造によって収縮位置に付勢され、このような検証結合の後、前記第1の結合本体に手で下方向の力を加えることによって、前記第1の結合本体が拡張位置へと下方向に並進可能で、したがって前記第1の結合本体が、前記リングを通って下方向に並進し、それに伴って前記付勢構造が圧縮される、請求項1に記載の事前接続検証結合部。
- 前記付勢構造が、付勢ばねを備える、請求項21に記載の事前接続検証結合部。
- 前記インタロックが、電子インタロック機構、電気機械的インタロック機構、および機械的インタロック機構からなるグループから選択された機構を備える、請求項1に記載の事前接続検証結合部。
- 前記インタロックが、前記第1の結合本体の前記キーコード構造と前記第2の結合本体の前記キーコード構造との係合に応答するばね付勢タンブラを備える、請求項1に記載の事前接続検証結合部。
- 前記第1の結合本体に下方向への手の圧力が加えられると、前記ばね付勢タンブラが、前記第1の結合本体の前記キーコード構造と前記第2の結合本体の前記キーコード構造との係合に応答して、収縮し、前記第1の結合本体が前記リングを通って下方向に並進できるようにする、請求項24に記載の事前接続検証結合部。
- 流体保存および分配容器と、流れ回路に接続することができる流体分配アセンブリとを備える流体保存および分配パッケージであって、前記流体保存および分配パッケージは、請求項1に記載の事前接続検証結合部を備え、前記流体分配アセンブリが前記結合本体および前記リングを備え、前記流体保存および分配容器は、自身上にキャップを有し、前記キャップが前記第2の結合本体を含む流体保存および分配パッケージ。
- 前記キャップが隔膜を覆い、前記流体分配アセンブリは、前記第1の結合本体と第2の結合本体が相互に十分に係合すると、前記隔膜を貫通することができるプローブを備える、請求項26に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記流体保存および分配容器が、剛性オーバーパック内に可撓性ライナーを備える、請求項27に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記可撓性ライナーが半導体製造用流体を封じ込めている、請求項28に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記流体分配アセンブリが、分配された流体を使用位置に送出するように配置された流体流れ回路に結合する、請求項29に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記流体流れ回路が、前記使用位置にて流体を使用する設備に結合する、請求項30に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記流体使用設備が、半導体製造設備を備える、請求項31に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記流体分配アセンブリが、流体放出導管を備える、請求項26に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記流体放出導管が、流体流れ回路に接続することができる接続構造を備える、請求項33に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記第1の結合本体は、前記第2の結合本体との係合を完成するために下方向に並進すると、ロック構造によって完全に係合した位置にロック可能である、請求項26に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記ロック構造が、バヨネットロック構造を備える、請求項35に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記ロック構造が窪みと玉の戻り止め構造を備える、請求項35に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 第1の結合本体と、それと協働するリングとを含む事前接続検証結合部であって、それによって第2のキーコード構造を含む第2の結合本体とともに事後接続検証結合部の前記リングに対して前記本体が並進運動することができ、前記リングは第1のキーコード構造、および前記第1のキーコード構造と前記第2のキーコード構造との検証結合前にこのような並進運動を防止するインタロックを含む事前接続検証結合部。
- 流れ回路と結合するライナー式流体保存および分配パッケージを含み、前記パッケージ内のライナーから使用位置へと流体を送出する流体供給システムであって、前記ライナー式流体保存および分配パッケージは、前記ライナーから前記流れ回路へと圧力の媒介で流体を分配するために、前記ライナーに圧力を加えるように前記パッケージに加圧ガスを送出する加圧ガス源と結合し、さらに、前記ライナーから前記流れ回路に分配される流体の圧力を感知し、前記圧力を示すトランスジューサ出力を生成することができる圧力トランスジューサと、前記トランスジューサ出力を受信し、前記流体の圧力の変化率を測定して、前記ライナー内の流体の枯渇の開始と相関する変化率の増加を示すプロセッサ出力を提供することができるプロセッサとを含む流体供給システム。
- 前記加圧することが、アルゴン、ヘリウム、窒素および空気からなるグループから選択されたガスを含む、請求項39に記載の流体供給システム。
- 前記ライナーが、フォトレジスト液体組成および化学機械的研磨用スラリからなるグループから選択された液体媒体を含む、請求項39に記載の流体供給システム。
- 前記ライナーから前記流れ回路に分配される前記流体を濾過するように配置されたフィルタをさらに備える、請求項39に記載の流体供給システム。
- 前記流れ回路内に分配ポンプをさらに備える、請求項39に記載の流体供給システム。
- 前記分配ポンプが、膜ポンプ、ピストンポンプ、蠕動ポンプ、インゼクタ式ポンプ、計量流量ポンプからなるグループから選択されたポンプを備える、請求項43に記載の流体供給システム。
- 前記使用位置が、半導体製造ツールを備える、請求項39に記載の流体供給システム。
- 前記半導体製造ツールが、コーティングツール、エッチングツール、研磨ツール、マスキングツール、堆積ツール、揮発ツール、熱分解ツール、包装ツール、混合ツール、および緩和ツールからなるグループから選択されたツールを備える、請求項45に記載の流体供給システム。
