KR102537815B1 - 타이트레이터 시약 저장소용 캐미컬 공급장치 - Google Patents

Abstract

상부에 관로상의 결합부를 이루면서 캐미컬의 통로로 이용되는 저장통결합부를 가지며, 하부에 배출구를 가지고, 캐미컬의 일정량을 수용할 수 있도록 형성되는 복수의 저장통, 결합 상태에서 상기 저장통결합부를 통해 내부에 수용된 캐미컬이 중력에 의해 저장통으로 떨어지도록 이루어지는 용기결합부를 하부에 가지며(설치 상태 기준) 캐미컬의 일정량을 수용할 수 있도록 형성되는 복수의 캐미컬 용기를 구비하며, 상기 저장통과 상기 캐미컬 용기에는 오결합 방지를 위한 상호인식구조가 설치되어 해당 캐미컬이 같은 캐미컬 용기와 저장통만 서로 결합될 수 있도록 이루어진 것을 특징으로 하는 캐미컬 공급 장치가 개시된다.
본 발명에 따르면, 캐미컬 공급장치에서 캐미컬 장착 및 교체 오류를 방지 혹은 경감할 수 있고, 캐미컬 용기 교체를 용이하게 할 수 있고, 교체시의 내용물의 누출을 억제하고, 버블 발생을 억제할 수 있으며, 캐미컬 공급의 중단 없이 캐미컬 용기를 교체할 수 있다.

Description

타이트레이터 시약 저장소용 캐미컬 공급장치{chemical supplyer for titrator reagent reservoir}

본 발명은 화학물질을 준비하고 공급할 수 있는 캐미컬 공급장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 각 캐미컬 소진에 대비하여 쉽고 정확하게 개별 캐미컬 용기를 교체할 수 있는 캐미컬 공급장치에 관한 것이다.

반도체 장치 제조 공정 등에서는 매우 많은 공정이 이루어지고, 각 공정마다 다양한 종류의 화학물질들이 사용된다. 그리고 이런 화학물질들은 매우 정확한 조건들, 가령 매우 정확한 농도나 혼합비, 온도, 산도 등을 가져야 한다.

가령, 타이트레이터 시약 저장소(titrator reagent reservoir)는 몇 가지 시약을 상시적으로 준비하고, 적정할 대상물에 따라 그에 필요한 시약을 공급하는 장치이며, 적정 작업 자체가 통상 매우 정밀한 시약 공급이 필요하고, 시약의 양이나 종류에 오류가 생기면 매우 큰 문제가 발생하게 되며, 따라서 정확한 종류의 시약을 정확한 양으로 공급하는 것이 관건이 된다.

이런 다양한 종류의 화학물질의 적정 조건을 항상 만족시키고, 정확한 조건과 시간에 필요한 공정이나 장치에 원활히 공급하기 위해서는 공정 설비나 장치 내에서 해당되는 다수의 캐미컬을 준비하고, 필요할 때마다 이를 제공하는 공급장치가 필요하다. 가령, 어떤 캐미컬 탱크와 관련된 캐미컬 농도 모니터링 장치에서는 센서를 통해 해당 캐미컬의 농도를 감시하면서, 필요에 따라 캐미컬의 조건을 조절하기 위한 몇 가지 성분 캐미컬들을 공급할 수도 있고, 캐미컬의 적정을 위한 테스트 캐미컬들을 감시장치에 제공할 수도 있다.

그런데, 복수의 캐미컬이 적재되는 캐미컬 공급 장치에서 모든 캐미컬이 한꺼번에 공급되어 사용되고 보충, 교체되어야 하는 것이 아니다. 가령, 캐미컬마다 사용량이 달라질 수 있으며, 따라서 공급 장치에서는 수시로 부족하기 쉬운 캐미컬 종류를 파악하고, 이를 적시에 공급할 수 있도록 준비해야 한다.

사용량이 매우 큰 경우가 아니면, 일정 용량의 캐미컬 용기를 준비하고, 캐미컬 용기 자체를 교체하여 모자란 캐미컬 양을 보충하는 방법을 사용하게 되는 경우가 많다.

도1은 종래의 타이트레이터 시약 저장소용 캐미컬 공급 장치의 일 예를 나타내는 개략적 구성 개념도이다.

여기서는 하부에 복수 개의 캐미컬 용기(10)가 놓이고, 캐미컬 용기의 입구를 닫는 뚜껑(11)에 형성된 홀을 통해서 용기 하부에 이르는 배출관(20)이 설치되며, 배출관의 다른 쪽 단부는 배출펌프(30)와 연결되어 있다. 배출펌프(30)는 배출관(20)을 통해 용기(10) 내의 캐미컬을 끌어올려 이 캐미컬이 필요한 곳에 공급하게 된다. 배출펌프(30)의 구동은 해당 캐미컬 공급을 조절하는 콘트롤러(40)에 의해 통제된다.

그러나, 이런 형태의 캐미컬 공급장치에서는 하나의 용기에서 캐미컬이 소진되면, 그 캐미컬을 채운 같은 형태의 용기를 준비하고, 해당 위치에서 비어있는 용기와 교체하게 된다. 이를 위해 먼저 캐미컬이 채워진 새로운 용기의 뚜껑을 열고, 한편으로 해당 위치의 소진된 용기의 뚜껑을 열고, 소진된 용기를 해당 위치에서 제거하고, 새로운 용기를 해당 위치에 놓고, 배출관이 달린 뚜껑을 새로운 용기와 결합시키는 작업이 통상 이루어지게 된다.

그런데, 같은 공급 장치 내에서 몇 가지 종류의 캐미컬을 운용하는 경우로서 같은 용량의 용기를 다수 준비하여 비록 캐미컬 종류는 달라도 같은 종류의 용기에 채우고, 부족한 캐미컬이 생기면 용기 채로 교체하는 방식을 사용하는 도1과 같은 경우, 용기의 형태와 크기가 같아 교체해야 할 캐미컬 종류를 혼동하여 적절하지 않은 위치에서서 다른 캐미컬이 수용된 용기를 대체, 교환하는 문제가 발생할 수 있다. 용기에 캐미컬 종류별 표식을 하여도 작업자의 부주의한 순간에 오류의 가능성은 상존한다.

매우 정밀한 공정이 요구되는 반도체 장치 제조 공정, 정밀한 캐미컬 적정이 요구되는 장치 등에서 이러한 캐미컬의 혼동은 공정이나 캐미컬 공급 장치에 치명적 결과를 가져올 수 있다.

따라서, 작업자는 주의를 집중하여 이런 잘못 교환이 없도록 해야 하지만 인간의 작업에서는 실수가 항시 발생할 수 있는 것이므로 원천적으로 이런 오교체의 문제를 제거할 수 있는 구성을 가진 복수 캐미컬 공급 장치가 요청된다.

