JP2002083988A - 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
防汚性、光反射性、光拡散性、意匠性、その他等の諸特
性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性
を著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑
え、極めて耐久性に富み、その保護能力性に優れ、か
つ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを構成す
る裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ
−ルを安定的に提供することである。 【解決手段】 基材フィルムの一方の面に、金属または
金属酸化物の蒸着膜を設けたバリア性裏面保護シ−トの
金属または金属酸化物の蒸着膜側の面に、耐候性樹脂層
を設け、更に、上記の耐候性樹脂層の面に、不飽和基含
有アクリレ−ト系共重合体を含む硬化性樹脂組成物によ
る耐候性最外層を設けたことを特徴とする太陽電池モジ
ュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池
モジュ−ルに関するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルに関するものであり、更に詳しくは、強度に優
れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、光反射性、
光拡散性、意匠性、その他等の諸特性に優れ、極めて耐
久性に富み、保護能力性に優れた太陽電池モジュ−ル用
裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、環境問題に対する意識の高まりか
ら、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目さ
れ、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開
発され、提案されている。一般に、上記の太陽電池モジ
ュ−ルは、例えば、結晶シリコン太陽電池素子あるいは
アモルファスシリコン太陽電池素子等を製造し、そのよ
うな太陽電池素子を使用し、表面保護シ−ト、充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
よび、裏面保護シ−ト等の順に積層し、次いで、それら
を真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等を利用
して製造されている。而して、上記の太陽電池モジュ−
ルは、当初、電卓への適用を始めとし、その後、各種の
電子機器等に応用され、民生用の利用として、その応用
範囲は急速に広まりつつあり、更に、今後、最も重要な
課題として、大規模集中型太陽電池発電の実現であると
されている。ところで、上記の太陽電池モジュ−ルを構
成する裏面保護シ−トとしては、現在、強度に優れたプ
ラスチック基材等が、最も一般的に使用され、その他、
金属板等も使用されている。而して、一般に、太陽電池
モジュ−ルを構成する裏面保護シ−トとしては、例え
ば、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光
性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、光反射性、光拡散
性、意匠性等の諸堅牢性に優れ、特に、水分、酸素等の
侵入を防止する防湿性に優れ、更に、表面硬度が高く、
かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優
れ、極めて耐久性に富み、その保護能力性が高いこと、
その他等の条件を充足することが必要とされいる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例え
ば、太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−トとし
て、現在、最も一般的に使用されている強度に優れたプ
ラスチック基材等を使用する場合には、可塑性、軽量
性、加工性、施工性、低コスト化等に富むものではある
が、強度、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐薬品
性、光反射性、光拡散性、耐衝撃性、その他等の諸堅牢
性に劣り、特に、防湿性、防汚性、意匠性等に欠けると
いう問題点がある。また、太陽電池モジュ−ルを構成す
る裏面保護シ−トとして、金属板等を使用する場合に
は、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光
性、耐薬品性、耐突き刺し性、耐衝撃性、その他等の諸
堅牢性に優れ、また、防湿性等にも優れ、更に、表面硬
度が硬く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する
防汚性に優れ、その保護能力性が極めて高い等の利点を
有するが、可塑性、軽量性、光反射性、光拡散性、意匠
性等に欠け、更に、その加工性、施工性等に劣り、か
つ、低コスト化等に欠けるという問題点がある。

【０００４】そこで本発明者は、先に、太陽電池モジュ
−ルを構成する裏面保護シ−トについて、上記のような
問題点を解決すべく種々研究の結果、基材フィルムの一
方の面に、アルミニウム、酸化珪素、あるいは、酸化ア
ルミニウム等からなる水蒸気バリア性、酸素バリア性等
に優れた金属または金属酸化物の蒸着膜を設けてバリア
性裏面保護シ−トを製造し、更に、上記で製造したバリ
ア性裏面保護シ−トの金属または金属酸化物の蒸着膜側
の面に、着色樹脂層を設けて太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを製造し、而して、上記の太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トを使用し、例えば、ガラス板等から
なる通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、充填
剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、
および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト
を、そのバリア性裏面保護シ−トの基材フィルム側の面
を対向させて順次に積層し、次いで、それらを一体的に
真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等を利用し
て一体化成形して太陽電池モジュ−ルを製造して、強度
に優れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風
圧性、耐降雹性、耐薬品性、防汚性、その他等の諸特性
に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に
優れ、また、光反射性、光拡散性、意匠性等についても
著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑
え、極めて耐久性に富み、保護能力性に優れ、かつ、よ
り低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを安定的に製造
し得ることを提案したものである（平成１２年９月○○
日、本件と同日特許出願参照）

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者は、先に提案し
た太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使
用した太陽電池モジュ−ルについて、更に種々検討した
結果、まず、基材フィルムの一方の面に、アルミニウ
ム、酸化珪素、あるいは、酸化アルミニウム等からなる
水蒸気バリア性、酸素バリア性等に優れた金属または金
属酸化物の蒸着膜を設けてバリア性裏面保護シ−トを製
造し、次に、上記で製造したバリア性裏面保護シ−トの
金属または金属酸化物の蒸着膜側の面に、耐候性樹脂層
を設け、更に、上記の耐候性樹脂層の面に、不飽和基含
有アクリレ−ト系共重合体を含む硬化性樹脂組成物によ
る耐候性最外層を設けて太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トを製造し、而して、上記の太陽電池モジュ−ル用
裏面保護シ−トを使用し、例えば、ガラス板等からなる
通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
よび、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、
その耐候性最外層と逆の側の面を対向させて順次に積層
し、次いで、それらを一体的に真空吸引して加熱圧着す
るラミネ−ション法等を利用して一体化成形して太陽電
池モジュ−ルを製造したところ、先と同様に、強度に優
れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防汚性、その他等の諸特性に
優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優
れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優
れ、また、光反射性、光拡散性、意匠性等についても著
しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、
極めて耐久性に富み、保護能力性に優れ、かつ、より低
コストで安全な太陽電池モジュ−ルを製造し得ることが
できると共に、特に、具体的には、耐候性最外層を設け
ることにより、水分、酸素等の浸入を防止する防湿性を
著しく向上させ、水分、酸素等が侵入し、それらが基材
フィルムまたは耐候性樹脂層等に影響し、それらによる
基材フィルムまたは耐候性樹脂層の加水分解等の発生を
防止し、その防湿性を著しく向上させることができる安
全な太陽電池モジュ−ルを製造し得ることを見出して本
発明を完成したものである。

【０００６】すなわち、本発明は、基材フィルムの一方
の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜を設けたバリア
性裏面保護シ−トの金属または金属酸化物の蒸着膜側の
面に、耐候性樹脂層を設け、更に、上記の耐候性樹脂層
の面に、不飽和基含有アクリレ−ト系共重合体を含む硬
化性樹脂組成物による耐候性最外層を設けたことを特徴
とする太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれ
を使用した太陽電池モジュ−ルに関するものである。

