TWI429580B - 流體儲存及配送系統及方法 - Google Patents

Description

流體儲存及配送系統及方法

本發明係關於流體儲存及配送系統及方法。揭示於後文之本發明之態樣係關於供流體儲存及配送用之各種裝置、結構及配置，以及製程及方法，且其包括，但不限於：可有效用於流體儲存及配送包裝之應用，以確保適當聯結及避免流體污染問題的連接前確認聯結器；可有效用於經併入於流體配送操作中經壓力壓縮之襯套筒之流體儲存及配送包裝的排空偵測系統；用於促進配送連接器自經加蓋容器之移除的人體工學增進結構；用於防止容器蓋誤用的蓋完整性確保系統；及用於確保適當配送組件與容器之聯結的鎖碼(keycoding)系統。

在使用流體儲存及配送包裝時，包裝可容納流體諸如供使用及半導體製造用的高純度試劑。此種應用中之流體在許多情況中的特性昂貴，及/或若錯誤配送的話將會有不利後果。因此，希望可保存試劑防止由於消耗(例如，諸如在流體錯誤配送時所可能發生者)所致的任何損耗。流體的錯誤配送另會使所製造的半導體裝置受損，或甚至使其無用。此外，半導體製造中所使用之許多化學試劑具有相當危險的特性，例如，毒性、發火性、腐蝕性或當暴露至人體或製程設備時會造成其他傷害。

基於此等理由，流體儲存及配送包裝應以正確且可靠的方式與配送裝置聯結。於晶圓加工及半導體裝置製造過程 中利用許多化學試劑包裝，且各此等流體包裝係聯結至使包裝與半導體工具或其他流體利用裝置互連之流路之許多半導體製造操作中的情況尤係如此。

被廣泛利用於半導體製造領域中之一類型的包裝係襯套筒式的流體儲存及配送包裝，其中將高純度化學試劑容納於可撓性的聚合襯套筒中，及將襯套筒設置於一般稱為「外包裝(overpack)」的硬質外部容器內。在使用時，使包括配送頭的配送組件與襯套筒聯結，及使加壓氣體流入至外包裝中。加壓氣體於襯套筒上施加壓縮力，及使襯套筒於施加的氣體壓力下逐漸消癟，而達成流體自襯套筒的配送。在各種具體例中之配送頭係經構造成具有當配送組件聯結至包裝及連接至供配送操作用之適當流路時向下延伸至襯套筒內之液體中的汲取管(dip tube)。經填充流體的襯套筒典型上係藉由位於襯套筒口的膜封(membrane seal)而對大氣或環境污染密封。

上述類型之一說明性的包裝係購自ATMI,Inc.(Danbury,Connecticut)之註冊商標NOWPAK®。

在使配送組件與襯套筒包裝聯結時，基於以上論述的理由，應使配送組件及相關的流路與適當的流體儲存及配送包裝互連。此供給容器與配送組件之聯結的一固有問題係不正確的聯結，即將錯誤的配送組件連接至供給容器，而導致當包裝上之密封膜被配送頭之汲取管刺穿時的污染，且隨後發現使用錯誤的配送組件。即使立刻發現錯誤連接時(例如，藉由使配送組件無法與流體包裝上之任何 互補的連接結構結合)，亦會發生此問題。雖然已發展出以電子方式達成配送組件與流體儲存及配送容器上之蓋錯誤聯結的包裝系統，例如，在購自ATMI,Inc.(Danbury,CT,USA)之註冊商標NOWTRAK®類型的容器中，但仍希望在電子監測及控制過度昂貴、不實際或者不可行的應用中以簡單的機械方式防止此種流體傳送組件的錯誤連接。

因此，提供一種可應用至前述類型之流體儲存及配送包裝之提供連接正確性之連接前確認，以避免配送設備受到來自錯誤選擇之包裝之流體所污染之情況的聯結器，在技藝中將係一項重大進步。

在使用前述類型之襯套筒式之流體儲存及配送包裝時的另一重要事項係需要配送儘可能多的襯套筒的流體內容物，以致能有效率地利用如以上所論述可能成本昂貴的流體，而不會在配送操作結束時有顯著量的流體殘留於襯套筒中。

在襯套筒包裝的原始填充中，習知將流體以可產生一標稱頂部空間(其例如可在襯套筒之內部體積的5%左右)的方式裝填至襯套筒，以容許包裝之後續儲存及輸送期間的流體膨脹。頂部空間因此在襯套筒中的流體上方提供一小體積的外來氣體，例如，空氣或其他環境氣體。此頂部空間氣體的體積雖小，但其對所容納的流體不利。

頂部空間氣體的一主要缺點為當襯套筒在配送操作中受到外部壓力時，所產生之經壓縮的頂部空間氣體會根據亨利定律(Henry’s Law)溶解於所容納的流體中，而於其 中產生溶解氣體。溶解氣體接著當配送壓力在配送操作中沿配送列降低時會離開溶液。此溶解氣體之釋放會導致化學試劑(例如，在半導體製造操作中流至半導體製造工具之光阻劑)之不規則及變化的配送分佈，導致形成具潛在嚴重性的晶圓瑕疵，於表面上之氣泡形成及此氣泡的後續爆裂等等。因此，於襯套筒中存在顯著的頂部空間會伴隨沿包括流體之最終利用於製程系統中之整個流體傳送路徑範圍的顯著不利後果。

然而，儘管有此不利效果，但由於頂部空間氣體可在配送操作之稍後階段測定接近襯套筒中之流體存量之耗盡中作為「測量流體」，因而其仍被持續使用。在自襯套筒式之含有頂部空間氣體的包裝配送液體時，流體自襯套筒之耗盡導致頂部空間氣體被拉引至配送流路之吸取列中，且此頂部空間氣體之輸送導致於下游液體流動中出現氣泡。於液體流動中偵測頂部空間氣體的起始氣泡出現，且其提供襯套筒中之液體接近耗盡的有用指示。

前述現象被有效利用於提供用於利用襯套筒式之包裝之配送系統的「初始氣泡」偵測器，其與緩衝儲槽之使用結合，而提供流體之連續供給至下游工具或其他使用位置。

在此等系統中，當「初始氣泡」排空偵測器感測到起始的氣泡時，即觸發流體自緩衝儲槽之過渡供給的流動，以致流體利用程序不會中斷，且可進行完全。儲槽可例如提供50毫升左右直至200毫升或再更多之體積的光阻劑材 料，以致當如由於下游液體中出現起始氣泡所指示，光阻劑材料之襯套筒式之包裝接近耗盡時，接上補充體積的緩衝儲槽，以提供足以完成光阻劑所施用之晶舟的流體。

排空偵測的「初始氣泡」感測方法經證實可靠，但其伴有頂部空間氣體會溶解於襯套筒中之液體中及接著在配送操作期間自液體釋出的固有缺點，由於此氣體之流出會產生液體自襯套筒耗盡的早期指示，因而妨礙達到來自襯套筒之液體的最大利用，以及干涉下游製程設備的操作。

因此，提供一種適用於襯套筒式之流體儲存及配送包裝的排空偵測系統，其可避免對於頂部空間氣體之需求，及同時提供襯套筒包裝之接近排空狀態之有效率且可靠之偵測，且夠早地警示此種逼近排空之狀態以容許更換新的流體包裝以持續配送，而不需要過大的緩衝儲槽於提供流體之連續供給至下游流體利用位置或設備在技藝中將係一項重大進步。

除了前述的流體存量管理問題之外，尚有所謂「鼓中袋(bag-in-drum)」(BID)、「罐中袋」(BIC)及「瓶中袋」(BIB)類型之襯套筒式之流體儲存及配送包裝被使用，其與配送組件結合。供此用途用之一說明性的配送組件係購自ATMI,Inc.(Danbury,CT,USA)之SMARTPROBE®連接器，其包括一配送頭(連接器本體)，由此配送頭向下懸著一汲取管，此汲取管插過稱為啟封(breakseal)的密封薄膜，而與襯套筒包裝的蓋孔配合結合。於穿透薄膜後，汲取管接著與襯套筒中之液體接觸，而當泵與配送頭聯結時達成配送。 於膜封破裂後，將與配送頭相關聯的壓板(pivot clamp)鎖定位，以將配送頭牢固地設置於襯套筒外包裝上。

為於後續將SMARTPROBE®自流體包裝移除，使用者必需在將流體包裝固定位的同時，壓住壓板及於連接器本體上施加向上力。手小的使用者在此拆卸程序中一般會遭遇到困難，尤其係在壓住壓板時。另外，很難使O形環的靜態密封破裂。即使係於靜態密封破裂後，O形環亦經常會卡於啟封上。此等因素結合在一起，對此種襯套筒式之流體儲存及配送包裝的使用容易度產生不利影響。

因此，提供一種其設計在人體工學上獲得改進，以避免前述困難的SMARTPROBE®型配送組件將係一項重大的進步。

此外，考慮先前與使用襯套筒式之流體儲存及配送包裝相關的缺點，對所謂的啟封或薄膜元件遭遇到各種當連接器與容器蓋結合時被配送組件之探針刺穿的問題。

首先，以配送探針刺穿目前所使用的啟封會產生顆粒，其被探針帶入所容納的化學物質中，因而損及所容納流體之純度。其次，目前所使用之啟封並無法改變材料以符合襯套筒中之化學物質的需求。第三，目前所使用之啟封並無法容易地將容器再密封以進行處置。第四，由於探針必需刺穿膜封，其會伴隨連接器與容器結合的阻力，因而目前所使用之啟封需要大的力來插入探針連接器組件。第五，目前所使用之啟封的密封完整性會因密封夾持力之塑 性潛變(plastic creep)所引發的鬆弛作用而受損。

基於此等理由，能克服此等缺失之啟封結構在設有啟封之容器於流體儲存及配送之應用及可靠性上將係一實質的進步。

在使用襯套筒式之流體儲存及配送包裝時，將配送探針穿過密封蓋插入襯套筒中之流體中。在此種包裝中，希望使用者不要藉由移除蓋而打開容器。在一些情況中，由於不適當的訓練或意外，蓋會在仍裝設探針的狀態下被自容器旋開。此會在將蓋自探針本體移除時產生困難，及使探針暴露至污染物，以及若隨後使探針本體及相連之蓋與另一容器聯結時，發生後續錯誤連接的可能。

在蓋及探針之各種特定具體例中，將蓋及探針相對於彼此鎖碼，以防止將探針插入至不正確的流體儲存及配送容器中。在特定的情況中，將蓋及探針同時自容器扭開，而非於連接器之側面壓下壓板以使連接器可向上拉開及自蓋移除，其後再將蓋自容器旋開。

因此，提供一種當配送探針經插入時，蓋無法自容器旋開之供襯套筒式之流體儲存及配送包裝用之密封蓋將係一項顯著的改良。

與目前襯套筒式之流體儲存及配送包裝中所使用之蓋相關的再一缺失係與蓋中之加壓開口有關，透過此加壓開口將加壓氣體引入至含有襯套筒之容器中，以於襯套筒之外表面上施加壓力，因而達成襯套筒中所含流體之壓力調控的配送。此蓋中之加壓開口係經撕裂垂帶(tear tab) 密封，將撕裂垂帶移除以使氣體引入用開口暴露經常會由於撕裂垂帶移除程序而於加壓開口處產生粗糙邊緣。此等粗糙邊緣依序會導致配送組件之配送噴嘴之O形環封的洩漏。

在襯套筒式之流體儲存及配送系統中使用經鎖碼之蓋及探針的一些情況中，使用者知曉可開關蓋以使鎖碼系統失效，而會導致發生損壞或破壞使用來自此等系統之流體所製得之產品。因此，希望此種系統之蓋具有鎖緊特徵以防止此種開關，但當絕對必要時仍可移除蓋及更換新的蓋。此種需求可來自於化學品供應商對流體試劑的不正確鎖碼，或未指定鎖碼之特用化學品及製程試驗的表現，或蓋的意外損壞而需要將其更換。

此外，襯套筒式之流體儲存及配送包裝對於高純度化學試劑的普遍商業接受度導致不同類型之此種包裝的發展。此種流體包裝之種類的增加亦使其需要提供可防止蓋錯誤連接至不適用於此等蓋之流體儲存及配送容器的包裝。

本發明係關於流體配送系統及方法。

本發明之一態樣係關於一種連接前確認聯結器，其包括第一聯結器本體、包括第一鎖碼結構及聯鎖的環、及包括第二鎖碼結構的第二聯結器本體，該環係與第一聯結器本體協同作用，以使本體可在與第二聯結器本體之確認後聯結中靠著環平移移動，其中聯鎖防止在第一鎖碼結構與第 二鎖碼結構之確認聯結前的此種平移移動。

在另一態樣中，本發明係關於一種流體儲存及配送包裝，其包括一流體儲存及配送容器及一適於連接至流路的流體配送組件，該流體儲存及配送包裝包括一如前所述的連接前確認聯結器，其中該流體配送組件包括第一聯結器本體及環，且於該流體儲存及配送容器之上具有一蓋，其中該蓋包括第二聯結器本體。

本發明之又另一態樣係關於一種連接前確認聯結器，其包括第一聯結器本體及與其協同作用的環，以使本體可在與包括第二鎖碼結構之第二聯結器本體之確認後聯結中靠著環平移移動，其中該環包括第一鎖碼結構及在第一鎖碼結構與第二鎖碼結構之確認聯結前防止此種平移移動的聯鎖。

本發明之再一態樣係關於一種流體供給系統，其包括一與流路聯結之襯套筒式之流體儲存及配送包裝，以將流體自該包裝內之襯套筒傳送至使用位置，其中該襯套筒式之流體儲存及配送包裝係與下列組件聯結：用於將加壓氣體傳送至包裝中以於襯套筒上施加壓力，而進行流體自襯套筒至該流路中之壓力調控配送之加壓氣體源；適於感測自襯套筒配送至該流路中之流體之壓力及產生一指示該壓力之傳感器輸出的壓力傳感器；及適於接收該傳感器輸出及測定該流體之壓力變化速率，且提供一指示與襯套筒中之流體耗盡開端相關聯之變化增加速率之處理器輸出的處理器。

在另一態樣中，本發明係關於一種流體供給系統，其包括：一襯套筒式之流體儲存及配送包裝，其包括一適於容納液體介質之襯套筒；一適於由外部於襯套筒上施加一氣體壓力以進行液體介質自襯套筒之壓力調控配送的加壓氣體源；及一適於監測自襯套筒配送之液體介質之壓力變化速率及輸出一指示襯套筒中之液體介質耗盡開端之斜率下降狀態的監測器。

本發明之又另一態樣係關於一種在流體儲存及配送包裝之襯套筒中達到零或接近零之頂部空間狀態的方法，其中配送係藉由在襯套筒上施加壓力使其逐漸壓縮，而使流體自襯套筒之內部體積經由與襯套筒聯結之探針之排出通道排出而進行，其中該探針係具有包括通向排出通道之開口之末端之短而粗的探針，且該短而粗之探針的末端係設置於襯套筒之內部體積的上部中，以在自襯套筒排出流體之前先移除頂部空間氣體。

本發明之又再一態樣係關於一種將流體自包括容納該流體之襯套筒之襯套筒式之流體儲存及配送包裝供給至使用位置之方法，該方法包括對襯套筒施加外部壓力以使襯套筒逐漸消癟及自其中配送流體，及監測經配送流體之壓力成時間之函數，以測定作為在配送操作期間流體自襯套筒耗盡之開端之指示的斜率下降。

在再一態樣中，本發明係關於一種自受到壓力之可消癟之襯套筒供給流體，以達成流體配送的方法，此方法包括監測經配送流體之壓力成時間之函數，及測定作為預定之 接近流體自襯套筒耗盡之指示之壓力-時間函數的斜率下降。

在再一具體例中，本發明係關於一種流體儲存及配送系統，其包括一適於將流體容納於其內部體積中之流體儲存及配送容器，該容器具有一孔開口；一與該孔開口結合以將其密封的蓋；及一配送組件，其包括可與蓋結合，以接近容器中之流體而將其配送通過配送組件的連接器，此連接器包括至少一可與蓋結合，以將連接器鎖緊固定於定位而進行配送的結合元件；及一與至少一結合元件聯結，且可於第一偏動位置(下方位置；在此位置此等至少一結合元件將連接器鎖緊固定於定位以進行配送)與第二釋放位置(上方位置；在此位置此等至少一結合元件自蓋脫離以防止連接器自蓋移除)之間手動移動之可以手抓持的元件。

本發明之另一態樣係關於一種儲存及配送流體之方法，其包括使用本發明之流體儲存及配送系統。

本發明之再一態樣係關於一種接頭密封，其包括一碟形主體及一自其向下懸出且半徑較碟形主體之半徑小的圓柱形密封壁，藉此碟形主體形成一周邊凸緣，碟形主體具有一主要上表面及一自該主要上表面向上延伸且在該碟形主體之中心部分形成一相應之井的環形突面。

在另一態樣中，本發明係關於一種適於與一容器鎖緊結合的蓋，其中該容器具有位於其頸部之在圓周上隔開之鎖緊穴的陣列，該蓋包括一蓋主體，該主體包括一圓柱形側 壁及一於其之上端與該圓柱形側壁結合的圓形頂壁，該圓柱形側壁具有一系列位於該側壁之下部之於圓周上隔開的切口，各切口具有於切口上端與其結合之向下懸出的防旋轉指狀元件，各該指狀元件包括於其上端結合至切口上端，及於其下端結合至方向徑向向內之凸出部的細長條狀物，該凸出部當經一適於與該蓋結合之連接器過配合(over-fit)時適於與該等鎖緊穴的其中一個結合。

本發明之又另一態樣係關於一種流體儲存及配送包裝，其包括一適於容納流體的容器，該容器具有位於容器頸部之在圓周上隔開之鎖緊穴的陣列，及一適於與該容器鎖緊結合的蓋，該蓋包括一蓋主體，該主體包括一圓柱形側壁及一於其之上端與該圓柱形側壁結合的圓形頂壁，該圓柱形側壁具有一系列位於該側壁之下部之於圓周上隔開的切口，各切口具有於切口上端與其結合之向下懸出的防旋轉指狀元件，各該指狀元件包括於其上端結合至切口上端，及於其下端結合至方向徑向向內之凸出部的細長條狀物，該凸出部當經一適於與該蓋結合之連接器過配合時，適於與該等鎖緊穴的其中一個結合。

本發明之再一態樣係關於一種防止蓋連同連接器自流體儲存及配送包裝之容器移除的方法，其中該流體儲存及配送包裝包括該容器、該蓋及該連接器，該方法包括提供該容器位於容器頸部區域的鎖緊穴，及提供該蓋一蓋主體，該主體包括一圓柱形側壁及一於其之上端與該圓柱形側壁結合的圓形頂壁，該圓柱形側壁具有一系列位於該側 壁之下部之於圓周上隔開的切口，各切口具有於切口上端與其結合之向下懸出的防旋轉指狀元件，各該指狀元件包括於其上端結合至切口上端，及於其下端結合至方向徑向向內之凸出部的細長條狀物，該凸出部當經連接器過配合時，適於與該等鎖緊穴的其中一個結合。

在另一態樣中，本發明係關於一種適於與流體儲存及配送容器結合，及與包括配送連接器之配送組件結合的蓋，其中該配送連接器適於與蓋協同過配合，該蓋具有位於其下部可與流體儲存及配送容器上之鎖緊結構結合之向外突出的元件。

本發明之另一態樣係關於一種流體儲存及配送包裝，其包括一適於容納流體的容器，該容器包括一孔及位於容器表面上之鎖緊結構，及一適於與該孔結合的蓋，其中該蓋適於與包括適於與蓋協同過配合之配送連接器的配送組件結合，該蓋具有位於其下部之當該配送連接器與該蓋過配合時可與該鎖緊結構結合之向外突出的元件。

在再一態樣中，本發明係關於一種流體儲存及配送包裝，其包括一適於容納流體的容器，該容器包括一孔及位於容器表面上之第一鎖緊結構，及一適於與該孔結合的蓋，其中該蓋適於與包括適於與蓋協同過配合之配送連接器的配送組件結合，該蓋具有位於其下部之當該配送連接器與該蓋過配合時可與該鎖緊結構結合之第二鎖緊結構，且其中當該配送連接器未與該蓋過配合時，該第二鎖緊結構不可與第一鎖緊結構結合。

本發明之再一態樣係關於一種流體儲存及配送包裝，其包括一適於容納流體的容器，該容器包括一孔，及一適於與該孔結合的蓋，其中該蓋適於與包括適於與蓋協同過配合之配送連接器的配送組件結合，該蓋具有當該配送連接器與該蓋過配合時可操作，及當該配送連接器未與該蓋過配合時不可致動的鎖緊結構。

本發明之又另一態樣係關於一種流體儲存及配送包裝，其包括一具有一孔之容器；一位於該容器內適於容納流體之襯套筒；一與該襯套筒及該孔聯結之包括一供流體流出用之開口的接頭；及一適於與該孔結合之蓋，其中該蓋另適於與包括適於與蓋協同過配合之配送連接器的配送組件結合，以當於該襯套筒上由外部施加壓力時使流體自襯套筒排出，該配送連接器適於連接至加壓氣體以使加壓氣體流入至容器中而於襯套筒上施加外部壓力；一設置於蓋與接頭之間以將加壓氣體密封於容器中之氣體密封元件；及一防止流體於接頭處自襯套筒逸出的塞密封件。

在另一態樣中，本發明係關於一種流體儲存及配送包裝，其包括一適於容納流體之容器，該容器包括第一結合結構，一適於與該容器結合之蓋，一可與該蓋結合以形成蓋/器械圈(code ring)組件之器械圈，其中該蓋/器械圈組件適於與包括適於與蓋/器械圈組件協同過配合之配送連接器的配送組件結合，以使流體自容器排出，其中該蓋/器械圈組件包括可與該第一結合結構結合，以將蓋/器械圈組件固定設置於容器上及抵抗其移除的第二結 合結構。

本發明之又再一態樣係關於一種包括螺紋的蓋，該螺紋使其連接至具有互補螺紋的容器，該蓋包括於蓋與容器之起始結合後使蓋不可再利用的非重複使用結構，該非重複使用結構係經作成在該起始結合之後當嘗試或達成蓋自容器之移除時即變形、破壞或移除該螺紋，其中該非重複使用結構係選自由下列所組成之群：切割或撕裂在螺紋上方之區域的齒形鎖；嘗試移除蓋將導致扯裂或破壞螺紋的配置；藉由掣止止檔旋於容器頸部上的兩件式蓋，藉此當將蓋移除時螺紋將在高扭矩下剝離；具有防止蓋被旋開之防旋轉特徵的螺旋帽蓋(screw-on caps)；其中該蓋具有藉由旋開而作用之在螺紋上方之撕裂區域，且其中其餘之刻螺紋區域係藉由拉扯垂直撕裂垂帶而移除的配置；撕離螺紋(tear-off threading)；自旋出的螺旋螺紋；及額外形成於容器頸部之大特徵上之蓋上螺紋，藉此當將蓋自容器移除時蓋螺紋受到破壞。