그리고, 이런 방식에서는 배출관 단부가 거의 용기의 저면까지 내려오도록 설치되지만, 약간의 틈이 생기고, 용기의 저면에 깔린 캐미컬을 모두 사용하는 것은 어렵고 교체시 캐미컬 잔량이 발생하게 된다. 역으로, 잔량이 없는 경우에는 캐미컬을 공급할 수 없는 상태가 되므로 교체 및 공정 중단이 통상 뒤따르게 된다. 따라서, 이런 방식에서는 잔량을 약간 남긴 상태에서 센서가 잔량을 감지하여 캐미컬 용기 교체 신호를 주고, 경고를 하게 된다.

또한, 용기를 교체할 때에는 배출관이 뚜껑과 함께 용기에서 분리되면서 캐미컬을 공급할 수 없게 되고, 연속적인 공정 진행이 필요한 경우 등에서는 복수 캐미컬 공급 장치에서 캐미컬을 보충 교체하는 데 따른 공정 중단이 발생하면서 이에 따른 많은 문제가 생길 수 있고 이를 방지하기 위해 공급 경로 연결이 복잡해지고 설비 비용이 증가할 수 있다.

또한, 작업이 이루어질 때 주변 환경상 충분한 작업 공간이 확보되지 못할 수 있으며, 교체 구성의 구체적인 형태에 따라서는 캐미컬이 흘러나와 주변을 오염시키거나, 작업자의 건강에 해로운 물질이 작업자에게 묻거나 튀어 작업 환경을 해치고 작업자의 건강을 해치는 문제가 발생할 가능성이 높아질 수 있다. 도1의 구성에서도 소진된 용기와 새로운 용기를 교체하는 과정에서 뚜껑에 달린 배출관이 용기 밖으로 드러날 때 배출관에 채워지거나 묻어 있는 캐미컬이 주변에 떨어지거나 튈 가능성이 있다.

배출관이 드러나면 배출관의 캐미컬이 누출될 뿐만 아니라 배출관 속에 공기가 들어갈 수 있고, 이런 공기는 용기 교체 후에도 계속 남아 캐미컬 공급 라인에서 버블을 생성하고, 공정 중에 이런 버블이 있는 채로 캐미컬이 공급되어 공정의 문제가 생길 수도 있다.

따라서, 이상과 같은 문제들을 예방, 억제할 수 있도록, 교체 작업의 편의를 가질 수 있는 구성을 가진 장치, 교체시의 캐미컬 누출의 문제가 없거나 매우 작은 구성을 가진 장치, 보충이나 교체 작업시 복수 캐미컬을 계속 공급할 수 있고 따라서 공정 중단 등의 문제가 없는 구성을 가진 캐미컬 공급장치가 요청된다.

대한민국특허출원 10-2002-0009916

본 발명은 상술한 기존 문제들을 경감, 제거할 수 있는 캐미컬 공급장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

즉, 본 발명은, 캐미컬 장착 및 교체 오류를 방지 혹은 경감할 수 있는 구성을 가지는 캐미컬 공급장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 캐미컬의 장착 교체를 용이하게 할 수 있고, 교체시의 내용물의 누출을 억제하고, 버블 발생을 억제할 수 있는 구성을 가지는 캐미컬 공급장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 또한 캐미컬 공급의 중단 없이 캐미컬 공급 용기를 교체할 수 있는 캐미컬 공급장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 상부에 관로상의 결합부를 이루면서 캐미컬의 통로로 이용되는 저장통결합부를 가지며, 하부에 배출구를 가지고, 캐미컬의 일정량을 수용할 수 있도록 형성되는 저장통,

결합 상태에서 상기 저장통결합부를 통해 내부에 수용된 캐미컬이 중력에 의해 저장통으로 떨어지도록 이루어지는 용기결합부를 하부에 가지며(설치 상태 기준) 캐미컬의 일정량을 수용할 수 있도록 형성되는 캐미컬 용기를 구비하며,

상기 저장통과 상기 캐미컬 용기에는 오결합 방지를 위한 상호인식구조가 설치되어 해당 캐미컬이 같은 캐미컬 용기와 저장통만 서로 결합될 수 있도록 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 발명에서 상호 인식구조는 상기 저장통결합부와 상기 용기결합부에 설치되는 것일 수도 있고, 저장통결합부 및 용기결합부와 별도의 대응 부분에 형성되는 것을 수 있다.

본 발명에서 저장통과 캐미컬 용기 사이의 매개체인 키부재가 더 구비되고, 상호인식구조는, 키부재와 저장통 사이의 결합이 이루어지는 결합부와, 키부재와 캐미컬 용기 사이의 결합이 이루어지는 결합부 가운데 적어도 한 곳에 설치될 수 있다.

본 발명에서 저장통결합부와 용기결합부의 적어도 한쪽은 원터치 결합부를 채용하여 저장통과 캐미컬 용기 사이에 캐미컬이 유통되도록 이루어질 수 있다.

본 발명에서 저장통결합부와 용기결합부의 적어도 한쪽은 수동 밸브를 채용하여 저장통과 캐미컬 용기 사이에 캐미컬 유통이 제어되도록 이루어질 수 있다.

본 발명에 따르면 캐미컬 공급장치에서 캐미컬 장착 및 교체 오류를 방지 혹은 경감할 수 있다.

본 발명에 따르면 캐미컬 공급장치에서 캐미컬 용기 장착 교체를 용이하게 할 수 있고, 교체시의 내용물의 누출을 억제하고, 버블 발생을 억제할 수 있다.

또한 본 발명에 따르면 캐미컬 공급의 중단 없이 캐미컬 공급 용기를 교체할 수 있다.

도1은 기존의 캐미컬 공급장치의 구성을 개략적, 개념적으로 도시한 구성개념도,
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 타이트레이터 시약 저장소용 캐미컬 공급장치를 도1과 대비할 수 있도록 개략적 개념적으로 도시한 구성 개념도,
도3은 본 발명의 다른 실시예에서의 상호인식구조를 통해 서로 결합되는 저장통과 키부재와 캐미컬 용기를 이격된 혹은 분해된 상태로 나타내는 사시도,
도4는 도3의 실시예에서 키부재와 저장통 사이의 상호인식구조를 나타내는 부분적 사시도,
도5는 도4의 상호인식구조를 이루는 부분들에 의한 정상체결시와 체결불가시의 위치관계를 대비하여 나타내는 단면도,
도6은 본 발명의 제3 실시예에서의 저장통의 접속장치부와 캐미컬 용기의 결합부의 구성을 나타내는 단면도,
도7은 본 발명의 제4 실시예에서의 저장통의 접속장치부와 캐미컬 용기의 결합부의 구성을 나타내는 단면도,
도8은 본 발명의 제5 실시예에서의 저장통의 접속장치부와 캐미컬 용기의 결합부의 구성을 나타내는 단면도,
도9는 본 발명의 제6 실시예에서의 저장통의 접속장치부와 캐미컬 용기의 결합부의 구성을 나타내는 단면도,
도10은 캐미컬 용기와 하부 저장통 사이의 캐미컬 통로에 수동 밸브가 있는 경우의 문제점을 설명하기 위한 사시도,
도11은 도10과 같은 구성상의 문제점을 해결하기 위한 구성을 가지는 캐미컬 공급 장치의 부분을 나타내는 사시도,
도12는 하부 저장통에 캐미컬 용기가 정합될 때에만 수동 밸브 전방의 안전 커버가 열릴 수 있도록 하는 구성의 일 실시예를 설명하기 위한 사시도,
도13은 하부 저장통에 캐미컬 용기가 정합되고 수동 밸브가 개방되면 캐미컬 용기와 저장통이 분리될 수 없도록 체결되는 실시예를 설명하기 위한 사시도이다.