【０００７】

【発明の実施の形態】上記の本発明について以下に図面
等を用いて更に詳しく説明する。なお、本発明におい
て、シ−トとは、シ−ト状物ないしフィルム状物のいず
れの場合も意味するものであり、また、フィルムとは、
フィルム状物ないしシ−トシ−ト状物のいずれの場合も
意味するものである。本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルについてその層構成を図面等を用いて更に具体的
に説明すると、図１および図２は、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの層構成についてその
一二例を例示する概略的断面図であり、図３および図４
は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トを構成する金属または金属酸化物の蒸着膜について他
の例の層構成を示す概略的断面図であり、図５および図
６は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを構成する基材フィルムの一方の面に、金属または
金属酸化物の蒸着膜を設けたバリア性裏面保護シ−トを
少なくとも２層以上重層した積層体の形態についてその
一二例の層構成を示す概略的断面図であり、図７は、図
１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルの層構成
についてその一例を例示する概略的断面図である。

【０００８】まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トＡは、図１に示すように、基材フィル
ム１の一方の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜２を
設けたバリア性裏面保護シ−ト３の金属または金属酸化
物の蒸着膜２側の面に、耐候性樹脂層４を設け、更に、
上記の耐候性樹脂層４の面に、不飽和基含有アクリレ−
ト系共重合体を含む樹脂組成物による耐候性最外層５を
設けた構成からなることを基本構造とするものである。
本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トに
ついて別の例を例示すると、図２に示すように、基材フ
ィルム１の一方の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜
２を設けたバリア性裏面保護シ−ト３を少なくとも２層
以上重層して積層体Ｂを製造し、次に、その積層体Ｂの
金属または金属酸化物の蒸着膜２側の面に、耐候性樹脂
層４を設け、更に、上記の耐候性樹脂層４の面に、不飽
和基含有アクリレ−ト系共重合体を含む樹脂組成物によ
る耐候性最外層５を設けた構成からなる太陽電池モジュ
−ル用裏面保護シ−トＡ₁ を例示することができる。

【０００９】上記の例示は、本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用裏面保護シ−トについてその一二例を例示す
るものであり、本発明は、これによって限定されるもの
ではないことは勿論である。例えば、上記の図１〜２に
示す太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トにおいて、金
属または金属酸化物の蒸着膜２としては、図３および図
４に示すように、後述する物理気相成長法による金属ま
たは金属酸化物の蒸着膜の２層以上、あるいは、化学気
相成長法による金属または金属酸化物の蒸着膜の２層以
上のように、金属または金属酸化物の蒸着膜２ａ、２ｂ
の２層以上を重層した多層膜２ｃ（図３）、あるいは、
後述する理気相成長法による金属または金属酸化物の蒸
着膜２ｄと、化学気相成長法による金属または金属酸化
物の蒸着膜２ｅとの異種の無機酸化物の蒸着膜２ｄ、２
ｅの２層以上を重層した複合膜２ｆ（図４）等で構成す
ることができるものである。

【００１０】また、上記の図２に示す本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トにおいて、基材フィ
ルム１の一方の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜２
を設けたバリア性裏面保護シ−ト３を少なくとも２層以
上重層した積層体の形態としては、図５および図６に示
すように、基材フィルム１の一方の面に、金属または金
属酸化物の蒸着膜２を設けたバリア性裏面保護シ−ト３
を、ラミネ−ト用接着剤層６を介して、少なくとも２層
以上重層した構成からなる積層体Ｂ₁（図５）、あるい
は、基材フィルム１の一方の面に、金属または金属 酸
化物の蒸着膜２を設けたバリア性裏面保護シ−ト３を、
溶融押出樹脂層７を介して、少なくとも２層以上重層し
た構成からなる積層体Ｂ₂ （図６）等を使用することが
できる。なお、上記の積層体においては、図示しない
が、基材フィルムの一方の面に金属または金属酸化物の
蒸着膜を設けたバリア性裏面保護シ−トを２層以上重層
するに際しては、図示の形態と代えて、金属または金属
酸化物の蒸着膜の面同士を対向させて重層することもで
きるものである。

【００１１】次に、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを使用して製
造する太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示する
と、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図７
に示すように、まず、通常の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−ト１１、充填剤層１２、光起電力素子としての
太陽電池素子１３、充填剤層１４、および、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１５（Ａ）を、上記の
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１５（Ａ）の基材
フィルム１側の面を充填剤層１４の面に対向させて順次
に積層し、次いで、それらを真空吸引して加熱圧着する
ラミネ−ション法等の通常の成形法を利用して一体化成
形して、上記の各層を一体化成形体とした太陽電池モジ
ュ−ルＴを製造することができるものである。上記の例
示は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルについてそ
の一例を例示するものであり、本発明はこれにより限定
されるものではない。例えば、図示しないが、上記の図
２に示す太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを使用
し、上記と同様にして、種々の形態からなる太陽電池モ
ジュ−ルを製造することができ、また、上記の太陽電池
モジュ−ルにおいては、太陽光の吸収性、補強、その他
等の目的のもとに、更に、他の層を任意に加えて積層す
ることができるものである。更に、上記において、図示
しないが、太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと充填
剤層、あるいは、充填剤層と基材フィルムの一方の面
に、金属または金属酸化物の蒸着膜を設けたバリア性裏
面保護シ−トの金属または金属酸化物の蒸着膜側の面
に、耐候性樹脂層４を設け、更に、上記の耐候性樹脂層
４の面に、不飽和基含有アクリレ−ト系共重合体を含む
樹脂組成物による耐候性最外層５を設けた構成からなる
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トは、予め、積層さ
れているものであってもよいものである。

【００１２】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用し
た太陽電池モジュ−ルを構成する材料、製造法等につい
て更に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成するバリア性裏面保護シ−トを形成する基材フィ
ルムとしては、基本的には、金属または金属酸化物の蒸
着膜等を形成する蒸着条件、その他等の条件に耐えるこ
とができ、かつ、それらの金属または金属酸化物の蒸着
膜等との密接着性に優れ、それらの膜の特性を損なうこ
となく良好に保持し得ることができ、また、強度に優
れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性等の諸堅牢性に優れ、特に、水
分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優れ、また、表面
硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止す
る防汚性に優れ、極めて耐久性に富み、その保護能力性
が高いこと等の特性を有する各種の樹脂のフィルムない
しシ−トを使用することができる。

【００１３】具体的には、上記の各種の樹脂のフィルム
ないしシ−トとしては、例えば、ポリエチレン系樹脂、
ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体（ＡＳ樹脂）、アクリロニトリル−ブタジエン−スチ
レン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、ポリ塩化ビニル系樹脂、
フッ素系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリカ−
ボネ−ト系樹脂、ポリエチレンテレフタレ−トまたはポ
リエチレンナフタレ−ト等のポリエステル系樹脂、各種
のナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、
ポリアミドイミド系樹脂、ポリアリ−ルフタレ−ト系樹
脂、シリコ−ン系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリフェ
ニレンスルフィド系樹脂、ポリエ−テルスルホン系樹
脂、ポリウレタン系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セルロ−
ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−
トを使用することができる。本発明においては、上記の
樹脂のフィルムないしシ−トの中でも、フッ素系樹脂、
環状ポリオレフィン系樹脂、または、ポリエステル系樹
脂のフィルムないしシ−トを使用することが好ましいも
のである。

