JP6261006B2 - ポリマーに基づく多層フィルム構造、ライナー、及び方法 - Google Patents

Description

本開示は、ポリマーに基づく多層ガスバリアフィルムに関する。特に、本開示は、比較的良好な耐薬品性及び比較的高いガスバリア特性を有する、ポリマーに基づく又はフルオロポリマーに基づく多層フィルムに関する。より詳しくは、本開示は、例えば、限定ではないが、ライナーに基づく保管及び分注システム用のライナーの製造に使用するための、比較的良好な耐薬品性及び比較的高いガスバリア特性を有する、ポリマーに基づく又はフルオロポリマーに基づく多層フィルムに関する。

多くの製造プロセスでは、酸、溶媒、塩基、フォトレジスト、スラリー、洗浄用調合物、ドーパント、無機溶液、有機溶液、有機金属溶液、及び生物学的溶液、医薬品、及び放射性化学薬品等の超高純度液体の使用が必要である。そのような応用では、超高純度液体中の粒子の数及びサイズを最小限に抑えることが必要である。特に、超高純度液体は、超小型電子部品製造プロセスの多くの局面で使用されるため、半導体製造メーカは、プロセス化学薬品及び化学薬品取扱装置の厳密な粒子濃度仕様を確立している。製造プロセス中に使用される液体は、高レベルの粒子又は気泡を含有しており、粒子又は気泡は、ケイ素の固体表面に沈着する場合があるため、そのような仕様が必要となる。その結果、これは、製品不良、及び品質低下、及び信頼性低下に結びつく場合がある。

したがって、そのような超高純度液体の保管、輸送、及び分注には、保持されている液体に適切な保護を提供することが可能な容器が必要とされる。ＡＴＭＩ社製のＮＯＷＰａｋ（登録商標）分注システム等の折畳み式のライナーに基づく容器は、分注中に、ガス又は液体を用いて、容器中の液体を直接にではなく、ライナーを加圧することにより、そのような気液界面を低減することが可能である。詳しくは、そのような分注システムは、一般的にガス圧力インラインの挿入又は分注コネクタの取付けを可能にし、ライナーと外部オーバーパックとの間にある環状空間との流体連通を可能にする加圧ガス入口を備える間接圧力分注コネクタを備える。そのようなシステムでは、加圧液体、ガス、又は他の好適な物質を環状空間に導入し、ライナーをオーバーパック壁から遠ざけるように圧潰させ、それによりライナーの内容物を、間接圧力分注コネクタの液体出口から押出すことができる。

そのような圧力分注応用では、ガスは、ライナー材料を透過するか、又はそうでなければ望ましくないことだがライナー材料を介して導入され、それにより保持されている液体が、時間の経過と共に汚染される場合があり、そうなるとガスが溶液に溶け、製造プロセスにおいて、望ましくないことだが、例えば半導体ウェーハ上に気泡として出現することになってしまう。加えて、ライナーに基づくシステムに保管される内容物によっては、ライナーは、高耐薬品性を有する材料で製造される必要がある場合がある。例えば、ペルフルオロアルコキシ（ＰＦＡ）は、フォトレジスト等の有害物質に対する高い耐薬品性を有することが知られているフルオロポリマーである。しかしながら、上述の間接圧力分注応用等、ガスバリア特性が必要とされる場合、ライナー材料にＰＦＡを使用することには制限がある。ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）は、適度に良好なガスバリア特性を有することが知られているフルオロポリマーである。しかしながら、ＰＣＴＦＥは、耐薬品性が比較的低く、それ自体への溶着性も低い。ポリエチレン又はナイロンを使用して製作された他の従来のライナーは、適度に良好なガスバリア特性を同様に提供するが、比較的低い耐薬品性を有する。

当技術分野では、比較的良好な耐薬品性及び比較的高いガスバリア特性を有する、ポリマーに基づく多層ガスバリアフィルム、特にフルオロポリマーに基づく多層フィルムが必要とされている。より詳しくは、例えば、限定ではないが、ライナーに基づく保管及び分注システム用のライナーの製造に使用するための、高いガスバリア特性を有する、ポリマーに基づく又はフルオロポリマーに基づく多層フィルムが必要とされている。多くの場合、そのようなライナーの内容物は、非常に高価な例えば約＄２５００／Ｌ以上の材料が含まれることがある。したがって、耐薬品性のわずかな増加でさえ望ましい場合があり、及び／又は間接圧力分注応用中にライナーへと透過するガスの量を減少させる性能が望ましい場合がある。