本發明之另一態樣係關於一種包括螺紋的蓋，該螺紋使其連接至具有互補螺紋的容器，該蓋包括防止蓋之移除及/或再利用的蓋修飾，其中該蓋修飾係選自由下列所組成之群：提供蓋需要用工具將其壓入定位的夾，其中當將夾壓入定位時，蓋可以迅速的方式裝設或移除；提供將蓋固定位的銷，使用移除工具於將銷自固定蓋的位置移出；提供具有壓入銷的螺旋帽蓋以防止蓋旋開，其中該銷僅可藉由特殊工具移除以旋開蓋；提供具有防旋轉鎖的螺旋帽 蓋，其中必需將器械圈移除以打開蓋，且其中該鎖包括必需上拉的銷或必需擠壓在一起以使鎖釋放的垂帶；提供具有防旋轉鎖的螺旋帽蓋，其中必需將器械圈移除以打開蓋，其中該防旋轉鎖為棘輪型，其具有在蓋上之齒及在容器上之齒，藉此需要使用特殊工具以高扭矩移除蓋；使用僅能上扭矩之具有抓取特徵的器械圈扭矩工具；於蓋上提供將蓋安裝至容器的第二個環，其中當將蓋移除時，環將破裂；提供具有用於將蓋移除之撕裂垂帶的搭鎖蓋(snap-on cap)，其中一旦將撕裂垂帶移除，蓋將不會再鎖上；提供彈鎖(snap over)的撕裂環，其中該鎖係位於撕裂環上；提供需要特殊工具以將其自容器割除之搭鎖蓋；提供熱作用或濕至乾作用的收縮蓋或包裝；提供形成於容器頸部上之特徵上的無螺紋蓋，其中容器特徵與蓋之間的干涉使蓋維持於定位，以致蓋僅可藉由工具或者藉由用槓桿將其撬動而移除，且移除蓋會將蓋的成形區域扯裂，以致部分的蓋殘留於容器上且可利用特殊工具或垂直撕裂垂帶將其移除；提供經構造及設置成蓋移除會改變器械圈，以致蓋將無法再供配送探針用的蓋；提供藉由裝設配送探針而切割的器械圈，以致當將配送探針移除時器械圈會脫離；提供當將配送探針移除時斷裂的磁性結構；製造具有與蓋中之凹處相配合之特徵的容器，以致當將蓋移除時，容器特徵會斷裂且卡於蓋的凹處，且蓋隨後將無法供新的容器使用；製造具有斷裂垂帶的蓋，該斷裂垂帶當裝設時將蓋於容器上固定位且向下滑入容器中的互補溝 槽，及當將蓋移除時斷裂；製造具有當將蓋移除時可經操作以釋放染料之內建染料釋放機構的蓋；製造具有當移除蓋時破裂之安全型標籤的蓋，以致帶有破裂標籤的空容器將顯示被誤用；及於蓋或相關包裝之其他組件(例如，外包裝、襯套筒等等)上提供射頻識別(RFID)積體電路晶片，與防止操作人員開關蓋的監測軟體結合。

本發明之再一態樣係關於一種適於藉由其間之流路與流體利用工具聯結的流體儲存及配送系統，該系統包括一適於進行流體自包裝中之襯套筒之壓力調控配送之襯套筒式的流體儲存及配送包裝，且該流路包括一過濾器、一泵、及一經配置成監測配送流體之壓力且引動適於調控配送操作之控制器的壓力傳感器，其中該壓力傳感器係設置於該流路中之至流體利用工具的流體入口處。

關於如更完整說明於後文之本發明的各種裝置、組件及系統，當明瞭本發明進一步涵蓋在此等裝置、組件及系統之發明態樣之範疇內的各種組件、零件、次組件及次系統。

此外，當明瞭雖然在後文將本發明態樣中之各種具體例說明為應用至襯套筒式的流體儲存及配送包裝，但此等態樣的效用並不受限制，而係可於容器、器皿及其他類型之包裝中以不同方式實施，例如，玻璃瓶、金屬罐、塗蠟纖維素容器、乾冰瓶(dewars)、安瓿、膜封包裝等等。

本發明之又另一態樣係關於一種自承受壓力之可消癟襯套筒供給流體以達成流體配送之方法，該方法包括監測 經配送流體之壓力成時間之函數，及測定壓力-時間函數之壓力斜率下降作為預定之接近流體自襯套筒耗盡的指示，及於該預定之接近流體自襯套筒耗盡時，於襯套筒上施加一壓力尖峰以達成流體自襯套筒的進一步配送。

在再一態樣中，本發明係關於一種用於與流體儲存及配送容器之蓋聯結的配送組件，其包括一連接器本體，一裝置於連接器本體上用於在其上自第一位置(在此位置連接器本體係於該蓋上處於鎖緊位置中)藉樞軸移動至第二位置(在此位置連接器本體可藉由向上拉引手柄而釋放)的手柄，裝置於連接器本體上且適於在第一位置(其中夾板與蓋鎖緊結合)與第二位置(其中夾板釋放蓋)之間移動的夾板，該手柄於其末端處與可在手柄之第一位置及夾板之第一位置處與夾板結合，及在手柄之第二位置及夾板之第二位置處自夾板脫離的凸輪聯結。

本發明之另一態樣係關於一種供材料儲存及配送包裝用之連接器，其包括一主體部分，包括一裝置於主體部分上且可於其上藉樞軸在上方位置與下方位置之間移動的手柄，其中該連接器適於與材料儲存及配送容器聯結以將其封閉，且該連接器包括一用於自容器配送材料的配送組件，及一與手柄操作聯結且當手柄處於下方位置時適於防止連接器自材料儲存及配送容器移除的壓力釋放裝置，及一與壓力釋放裝置操作聯結以當手柄藉樞軸移動至下方位置時，將手柄維持於此下方位置的止擋元件，止擋元件係可選擇性地脫離，以使壓力釋放裝置將容器排放至環境 壓力，及使手柄可藉樞軸向上移動，且隨後當手柄在上方位置時連接器可自容器脫離，藉此可於該環境壓力下發生連接器自容器之脫離。

本發明之再一態樣係關於一種材料儲存及配送包裝，其包括一材料儲存及配送容器，及一與容器聯結以將其封閉之如於先前段落中所述之連接器。

本發明之又再一態樣係關於一種儲存及配送材料之方法，其中將材料設置於容器中，及使連接器與容器聯結，以形成一容納包裝，其中該連接器包括一可於第一鎖緊位置(其中包容容器中之壓力)與第二位置(其中連接器可自容器移除而不會於容器與包裝之周遭環境之間存在壓力差)之間移動的手柄，此方法包括當手柄處於第一位置時使容器選擇性地減壓，以使手柄可自第一鎖緊位置移動至第二位置。

本發明之其他態樣、特徵及具體例將可由隨後之揭示內容及隨附之申請專利範圍而更完整明白。

將下列專利及申請中之申請案的全體揭示內容併入本文為參考資料供各種用途用。

2005年4月25日以Glenn M.Tom等人之名義提出申請之美國臨時專利申請案第60/674,578號，「適於壓力配送之零頂部空間/最小頂部空間之襯套筒式之液體儲存及配送系統(Zero Head Space/Minimal Head Space Liner-Based Liquid Storage and Dispensing Systems Adapted for Pressure Dispensing)」；2005年4月25日以Minna Hovina等人之名義提出申請之美國臨時專利申請案第60/674,579號，「具有排空偵測能力之襯套筒式之液體儲存及配送系統(Liner-Based Liquid Storage and Dispensing Systems with Empty Detection Capability)」；2005年4月25日以Weihua Wang等人之名義提出申請之美國臨時專利申請案第60/674,577號，「供化學試劑及組成物之儲存及配送用之裝置及方法(Apparatus and Process for Storage and Dispensing of Chemical Reagents and Compositions)」；及2001年6月13日以Kevin O’Dougherty等人之名義提出申請之美國專利申請案第09/880,472號，「具有電子資訊儲存的液體處理系統(Liquid Handling System with Electronic Information Storage)」。

本發明係關於流體配送系統及方法。在各種態樣中，本發明係關於一種可有效用於流體儲存及配送包裝中，以確保適當聯結及避免流體污染問題的連接前確認聯結器；以及一種可有效用於在流體配送操作中經壓力壓縮之襯套筒式之流體儲存及配送包裝的排空偵測系統。

現參照圖式，圖1係可應用本發明之連接前確認聯結器之一說明性之襯套筒式之流體儲存及配送容器10的透視圖。

容器10包括位於大致硬質之外殼14內之可容納液體 (例如，高純度液體(具>99.99重量%之純度))的可撓性、彈性襯套筒12。襯套筒12可具有任何適當的構形，且可經形成為開放頭部或封閉頭部結構，且可經提供為二維襯套筒結構或者提供為三維襯套筒結構。

襯套筒12可，例如，經形成為三維的封閉頭部襯套筒。參照襯套筒所使用之術語「三維」係指襯套筒係由管狀原材料所形成，其係相對於經由將扁平的片材原料物件於其重疊邊緣處熱封重疊形成襯套筒結構所形成的二維襯套筒。在使用保持為管狀形態而未分切或切割的管狀原料，例如，保持為管狀形態之吹塑管狀聚合薄膜材料時，要避免沿襯套筒之側邊的熱封合及熔接接縫。在一些情況中為使襯套筒能較佳地承受可能傾向於壓迫襯套筒及於二維襯套筒中產生接縫失效的力和壓力，不存在側邊熔接接縫可能較佳。封閉頭部襯套筒係具有經密封或以其他方式封閉之頭部部分的襯套筒，其係相對於經形成為具有頸部開口或位於襯套筒之頭部部分之孔開口的開放頭部襯套筒。

當明瞭少數可利用任何各式各樣的適當成形技術形成。舉例來說，如已提及，可使吹塑薄膜維持管狀形態以形成襯套筒。或者，可將吹塑薄膜切割產生組成片材或腹板(web)形態的嵌板或襯套筒前身結構。又再一種選擇為可使用角牽板(gusset)及其他技術將薄膜材料之片材製造形成三維襯套筒結構，以使所得之襯套筒物件形態配合至外包裝。因此，可採用適於將其中設置襯套筒之外包裝或其他容納器皿成形及定尺寸之各種襯套筒的形態配合 構形。

在特定具體例中之襯套筒可為單次使用的薄膜、三維、封閉頭部襯套筒，藉此可於各次使用後(例如，當容器中所容納之液體用盡時)將襯套筒12移除，及更換新的、乾淨的襯套筒，以可將整體容器10再利用。

襯套筒薄膜不含諸如增塑劑、抗氧化劑、填料等等的成分較佳，該等成分可能為或可能成為污染物的來源，例如，經由瀝濾至襯套筒中所容納的液體中，或經由分解產生於襯套筒薄膜中具有較大擴散性且會遷移至表面及溶解或以其他方式成為襯套筒中之液體之污染物的降解產物。

襯套筒可由任何適當的構造材料形成，及由聚合薄膜形成較佳。在高純度流體容納應用中，襯套筒可由適當的含氟聚合物材料，諸如，比方說，聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)、或全氟烷氧基(PFA)形成。或者，襯套筒可由烯烴系聚合物形成。又再一種選擇為襯套筒可由包含任何適當單體成分的共聚物所形成。襯套筒薄膜可為單層薄膜，或可經形成為多層層合物或複合薄膜材料，例如，經共擠塑、壓延、或以其他方式製造為具有多個層或組份，例如，成為包含一或多個中間黏著層的多層層合物等等。

將實質上純的薄膜使用於襯套筒較佳，其諸如原生的(不含添加劑)聚乙烯薄膜、原生的聚四氟乙烯(PTFE)薄膜、或其他適當的原生聚合材料諸如聚丙烯、聚胺基甲酸 酯、聚二氯亞乙烯、聚氯乙烯、聚縮醛、聚苯乙烯、聚丙烯腈、聚丁烯等等。襯套筒薄膜材料之厚度可為任何適當厚度，例如，在約1.5密爾(mil)(0.0015英寸；0.0381毫米)至約30密爾(0.030英寸；0.762毫米)之範圍內。在一具體例中，襯套筒具有20密爾(0.020英寸；0.508毫米)之厚度。

三維的封閉頭部襯套筒可以任何適當的方式形成，但其係使用襯套筒的管狀吹塑製造，而於容器之上端形成整體填充開口較佳，其可如圖1所示，結合至孔或蓋結構28。因此，襯套筒可具有使襯套筒聯結至適當的連接器，以供包括流體之各別引入或排出之填充或配送操作用的開口。結合至襯套筒孔之蓋可以手動方式移除，且可視襯套筒孔及蓋之特定結構而以不同方式構造。蓋亦可經配置成與汲取管聯結以引入或配送流體。

如圖1所示，襯套筒12包括兩個位於其頂部的孔。襯套筒係設置於實質上硬質的外殼或外包裝14中，該外殼或外包裝可為如圖所說明之大致矩形的平行六面體形狀，其包括用於將襯套筒12容納於其中之下方容器部分16及上方堆疊及輸送操縱段18。堆疊及輸送操縱段18分別包括相對面對的前壁及後壁20A及20C及相對面對的側壁20B及20D。相對面對的側壁20B及20D分別具有手動操縱的開口22及24，以使容器可在使用容器時以手抓取，及物理提升或以其他方式輸送。或者，外包裝可為圓柱形態，或任何其他適當的形狀或構形。

外殼14之下方容器部分16如圖所示稍微成錐形。下方容器部分16之所有的四個壁向下向內成錐形，以當儲存及輸送多個此等容器時，可堆疊容器供儲存及輸送用。在一具體例中，外殼14的下部16可具有錐形壁，其之錐角係低於15°，例如，在約2°及12°之間的角度。

大致硬質的外殼14亦包括外包裝蓋26，其係緊密不漏地結合至外殼14之壁，以如圖所示在包含襯套筒12的外殼14中圍出一內部空間。

襯套筒具有兩個硬質孔，其包括一聯結至蓋28且經設置成可使汲取管36穿過以供配送液體用的主要頂部孔。汲取管36係包括汲取管、配送頭34、聯結器38及液體配送管40之配送組件的部分。配送組件亦包括藉由聯結器42結合至配送頭34且與配送頭中之通道43相通的氣體填充管44。通道43依序適於緊密不漏地聯結至外包裝蓋26中之內部體積孔30，以適於引入用於在配送操作中對襯套筒12施加壓力之氣體，以致迫使襯套筒12中所含之液體自襯套筒通過中空汲取管36之內部通道及通過配送組件而至液體配送管40。

襯套筒12最好係由適當厚度的薄膜材料所形成，以致具有可撓性及可消癟的特性。在一具體例中，襯套筒可壓縮至額定填充體積(即當完全填裝於外殼14中時，可容納於襯套筒中的液體體積)的約10%或以下。襯套筒亦應對利用其之特定應用具有適當的障壁性質，以防止氣體自周遭環境(例如，在襯套筒外部之外包裝內的氣體體積)滲透 至襯套筒中之流體中。較佳的襯套筒材料足夠柔軟，而可於運送期間摺疊或壓縮襯套筒作為更換單元。襯套筒之組成物及特性係當液體容納於襯套筒中時，可抵抗顆粒及微氣泡形成，且可對使用此液體之特定最終應用(例如，在半導體製造或其他需要高純度的液體供給應用中)有效維持純度較佳。

對於半導體製造應用，容器10之襯套筒12中所容納之液體應於襯套筒之填充點處具有少於75顆粒/毫升之具0.25微米直徑之顆粒，且襯套筒應於液體中具有少於每十億分之30份(30ppb)之總有機成分(TOC)，與低於每兆(trillion)分之10份(10ppt)之關鍵元素(諸如鈣、鈷、銅、鉻、鐵、鉬、錳、鈉、鎳、及鎢)的金屬可萃取含量，及低於每兆分之150份之對襯套筒所容納之氟化氫、過氧化氫及氫氧化銨之每元素的鐵及銅可萃取含量，其與半導體工業協會(Semiconductor Industry Association)，半導體之國際技術路徑圖(International Technology Roadmap for Semiconductors)(SIA,ITRS)1999年版中所記載的規格一致。

圖1容器之襯套筒12於其之內部空間中包含一如圖所說明的圓球45作為一選擇性特徵，以促進液體內容物之非侵入性的磁性攪拌。圓球可由不會與襯套筒中之流體產生不利交互作用的金屬或其他材料，或由經塗布惰性薄膜或塗層以使圓球可與流體相容的材料所形成。磁性攪拌圓球45可為如於實驗室操作中所使用之習知類型，且可利 用適當的磁場施加台，以致容器當安置於台上且襯套筒經填充液體時，可經攪拌，以使液體均勻且防止沈降。可使用此種磁性攪拌能力於在液體經歷促進液體內容物之沈澱或相分離的條件後使液體成分再溶解。可以此種方式遙控引動之攪拌元件具有不需將混合器侵入性地引入至經密封襯套筒之內部的優點。

外殼14之蓋板26中之孔30可與襯套筒上之硬質孔聯結，以致襯套筒經製造成具有兩個孔，或者可將襯套筒製造成可使用單一的孔組態排氣。

外殼14之蓋板26可由與外殼之其餘結構組件相同之大致硬質的材料所形成，諸如聚乙烯、聚四氟乙烯、聚丙烯、聚胺基甲酸酯、聚二氯亞乙烯、聚氯乙烯、聚縮醛、聚苯乙烯、聚丙烯腈、或聚丁烯。

容器10之再一種選擇性的修改為可將一射頻識別(RFID)標籤32設置於襯套筒上，以提供與所容納液體及/或其之預計用途相關的訊息。射頻識別標籤可經設置成經由射頻脈衝轉發機(transponder)及接收機提供訊息給使用者或技術人員，其因而可確認容器中液體之狀態、其之身分、來源、年齡、預計使用位置及製程等等。可使用其他藉由遠端感測器(諸如手持式掃描器、設有接收機的電腦等等)可讀取及/或可傳送的資訊儲存替代RFID裝置。

在圖1容器中，襯套筒12容許液體由於溫度變化而膨脹及收縮。

在涉及圖1所示之容器10的配送操作中，可將空氣或其他氣體(氮、氬等等)引入至管44中及通過蓋26之孔30，以於襯套筒之外表面上施加壓力，使其收縮，因而迫使液體通過汲取管36及配送組件而至液體配送管40。

相應地，空氣可自外殼14之內部體積經由孔30移出，以於填充操作期間流動通過配送頭34中之通道43而至管44，以致空氣當襯套筒於其之液體填充期間膨脹時被移出。

在本發明之一具體例中，在流體儲存及配送包裝之襯套筒中維持零或接近零的頂部空間，其中配送係藉由於襯套筒上施加壓力使其逐漸壓緊，以使流體自襯套筒之內部體積通過與襯套筒聯結之探針的排出通道排出而進行。儲存及配送系統包括此包裝且使用一包括通向排出通道之開口之末端之短而粗的探針。對於此用途，短而粗之探針的末端係設置於襯套筒之內部體積的上部中，以在自襯套筒排出流體之前先移除頂部空間氣體。

此處參照襯套筒中之流體所使用之術語「零頂部空間」係指襯套筒經完全填充液體介質，且在襯套筒中之液體介質上方沒有氣體體積。

相應地，此處參照襯套筒中之流體所使用之術語「接近零之頂部空間」係指襯套筒實質上完全填充液體介質，僅除了有極少量的氣體在襯套筒中之液體介質上方，例如，氣體體積係少於襯套筒中之總流體體積的5%，以少於總流體體積的3%較佳，少於總流體體積的2%更佳，及少於 總流體體積的1%最佳(或以另一種方式表述，襯套筒中之液體體積係大於襯套筒總體積的95%，以大於此總體積的97%較佳，大於此總體積的98%更佳，及大於此總體積的99%最佳)。

頂部空間的體積愈大，則由於液體介質將會於襯套筒中攪動、飛濺及移動，以及在包裝的輸送過程中襯套筒的衝擊於硬質周圍容器上，因而上方氣體夾帶及/或溶解於液體介質中的可能性愈大。此情況依序將會導致於液體介質中形成氣泡、微氣泡、及顆粒，其會使液體介質降解，及可能使其不適用於其之預期用途。因此，希望使頂部空間減至最小，及將其消除(即零或接近零之頂部空間構形)而將襯套筒之內部體積完全填充液體介質較佳。

圖2係根據本發明之一具體例之連接前確認聯結器的概略透視圖。如圖2所示，聯結器係於包括設置於硬質外包裝114內之襯套筒112的流體儲存及配送包裝100中實施。襯套筒112具有自外包裝114之頂部圓柱形表面向上延伸通過此頂部圓柱形表面中之開口的孔160。孔160包括位於孔之開口中的密封薄膜162。薄膜162可由任何適當的材料形成，諸如橡膠、纖維素或聚合材料，其有效地密封襯套筒及使其之內容物保持隔離防止受到大氣或周遭環境的污染。

孔160被界定一中心開口165之圓柱形態的蓋128所包圍。蓋128之頂部環形表面166的特徵為包括鎖碼凹口168及170及鎖碼銷172的加鍵元件。當明瞭可使用任何 提供適當鎖碼結構的加鍵元件，且此等元件可包括凹口及銷的其他排列組合，或者任何其他類型之可與彼此協同相互配合以界定一準確結合之蓋及配送器之可配對結合的結構元件。其他可配對結合之結構元件的例子包括溝槽及突出物元件、於周圍改變橫向尺寸之叉合肋條、槽榫元件、及其類似物。

在圖2的包裝100中，配送器134經圖示為包括上方的圓柱形配送器本體138及下方、較大直徑的圓柱形配送器環140。上方的圓柱形配送器本體138及下方的圓柱形配送器環彼此相互連接，以致上方配送器本體藉由適當的偏動結構諸如偏動彈簧177而偏動至縮回位置。如後文所述，於環經結合且固定設置於蓋128上之後，配送器本體138可藉由於配送器本體138上施加手動向下力而向下移動至延伸位置，以致配送器本體138藉由伴隨壓縮偏動彈簧而向下移動通過周圍的配送器環140。

周圍配送器環140之特徵在於與蓋128之加鍵元件互補的鎖碼元件。配送器環140上之鎖碼元件包括可與蓋之鎖碼凹口168配對結合的第一銷180、可與蓋之鎖碼凹口170配對結合的第二銷182、及可與蓋之銷172配對結合之位於配送器聯鎖176中之溝槽189。

配送器聯鎖176在聯鎖機構經由銷172進入溝槽189及沿銷之長度完全與其結合而作用之前，防止環140抵抗配送器本體138移動。聯鎖176可為任何適當類型，例如，電子聯鎖機構、機電聯鎖機構、機械聯鎖機構等等。在一 具體例中，聯鎖機構包括對與蓋之鎖碼結構結合產生回應，以縮回及容許此種配送器本體抵抗配送器環向下平移移動的彈簧偏動滾筒。