- 前記プロセッサが、前記ライナーから分配される流体の流体分配および使用を制御するように配置される、請求項39に記載の流体供給システム。
- 前記プロセッサが、汎用プログラマブルコンピュータ、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラおよびプログラマブル論理制御装置からなるグループから選択される、請求項47に記載の流体供給システム。
- 前記プロセッサが、さらに、前記加圧ガス源を制御して、その流れを調整することができる、請求項39に記載の流体供給システム。
- 前記プロセッサが、さらに、前記加圧ガス源からの加圧ガス流量、前記使用位置での流体処理、前記流れ回路内の弁、および前記流れ回路内のポンプのうち少なくとも1つを制御することができる、請求項39に記載の流体供給システム。
- 前記プロセッサが、前記プロセッサの出力を表示モニタに伝送するように配置される、請求項39に記載の流体供給システム。
- 前記プロセッサが、前記加圧ガスの圧力を監視することができる、請求項39に記載の流体供給システム。
- 液体媒体を封じ込めることができるライナーと、前記ライナーから圧力の媒介で液体を分配するために前記ライナーに外部からガス圧を加えることができる加圧ガス源と、前記ライナーから分配される液体媒体の圧力の変化率を監視し、前記ライナーからの液体媒体の枯渇の開始を示す勾配低下状態を出力することができるモニタとを含むライナー式流体保存および分配パッケージを備える流体供給システム。
- 前記モニタが、前記ライナーから分配される前記液体媒体の圧力を監視するように配置された圧力トランスジューサと、前記トランスジューサに作動状態で結合して、トランスジューサ出力信号を受信して、それを処理し、前記ライナーからの液体媒体の枯渇開始を示す前記勾配低下状態を判断し、出力するプロセッサとを含む、請求項53に記載の流体供給システム。
- 流体媒体を伝達する関係で半導体製造ツールに作動状態で結合する、請求項53に記載の流体供給システム。
- 前記ライナーが、フォトレジスト材料を含む、請求項55に記載の流体供給システム。
- 流体を保持するライナーを含むライナー式流体保存および分配パッケージから使用位置へと前記流体を供給する方法であって、前記ライナーを漸進的に潰して、そこから流体を分配するために、前記ライナーに外部圧力を加えることと、分配作業中に前記ライナーからの流体の枯渇の開始を示す勾配低下を測定するために、時間の関数として前記分配流体の圧力を監視することとを含む方法。
- 前記勾配低下の測定に応答して、分配作業用に別のライナー式流体保存および分配パッケージを用意することをさらに含む、請求項57に記載の方法。
- 前記使用位置への分配を継続するために、前記別のライナー式流体保存および分配パッケージへと切り換えることをさらに含む、請求項58に記載の方法。
- 前記使用位置が、半導体製造ツールである、請求項57に記載の方法。
- 流体の分配を実行するために圧力を受ける折りたたみ式ライナーから前記流体を供給する方法であって、時間の関数として前記分配流体の圧力を監視することと、前記ライナーからの流体の枯渇への所定の接近を示すものとして、圧力と時間の関数の勾配低下を測定することとを含む方法。
- 前記ライナーから分配される流体が、分配される流体の流れ回路で給送され、前記流れ回路から使用位置へと送出される、請求項61に記載の方法。
- 前記給送が、計量流量ポンプによって実行され、前記使用位置が、半導体製造ツールを含む、請求項62に記載の方法。
- 前記ライナーが、フォトレジストおよび化学機械的研磨用組成からなるグループから選択された流体を含む、請求項63に記載の方法。
- 前記枯渇への所定の接近に到達すると、アラームが出力される、請求項61に記載の方法。
- 前記枯渇への所定の接近に到達すると、別のライナーから分配を継続するために、交換作業が開始される、請求項61に記載の方法。
- 前記枯渇への所定の接近に到達すると、前記ライナー内に残っている流体の在庫と調和する方法で、分配作業を終了するように前記分配作業が修正される、請求項61に記載の方法。
- その内容積に流体を保持することができる流体保存および分配容器を含む流体保存および分配システムであって、前記容器は口の開口部、前記口の開口部を密封するためにそれと係合するキャップ、および自身を通して分配するために、前記容器内の流体にアクセスするよう前記キャップと係合可能なコネクタを含む分配アセンブリとを有し、前記コネクタが、分配するために前記コネクタを所定の位置にロック状態で保持するように前記キャップと係合可能な少なくとも1つの係合部材と、前記少なくとも1つの係合部材と結合して、このような1つの係合部材が分配のために前記コネクタを所定の位置にロック状態で保持する第1の付勢位置と、前記少なくとも1つの係合部材が、前記キャップから前記コネクタが外れることを防止するために、前記キャップから係合解除される第2の解放位置との間で手動で並進可能である、手動で把持可能な部材とを含む流体保存および分配システム。
- 相互に対して前記コネクタの対角線で反対側に装着された2つの系統部材を備える、請求項68に記載の流体保存および分配システム。
- 前記手動で把持可能な部材を手動で並進しない場合、前記手動で把持可能な部材を前記第1の付勢位置へと並進させることができる回転カム要素を含む結合アセンブリによって、前記2つの係合部材が、前記手動で把持可能な部材と結合する、請求項69に記載の流体保存および分配システム。
- 前記係合部材が、クランプ部材を旋回状態で並進可能である、請求項70に記載の流体保存および分配システム。
- 前記手動で把持可能な部材が、ハンドルを備える、請求項71に記載の流体保存および分配システム。
- 前記ハンドルが、指の輪郭の湾曲したハンドルを備える、請求項72に記載の流体保存および分配システム。
- 前記ハンドルが、前記第2の解放位置で垂直に直立し、前記第1の付勢位置では前記第2の解放位置から少なくとも90°変位する、請求項72に記載の流体保存および分配システム。
- 前記ハンドルが、前記第1の付勢位置で、前記第2の解放位置から90°より大きく変位する、請求項74に記載の流体保存および分配システム。
- 前記ハンドルが、前記第1の付勢位置で下方向に配向され、前記容器と接触する、請求項75に記載の流体保存および分配システム。
- 前記手動で把持可能な部材が、ばね要素によって前記第1の付勢位置に付勢される、請求項70に記載の流体保存および分配システム。