本開示は、１つの実施形態では、比較的高い耐薬品性及び比較的良好なガスバリア特性等の、望ましい又は好ましい特性の組み合わせを備える多層フィルムに関する。詳しくは、本開示の様々な実施形態では、多層フィルムは、比較的高い耐薬品性を有する少なくとも１つの層、及び比較的良好なガスバリア特性を有する少なくとも１つの他の層を含んでいてもよい。より詳しくは、本開示の様々な実施形態では、多層フィルムは、比較的高い耐薬品性を有する少なくとも１つの外側層、及び比較的良好なガスバリア特性を有する、限定ではないが内側層等の、少なくとも１つの他の層を含んでいてもよい。

本開示は、別の実施形態では、塩素含有フルオロポリマー並びに塩素及び酸素含有フルオロポリマーのコア層と、そのコア層の１つの側に作用可能に結合される、過フッ素化（perfluorinated）フルオロポリマーを含む外側層とを備える多層フィルム構造に関する。幾つかの実施形態では、塩素含有フルオロポリマーは、ＰＣＴＦＥであってもよく、塩素及び酸素含有フルオロポリマーは、ＣＰＴ等の、ＰＣＴＦＥの付加による重合中に修飾されるＰＦＡであってもよい。また、多層フィルム構造は、コア層の反対側に作用可能に結合されており、過フッ素化フルオロポリマーを含む第２の外側層を含んでいてもよい。幾つかの実施形態では、外側層の一方又は両方の過フッ素化フルオロポリマーは、ＰＦＡであってもよい。コア層は、塩素含有フルオロポリマーと塩素及び酸素含有フルオロポリマーとの混合層であってもよく、又はコア層は、少なくとも１つの塩素含有フルオロポリマー層と、少なくとも１つの塩素及び酸素含有フルオロポリマー層とを有するサンドイッチ構造であってもよい。フィルム構造は、それを通って透過する窒素ガスのフラックス速度が、７ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍ未満、好ましくは１ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍ未満になるように構成されている。幾つかの実施形態では、コア層の約６０％〜約９０％は、塩素含有フルオロポリマーで構成されていてもよく、コア層の約４０％〜約１０％は、塩素及び酸素含有フルオロポリマーで構成されていてもよい。同様に、多層フィルムの約６０％〜約９０％は、コア層で構成されていてもよく、多層フィルムの約４０％〜約１０％は、外側層で構成されていてもよい。多層フィルム構造は、約１ミル〜約７ミル（約0.0254〜約0.1778ミリメートル）の全厚を有してもよい。

本開示は、更なる実施形態では、上述のタイプの多層フィルム構造を製造するための方法に関する。本方法は、複数のフィルム層を押出して、塩素含有フルオロポリマー並びに塩素及び酸素含有フルオロポリマーを有するコア層、並びにコア層の１つの側に作用可能に結合されており、過フッ素化フルオロポリマーを有する外側層を形成することを含む。１つの実施形態では、複数のフィルム層を同時押出して、コア層及び外側層を実質的に同時に形成してもよい。塩素含有フルオロポリマーは、ＰＣＴＦＥ及び／又はエチレンクロロトリフルオロエチレン（ＥＣＴＦＥ）であってもよい。塩素及び酸素含有フルオロポリマーは、ＣＰＴ等の、ＰＣＴＦＥの付加による重合中に修飾されるＰＦＡであってもよい。過フッ素化フルオロポリマーは、ＰＦＡ及び／又はフッ素化エチレンプロピレン（ＦＥＰ）であってもよい。