이하 도면을 참조하면서 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다.

도2를 참조하여 전체적인 구성을 보면, 본 실시예의 캐미컬 공급장치는 복수의 저장통((150)과 복수의 캐미컬 용기(110)를 구비하여 이루어진다.

저장통(150)은 상부에 관로상의 결합부를 이루면서 캐미컬의 통로로 이용되는 저장통결합부(153)를 가지며, 하부에 배출관(120)의 일단 혹은 배출구가 설치되고, 캐미컬의 일정량을 수용할 수 있도록 형성된다.

캐미컬 용기(110)는 내부에 캐미컬의 일정량을 수용할 수 있도록 형성되며, 하부에 용기결합부(113)를 가진다. 용기결합부(113)는 캐미컬 용기(110)와 저장통(150)이 캐미컬을 유통할 수 있도록 결합된 상태에서 저장통결합부에 결합되는 부분이며, 캐미컬 용기(110) 내부에 수용된 캐미컬이 중력에 의해 하강하여 저장통결합부(153)를 통해 저장통(150)으로 떨어지도록 이루어진다.

여기서도 도1과 같이 배출관(120)의 다른 일단이 배출펌프(130)와 연결된다. 배출펌프(130)는 배출관(120)을 통해 용기 내의 캐미컬을 이 캐미컬이 필요한 곳에 공급하게 된다. 배출펌프(130)의 구동은 해당 캐미컬 공급을 조절하는 콘트롤러(140)에 의해 통제된다.

이런 구성에서는 저장통(150)이 하부에 위치하고, 저장통에 연결되는 캐미컬 용기(110)가 상부에 위치하여 중력에 의해 자연스럽게 캐미컬이 캐미컬 용기에서 저장통으로 이동할 수 있다. 캐미컬 용기에서 용기결합부(113)를 하단에 설치하면 실질적으로 잔량 없이 모든 캐미컬이 저장통(150)으로 전달될 수 있으며, 저장통은 일정량의 캐미컬을 수용할 수 있으므로 캐미컬 용기(110)가 비워진 상태에서 캐미컬 용기를 저장통과 분리시킬 때에도 저장통의 캐미컬이 저장통 하부에 설치된 배출관을 통해 상당 기간동안 필요한 곳에 지속적으로 공급될 수 있다.

이런 저장통과 캐미컬 용기의 위치관계 구성은 가정이나 사무실에서 많이 사용되는 생수통을 이용한 일부 냉온수기와 공통점을 가진다. 즉, 생수통의 입구를 아래로 하여 냉온수기의 상면에 설치된 결합용기부에 놓으면 생수통의 물은 결합용기부로 공급되고, 생수통 입구가 담기도록 결합용기부에 일정 수위로 채워진 물은 결합용기부의 하부에 설치된 배출관을 통해 온열관로 혹은 냉수관로로 공급될 수 있다.

도3은 보다 구체화된 다른 실시예에서 본 발명을 이루는 복수의 저장통과 복수의 캐미컬 용기 중 서로 결합되는 하나의 저장통과 하나의 캐미컬 용기(110)를 나타낸다. 단, 이 실시예에서는 저장통(150)과 캐미컬 용기 사이에 키부재(160)가 구비되고, 키부재(160)가 저장통(150)과 캐미컬 용기(110) 사이의 물리적 결합의 일부를 담당하고 있다. 키부재는 저장통과 캐미컬 용기의 결합부가 벽체에서 돌출되어 형성된 경우 저장통과 캐미컬 용기의 사이 공간을 채워서 둘 사이의 결합을 안정적으로 할 수 있도록 하는 역할도 할 수 있다.

여기서는 본 발명의 상호인식구조로서, 저장통의 상면과 키부재의 하면에 상호인식구조가 형성된 것을 예시하고 있다.

도4 및 도5를 도3과 함께 참조하면서 이런 상호인식구조를 보다 상세하게 설명하면,

캐미컬 용기(110)는 대략 직육면체 용기로 이루어지고, 상부에 손잡이 및 캐미컬 유입구가 형성되고 하부 일측에 용기결합부(113)가 설치된다. 용기결합부(113a)가 용기의 저면에 설치된 것이 아니라서 이런 실시예에서는 캐미컬 잔량이 발생할 수 있다. 여기서 이 캐미컬 용기(110)는 캐미컬A를 수용하기 위한 A형 용기라고 상정한다.

키부재(160) 상부는 캐미컬 용기의 하부를 일부 감싸면서 결합되며, 용기결합부가 아래로 노출되도록 해당 부분이 제거된 형태(제거부: 161)를 보이고 있다. 여기서 이 키부재는 캐미컬A를 수용하기 위한 용기와 결합되기 위한 A형 키부재로 상정한다.

여기서는 명확히 도시되지 않지만 A형 키부재(160)의 상부와 A형 용기의 하부는 전용적으로 결합하기 위한 상호인식구조를 가질 수 있다. 단, 여기서는 일단 이 부분에는 별도의 상호인식구조는 가지지 않고, 키부재가 일종의 캐미컬 용기의 부속으로서 캐미컬 용기의 일부를 구성하는 것처럼 생각하고 키부재의 상호인식구조는 캐미컬 용기의 상호인식구조라고 생각하기로 한다. .

A형 키부재(160)에서 하면은 저장통(150) 상면 위에 접하면서 놓이게 되며, 키부재 하면의 중간 부분에는 오목한 원형 홈(163)이 형성되고 이 원형 홈(163)에는 상호인식구조의 한쪽 혹은 제1 부분(165)이 설치된다. 제1 부분(165)은 원형 홈(163) 내에서 회전할 수 있는 판재(165a)를 가지며, 판재(165a)는 화살표와 비슷한 형태로 일 방향을 가리킬 수 있도록 뾰족하게 각진 부분(165b), 이 각진 부분에서 하방으로 돌출되는 인식돌기(165c), 인식돌기의 반대쪽 부분에 있는 관통홀(165d)에 삽입되어 고정되는 결합핀(165e)을 가진다.