- 前記ばね要素が、ねじりばね要素を備える、請求項77に記載の流体保存および分配システム。
- 前記回転カム要素は、前記手動で把持可能な部材が前記第2の解放位置にある場合に、押し出し圧力を加えるように構成された少なくとも1つの押し出しカムを備える、請求項70に記載の流体保存および分配システム。
- 前記コネクタが、前記第2の解放位置で前記手動で把持可能な部材の位置を決定する制限止め機構を含む、請求項70に記載の流体保存および分配システム。
- 前記制限止め機構は、前記手動で把持可能な部材が前記第2の解放位置にある場合に、前記手動で把持可能な突き当たり係合する突起を備える、請求項80に記載の流体保存および分配システム。
- 前記回転カム要素は、前記手動で把持可能な部材が前記第2の解放位置にある場合に、前記容器に支承圧力を加えて、前記コネクタの係合解除を補助する押し出し構造と係合する、請求項70に記載の流体保存および分配システム。
- 前記押し出し構造が前記容器と支承接触する少なくとも2つの支柱を備える、請求項82に記載の流体保存および分配システム。
- 前記押し出し構造が、前記容器と支承接触する少なくとも4つの支柱を備える、請求項82に記載の流体保存および分配システム。
- 前記押し出し構造が、前記容器と支承接触し、前記コネクタの対向する側に2つの支柱を含むアセンブリと、前記2つの支柱を前記コネクタの前記対向する画それぞれに結合する連結構造とを備える4つの支柱を備える、請求項84に記載の流体保存および分配システム。
- 前記少なくとも1つの係合部材と結合し、前記少なくとも1つの係合部材が前記コネクタを分配するための所定の位置にロック状態で保持する第1の付勢位置と、前記少なくとも1つの係合部材が前記キャップから係合解除して、前記キャップからの前記コネクタの取り外しを防止する第2の解放位置との間を手動で並進可能である前記手動で把持可能な部材が、手動で加えられる圧迫力によって前記第1の付勢位置から第2の解放位置へと手動で押下可能な側台を備える、請求項68に記載の流体保存および分配システム。
- 前記コネクタの対向する側それぞれに側台を備える、請求項86に記載の流体保存および分配システム。
- 前記流体保存および分配容器が、自身内に流体を保持することができるライナーを含む、請求項68に記載の流体保存および分配システム。
- 前記ライナーが、半導体製造用の高純度液体を保持する、請求項88に記載の流体保存および分配システム。
- 前記回転カム要素が、心棒に装着された旋回クランプカムおよび押し出しカムを含む、請求項70に記載の流体保存および分配システム。
- ハンドルが、前記回転カム要素に結合する、請求項90に記載の流体保存および分配システム。
- 前記係合部材が旋回クランプを含み、前記旋回クランプは、前記旋回クランプカムが前記ハンドルの対応する動作によって上方向に回転すると、前記旋回クランプを作動させる、請求項91に記載の流体保存および分配システム。
- 前記旋回クランプカムが、このような回転の間に斜面を上昇して、前記旋回クランプを内側に押し、旋回クランプの軸の周囲にモーメントを生成して、前記旋回クランプを前記キャップとの係合から解放する、請求項92に記載の流体保存および分配システム。
- 前記結合アセンブリが、前記ハンドルを前記第1の付勢位置へと落下させるトルクばねを備える、請求項93に記載の流体保存および分配システム。
- 前記押し出しカムは、前記ハンドルが前記第2の解放位置として上方位置へと回転すると、前記キャップの上部分を押し出す、請求項94に記載の流体保存および分配システム。
- 前記コネクタが、前記第2の解放位置として前記ハンドルを垂直位置で停止させる側面上の突起を有する、請求項95に記載の流体保存および分配システム。
- 請求項68から96のいずれか1項に記載の流体保存および分配システムの使用を含む、流体の保存および分配方法。
- 円板状本体と、前記円板状本体の半径より小さい半径でそこから下方向に垂れ下がる円筒形密封壁とを備える取付具シールであって、これによって前記円板状本体は周囲フランジを形成し、前記円板状本体は、主要上面と、前記主要上面から上方向に延び、前記円板状本体の中心部分に対応する窪みを形成する環状ボスとを有する取付具シール。
- 前記窪みが、前記円板状本体の残りの部分を含む面から変位した面に、平面である床を有する、請求項98に記載の取付具シール。
- 前記円板状本体が主要底面を有し、前記環状ボスおよび窪みが、前記円板状本体の前記底面に突起を形成する、請求項98に記載の取付具シール。
- 前記周囲フランジがテーパ状外縁部分を有する、請求項98に記載の取付具シール。
- 前記円筒形密封壁の下端部分が、内側にテーパ状の外面を有する、請求項98に記載の取付具シール。
- 取付具に配置された状態の、請求項98に記載の取付具シール。
- 前記取付具に、流体を保持することができるライナーが固定される、請求項103に記載の取付具シール。
- 可撓性弾性材料で形成された、請求項98に記載の取付具シール。
- 前記可撓性弾性材料が、ゴムおよびポリマー材料からなるグループから選択された材料を含む、請求項105に記載の取付具シール。
- 前記取付具と締まり嵌め状態の、請求項103に記載の取付具シール。
- 前記取付具が、請求項98に記載の取付具シールによって密封される、取付具を含む流体保存および分配容器。
- 前記取付具シールを設置し、取り外すために手動で把持することができる引き裂きタブをさらに含む、請求項98に記載の取付具シール。
- その首部に周方向に隔置された一連のロック用空隙を有するコンテナとロック係合することができるキャップであって、前記キャップは、円筒形側壁、およびその上端で前記円筒形側壁と接合する円形上壁を含むキャップ本体を備え、前記円筒形側壁は、前記側壁の下部分に周方向に隔置された一連の切り欠きを有し、各切り欠きは、前記切り欠きの上端に接合され、下方向に垂れ下がり、自身にかかる力がない場合は、外側に朝顔状に開く位置へと付勢される回転防止フィンガ要素を有し、前記フィンガ要素はそれぞれ、前記キャップと係合することができるコネクタが嵌合すると、その上端で前記切り欠きの前記上端に接合し、その下端で、前記ロック用空隙の1つと係合することができる半径方向内向きの耳と接合する細長い細片を備えるキャップ。
- 前記フィンガ要素の下部分と前記耳とが、前記円筒形側壁の下縁部より下にある状態で、前記フィンガ要素が前記半径方向内向きの耳へと下方向に垂れ下がる、請求項110に記載のキャップ。
- 前記ロック用空隙が、前記容器の前記首部にある状態で、前記フィンガ要素が係合から外れた位置へと付勢される、請求項111に記載のキャップ。