本開示は、更に別の実施形態では、多層フィルムライナー壁を有するライナーに関する。ライナー壁は、塩素含有フルオロポリマー並びに塩素及び酸素含有フルオロポリマーを有するコア層、並びにコア層の１つの側に作用可能に結合されており、過フッ素化フルオロポリマーを有する外側層を含む。ライナー壁は、それを通って透過する窒素ガスのフラックス速度が、７ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍ未満になるように構成されていてもよい。コア層は、塩素含有フルオロポリマーと塩素及び酸素含有フルオロポリマーとの混合層であってもよく、又はコア層は、少なくとも１つの塩素含有フルオロポリマー層と少なくとも１つの塩素及び酸素含有フルオロポリマー層とを有するサンドイッチ構造であってもよい。

複数の実施形態が開示されているが、本開示の更に他の実施形態は、当業者であれば、本発明の代表的な実施形態が提示及び説明されている以下の詳細な説明から明白になるだろう。本開示の様々な実施形態は、本開示の趣旨及び範囲から全く逸脱せずに、種々の明白な態様において改変が可能であることが理解されるだろう。したがって、図面及び詳細な説明は、その性質が例示であり、限定ではないとみなされるべきである。

本明細書には、本開示の様々な実施形態を形成するとみなされる主題を具体的に指摘及び明確に主張する特許請求の範囲が添付されているが、本発明は、添付の図面と合わせて以下の説明から更によく理解されることになると考えられる。

本開示の実施形態による多層フィルムの模式図。

本開示は、新規で優れたポリマーに基づく多層ガスバリアフィルムに関する。詳しくは、本開示は、例えば、限定ではないが、ライナーに基づく保管及び分注システム用のライナーの製造に使用することができる、比較的良好な耐薬品性及び比較的高いガスバリア特性を有する、新規で優れたポリマーに基づく又はフルオロポリマーに基づく多層フィルムに関する。

本開示による多層フィルムは、通常のライナー材料の望ましい又は好ましいいくつかの特性の組合せ、例えば、比較的高い耐薬品性及び比較的良好なガスバリア特性を有してもよい。詳しくは、本開示の様々な実施形態では、多層フィルムは、比較的高い耐薬品性を有する少なくとも１つの層、及び比較的良好なガスバリア特性を有する少なくとも１つの他の層を含んでいてもよい。より詳しくは、本開示の様々な実施形態では、多層フィルムは、比較的高い耐薬品性を有する少なくとも１つの外側層、及び比較的良好なガスバリア特性を有する、限定ではないが内側層等の少なくとも１つの他の層を含んでいてもよい。測定の基盤として、圧力分注応用で一般的に使用されている本開示の多層フィルムを透過する窒素（Ｎ_２）ガスのフラックス速度は、１つの実施形態では７ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍ未満、幾つかの場合では好ましくは４ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍ未満であってもよい。

本開示による多層フィルムは、任意の好適な方法により製造することができる。しかしながら、１つの実施形態では、本開示の多層フィルムの様々な実施形態は、多層の材料を実質的に同時に押出しできるような、押出しプロセス又は共押出しプロセスを使用して製造することができる。

図１に示されているように、１つの実施形態では、本開示による多層フィルム１００は、コア層１０２及び１つ又は複数の外側層１０４を含んでいてもよい。コア層１０２は、比較的良好なガスバリア特性を有するように設計及び製造されていてもよい。上述のように、幾つかの実施形態では、コア層１０２は、７ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍ未満の、好ましくは４ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍ未満の、より好ましくは１ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍ未満の、コア層を透過するＮ_２ガスのフラックス速度を有するように設計されていてもよい。１つ又は複数の外側層１０４は、比較的良好な又は高い耐薬品性を有するように設計又は選択されていてもよい。そのため、コア層１０２及び１つ又は複数の外側層１０４で構成される多層フィルム１００は、一般的なライナー材料の望ましい又は好ましいいくつかの特性の組み合わせ、例えば比較的高い耐薬品性及び比較的良好なガスバリア特性等を備えていてもよい。