一旦聯鎖176藉由銷結合，則配送器本體138可藉由於配送器本體138上施加向下施加的手動壓力於向下方向，或藉由釋放此手動壓力而向上地(如由雙向箭頭A所指示)抵抗配送器環140自由移動。

配送器本體138經圖示說明為具有與其相關聯的流體輸出B。流體輸出B係與探針136流體流動相通，以使流體可自襯套筒經由探針及流體輸出B傳送至外部使用位置，例如，藉由將流體輸出B結合至此種外部位置的流路。外部位置例如可包括流體利用設備，諸如半導體製造工具，或其他於其中處理經配送流體，將其使用作為處理劑，或以其他方式使用以利於製程或操作的裝置。

如圖3所示，探針136相對於包括探針之配送組件所結合之包裝的總高度具有短的長度。因此，探針係經構造為「短而粗的探針」，其在此係指示當將配送組件與蓋及相關之容器完全結合時，探針具有將其之底部入口開口設置於襯套筒之上端部分中之位置的縱向尺寸。舉例來說，探針可具有在連接器本體之高度尺寸附近的縱向尺寸，或其甚至可小於此連接器本體之高度尺寸。藉由此種設置，可使可能存在於襯套筒之上部在其中之液體上方的頂部空間氣體可在有效液體配送前容易地自襯套筒排出，以致使在有效氣體配送期間來自容器的氣體流出物減至最小或 消除，且同樣地使下游氣體去溶解減至最小或消除。為此，襯套筒係如圖所示而構造成具有利於頂部空間氣體移除的頂部孔較佳。

因此，短而粗的探針容許在化學物質自襯套筒流動通過配送網路之前將頂部空間氣體移除。此外，在配送之前移除頂部空間氣體的能力有利於在整個下游流路及在最終使用設備(例如，半導體製造工具)達成最小的頂部空間，因而使伴隨在源容器、以及管線、下游槽及儲槽、進給通道等等中存在頂部空間氣體而來的問題減至最小或避免之。藉由消除頂部空間氣體，使用短而粗的探針及提供襯套筒之上端排氣產生流體自襯套筒壓力配送的最佳條件，而不會當液體在流路及下游製程網路之降壓段中受到逐漸降低之壓力時於液體中產生總體氣體空隙或溶解氣體自液體的冒泡。

另外，由於嘗試使探針與容器蓋結合將導致啟封薄膜破裂，因而短而粗的探針有利於錯誤連接的早期偵測，而不會污染探針，但由於探針一開始係與頂部空間體積而非與下方液體接觸，因而不會有探針的污染，此係超越先前所使用之探針之開放下端係設置於襯套筒之下部之長度長之探針的明顯優點。

在一具體例中，流體輸出B係由設有連接結構的流體排出導管所構成，以利於流體排出導管與下游流路的互連。

襯套筒及下游網路及流路中之頂部空間的最小化在技藝中係一項顯著進步，由於化學試劑襯套筒迄今為止典型 上係在空氣填充條件下經填充化學試劑，其中將約5%的頂部空間氣體引入至襯套筒中，以當襯套筒中流體之溫度可能顯著改變時，容許儲存及輸送期間襯套筒中液體之膨脹。當在於襯套筒之外表面上施加壓力以進行流體配送之期間頂部空間氣體經加壓時，此經加壓之頂部空間氣體進入溶液中，且其後有自液體流出的可能，及將頂部空間氣體引入於整個下游系統中，除了頂部空間氣體被夾帶於經配送之液體中外，亦產生會干擾泵、質量流量控制器、及下游製程系統之其他組件的氣團。

藉由在含有液體之包裝的最大可能高度處設置供頂部空間氣體排氣用的汽門，可達成頂部空間氣體之完全或接近完全的排氣，以致頂部孔可因而用於頂部空間氣體之起始移除以及後續之液體自包裝的排出。

此種最大可能的孔高度具有許多優點：(i)其可於任何尺寸的包裝中實施，以致可在寬廣範圍的包裝體積尺寸內利用短而粗的探針，(ii)此於探針與蓋之間的連接可於發生交叉污染前容易地偵測得，及(iii)可藉由對探針及孔設計採用單一尺寸的方式而使製造成本減至最小。

在圖2系統之配送操作中，將加壓氣體引入至外包裝與其中之襯套筒之間的內部體積中，以致加壓氣體於襯套筒上施加一壓縮力，使其逐漸收縮，而自襯套筒壓力配送流體。因此，襯套筒中之流體(例如，光阻劑)被向上壓迫通過探針136及配送器本體138中之通道(未示於圖中)至流體輸出B，其再自此進入下游流路。

藉由圖2所示之配置，配送器環140先與蓋結合，以致加鍵元件彼此配合。如由於嘗試將錯誤的配送器與流體儲存及配送包裝100聯結之錯誤連接，因而在環與蓋上之各別的加鍵元件未與彼此結合，則可防止探針136結合及刺穿密封薄膜162。因此，可立即偵測到嘗試連接不正確的元件，而不會發生諸如在不存在配送器及蓋之鎖碼結構時所將發生之所容納流體或配送器的污染。

如已選擇適當的配送器與流體儲存及配送包裝100結合，則環140與蓋128之結合使配送器聯鎖176失去作用，且使配送器本體138可藉由於配送器本體上施加手動壓力而抵抗環140垂直向下移動。配送器本體138因此向下移動，以致探針136結合及刺穿薄膜162，因而將配送器134置於涉及流體自外包裝114中之襯套筒112排出之配送操作的狀態中。

一旦配送器本體向下移動至其之配送位置，則可藉由適當的鎖結構(未示於圖2)，諸如插旋鎖緊結構、或坑球(dimple-and-ball)掣止結構、或其他藉以將配送器本體鎖於延伸下方位置中以自包裝100配送流體的結構配置，將配送器本體鎖定位。

因此，圖2所示之流體儲存及配送系統使用併入本發明之連接前確認聯結器的配送器134及包裝100，該聯結器包括第一聯結器本體及可與其協同作用之環以使本體可在與包括第二鎖碼結構之第二聯結器本體的確認後聯結中抵抗環而平移移動，其中該環包括第一鎖碼結構及在第 一鎖碼結構與第二鎖碼結構之確認聯結前防止此種平移移動的聯鎖。術語「確認聯結」係指第一及第二鎖碼結構彼此充分地結合(及以完全結合較佳)，以指示第一及第二鎖碼結構彼此互補且適當地配合。

雖然參照圖2之流體儲存及配送系統作為說明實行法而作說明，但當知曉本發明之連接前確認聯結器的應用並不因此受限，而係可延伸至涵蓋希望在藉由第一及第二聯結器本體之完全結合而組合聯結器之前確認聯結元件之適當配合的其他實行法中。因此，第一及第二聯結器本體可為任何適當類型，例如，以連接器、可配對的接頭、可結合的鎖結構等等具體實施。

圖3係根據本發明之一具體例之包括藉由流路與半導體製造工具238互連之襯套筒式之流體儲存及配送包裝200及排空偵測系統之製程配置250的概略圖式。

襯套筒式之流體儲存及配送包裝200包括設置於硬質外包裝202之內部體積204內的襯套筒206。外包裝202之內部體積204係藉由加壓氣體進給管線210而與適當加壓氣體之來源212流體相通。加壓氣體可視襯套筒式之流體儲存及配送包裝之指定應用中所需要或期望，而為任何適當類型，諸如，比方說，氬、氦、氮、空氣等等。

襯套筒206包含流體，諸如光阻劑液體組成物、化學機械研磨漿液、或其他適當的流體組成物。襯套筒係藉由包括配送管線208之流路而以流體配送關係與下游的流體利用半導體製造工具238聯結。配送管線208視製程裝置 之特定實行中所需要或期望，而選擇性包括流體加工、監測或控制單元218。此種單元218可視特定應用中所需要或期望，而設有排氣管線219。

此具體例中之襯套筒206可由可抵抗襯套筒之外部周遭環境中之氣體滲透的障壁薄膜所形成。舉例來說，襯套筒可由聚四氟乙烯(PTFE)薄膜形成，以防止進入的空氣或其他來自氣體之周遭環境氣體物種與襯套筒的外表面接觸。更一般而言，可使用具有揭示於2005年4月25日提出申請之同在申請中之美國臨時專利申請案第60/674,578號，「適於壓力配送之零頂部空間/最小頂部空間之襯套筒式之液體儲存及配送系統」(將其全體揭示內容併入本文為參考資料)之特性的多層層合物及障壁薄膜，以有利於本發明之特定具體例。

配送操作係藉由使加壓氣體自來源212流動通過管線210進入襯套筒式之包裝的內部體積204中而進行。在內部體積中，加壓氣體於襯套筒206之外表面上施加壓力，因而可壓縮襯套筒及使其消癟，以致迫使流體進入配送管線208中。

流體自配送管線208進入過濾器220，其可將流體脫氣，自液體移除微細顆粒，或以其他方式改良液體之特性或品質供後續使用。過濾器220包括其中具有流動控制閥224的排氣管線222，以視需要自過濾器排放氣體及/或液體。管線222中之排放物流可為，例如，藉由於過濾器220中之過濾操作所產生的滯留物流。

將經由於過濾器220中過濾產生的濾液排放至其中包括分別位於配送泵232之上游及下游之流動控制閥228及234的流體進給管線226中。流動控制閥228具有與其相關聯的自動閥引動器230，及流動控制閥234具有與其相關聯的自動閥引動器236。

配送泵232可為任何適當類型，包括膜片泵、活塞式泵、蠕動泵、注射器型泵、定量(metered-dose)泵等等。特定泵的選擇將視受配送流體之特性、下游流體利用位置或設備之需求、與泵相關聯之流路中之壓降等等而定。

經配送流體自流體進給管線226傳送至工具238以於其中進行利用。工具可為任何適當類型，包括塗布、蝕刻、研磨、遮蔽、沈積、揮發、熱解、包裝、混合、減量或其他類型的工具。

流體配送及利用操作可使用包括中央處理器單元(CPU)240之控制系統，於圖3中說明展示的製程裝置中以受控制的方式進行。CPU可為任何適當類型，諸如通用的可程式化電腦、微處理器、微控制器、可程式化的邏輯控制器等等。

在圖3中說明展示的說明性製程設備中，CPU係與壓力傳感器216操作聯結，該壓力傳感器216係經由壓力感測線路214連接至流體配送管線208。壓力傳感器可為任何可有效偵測配送管線208中之經配送流體之壓力，及反應產生一與感測壓力相關之訊號的適當類型。此一反應訊號 自傳感器216於訊號傳輸線路248中傳輸至CPU。

對來自傳感器216之此感測壓力訊號起反應的CPU 240可經設置成反應性地調整製程設備之組件，包括：利用於訊號傳輸線路246中傳輸至來源212之控制訊號調整加壓氣體來源212；利用於訊號傳輸線路260中傳輸之控制訊號調整流體加工、監測或控制單元218；利用於訊號傳輸線路252中傳輸之控制訊號調整閥引動器230；利用於訊號傳輸線路256中傳輸之控制訊號調整閥引動器236；及/或利用於訊號傳輸線路254中傳輸之控制訊號調整泵232。以此方式，可反應由傳感器216所感測得之配送壓力調整各種受控制的系統組件。

圖3具體例中之CPU 240係經設置成與輸出裝置244相通，該輸出裝置244例如可包括經由訊號傳輸線路242連結至CPU的顯示監視器244，或其他輸出裝置或輸出能力或子系統。

在本發明之一具體例中之CPU係經構造及設置成監測經配送流體之壓力以及加壓氣體之壓力。為監測加壓氣體之壓力，來源212可具有與其相關聯之操作聯結至訊號傳輸線路246，且經設置成可將與來源212中之加壓氣體壓力相關聯之訊號傳輸至CPU的壓力傳感器。因此，當明瞭訊號傳輸線路246可為可將訊號於CPU與來源212之間來回傳輸的雙向訊號傳輸線路或多線路纜線。

本發明之上述具體例反映當藉由於可撓性襯套筒上施加壓力而自襯套筒配送流體時，在接近完全消癟位置(此 時流體自襯套筒耗盡)時之襯套筒的漸進消癟牽涉襯套筒反應施加壓力之摩擦變化的發現。明確言之，經觀察到當襯套筒消癟時，在接近完全消癟位置時的接近配送末端，對於每個增量之額外的襯套筒消癟，襯套筒摩擦將增加。當摩擦增加時，要消耗更多來自加壓氣體的能量於使襯套筒消癟，且經配送流體之壓力開始下降，一開始的變化速率較低，然後當最終達到襯套筒的排空狀態時，在配送操作結束時更為陡峭(快速)。

經配送流體之壓力在前述之相對較低變化速率下的掉落標示可於經配送流體之壓力成時間函數之圖中輕易辨識的轉變。因此，壓力曲線的「斜率下降」提供容器接近耗盡的早期指示，且在此斜率下降之後為當容器達到耗盡(排空或實質上排空)狀態時的陡峭斜率。

基於此壓力配送特性，可選擇或以其他方式設定與襯套筒式之包裝聯結以達成經配送流體之流動通過流路的泵或其他原動流體傳動器，而提供將可於整個配送操作期間(即自襯套筒之一開始滿的狀態，進行至早期斜率下降壓力行為，及最終再至衰退至排空或接近排空狀態的陡峭斜率)達成配送的傳動壓力。

作為一說明實例，在將光阻劑自襯套筒式之包裝傳送至半導體製造工具之圖3所示之一般類型的系統中，原動流體傳動器的壓力設定點可為7psig，且原動流體傳動器可為經設置成以一系列的分散小體積或「擊」泵送流體作為在各擊之前進行吸入步驟之泵送循環之部分的定量 泵。當接近配送結束狀態時，經配送擊之壓力對時間的斜率開始緩慢下降。在6psig的壓力下，有大於50毫升的光阻劑殘留於襯套筒中。自7psig之(設定點)壓力下降至6psig提供接近排空的早期警示。壓力接著在不再可進行液體泵送之排空狀態時快速下降至約1.5psig。在此排空狀態下，有極少量的光阻劑(體積甚低於10毫升，例如，5毫升之光阻劑)殘留於包裝中，其呈現原來於包裝中供給之光阻劑之大於99.75%的整體利用值。

因此，基於經配送流體壓力中之此配送結束轉變的排空偵測系統及方法提供襯套筒中之流體耗盡開端的充分指示，以使對於將補充流體過渡供給至流體利用製程之外部儲槽的需求減至最小，或在一些情況中，甚至免除此需求。結果，補充流體的阻滯(hold-up)存量相應地減至最小或甚至經免除，且製程的整體經濟性相應地獲得改良。

圖4-8係說明結合圖3所說明之類型之襯套筒型包裝於流體配送操作期間之配送系統行為的壓力-時間圖，其中該原動流體傳動器係於重複循環中以交替的吸入及正流體置換步驟操作的擊配送泵。使用去離子水作為試驗液體，於系統的四個試驗中測定壓力分佈、配送擊變異性、及最終殘留液體。液體的配送速率係每60秒一擊於6秒內配送5毫升(即每分鐘一個5毫升的擊)。進行試驗以捕捉接近排空狀態時之襯套筒式之包裝之壓力衰退的分佈，及記錄配送擊的分佈以及測量在最終排空狀態時的殘留化學物質。加壓氣體係壓力為7psig之乾淨乾燥的空 氣。

圖4係前述襯套筒式之流體儲存及配送包裝之包裝壓力(單位psig)及經配送流體重量(單位克)成時間(單位秒)之函數的圖，其顯示系統在包括於容器中之最後250毫升液體之配送操作期間的壓力行為。在此圖中，曲線A係包裝壓力，及曲線B係經由稱重經配送流體所測得之此種經配送流體的累積重量(單位克)。如圖所示，在2400秒附近，當殘留約40毫升之水供配送時產生接近耗盡的早期警示。在約2850秒時達到排空狀態，此時於襯套筒中有9毫升的殘留液體。

圖5係前述襯套筒式之流體儲存及配送包裝之包裝壓力(單位psig)及經配送流體重量(單位克)成時間(單位秒)之函數的圖，其顯示系統在包括於容器中之最後550毫升液體之配送操作期間的壓力行為。在此圖中，曲線A係包裝壓力，及曲線B係經由稱重經配送流體所測得之此種經配送流體的累積重量(單位克)。如此圖所示，在6600秒之配送時間附近發生指示耗盡開端的斜率下降。在約7250秒之配送時間時發生襯套筒的完全耗盡。

圖6係襯套筒式之流體儲存及配送包裝(液體自其藉由循環吸入泵之作用以一系列的連續「擊」配送)之包裝壓力(單位psig)及經配送流體重量(單位克)成時間(單位秒)之函數的圖，其顯示系統在包括最後50毫升液體之配送操作期間的壓力行為。在此圖中，曲線A係包裝壓力，及曲線B係經由稱重經配送流體所測得之此種經配送流體 的累積重量(單位克)。可容易看見曲線B的階梯分佈，且沿曲線之階梯大小的實體反映於泵循環之連續擊配送段中配送之流體的恒定體積部分。曲線A之分佈反映在吸入循環期間的壓降，及於吸入擊之後的鬆弛作用。

圖7係襯套筒式之流體儲存及配送包裝(液體自其藉由循環吸入泵之作用以一系列各包含1.42克液體的連續「擊」配送)之包裝壓力(單位psig；曲線A)及經配送流體重量(單位克；曲線B)成時間(單位秒)之函數的圖。此圖顯示在配送操作期間來自流體儲存及配送包裝之最後七個配送擊的數據，以及擬合數據之線性方程式。曲線C係方程式y=0.0237 x+145.67之擬合至曲線B數據的直線。

圖8係襯套筒式之流體儲存及配送包裝(液體自其藉由循環吸入泵之作用以一系列的連續「擊」配送)之包裝壓力(單位psig)及經配送流體重量(單位克)成時間(單位秒)之函數的圖，其顯示在配送操作期間來自流體儲存及配送包裝之最後四個配送擊的數據以及擬合數據的線性方程式。在此圖中，曲線A係包裝壓力，及曲線B係經由稱重經配送流體所測得之此種經配送流體的累積重量(單位克)。曲線C係方程式y=0.0286 x+16.746之擬合至曲線B數據的直線。此圖顯示在液體配送之最後四擊期間之包裝壓力曲線的配送分佈下降，反映在約4200秒之配送時間時之襯套筒之液體存量耗盡的開端。

由前述說明當可明白由經配送流體之成配送時間函數 之壓力曲線所證實之壓力斜率下降，當壓力成時間函數之變化速率開始顯著增加時，提供可更換新的流體包裝供後續配送用，或以其他方式在連續包裝之佈署期間提供顯著小於利用先前技藝之「初始氣泡」排空偵測方法所需者之過渡流體來源之充分早期特徵的排空偵測能力。

在本發明之一具體例中，可以圖3所示之方式設置襯套筒式之包裝，設置一壓力監測器諸如傳感器以偵測襯套筒中之流體壓力，其與一經構造成可開始適當作用的控制系統操作聯結。舉例來說，控制系統可經設置成輸出一指示經配送流體耗盡之開端的警示，以致可以及時的方式達成流體供給包裝的更換，而確保操作的連續。或者，控制系統可經設置成開始將流體配送自第一包裝轉換至第二個新包裝的起始準備，以致其後當第一流體供給包裝耗盡時可進行「迅即(sharp)」的更換。又再一種選擇為可將控制系統構造及設置成以與襯套筒式之包裝中之殘留流體之有效存量緊密配合的方式終止流體利用製程。

當明白本發明之排空偵測系統可以相當多樣的特定形式實行，且反應襯套筒耗盡之開端的偵測採取特定作用的變化。

進一步明白本發明可以結合襯套筒式之流體儲存及配送系統(其在所容納流體之配送操作中連接至下游的流體利用製程)利用連接前確認聯結器以及排空偵測系統的變異形態實施。

在另一態樣中，本發明涵蓋一種自一承受壓力之可消癟 之襯套筒供給流體以達成流體配送之方法，此方法包括監測經配送流體之壓力成時間之函數，及測定作為預定之接近流體自襯套筒耗盡之指示之壓力-時間函數的壓力斜率下降，及在預定之接近流體自襯套筒之耗盡時，於襯套筒上施加一壓力尖峰以達成流體自襯套筒的進一步配送。

在此方法之再一變形中，於在襯套筒上施加壓力尖峰後自襯套筒配送之流體流至儲槽以於流體自襯套筒耗盡之期間過渡供給流體，而確保將流體配送至下游流體利用裝置或其他最終使用位置的連續性。

本發明之另一態樣係關於一種用於與流體儲存及配送容器之蓋聯結之類型的配送頭連接器。根據本發明，連接器具有人體工學增進特性，可使其之使用容易而不會有在使用先前技藝連接器時所遭遇到的困難。本發明係關於一種具有「推離(push off)」特徵的人體工學手柄，藉由此特徵可容易地將連接器裝設於襯套筒式之流體儲存及配送包裝上及自其移除。

此人體工學連接器以其之說明具體例而示於圖9-17。

現參照圖9，其顯示連接器300與瓶中袋(BIB)容器302結合，該容器302包括設置於硬質外包裝之內部且適於容納液體(例如，用於半導體製造應用之高純度液體)的薄膜襯套筒。連接器300包括主體部分301，其上裝置包括壓板306及308的壓板組件，該壓板306及308與容器上之蓋304鎖緊結合。壓板凸輪314及316與壓板聯結，以使壓板可視如圖所說明連接至壓板凸輪314及316之手柄 318的位置而結合及脫離。

壓板凸輪314及316各係安裝於相關的輪軸上，此等輪軸上亦分別安裝推離凸輪310及312。

人體工學手柄及推離特徵包括數個鍵部分。手柄318係具有指溝的手柄，其可由使用者容易地抓取，以當將其移除時可牢牢地抓住連接器。壓板凸輪係一主要特徵，且被使用作為旋轉凸輪組件，當藉由手柄之相關動作使壓板凸輪向上旋轉時，其使壓板產生作用。壓板凸輪在此旋轉期間向上提升且將壓板向內壓，其對壓板軸產生一力矩，使壓板自蓋304打開/解鎖。

壓板凸輪之另一主要特徵係扭矩彈簧(未示於圖9)，其確保手柄可下降，且使壓板可在加壓容器302之內部體積以於其中之襯套筒上施加外部壓力之前鎖住。藉由使手柄偏動至向下的位置，可確保壓板的鎖緊狀態，並相應地確保容器組件之緊密不漏以供後續之配送操作用。

以上所論述之壓板凸輪314及316係與推離凸輪310及312聯結，此種配置使得當將手柄318旋轉至向上的位置時，推離凸輪可推離蓋304的頂部。凸輪側面的逐漸變化使連接器301可平順地自包裝脫離。扭矩彈簧亦可確保推離凸輪不會處於開啟位置中。當推離凸輪處於關閉位置中時，由於推離凸輪將會干涉蓋304，因而無法將連接器置於容器302上。