이 실시예에서 A형 키부재(160)는 판재(165a)의 각진 부분(165b)이 용기결합부(113a)를 향하는 위치에서 관통홀(165d)과 통하는 결합홈(165f)을 가진다. 따라서, 각진 부분(165b)이 이 키부재(160)와 결합된 캐미컬 용기(110)의 용기결합부(113a)를 지향하는 위치에서 결합핀(165e)이 관통홀(165d)을 통과하면서 결합홈(165f)에 끼워지면 판재(165a)는 더이상 원형 홈(163) 내에서 회전하지 않고 고정된다.

저장통(150) 상면에는 키부재(160)의 상호인식구조인 제1 부분(165)과 물리적으로 결합될 수 있도록 상호인식구조의 제2 부분(155)이 형성된다. 제2 부분(155) 설치를 위해 저장통(150)의 상면에는 키부재의 원형홈(163)에 대응되는 부분에서 저장통 상면벽체를 두껍게 형성한 후벽부(157)가 구비될 수 있다.

제2 부분(155)의 구성은 제1 부분(165)과 거의 같이 판재(155a)를 가지며, 판재(155a)는 화살표와 비슷한 형태로 일 방향을 가리킬 수 있도록 뾰족하게 각진 부분(155b), 각진부분의 반대쪽 부분에 있는 관통홀(155d)에 삽입되어 고정되는 결합핀(155e)을 가진다. 다만 제1 구조의 인식돌기(165c) 부분에 이 인식돌기와 결합될 수 있는 인식홈(155c)이 형성된다.

A형 캐미컬을 수용하도록 만들어진 A형 저장통에서, 제2 구조(155)의 판재(155a)는 저장통(150) 상면에서 회전가능한 상태로 있다가 각진 부분(155b)이 저장통결합부를 향하게 되면 결합핀(155e)을 관통홀(155d)을 통해 저장통 상면의 결합홈에 끼울 수 있고, 판재(155a)가 더이상 회전할 수 없도록 고정된다.

저장통(150)과 키부재(160)의 상호인식구조가 결합핀(155e, 165e)의 체결에 의해 확정된 상태에서 A형 키부재의 제1 부분(165)의 인식돌기(165b)는 A형 저장통의 제2 부분(155)의 인식홈(155b)과 정상적으로 결합될 수 있고, 정상적인 결합시에만 키부재의 바닥면(하면)은 저장통의 상면과 밀착될 수 있고, 캐미컬 용기의 용기결합부는 키부재의 제거부를 통해 저장통의 저장통결합부와 완전하게 접속될 수 있어서 캐미컬의 주변 누출없이 캐미컬 용기의 캐미컬이 저장통으로 잘 전달될 수 있다.

만약 키부재가 A형이 아닌 가령 B형 키부재(160')라면 제1 부분(165')의 다른 구성은 A형 키부재(160)에서의 구성과 같지만 결합홈의 위치가 달라져 있다. 즉, 키부재(160') 하면의 중간 부분에 형성된 오목한 원형 홈(163')에서 회전하는 판재(165a)에서, 일 방향을 가리킬 수 있도록 뾰족하게 각진 부분이 용기결합부를 향하지 않고 용기결합부를 가리키는 위치에서 가령 90도 회전된 위치에 올 때, 관통홀과 통하는 위치에 결합홈이 설치된다.

이러한 B형 키부재(160')를 B형 용기와 결합시킨 상태에서 A형 저장통(150) 위로 가져와 결합시키려고 하면, B형 키부재(160')의 제1 부분의 판재(165a')의 인식돌기(165c') 위치와 A형 저장통(150)의 제2 부분의 판재의 인식홈(155c) 위치가 서로 달라 인식돌기(165c')는 인식홈(155c)에 정상적으로 결합될 수 없고, 도면에서 정상적 체결시와 대비되어 도시된 오투입시와 같은 상태를 이루게 된다.

이렇게 되면 키부재와 저장통은 밀착되게 놓일 수 없고, B형 캐미컬 용기의 용기결합부와 A형 저장통의 저장통결합부는 이격된 상태가 되어 완전히 결합될 수 없고, 따라서 B형 캐미컬이 A형 저장통에 전달되는 것을 방지할 수 있다.

이상의 실시예에서는 키부재와 저장통에 상호인식구조가 형성된 예를 중심으로 설명하고 있지만, 키부재의 상부와 캐미컬 용기의 하부의 서로 대응하는 부분에 상호인식구조가 형성되는 실시예도 당연히 생각할 수 있으며, 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

본 발명에서 키부재가 구비되는 경우, 상호인식구조는, 키부재와 저장통 사이의 결합이 이루어지는 결합부와, 키부재와 캐미컬 용기 사이의 결합이 이루어지는 결합부 가운데 적어도 한 곳에 설치되는 것이므로, 당연히 두 결합부 모두에 상호인식구조가 설치되는 것도 가능하다.

한편, 두 결합부 가운데 어느 한쪽에만 설치되는 경우, 가령 키부재는 저장통의 일부를 이루는 부속으로 취급되고, 키부재와 캐미컬 용기 사이의 상호인식구조가 작용하여 결합되는 것을 저장통과 캐미컬 용기 사이에 상호인식구조가 작용하도록 구비된다고 볼 수도 있다.

이하에서는 도6 내지 도9를 참조하여 캐미컬 용기의 용기결합부와 저장통의 저장통결합부가 결합되는 여러 형태의 구성을 구체적으로 설명하기로 한다.

먼저 도6에서는, 용기결합부(113)와 저장통결합부(153)가 모두 원터치 결합부 구성을 가지는 경우를 도시하고 있다.

여기서 원터치 결합부는 저장통(150) 벽체나 캐미컬 용기(110)) 벽체와 같은 벽체에 형성된 관통구, 관통구를 덮으며 중앙부에 뚜껑홀이 형성된 뚜껑(113a, 153a), 뚜껑홀을 통해 일정 범위에서 움직도록 설치된 개폐밸브, 뚜껑(113a, 153a)에서 관통구 외측 방향으로 연장된 원통형 슬리브(113g, 153g)를 구비하여 이루어진다.

개폐밸브는 뚜껑 내측의 격벽플레이트(113b, 153b), 뚜껑 외측의 단턱플레이트(113e, 153e), 일단은 격벽플레이트(113b, 153b)와 연결되고 타단은 단턱플레이트(113d, 153d)와 연결되며 뚜껑홀을 통과하면서 움직일 수 있는 연결기둥(113c, 153c)을 구비한다. 뚜껑(113a, 153a)과 단턱플레이트(113d, 153d) 사이에는 코일 스프링(113f, 153f)과 같은 탄성 복원재가 설치된다. 격벽플레이트의 외측면 주변부에는 패킹(113e, 153e)이 설치된다.