１つの実施形態では、コア層１０２は、材料の混合物であってもよく、又はそれ自体が、複数の材料の多層構造であってもよく、又はその両方の組み合わせであってもよい。任意の好適な数の異なる材料がコア層１０２に選択されてもよく、混合物ではなく多層構造として製造される場合、コア層は、任意の好適な数の層を有していてもよい。混合コア層材料及び／又は層状コア層材料は、その結果生じるコア層１０２が、上記で考察されているように、比較的良好な、幾つかの場合には、比較的高いガスバリア特性を有するように、任意の好適な材料から選択されていてもよい。１つの特定の実施形態では、コア層１０２は、塩素含有フルオロポリマーと塩素及び酸素含有フルオロポリマーの混合物及び／又は層状構造を含んでいてもよい。１つの実施形態では、好適な、塩素含有フルオロポリマーは、限定ではないが、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）であってもよい。同様に、好適な、塩素及び酸素含有フルオロポリマーは、限定ではないが、ダイキンアメリカ社から市販されている修飾ペルフルオロアルコキシ（ＰＦＡ）であり、一般的に重合中にＰＦＡ主鎖にＰＣＴＦＥ側鎖を付加して、それにより標準的ＰＦＡのガス及び／又は液体バリア特性を増加させることを含むＣＰＴであってもよい。しかしながら、ＣＰＴの製作過程で、ＰＦＡの耐薬品特性の一部が、損なわれる。本明細書では、ＰＣＴＦＥとＣＰＴの混合物及び／又はＰＣＴＦＥとＣＰＴの層状構造が考察されることが多いが、しかしながら、コア層１０２のＰＣＴＦＥの代わりに、限定ではないが、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、エチレンクロロトリフルオロエチレン（ＥＣＴＦＥ）、又は液晶ポリマー（ＬＣＰ）等の、他の好適なポリマー又は材料を使用することができ、ＰＣＴＦＥに関する考察は、限定が目的ではないことが認識される。また、ＰＣＴＦＥ（又は他の好適な材料）及びＣＰＴのみが、コア層１０２を形成する材料である必要はなく、他の材料が、本開示の範囲から逸脱せずに更に導入されていてもよいことが認識される。例えば、１つの実施形態では、コア層１０２には、ガラス繊維を添加することができる。

コア層１０２のＰＣＴＦＥ（又は他の好適な材料）対ＣＰＴ（又は他の好適な材料）の比は、特定の応用及び／又は仕様に望ましいように選択することができる。すなわち、コア層は、それぞれ、約０％〜約１００％のＰＣＴＦＥを含んでいてもよく、したがって、約１００％〜約０％のＣＰＴを含んでいてもよい。しかしながら、１つの特定の実施形態では、コア層１０２は、約６０％〜約９０％のＰＣＴＦＥ及び約４０％〜約１０％のＣＰＴを含んでいてもよい。更により詳しくは、１つの特定の実施形態では、コア層１０２は、約８０％のＰＣＴＦＥ及び約２０％のＣＰＴを含んでいてもよい。一般的に、本明細書で開示されているあらゆる範囲は、指定の終点値を有する明示的に示されている範囲を含むだけでなく、示されている範囲内の個々の値及び部分的範囲も含むと解釈されるべきである。この同じ原理は、１つの数値のみが示されている範囲（「７ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍ未満」等）にも適用される。更に、そのような解釈は、記載されている範囲又は特徴の幅に関わらず適用されるべきである。

ＰＣＴＦＥが、約０．１ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍのＮ_２透過性を有し、ＣＰＴが、約０．９ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍのＮ_２透過性を有する場合、１つの実施形態では、ＰＣＴＦＥ及びＣＰＴを含む混合コア層は、その結果として、約０．１〜０．９ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍの透過性を有する場合がある。混合物ではなく多層構造を含むコア層１０２の実施形態では、層の数及び／又は各層の厚さは、その結果生じるコア層１０２のバリア特性に全体的な影響を及ぼす場合がある。例えば、多層フィルムは、一般的に、例えば融解結合により共に保持されている個々のフィルムの幾つかの層で形成されていてもよい。層の数が増加すると共に、バリア特性の有効性も増加する場合がある。同様に、各層の厚さは、層間の接着強度及び多層フィルムの全体的バリア特性に著しい影響を及ぼす場合がある。詳しくは、層の厚さが薄くなれば、個々の層状フィルムの結晶の配列がより良好になり、例えば、ガス分子の経路がより蛇行又は屈曲したものになり、それにより多層フィルムの全体的バリアの強さが増加する。この点で、コア層１０２は、任意の好適な数の層を含んでいてもよく、各層の任意の厚さが企図されており、ある場合には、その結果生じる多層フィルム１００の所望の応用又は仕様に依存する場合がある。１つの特定の実施形態では、コア層１０２は、最大４０９６個以上の層を含むことができる。更により詳しくは、１つの実施形態では、コア層１０２は、３〜１２８個の層を含んでいてもよい。同様に、各々の個々の層は、限定ではないが、約１００ミクロン等の、約１ナノメートルから数ミクロンまでの厚さを有していてもよい。