【００１４】更に、本発明においては、上記のような各
種の樹脂のフィルムないしシ−トのなかでも、例えば、
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフル
オロエチレンとペルフルオロアルキルビニルエ−テルと
の共重合体からなるペルフルオロアルコキシ樹脂（ＰＦ
Ａ）、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピ
レンコポリマ−（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンと
ペルフルオロアルキルビニルエ−テルとヘキサフルオロ
プロピレンコポリマ−（ＥＰＥ）、テトラフルオロエチ
レンとエチレンまたはプロピレンとのコポリマ−（ＥＴ
ＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン樹脂（ＰＣＴ
ＦＥ）、エチレンとクロロトリフルオロエチレンとのコ
ポリマ−（ＥＣＴＦＥ）、フッ化ビニリデン系樹脂（Ｐ
ＶＤＦ）、または、フッ化ビニル系樹脂（ＰＶＦ）等の
フッ素系樹脂の１種ないしそれ以上からなるフッ素系樹
脂のフィルムないしシ−トを使用することが好ましいも
のである。なお、本発明においては、上記のフッ素系樹
脂のフィルムないしシ−トの中でも、特に、ポリフッ化
ビニル系樹脂（ＰＶＦ）、または、テトラフルオロエチ
レンとエチレンまたはプロピレンとのコポリマ−（ＥＴ
ＦＥ）からなるフッ素系樹脂のフィルムないしシ−ト
が、強度等の観点から特に好ましいものである。

【００１５】また、本発明においては、上記のような各
種の樹脂のフィルムないしシ−トのなかでも、例えば、
シクロペンタジエンおよびその誘導体、ジシクロペンタ
ジエンおよびその誘導体、シクロヘキサジエンおよびそ
の誘導体、ノルボルナジエンおよびその誘導体、その他
等の環状ジエンを重合させてなるポリマ−、あるいは、
該環状ジエンとエチレン、プロピレン、４−メチル−１
−ペンテン、スチレン、ブタジエン、イソプレン、その
他等のオレフィン系モノマ−の１種ないしそれ以上とを
共重合させてなるコポリマ−等からなる環状ポリオレフ
ィン系樹脂のフィルムないしシ−トを使用することが好
ましいものである。なお、本発明においては、上記の環
状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの中で
も、特に、シクロペンタジエンおよびその誘導体、ジシ
クロペンタジエンおよびその誘導体、または、ノルボル
ナジエンおよびその誘導体等の環状ジエンのポリマ−な
いしコポリマ−からなる環状ポリオレフィン系樹脂のフ
ィルムないしシ−トが、強度等の観点から好ましいもの
である。而して、本発明において、上記のようなフッ素
系樹脂あるいは環状ポリオレフィン系樹脂からなるフィ
ルムないしシ−トを使用することにより、該フッ素系樹
脂あるは環状ポリオレフィン系樹脂が有する機械的特
性、化学的特性、物理的特性等の優れた特性、具体的に
は、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐防湿性、耐汚
染性、耐薬品性、その他等の諸特性を利用して太陽電池
を構成する裏面保護シ−トとするものであり、これによ
り、耐久性、保護機能性等を有し、また、そのフレキシ
ブル性や機械的特性、化学的特性等から軽く、かつ、加
工性等に優れ、そのハンドリングし易い等の利点を有す
るものである。

【００１６】本発明において、上記の各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トとしては、例えば、上記の各種の樹脂
の１種ないしそれ以上を使用し、押し出し法、キャスト
成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ−ション法、その
他等の製膜化法を用いて、上記の各種の樹脂を単独で製
膜化する方法、あるいは、２種以上の各種の樹脂を使用
して多層共押し出し製膜化する方法、更には、２種以上
の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化する方
法等により、各種の樹脂のフィルムないしシ−トを製造
し、更に、要すれば、例えば、テンタ−方式、あるい
は、チュ−ブラ−方式等を利用して１軸ないし２軸方向
に延伸してなる各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができる。本発明において、各種の樹脂のフ
ィルムないしシ−トの膜厚としては、１２〜３００μｍ
位、より好ましくは、２０〜２００μｍ位が望ましい。

【００１７】なお、上記において、上記の各種の樹脂の
１種ないしそれ以上を使用し、その製膜化に際して、例
えば、フィルムの加工性、耐熱性、耐候性、機械的性
質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離形性、難燃性、
抗カビ性、電気的特性、その他等を改良、改質する目的
で、種々のプラスチック配合剤や添加剤等を添加するこ
とができ、その添加量としては、極く微量から数十％ま
で、その目的に応じて、任意に添加することができる。
また、上記において、一般的な添加剤としては、例え
ば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定
剤、充填剤、強化繊維、補強剤、帯電防止剤、難燃剤、
耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料、その他等を使用する
ことができ、更には、改質用樹脂等も使用することがて
きる。本発明においては、上記の添加剤の中でも、特
に、紫外線吸収剤、あるいは、酸化防止剤等を練れ込み
加工してなる各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用
することが好ましいものである。

【００１８】上記の紫外線吸収剤としては、太陽光中の
有害な紫外線を吸収して、分子内で無害な熱エネルギ−
へと変換し、高分子中の光劣化開始の活性種が励起され
るのを防止するものであり、例えば、ベンゾフェノン
系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−ト系、アクリル
ニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−ドアミン系、超微粒
子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ）ある
いは超微粒子酸化亜鉛（０．０１〜０．０４μｍ）等の
無機系等の紫外線吸収剤の１種ないしそれ以上を使用す
ることができる。また、上記の酸化防止剤としては、高
分子の光劣化あるいは熱劣化等を防止するものであり、
例えば、フェノ−ル系、アミン系、硫黄系、燐酸系、そ
の他等の酸化防止剤を使用することができる。更に、上
記の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤としては、例え
ば、ポリマ−を構成する主鎖または側鎖に、上記のベン
ゾフェノン系等の紫外線吸収剤あるいは上記のフェノ−
ル系等の酸化防止剤を化学結合させてなるポリマ−型の
紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤等も使用することがで
きる。上記の紫外線吸収剤および／または酸化防止剤の
含有量としては、その粒子形状、密度等によって異なる
が、約０．１〜１０重量％位が好ましい。

【００１９】また、本発明において、各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トの表面は、金属または金属酸化物の蒸
着膜等との密接着性等を向上させるために、必要に応じ
て、予め、所望の表面処理層を設けることができる。本
発明において、上記の表面処理層としては、例えば、コ
ロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒素ガス
等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処理、化学薬
品等を用いて処理する酸化処理、その他等の前処理を任
意に施し、例えば、コロナ処理層、オゾン処理層、プラ
ズマ処理層、酸化処理層、その他等を形成して設けるこ
とができる。上記の表面前処理は、別工程で実施しても
よく、また、例えば、低温プラズマ処理やグロ−放電処
理等による表面前処理の場合は、上記の金属または金属
酸化物の蒸着膜等を形成する前処理としてインライン処
理により前処理で行うことができ、このような場合は、
その製造コストを低減することができるという利点があ
る。