位於連接器之各側上的輪軸通過位於連接器之此側上的兩壓板凸輪及推離凸輪，且其作為使兩凸輪可於其上旋 轉的軸承。

連接器本體之特徵在於位於其側面上之突出物，其作為止擋件而使手柄停止於垂直位置中，且防止其干涉任何的接頭。連接器本體亦嵌入扭矩彈簧。

圖10顯示連接器300之前視圖，其中手柄318係位於向下的位置。圖11顯示連接器300之相應的後視圖。圖12顯示連接器300之前透視圖，其中手柄318係位於向上/解鎖的位置。圖13係連接器300之底部透視圖，其顯示推離凸輪310與壓板凸輪314聯結。如圖所說明，推離凸輪310中具有一溝槽，以利於連接器與容器蓋之聯結。圖14顯示手柄318位於下方位置之另一底部透視圖，推離凸輪可由此位置向上旋轉。圖15係連接器300之側面透視圖，其顯示限制手柄318移動至垂直位置之位於連接器本體301之外表面上的手柄止擋件320。圖16係連接器之一部分的透視圖，其顯示壓板308及相關聯之扭矩彈簧切口322的細節。圖17係壓板凸輪316之透視圖，其將其結構之細節示為包括碟形主體332、其上之斜坡表面324、具有經構造成可與推離凸輪聯鎖之內表面330的圓柱形軸環328、及扭矩彈簧切口326。

藉由如圖9-17所示之連接器之結構，提供一種可與襯套筒式之流體儲存及配送容器302結合之可容易裝設及移除的連接器。

本發明之再一態樣係關於一種接頭密封及利用其之襯套筒式之流體儲存及配送包裝。

接頭密封物件以其之說明具體例而示於圖18-23，其中圖18-23顯示接頭密封物件，及圖23顯示裝設於襯套筒式之流體儲存及配送包裝中之襯套筒之接頭上的此等物件。

圖18係根據本發明之一具體例之接頭密封350的透視圖，其顯示其上部的細節。接頭密封350具有碟形主體351，自其向下懸出一圓柱形的密封壁355。碟形主體351包括自主體上表面向上延伸的環形突面356。

圖19係圖18之接頭密封350的透視圖，其顯示其底部的細節。接頭密封350包括碟形主體351及圓柱形的密封壁355。接頭密封之中心底面部分359係與主體351一體成形，且如圖18所示於密封之上表面上形成一中心井結構，及如圖19所示於密封之底表面上形成一相應的突出物。

圖20係圖18-19之接頭密封的頂視平面圖。如圖所說明，密封包括碟形主體351及包圍中心井360的環形突面356。

圖21係圖20之接頭密封沿其線A-A之橫剖面圖。接頭密封350如圖所示包括終止於外部周緣部分的碟形主體351，該外部周緣部分如於圖22之放大詳圖中所示成錐形。

主體351具有主要上表面352及主要底表面354。圓柱形之密封壁355於其下端部分處具有一向內成錐形的外表面357。主體351包括被自本體之主要上表面向上突出 之環形突面356所包圍的中心井360。中心底面元件359具有位於井中的主要上表面362，及界定一於接頭之底部上被環形溝槽358所包圍之突出物之相應的主要底表面364。

圖22係如圖21所示之接頭密封之外緣部分的放大圖。外緣部分如圖所示包括主體351之上表面之向下成錐形的邊緣側面，且圓柱形之密封壁355如圖所說明係與主體351一體成形且自其向下懸出。

圖23係圖18-19之接頭密封350的底視平面圖，其顯示主體之外部周緣部分353及向下懸出之圓柱形的密封壁355、中心底面元件359、接頭密封之主要底表面354、及環形溝槽358。

圖24係包括經設置成密封容器之接頭之圖18-19之接頭密封之流體儲存及配送容器的部分橫剖面前視圖。

接頭密封E在圖24中經示為安置於接頭H之孔開口中，該接頭H依序再聯結至襯套筒(未示於圖24)，且蓋G經示為以各別結構的互補螺紋與容器之硬質外包裝的上部結合。

圖24之接頭密封配置提供與接頭H相關聯之襯套筒中之流體的有效密封，以保護此流體防止其受到流體儲存及配送包裝之周遭環境的污染。在說明結構中之各種密封包括位於硬質外包裝與蓋G之間的第二氣體密封A，及位於接頭(至襯套筒之開口)與蓋之間的第二氣體密封B。

撕裂垂帶手柄C經呈現為如圖所說明，且接頭密封E係 經構造為提供大致呈現為在接頭密封與撕裂垂帶之間之D的搭扣配合(snap fit)連接。接頭密封E於其外圍部分提供用於密封接頭H的圓形凸緣F。扣環I將接頭H相對於硬質外包裝容器之頸部J固持定位。

本發明之接頭密封係由任何適當的構造材料所形成，諸如橡膠、聚合或其他可撓性的彈性材料，且係與設置於接頭孔開口內部之密封之向下懸出之圓柱形壁附接，以當將蓋裝設於容器上時，有效地密封襯套筒的流體內容物。密封之向下懸出之圓柱形壁之外部垂直延伸表面與設置於容器頸部中之接頭的內表面干涉配合，而提供密封接頭的延伸圓柱形區域。

向下延伸之圓柱形壁的底部成錐形，以確保接頭密封可迅速插入至接頭中。接頭密封之中心部分的井結構使當密封與接頭之頸部接觸時，密封可向內凹或向外凸，且於接頭上提供強的密封作用。

接頭密封之外圍的凸緣部分提供似刮刷器的功能，以阻止任何於其上方產生的顆粒進入下方的流體，且亦促進支承密封之外緣，以防止其「捲入」及喪失密封完整性。

圖24所示之蓋具有在接頭H之口部與徑向向外突出之凸緣結合，且可支承接頭之外緣以防止其加大及減輕接頭密封上之密封壓力的內部突出物。所說明之蓋具有一位於接頭密封正上方之撕裂垂帶特徵。接頭密封最好係連接至此撕裂垂帶結構，以致當撕裂垂帶未撕裂時，接頭密封自接頭拉出且保持與撕裂垂帶相關聯。

圖24所示之接頭密封具有以下之超越目前使用之膜封的優點：(i)接頭密封未被穿刺或破裂，而係藉由抬離其所安置之接頭而移除，以致於移除接頭密封時所產生之顆粒數目遠小於在穿刺啟封膜時所產生者；(ii)接頭密封具有在密封之邊緣區域處向外突出且延伸至蓋的似刮刷器結構，以對所容納之流體提供遮蔽保護，防止受到由在密封上方之任何作用所產生之任何顆粒；(iii)由於不同於目前所使用之當裝設探針時沿探針之整個長度拉曳的啟封膜，密封係完全自接頭移除，因而可裝置在本發明之密封配置中之探針，而不會與任何表面接觸，且不會拾取顆粒及將其帶入至所容納的流體中；(iv)本發明之接頭密封係獨立的分離部分，且可改變其之構造材料以適合容納於流體儲存及配送包裝中之特定流體；(v)附接至撕裂垂帶的接頭密封可容易地再插入以密封空的或經部分使用的流體儲存及配送包裝；(vi)由於將本發明之接頭密封完全移除，因而將探針插入至容器中之流體中所需的力極小；(vii)本發明之接頭密封可相對於接頭上下移動，而不會影響接頭密封的密封作用，即密封完整性不會由於密封之向下延伸之圓柱形壁與接頭之內表面的延伸垂直結合而受垂直夾緊力的鬆弛作用影響。

本發明之另一態樣係關於一種適用於與襯套筒式之流體儲存及配送包裝結合，而作為包裝之封閉物的蓋。

圖25係流體儲存及配送包裝之蓋370的概略透視圖，其特徵為位於蓋之側壁上的防旋轉結構。蓋370如圖所示 包括蓋主體372，其包括圓柱形態之側壁374、及圓形頂壁376。側壁374之特徵為在圓周上間隔開，自側壁374之底緣向上延伸至側壁之中間部分378的切口380。在所示具體例中之此等切口大致為矩形，且其之上端連接至大致向下懸出的防旋轉指狀元件382。各指狀元件382具有在其上不存在力之狀況下偏動至向外張出之位置，且其之下端終止於徑向向內延伸之凸出部元件386的細長形條狀物部分384。指狀元件382可與蓋之本體一體成形，或其可形成隨後再固定至蓋本體之切口380中的個別元件。

蓋370可為任何適當構造材料的部分。在特定具體例中，蓋係適當地由聚合材料，諸如聚乙烯、聚丙烯、聚四氟乙烯、或其他適當的構造材料所形成。

圖26係流體儲存及配送容器390及可與其配對結合之相關蓋結構的示意圖。容器390如圖所示具有頸部392，其中經形成間隔開之鎖緊穴394之在周圍延伸的帶。在此說明具體例中，鎖緊穴394為方形，以與凸出部386協同作用。如圖所示，蓋本體372係經製造成使指狀元件382向外偏動，使細長形條狀物部分384向下懸垂離開蓋本體，而脫離與鎖緊穴394的結合。

圖27係流體儲存及配送容器及相關蓋結構及連接器本體結構之示意圖，其顯示其之協同作用特性。

如先前所說明之流體儲存及配送容器390係經製造成具有一系列位於其頸部之外表面上的鎖緊穴394。蓋372經連接器本體396過配合，使連接器本體之圓柱形壁推於 蓋之指狀元件上，以致各指狀元件之凸出部386與流體儲存及配送容器390之頸部上之相對的鎖緊穴394鎖緊結合。

因此，當將配送連接器與蓋結合時，連接器之圓柱形側壁向下滑於蓋上，及迫使指狀元件382徑向向內，以致凸出部386與容器390之頸部區域之外表面中的鎖緊穴協同作用。藉由此配置，可防止當連接器與蓋結合時，蓋自容器之頸部旋開。

圖28顯示適於與襯套筒式之流體儲存及配送包裝結合，作為包裝之封閉物之蓋的另一防旋轉結構。

圖28係特徵在於位於容器400之頸部區域402上之防旋轉鎖緊結構404之流體儲存及配送包裝與相關之蓋406及連接器408的透視圖。如圖所示，容器頸部區域402之特徵在於其上的螺紋，藉由其可與蓋406上之互補螺紋旋轉結合。蓋406於其外表面上具有向外延伸的垂帶407，其當連接器與蓋結合時經連接器408鎖緊。在此種結合中之連接器本體可使垂帶向內彎曲，因而使鎖緊結構產生作用。於此種作用後，當於連接器與蓋結合之後旋轉蓋時，垂帶將會被棘輪結構404的齒阻擋，因而防止蓋自容器移除。

當將連接器自蓋移除時，蓋上之垂帶元件將會彈回至其之向外偏動的位置，而脫離與棘輪結構404結合的位置。

因此，蓋上之垂帶407係經製造成使其一般偏動至向外延伸的位置，脫離與棘輪結構404的結合。只有當將垂帶 壓縮至徑向向內之位置時，其才可與棘輪結構404鎖緊結合。

圖29係圖28之流體儲存及配送容器及相關之蓋及連接器結構的透視圖，其顯示其之細節。圖29之各種部分及特徵係與圖28相應地編號。在圖29所示之位置中，蓋406上之垂帶407經連接器408位移至蓋之旋轉受到棘輪結構404阻擋的位置。

圖30係圖28之流體儲存及配送容器之蓋406的透視圖，其顯示垂帶407位於其正常的向外偏動位置。

圖31係圖30之蓋406的頂視平面圖，其顯示垂帶407位於其正常的向外偏動位置。

圖32係圖28之流體儲存及配送容器400的透視特寫圖，其顯示位於容器之頸部區域402上之防旋轉鎖緊結構404的細節。頸部區域402可如圖所示設有與蓋之內表面上之螺紋互補的螺紋，藉此蓋可與容器頸部結合。

藉由圖28-32中所示之結構，提供一簡單的配置用於防止當連接器附接至蓋時，蓋自容器移除。

圖33-36顯示適於與襯套筒式之流體儲存及配送包裝結合，作為包裝之封閉物之蓋的另一防旋轉結構。在此具體例中，鎖緊結構包括位於容器頸部區域的突出物，其當將蓋旋入至容器上之最終位置中時，配合至位於蓋之下部的切口中。此具體例中之鎖緊結構與連接器是否裝設於蓋上無關。蓋可經由在距鎖緊結構90°之其之相對側上擠壓蓋，以使蓋之截面形狀變形成橢圓形或卵圓形態，或藉由 使用適當的移除工具而打開。

另一種變形為可將鎖緊結構設計成使其可經由拉動垂帶而撕下。當裝設連接器時，垂帶將被覆蓋，因而在可將蓋本身移除前，需先將連接器自蓋移除。

圖33係特徵在於位於容器之頸部區域416上之防旋轉鎖緊結構418之流體儲存及配送容器414的透視圖。容器414之本身可由任何適當的構造材料所形成，然後一較佳具體例中，容器係由諸如聚乙烯、聚丙烯、或聚四氟乙烯之聚合物所形成。防旋轉鎖緊結構418係由在容器之頸部區域設置於容器414之肩部上之垂直豎立的柱所構成。容器之頸部可如先前所說明具有適當的螺紋或其他可配對結合的結構，以在使用容器時與蓋聯結。

圖34係可與圖33之容器之頸部區域上之防旋轉鎖緊結構結合之蓋420的透視圖。蓋之特徵在於在圓周上間隔開之完整厚度翼樑元件424之間的下端部分具有較在此下端部分上方之蓋之側壁部分小的壁厚度，因而界定一系列在圓周上間隔開的溝槽422。

圖35係與圖33之流體儲存及配送容器414之頸部區域上之鎖緊結構418結合之圖34之蓋420的透視圖。如圖所示，翼樑元件424阻止蓋422旋轉移動至蓋之溝槽422中之存在柱鎖緊結構418處。

圖36係與圖33之流體儲存及配送容器之頸部區域上之柱鎖緊結構418結合之圖34之蓋420的前視圖。

藉由此種配置，蓋420可容易地與容器414之頸部結 合，且固定於鎖緊位置，作為防止其自容器移開的安全裝置。

圖37-39顯示適於與襯套筒式之流體儲存及配送包裝結合，作為包裝之封閉物之蓋的另一防旋轉結構。在此具體例中，鎖緊結構包括位於容器頸部區域的垂直垂帶突出物，其當將蓋旋入至容器上之最終位置中時，阻擋位於蓋之下部上的突出物。

圖37係特徵在於位於容器之頸部區域432上之防旋轉鎖緊垂帶434及436之流體儲存及配送容器430的透視圖。在容器之431中之頸部可具有螺紋或其他用於與蓋聯結的結合結構。垂帶434及436如圖所示自容器表面向上延伸。

圖38係聯結至容器430之頸部之蓋440的透視圖，其中蓋之突出物442與容器頸部區域上之防旋轉鎖緊垂帶434結合。此具體例中之蓋經連接器444覆蓋。

圖39係圖38之蓋440的透視圖，其顯示鎖緊突出物442在蓋的下緣部分於圓周上彼此間隔開。

在本發明之另一態樣中，目前所使用之啟封經兩密封(即未潤濕的氣體密封和可迅速移除的液體密封)所取代。氣體密封係由設置於蓋與襯套筒之接頭頂部之間的圓環所構成。此密封維持施加於硬質外包裝與襯套筒之間的壓力，防止其滲漏至蓋的中心區域，否則其將會經由自連接器探針進入開口離開而逸出。需要氣體壓力於擠壓襯套筒，以達成襯套筒之壓縮，而迫使所容納之流體經由探針 配送組件離開。

液體密封係防止液體於接頭處自襯套筒逸出之簡單的塞子。此塞子可藉由下述技術的任一種容易地移除。

在第一種結構配置中，液體密封係附接至蓋上之撕裂垂帶的底部。當在蓋之頂部中心中之弱化的圓形區域經拉開且未撕裂時，將液體密封移除。接著可不用移除蓋且不用穿破通過密封，而將探針組件直接裝設至容器中。提供個別的塞子與O形環密封以封閉蓋中之加壓孔洞。此塞子係藉由小繩帶或其他連接結構附接至撕裂垂帶較佳，以致當將撕裂垂帶移除時，容易地移除塞子。此提供塞子以密封加壓孔洞可使加壓孔洞經完全模製成具有良好的密封表面。

在第二種配置中，液體密封係附接至設置於蓋中心之小塞子的底部。當將塞子自蓋旋開時，液體密封經移除。接著可裝設探針組件。另外，移除塞子可打開孔洞使探針進入。由於加壓孔洞經不可旋轉的中心塞子覆蓋及塞住，因而加壓孔洞可經完全模製成具有良好的密封表面。

藉由此等配置，可不用弄破或撕裂密封而裝設配送組件之探針。此說明需要在現今實務中所需之高穿刺力於穿刺啟封，及避免產生在其他情況中會進入襯套筒中之高純度流體的顆粒。另外，在前述兩配置中之蓋中之加壓孔洞可平順地模製及最終可有效地密封而不洩漏。

在再一具體例中，蓋係由經塗布聚四氟乙烯之塗層的聚乙烯所形成，以達成液體密封。在另一變形中，將一額外 的扁平襯墊束緊於蓋之內側底表面與氣體密封襯墊的頂部之間，以達成液體密封。

在特定具體例中之額外的密封配置包括使用具有兩O形環的塞子於密封襯套筒之接頭的內徑，以產生液體密封。在此配置中可利用個別的塞子於密封加壓孔洞。另一種選擇為提供由聚四氟乙烯所形成之中心塞子，將其旋入至主蓋中。塞子於襯套筒之接頭頂部上產生一面密封，以產生液體密封。可提供個別的塞子於密封加壓孔洞。又另一種變形為可提供實心的聚四氟乙烯中心塞子，其具有一額外的楔劈機構，以將中心塞子壓向接頭頂部，而將其固定位。聚四氟乙烯塞子與襯套筒之接頭頂部達成面密封，而產生液體密封。如同在其他配置中，可提供個別的塞子以密封加壓孔洞。

圖40-43中顯示本發明之其他具體例，其顯示與連接器附接之襯套筒式之流體儲存及配送包裝之各種藉手柄引動的連接器移除配置，其中連接器手柄可手動操作以達成連接器自各別之流體儲存及配送包裝的脫離。

圖40係流體儲存及配送系統450之一部分的透視圖，其包括經固定配送連接器454之流體儲存及配送容器452。配送連接器454利用位於連接器之各個別側的單一柱460、461。手柄455係固定至連接器之外殼，且其之各別端聯結至徑向凸輪456、457。當旋轉手柄455時，徑向凸輪456、457將壓板458向內推(圖中展示壓板458，且系統經對稱構造成在與圖40所示者相對之連接器454 之側上具有一額外的壓板)。藉由連續旋轉手柄，位於手柄各端的徑向凸輪推於各別的柱460、461上。此等柱各裝有彈簧，其中彈簧462設於柱460上及彈簧463設於柱461上。使各柱裝有彈簧可確保手柄於使用後移回至原位。柱可自手柄轉移扭矩，以於流體儲存及配送容器452上施加向下力。於各別柱上之彈簧連同扭矩彈簧，可確保手柄回到其原來的方位。

圖41係另一流體儲存及配送系統之透視圖，其中連接器474聯結至流體儲存及配送容器472。此具體例利用位於連接器之各側上之兩個柱。兩個柱478、479經展示位於如圖41所描繪之系統的左側，而一個柱(柱481)經展示為位於如圖式所描繪之系統的右側。

手柄476係固定至連接器之外殼，其之各別端聯結至用於將手柄之扭矩轉變為垂直力的凸輪484。當雙柱件部分在凸輪484之作用下向下移動時，在此部分之內側上的側面以線性動作向上提升至壓於壓板483上。於各柱上之線性彈簧連同扭矩彈簧，使手柄於其之手動移動後回到其原來的方位。

圖42係根據另一具體例之流體儲存及配送系統490的前視圖，其中使用連桿組配置於將手柄496上之扭矩轉變成垂直力。連桿組將力集中於與柱485、486相關聯的雙柱部分487、488上，且容許使用單一扭矩彈簧於使手柄及雙柱部分回到關閉位置。此配置亦利用線性凸輪於打開各別的壓板491、493，及利用雙柱於「推離」流體儲存 及配送容器492。

圖43係根據本發明之另一具體例之流體儲存及配送系統的前視圖。系統500包括流體儲存及配送容器502，其與連接器504聯結，該連接器504於其之各相對側上具有與相對應之壓板508相關聯的側面平台505。在各情況中之側面平台包括雙柱506、507(與在圖43之右手邊上所示者相對的側面平台係對稱地構造及設置)。

為使連接器504自流體儲存及配送容器502釋放，使用者將兩手固定於連接器本體之各別側上，使掌心與各別的側面平台505接觸，及抓緊連接器本體作為支撐。使用者以擠壓動作對各別的側面平台505施加壓力。各別的柱使壓板508與線性凸輪產生作用，且四個柱接著推離容器502。

本發明於另一態樣中亦涵蓋一種具有鎖緊垂帶的蓋/器械圈組件及可與此組件配對結合的流體儲存及配送容器，其中容器之特徵為鎖緊齒及錯誤連接干涉特徵。

圖44係此一流體儲存及配送包裝之分解透視圖，其特徵為防止流體儲存及配送包裝與不正確之配送連接器結合的鎖碼結構及錯誤連接干涉結構。

如圖44所示，流體儲存及配送容器510具有頸部512，於頸部512之外表面上具有用於與蓋D之內表面上之螺紋協同結合的螺紋F。容器510之特徵為位於頸部512附近之其之上表面上之鎖緊齒G的陣列，及位於頸部512附近之此上表面上用於防止配送連接器錯誤連接至容器的干 涉特徵H。

蓋D之特徵為位於蓋之下部的鎖緊垂帶E。蓋具有兩個或兩個以上之在圓周上彼此間隔開的水平鎖緊垂帶。當將蓋旋上時，此等鎖緊垂帶滑過容器頸部上的鎖緊齒，但當嘗試旋開蓋時，抓住或「咬」入至鎖緊齒中。蓋係由可撓性構造材料，諸如，比方說，聚乙烯、聚丙烯、聚四氟乙烯等等製成較佳。

蓋上之鎖緊垂帶藉由上方器械圈A的環延伸C而推入或起作用。由於塑膠蓋/器械圈組件之可撓特性，當將蓋旋於容器頸部上時，可迫使蓋的鎖緊結構通過容器510的螺紋及鎖緊齒。當隨後將蓋旋開時，容器上之鎖緊垂帶及齒由於其之各別配合面的角度而始於彼此。此兩特徵的干涉將蓋鎖緊至容器。