- 流体を保持することができるコンテナを備える流体保存および分配パッケージであって、前記コンテナは、前記コンテナの首部に周方向に隔置された一連のロック用空隙と、前記コンテナとロック係合することができるキャップとを有し、前記キャップ本体を備えることは、円筒形側壁、およびその上端で前記円筒形側壁と接合する円形上壁を含み、前記円筒形側壁は、前記側壁の下部分に周方向に隔置された一連の切り欠きを有し、各切り欠きは、前記切り欠きの上端に接合され、下方向に垂れ下がる回転防止フィンガ要素を有し、前記フィンガ要素はそれぞれ、前記キャップと係合することができる前記コネクタが嵌合すると、その上端で前記切り欠きの前記上端に接合し、その下端で、前記ロック用空隙の1つと係合することができる半径方向内向きの耳と接合する細長い細片を備える分配パッケージ。
- 前記円筒形側壁が、その内面にねじ山を有し、前記コンテナの前記首部は、前記キャップの前記ねじ山付き内面と噛み合い係合するために、その外面に相補的ねじ山を有する、請求項113に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記フィンガが前記コンテナの前記首部と前記コネクタの内面との間に挟まれ、前記耳が前記コンテナの前記首部のロック用空隙と係合した状態で、前記キャップと嵌合する分配コネクタをさらに備える、請求項114に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記コンテナが、半導体製造用の流体を保持する、請求項115に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記コンテナが、ライナー内に前記流体を保持する、請求項116に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記分配コネクタが、前記ライナー内の前記流体と接触することができるプローブを備え、前記容器から流体を分配するために、それを通って浮くように構成される、請求項117に記載の流体保存および分配パッケージ。
- コネクタとともにキャップが、コンテナ、前記キャップおよび前記コネクタを含む流体保存および分配パッケージの前記コンテナから外れることを防止する方法であって、前記方法は、前記コンテナの首領域にて前記コンテナにロック用空隙を設けることと、円筒形側壁、およびその上端で前記円筒形側壁と接合する円形上壁を含む前記キャップを設けることとを含み、前記円筒形側壁は、前記側壁の下部分に周方向に隔置された一連の切り欠きを有し、各切り欠きは、切り欠きの上端に接合され、下方向に垂れ下がる回転防止フィンガ要素を有し、前記フィンガ要素はそれぞれ、前記コネクタが嵌合すると、その上端で前記切り欠きの前記上端に接合し、その下端で、前記ロック用空隙の1つと係合することができる半径方向内向きの耳と接合する細長い細片を備える方法。
- 流体保存および分配コンテナと係合し、自身と協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができるキャップであって、前記キャップは、その下部分に、前記流体保存および分配コンテナのロック構造と係合可能な外方向に突出する要素を有するキャップ。
- 前記コンテナの相補的ねじ山と噛み合い係合するために、係合表面にねじ山を有する、請求項120に記載のキャップ。
- ゴムおよびポリマー材料からなるグループから選択された構成材料で形成される、請求項121に記載のキャップ。
- ポリエチレン、ポリプロピレンおよびポリテトラフルオロエチレンからなるグループから選択されたポリマー材料で形成される、請求項122に記載のキャップ。
- 流体を保持することができるコンテナを備え、前記コンテナは前記コンテナの表面に口およびロック構造を含み、さらに、前記口と係合することができるキャップを備える流体保存および分配パッケージであって、前記キャップは、前記キャップと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、前記キャップは、その下部分に、前記分配コネクタが前記キャップと嵌合すると、前記ロック構造と係合可能な外方向に突出する要素を有する分配パッケージ。
- 前記ロック構造が、前記キャップの回転運動を防止するために、前記キャップの前記突出要素と係合可能なラチェット構造を備える、請求項124に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記突出要素は、前記分配コネクタが前記キャップを覆うように係合していない場合、非係合位置に付勢される、請求項125に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記ロック構造が、前記コンテナの表面に直立支柱を備える、請求項124に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記キャップの下部分が通路を有し、前記突出要素が前記通路を終了させる桁を備え、それによって前記直立支柱が、前記キャップの回転を防止するために前記桁と係合可能である、請求項127に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 流体を保持することができるコンテナを備え、前記コンテナは前記コンテナの表面に口およびロック構造を含み、さらに、前記口と係合することができるキャップを備える流体保存および分配パッケージであって、前記キャップは、前記キャップと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、前記キャップは、その下部分に、前記分配コネクタが前記キャップと嵌合すると、前記ロック構造と係合可能な第2のロック構造を有し、前記第2のロック構造は、前記分配コネクタが前記キャップと嵌合していない場合は、前記第1のロック構造と係合不可能である。
- 前記第1のロック構造が、前記コンテナの首領域に突起を備え、前記第2のロック構造が、前記キャップの下部分に切り欠きを備える、請求項129に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 流体を保持することができ、口を含むコンテナと、前記口と係合することができるキャップを備える流体保存および分配パッケージであって、前記キャップは、前記キャップと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、前記キャップは、前記分配コネクタが前記キャップと嵌合している場合は作動し、前記分配コネクタが前記キャップと嵌合していない場合は作動不能であるロック構造を有する分配パッケージ。