【００２０】上記の表面前処理は、各種の樹脂のフィル
ムないしシ−トと金属または金属酸化物の蒸着膜等との
密接着性を改善するための方法として実施するものであ
るが、上記の密接着性を改善する方法として、その他、
例えば、各種の樹脂のフィルムないしシ−トの表面に、
予め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤層、ア
ンカ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、蒸着アンカ−
コ−ト剤層等を任意に形成して、表面処理層とすること
もできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレ
タン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチ
レンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂
あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹
脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使
用することができる。

【００２１】なお、上記の樹脂組成物には、密接着性を
向上させるために、エポキシ系のシランカップリング
剤、あるいは、基材フィルムのブロッキング等を防止す
るために、ブロッキング防止剤、その他等の添加剤を任
意に添加することができる。その添加量は、０．１重量
％〜１０重量％位が好ましいものである。また、本発明
において、上記の樹脂組成物中には、耐光性等を向上さ
せるために、例えば、紫外線吸収剤および／または酸化
防止剤を添加することができる。上記の紫外線吸収剤と
しては、前述に例示した紫外線吸収剤の１種ないしそれ
以上を使用することができ、また、酸化防止剤として
は、前述に例示した酸化防止剤等を同様に使用すること
ができる。更に、上記の紫外線吸収剤あるいは酸化防止
剤としては、前述で例示したポリマ−型の紫外線吸収剤
あるいは酸化防止剤等も使用することができる。上記の
紫外線吸収剤および／または酸化防止剤の含有量として
は、その粒子形状、密度等によって異なるが、約０．１
〜１０重量％位が好ましい。また、上記において、コ−
ト剤層の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、あ
るいは、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ル
コ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、そ
の他等のコ−ト法を用いてコ−トすることができ、その
コ−ト時期としては、フッ素系樹脂シ−トの製膜後、あ
るいは、２軸延伸処理後の後工程として、あるいは、製
膜、あるいは、２軸延伸処理のインライン処理等で実施
することができる。

【００２２】更にまた、本発明においては、上記の基材
フィルムの一方の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜
を製膜化する際の蒸着条件等に対し該基材フィルムを保
護し、例えば、その黄変、劣化ないし収縮、あるいは、
フィルム表層ないし内層等における凝集破壊等を抑制
し、更に、基材フィルムの一方の面に、金属または金属
酸化物の蒸着膜が良好に製膜化され、かつ、該基材フィ
ルムと金属または金属酸化物の蒸着膜との密接着性等を
向上させるために、予め、基材フィルムの一方の面に、
表面前処理層として、例えば、後述するプラズマ化学気
相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成長法等の化
学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐ
ｏｓｉｔｉｏｎ法、ＣＶＤ法）、あるいは、例えば、真
空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティング法
等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ
Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）を用いて、金属ま
たは金属酸化物の蒸着薄膜を形成することにより、耐蒸
着保護膜を設けることができる。なお、本発明におい
て、上記の酸化珪素等からなる耐蒸着保護膜の膜厚とし
ては、薄膜であり、更に、水蒸気ガス、酸素ガス等に対
するバリア性を有しない非バリア性膜で十分であり、具
体的には、膜厚１５０Å未満であることが望ましく、具
体的には、その膜厚としては、１０〜１００Å位、好ま
しくは、２０〜８０Å位、更に、より好ましくは、３０
〜６０Å位が望ましい。而して、上記において、１５０
Å以上、具体的には、１００Å、更に、８０Å、更に
は、６０Åより厚くなると、良好な耐蒸着保護膜を形成
することが困難になるので好ましくなく、また、１０
Å、更に、２０Å、更には、３０Å未満であると、耐蒸
着保護層としての機能を喪失し、その効果を奏すること
が困難になることから好ましくないものである。

【００２３】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成するバリア性裏面保護シ−トを形成する金属
または金属酸化物の蒸着膜について説明すると、かかる
金属または金属酸化物の蒸着膜としては、例えば、物理
気相成長法、または、化学気相成長法、あるいは、その
両者を併用して、金属または金属酸化物の蒸着膜の１層
からなる単層膜あるいは２層以上からなる多層膜または
複合膜を製造して形成することができるものである。上
記の物理気相成長法による金属または金属酸化物の蒸着
膜について更に詳しく説明すると、かかる物理気相成長
法による金属または金属酸化物の蒸着膜としては、例え
ば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティ
ング法、イオンクラスタ−ビ−ム法等の物理気相成長法
（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏ
ｎ法、ＰＶＤ法）を用いて金属または金属酸化物の蒸着
膜を形成することができる。本発明において、具体的に
は、金属または金属酸化物を原料とし、これを加熱し、
蒸気化して基材フィルムの上に蒸着する真空蒸着法、ま
たは、原料として金属または金属酸化物を使用し、必要
ならば、酸素ガス等を導入して酸化させて基材フィルム
の上に蒸着する酸化反応蒸着法、更に、酸化反応をプラ
ズマで助成するプラズマ助成式の酸化反応蒸着法等を用
いて金属または金属酸化物の蒸着膜を形成することがで
きる。上記において、蒸着材料の加熱方式としては、例
えば、抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エレクトロ
ンビ−ム加熱方式（ＥＢ）等にて行うことができる。

【００２４】本発明において、物理気相成長法による金
属または金属酸化物の蒸着膜を形成する方法について、
その具体例を挙げると、図８は、巻き取り式真空蒸着装
置の一例を示す概略的構成図である。図８に示すよう
に、巻き取り式真空蒸着装置２１の真空チャンバ−２２
の中で、巻き出しロ−ル２３から繰り出す基材フィルム
１は、ガイドロ−ル２４、２５を介して、冷却したコ−
ティングドラム２６に案内される。而して、上記の冷却
したコ−ティングドラム２６上に案内された基材フィル
ム１の上に、るつぼ２７で熱せられた蒸着源２８、例え
ば、金属アルミニウム、あるいは、酸化アルミニウム等
を蒸発させ、更に、必要ならば、酸素ガス吹出口２９よ
り酸素ガス等を噴出し、これを供給しながら、マスク３
０、３０を介して、例えば、アルミニウム、または、酸
化アルミニウム等の金属または金属酸化物の蒸着膜を成
膜化し、次いで、上記において、例えば、アルミニウ
ム、または、酸化アルミニウム等の金属または金属酸化
物の蒸着膜を形成した基材フィルム１を、ガイドロ−ル
２５′、２４′を介して送り出し、巻き取りロ−ル３１
に巻き取ることによって、本発明にかかる物理気相成長
法による金属または金属酸化物の蒸着膜を形成すること
ができる。なお、本発明においては、上記のような巻き
取り式真空蒸着装置を用いて、まず、第１層の金属また
は金属酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、同様にして、
該金属または金属酸化物の蒸着膜の上に、更に、金属ま
たは金属酸化物の蒸着膜を形成するか、あるいは、上記
のような巻き取り式真空蒸着装置を用いて、これを２連
に連接し、連続的に、金属または金属酸化物の蒸着膜を
形成することにより、２層以上の多層膜からなる金属ま
たは金属酸化物の蒸着膜を形成することができる。