當需要時，可藉由先移除器械圈及其之附接的下方垂帶作用環、器械圈延伸C，而將蓋移除。可將一諸如螺絲起子的儀器插入至器械圈A中的槽縫B中，然後可將器械圈拉出。一旦將器械圈移除，則可將鎖緊垂帶自容器上的鎖緊齒移開，隨後可容易地將蓋旋開。由於器械圈隨後不再附接至蓋，因而其無法再利用於另一容器上。

錯誤連接干涉特徵H係設置於容器510之上表面上，且自此表面向上突出。此干涉特徵係經設置成使當裝設探針組件時將不會接觸到智慧探針組件，但干涉特徵在其他情況中將會在嘗試裝設不正確的連接器時，干涉其之裝設。

圖44之流體儲存及配送組件的特徵使蓋及容器可以迅 速的方式組裝，但可防止其經由正常的方式而分開。所說明之配置可利用常用的工具(即扁平型(flat blade)螺絲起子)移除蓋，且移除方法使蓋不適用於進一步使用。容器連接器干涉特徵可防止將不正確的連接器裝設於容器上。

圖45係圖44所示之流體儲存及配送包裝之蓋及器械圈組件515的透視圖。此組件包括與蓋D，及與包圍蓋D之器械圈延伸C聯結的器械圈A。

圖46係圖44所示之流體儲存及配送包裝之蓋及器械圈組件515的底視平面圖。此圖顯示鎖緊垂帶被器械圈延伸C推入，且蓋D設置於蓋/器械圈組件內。

藉由圖44-46所示之配置，當需要時可將蓋自容器移除，同時可避免蓋及鎖碼結構之不利於再利用的可能性，而可確保達成正確配送連接器的聯結，且可避免不適當配送連接器的錯誤連接。

本發明之其他態樣係關於螺紋的變形、破壞或移除，以防止蓋的再利用，或將其自流體容器移除，其變化地包括：具有切割或撕裂螺紋上方之區域的齒狀鎖，以及嘗試將蓋移除會導致螺紋扯裂或破壞之配置的螺旋帽蓋；藉由掣止止檔旋於容器頸部上的兩件式蓋，藉此當將蓋移除時螺紋將在高扭矩下剝離；具有防止蓋被旋開之防旋轉特徵的螺旋帽蓋，該防旋轉特徵諸如其中之蓋具有藉由旋開而產生作用之在螺紋上方之撕裂區域的配置，其中其餘的螺紋區域可藉由拉扯垂直撕裂垂帶而移除；兩件式螺紋；撕 離螺紋；自旋出的螺旋螺紋；當將蓋移除時發生變形的成形螺紋；及在化學品供應商設備處額外形成於容器頸部上之大特徵上之蓋上螺紋，藉此當將蓋自容器移除時蓋螺紋受到破壞。

本發明之另外的態樣係關於修改蓋以防止蓋的移除及/或再利用，其包括下列方式：提供蓋需要用工具將其壓入定位的夾，其中當將夾壓入定位時，蓋可以迅速的方式裝設或移除；提供將蓋固持定位的銷，使用移除工具於將銷自固定蓋的位置移出；提供具有壓入銷的螺旋帽蓋以防止蓋旋開，其中該銷僅可藉由特殊工具移除以旋開蓋；提供具有防旋轉鎖的螺旋帽蓋，其中必需將器械圈移除以打開蓋，且其中該鎖包括必需上拉的銷或必需擠壓在一起以使鎖釋放的垂帶；提供具有防旋轉鎖的螺旋帽蓋，其中必需將器械圈移除以打開蓋，其中該防旋轉鎖為棘輪型，其具有在蓋上之齒及在容器上之齒，藉此需要使用特殊工具以高扭矩移除蓋；使用具有僅能「上扭矩」之抓取特徵的器械圈扭矩工具，即當嘗試旋開蓋時，工具抓取特徵將不會抓住，以致必需先移除器械圈才能移除蓋；於蓋上提供將蓋安裝至容器的第二個環，其中當將蓋移除時，環將破裂；提供具有用於將蓋移除之撕裂垂帶的搭鎖蓋，其中一旦將撕裂垂帶移除，蓋將不會再鎖上；提供彈鎖的撕裂環，其中該鎖係位於撕裂環上；提供需要特殊工具以將其自容器割除之搭鎖蓋；提供熱作用或濕至乾作用的收縮蓋或包裝；提供在化學品供應商設備處形成於容器頸部上之 特徵上的無螺紋蓋，其中容器特徵與蓋之間的干涉使蓋維持於定位，以致蓋僅可藉由工具或者藉由用槓桿將其撬動而移除，且移除蓋會將蓋的成形區域扯裂，以致部分的蓋殘留於容器上且可利用特殊工具或垂直撕裂垂帶將其移除；提供經構造及設置成蓋移除會改變器械圈，以致蓋將無法再供配送探針用的蓋；提供藉由裝設配送探針而切割的器械圈，以致當將配送探針移除時器械圈會脫離；提供當將配送探針移除時斷裂的磁性結構；製造具有與蓋中之凹處相配合之特徵的容器，以致當將蓋移除時，容器特徵會斷裂且卡於蓋的凹處，且蓋隨後將無法供新的容器使用；製造具有斷裂垂帶的蓋，該斷裂垂帶當裝設時將蓋於容器上固定位且向下滑入容器中的互補溝槽，及當將蓋移除時斷裂；製造具有當將蓋移除時可經操作以釋放染料之內建染料釋放機構的蓋；製造具有當移除蓋時破裂之安全型標籤的蓋，以致帶有破裂標籤的空容器將顯示被誤用；及於容器及蓋兩者上提供射頻識別(RFID)積體電路晶片，與防止操作人員開關蓋的監測軟體結合。

圖47-56顯示本發明之額外的配送組件探針連接器具體例，其具有經改良的人體工學特性，以利於將探針連接器自流體儲存及配送包裝移除。目前所使用之探針組件可能需要施加20-30+磅之力，以達成探針組件自容器的移除。移除操作在人體工學上而言不舒適，且對操作人員而言棘手，其需要將容器握於一手中，同時另一手必需將鎖緊夾板擠壓在一起及將探針組件自容器提升。由於鎖在鎖 緊夾板被完全壓下之前不會脫離，因而使夾板鬆脫更為困難。操作人員通常會使勁移除探針組件但不成功，而發現僅係未將鎖緊夾板完全壓下。圖47-56之探針組件係經設計為使此等困難減至最小，及提供一種在人體工學上改良的探針組件移除。

圖47係根據本發明之另一具體例之配送組件之連接器550的透視圖。連接器550包括連接器本體552，其與和凸輪558及560互連之人體工學形狀的手柄556聯結。凸輪558及560依序與壓板562及564接觸，以當手柄處於垂直豎立位置時打開壓板而將連接器自蓋554移除，及當手柄處於其之諸如圖47所示之下方位置時，使壓板維持於關閉狀態。

在此具體例中，手柄經連接器本體中之回動彈簧(未示於圖中)偏動至手柄向下的位置。手柄提供兩種功能，當手柄處於上方位置時維持閂鎖搭扣開啟，及提供一種用於手動抓取及施加力以使連接器自與其相關聯之包裝分離之在人體工學上增進的手柄。

手柄具有兩個靠近其樞軸之附接的凸輪表面。當手柄自其之起始位置轉動，鄰近連接器之外殼向下成角度至一垂直位置時，凸輪使將連接器固定至包裝之蓋的壓板失去作用。只要手柄係處於垂直位置，則壓板維持開啟。當手柄處於垂直位置時，其可手動向上拉，以使連接器自蓋及相關聯的容器分離。當處於垂直位置之手柄經釋放時，附接至凸輪之扭轉彈簧使手柄回到其之起始位置及使壓板再 產生作用。藉由此配置，操作人員可完全專注於將連接器自包裝分離，而不用浪費心力於邊在連接器上施加拉引作用邊打開壓板以使其自包裝分離。

此具體例中之各凸輪具有其之旋轉中心位於手柄樞軸的凸輪側面，其中壓板的接觸表面側面與手柄的側面相配合。扭轉彈簧使連接器之外殼與手柄互連，且其可為可使手柄有效偏動至期望下方位置的任何適當類型。在此具體例中，手柄凸輪與壓板始終彼此接觸。

圖48係圖47之連接器的另一透視圖，其中將相同的部分參照圖47作相應的編號，其顯示手柄、連接器及壓板元件的特徵和細節。

在圖47及48所示之配送組件連接器的一修改中，可將一小的輪或球設置於凸輪與壓板之間以降低摩擦，諸如經由在凸輪及壓板中提供互補軌道，其包含在軌道中之滾珠軸承以使摩擦減至最小。或者，可將降低磨損的塗層塗布至凸輪及壓板的軸承表面處，提供相同的用途。此種設置系統可確保使回動彈簧有效地使手柄回到其之起始位置。

圖49係根據本發明之又另一具體例之配送組件之連接器568的前視圖。在此具體例中，將在人體工學上經增進的手柄569裝置於連接器本體570上，以使手柄可相對於連接器本體旋轉移動。手柄係藉連桿組572及574連接至壓板576及578。連接器本體570係裝置於蓋582上，蓋582依序聯結至容器580。

圖49配置中之手柄係與回動彈簧(未示於圖中)及推離 特徵相關聯。此配置中之手柄提供下述功能：開啟閂鎖搭扣；提供在人體工學上經增進的元件以手動抓取及施加力而使連接器自容器分離；及支配使連接器推離特徵作用的連桿組。當手柄向上旋轉移動或延遲時，連桿組將壓板驅動至開啟位置，以及將力及動作傳輸至推離特徵。

因此，當手柄自水平起始位置旋轉至垂直豎立位置時，附接至手柄的連桿組使垂直的閂鎖搭扣連桿組轉動而使壓板釋放。位於閂鎖搭扣連桿組頂部的推離特徵與蓋582接觸。當垂直的閂鎖搭扣連桿組繼續旋轉時，其將附接有容器的蓋推離連接器本體。

此配置藉由破壞O形環封的靜摩擦，使連接器向上移動及降低在其不具有O形環拉曳力之前所必需拉動之距離而降低分離力。此配置之壓板解鎖特徵使操作人員可完全專注於將連接器組件自容器分離，而不用費力打開壓板。手柄有利於迅速施加必需的分離力。當經釋放時，手柄將藉由扭轉彈簧之作用而旋轉通過40-60°之弧形至「鎖上」位置。

圖50係圖49之連接器的透視圖，其中所有的部分元件係相應地編號。

圖51係根據本發明之又另一具體例之配送組件之連接器600於手柄606之第一位置的側視圖。手柄606係裝置於連接器本體602上且與大的第二凸輪608聯結，第二凸輪608與圖47及48所示類型之經夾板作用的凸輪互連。第二凸輪與容器頂部接觸，且促進當手柄旋轉至垂直位置 時，連接器組件自容器的分離。

於此具體例中添加大的第二推離凸輪可藉由破壞在連接器與蓋之間之O形環封的靜摩擦，及使連接器向上移動，因而降低在其不具有O形環拉曳力之前所必需拉動之距離，而降低分離力。當手柄轉動至垂直位置時，連接器自蓋解鎖，且當釋放手柄時，手柄中之扭轉彈簧使手柄回到較低的起始位置。因此，大的第二推離凸輪提供對抗容器604的推離作用，且需要將容器推離連接器。

圖52係圖51之連接器600於手柄之第二垂直位置的側視圖。在此位置，推離凸輪608抵抗容器604之上表面，而提供用於使連接器自蓋及相關聯之容器脫離的推離作用。

圖53係圖51之連接器600於手柄606之第三位置的側視圖。於此位置中展示壓板610。因此，手柄向上移動至垂直位置藉由主要凸輪之作用而達成壓板自蓋之脫離，同時第二凸輪與容器表面結合及提供推離/脫離作用。

圖54係根據本發明之再一具體例之配送連接器之一部分的分解圖。此具體例中之配送連接器包括手柄A，其係裝置於連接器外殼B上且藉由扣件C附接至凸輪F。手柄藉由「手柄回動」扭轉彈簧D偏動至向下的結合位置。樞軸栓E使手柄A與凸輪F互連。壓板G係設置於連接器外殼B之各側上，且其可自流體儲存及配送容器上之蓋栓住及打開連接器。

圖55係根據本發明之又再一具體例之配送組件之連接 器700的簡化空間圖。連接器700亦包括手柄A，其聯結「手柄回動」扭轉彈簧B及主傳動連桿組C。各主傳動連桿組C藉由垂直閂鎖搭扣連桿組E連接至推離特徵D。推離特徵D及垂直閂鎖搭扣連桿組E連接至鎖臂G，其與經固定器械圈H的蓋F結合。

圖56係圖55之連接器的組合透視圖，其說明連接器本體I(未示於圖55)，且圖56之所有其他部分及組件係參照圖55之連接器之相同特徵相應地編號。

本發明之特徵及優點參照以下的非限制性實施例作更完整展示。

(實施例1)

進行試驗以測定壓力傳感器對於在流體自如關於文中圖3所說明之一般類型之襯套筒式之流體儲存及配送系統之壓力調控配送中之排空偵測監測的效力，以測定特定之襯套筒式之流體儲存及配送包裝對於作為包括具有位於上游之製程過濾器之下游配送器之配送列之部分配送光阻劑的適用性。如於本文中所使用之術語「下游配送器」係指製程設備與流體利用工具相關聯，以將流體以預定量或以預定速率供給至工具。所指的下游配送器，例如，包括最終配送泵(例如，可壓縮管泵)、或流量計量裝置、注射器、噴射器、壓縮機、下方噴頭、噴嘴等等。

此應用中之配送操作必需將所需的光阻劑流量供給通過製程過濾器及進入下游配送器中，同時並維持正的下游配送器吸入壓力及一致的在配送結束(EOD)時之配送分 佈，及希望在99.75%左右的化學物質利用率。於流體儲存及配送系統中所利用之襯套筒的體積為4公升，及大於99.75%之化學物質利用率需要在襯套筒中之化學物質的殘留量少於10毫升。

在此試驗中利用Mykrolis Impact PCM過濾器(0.02微米)。配送法則為：於1.5秒內配送1毫升，15秒的配送泵吸入行程期間，及每分鐘將配送擊循環法則序列重複一次。施加於襯套筒上以達成壓力配送的驅動壓力係，例如，約7psig。

經選擇用於試驗的試驗黏度為1、3、10、20及30厘泊(centipoise)，受測試的各黏度重複兩次。將丙二醇摻混至所需黏度，作為試驗液體。在最後500毫升的配送期間，記錄三個系統壓力，連同配送分佈質量。如所提及，將配送壓力設於10psig，當液體配送壓力為1.3psig時終止試驗。可改變此等配送壓力及終止壓力，且配送操作可，例如，使用10psig之配送壓力及4.3psig之終止壓力。

於各試驗後，經由移除襯套筒及擠出液體及量測，而測量殘留的化學物質。試驗係經設計成進行至低於可使用於塗布工具的壓力，以致可識別配送分佈質量的衰退，且在測得配送分佈衰退之開端前作實際利用。

此試驗的一目的亦係提供足夠的驅動壓力以防止負的下游配送器吸入壓力，該負的下游配送器吸入壓力預期會導致溶解氣體釋放及微氣泡，而導致配送分佈衰退。基於 光阻劑黏度、過濾器選擇及配送列中之流路，預期將選擇驅動壓力及排空偵測壓力以提供最佳的配送分佈及利用。藉由勘測三個系統壓力，預期將可識別排空偵測壓力傳感器的最佳位置。

試驗裝置除了4公升的襯套筒式之包裝外，尚包括排出至1500克稱盤的配送流路。於流路中串聯設置Entegris PFA扭塞、Entegris 4210型0-30psig Pdcr、直徑45毫米之200毫升儲槽(其與包括SMC LVH20L-S07手動PFA閥的排氣/排液管線聯結)、前述的Mykrolis Impact PCM過濾器(0.02微米)、Iwaki Tube-Phragm PDS-105HB-EPW2 5毫升配送泵、Omega PX 303-050A5V 0-50psia Pdcr、Nupro 0.25英寸不銹鋼AOV閥、及CKD 0.25英寸PFA AOV閥。配送管線為0.25英寸PFA管配送管，其在最終閥與1500克稱盤之間配置0.125英寸PFA管。

於混合至試驗條件黏度後，在將試驗液體倒入至襯套筒中之前及於作為配送流出物的試驗後測量黏度。於30厘泊的標稱黏度下，於系統上有最大的負荷下開始試驗，及於兩次試驗重複後，繼續以於再摻混後的其他黏度進行程序。程序在所有試驗中皆相同，其包括以下關於在30厘泊下之第一次重複所記述的步驟。

使用丙二醇黏度圖，測得90%丙二醇及10%水溶液將提供約32厘泊之黏度。將3600毫升之Sierra商標的丙二醇防凍劑與400毫升水混合，及利用Cole-Parmer旋轉碟黏度計測量黏度。測量黏度，記錄為在23℃下25厘泊。 藉由漏斗將400毫升溶液引入至4公升襯套筒中。將智慧蓋與襯套筒聯結，然後將襯套筒連接至試驗裝置上之配送探針。將10psig的加壓空氣連接至配送探針以加壓襯套筒。同時將3500毫升之液體配送通過儲槽分離器(其可使氣體自經配送的液體分離及排氣，以達成零或接近零的頂部空間狀態)，及利用SMC LVH 20L-S07手動PFA閥使過濾器排氣，並開啟系統控制板。記錄最後500毫升的配送。當Entegris 4210型壓力傳感器達到1.3psig時，終止試驗。然後將PFA扭塞關閉，及將襯套筒自管線移出。將襯套筒移出，及於將內容物切割及將殘餘丙二醇移除後測量內容物，其係於移除橡膠滾軸之前及之後稱重。測量500毫升之配送流出物的黏度並作記錄(對第一次試驗測得為在23℃下28厘泊)。然後將新的襯套筒填裝試驗流體並重複製程。

圖57係壓力(單位psig)成時間(日之時間)之函數的圖，其顯示代表試驗1在25厘泊/28厘泊黏度下於13：12：00至18：00：00期間之經配送液體之壓力(曲線A)、加壓氣體之壓力(曲線B)、入口下游配送器壓力(曲線C)及於稱盤測得之累積經配送液體之以克為單位的重量(曲線D)。

圖58係壓力(單位psig)成時間(日之時間)之函數的圖，其顯示代表試驗1在25厘泊/28厘泊黏度下於17：02：24至17：45：36期間之經配送液體之壓力(曲線A)、加壓氣體之壓力(曲線B)、入口下游配送器壓力(曲 線C)及於稱盤測得之累積經配送液體之以克為單位的重量(曲線D)及線性(稱盤)曲線(曲線E)。

可清楚看到早在1.3psig配送結束(EOD)前的20分鐘即發生配送分佈衰退。其之量為20毫升之光阻劑，且將由於配送分佈衰退而影響20個300毫米晶圓。EOD空間圖(圖58)顯示下游配送器之壓力在此EOD部分中低於大氣壓力。下游配送器之壓力在最終排空時衰退至-4psig。此清楚指示當利用此0.02微米Mykrolis過濾器與此下游配送器法則配送30厘泊光阻劑時，驅動壓力如期望地對於最佳操作至少在約15psig左右。

下游配送器之壓力甚低且易由於在過濾器兩端的壓力衰退而塞住，顯示應將主壓力傳感器設置於過濾器之下游，例如，設置於下游配送器的本身中。

本發明之另一態樣係關於一種供材料儲存及配送包裝(諸如襯套筒式之包裝)用之連接器，其中該連接器具有與其相關聯的安全鎖緊裝置。

如在經固定有連接器之材料儲存及配送容器包含在超過大氣壓力下之材料之狀態下將該容器拆開時，所產生之壓力釋放會導致容器內容物之壓力調控的分散至容器之周遭環境。舉例來說，在儲存於襯套筒式之包裝中之液態化學試劑係處於每平方英寸30磅(psi)之壓力下的情況中，將連接器自相關聯的容器拆開會導致化學試劑於所有方向中噴出，而當化學試劑具有毒性或其他有害特性時產 生重大危險。

本發明於一發明具體例中經由提供一種具有防止使用者當容器處於壓力下時將連接器自相關聯之容器拆下之安全鎖緊特徵的連接器，而解決此安全問題。因此，提供鎖及/或壓力釋放作用，以確保連接器不會經由意外的開啟或其他方式而自經加壓的包裝噴出。

本發明於一具體例中提供一種供材料儲存及配送包裝用之連接器。此連接器包括一主體部分，其包括一裝置於主體部分上且可於其上在上方位置與下方位置之間旋轉移動的手柄。此連接器適於與材料儲存及配送容器聯結以將其封閉，且包括用於自容器配送材料的配送組件，及與手柄操作聯結且當手柄位於下方位置時適於防止連接器自材料儲存及配送容器移除的壓力釋放裝置。使一止擋元件與壓力釋放裝置操作聯結，以當手柄旋轉移動至此下方位置時，將手柄維持於下方位置。止擋元件係可選擇性地脫離，以使壓力釋放裝置將容器排放至環境壓力，及使手柄可向上旋轉移動，且隨後當手柄處於上方位置時，連接器可自容器脫離，藉此可在環境壓力下進行連接器自容器的脫離。

在此連接器之一具體例中，壓力釋放裝置於手柄之各相對端與其操作聯結。手柄於其之相對端包括與連接器之主體部分聯結的輪軸部分。

在另一具體例中，連接器包括兩個止擋元件，且各輪軸部分包括可與相對應的止擋元件結合的凸輪表面。各止擋 元件包括一鈕，其經彈簧偏動至可防止手柄移動的鎖緊位置，且可手動壓下以使鈕自其之鎖緊位置脫離，且因此可使手柄移動。

連接器可呈任何不同的適當形態，包括特徵在於當與連接器聯結時適於使加壓氣體流入至容器中之加壓氣體入口組件的連接器。壓力釋放裝置可包括三通閥，或其他在使用時可經引動以使與連接器相關聯之容器排氣的壓力釋放裝置，以因此使連接器之手柄可經提升至使連接器自容器脫離。

在一具體例中之止擋元件包括可於與手柄結合之鎖緊位置與釋放位置之間手動移動的滑動元件。或者，止擋元件可包括可經選擇性地引動以使突出元件延伸而與手柄結合，且可失去作用以使突出元件縮回而使其自手柄脫離的缸筒。突出元件可經構造及配置成與手柄之輪軸部分結合，且突出元件可藉由與突出元件聯結之偏動彈簧的作用而移動。

本發明之再一態樣係關於一種材料儲存及配送包裝，其包括一材料儲存及配送容器，及一與容器聯結以將其封閉之如前所述的連接器。

材料儲存及配送包裝可為任何適於使用其之最終用途的適當類型。舉例來說，包裝可為鼓中袋(BID)、瓶中袋(BIB)，或以其他方式使用用於容納最終被配送之材料的襯套筒。襯套筒可容納，例如，化學試劑諸如光阻劑材料，或其他適用於製造微電子裝置產物的材料。在此種適用 中，材料儲存及配送包裝可聯結至半導體製造工具或設備，或其他與自包裝配送之特定材料並用的最終使用設備或製程系統。