저장통(150)과 캐미컬 용기(110)의 원터치 결합부는 상호 체결 전에는 코일스프링(113f, 153f)이 원래의 긴 신장상태에 있고, 단턱플레이트를 뚜껑으로부터 외측으로 밀어 격벽플레이트의 외측면의 패킹(113e, 153e)이 뚜껑(113a, 153a)의 내측면과 밀착되어 캐미컬의 외부 누출을 방지하고 있다.

서로 결합되도록 대응되는 두 원터치 결합부의 하나에 설치된 원통형 슬리브는 상대적으로 직경이 크고 다른 하나에 설치된 원통형 슬리브는 상대적으로 직경이 작아 상호 결합시 직경이 작은 원통형 슬리브(113g)는 직경이 큰 원통형 슬리브(153g)에 끼워져 슬리브 결합을 이룰 수 있다. 내측의 직경이 작은 슬리브의 끝단에는 누출방지용 패킹(미도시)이 설치될 수 있다.

저장통과 캐미컬 용기가 가령 도5에서 도시된 것과 같은 정상적 결합상태가 되면 직경이 작은 원통형 슬리브는 직경이 큰 원통형 슬리브에 끼워져 슬리브 결합을 이루면서 이들 원통형 슬리브 내에서 뚜껑으로부터 상당 길이 돌출되어 있던 단턱플레이트는 서로 만나고 서로를 각각의 뚜껑쪽으로 밀게 된다. 단턱플레이트는 스프링에 의해 이동가능하게 지지되는 것이므로 조금씩 뚜껑쪽으로 이동하고, 이에 따라 각각의 격벽플레이트에 설치된 패킹은 뚜껑 내측면에서 이격되어 그 사이로 캐미컬이 이동할 수 있게 된다.

즉, 캐미컬 용기에서 캐미컬은 격벽플레이트와 뚜껑 사이 공간, 뚜껑홀과 연결기둥 사이의 공간 , 두 슬리브가 겹쳐 슬리브 결합을 하고 있는 내측 공간, 저장통에서 뚜껑홀과 연결기둥 사이의 공간, 격벽플레이트와 뚜껑 사이 공간을 통과하여 저장통 내로 이동하게 된다.

이렇게 결합된 상태에서 캐미컬 공급장치의 콘트롤러의 신호에 의해 배출펌프가 작동하면 배출펌프는 배출펌프가 연결되는 배출관의 일측 단부가 설치되는 저장통의 하부로부터 이 저장통에 수용되어 있는 캐미컬을 저장통 외부로 공급하게 된다. 이런 공급이 지속되면 캐미컬 용기의 모든 공급 가능한 캐미컬이 저장통으로 이동하게 되고, 저장통 혹은 캐미컬 용기의 캐미컬 양을 감시하는 센서가 이를 감지하면 다시 이 캐미컬 용기에 대한 교체작업이 이루어지게 된다.

교체작업시에는 먼저 캐미컬 용기를 위로 들어올려 두 원터치 결합부의 결합을 해제하고, 상호인식구조의 물리적 결합도 해제하여 저장통으로부터 이격시킨다. 그리고, 해당 캐미컬이 채워진 새로운 캐미컬 용기를 저장통 위로 접근시키고 상호인식구조에 의해 결합을 시키고, 마찬가지로 새로운 캐미컬 용기의 용기결합부와 저장통의 용기결합부가 물리적으로 혹은 배관상으로 결합되어 캐미컬이 캐미컬 용기에서 저장통으로 이동될 수 있도록 한다.

이런 작업에서는 분리시 원터치 결합부에서 스프링의 작용에 의해 개폐밸브가 이격즉시 캐미컬의 결합부를 통한 외부 누출을 막아 외부로 캐미컬이 나가 주변이나 작업자를 오염시키는 것을 방지할 수 있으며, 단순히 들어올리거나 정렬하여 놓는 동작으로 두 원터치 결합부의 결합을 해체하거나 체결할 수 있어서 간판하고 빠른 작업이 이루어질 수 있다.

또한, 이런 교체 작업시 저장통에는 상당한 량의 캐미컬이 잔존하여 외부로 공급이 가능하므로 공정을 멈추고 작업할 필요가 없다.

도7에서는, 용기결합부와 저장통결합부(253)에서 용기결합부는 단순히 벽체의 관통구에서 외측으로 슬리브가 설치되고, 슬리브 단부가 격막(213)으로 밀폐된 상태를 이루며, 저장통결합부(253)만 원터치 결합부 구성을 가지되 단턱플레이트(253d) 상부에는 격막(213)을 뚫기 위한 첨단부(253h)를 가지고, 단턱플레이트(253d)는 캐미컬 용기(210)의 슬리브와 닿도록 넓게 형성되고, 대신에 통과 구멍(253i)이 설치되어 이 통과 구멍으로 캐미컬이 흐를 수 있도록 하는 경우를 도시하고 있다.

이런 구성에서는 저장통(250)과 캐미컬 용기(210)의 결합을 할 경우, 두 결합부의 슬리브가 앞선 실시예와 같이 겹치도록 슬리브 결합이 이루어지면서 원터치 결합부의 단턱플레이트(253d) 상부에 있는 첨단부(253h)가 격막(213)을 뚫어 캐미컬이 아래로 흘러나올 수 있도록 한다. 또한, 캐미컬 용기의 슬리브는 저장통의 단턱플레이트(253d)를 아래로 밀어 격벽플레이트(253b)의 패킹(253e)과 뚜껑(253a) 내측면 사이가 벌어져 캐미컬이 이동할 수 있도록 하게 된다.

기존의 결합 상태에서 캐미컬 용기를 교체할 경우에는 캐미컬이 소진된 캐미컬 용기를 저장통으로부터 이격되도록 들어올리는 것으로 충분하다. 이런 경우, 캐미컬 용기 교체 신호를 주는 센서의 알람 시점에서 캐미컬은 이미 저장통으로 이동되어 소진된 상태가 되도록 하면 슬리브에는 캐미컬이 없고, 외부로 누출되어 오염을 일으키지 않을 수 있다.

도8에서는 저장통(350)과 캐미컬 용기(310) 양측에 모두 원터치 결합부 대신 관통부에 밸브(313b, 353b)를 결합한 배관(313a, 353a)을 설치하고 배관을 결합시키는 실시예를 도시하고 있다.

여기서도 위쪽 캐미컬 용기의 용기결합부(313)의 배관(313a)의 단부와 아래쪽 저장통의 저장통결합부(353)의 배관(353a)의 단부가 서로 다른 직경을 가져 슬리브 결합이 가능하게 하였다.

따라서, 상호인식구조에 의한 결합이 이루어지면서 슬리브 결합이 함께 이루어지도록 하고, 슬리브 결합이 이루어진 상태에서 밸브를 모두 개방하면 캐미컬 용기의 캐미컬이 저장통으로 이동하여 옮겨지게 된다.