上述のように、多層フィルム１００は、１つ又は複数の外側層１０４を含んでいてもよい。外側層材料は、多層フィルムの少なくとも１つの側が、使用目的に応じて、有害又は腐食性薬品に隣接している場合があるため、外側層１０４が、比較的良好な、ある場合には比較的高い耐薬品性を有するように、任意の好適な材料から選択することができる。１つの特定の実施形態では、外側層１０４は、過フッ素化フルオロポリマーを含んでいてもよい。また更なる実施形態では、好適な過フッ素化フルオロポリマーは、限定ではないが、ＰＦＡであってもよい。本明細書ではＰＦＡが考察されることが多いが、しかしながら、外側層１０４のＰＦＡの代わりに、限定ではないが、フッ素化エチレンプロピレン（ＦＥＰ）又はエチレンテトラフルオロエチレン（ＥＴＦＥ）等の、他の好適なポリマー又は材料を使用してもよく、ＰＦＡに関する考察は、限定が目的ではないことが認識される。また、ＰＦＡ（又は他の好適な材料）のみが、外側層１０４を形成する材料である必要はなく、他の材料が、本開示の範囲から逸脱せずに更に導入されていてもよいことが認識される。

多層フィルム１００は、コア層１０２の１つの側にのみ外側層１０４を有していてもよく、又はコア層１０２の各側に外側層１０４を有していてもよい。また更なる実施形態では、各外側層１０４は、それ自体が複数材料の混合物で構成されていてもよく、又は複数材料の層状構造で構成されていてもよく、又はその両方の組み合わせで構成されていてもよい。同様に、各外側層１０４は、必ずしも他の層の材料と同じ材料で構成される必要はない。

多層フィルム１００についてコア層１０２と外側層（１つ又は複数）１０４との比は、特定の応用及び／又は仕様に望ましいように選択することができる。すなわち、多層フィルム１００は、それぞれ、約０％〜約１００％のコア層１０２を含んでいてもよく、したがって、約１００％〜約０％の外側層（１つ又は複数）１０４を含んでいてもよい。しかしながら、１つの特定の実施形態では、多層フィルム１００は、約６０％〜約９０％のコア層１０２及び約４０％〜約１０％の外側層（１つ又は複数）１０４を含んでいてもよい。更により詳しくは、１つの実施形態では、多層フィルム１００は、約８０％のコア層１０２及び約２０％の外側層（１つ又は複数）１０４を含んでいてもよい。

多層フィルム１００の更なる実施形態では、例えば、限定ではないが、目的の仕様を満たすために又は層間の接着を提供するために望ましい又は必要とされる場合、任意の好適な他の層が含まれていてもよい。例えば、ある実施形態では、コア層１０２は、高割合のＰＣＴＦＥ及び低割合のＣＰＴで構成されていてもよい。ＰＣＴＦＥは、単独では、ＣＰＴ又はＰＦＡと良好に結合又は積層することができないため、幾つかの実施形態では、コア層１０２と１つ又は複数の外側層１０４との間に、１つ又は複数の結合層１０６を含むことが望ましいか又は有利である場合がある。結合層１０６は、限定ではないが接着等の所望の特徴を有するか又は提供することができる、任意の好適な材料から選択することができる。ある実施形態では、例えば、コア層１０２が、ＰＣＴＦＥ及びＣＰＴの混合物又は多層構造を含み、外側層（一または複数）１０４が、コア層のＰＣＴＦＥ対ＣＰＴの比又は多層ＰＣＴＦＥ−ＣＰＴコアの構造に応じて、ＰＦＡを含む場合、ＣＰＴを含む結合層は、コア層１０２と外側層（一または複数）１０４との結合を支援するために、望ましいか又は有利である場合がある。