【００２５】上記において、金属または金属酸化物の蒸
着膜としては、基本的には、金属または金属酸化物を蒸
着した薄膜であれば使用可能であり、例えば、ケイ素
（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍ
ｇ）、カルシウム（Ｃａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓ
ｎ）、ナトリウム（Ｎａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔ
ｉ）、鉛（Ｐｂ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、イットリウ
ム（Ｙ）等の金属または金属酸化物の蒸着膜を使用する
ことができる。而して、好ましいものとしては、ケイ素
（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）等の金属または金属酸
化物の蒸着膜を挙げることができる。なお、上記の金属
酸化物の蒸着膜は、ケイ素酸化物、アルミニウム酸化
物、マグネシウム酸化物等のように金属酸化物として呼
ぶことができ、その表記は、例えば、ＳｉＯ_X 、ＡｌＯ
_X 、ＭｇＯ_X 等のようにＭＯ_X （ただし、式中、Ｍは、
金属元素を表し、Ｘの値は、金属元素によってそれぞれ
範囲がことなる。）で表される。また、上記のＸの値の
範囲としては、ケイ素（Ｓｉ）は、０〜２、アルミニウ
ム（Ａｌ）は、０〜１．５、マグネシウム（Ｍｇ）は、
０〜１、カルシウム（Ｃａ）は、０〜１、カリウム
（Ｋ）は、０〜０．５、スズ（Ｓｎ）は、０〜２、ナト
リウム（Ｎａ）は、０〜０．５、ホウ素（Ｂ）は、０〜
１、５、チタン（Ｔｉ）は、０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０
〜１、ジルコニウム（Ｚｒ）は０〜２、イットリウム
（Ｙ）は、０〜１．５の範囲の値をとることができる。
上記において、Ｘ＝０の場合、完全な金属であり、透明
ではなく、また、Ｘの範囲の上限は、完全に酸化した値
である。本発明において、一般的に、ケイ素（Ｓｉ）、
アルミニウム（Ａｌ）以外は、使用される例に乏しく、
ケイ素（Ｓｉ）は、１．０〜２．０、アルミニウム（Ａ
ｌ）は、０．５〜１．５の範囲の値のものを使用するこ
とができる。本発明において、上記のような金属または
金属酸化物の蒸着膜の膜厚としては、使用する金属、ま
たは金属酸化物の種類等によって異なるが、例えば、５
０〜４０００Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位
の範囲内で任意に選択して形成することが望ましい。ま
た、本発明においては、金属または金属酸化物の蒸着膜
としては、使用する金属、または、金属酸化物として
は、１種または２種以上の混合物で使用し、異種の材質
で混合した金属または金属酸化物の蒸着膜を構成するこ
ともできる。

【００２６】次にまた、本発明において、上記の化学気
相成長法による金属または金属酸化物の蒸着膜について
更に説明すると、かかる化学気相成長法による金属また
は金属酸化物の蒸着膜としては、例えば、プラズマ化学
気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成長法等の
化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅ
ｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＣＶＤ法）等を用いて金属または
金属酸化物の蒸着膜を形成することができる。本発明に
おいては、具体的には、基材フィルムの一方の面に、有
機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガスを原料とし、キャ
リヤ−ガスとして、アルゴンガス、ヘリウムガス等の不
活性ガスを使用し、更に、酸素供給ガスとして、酸素ガ
ス等を使用し、低温プラズマ発生装置等を利用する低温
プラズマ化学気相成長法を用いて酸化珪素等の金属酸化
物の蒸着膜を形成することができる。上記において、低
温プラズマ発生装置としては、例えば、高周波プラズ
マ、パルス波プラズマ、マイクロ波プラズマ等の発生装
置を使用することがてき、而して、本発明においては、
高活性の安定したプラズマを得るためには、高周波プラ
ズマ方式による発生装置を使用することが望ましい。

【００２７】具体的に、上記の低温プラズマ化学気相成
長法による金属酸化物の蒸着膜の形成法についてその一
例を例示して説明すると、図９は、上記のプラズマ化学
気相成長法による金属酸化物の蒸着膜の形成法について
その概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概略的
構成図である。上記の図９に示すように、本発明におい
ては、プラズマ化学気相成長装置４１の巻き取りチャン
バ−４２内に配置された巻き出しロ−ル４３から基材フ
ィルム１を繰り出し、更に、該基材フィルム１を、補助
ロ−ル４４を介して所定の速度で、冷却・電極ドラム４
５周面上に搬送する。而して、本発明においては、ガス
供給装置４６、４７および、原料揮発供給装置４８等か
ら酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モ
ノマ−ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用
混合ガス組成物を調整しなから原料供給ノズル４９を通
してチャンバ−４２内に該蒸着用混合ガス組成物を導入
し、そして、上記の冷却・電極ドラム４５周面上に搬送
された基材フィルム１の上に、グロ−放電プラズマ５０
によってプラズマを発生させ、これを照射して、酸化珪
素等の無機酸化物の連続膜を形成し、製膜化する。本発
明においては、その際に、冷却・電極ドラム４５は、チ
ャンバ−外に配置されている電源５１から所定の電力が
印加されており、また、冷却・電極ドラム４５の近傍に
は、マグネット５２を配置してプラズマの発生が促進さ
れており、次いで、上記で酸化珪素等の無機酸化物の連
続膜を形成した基材フィルム１は、補助ロ−ル５３を介
して、巻き取りロ−ル５４に巻き取ることによって、本
発明にかかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜
を形成することができる。なお、図中、５５は、真空ポ
ンプを表す。上記の例示は、その一例を例示するもので
あり、これによって本発明は限定されるものではないこ
とは言うまでもないことである。図示しないが、本発明
においては、金属酸化物の蒸着膜としては、金属酸化物
の連続膜の１層だけではなく、２層あるいはそれ以上を
積層した多層膜の状態でもよく、また、使用する材料も
１種または２種以上の混合物で使用し、また、異種の材
質で混合した金属酸化物の蒸着膜を構成することもでき
る。