캐미컬 용기의 캐미컬이 소진되어 교체가 필요하면 결합시와 역순으로 양쪽 밸브를 잠그고, 스리브 결합 및 상호인식구조에 의한 물리적 결합이 있다면 그것도 풀어서 캐미컬 용기를 저장통 위로 들어올려 쉽게 이격시키고, 새로운 캐미컬 용기를 정위치에 놓고, 밸브를 조절하여 교체가 이루어질 수 있다.

이런 경우는 교체시 캐미컬의 흐름을 가장 확실히 차단할 수 있으므로 다른 방식에서 오는, 가령 원터치 결합부에서의 부품 동작 오류에서 오는 캐미컬 누출 등의 문제를 방지할 수 있다.

도9에서는 저장통결합부(453)는 원터치 결합식으로 구성하고, 위쪽의 캐미컬 용기의 용기결합부는 도8의 실시예와 같은 밸브가 설치된 배관을 캐미컬 용기 벽체의 관통구에 설치하는 방식으로 구성하는 경우를 개시하고 있다.

여기서는 원터치 결합부의 구성에서 관통구에 설치되는 뚜껑(453a)의 중앙부에 돌기(453b)가 형성되고, 주변에는 제1슬리브(453c)가 형성되며, 돌기(453b)와 제1슬리브(453c) 사이에는 캐미컬 통로가 형성된다. 개폐밸브(453e)는 하방으로 돌기(453b)를 수용하는 홈이 형성되고, 스프링(453g)을 이 홈에 넣어 개재한 상태로 홈과 돌기는 개폐밸브(453e)가 상하로 이동가능하게 결합된다. 개폐밸브의 중간 부분에는 직경이 넓어지는 확장플레이트부가 설치되고, 확장플레이트부의 상면에는 패킹(453f)이 설치된다.

제1 슬리브(453c) 상단에는 제1 슬리브와 다른 직경을 가지는 제2 슬리브(453d)가 설치되고, 제2 슬리브(453d) 하단에는 서로 다른 직경을 커버하기 위한 단턱플랜지가 설치된다. 확장플레이트부 상면의 패킹(453f)은 단턱플랜지 내측면에 닿게 된다.

개폐밸브(453e) 등 저장통결합부(453)의 구체적 구성이 앞선 예의 원터치 결합부와 다소 차이를 가지지만 기능 원리는 여전히 같은 범주에 있다. 저장통결합부와 용기결합부의 상호 결합시, 용기결합부의 배관 단부가 저장통결합부의 제2 슬리브로 삽입되어 슬리브 결합을 하도록 하고, 용기결합부의 밸브를 열어주게 된다.

슬리브 결합에 따라 용기결합부의 배관 단부인 슬리브가 개폐밸브 상단을 하방으로 밀면 스프링이 압축되면서 확장플레이트부의 패킹은 단턱플랜지 내측면과 이격되어 그 사이로 캐미컬이 통과하여 저장통으로 캐미컬이 유입될 수 있다.

캐미컬 용기에서 캐미컬이 저장통으로 모두 이동하게 되면 센서가 이를 감지하여 교체시기를 알리고, 작업자는 용기결합부의 밸브를 닫고, 캐미컬 용기를 들어올려 저장통에서 분리시킨다. 그리고, 캐미컬이 충진된 새로운 캐미컬 용기를 정위치에 정렬하여 놓고, 다시 새로운 캐미컬 용기의 용기결합부의 밸브를 열어 교체를 완료하게 된다.

한편, 앞선 실시예들과 달리 도8 및 도9의 실시예의 경우, 캐미컬 용기와 저장통 사이의 정합이 이루어지면 캐미컬 용기의 캐미컬이 하부 저장통으로 바로 이동하는 것이 아니고, 캐미컬 용기와 저장통의 결합되는 부분인 각각의 결합부 가운데 적어도 하나에 설치된 밸브를 열어야 비로소 캐미컬이 이동하게 될 수 있다.

그런데, 이런 경우는 밸브의 존재로 인하여, 캐미컬 용기와 하부 저장통 사이의 정합이 정확히 이루어지지 않은 경우에도 밸브를 열 경우, 캐미컬 용기의 캐미컬이 아래로 내려올 수 있으므로 캐미컬 누출 문제 및 그에 따르는 문제, 즉, 제1 유형의 문제가 발생할 수 있다.

또한, 캐미컬 용기와 하부 저장통 사이의 정합이 정확히 이루어진 경우에도, 캐미컬 용기가 완전히 비워지기 전에 착오 등에 의해 밸브를 잠그지 않은 상태에서캐미컬 용기를 하부 저장통으로부터 들어올려 분리시킬 수 있으며, 이런 경우에 캐미컬 용기의 캐미컬은 분리와 함께 밖으로 누출될 수 있고, 그에 따른 문제, 즉, 제2 유형의 문제를 발생시킬 수 있다.

도10을 참조하면, 캐미컬 용기(510)와 하부 저장통(550) 사이의 결합이 이루어지고, 둘 사이의 결합부에서 캐미컬 통로를 열기 위한 밸브(513b)를 설치하고, 이 밸브의 조작이 의도하지 않게 이루어지거나 함부로 이루어지지 않도록 하나의 추가 장치로서 밸브 앞쪽에 안전 커버(565))를 설치하고 있다. 안전커버(565)가 닫힌 상태에서는 밸브(513b)의 조작은 물리적으로 불가능하게 될 수 있다.

이런 안전 커버(565)는 밸브(513b) 조작을 위해 한 번 더 절차를 거치도록 함으로써 결합부 통로에 밸브가 설치되는 경우의 앞서 언급한 문제를 줄이는 역할을 할 수도 있지만, 문제가 있는 경우에도 안전 커버의 조작이 가능하여 강제적으로 문제를 차단하는 역할을 하는 것은 아니다.

따라서 본 발명에서는 도11과 같은 추가 요소의 결합을 가진 실시예를 제시한다.

도11을 참조하면, 이 실시예에서는 도10과 같은 결합부 통로에 밸브(613b)가 설치된 경우에 있어서, 밸브(613b) 앞쪽의 안전 커버(665)를 설치하되, 제1 유형의 문제를 해결하기 위한 첫번째 추가요소로서 이 안전 커버(613b)는 닫힘 상태를 기본설정 상태 혹은 디폴트 상태로 하여 상부 캐미컬 용기(610)와 하부 저장통(650)이 정합된 상태에 있을 때에만 열리도록 이루어진다.

그리고, 이 실시예에서 밸브(613b)에는 제2 유형의 문제를 해결하기 위한 두번째 추가요소로서 이 밸브에 보조키 부분(613d)이 결합되도록 하고, 이 보조키 부분(613d)에 결합될 보조키 대응부(655))도 형성하고 있다.