本明細書で開示されている多層フィルム１００の様々な実施形態は、任意の好適な厚さを有するように設計又は構成することができ、それは、所望の応用又は仕様に依存する場合がある。同様に、コア層１０２、外側層（一または複数）１０４、任意の結合層１０６、又は任意の他の層の各々は、任意の好適な厚さであってもよく、任意の他の層とは異なる厚さを有していてもよく、それは、この場合も所望の応用又は仕様に依存する場合がある。特定の実施形態では、多層フィルム１００全体は、厚さが約１〜約７ミル（約0.0254〜約0.1778ミリメートル）であってもよい。更により詳しくは、幾つかの実施形態では、多層フィルム１００全体は、厚さが約３〜約５ミル（約0.0762〜約0.127ミリメートル）であってもよい。

上述のように、本明細書で開示されているポリマーに基づく又はフルオロポリマーに基づく多層フィルムの様々な実施形態は、ライナーに基づく保管及び分注システム用のライナーの製造に使用することができる。詳しくは、本明細書で開示されているポリマーに基づく又はフルオロポリマーに基づく多層フィルムの様々な実施形態は、ライナーの外部表面に加えられる圧力分注ガスの透過からライナー内の内容物を保護するために、間接圧力又は圧力支援分注システム又は技術が使用される、ライナーに基づく保管及び分注システム用のライナーの製造に使用することができる。しかしながら、そのような例は、限定ではなく、本明細書で開示されているポリマーに基づく又はフルオロポリマーに基づく多層フィルムの様々な実施形態は、任意の他の好適なポリマーに基づく又はフルオロポリマー基づく物品の製造を含む、任意の好適な目的に使用することができることが認識される。

本明細書で開示されているポリマーに基づく又はフルオロポリマーに基づく多層フィルムの様々な実施形態を使用して製造されるライナーは、それらに限定されないが以下のものを含む、任意の好適なタイプ又は構成の、サイズの、及び形状のライナーであってもよい：ピロータイプライナ（又は二次元ライナー）と呼ばれることが多いライナー、一般的にオーバーパック壁により規定されているより剛性のオーバーパックの内側により実質的に一致若しくは嵌合するか又は著しく一致若しくは嵌合さえするように構成されていてもよい三次元又は共形ライナー、並びにこれらに限定されないが、同時ブロー成型（例えば、２つの予備形成体が共にブロー成型される）又は２重ブロー成型（例えば、予備形成体が、金型ではなく外側ライナー又はオーバーパックに直接ブロー成型される）技術が更に使用される場合がある、押出しブロー成型ライナー、射出ブロー成型ライナー、及び伸長ブロー成型ライナーを含むブロー成型ライナー。