【００２８】上記において、巻き取りチャンバ−４２内
を真空ポンプ５５により減圧し、真空度１×１０^-1〜１
×１０^-8Ｔｏｒｒ位、好ましくは、真空度１×１０^-3〜
１×１０^-7Ｔｏｒｒ位に調製することが望ましいもので
ある。また、原料揮発供給装置４８においては、原料で
ある有機珪素化合物を揮発させ、ガス供給装置４６、４
７から供給される酸素ガス、不活性ガス等と混合させ、
この混合ガスを原料供給ノズル４９を介してチャンバ−
４２内に導入されるものである。この場合、混合ガス中
の有機珪素化合物の含有量は、１〜４０％位、酸素ガス
の含有量は、１０〜７０％位、不活性ガスの含有量は、
１０〜６０％位の範囲とすることができ、例えば、有機
珪素化合物と酸素ガスと不活性ガスとの混合比を１：
６：５〜１：１７：１４程度とすることができる。一
方、冷却・電極ドラム４５には、電源５１から所定の電
圧が印加されているため、チャンバ−４２内の原料供給
ノズル４９の開口部と冷却・電極ドラム４５との近傍で
グロ−放電プラズマ５０が生成され、このグロ−放電プ
ラズマ５０は、混合ガスなかの１つ以上のガス成分から
導出されるものであり、この状態において、基材フィル
ム１を一定速度で搬送させ、グロ−放電プラブマ５０に
よって、冷却・電極ドラム４５周面上の基材フィルム１
の上に、酸化珪素等の金属酸化物の蒸着膜を形成するこ
とができるものである。なお、このときの巻き取りチャ
ンバ−４２内の真空度は、１×１０^-1〜１×１０^-4Ｔｏ
ｒｒ位、好ましくは、真空度１×１０^-1〜１×１０^-2Ｔ
ｏｒｒ位に調製することが望ましく、また、基材フィル
ム１の搬送速度は、１０〜３００ｍ／分位、好ましく
は、５０〜１５０ｍ／分位に調製することが望ましいも
のである。

【００２９】また、上記のプラズマ化学気相成長装置４
１において、酸化珪素等の金属酸化物の蒸着膜の形成
は、基材フィルム１の上に、プラズマ化した原料ガスを
酸素ガスで酸化しながらＳｉＯ_X の形で薄膜状に形成さ
れるので、当該形成される酸化珪素等の金属酸化物の蒸
着膜は、緻密で、隙間の少ない、可撓性に富む連続層と
なるものであり、従って、酸化珪素等の金属酸化物の蒸
着膜のバリア性は、従来の真空蒸着法等によって形成さ
れる酸化珪素等の金属酸化物の蒸着膜と比較してはるか
に高いものとなり、薄い膜厚で十分なバリア性を得るこ
とができるものである。また、本発明においては、Ｓｉ
Ｏ_X プラズマにより基材フィルム１の表面が、清浄化さ
れ、基材フィルム１の表面に、極性基やフリ−ラジカル
等が発生するので、形成される酸化珪素等の金属酸化物
の蒸着膜と基材フィルムとの密接着性が高いものとなる
という利点を有するものである。更に、上記のように酸
化珪素等の金属酸化物の蒸着膜の形成時の真空度は、１
×１０^-1〜１×１０^-4Ｔｏｒｒ位、好ましくは、１×１
０^-1〜１×１０^-2Ｔｏｒｒ位に調製することから、従来
の真空蒸着法により酸化珪素等の金属酸化物の蒸着膜を
形成する時の真空度、１×１０^-4〜１×１０^-5Ｔｏｒｒ
位に比較して低真空度であることから、基材フィルム１
を原反交換時の真空状態設定時間を短くすることがで
き、真空度を安定しやすく、製膜プロセスが安定するも
のである。

【００３０】本発明において、有機珪素化合物等の蒸着
モノマ−ガスを使用して形成される酸化珪素の蒸着膜
は、有機珪素化合物等の蒸着モノマ−ガスと酸素ガス等
とが化学反応し、その反応生成物が、基材フィルムの一
方の面に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を形成
するものであり、通常、一般式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘ
は、０〜２の数を表す）で表される酸化珪素を主体とす
る連続状の薄膜である。而して、上記の酸化珪素の蒸着
膜としては、透明性、バリア性等の点から、一般式Ｓｉ
Ｏ_X （ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数を表す。）で
表される酸化珪素の連続膜を主体とする薄膜であること
が好ましいものである。上記において、Ｘの値は、蒸着
モノマ−ガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネルギ
−等により変化するが、一般的に、Ｘの値が小さくなれ
ばガス透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯び、
透明性が悪くなる。

【００３１】また、上記の酸化珪素の蒸着膜は、酸化珪
素を主体とし、これに、更に、炭素、水素、珪素または
酸素の１種類、または、その２種類以上の元素からなる
化合物を少なくとも１種類を化学結合等により含有する
連続膜からなることを特徴とするものである。例えば、
Ｃ−Ｈ結合を有する化合物、Ｓｉ−Ｈ結合を有する化合
物、または、炭素単位がグラファイト状、ダイヤモンド
状、フラ−レン状等になっている場合、更に、原料の有
機珪素化合物やそれらの誘導体を化学結合等によって含
有する場合があるものである。具体例を挙げると、ＣＨ
₃ 部位を持つハイドロカ−ボン、ＳｉＨ₃ シリル、Ｓｉ
Ｈ₂ シリレン等のハイドロシリカ、ＳｉＨ₂ ＯＨシラノ
−ル等の水酸基誘導体等を挙げることができる。上記以
外でも、蒸着過程の条件等を変化させることにより、酸
化珪素の蒸着膜中に含有される化合物の種類、量等を変
化させることができる。而して、上記の化合物の酸化珪
素の蒸着膜中に含有する含有量としては、０．１〜５０
％位、好ましくは、５〜２０％位が望ましいものであ
る。上記において、含有率が、０．１％未満であると、
酸化珪素の蒸着膜の耐衝撃性、延展性、柔軟性等が不十
分となり、曲げなとにより、擦り傷、クラック等が発生
し易く、高いバリア性を安定して維持することが困難に
なり、また、５０％を越えると、バリア性が低下して好
ましくないものである。更に、本発明においては、酸化
珪素の蒸着膜において、上記の化合物の含有量が、酸化
珪素の蒸着膜の表面から深さ方向に向かって減少させる
ことが好ましく、これにより、酸化珪素の蒸着膜の表面
においては、上記の化合物等により耐衝撃性等を高めら
れ、他方、基材フィルムとの界面においては、上記の化
合物の含有量が少ないために、基材フィルムと酸化珪素
の蒸着膜との密接着性が強固なものとなるという利点を
有するものである。

【００３２】而して、本発明において、上記の酸化珪素
の蒸着膜について、例えば、Ｘ線光電子分光装置（Ｘｒ
ａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓ
ｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装置（Ｓｅｃ
ｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃ
ｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析装置を用い、深さ方向
にイオンエッチングする等して分析する方法を利用し
て、酸化珪素の蒸着膜の元素分析を行うことより、上記
のような物性を確認することができる。また、本発明に
おいて、上記の酸化珪素の蒸着膜の膜厚としては、膜厚
５０Å〜４０００Å位であることが望ましく、具体的に
は、その膜厚としては、１００〜１０００Å位が望まし
く、而して、上記において、１０００Å、更には、４０
００Åより厚くなると、その膜にクラック等が発生し易
くなるので好ましくなく、また、１００Å、更には、５
０Å未満であると、バリア性の効果を奏することが困難
になることから好ましくないものである。上記のおい
て、その膜厚は、例えば、株式会社理学製の蛍光Ｘ線分
析装置（機種名、ＲＩＸ２０００型）を用いて、ファン
ダメンタルパラメ−タ−法で測定することができる。ま
た、上記において、上記の酸化珪素の蒸着膜の膜厚を変
更する手段としては、蒸着膜の体積速度を大きくするこ
と、すなわち、モノマ−ガスと酸素ガス量を多くする方
法や蒸着する速度を遅くする方法等によって行うことが
できる。