첫번째 추가요소를 구현하는 구체적 구성은 여러 가지 기구 장치를 통해 이루어질 수 있지만 여기서는 밸브가 캐미컬 용기측에 설치되고, 안전커버도 캐미컬 용기측 혹은 키부재(660)측에 설치되고, 안전커버는 안전커버의 일측 하부에 있는 수직 회전중심축이 하부 설치홀에 삽입되어 결합된 상태를 전제로 구성하기로 한다.

이 실시예에서 하부 설치홀은 해당 캐미컬 용기 부분을 완전히 관통하는 형태이며 수직 회전중심축보다 긴 구간으로 형성된다. 하부 설치홀 하부에는 캐미컬 용기가 하부 저장통에 정합될 때에 하부 설치홀과 정렬되어 아래에서 위로 삽입되어 하부 설치홀의 하부에 끼워지는 안전커버 동작핀이 하부 저장통에 설치된다. 수직 회전중심축은 안전커버와 가까운 짧은 구간은 단면이 정사각으로 각지게, 먼 구간이 아래쪽은 단면이 원형으로 이루어진다. 하부 저장홀은 위쪽 짧은 구간이 단면이 정사각으로 각지게, 아래쪽 긴 구간은 단면이 원형으로 이루어진다. 수직 회전중심축의 정사각 단면 부분은 하부 설치홀의 정사각 단면 부분과 서로 정합되어 잘 끼워질 수 있으며, 정사각 단면 부분의 한 변의 길이는 원형 단면 부분의 지름보다 크게 형성된다.

따라서, 하부 저장통과 캐미컬 용기가 결합되지 않은 상태에서는 안전커버는 닫힌 상태이고, 이때 안전 커버의 수직 회전중심축은 하부 저장홀에 완전히 삽입되어 수직 회전중심축의 사각 단면 부분은 하부 설치홀의 사각 단면 부분과 서로 정합되어 회전할 수 없는 상태가 된다.

캐미컬 용기와 하부 저장통이 정합되면 안전커버 동작핀이 하부 설치홀의 하부로 삽입되어 안전커버의 수직 회전중심축을 안전커버 전체와 함께 위로 들어올린다. 물론 이때 캐미컬 용기에는 안전커버가 위로 들어올려질 수 있는 여유 공간을 가져야 한다. 그러면, 수직 회전중심축의 사각 단면 부분은 하부 설치홀의 사각 단면 부분(구간)에서 벗어나 위로 노출되고, 이 구간에는 수직 회전중심축의 아래 부분인 원형 단면 부분이 위치하게 된다. 따라서, 안전커버는 수직 회전중심축을 기준으로 회전이동하여 열림 상태가 될 수 있고, 밸브를 여는 것이 가능하다. 물론, 이때는 캐미컬 용기와 하부 저장통이 정확한 위치에 결합된 것이므로 밸브를 열어도 캐미컬이 통로 밖으로 누출되는 문제는 없게 된다.

이런 구성 대신에 안전커버(665) 회전을 방지하기 위해 수직 회전중심축(665a)이 완전히 하부 설치홀에 삽입되어 안전커버(665)가 아래쪽에 있는 상태에서는, 안전커버가 회전하지 못하도록 방해하는 스토퍼 혹은 걸림턱을 캐미컬 용기의 수직 회전중심축 주변에 설치하거나, 도11, 도12에서 보이는 것과 같이 주변의 홀(667)에 삽입되도록 안전커버(665)의 아래쪽에 핀(665b)을 형성하고, 캐미컬 용기(610)와 하부 저장통(650)이 정합되어 안전커버 동작핀이 안전커버(665) 및 수직 회전중심축(665a)을 들어 올리면 안전커버가 회전할 때 이 스토퍼를 피하여 회전하거나 핀(665b)이 홀(667))에서 벗어나 회전하는 구성도 생각할 수 있다.

다음으로, 이 실시예에서 제2 유형의 문제를 해결하기 위한 두번째 추가요소 구성을 좀 더 살펴본다. 두번째 추가요소를 구현하는 구체적 구성은 여러 가지 기구 장치를 통해 이루어질 수 있지만, 여기서도 앞서의 전제와 같이 밸브(613b)가 캐미컬 용기(610) 측에 설치되고, 안전커버(665)도 캐미컬 용기나 키부재(660) 측에 설치되는 것으로 하고 구체적 구성을 살펴본다.

여기서, 밸브(613b)는 회전식 밸브이며, 회전축을 기준으로 밸브의 손잡이가 뻗는 반대편으로 보조키 부분(613d)이 설치된다. 보조키 부분(613d) 말단에는 고리가 설치된다. 이 보조키 부분의 고리에 결합될 보조키 대응부(655))가 하부 저장통에 설치된다.

처음에 밸브가 잠겨진 상태에서 밸브 손잡이 및 보조키 부분은 수평으로 서로 반대 방향을 향하고 있으며, 도13과 같이 밸브(613b) 손잡이를 회전시켜 위를 향하게 하면 보조키 부분(613d)은 아래를 향하도록 회전하면서 보조키 부분의 고리는 하부 저장통의 보조키 대응부(655)를 감싸며 체결상태가 된다.

이 체결 상태에서는 캐미컬 용기를 하부 저장통으로부터 이격되도록 들어올리는 것이 물리적으로 불가능하게 된다. 따라서 밸브가 열린 상태에서 캐미컬 용기가 하부 저장통에서 이격되어 잔류 캐미컬이 누출되는 문제가 강제로 방지된다.

따라서 상호 이격을 위해서는 먼저 밸브를 회전시켜 수평 상태로 함으로써 보조키 대응부가 보조키 고리에서 벗어나도록 하고, 캐미컬 용기를 하부 저장통으로부터 이격되도록 들어올릴 수 있다. 이런 경우 캐미컬 용기에 잔류 캐미컬이 있어도 밸브가 잠긴 상태이므로 통로에서 누출되는 문제는 없게 된다.

이상에서는 한정된 실시예를 통해 본 발명을 설명하고 있으나, 이는 본 발명의 이해를 돕기 위해 예시적으로 설명된 것일 뿐 본원 발명은 이들 특정의 실시예에 한정되지 아니한다.