包括容器及連接器的包裝可包括位於容器內之襯套筒，其中連接器具有用於聯結至流路或其他輸送結構以將經配送材料傳送至其之使用位置的配送孔。連接器亦可包括用於聯結至加壓氣體來源，以於容器中之襯套筒上施加壓力而將其壓緊的壓力輔助孔，以致當液體或其他所容納之材料相應地自包裝配送時，使含有材料之襯套筒的體積逐漸變小。

因此，本發明涵蓋一種儲存及配送材料之方法，其中將材料設置於容器中，及使連接器與容器聯結，以形成一容納包裝，其中該連接器係為如前文所述之類型，其具有一可於第一鎖緊位置(其中包容容器中之壓力)與第二位置(其中連接器可自容器移除而不會於容器與包裝之周遭環境之間存在壓力差)之間移動的手柄。此方法包括當手柄處於第一位置時使容器選擇性地減壓，以使手柄可自第一鎖緊位置移動至第二位置。

由前述說明當明白連接器及相關聯的容器可呈各式各樣的結構及形態。

在一特定具體例中，連接器包括連接至容器之內部體積，以及連接至壓力源及至包裝之周遭環境(例如，大氣)之排氣口的三通閥。此三通閥一般係呈開啟狀態，以使容器可經加壓，而自容器壓力配送材料。舉例來說，此壓力 配送操作可包括於容器中之襯套筒的外表面上施加壓力，以逐漸壓緊襯套筒而迫使其之內容物通過配送噴嘴，其中配送噴嘴係結合至連接至適於利用經配送材料之下游設備的外部流路。

在此具體例中，連接器使用一鈕，其例如可呈開關、槓桿、或其他可手動引動元件、或者可自動引動元件之形式，其可經壓下以關閉壓力及將容器排放至大氣或容器之其他周遭環境。

此三通閥安全特徵可透過釋放桿(例如，連接器之可移動手柄)整合至連接器中。三通閥可設置於連接器本體上(例如，於其之周邊部分上)。可於釋放桿中設置一凹口，以當釋放桿處於下方位置時可打開裝置。使用者隨後將必需壓下鈕，以引動容器排氣，而自容器移除連接器。鈕可防止釋放桿之樞軸旋轉，以致當容器經加壓時，除非將鈕壓下，否則將無法將連接器自容器移除。

在另一具體例中，使用三通壓力釋放裝置，藉由當連接器與容器結合且釋放桿移動至下方位置時在鎖緊位置中與釋放桿結合之滑動元件之作用，而鎖緊釋放桿。滑件隨後必需向上移動以使滑件自釋放桿脫離，以致釋放桿可藉樞軸旋轉而使連接器自容器脫離。滑動元件之向上移動隨後將引動壓力釋放閥，而使容器排氣及使連接器自容器安全脫離。

在再一具體例中，可使用一缸筒或線性引動器作為連接器之鎖緊裝置。在一具體例中，當存在經加壓狀態時，缸 筒將經引動而延伸，及當容器經減壓或在環境壓力下時，缸筒將藉由彈簧偏動作用而縮回。

此缸筒裝置可以水平或者以垂直方向整合至連接器結構中。缸筒裝置可經製造為具有一可延伸的缸筒桿，以水平延伸至釋放桿或壓板凸輪的側面中。缸筒桿亦可設置於連接器之背部，且經設置成延伸以於釋放桿上施予向下力，而在容器中的經加壓狀態中將其固定位。藉由此種方式，可於容器中的經加壓狀態中將釋放桿鎖定於關閉位置，因而防止連接器脫離直至壓力經中斷且容器降至將可容許連接器自容器脫離而不會有不利後果的低壓時為止。

參照圖59-67將此安全鎖緊機構更完整說明於下。

圖59係根據本發明之一具體例之連接器800的透視圖。連接器800包括主要外殼部分802，其具有其上設置界定作為配送孔之開口端806之配送接頭805的主要上表面804，該開口端806可聯結管件或其他流路，以將經配送材料輸送至下游使用位置。

亦於連接器之上表面804上設置具有加壓介質入口孔808的加壓導管806′，以當連接器800與包含待配送材料之容器聯結時，用於將加壓氣體引入至容器中。容器例如可為瓶中袋(BIB)類型，其中將加壓氣體引入至容器之內部體積中，流入至容器內壁與其中之襯套筒之外表面之間的內部體積區域中。藉由此種作用，加壓氣體於襯套筒上施加壓縮力，逐漸壓緊襯套筒，以致使其中之材料在施加壓力下自容器配送。

連接器800包括呈手柄810形式的釋放桿，其具有藉樞軸固定至外殼802的各別輪軸部分812及814。此配置使手柄810可自圖式中所示之完全下方位置樞軸旋轉移動至其中手柄垂直定向，於主體部分802上方向上延伸的完全上方位置。

在此具體例中，將兩個三通壓力釋放裝置816及820裝置於連接器之上表面804上。三通壓力釋放裝置816具有與其相關聯的可壓下鈕818，其當經壓下時可使容器過壓力排放至容器之周遭環境。

三通壓力釋放裝置820可以類似的方式操作聯結至可壓下鈕822，其當經壓下時可以與關於三通壓力釋放裝置816所說明者相同之方式自容器排放過壓力。

圖60係圖59之連接器800的側視圖，其中所有部分及特徵係相應地編號。

圖61係相對應的透視圖，其亦係參照圖59及60所示之元件編號相應地標示。

如於圖59-61中展示，當手柄810處於下方位置時，可壓下鈕818及可壓下鈕822偏動至向外位置，其如圖60所示，可防止手柄810藉由位於手柄各側之輪軸上之凸輪元件830的凸輪表面而旋轉移動。

因此，當連接器聯結至材料儲存及配送容器，且手柄旋轉至下方位置時，藉彈簧偏動的可壓下鈕自其之相關聯的外殼「彈出」，且將手柄鎖定於下方位置。

接著，當希望使經加壓之容器減壓及使連接器自容器脫 離時，將可壓下鈕818及822壓下，因而引動壓力釋放裝置816及820，而使過壓力排放至包裝之周遭環境。在所示配置之另一種選擇中，僅使用一個，而非兩個此種鈕，於引動壓力釋放作用。當過壓力經自容器排出時，可藉由使手柄向上移動以自動打開鎖，而使位於外殼側面上的機械鎖832自容器脫離。參照圖60，可看到手柄810藉由位於壓力釋放裝置上之可壓下鈕之「彈出」作用的鎖緊由於其被手柄輪軸的凸緣部分覆蓋，因而可防止機械鎖832被引動。

因此，提供一種當連接器經脫離時可避免容器之意外分散之經加壓內容物之危險的安全包裝組態。

圖62係根據本發明之另一具體例之連接器840的透視圖。

連接器840包括其上裝置呈手柄844形式之釋放桿的主體部分842。此具體例中之連接器設有三通壓力釋放裝置845，其包括聯結至裝置之主體846的滑動元件847。當手柄844降低時，手柄滑動通過壓力釋放裝置845的滑動元件847，且滑動元件因此將手柄鎖於定位，如於圖63之透視示意圖中所示，以致手柄844其後經滑動元件847固定而無法提升或向上旋轉。

隨後，當希望使連接器脫離時，以手動方式使滑動元件847於向上方向中移動，以致滑動元件在手柄844上方提升。由於滑動元件847之向上移動引動壓力釋放裝置845使過壓力經由裝置之主體846自容器排出，而因此使手柄 844可藉樞軸自由向上旋轉。以此方式，當連接器自相關聯的容器脫離時，可避免危險的過壓力狀態。

圖64係根據本發明之另一具體例之連接器850的透視圖，其中說明使用兩不同類型的鎖緊機構。

圖64中所示之連接器850包括具有一上表面之外殼852，該上表面包括界定配送孔857之配送接頭856，及可藉以導引加壓氣體以促進材料自與連接器相關聯之容器離開的加壓接頭858。

連接器850之特徵在於手柄854，其可藉由缸筒862之作用，或替代地，或在此之外再藉由缸筒860之作用，而鎖於定位。

因此，缸筒862可經引動以使缸筒或其之突出元件抵抗手柄854向下移動，而將手柄鎖於定位防止進一步的移動。

手柄亦可(或替代性地)藉由使缸筒860的一部分向外移動，以致缸筒或其之突出物與手柄之輪軸結合，且防止手柄對由手柄之輪軸部分所界定之軸旋轉移動而固定。

參照圖65，其中所有部分及特徵係參照圖64相應地編號，圖中展示手柄854由於一突出元件自缸筒862延伸抵住手柄854因而將其鎖於定位，而被缸筒862鎖住。

在鎖緊位置中，手柄854之輪軸部分蓋住機械鎖861，以致機械鎖無法被壓下而將連接器自容器移除。

圖66係圖64及65中所示之連接器的透視圖，其中所有部分及元件係相應地編號。在此具體例中，位於連接器 之上表面上的缸筒860具有可移動以與手柄854之輪軸結合，而將其鎖於定位的突出部分。為此，手柄之輪軸中可具有開口或空穴，其與缸筒860之突出部分結合，而限制手柄854的移動。

圖67係如圖64所示之一般類型之連接器850的透視圖，但其僅具有單一個呈缸筒862形式之鎖緊元件。由此缸筒延伸出一鎖緊突出元件868，其抵住手柄854並與手柄表面中之承接空穴870結合。

由前述說明當知曉可提供相當多樣的手柄固定元件及過壓力釋放配置，藉此可安全地適應存在於容器中之過壓力狀態，以致連接器不會因此發生容器內容物之分散或噴灑至周遭環境而自容器脫離。

雖然本發明已參照本發明之特定態樣、特徵及說明具體例說明於文中，但當明瞭本發明之效用並不因此受限，而係可延伸至涵蓋許多其他的變化、修改及另類具體例，此係熟悉本發明領域人士基於文中之揭示內容所可容易明白。相應地，應將如於後文提出專利申請之本發明廣義地解釋及詮釋為包括在其精神及範疇內之所有此等變化、修改及另外的具體例。

10‧‧‧襯套筒式之流體儲存及配送容器

12‧‧‧襯套筒

14‧‧‧外殼

16‧‧‧下方容器部分

18‧‧‧上方堆疊及輸送操縱段

20A‧‧‧前壁

20B‧‧‧側壁

20C‧‧‧後壁

20D‧‧‧側壁

22‧‧‧開口

24‧‧‧開口

26‧‧‧外包裝蓋

28‧‧‧蓋結構

30‧‧‧內部體積孔

32‧‧‧射頻識別(RFID)標籤

34‧‧‧配送頭

36‧‧‧汲取管

38‧‧‧聯結器

40‧‧‧液體配送管

42‧‧‧聯結器

43‧‧‧通道

44‧‧‧氣體填充管

45‧‧‧圓球

100‧‧‧流體儲存及配送包裝

112‧‧‧襯套筒

114‧‧‧外包裝

128‧‧‧蓋

134‧‧‧配送器

136‧‧‧探針

138‧‧‧配送器本體

140‧‧‧配送器環

160‧‧‧孔

162‧‧‧密封薄膜

165‧‧‧中心開口

166‧‧‧頂部環形表面

168‧‧‧鎖碼凹口

170‧‧‧鎖碼凹口

172‧‧‧鎖碼銷

176‧‧‧配送器聯鎖

177‧‧‧偏動彈簧

180‧‧‧第一銷

182‧‧‧第二銷

189‧‧‧溝槽

200‧‧‧流體儲存及配送包裝

202‧‧‧外包裝

204‧‧‧內部體積

206‧‧‧襯套筒

208‧‧‧配送管線

210‧‧‧加壓氣體進給管線

212‧‧‧加壓氣體之來源

214‧‧‧壓力感測線路

216‧‧‧壓力傳感器

218‧‧‧流體加工、監測或控制單元

219‧‧‧排氣管線

220‧‧‧過濾器

222‧‧‧排氣管線

224‧‧‧流動控制閥

226‧‧‧流體進給管線

228‧‧‧流動控制閥

230‧‧‧自動閥引動器

232‧‧‧配送泵

234‧‧‧流動控制閥

236‧‧‧自動閥引動器

238‧‧‧半導體製造工具

240‧‧‧中央處理器單元(CPU)

242‧‧‧訊號傳輸線路

244‧‧‧顯示監視器

246‧‧‧訊號傳輸線路

248‧‧‧訊號傳輸線路

250‧‧‧製程配置

252‧‧‧訊號傳輸線路

254‧‧‧訊號傳輸線路

256‧‧‧訊號傳輸線路

260‧‧‧訊號傳輸線路

300‧‧‧連接器

301‧‧‧主體部分

302‧‧‧瓶中袋(BIB)容器

304‧‧‧蓋

306‧‧‧壓板

308‧‧‧壓板

310‧‧‧推離凸輪

312‧‧‧推離凸輪

314‧‧‧壓板凸輪

316‧‧‧壓板凸輪

318‧‧‧手柄

320‧‧‧手柄止擋件

322‧‧‧扭矩彈簧切口

324‧‧‧斜坡表面

326‧‧‧扭矩彈簧切口

328‧‧‧圓柱形軸環

330‧‧‧內表面

332‧‧‧碟形主體

350‧‧‧接頭密封

351‧‧‧碟形主體

352‧‧‧主要上表面

353‧‧‧外部周緣部分

354‧‧‧主要底表面

355‧‧‧圓柱形的密封壁

356‧‧‧環形突面

357‧‧‧外表面

358‧‧‧環形溝槽

359‧‧‧中心底面部分

360‧‧‧中心井

362‧‧‧主要上表面

364‧‧‧主要底表面

370‧‧‧蓋

372‧‧‧蓋主體

374‧‧‧側壁

376‧‧‧圓形頂壁

378‧‧‧側壁之中間部分

380‧‧‧切口

382‧‧‧防旋轉指狀元件

384‧‧‧條狀物部分

386‧‧‧凸出部元件

390‧‧‧流體儲存及配送容器

392‧‧‧頸部

394‧‧‧鎖緊穴

396‧‧‧連接器本體

400‧‧‧容器

402‧‧‧容器頸部區域

404‧‧‧防旋轉鎖緊結構

406‧‧‧蓋

407‧‧‧垂帶

408‧‧‧連接器

414‧‧‧流體儲存及配送容器

416‧‧‧容器頸部區域

418‧‧‧防旋轉鎖緊結構

420‧‧‧蓋

422‧‧‧溝槽

424‧‧‧翼樑元件

430‧‧‧流體儲存及配送容器

431‧‧‧容器頸部中之區域

432‧‧‧容器頸部區域

434‧‧‧防旋轉鎖緊垂帶

436‧‧‧防旋轉鎖緊垂帶

440‧‧‧蓋

442‧‧‧突出物

444‧‧‧連接器

450‧‧‧流體儲存及配送系統

452‧‧‧流體儲存及配送容器

454‧‧‧配送連接器

455‧‧‧手柄

456‧‧‧凸輪

457‧‧‧凸輪

458‧‧‧壓板

460‧‧‧柱

461‧‧‧柱

462‧‧‧彈簧

463‧‧‧彈簧

472‧‧‧流體儲存及配送容器

474‧‧‧連接器

476‧‧‧手柄

478‧‧‧柱

479‧‧‧柱

481‧‧‧柱

483‧‧‧壓板

484‧‧‧凸輪

485‧‧‧柱

486‧‧‧柱

487‧‧‧雙柱部分

488‧‧‧雙柱部分

490‧‧‧流體儲存及配送系統

491‧‧‧壓板

492‧‧‧流體儲存及配送容器

493‧‧‧壓板

496‧‧‧手柄

500‧‧‧系統

502‧‧‧流體儲存及配送容器

504‧‧‧連接器

505‧‧‧側面平台

506‧‧‧柱

507‧‧‧柱

508‧‧‧壓板

510‧‧‧流體儲存及配送容器

512‧‧‧容器頸部

515‧‧‧蓋及器械圈組件

550‧‧‧連接器

552‧‧‧連接器本體

554‧‧‧蓋

556‧‧‧手柄

558‧‧‧凸輪

560‧‧‧凸輪

562‧‧‧壓板

564‧‧‧壓板

568‧‧‧連接器

569‧‧‧手柄

570‧‧‧連接器本體

572‧‧‧連桿組

574‧‧‧連桿組

576‧‧‧壓板

578‧‧‧壓板

580‧‧‧容器

582‧‧‧蓋

600‧‧‧連接器

602‧‧‧連接器本體

604‧‧‧容器

606‧‧‧手柄

608‧‧‧第二凸輪

610‧‧‧壓板

700‧‧‧連接器

800‧‧‧連接器

802‧‧‧主要外殼部分

804‧‧‧主要上表面

805‧‧‧配送接頭

806‧‧‧開口端

806′‧‧‧加壓導管

808‧‧‧加壓介質入口孔

810‧‧‧手柄

812‧‧‧輪軸部分

814‧‧‧輪軸部分

816‧‧‧三通壓力釋放裝置

818‧‧‧可壓下鈕

820‧‧‧三通壓力釋放裝置

822‧‧‧可壓下鈕

830‧‧‧凸輪元件

832‧‧‧機械鎖

840‧‧‧連接器

842‧‧‧主體部分

844‧‧‧手柄

845‧‧‧三通壓力釋放裝置

846‧‧‧主體

847‧‧‧滑動元件

850‧‧‧連接器

852‧‧‧外殼

854‧‧‧手柄

856‧‧‧配送接頭

857‧‧‧配送孔

858‧‧‧加壓接頭

860‧‧‧缸筒

861‧‧‧機械鎖

862‧‧‧缸筒

868‧‧‧鎖緊突出元件

870‧‧‧承接空穴

A‧‧‧雙向箭頭(圖2)

A‧‧‧第二氣體密封(圖24)

A‧‧‧器械圈(圖44、45)

A‧‧‧手柄(圖54、55)

B‧‧‧流體輸出(圖2)

B‧‧‧第二氣體密封(圖24)

B‧‧‧槽縫(圖44)

B‧‧‧連接器外殼(圖54)

B‧‧‧扭轉彈簧(圖55)

C‧‧‧撕裂垂帶手柄(圖24)

C‧‧‧環延伸(圖44)

C‧‧‧器械圈延伸(圖45)

C‧‧‧扣件(圖54)

C‧‧‧主傳動連桿組(圖55)

D‧‧‧搭扣配合連接(圖24)

D‧‧‧蓋(圖44、45)

D‧‧‧扭轉彈簧(圖54)

D‧‧‧推離特徵(圖55)

E‧‧‧接頭密封(圖24)

E‧‧‧鎖緊垂帶(圖44)

E‧‧‧樞軸栓(圖54)

E‧‧‧垂直閂鎖搭扣連桿組(圖55)

F‧‧‧圓形凸緣(圖24)

F‧‧‧螺紋(圖44)

F‧‧‧凸輪(圖54)

F‧‧‧蓋(圖55)

G‧‧‧蓋(圖24)

G‧‧‧鎖緊齒(圖44)

G‧‧‧壓板(圖54)

G‧‧‧鎖臂(圖55)

H‧‧‧接頭(圖24)

H‧‧‧干涉特徵(圖44)

H‧‧‧器械圈(圖55)

I‧‧‧扣環(圖24)

I‧‧‧連接器本體(圖56)

J‧‧‧外包裝容器之頸部(圖24)

圖1係可應用本發明之連接前確認聯結器之說明性之襯套筒式之流體儲存及配送包裝的透視圖。

圖2係根據本發明之一具體例之連接前確認聯結器的概略透視圖。

圖3係根據本發明之一具體例之包括藉由流路與半導體製造工具互連之襯套筒式之流體儲存及配送包裝及排空偵測系統之製程裝設的概略圖式。

圖4係襯套筒式之流體儲存及配送包裝在包括於容器中之最後250毫升液體之配送操作期間之包裝壓力(單位psig)及經配送流體重量(單位克)成時間(單位秒)之函數的圖。

圖5係襯套筒式之流體儲存及配送包裝在包括於容器中之最後550毫升液體之配送操作期間之包裝壓力(單位psig)及經配送流體重量(單位克)成時間(單位秒)之函數的圖。

圖6係襯套筒式之流體儲存及配送包裝(液體自其藉由循環吸入泵之作用以一系列的連續「擊」配送)在包括於容器中之最後50毫升液體之配送操作期間之包裝壓力(單位psig)及經配送流體重量(單位克)成時間(單位秒)之函數的圖。

圖7係襯套筒式之流體儲存及配送包裝(液體自其藉由循環吸入泵之作用以一系列的連續「擊」配送)之包裝壓力(單位psig)及經配送流體重量(單位克)成時間(單位秒)之函數的圖，其顯示來自流體儲存及配送包裝之最後七個配送擊的數據以及擬合數據的線性方程式。

圖8係襯套筒式之流體儲存及配送包裝(液體自其藉由循環吸入泵之作用以一系列的連續「擊」配送)之包裝壓力(單位psig)及經配送流體壓力(單位psig)成時間(單 位秒)之函數的圖，其顯示來自流體儲存及配送包裝之最後四個配送擊的數據以及擬合數據的線性方程式。