【００３３】次に、上記において、酸化珪素等の金属酸
化物の蒸着膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノ
マ−ガスとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメ
チルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニル
トリメチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメ
チルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメ
チルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニ
ルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメト
キシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシ
ラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキ
シシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その
他等を使用することができる。本発明において、上記の
ような有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テト
ラメチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキ
サンを原料として使用することが、その取り扱い性、形
成された連続膜の特性等から、特に、好ましい原料であ
る。また、上記において、不活性ガスとしては、例え
ば、アルゴンガス、ヘリウムガス等を使用することがで
きる。

【００３４】ところで、本発明において、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジ
ュ−ル等を構成するバリア性裏面保護シ−トを形成する
金属または金属酸化物の蒸着膜として、例えば、物理気
相成長法と化学気相成長法の両者を併用して異種の金属
または金属酸化物の蒸着膜の２層以上からなる複合膜を
形成して使用することもできるものである。而して、上
記の異種の金属または金属酸化物の蒸着膜の２層以上か
らなる複合膜としては、まず、基材フィルムの上に、化
学気相成長法により、緻密で、柔軟性に富み、比較的に
クラックの発生を防止し得る金属酸化物の蒸着膜を設
け、次いで、該金属酸化物の蒸着膜の上に、物理気相成
長法による金属酸化物の蒸着膜を設けて、２層以上から
なる複合膜からなる金属酸化物の蒸着膜を構成すること
が望ましいものである。勿論、本発明においては、上記
とは逆くに、基材フィルムの上に、先に、物理気相成長
法により、金属酸化物の蒸着膜を設け、次に、化学気相
成長法により、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラッ
クの発生を防止し得る金属酸化物の蒸着膜を設けて、２
層以上からなる複合膜からなる金属酸化物の蒸着膜を構
成することもできるものである。

【００３５】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する耐候性樹脂層について説明すると、かか
る耐候性樹脂層としては、太陽電池モジュ−ルの裏面層
を構成し、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
防汚性、光反射性、光拡散性、意匠性、その他等の諸特
性に優れ、その長期間の使用に対し性能劣化等を最小限
に抑え、極めて耐久性に富み、その保護能力性に優れ、
かつ、より低コストで安全な樹脂層であることが望まし
いものである。特に、本発明において、耐候性樹脂層と
しては、表面保護シ−トから透過し、更に、太陽電池素
子を透過して裏面側に当たった太陽光を光反射あるいは
光拡散させて再利用するために光反射性、光拡散性等を
有し、更に、意匠性等に優れている樹脂層であることが
望ましいものである。

【００３６】而して、本発明において、上記の本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池
モジュ−ル等を構成する耐候性樹脂層としては、まず、
強度等に優れた樹脂の１種ないし２種以上を主成分と
し、これに、必要ならば、可塑剤、光安定剤、酸化防止
剤、紫外線吸収剤、帯電防止剤、架橋剤、硬化剤、充填
剤、滑剤、強化繊維、補強剤、難燃剤、耐炎剤、発泡
剤、防カビ剤、染料・顔料等の着色剤、その他等の添加
剤の１種ないし２種以上を任意に添加し、要すれば、溶
剤、希釈剤等を添加し、十分に混練して樹脂組成物を調
製する。而して、本発明においては、上記で調製した樹
脂組成物を使用し、例えば、押出機、Ｔダイ押出機、キ
ャスト成形機、インフレ−ション成形機、その他等を使
用し、押出法、Ｔダイ押出法、キャスト成形法、インフ
レ−ション法、その他等のフィルムないしシ−トの成形
法により、樹脂のフィルムないしシ−トを製造し、更
に、要すれば、例えば、テンタ−方式、あるいは、チュ
−ブラ−方式等を利用して１軸ないし２軸方向に延伸し
て、強度に優れ、所謂、腰を有する樹脂のフィルムない
しシ−トを製造する。次いで、本発明においては、上記
で製造した樹脂のフィルムないしシ−トを使用し、これ
を、前述のバリア性裏面保護シ−トの金属または金属酸
化物の蒸着膜側の面に、例えば、ラミネ−ト用接着剤層
等を介して、ドライラミネ−ト積層法等を用いて積層す
ることにより、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成する耐候性
樹脂層を設けることができるものである。

【００３７】あるいは、本発明においては、上記で調製
した樹脂組成物を使用し、これを押出機等を使用して溶
融押出積層法等を用いて、前述のバリア性裏面保護シ−
トの金属または金属酸化物の蒸着膜側の面に、例えば、
アンカ−コ−ト剤等によるアンカ−コ−ト層等を介し
て、溶融押出樹脂層を形成することにより、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モ
ジュ−ル等を構成する耐候性樹脂層を設けることができ
るものである。更に、本発明においては、上記で調製し
た樹脂組成物を使用し、これを、例えば、ロ−ルコ−
ト、グラビアロ−ルコ−ト、キスコ−ト、その他等のコ
−ティング法でコ−ティングし、前述のバリア性裏面保
護シ−トの金属または金属酸化物の蒸着膜側の面に、上
記の樹脂組成物による樹脂コ−ティング膜を形成して、
本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、
太陽電池モジュ−ル等を構成する耐候性樹脂層を設ける
ことができるものである。なお、上記の太陽電池モジュ
−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成す
る耐候性樹脂層の厚さとしては、５０〜２００μｍ位、
より好ましくは、５０〜１００μｍ位が望ましいもので
ある。

【００３８】上記において、強度等に優れた樹脂として
は、例えば、機械的、化学的、あるいは、物理的強度に
優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、光反射性、
光拡散性、意匠性、その他等の諸特性に優れ、その長期
間の使用に対し性能劣化等を最小限に抑え、極めて耐久
性に富み、その保護能力性に優れ、かつ、フレキシブル
性や機械的特性、化学的特性等から軽く、かつ、加工性
等に優れ、そのハンドリングし易い等の利点を有し、更
に、より低コストで安全性に富む樹脂の１種ないし２種
以上を使用することができる。具体的には、上記の樹脂
としては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレ
ン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系
樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹
脂）、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合
体（ＡＢＳ樹脂）、ポリ塩化ビニル系樹脂、フッ素系樹
脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系
樹脂、ポリエチレンテレフタレ−トまたはポリエチレン
ナフタレ−ト等のポリエステル系樹脂、各種のナイロン
等のポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリアミド
イミド系樹脂、ポリアリ−ルフタレ−ト系樹脂、シリコ
−ン系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリフェニレンスル
フィド系樹脂、ポリエ−テルスルホン系樹脂、ポリウレ
タン系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セルロ−ス系樹脂、そ
の他等の各種の樹脂を使用することができる。本発明に
おいては、上記の樹脂の中でも、フッ素系樹脂、環状ポ
リオレフィン系樹脂、または、ポリエステル系樹脂を使
用することが好ましいものである。