- 前記ロック構造が引き裂きタブを備える、請求項131に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 口を含むコンテナと、流体を保持することができる前記コンテナ内のライナーと、流体が出るために前記ライナーおよび前記口に結合された開口部を含む取付具と、前記口と係合することができるキャップとを備える流体保存および分配パッケージであって、前記キャップは追加的に、前記ライナーに外部から圧力が加えられると、前記ライナーから流体を引き出すために前記キャップと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、前記分配コネクタは、ライナーに外部から圧力を加えるために、加圧ガスを前記コンテナに流入させるように前記加圧ガスと接続することができ、さらに、前記キャップと前記取付具の間に配置されて、前記コンテナ内の前記加圧ガスを密封するガスシール要素と、前記取付具にて流体が前記ライナーから逃げることを防止するプラグシールとを備える分配パッケージ。
- 前記ガスシール要素が、リングシール要素を備える、請求項133に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記プラグシールが、前記キャップ上の引き裂きタブに取り付けられる、請求項133に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記キャップが、自身を通って加圧ガスを流すために加圧開口部を含む、請求項133に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記加圧開口部を密封する栓を備える、請求項136に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記分配コネクタが、挿入することによって隔膜シールを破損せずに、自身内の流体にアクセスするために前記ライナーに挿入可能なプローブを含む、請求項133に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記キャップが、自身上にポリテトラフルオロエチレンのコーティングを有する、請求項133に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 流体を保持することができ、第1の係合構造を含むコンテナと、前記コンテナと係合することができるキャップと、キャップ/コードリングアセンブリを形成するために前記キャップと係合可能なコードリングとを備える流体保存および分配パッケージであって、前記キャップ/コードリングアセンブリは、前記コンテナから流体を引き出すために前記キャップ/コードリングアセンブリと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、前記キャップ/コードリングアセンブリは、前記キャップ/コードリングアセンブリを前記コンテナに固定配置して、その取り外しに抗するために前記第1の係合構造と係合可能な第2の係合構造を含む分配パッケージ。
- 前記コードリングが、ツールを使用して前記キャップから取り外し可能である、請求項140に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記ツールが、ねじ回しを備える、請求項141に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記キャップ/コードリングアセンブリから前記コードリングを外すと、前記キャップが前記コンテナから取り外し可能になる、請求項140に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記キャップが、前記キャップ/コードリングアセンブリから前記コードリングを外すと再使用不可能である、請求項143に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記コンテナが、前記キャップ/コードリングアセンブリに不適当な分配コネクタが設置されることを防止する誤接続干渉機構を含む、請求項140に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 相補的ねじ山を有するコンテナと接続するねじ山を含むキャップであって、前記キャップは、前記キャップが前記コンテナと初期係合した後、前記キャップを再使用不能にする再使用不能構造を含み、前記再使用不能構造は、前記初期係合後に前記コンテナから前記キャップを外そうとするか、外すと、前記ねじ山を変形、破壊または除去することができ、前記再使用不能構造は、ねじ山より上の区域を切断または引き裂く歯付きロックと、前記キャップを外そうとすると、前記ねじ山を引き裂くか破壊することになる構成と、戻り止めがある前記コンテナの首にねじ込まれ、それによって前記キャップを外すと高いトルクで前記ねじ山が引き剥がされる2ピースキャップと、前記キャップのねじを緩めることを防止する回転防止機能付きのねじ込みキャップと、前記キャップが、ねじを緩めることによって作動する前記ねじ山上の引き裂き区域を有し、垂直の引き裂きタブを引っ張ることによって残りのねじ山部分が除去される構成と、2ピースねじ山と、切り取り式ねじ山と、自身のねじを緩める螺旋状ねじ山と、前記キャップを外すと変形する成形ねじ山と、前記コンテナの首上の大きい形体にわたって追加的に形成され、前記キャップを前記コンテナから外すと、前記キャップねじ山が破壊される前記キャップ上のねじ山とからなるグループから選択されるキャップ。