様々な好適例のライナー及びそれらの製造方法は、以下の文献に非常に詳しく更に記載されている：国際出願第ＰＣＴ／ＵＳ１１／５５５５８号、名称「Ｓｕｂｓｔａｎｔｉａｌｌｙ Ｒｉｇｉｄ Ｃｏｌｌａｐｓｉｂｌｅ Ｌｉｎｅｒ，Ｃｏｎｔａｉｎｅｒ ａｎｄ／ｏｒ Ｌｉｎｅｒ ｆｏｒ Ｒｅｐｌａｃｉｎｇ Ｇｌａｓｓ Ｂｏｔｔｌｅｓ，ａｎｄ Ｅｎｈａｎｃｅｄ Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｌｉｎｅｒｓ」、２０１１年１０月１０日出願；国際出願第ＰＣＴ／ＵＳ１１／５５５６０号、名称「Ｎｅｓｔｅｄ Ｂｌｏｗ Ｍｏｌｄｅｄ Ｌｉｎｅｒ ａｎｄ Ｏｖｅｒｐａｃｋ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄｓ ｏｆ Ｍａｋｉｎｇ Ｓａｍｅ」、２０１１年１０月１０日出願；国際出願第ＰＣＴ／ＵＳ１１／６４１４１号、名称「Ｇｅｎｅｒａｌｌｙ Ｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌｌｙ−Ｓｈａｐｅｄ Ｌｉｎｅｒ ｆｏｒ Ｕｓｅ ｉｎ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｄｉｓｐｅｎｓｅ Ｓｙｓｔｅｍｓ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄｓ ｏｆ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ ｔｈｅ Ｓａｍｅ」、２０１１年１２月９日出願；米国特許仮出願第６１／４６８８３２号、名称「Ｌｉｎｅｒ−Ｂａｓｅｄ Ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ」、２０１１年３月２９日出願；米国特許仮出願第６１／５２５５４０号、名称「Ｌｉｎｅｒ−Ｂａｓｅｄ Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍｓ」、２０１１年８月１９日出願；米国特許出願第１１／９１５９９６号、名称「Ｆｌｕｉｄ Ｓｔｏｒａｇｅ ａｎｄ Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍｓ ａｎｄ Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ」、２００６年６月５日出願；国際出願第ＰＣＴ／ＵＳ１０／５１７８６号、名称「Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｓｔｏｒａｇｅ ａｎｄ Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄ Ｗｉｔｈ Ｄｅｇａｓｓｉｎｇ Ａｓｓｅｍｂｌｙ」、２０１０年１０月７日出願；国際出願第ＰＣＴ／ＵＳ１０／４１６２９号、米国特許第７３３５７２１号、米国特許出願第１１／９１２６２９号、米国特許出願第１２／３０２２８７号、及び国際出願第ＰＣＴ／ＵＳ０８／８５２６４号。これらの文献の各々は、参照によりその全体が本明細書に組に込まれる。本開示によるライナーは、これらに限定されないが以下のものを含む、上述の応用のいずれかに開示されている実施形態、特徴、及び／又は強化を含んでいてもよい：可撓性ライナー、剛性折畳み可能ライナー、二次元ライナー、三次元ライナー、溶着ライナー、成型ライナー、ガセットライナー、及び／又は非ガセットライナー、及び／又はひだを含むライナー、及び／又は遮断を制限又は排除する方法を含むライナー、及び例えばＡＴＭＩ社製のＮＯＷｐａｋ（登録商標）の商品名で販売されているライナー。更なる実施形態では、本開示によるライナーに基づくシステムは、２００６年６月５日に出願された「Ｆｌｕｉｄ Ｓｔｏｒａｇｅ ａｎｄ Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍｓ ａｎｄ Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ」という名称の米国特許出願第１１／９１５９９６号に開示されているもの等、ＮＯＷＰａｋ（登録商標）圧力分注システムと適合するように構成されていてもよい。この文献の内容は、参照によりそれらの全体が本明細書に組み込まれる。

そのようなライナーの使用例には、限定ではないが、以下のもの等の超高純度の化学薬品又は材料等の材料を輸送、保管、及び／又は分注することが含まれる：酸、溶媒、塩基、フォトレジスト、バンプレジスト、スラリー、界面活性剤、洗浄用配合物、ドーパント、無機溶液、有機溶液、有機金属溶液、ＴＥＯＳ溶液、及び生物学的溶液、ＤＮＡ及びＲＮＡ溶媒及び試薬、医薬品、印刷可能なエレクトロニクス無機及び有機材料、リチウムイオン又は他のバッテリータイプ電解質、ナノ材料（例えば、フラーレン、無機ナノ粒子、ゾル−ゲル、及び他のセラミックを含む）、ＴＡＲＣ／ＢＡＲＣ（上面反射防止コーティング／底面反射防止コーティング）、放射性化学薬品、及び低分子量ケトン、及び／又は超小型電子部品製造、半導体製造、及び平面パネルディスプレイ製造等の産業で使用される銅化学薬品；殺虫剤／肥料；塗料／光沢剤／溶媒／コーティング材料等；高圧洗浄液；例えば、自動車又は航空産業で使用される潤滑剤；例えば、限定ではないが、調味料、調理油、及び清涼飲料等の食品；生物医学又は研究産業で使用される試薬又は他の物質；例えば、軍により使用される有害物質；ポリウレタン；農薬；工業用化学薬品；化粧用薬品；石油及び潤滑剤；シーラント；健康製品及び口腔衛生製品及び洗面用製品；又は例えば、圧力分注により分注することができるあらゆる他の物質。当業者であれば、そのようなライナーに基づくシステムの有益性、及びライナーを製造するプロセスを認識し、したがって、様々な産業での使用並びに様々な製品の輸送及び分注におけるライナーの好適性を認識するだろう。