圖9係與瓶中袋(BIB)流體儲存及配送包裝結合之人體工學連接器的前視圖。

圖10-17顯示圖9所示之連接器及其組成部分的各種圖式。

圖18係根據本發明之一具體例之接頭密封的透視圖，其顯示其上部的細節。

圖19係圖18之接頭密封的透視圖，其顯示其底部的細節。

圖20係圖18-19之接頭密封的頂視平面圖。

圖21係圖20之接頭密封沿其線A-A之橫剖面圖。

圖22係如圖21所示之接頭密封之外緣部分的放大圖。

圖23係圖18-19之接頭密封的底視平面圖。

圖24係包括經設置成密封容器之接頭之圖18-19之接頭之流體儲存及配送容器的部分橫剖面前視圖。

圖25係流體儲存及配送包裝之蓋的概略透視圖，其特徵為位於蓋之側壁上的防旋轉結構。

圖26係流體儲存及配送容器及可與其配對結合之相關蓋結構的示意圖。

圖27係流體儲存及配送容器及相關蓋結構及連接器本體結構之示意圖，其顯示其之協同作用特性。

圖28係特徵在於容器頸部區域上之防旋轉鎖緊結構之流體儲存及配送包裝與相關之蓋及連接器的透視圖。

圖29係圖28之流體儲存及配送容器及相關之蓋及連接器結構的透視圖，其顯示其之細節。

圖30係圖28之流體儲存及配送容器之蓋的透視圖。

圖31係圖30之蓋的頂視平面圖。

圖32係圖28之流體儲存及配送容器的透視特寫圖，其顯示位於容器頸部區域上之防旋轉鎖緊結構的細節。

圖33係特徵在於容器頸部區域上之防旋轉鎖緊結構之流體儲存及配送容器的透視圖。

圖34係可與圖33之容器之頸部區域上之防旋轉鎖緊結構結合之蓋的透視圖。

圖35係與圖33之流體儲存及配送容器之頸部區域上之鎖緊結構結合之圖34之蓋的透視圖。

圖36係與圖33之流體儲存及配送容器之頸部區域上之鎖緊結構結合之圖34之蓋的前視圖。

圖37係特徵在於容器頸部區域上之防旋轉鎖緊結構之流體儲存及配送容器的透視圖。

圖38係與圖37之容器之頸部區域上之防旋轉鎖緊結構結合之蓋的透視圖，其中蓋經連接器過配合。

圖39係圖38之蓋的透視圖，其顯示蓋之鎖緊結構的細節。

圖40-43係具有與其連接之連接器且設有可以手動方式操作以達成連接器自流體儲存及配送包裝脫離之連接器手柄之襯套筒式之流體儲存及配送包裝之各種配置的圖式。

圖44係特徵在於鎖碼結構及防止流體儲存及配送包裝與不正確之蓋結合之錯誤連接干涉結構之流體儲存及配送包裝的分解透視圖。

圖45係圖44所示之流體儲存及配送包裝之蓋及器械圈組件的透視圖。

圖46係圖44所示之流體儲存及配送包裝之蓋及器械圈組件的底視平面圖。

圖47係根據本發明之另一具體例之配送組件之連接器的透視圖。

圖48係圖47之連接器之另一透視圖。

圖49係根據本發明之又另一具體例之配送組件之連接器的前視圖。

圖50係圖49之連接器之透視圖。

圖51係根據本發明之又另一具體例之配送組件之連接器於手柄之第一位置的側視圖。

圖52係圖51之連接器於手柄之第二位置的側視圖。

圖53係圖51之連接器於手柄之第三位置的側視圖。

圖54係根據本發明之再一具體例之配送連接器之一部分的簡化空間圖。

圖55係根據本發明之又再一具體例之配送組件之連接器的分解圖。

圖56係圖55之連接器的組合透視圖。

圖57係壓力(單位psig)成時間(日之時間)之函數的圖，其顯示在壓力配送條件下自4公升襯套筒配送丙二醇 水溶液之代表試驗1在25厘泊/28厘泊黏度下於13：12：00至18：00：00期間之經配送液體之壓力(曲線A)、加壓氣體之壓力(曲線B)、入口下游配送器壓力(曲線C)及於稱盤測得之累積經配送液體之以克為單位的重量(曲線D)。

圖58係壓力(單位psig)成時間(日之時間)之函數的圖，其顯示在壓力配送條件下自4公升襯套筒配送丙二醇水溶液之代表試驗1在25厘泊/28厘泊黏度下於17：02：24至17：45：36期間之經配送液體之壓力(曲線A)、加壓氣體之壓力(曲線B)、入口下游配送器壓力(曲線C)及於稱盤測得之累積經配送液體之以克為單位的重量(曲線D)及線性(稱盤)曲線(曲線E)。

圖59係根據本發明之再一具體例之連接器的透視圖。

圖60係圖59所示之連接器的側視圖。

圖61係圖59及60之連接器的透視圖，其顯示此連接器之構造細節。

圖62係根據本發明之另一具體例之連接器的透視圖。

圖63係圖62之連接器的透視概略圖式，其顯示釋放桿手柄的作用。

圖64係根據本發明之又另一具體例之連接器的頂視透視圖，其特徵在於兩不同的手柄鎖緊機構。

圖65係圖64之連接器的側視圖。

圖66係圖64-65之連接器的頂視透視圖。

圖67係利用說明於圖64及65之其中一種鎖緊機構之 連接器的透視圖。

10‧‧‧襯套筒式之流體儲存及配送容器

12‧‧‧襯套筒

14‧‧‧外殼

16‧‧‧下方容器部分

18‧‧‧上方堆疊及輸送操縱段

20A‧‧‧前壁

20B‧‧‧側壁

20C‧‧‧後壁

20D‧‧‧側壁

22‧‧‧開口

24‧‧‧開口

26‧‧‧外包裝蓋

28‧‧‧蓋結構

30‧‧‧內部體積孔

32‧‧‧射頻識別(RFID)標籤

34‧‧‧配送頭

36‧‧‧汲取管

38‧‧‧聯結器

40‧‧‧液體配送管

42‧‧‧聯結器

43‧‧‧通道

44‧‧‧氣體填充管

45‧‧‧圓球

Claims (187)