- 相補的ねじ山を有するコンテナと接続するねじ山を含むキャップであって、前記キャップは前記キャップの除去および/または再使用を防止するキャップの修正を含み、前記キャップの修正は、キャップに、所定の位置に押し込むためにツールを必要とするクリップを設け、前記キャップは、前記キャップが所定の位置に押し込まれると、素早い方法で設置または取り外し可能であることと、取り外しツールが、前記キャップを固定する所定の位置から前記ピンを引き出すことができる状態で、前記キャップを前記位置に保持するピンを設けることと、前記キャップのねじの緩みを防止するために、ねじ込みキャップに圧入ピンを設け、前記ピンは、前記キャップのねじを緩めるために、特殊なツールでしか外せないことと、ねじ込みキャップに回転防止ロックを設け、前記キャップをロック解除するために、前記コードリングを外さねばならず、前記ロックが、前記ロックを解除するために引き上げねばならないピン、または押し合わせねばならないタブを含むことと、ねじこみキャップに回転防止ロックを設け、前記キャップをロック解除するために前記コードリングを外さねばならず、前記回転防止ロックは、前記キャップの歯と前記コンテナの歯があるラチェットタイプであり、それによって特殊なツールを使用して前記キャップを外すために、高いトルクが必要であることと、把持形体を有するコードリングのトルクツールの使用が、トルクをかける場合のみであることと、前記キャップを前記コンテナに取り付けるために、前記キャップに第2のリングを設け、前記キャップを外すと、前記リングが破壊することと、前記キャップを外すために、ねじ込みキャップに引き裂きタブを設け、前記引き裂きタブを外すと前記キャップがロックしないことと、スナップで留める引き裂きリングを設け、前記スナップが前記引き裂きリングにあることと、前記コンテナから切り離すために特殊ツールを必要とするスナップ式キャップを設けることと、熱で活性化するか、濡れた状態から乾燥状態で活性化するシュリンクキャップまたはラップを設けることと、前記コンテナの首部の形体に形成されたねじなしキャップを設け、前記コンテナの形体と前記キャップとの干渉が前記キャップを所定の位置に保持し、したがって前記キャップはツールでのみ、または他の方法でこじ開けることによって除去可能であり、前記キャップを外すと、前記キャップの形成区域が剥ぎ取られ、したがって前記キャップの一部が前記コンテナに残り、特殊ツールまたは垂直の引き裂きタブで除去できることと、前記キャップが前記分配プローブとともに再び働かないように、前記キャップの除去が前記コードリングを変化させるように構築され、配置されたキャップを設けることと、前記分配プローブが外されると、前記コードリングが落ちるように、前記分配プローブを設置することによって切断されるコードリングを設けることと、前記分配プローブを外すと破壊する磁気構造を設けることと、前記キャップを外すと、前記コンテナの形体が破壊し、前記キャップの窪みにひっかかり、前記キャップを新しいコンテナで使用できないように、前記キャップの前記窪みと対合する形体を前記コンテナに製作することと、前記キャップを前記コンテナ上の所定の位置に保持し、設置されると、前記コンテナの相補的溝を下方向に滑動して、前記キャップを外すと破壊する破壊タブを、キャップに製作することと、前記キャップを外すと染料を放出するように作動する内蔵染料放出機構をキャップに製作することと、破壊されたタグを担持した空のコンテナが誤使用の証拠となるように、前記キャップを外すと破壊するセキュリティタイプのタグを前記キャップに製作することと、オペレータがキャップを切り換えることを防止する監視ソフトウェアと組み合わせて、前記パッケージに無線周波識別(RFID)集積回路を設けることとからなるグループから選択されるキャップ。
- 自身の間の流れ回路によって流体を使用するツールと結合することができる流体保存および分配システムであって、前記システムは、自身内のライナーから圧力の媒介で流体を分配することができるライナー式流体保存および分配パッケージを含み、前記永例回路はフィルタ、ポンプ、および分配流体の圧力を監視し、分配作業を調整することができる制御装置を作動するように構成された圧力トランスジューサを含み、前記圧力トランスジューサは、前記流体使用ツールへの流体入口で前記流れ回路に配置される流体保存および分配システム。
- 前記ポンプが、分配ショットポンプを備える、請求項148に記載の流体保存および分配パッケージ。
- 前記流体使用ツールが、自身に関連する下流のディスペンサを有する、請求項148に記載の流体保存および分配システム。
- 流体保存および分配パッケージのライナー内でゼロまたは略ゼロヘッドスペース状態を達成する方法であって、分配は、前記ライナーに結合されたプローブの放出通路を通して前記ライナーの内容積から流体を放出するために、前記ライナーに圧力を加えて、それを漸進的に圧縮することによって実行され、前記プローブは、前記放出通路への開口部を含む先端を有するずんぐりしたプローブであり、前記ずんぐりしたプローブの前記先端は、前記ライナーから流体を放出するためにヘッドスペースガスを除去するために、前記ライナーの前記内容積の上部分に配置される方法。
- 流体を分配するために圧力を受ける折りたたみ式ライナーから流体を供給する方法であって、時間の関数として前記分配流体の圧力を監視することと、前記ライナーからの流体の枯渇への所定の接近を示すものとして、圧力と時間の関数の圧力勾配低下を測定することとを含み、前記ライナーからの流体が枯渇へと前記所定の接近時点で、前記ライナーから流体をさらに分配するために、前記ライナーに圧力スパイクを与える方法。
- 前記圧力スパイクを与えた後に前記ライナーから分配される流体が、前記ライナーからの流体の枯渇中に過渡的な流体供給用のリザーバへと流れる、請求項152に記載の方法。
- 流体保存および分配容器のキャップに結合するために、コネクタ本体と、前記コネクタ本体が前記キャップ上のロック位置にある第1の位置から、自身を上方向に引っ張ることによって前記コネクタ本体が解放可能である第2の位置へと旋回自在に動作するために、前記コネクタ本体に装着されるハンドルと、コネクタ本体に装着され、前記キャップとロック係合する第1の位置と、前記キャップを解放する第2の位置との間で動作することができるクランプとを備え、前記ハンドルの端部が、前記ハンドルの前記第1の位置および前記クランプの前記第1の位置で前記クランプと係合可能であり、前記ハンドルの前記第2の位置および前記クランプの前記第2の位置で前記クランプから係合解除されるカムと結合する分配アセンブリ。
- 前記ハンドルがねじりばねと結合し、前記コネクタ本体と前記ハンドルを相互接続して、前記第1の位置と第2の位置の間の前記ハンドルの前記動作を容易にする、請求項154に記載の分配アセンブリ。
- 前記ハンドルが第2の位置へと動作した場合に、前記クランプを前記第2の位置へと並進させるために前記ハンドルと結合するホィールをさらに備える、請求項154に記載の分配アセンブリ。