本開示のライナーに基づくシステムの実施形態は、超高純度であり、及び／又は比較的高価であり、及び幾つかの場合では非常に高価である材料を保管、輸送、及び／又は分注するために使用することができるため、本開示のポリマーに基づく又はフルオロポリマーに基づく多層フィルムの任意の実施形態から製造されるライナーは、そのような実施形態が、ライナーからライナー内容物への圧力ガスの透過を阻害又は実質的に阻害しつつ、その中に保管される場合があるフォトレジスト等の特定の内容物に対する高い耐薬品性を維持するための間接圧力分注応用中に、上記で考察されているように高度に効果的なガスバリア性を提供することができるため、従来のライナーと比べて著しい利点を提供することができる。例えば、本開示のライナーに基づくシステムを用いた使用が企図される幾つかの超高純度材料のコストは、約＄２５００／Ｌ以上であり得る。したがって、内容物へと透過するガス量のわずかな低減でさえ、望ましい場合がある。

前述の記載では、本開示の様々な実施形態が、例示及び説明の目的で示されている。それらは、網羅的であること、又は開示されている厳密な形態に本発明を限定することを意図していない。自明な改変又は変更が、上記の教示に照らして可能である。様々な実施形態は、本発明の原理及びその実際の応用の最も良好な例を提供するために、及び当業者が、本発明を様々な実施形態で使用し、企図されている特定の使用に適するように改変を施すことを可能にするために選択及び記載されている。そのような改変及び変更は全て、それらが適正に、法律的に、及び公正に付与された範囲に従って解釈された場合に、添付の特許請求の範囲により決定される本開示の範囲内にある。

Claims (10)

1. 塩素含有フルオロポリマー並びに塩素及び酸素含有フルオロポリマーを含むコア層と、
   前記コア層の１つの側に結合される外側層であって、過フッ素化フルオロポリマーを含む前記外側層と
   を備えることを特徴とする多層フィルム構造。
2. 前記塩素含有フルオロポリマーがポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）を含み、
   前記塩素及び酸素含有フルオロポリマーが、ＰＣＴＦＥの付加による重合中に修飾されるペルフルオロアルコキシ（ＰＦＡ）を含むことを特徴とする請求項１に記載の多層フィルム構造。
3. 前記コア層が前記塩素含有フルオロポリマーと前記塩素及び酸素含有フルオロポリマーとの混合層であることを特徴とする請求項１に記載の多層フィルム構造。
4. 前記コア層が、少なくとも１つの塩素含有フルオロポリマー層と、少なくとも１つの塩素及び酸素含有フルオロポリマー層とを含むことを特徴とする請求項１に記載の多層フィルム構造。
5. 前記多層フィルム構造を透過する窒素ガスのフラックス速度が７ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍ未満であることを特徴とする請求項１に記載の多層フィルム構造。
6. 多層フィルム構造を製造するための方法であって、
   複数のフィルム層を押出して、塩素含有フルオロポリマーと塩素及び酸素含有フルオロポリマーとを有するコア層と、前記コア層の１つの側に結合される、過フッ素化フルオロポリマーを含む外側層とを形成することを備える方法。
7. 塩素含有フルオロポリマーと塩素及び酸素含有フルオロポリマーとを含むコア層と、
   前記コア層の１つの側に結合され、過フッ素化フルオロポリマーを含む外側層とを備える多層フィルムライナー壁を有するライナー。
   
8. 前記ライナー壁を透過する窒素ガスのフラックス速度が１ｃｃ／日／ｍ^２／ａｔｍ未満であることを特徴とする請求項７に記載のライナー。
9. 前記コア層が、前記塩素含有フルオロポリマーと前記塩素及び酸素含有フルオロポリマーとを含む混合層であることを特徴とする請求項７に記載のライナー。
10. 前記コア層が、少なくとも１つの塩素含有フルオロポリマー層と、少なくとも１つの塩素及び酸素含有フルオロポリマー層とを含むことを特徴とする請求項７に記載のライナー。