따라서, 당해 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명을 토대로 다양한 변경이나 응용예를 실시할 수 있을 것이며 이러한 변형례나 응용예는 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

10, 110, 210, 310, 510, 610: 용기(캐미컬 용기) 20, : 배출관
30, 130 : 배출펌프 40, 140: 콘트롤러
113, : 용기결합부 113a, 153a, 253a, 453a: 뚜껑
113b, 153b, 253b: 격벽플레이트 113c, 153c, 253c: 연결기둥
113d, 153d, 253d: 단턱플레이트 113e, 153e, 253e, 453f: 패킹
113f, 153f, 253f, 453g: 스프링 113g, 153g, 253g: 원통형 슬리브
150, 250, 350, 450, 550, 650: 저장통 153, 253, 353 : 저장통결합부
155: 제2 부분 155a, 165a, 165a': 판재
155b, 165b: 각진 부분 155c: 인식홈
155d, 165d: 관통홀 155e, 165e: 결합핀
157: 후벽부 160, 160', 660: 키부재
163, 163': 원형 홈 165: 제1 부분
165c, 165c': 인식돌기 165f: 결합홈
213: 격막 253h: 첨단부
253i: 통과 구멍 313a, 353a: 배관
313b, 353b, 513b, 613b: 밸브 453b: 돌기
453c: 제1슬리브 453e: 개폐밸브
453d: 제2슬리브 665: 안전 커버

Claims (11)

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2. 상부에 관로상의 결합부를 이루면서 캐미컬의 통로로 이용되는 저장통결합부를 가지며, 하부에 배출구를 가지고, 캐미컬의 일정량을 수용할 수 있도록 형성되는 저장통,
   결합 상태에서 상기 저장통결합부를 통해 내부에 수용된 캐미컬이 중력에 의해 상기 저장통으로 이동될수 있도록 이루어지는 용기결합부를 하부에 가지며 캐미컬의 일정량을 수용할 수 있도록 형성되는 캐미컬 용기를 구비하며,
   상기 저장통과 상기 캐미컬 용기에는 오결합 방지를 위한 상호인식구조가 설치되어 동일한 캐미컬을 담는 상기 캐미컬 용기와 상기 저장통만 서로 결합될 수 있도록 이루어지며,
   상기 상호인식구조는 상기 저장통결합부 및 상기 용기결합부와 별도로 상기 저장통 및 상기 캐미컬 용기의 서로 대응하는 부분에 형성되는 것을 특징으로 하는 캐미컬 공급 장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 저장통과 상기 캐미컬 용기 사이의 매개체인 키부재가 더 구비되고,
   상기 상호인식구조는, 상기 키부재와 상기 저장통 사이의 결합이 이루어지는 결합부와, 상기 키부재와 상기 캐미컬 용기 사이의 결합이 이루어지는 결합부 가운데 적어도 한 곳에 설치되는 것을 특징으로 하는 캐미컬 공급 장치.
4. 제 2 항에 있어서,
   상기 저장통결합부와 상기 용기결합부의 두쪽이 모두 원터치 결합부를 채용하고,
   상기 원터치 결합부는 상기 저장통 벽체나 용기 벽체에 형성된 관통구, 상기 관통구를 덮으며 뚜껑홀이 형성된 뚜껑, 상기 뚜껑홀을 통해 일정 범위에서 움직도록 설치된 개폐밸브, 상기 뚜껑에서 상기 관통구 외측 방향으로 연장된 원통형 슬리브를 구비하여 이루어지고,
   상기 개폐밸브는 상기 뚜껑 내측의 격벽플레이트, 상기 뚜껑 외측의 단턱플레이트, 일단은 상기 격벽플레이트와 연결되고 타단은 상기 단턱플레이트와 연결되며 상기 뚜껑홀을 통과하면서 움직일 수 있는 연결기둥, 상기 뚜껑과 상기 단턱플레이트 사이에 구비된 스프링을 구비하여 이루어지고,
   상기 저장통결합부의 원통형 슬리브와 상기 캐미컬 용기의 원통형 슬리브가 슬리브 결합을 할 때 상기 저장통결합부의 개폐밸브와 상기 원통형 슬리브의 계폐밸브는 서로를 밀어서 상기 저장통과 상기 캐미컬 용기 사이에 캐미컬이 유통되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 캐미컬 공급 장치.
5. 제 2 항에 있어서,
   상기 저장통결합부와 상기 용기결합부의 적어도 한쪽은 캐미컬이 이동하는 경로가 되는 배관과 상기 배관에 설치되는 수동 밸브를 구비하여 상기 저장통과 상기 캐미컬 용기 사이에 캐미컬 유통이 제어되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 캐미컬 공급 장치.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 저장통결합부와 상기 용기결합부 모두에 상기 배관 및 상기 수동 밸브가 구비되고,
   상기 저장통결합부의 배관과 상기 용기결합부의 배관은 말단에서 서로 슬리브 결합을 하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 캐미컬 공급 장치.
7. 제 5 항에 있어서,
   상기 저장통결합부에는 원터치 결합부를 구비하고, 상기 용기결합부에는 상기 배관 및 상기 수동 밸브를 구비하며,
   상기 원터치 결합부에는 상단의 슬리브와, 스프링에 의해 상기 슬리브에 밀착되어 캐미컬의 통로를 잠그는 개폐밸브를 구비하여,
   상지 저장통과 상기 캐미컬 용기의 결합시 상기 배관의 말단과 상기 원터치 결합부의 슬리브는 서로 끼워져 슬리브 결합을 하도록 이루어지고, 상기 배관이 말단이 상기 원터치 결합부의 개폐밸브를 밀어 캐미컬 통로가 열리도록 이루어진 것을 특징으로 하는 캐미컬 공급 장치.
8. 제 2 항에 있어서,
   상기 상호인식구조는 서로 바라보는 양측 가운데 일측에는 제1 설치벽체와 상기 제1 설치벽체에 회전가능하게 설치되는 제1 판재가 구비되고,
   상기 양측 가운데 다른 일측에는 제2 설치벽체와 상기 제2 설치벽체에 회전가능하게 설치되는 제2 판재가 구비되어 이루어지며,
   상기 제1 판재에는 회전에 따라 위치가 달라지는, 방향을 지향하는 부분과, 판재표면에서 돌출되는 인식돌기와, 특정 회전 위치에서 상기 제1 설치벽체의 홈과 통하여 핀으로 고정될 수 있는 관통홀이 구비되고,
   상기 제2 판재에는 회전에 따라 위치가 달라지는, 방향을 지향하는 부분과, 판재표면에서 상기 인식돌기가 삽입될 수 있는 인식홈과, 특정 회전 위치에서 상기 제2 설치벽체의 홈과 통하여 핀으로 고정될 수 있는 관통홀이 구비되는 것을 특징으로 하는 캐미컬 공급 장치.
9. 제 2 항에 있어서,
   상기 캐미컬 공급 장치는 타이트레이터 시약 저장소에 사용되는 것임을 특징으로 하는 캐미컬 공급 장치.
10. 제 5 항에 있어서,
    상기 수동 밸브의 앞쪽에 안전 커버를 설치하되,
    상기 안전 커버는 닫힘 상태를 기본 상태로 하여 상기 캐미컬 용기와 상기 저장통이 정합된 상태에 있을 때에만 열리도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 캐미컬 공급 장치.
11. 제 5 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 수동 밸브에는 상기 캐미컬 용기와 상기 저장통이 정합된 상태에 있고상기 수동 밸브를 개방 위치로 놓을 때 변위하여 상기 캐미컬 용기와 상기 저장통 가운데 상기 수동 밸브가 설치되지 않은 쪽에 설치된 보조키 대응부와 체결되는 보조키 부분이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 캐미컬 공급 장치.
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

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