- 前記ハンドルと結合し、前記ハンドルが第2の位置へと並進した場合に、前記容器の表面と係合して、前記表面に力を加え、前記キャップからの前記コネクタヘッドの取り外しを補助することができる少なくとも1つの押し出しカムをさらに備える、請求項154に記載の分配アセンブリ。
- 流体を使用する装置と、ライナーを圧縮して、そこから流体を分配するために、加圧ガスを与えることができるライナーを含む流体保存および分配パッケージを含む流体供給部とを含み、前記ライナーが分配作業中に自身を通って前記ライナーから流体を流すためにコネクタに結合され、さらに、前記コネクタおよび前記流体使用装置に結合する流れ回路を備え、前記ライナーが上部分に流体分配口を含み、前記コネクタが、前記流体分配口と結合するプローブを含み、前記プローブがずんぐりしたプローブを備え、それによって前記分配作業前に前記ライナーからヘッドスペースガスを通気することができ、その後、前記分配作業中に自身全体でヘッドスペースが最小限に抑えられるプロセスシステム。
- ずんぐりしたプローブを含み、キャップを含む流体保存および分配パッケージの前記キャップと結合することができるコネクタ。
- 流体保存および分配パッケージのキャップと結合した状態の、請求項159に記載のコネクタ。
- 流れ回路によってキャップ付き流体保存および分配パッケージに結合し、前記流れ回路が、前記キャップと噛み合い係合したコネクタに結合され、前記キャップおよびコネクタが請求項1に記載の事前検証結合部を備える、半導体製造ツール。
- 請求項39に記載の流体使用ツールおよび流体供給システムを含み、流体を分配する関係で、前記流れ回路によって前記流体使用ツールに作動状態で結合する半導体製造システム。
- 請求項53に記載の流体使用ツールおよび流体供給システムを含む半導体製造システム。
- 請求項68に記載の流体使用ツールおよび流体保存および分配システムを含む半導体製造システム。
- 流体保存および分配容器のキャップと係合することができるコネクタであって、前記キャップが、前記キャップの誤結合および再使用を防止するために自身に結合したキーコード構造を有し、前記コネクタがずんぐりしたプローブを備えるコネクタ。
- 自身上に第1のロック位置と第2の解放位置の間で動作可能なハンドルが装着される、請求項165に記載のコネクタ。
- 流体保存および分配容器に結合することができるキャップと、前記キャップの誤結合および再使用を防止するために、前記キャップに結合するキーコード構造を備えるキャップアセンブリ。
- 流体試薬を使用することを含む半導体製品の製造方法であって、前記流体試薬が、前記流体試薬を保持するライナーを含む流体保存および分配パッケージから供給され、前記ライナーが、前記流体を圧力で分配するために外部圧力を受け、前記ライナーが、前記流体の圧力分配中にゼロまたは略ゼロヘッドスペース状態に維持される方法。
- 前記流体保存および分配パッケージが、流れ回路によって半導体製造ツールに結合し、前記流体の圧力分配中に、前記流れ回路内に最小限のヘッドスペースが維持される、請求項168に記載の方法。
- 前記流体の圧力分配中に前記流れ回路内に最小限のヘッドスペースが維持される、請求項169に記載の方法。
- 前記流体の圧力分配中に、前記ライナーがずんぐりしたプローブを含むコネクタに結合される、請求項168に記載の方法。
- 前記流体保存および分配パッケージが、請求項26に記載の流体保存および分配パッケージを備える、請求項168に記載の方法。
- 前記流体保存および分配パッケージが、前記ライナーに結合したキャップを含み、前記ライナーが剛性オーバーパック内に配置され、前記キャップが、圧力で分配された流体を流すためにずんぐりしたプローブを含むコネクタと結合する、請求項168に記載の方法。
- 前記流体保存および分配パッケージが、流体を使用する半導体製造ツールに前記ライナーから前記流体を送出するために流れ回路と結合し、圧力分配中に前記ライナーから前記流れ回路に分配された流体の圧力を感知することと、前記ライナー内の流体の枯渇開始と相関がある圧力変化率の増加を判断するために、前記流体の圧力変化率を監視することとを含む、請求項168に記載の方法。
- (原文に記載なし)
- (原文に記載なし)
- (原文に記載なし)
- (原文に記載なし)
- 請求項57の方法で前記製造のために流体を供給することを含む、半導体製品の製造方法。
- 前記製造に流体を供給するために、請求項68に記載の流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
- 前記製造に流体を供給するために、請求項98に記載の取付具シールを含む流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
- 前記製造に流体を供給するために、請求項110に記載のキャップを含む流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
- 前記製造に流体を供給するために、請求項113に記載の流体保存および分配パッケージを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
- 前記製造に流体を供給するために、請求項120に記載のキャップを含む流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
- 前記製造に流体を供給するために、請求項124に記載の流体保存および分配パッケージを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
- 前記製造に流体を供給するために、請求項131に記載の流体保存および分配パッケージを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
- 前記製造に流体を供給するために、請求項133に記載の流体保存および分配パッケージを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
- 前記製造に流体を供給するために、請求項140に記載の流体保存および分配パッケージを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
- 前記製造に流体を供給するために、請求項146に記載のキャップを含む流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
- 前記製造に流体を供給するために、請求項147に記載のキャップを含む流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