1. 一種流體供給系統，至少包括：一襯套筒式之流體儲存及配送包裝，其包括一適於容納液體介質之襯套筒；一加壓氣體源，適於由外部於襯套筒上施加一氣體壓力以進行液體介質自襯套筒之壓力調控配送；及一監測器，適於監測自襯套筒配送之液體介質之壓力，並適於產生指示從該襯套筒開始耗盡液體介質之壓力下降狀態的監視器輸出信號。
2. 如申請專利範圍第1項之流體供給系統，其中該監測器包括壓力傳感器，經設置以監測自襯套筒配送之液體介質之壓力；及處理器，操作連接至傳感器以接收傳感器輸出訊號而對其進行訊號處理，以測定指示從該襯套筒開始耗盡液體介質之壓力下降狀態並產生該監視器輸出信號。
3. 如申請專利範圍第1項之流體供給系統，其中該襯套筒包含選自光阻劑液體組合物與化學機械研磨漿液構成之群組的液體介質。
4. 如申請專利範圍第1項之流體供給系統，更包括一配送泵，該配送泵於流路中連接於該襯套筒與從該襯套筒配送之流體的使用位置之間。
5. 如申請專利範圍第1項之流體供給系統，以流體介質輸送關係可操作地連接至一半導體製造工具，該半導體製造工具設備係選自塗布工具、蝕刻工具、 研磨工具、遮蔽工具、沈積工具、揮發工具、熱解工具、包裝工具、混合工具、及減量工具所組成之群組。
6. 如申請專利範圍第2項之流體供給系統，其中該處理器係經配置以控制流體配送與自該襯套筒配送之流體的應用。
7. 如申請專利範圍第2項之流體供給系統，其中該處理器更適於控制該加壓氣體源以調節其之流動。
8. 如申請專利範圍第2項之流體供給系統，其中該襯套筒可操作地連接至外部流路，而該處理器更適於控制下列至少一者：來自該加壓氣體源之加壓氣體的流率；使用位置處的流體處理：該流路中的至少一閥；及該流路中的至少一泵。
9. 如申請專利範圍第2項之流體供給系統，其中該處理器適於監控該加壓氣體的壓力。
10. 一種半導體製造工具，其包括申請專利範圍第1-9項任何一項的流體供給系統。
11. 一種將流體自包括容納該流體之襯套筒之襯套筒式之流體儲存及配送包裝供給至使用位置之方法，該方法包括對襯套筒施加外部壓力，以逐漸擠壓該襯套筒並自其中配送流體，並在配送操作過程中監測該配送流體之壓力，以產生指示從該襯套筒開始耗盡流體之壓力下降狀態的輸出信號。
12. 如申請專利範圍第11項之方法，更包括接入另一 襯套筒式之流體儲存及配送包裝以造成對使用位置的連續配送。
13. 如申請專利範圍第11項之方法，其中自該襯套筒配送之流體泵送到一配送流體流路中，並自該流路輸送至使用位置。
14. 如申請專利範圍第11項之方法，其中當到達預定接近耗盡時，輸出一警告。
15. 如申請專利範圍第11項之方法，其中當到達預定接近耗盡時，啟動轉換操作以自另一襯套筒持續配送。
16. 如申請專利範圍第11項之方法，其中當到達預定接近耗盡時，以與該襯套筒中殘餘流體量協調方式修飾該配送操作以終止配送操作。
17. 如申請專利範圍第11項之方法，更包括在確定指示從該襯套筒開始耗盡流體之壓力下降狀態之後，在該襯套筒上施加一壓力尖峰以造成該襯套筒進一步配送該流體。
18. 如申請專利範圍第17項之方法，其中在該襯套筒上施加一壓力尖峰之後，自該襯套筒分配之流體係流至一儲槽，該儲槽用於在自該襯套筒耗盡流體期間過渡性地供給流體。
19. 一種操作一半導體製造工具的方法，其至少包括：申請專利範圍第11-18項任何一項之方法的步驟，其中該流體包括一半導體製造流體；及 在一下游流體應用半導體製造工具中應用該配送之流體。
20. 如申請專利範圍第19項之方法，更包括製造一半導體產物。
21. 一種連接前確認聯結器，包括第一聯結器本體、包含第一鎖碼結構及聯鎖的環、及包含第二鎖碼結構的第二聯結器本體，該環係與第一聯結器本體協同作用，以使本體可在與第二聯結器本體之確認後聯結中對該環平移移動，且該聯鎖防止在第一鎖碼結構與第二鎖碼結構之確認聯結前之平移移動，其中該聯結器包括下列特徵(a)與(b)之一者：(a)該第一聯結器本體與環彼此相互連接，其中第一聯結器本體在第一鎖碼結構與第二鎖碼結構的確認聯結前藉由一偏動結構偏動至縮回位置，及於此確認聯結後，第一聯結器本體可藉由於第一聯結器本體上施加手動向下力而向下移動至延伸位置，以致第一聯結器本體藉由伴隨壓縮偏動結構而向下移動通過環；或(b)該聯鎖包括對與第一聯結器本體之鎖碼結構與第二聯結器本體之鎖碼結構之結合產生回應的彈簧偏動滾筒。
22. 如申請專利範圍第21項之連接前確認聯結器，其中該第一聯結器本體包括配送組件之配送頭。
23. 如申請專利範圍第22項之連接前確認聯結器，其中該配送頭包括一探針。
24. 如申請專利範圍第21項之連接前確認聯結器，其中該第二聯結器本體係連接至一流體容器。
25. 如申請專利範圍第24項之連接前確認聯結器，其中該第二聯結器本體包括流體容器之蓋。
26. 如申請專利範圍第25項之連接前確認聯結器，其中該蓋包括一薄膜，且該第一聯結器本體包括一適於刺穿該第一聯結器本體與第二聯結器本體之確認後聯結器中之薄膜的探針。
27. 如申請專利範圍第26項之連接前確認聯結器，其中該薄膜包括選自由橡膠、纖維素材料及聚合材料所組成之群之材料。
28. 如申請專利範圍第24項之連接前確認聯結器，其中該流體容器包括一位於硬質外包裝內之可撓性襯套筒。
29. 如申請專利範圍第28項之連接前確認聯結器，其中該可撓性襯套筒容納一高純度液體。
30. 如申請專利範圍第28項之連接前確認聯結器，其中該可撓性襯套筒係一三維的封閉頭部襯套筒。
31. 如申請專利範圍第28項之連接前確認聯結器，其中該可撓性襯套筒係由一吹塑管聚合薄膜材料所形成。
32. 如申請專利範圍第28項之連接前確認聯結器，其中該可撓性襯套筒係一封閉頭部襯套筒。
33. 如申請專利範圍第28項之連接前確認聯結器，其中該可撓性襯套筒係由一原生的聚合材料所形成。
34. 如申請專利範圍第28項之連接前確認聯結器，其中 該可撓性襯套筒包括選自由下列所組成之群之材料：聚四氟乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚胺基甲酸酯、聚二氯亞乙烯、聚氯乙烯、聚縮醛、聚苯乙烯、聚丙烯腈、聚丁烯、及包含一或多種前述聚合物之單體的共聚物。
35. 如申請專利範圍第28項之連接前確認聯結器，其中該可撓性襯套筒之厚度約5密爾(mil)至約30密爾範圍內。
36. 如申請專利範圍第28項之連接前確認聯結器，其進一步包括一射頻識別標籤。
37. 如申請專利範圍第21項之連接前確認聯結器，其中該第一及第二鎖碼結構包括凹口及銷元件。
38. 如申請專利範圍第21項之連接前確認聯結器，其中該第一及第二鎖碼結構包括溝槽及突出元件。
39. 如申請專利範圍第21項之連接前確認聯結器，其中該第一及第二鎖碼結構包括於周圍改變橫向尺寸之叉合肋條。
40. 如申請專利範圍第21項之連接前確認聯結器，其中該第一及第二鎖碼結構包括槽榫元件。
41. 如申請專利範圍第21項之連接前確認聯結器，其中該第一聯結器本體與環彼此相互連接，其中第一聯結器本體在第一鎖碼結構與第二鎖碼結構的確認聯結前藉由一偏動結構偏動至縮回位置，及於此確認聯結後，第一聯結器本體可藉由於第一聯結器本體上施加手動向下力而向下移動至延伸位置，以致第一聯結器本體藉由伴隨壓縮偏 動結構而向下移動通過環。
42. 如申請專利範圍第41項之連接前確認聯結器，其中該偏動結構包括一偏動彈簧。
43. 如申請專利範圍第21項之連接前確認聯結器，其中該聯鎖包括對與第一聯結器本體之鎖碼結構與第二聯結器本體之鎖碼結構之結合產生回應的彈簧偏動滾筒。
44. 如申請專利範圍第43項之連接前確認聯結器，其中該彈簧偏動滾筒藉由當在第一聯結器本體上施加方向向下的手動壓力時縮回以使第一聯結器本體可向下移動通過環，而對第一聯結器本體之鎖碼結構與第二聯結器本體之鎖碼結構之結合產生回應。
45. 一種流體儲存及配送包裝，包括一流體儲存及配送容器及一適於連接至流路的流體配送組件，該流體儲存及配送包裝包括一申請專利範圍第21項之連接前確認聯結器，該流體配送組件包括該第一聯結器本體及該環，且於該流體儲存及配送容器上具有一蓋，其中該蓋包括第二聯結器本體。
46. 如申請專利範圍第45項之流體儲存及配送包裝，其中該蓋覆蓋一薄膜，且該流體配送組件包括一當第一聯結器本體與第二聯結器本體完全相互結合時，適於穿透該薄膜的探針。
47. 如申請專利範圍第46項之流體儲存及配送包裝，其中該流體儲存及配送容器包括一位於硬質外包裝內之可撓性襯套筒。
48. 如申請專利範圍第47項之流體儲存及配送包裝，其中該可撓性襯套筒容納一半導體製造流體。
49. 如申請專利範圍第48項之流體儲存及配送包裝，其中該流體配送組件係與經設置成將經配送流體傳送至使用位置的流體流路聯結。
50. 如申請專利範圍第49項之流體儲存及配送包裝，其中該流體流路係於該使用位置處聯結至一流體利用設備。
51. 如申請專利範圍第50項之流體儲存及配送包裝，其中該流體利用設備包括一半導體製造設備。
52. 如申請專利範圍第45項之流體儲存及配送包裝，其中該流體配送組件包括一流體排出導管。
53. 如申請專利範圍第52項之流體儲存及配送包裝，其中該流體排出導管包括適於連接至流體流路的連接結構。
54. 如申請專利範圍第45項之流體儲存及配送包裝，其中該第一聯結器本體當向下移動至與第二聯結器本體完全結合時，可藉由一鎖緊結構而鎖於完全結合的位置。
55. 如申請專利範圍第54項之流體儲存及配送包裝，其中該鎖緊結構包括一插旋鎖緊結構。
56. 如申請專利範圍第54項之流體儲存及配送包裝，其中該鎖緊結構包括一坑球(dimple-and-ball)掣止結構。
57. 一種流體供給系統，包括一與流路聯結之襯套筒式之流體儲存及配送包裝，以將流體自該包裝內之可消癟襯套筒傳送至使用位置，其中該襯套筒式之流體儲存及配送包裝係與下列組件聯結：用於將加壓氣體傳送至包裝中以 於襯套筒上施加壓力，而進行流體自襯套筒至該流路中之壓力調控配送之加壓氣體源；適於感測自可消癟襯套筒配送至該流路中之流體之壓力及產生一指示該壓力之傳感器輸出的壓力傳感器；及適於接收該傳感器輸出及測定該流體之壓力變化速率，且提供一指示與襯套筒中之流體耗盡開端相關聯之增加變化速率之處理器輸出的處理器。
58. 如申請專利範圍第57項之流體供給系統，其中該加壓包括選自由氬、氦、氮及空氣所組成之群之氣體。
59. 如申請專利範圍第57項之流體供給系統，其中該襯套筒容納一選自由光阻劑液體組成物及化學機械研磨漿液所組成之群之液體介質。
60. 如申請專利範圍第57項之流體供給系統，其進一步包括一經設置成用於過濾自襯套筒配送至流路中之流體的過濾器。
61. 如申請專利範圍第57項之流體供給系統，其進一步包括一位於流路中之配送泵。
62. 如申請專利範圍第61項之流體供給系統，其中該配送泵包括選自由膜片泵、活塞式泵、蠕動泵、注射器型泵、及定量(metered-dose)泵所組成之群之泵。
63. 如申請專利範圍第57項之流體供給系統，其中該使用位置包括一半導體製造工具。
64. 如申請專利範圍第63項之流體供給系統，其中該半導體製造工具包括選自由塗布工具、蝕刻工具、研磨工具、遮蔽工具、沈積工具、揮發工具、熱解工具、包裝工 具、混合工具、及減量工具所組成之群之工具。
65. 如申請專利範圍第57項之流體供給系統，其中該處理器係經設置於控制流體配送及自襯套筒配送之流體的利用。
66. 如申請專利範圍第65項之流體供給系統，其中該處理器係選自由通用的可程式化電腦、微處理器、微控制器、及可程式化的邏輯控制器所組成之群。
67. 如申請專利範圍第57項之流體供給系統，其中該處理器進一步適於控制加壓氣體源，以調控其流量。
68. 如申請專利範圍第57項之流體供給系統，其中該處理器進一步適於控制下列之至少一者：來自加壓氣體源之加壓氣體流率；於使用位置的流體處理；流路中之閥；及流路中之泵。
69. 如申請專利範圍第57項之流體供給系統，其中該處理器係經設置成將處理器輸出傳輸至一顯示監視器。
70. 如申請專利範圍第57項之流體供給系統，其中該處理器適於監測加壓氣體之壓力。
71. 一種自受到壓力之可消癟之襯套筒供給流體以達成流體配送的方法，該方法包括監測經配送流體之壓力成時間之函數，及測定作為預定之接近流體自襯套筒耗盡之指示之壓力-時間函數的斜率下降。
72. 如申請專利範圍第71項之方法，其中自襯套筒配送之流體於經配送流體流路中受到泵送，且自流路傳送至使用位置。
73. 如申請專利範圍第72項之方法，其中該泵送係利用定量泵進行，且該使用位置包括一半導體製造工具。
74. 如申請專利範圍第73項之方法，其中該襯套筒容納一選自由光阻劑及化學機械研磨組成物所組成之群之流體。
75. 如申請專利範圍第71項之方法，其中當達到該預定之接近耗盡時，輸出一警報。
76. 如申請專利範圍第71項之方法，其中當達到該預定之接近耗盡時，開始一更換操作，以自另一襯套筒繼續配送。
77. 如申請專利範圍第71項之方法，其中當達到該預定之接近耗盡時，修改配送操作，而以與襯套筒中之殘餘流體存量協調的方式終止配送操作。
78. 一種流體儲存及配送系統，包括一適於將流體容納於其內部體積中之流體儲存及配送容器，該容器具有一孔開口；一與該孔開口結合以將其密封的蓋；及一配送組件，其包括一可與蓋結合，以接近容器中之流體而將其配送通過配送組件的連接器，該連接器包括至少一可與蓋結合，以將連接器鎖緊固定於定位而進行配送的結合元件；及一與至少一結合元件聯結，且可於第一偏動位置(在此位置至少一結合元件將連接器鎖緊固定於定位以進行配送)與第二釋放位置(在此位置至少一結合元件自蓋脫離以防止連接器自蓋移除)之間手動移動之可以手抓持的元件， 其中該流體儲存及配送系統之特徵在於下列特徵(a)與(b)的一者：(a)該與至少一結合元件聯結，且可於第一偏動位置(在此位置至少一結合元件將連接器鎖緊固定於定位以進行配送)與第二釋放位置(在此位置至少一結合元件自蓋脫離以防止連接器自蓋移除)之間手動移動之可以手抓持的元件包括可藉由以手於其上施加擠壓力而以手自第一偏動位置壓下至第二釋放位置的側面平台；與(b)該流體儲存及配送容器包括一適於在其中容納流體之襯套筒。
79. 如申請專利範圍第78項之流體儲存及配送系統，其包括兩個相對於彼此而裝置於連接器之直徑之相對側的結合元件。
80. 如申請專利範圍第79項之流體儲存及配送系統，其中該等兩個結合元件係藉由包括適於在不存在可以手抓持的元件之手動移動下使可以手抓持的元件移動至第一偏動位置之旋轉凸輪元件的聯結組件而與可以手抓持的元件聯結。
81. 如申請專利範圍第80項之流體儲存及配送系統，其中該等結合元件係可樞轉移動的夾板元件。
82. 如申請專利範圍第81項之流體儲存及配送系統，其中該可以手抓持的元件包括一手柄。
83. 如申請專利範圍第82項之流體儲存及配送系統，其 中該手柄包括一具有手指輪廓的彎曲手柄。
84. 如申請專利範圍第82項之流體儲存及配送系統，其中該手柄於該第二釋放位置中係垂直豎立，及於該第一偏動位置中係自該第二釋放位置位移至少90°。
85. 如申請專利範圍第84項之流體儲存及配送系統，其中該手柄於該第一偏動位置中係自該第二釋放位置位移多於90°。
86. 如申請專利範圍第85項之流體儲存及配送系統，其中該手柄於該第一偏動位置中係向下定向且與容器接觸。
87. 如申請專利範圍第80項之流體儲存及配送系統，其中該可以手抓持的元件係藉由彈簧元件而偏動至該第一偏動位置。
88. 如申請專利範圍第87項之流體儲存及配送系統，其中該彈簧元件包括一扭轉彈簧元件。
89. 如申請專利範圍第80項之流體儲存及配送系統，其中該旋轉凸輪元件包括至少一經設置成當該可以手抓持的元件處於該第二釋放位置時施加推離壓力的推離凸輪。
90. 如申請專利範圍第80項之流體儲存及配送系統，其中該連接器包括一決定可以手抓持的元件於該第二釋放位置中之位置的限制止擋特徵。
91. 如申請專利範圍第90項之流體儲存及配送系統，其中該限制止擋特徵包括一當該可以手抓持的元件處於該第二釋放位置中時與可以手抓持的元件鄰接結合的突出物。
92. 如申請專利範圍第80項之流體儲存及配送系統，其中該旋轉凸輪元件當該可以手抓持的元件處於該第二釋放位置中時與對容器施加軸承壓力的推離結構結合，以促進連接器之脫離。
93. 如申請專利範圍第92項之流體儲存及配送系統，其中該推離結構包括至少兩個與容器軸承接觸的柱。
94. 如申請專利範圍第92項之流體儲存及配送系統，其中該推離結構包括至少四個與容器軸承接觸的柱。
95. 如申請專利範圍第92項之流體儲存及配送系統，其中該推離結構包括四個與容器軸承接觸的柱，其包括具有兩個位於連接器之相對側之柱，及聯結位於連接器之各該相對側之兩個柱之連結結構的組件。
96. 如申請專利範圍78項之流體儲存及配送系統，其中該與至少一結合元件聯結，且可於第一偏動位置(在此位置至少一結合元件將連接器鎖緊固定於定位以進行配送)與第二釋放位置(在此位置至少一結合元件自蓋脫離以防止連接器自蓋移除)之間手動移動之可以手抓持的元件包括可藉由以手於其上施加擠壓力而以手自第一偏動位置壓下至第二釋放位置的側面平台。
97. 如申請專利範圍第96項之流體儲存及配送系統，其包括位於連接器之各相對側之側面平台。
98. 如申請專利範圍第78項之流體儲存及配送系統，其中該流體儲存及配送容器包括一適於在其中容納流體之襯套筒。
99. 如申請專利範圍第98項之流體儲存及配送系統，其中該襯套筒容納一供半導體製造用之高純度液體。
100. 如申請專利範圍第80項之流體儲存及配送系統，其中該旋轉凸輪元件包括壓板(pivot clamp)凸輪及裝置於輪軸上之推離凸輪。
101. 如申請專利範圍第100項之流體儲存及配送系統，其中一手柄係被聯結至該旋轉凸輪元件。
102. 如申請專利範圍第101項之流體儲存及配送系統，其中該結合元件包括壓板，且當壓板凸輪經由手柄之相關移動而向上旋轉時，該壓板凸輪使壓板產生作用。
103. 如申請專利範圍第102項之流體儲存及配送系統，其中該壓板凸輪在此旋轉期間提升且將壓板向內壓，而對壓板軸產生一力矩，導致壓板自與蓋的結合釋放。
104. 如申請專利範圍第103項之流體儲存及配送系統，其中該聯結組件包括一使手柄於該第一偏動位置中降下的扭矩彈簧。
105. 如申請專利範圍第104項之流體儲存及配送系統，其中當手柄旋轉至作為該第二釋放位置的上方位置時，該推離凸輪將蓋的頂部推離。
106. 如申請專利範圍第105項之流體儲存及配送系統，其中該連接器具有將手柄止擋於作為該第二釋放位置之垂直位置之位於其側面上的突出物。
107. 一種儲存及配送流體之方法，包括使用如申請專利範圍第78至106項中任一項之流體儲存及配送系統。
108. 一種適於與一容器鎖緊結合的蓋，其中該容器具有位於其頸部之在圓周上隔開之鎖緊穴的陣列，該蓋包括一蓋主體，該主體包括一圓柱形側壁及一圓形頂壁，該圓形頂壁於該圓柱形側壁之上端與該圓柱形側壁結合，該圓柱形側壁具有一系列位於該側壁之下部之於圓周上隔開的切口，各切口具有於切口上端與其結合之向下懸出的防旋轉指狀元件，該指狀元件在其上不存在力的情況下偏動至一向外張開的位置，各該指狀元件包括於其上端結合至切口上端，及於其下端結合至方向徑向向內之凸出部的細長條狀物，該凸出部當經一適於與該蓋結合之連接器過配合(over-fit)時適於與該等鎖緊穴的其中一個結合，其中該蓋之特徵在於下列特徵(a)與(b)之一者：(a)該指狀元件向下懸出至該方向徑向向內之凸出部，且指狀元件之下部及凸出部較該圓柱形側壁的下緣低；及(b)該指狀元件係偏動至脫離與位於容器頸部上之該鎖緊穴結合的位置。
109. 如申請專利範圍第108項之蓋，其中該指狀元件向下懸出至該方向徑向向內之凸出部，且指狀元件之下部及凸出部較該圓柱形側壁的下緣低。
110. 如申請專利範圍第109項之蓋，其中該指狀元件係偏動至脫離與位於容器頸部上之該鎖緊穴結合的位置。
111. 一種流體儲存及配送包裝，包括一適於容納流體的容器，該容器具有位於容器頸部之在圓周上隔開之鎖緊穴 的陣列，及一適於與該容器鎖緊結合的蓋，該蓋包括一蓋主體，該主體包括一圓柱形側壁及一圓形頂壁，圓形頂壁於該圓柱形側壁之上端與該圓柱形側壁結合，該圓柱形側壁具有一系列位於該側壁之下部之於圓周上隔開的切口，各切口具有於切口上端與其結合之向下懸出的防旋轉指狀元件，各該指狀元件包括於其上端結合至切口上端，及於其下端結合至方向徑向向內之凸出部的細長條狀物，該凸出部當經一適於與該蓋結合之連接器過配合時適於與該等鎖緊穴的其中一個結合。
112. 如申請專利範圍第111項之流體儲存及配送包裝，其中該圓柱形側壁於其之內表面上刻有螺紋，且該容器頸部係互補地於其之外表面上刻有螺紋，以可與蓋的螺紋內表面配對結合。
113. 如申請專利範圍第112項之流體儲存及配送包裝，其進一步包括一與蓋過配合的配送連接器，其中該指狀元件係插置於容器頸部與連接器的內表面之間，且凸出部與位於容器頸部上之鎖緊穴結合。
114. 如申請專利範圍第113項之流體儲存及配送包裝，其中該容器容納一供半導體製造用之流體。
115. 如申請專利範圍第114項之流體儲存及配送包裝，其中該容器將流體容納於一襯套筒中。
116. 如申請專利範圍第115項之流體儲存及配送包裝，其中該配送連接器包括一適於與襯套筒中之流體接觸，且經設置成浮動通過以自容器配送流體的探針。
117. 一種防止蓋連同連接器自流體儲存及配送包裝之容器移除的方法，其中該流體儲存及配送包裝包括該容器、該蓋及該連接器，該方法包括提供該容器位於容器頸部區域的鎖緊穴，及提供該蓋，該蓋包括一蓋主體，該主體包括一圓柱形側壁及一圓形頂壁，該圓形頂壁於該圓柱形側壁之上端與該圓柱形側壁結合，該圓柱形側壁具有一系列位於該側壁之下部之於圓周上隔開的切口，各切口具有於切口上端與其結合之向下懸出的防旋轉指狀元件，各該指狀元件包括於其上端結合至切口上端，及於其下端結合至方向徑向向內之凸出部的細長條狀物，該凸出部當經連接器過配合時適於與該等鎖緊穴的其中一個結合。
118. 一種流體儲存及配送包裝，包括一適於容納流體的容器，該容器包括一孔及位於容器表面上之鎖緊結構，及一適於與該孔結合的蓋，其中該蓋適於與包括適於與蓋協同過配合之配送連接器的配送組件結合，該蓋具有位於其下部之當該配送連接器與該蓋過配合時可與該鎖緊結構結合之向外突出的元件，其中該鎖緊結構包括一位於容器表面上之豎立柱。
119. 如申請專利範圍第118項之流體儲存及配送包裝，其中該鎖緊結構包括一可與蓋之突出元件結合以防止蓋之旋轉移動的棘輪結構。
120. 如申請專利範圍第119項之流體儲存及配送包裝，其中當配送連接器未經結合以與該蓋過配合時，突出元件偏動至一未結合之位置。
121. 如申請專利範圍第118項之流體儲存及配送包裝，其中該蓋具有一位於其下部之溝槽，且該突出元件包括一終止該溝槽之翼樑，藉此該豎立柱可與翼樑結合而防止蓋旋轉。
122. 一種適於藉由其間之流路與流體利用工具聯結的流體儲存及配送系統，該系統包括一適於進行流體自包裝中之可消癟襯套筒之壓力調控配送之襯套筒式的流體儲存及配送包裝，及經配置以聯結該流體儲存及配送包裝與一下游流體利用工具之流路，其中該流路包括一過濾器、一泵、及一經配置成監測配送流體之壓力且引動一適於調控配送操作之控制器的壓力傳感器，其中該壓力傳感器係設置於該流路中之至該流體利用工具的流體入口處。
123. 如申請專利範圍第122項之流體儲存及配送系統，其中該泵包括一配送擊泵。
124. 如申請專利範圍第122項之流體儲存及配送系統，其中該流體利用工具具有一與其相關聯的下游配送器。
125. 一種在流體儲存及配送包裝之襯套筒中達到零或接近零之頂部空間狀態的方法，其中配送係藉由在襯套筒上施加壓力使其逐漸壓縮，而使流體自襯套筒之內部體積經由與襯套筒聯結之探針之排出通道排出而進行，其中該探針係具有包括通向排出通道之開口之末端之短而粗的探針，且該短而粗之探針的末端係設置於襯套筒之內部體積的上部中，以在自襯套筒排出流體之前先移除頂部空間 氣體。
126. 一種自承受壓力之可消癟襯套筒供給流體以達成流體配送之方法，該方法包括監測經配送流體之壓力成時間之函數，及測定壓力-時間函數之壓力斜率下降作為預定之接近流體自襯套筒耗盡的指示，及於該預定之接近流體自襯套筒耗盡時，於襯套筒上施加一壓力尖峰以達成流體自襯套筒的進一步配送。
127. 如申請專利範圍第126項之方法，其中於在襯套筒上施加壓力尖峰之後，自其中所配送之流體流至一儲槽，作為在流體自襯套筒耗盡期間之流體的過渡供給。
128. 一種用於與流體儲存及配送容器之蓋聯結的配送組件，包括一連接器本體、一裝置於連接器本體上用於在其上自第一位置(在此位置連接器本體係於該蓋上處於鎖緊位置中)樞轉移動至第二位置(在此位置連接器本體可藉由向上拉引手柄而釋放)的手柄、裝置於連接器本體上且適於在第一位置(其中夾板與蓋鎖緊結合)與第二位置(其中夾板釋放蓋)之間移動的夾板，該手柄於其末端處與可在手柄之第一位置及夾板之第一位置處與夾板結合，及在手柄之第二位置及夾板之第二位置處自夾板脫離的凸輪聯結，其中該配送組件之特徵在於下列特徵(a)與(b)之一者：(a)該手柄係與扭轉彈簧聯結，及使連接器本體與手柄互連，以利於手柄在其之第一與第二位置之間的該移動；及 (b)該配送組件包括一與手柄聯結，以當手柄移動至其之第二位置時使夾板移動至第二位置的輪。
129. 如申請專利範圍第128項之配送組件，其中該手柄係與扭轉彈簧聯結，及使連接器本體與手柄互連，以利於手柄在其之第一與第二位置之間的該移動。
130. 如申請專利範圍第128項之配送組件，其進一步包括一與手柄聯結，以當手柄移動至其之第二位置時使夾板移動至第二位置的輪。
131. 如申請專利範圍第128項之配送組件，其進一步包括至少一與手柄聯結且當手柄移動至其之第二位置時適於與容器表面結合，及於表面上施加力以促進連接器頭部自蓋之移除的推離凸輪。
132. 一種製程系統，包括一流體利用裝置、一包括具有襯套筒之流體儲存及配送包裝的流體供給，該襯套筒適於在其上施加加壓氣體以使襯套筒收縮及自其中配送流體，其中在配送操作期間該襯套筒係聯結至一連接器以使流體自襯套筒流過，及一聯結至連接器及流體利用裝置的流路，該襯套筒於其之上部包括一流體配送孔，且該連接器包括一用於與流體配送孔聯結的探針，其中該探針包括一短而粗的探針，藉此可在配送操作之前透過該探針自襯套筒中排除頂部空間氣體，且其後在配送操作期間可使整個製程系統中的頂部空間減至最小。
133. 一種連接器，包括一短而粗的探針，且適於與包括一蓋之流體儲存及配送包裝的該蓋聯結。
134. 如申請專利範圍第133項之連接器，其係聯結至一流體儲存及配送包裝之蓋。
135. 一種經由流路聯結至一經加蓋之流體儲存及配送包裝的半導體製造工具，其中該流路係聯結至一可與蓋配對結合的連接器，且其中該蓋及連接器包括一申請專利範圍第21項之連接前確認聯結器。
136. 一種半導體製造系統，包括一流體利用工具及一經由該流路以流體配送關係與流體利用工具操作聯結之申請專利範圍第59項之流體供給系統。
137. 一種半導體製造系統，包括一流體利用工具及一申請專利範圍第78項之流體儲存及配送系統。
138. 一種適於與流體儲存及配送容器之蓋結合的連接器，其中該蓋具有一與其聯結以防止蓋之錯誤聯結及再利用的鎖碼結構，且該連接器包括一短而粗的探針。
139. 如申請專利範圍第138項之連接器，其上裝置有一可於第一鎖緊位置與第二釋放位置之間移動的手柄。
140. 一種製造半導體產物之方法，包括使用一流體試劑，其中該流體試劑係供給自一包括一容納流體試劑之襯套筒的流體儲存及配送包裝，其中該襯套筒於其上受到外部壓力的施加而壓力配送該流體，其中該襯套筒於流體的壓力配送期間係維持於零或接近零的頂部空間狀態。
141. 如申請專利範圍第140項之方法，其中該流體儲存及配送包裝係經由流路聯結至一半導體製造工具，且於流體的壓力配送期間於該流路中維持最小的頂部空間。
142. 如申請專利範圍第140項之方法，其中於流體的壓力配送期間於流路中維持最小的頂部空間。
143. 如申請專利範圍第140項之方法，其中於流體的壓力配送期間，該襯套筒係聯結至一包括一短而粗之探針的連接器。
144. 如申請專利範圍第140項之方法，其中該流體儲存及配送包裝包括一申請專利範圍第45項之流體儲存及配送包裝。
145. 如申請專利範圍第140項之方法，其中該流體儲存及配送包裝包括一與襯套筒聯結之蓋，其中該襯套筒係設置於一硬質外包裝中，且該蓋係與一包括一短而粗之探針的連接器聯結，以使經壓力配送之流體流過。
146. 如申請專利範圍第140項之方法，其中該流體儲存及配送包裝係與用於將流體自襯套筒傳送至利用該流體之半導體製造工具的流路聯結，其包括於壓力配送期間感測自襯套筒配送至該流路中之流體的壓力，及監測該流體之壓力變化速率，以測定與襯套筒中之流體耗盡開端相關聯的壓力變化增加速率。
147. 如申請專利範圍第140項之方法，其進一步包含監視該流體儲存及配送包裝，以測定該襯套筒之一預定接近耗盡狀態發生。
148. 如申請專利範圍第147項之方法，其進一步包含於該襯套筒之一預定接近耗盡狀態發生時終止配送。
149. 如申請專利範圍第140項之方法，其中該襯套係由 包含含氟聚合物之聚合材料所形成。
150. 如申請專利範圍第140項之方法，其中該襯套筒包含厚度1.5密爾至3.0密爾之塑膠薄膜材料。
151. 一種製造半導體產品之方法，包括使用申請專利範圍第78項之流體儲存及配送系統於供給供該製造用之流體。
152. 一種製造半導體產品之方法，包括使用含申請專利範圍第108項之蓋的流體儲存及配送系統於供給供該製造用之流體。
153. 一種製造半導體產品之方法，包括使用申請專利範圍第111項之流體儲存及配送包裝於供給供該製造用之流體。
154. 一種製造半導體產品之方法，包括使用申請專利範圍第118項之流體儲存及配送包裝於供給供該製造用之流體。
155. 一種製造半導體產品之方法，包括使用申請專利範圍第122項之流體儲存及配送系統於供給供該製造用之流體。
156. 一種製造流體儲存及配送包裝之方法，包括製造具有申請專利範圍第21項之連接前確認聯結器的包裝。
157. 一種製造流體儲存及配送包裝之方法，包括製造具有申請專利範圍第108項之蓋的包裝。
158. 一種製造流體儲存及配送包裝之方法，包括製造具有一蓋連接器的包裝，該蓋連接器具有一包括一鎖碼環的 連接器。
159. 一種供材料儲存及配送包裝用之連接器，包括一主體部分、包括一裝置於主體部分上且可於其上藉樞軸在上方位置與下方位置之間移動的手柄，其中該連接器適於與一材料儲存及配送容器聯結以將其封閉，且該連接器包括一用於自容器配送材料的配送組件，及一與手柄操作聯結且當手柄處於下方位置時適於防止連接器自材料儲存及配送容器移除的壓力釋放裝置，及一與壓力釋放裝置操作聯結以當手柄樞轉移動至下方位置時，將手柄維持於此下方位置的止擋元件，止擋元件係可選擇性地脫離，以使壓力釋放裝置將容器排放至環境壓力，及使手柄可向上樞轉移動，且隨後當手柄處於上方位置時連接器可自容器脫離，藉此可於該環境壓力下發生連接器自容器之脫離。
160. 如申請專利範圍第159項之連接器，其中壓力釋放裝置係於手柄之各相對端與手柄操作聯結。
161. 如申請專利範圍第160項之連接器，其中該手柄之該等相對端包括與連接器之主體部分聯結的輪軸部分。
162. 如申請專利範圍第161項之連接器，其包括兩個該等止擋元件，其中各輪軸部分包括一可與該等止擋元件中之相對應的一者結合的凸輪表面，及該等止擋元件各包括一藉彈簧偏動至防止手柄移動之鎖緊位置，且可手動壓下以使其自其之鎖緊位置脫離，且因此可使手柄移動的鈕。
163. 如申請專利範圍第159項之連接器，其進一步包括一當與連接器聯結時適於使加壓氣體流入至容器中的加 壓氣體入口組件。
164. 如申請專利範圍第159項之連接器，其中該壓力釋放裝置包括一三通閥。
165. 如申請專利範圍第159項之連接器，其中該止擋元件包括一可以手動方式在與手柄結合之鎖緊位置與釋放位置之間移動的滑動元件。
166. 如申請專利範圍第159項之連接器，其中該止擋元件包括一可經選擇性地引動以使突出元件延伸而與手柄結合，且可失去作用以使該突出元件縮回而使其自手柄脫離的缸筒。
167. 如申請專利範圍第166項之連接器，其中該突出元件與手柄之一輪軸部分結合。
168. 如申請專利範圍第166項之連接器，其中該突出元件係藉由一與其聯結之偏動彈簧的作用而移動。
169. 一種材料儲存及配送包裝，包括一材料儲存及配送容器，及一與容器聯結以將其封閉之申請專利範圍第159項之連接器。
170. 如申請專利範圍第169項之材料儲存及配送包裝，其進一步包括一位於容器中之襯套筒。
171. 如申請專利範圍第170項之材料儲存及配送包裝，其中該襯套筒容納一化學試劑。
172. 如申請專利範圍第171項之材料儲存及配送包裝，其中該化學試劑包括一光阻劑。
173. 如申請專利範圍第171項之材料儲存及配送包 裝，其係聯結至一半導體製造工具。
174. 如申請專利範圍第169項之材料儲存及配送包裝，其中該連接器進一步包括一用於材料自容器通過連接器之配送組件之壓力輔助配送的加壓氣體入口。
175. 一種儲存及配送材料之方法，其中將材料設置於一容器中，及使一連接器與容器聯結，以形成一容納包裝，其中該連接器包括一可於第一鎖緊位置(其中包容容器中之壓力)與第二位置(其中連接器可自容器移除而不會於容器與包裝之周遭環境之間存在壓力差)之間移動的手柄，該方法包括當手柄處於第一位置時使容器選擇性地減壓，以使手柄可自第一鎖緊位置移動至第二位置。
176. 如申請專利範圍第11項之方法，其中對襯套筒施加外部壓力的步驟包括自一加壓氣體源供應氣體以對襯套筒外部地施加氣體壓力以進行流體自襯套筒之壓力調控配送。
177. 如申請專利範圍第2項之流體供應系統，其進一步包括一經設置成用於過濾自該襯套筒配送之液體的過濾器，其中該壓力傳感器適於感測該過濾器上游的壓力。
178. 如申請專利範圍第11項之方法，其中一適於過濾自該襯套筒配送之液體的過濾器被配置於該襯套筒與該使用位置之間，且其中該監測該配送流體之壓力的步驟包括監測該過濾器上游之配送流體的壓力。
179. 一種在一配置於一流體儲存及配送包裝之一實質硬質容器中之襯套筒中達到零或接近零之頂部空間狀態 的方法，該方法包括：在自該襯套筒排出流體試劑之前，透過一探針的一開口自該襯套筒移除頂部空間氣體的至少一實質部分，其中該開口配置於該襯套筒之一內部體積的上部中，以自該襯套筒之一上部提取處理材料；及透過該探針的開口自該襯套筒之一內部體積配送處理材料，其中配送係藉由在襯套筒上施加壓力使其逐漸壓縮而進行。
180. 如申請專利範圍第179項之方法，其進一步包括插入該探針的至少一部分進入該襯套筒，其中該探針係具有末端之短而粗的探針，且該短而粗之探針的末端係設置於該襯套筒之內部體積的上部中。
181. 如申請專利範圍第179項之方法，其中移除頂部空間氣體的步驟造成除了占據低於2%的該襯套筒之全部體積的氣體體積以外，該襯套筒實質上完全由處理材料所填充。
182. 如申請專利範圍第179項之方法，其中在該流體儲存及配送包裝與一配置用來接收該流體試劑之流體利用設備之間提供流路，其中在流體試劑的配送期間於該流路中維持最小的頂部空間。
183. 如申請專利範圍第179至182項任何一項之方法，其進一步包括利用該配送之處理材料於一半導體或微電子裝置產物的製造。
184. 一種製造一半導體或微電子產物的方法，包括利用一 流體試劑與自一流體儲存及配送包裝供應該流體試劑至一半導體或微電子裝置製造處理工具，該流體儲存及配送包裝包括一容納該流體試劑的襯套筒，其中：該流體儲存及配送包裝包括一具有一探針之連接器，該探針包括一經配置而位於該襯套筒之一內部體積之一上部中的開口，以自該襯套筒之上部提取處理材料，且透過該探針配送該流體試劑；該襯套筒於其上受到外部壓力的施加而在供應期間透過該開口壓力配送該流體試劑；及該襯套筒於流體試劑的壓力配送期間係維持於零或接近零的頂部空間狀態。
185. 如申請專利範圍第184項之方法，其中在自該襯套筒配送處理材料之前，該探針流體連通於一排出口以透過該開口自該襯套筒的內部體積排出氣體。
186. 一種適於聯結流路與一流體利用設備的流體儲存與配送系統，該系統包括一適於進行液體自包裝中之襯套筒之壓力調控配送之襯套筒式的流體儲存及配送包裝，及一經配置成監測該流體利用設備上游之流路中配送液體之壓力且引動一適於調控自該襯套筒配送之液體流的控制器的壓力傳感器。
187. 如申請專利範圍第186項之流體儲存與配送系統，其中該流體利用設備具有一經配置以過濾自該襯套筒配送之液體的相關過濾器，且其中該壓力傳感器經配置以監測該過濾器上游之配送液體的壓力。