- 前記製造に流体を供給するために、請求項148に記載の流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
- 請求項1に記載の事前接続検証結合部でパッケージを製作することを含む、流体保存および分配パッケージの作成方法。
- 請求項38に記載の事前接続検証結合部でパッケージを製作することを含む、流体保存および分配パッケージの作成方法。
- 請求項98に記載の取付具シールでパッケージを製作することを含む、流体保存および分配パッケージの作成方法。
- 請求項110に記載のキャップでパッケージを製作することを含む、流体保存及び分配パッケージの作成方法。
- 請求項120に記載のキャップでパッケージを製作することを含む、流体保存及び分配パッケージの作成方法。
- 請求項146に記載のキャップでパッケージを製作することを含む、流体保存及び分配パッケージの作成方法。
- 請求項147に記載のキャップでパッケージを製作することを含む、流体保存及び分配パッケージの作成方法。
- キーコードリングを含むコネクタ付きのキャップコネクタでパッケージを製作することを含む、流体保存及び分配パッケージの作成方法。
- キャップの誤結合および再使用を防止するために自身に結合されたキーコード構造でパッケージを製作することを含む、流体保存及び分配パッケージの作成方法。
- 流体保存および分配容器に結合したキャップからのプローブコネクタの取り外しを容易にする方法であって、前記プローブコネクタは、前記プローブコネクタを前記キャップにロック固定するクランプを有し、前記クランプが前記キャップとロック係合する下位置から、前記ハンドルが前記ハンドルを上方向に引くことによって前記クランプの解放および前記プローブコネクタの取り外しを可能にする上位置へと並進可能なハンドルを、前記プローブコネクタに製作することを含む方法。
- 前記プローブコネクタが、図9〜図17、図28〜図31、図35〜図36および図38〜図44のいずれか1つに関して図示し、説明したような構造を備える、請求項201に記載の方法。
- 図9〜図17、図28〜図31、図35〜図36および図38〜図44のいずれか1つに関して図示し、説明したような構造を備える分配ヘッドコネクタ。
- 図45および図46のいずれか1つに関して図示し、説明したような構造を備える分配ヘッドコネクタ。
- 本体部分を備え、前記本体部分に装着され、その上で上位置と下位置の間で旋回状態で並進可能であるハンドルを含む材料保存および分配パッケージのコネクタであって、前記コネクタは、材料保存および分配容器を閉じるために、それと結合することができ、前記コネクタは、前記容器から材料を分配する分配アセンブリを含み、さらに、前記ハンドルと作動状態で結合し、前記ハンドルが前記下位置にある場合に、前記材料保存および分配容器から前記コネクタが外れることを防止することができる圧力逃がし装置と、前記圧力逃がし装置と作動状態で結合し、前記ハンドルがこのような下位置へと旋回状態で並進した場合に、前記ハンドルを前記下位置にて維持する止め要素とを含み、前記止め要素は、前記圧力逃がし装置をして前記容器を周囲圧力に通気させ、前記ハンドルが上方向に旋回状態で並進できるようにするために、選択的に係合解除可能であり、その後に前記コネクタは、前記ハンドルが前記上位置にある場合に、前記容器から係合解除可能であり、それによって前記周囲圧力で前記コネクタを前記容器から係合解除できるようになるコネクタ。
- 圧力逃がし装置が前記ハンドルの対向する各端に作動状態で結合する、請求項205に記載のコネクタ。
- 前記ハンドルの前記対向する端部が、前記コネクタの前記本体部分に結合する心棒部分を備える、請求項206に記載のコネクタ。
- 前記止め要素のうち2つを備え、前記心棒部分がそれぞれ、前記止め要素のうち対応する一方と係合可能なカム表面を備え、前記止め要素がそれぞれ、前記ハンドルの動作を防止するロック位置へとばねで付勢され、ロック位置から係合解除し、その後に前記ハンドルを動作可能にするために手動で押下可能であるボタンを供える、請求項207に記載のコネクタ。
- 前記コネクタと結合した場合に、加圧ガスを容器に流すことができる加圧ガス入口アセンブリをさらに備える、請求項205に記載のコネクタ。
- 前記圧力逃がし装置が、三方弁を備える、請求項205に記載のコネクタ。
- 前記止め要素が、前記ハンドルと係合するロック位置と解放位置との間で手動で並進可能である滑動部材を備える、請求項205に記載のコネクタ。
- 前記止め要素が、前記ハンドルと係合するように突起要素を拡張させるように選択的に作動可能であり、前記突起要素を収縮させて、これを前記ハンドルから係合解除させるように停止可能なシリンダを備える、請求項205に記載のコネクタ。
- 前記突起要素が前記ハンドルの心棒部分と係合する、請求項212に記載のコネクタ。
- 前記突起要素が、自身と結合した付勢ばねの作用によって並進する、請求項212に記載のコネクタ。
- 材料保存および分配容器と、前記容器を閉じるためにそれと結合する、請求項205に記載のコネクタとを備える、材料保存および分配パッケージ。
- 前記容器内にライナーをさらに備える、請求項215に記載の材料保存および分配パッケージ。
- 前記ライナーが、化学試薬を保持する、請求項216に記載の材料保存および分配パッケージ。
- 前記化学試薬が、フォトレジストを含む、請求項217に記載の材料保存および分配パッケージ。
- 半導体製造ツールと結合した状態の、請求項217に記載の材料保存および分配パッケージ。
- 前記コネクタが、さらに、前記コネクタの前記分配アセンブリを通して前記容器から材料を圧力の補助で分配するために、加圧ガス入口を備える、請求項215に記載の材料保存および分配パッケージ。
- 材料が容器内に配置され、コネクタが前記容器に結合されて、閉じ込めパッケージを形成する材料の保存および分配方法であって、前記コネクタは、前記容器内の圧力が封じ込められる第1のロック位置と、前記容器と前記パッケージの周囲環境との圧力差がない状態で前記コネクタを前記容器から外すことができる第2の位置との間で並進可能なハンドルを含み、前記方法は、前記ハンドルが第1の位置にある間に、前記ハンドルが前記第1のロック位置から前記第2の位置へと並進できるように、前記容器を選択的に減圧することを含む方法。
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