【００３９】次にまた、上記のドライラミネ−ト積層法
において、ラミネ−ト用接着剤層を構成する接着剤とし
ては、例えば、ポリ酢酸ビニル系接着剤、アクリル酸の
エチル、ブチル、２−エチルヘキシルエステル等のホモ
ポリマ−、あるいは、これらとメタクリル酸メチル、ア
クリロニトリル、スチレン等との共重合体等からなるポ
リアクリル酸エステル系接着剤、シアノアクリレ−ト系
接着剤、エチレンと酢酸ビニル、アクリル酸エチル、ア
クリル酸、メタクリル酸等のモノマ−との共重合体等か
らなるエチレン共重合体系接着剤、セルロ−ス系接着
剤、ポリエステル系接着剤、ポリアミド系接着剤、ポリ
イミド系接着剤、尿素樹脂またはメラミン樹脂等からな
るアミノ樹脂系接着剤、フェノ−ル樹脂系接着剤、エポ
キシ系接着剤、ポリウレタン系接着剤、反応型（メタ）
アクリル系接着剤、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、
スチレン−ブタジエンゴム等からなるゴム系接着剤、シ
リコ−ン系接着剤、アルカリ金属シリケ−ト、低融点ガ
ラス等からなる無機系接着剤、その他等の接着剤を使用
することがてきる。上記の接着剤の組成系は、水性型、
溶液型、エマルジョン型、分散型等のいずれの組成物形
態でもよく、また、その性状は、フィルム・シ−ト状、
粉末状、固形状等のいずれの形態でもよく、更に、接着
機構については、化学反応型、溶剤揮発型、熱溶融型、
熱圧型等のいずれの形態でもよいものである。而して、
上記の接着剤は、例えば、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ
−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト法、あ
るいは、印刷法等によって施すことができ、そのコ−テ
ィング量としては、０．１〜１０ｇ／ｍ² （乾燥状態）
位が望ましい。なお、本発明において、樹脂のフィルム
ないしシ−トを使用し、ドライラミネ−トによる積層を
行う場合には、その表面に、予め、コロナ放電処理、オ
ゾン処理、あるいは、プラズマ放電処理等の表面改質前
処理を任意に施すことがてきるものである。

【００４０】なお、上記の接着剤中には、紫外線劣化等
を防止するために、前述の紫外線吸収剤および／または
酸化防止剤を添加することができる。上記の紫外線吸収
剤としては、前述の太陽光中の有害な紫外線を吸収し
て、分子内で無害な熱エネルギ−へと変換し、高分子中
の光劣化開始の活性種が励起されるのを防止するもので
あり、例えば、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル
系、サルチレ−ト系、アクリルニトリル系、金属錯塩
系、ヒンダ−ドアミン系、超微粒子酸化チタン（粒子
径、０．０１〜０．０６μｍ）あるいは超微粒子酸化亜
鉛（０．０１〜０．０４μｍ）等の無機系等の紫外線吸
収剤の１種ないしそれ以上を使用することができる。ま
た、上記の酸化防止剤としては、前述の高分子の光劣化
あるいは熱劣化等を防止するものであり、例えば、フェ
ノ−ル系、アミン系、硫黄系、燐酸系、その他等の酸化
防止剤を使用することができる。更に、上記の紫外線吸
収剤あるいは酸化防止剤としては、例えば、ポリマ−を
構成する主鎖または側鎖に、上記のベンゾフェノン系等
の紫外線吸収剤あるいは上記のフェノ−ル系等の酸化防
止剤を化学結合させてなるポリマ−型の紫外線吸収剤あ
るいは酸化防止剤等も使用することができる。上記の紫
外線吸収剤および／または酸化防止剤の含有量として
は、その粒子形状、密度等によって異なるが、約０．１
〜１０重量％位が好ましい。

【００４１】また、上記の溶融押出積層法において、よ
り強固な接着強度を得るために、例えば、アンカ−コ−
ト剤等のアンカ−コ−ト剤層を介して、積層することが
できる。上記のアンカ−コ−ト剤としては、例えば、ア
ルキルチタネ−ト等の有機チタン系、イソシアネ−ト
系、ポリエチレンイミン系、ポリプタジエン系、その他
等の水性ないし油性の各種のアンカ−コ−ト剤を使用す
ることができる。上記のアンカ−コ−ト剤は、例えば、
ロ−ルコ−ト、グラビアロ−ルコ−ト、キスコ−ト、そ
の他等のコ−ティング法を用いてコ−ティングすること
ができ、そのコ−ティング量としては、０．１〜５ｇ／
ｍ² （乾燥状態）位が望ましい。

【００４２】なお、本発明においては、バリア性裏面保
護シ−トの金属または金属酸化物の蒸着膜側の面と耐候
性樹脂膜の面との密接着性を改善するために、それらの
一方の面または両面に、更に、例えば、予め、プライマ
−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面処理層とするこ
ともできる。上記のプライマ−コ−ト剤としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレ
タン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチ
レンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂
あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹
脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使
用することができる。なお、本発明においては、例え
ば、ロ−ルコ−ト、グラビアロ−ルコ−ト、キスコ−
ト、その他等のコ−ティング法を用いてコ−ティングし
てプライマ−コ−ト剤層を形成することができ、而し
て、そのコ−ティング量としては、０．１〜５ｇ／ｍ²
（乾燥状態）位が望ましい。

【００４３】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する不飽和基含有アクリレ−ト系共重合体を
含む硬化性樹脂組成物による耐候性最外層について説明
すると、かかる耐候性最外層としては、太陽電池モジュ
−ルの最裏面層を構成し、強度に優れ、かつ、耐候性、
耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性、防湿性、防汚性、光反射性、光拡散性、意匠性、そ
の他等の諸特性に優れ、その長期間の使用に対し性能劣
化等を最小限に抑え、極めて耐久性に富み、その保護能
力性に優れ、かつ、より低コストで安全な樹脂層である
ことが望ましいものである。特に、本発明において、耐
候性最外層としては、前述の耐候性樹脂層の面に設け、
これにより、水分、酸素等の浸入を防止する防湿性を著
しく向上させ、水分、酸素等が侵入し、それらが基材フ
ィルムまたは耐候性樹脂層等に影響し、それらによる基
材フィルムまたは耐候性樹脂層の加水分解等の発生を防
止し、その防湿性を著しく向上させ、安全な太陽電池モ
ジュ−ルを製造するために設けるものである。更に、本
発明において、耐候性最外層としては、表面保護シ−ト
から透過し、更に、太陽電池素子を透過して裏面側に当
たった太陽光を光反射あるいは光拡散させて再利用する
ために光反射性、光拡散性等を有し、更に、意匠性等に
優れている樹脂層であることが望ましいものである。

【００４４】而して、本発明において、耐候性最外層と
しては、（ａ）不飽和基含有アクリレ−ト系共重合体の
１種ないし２種以上をビヒクルの主成分とし、これに、
（ｂ）１分子中に少なくとも２個のケイ素−水素結合を
有するオルガノハイドロジエンポリシロキサンの１種な
いし２種以上を添加し、更に、（ｃ）白金触媒を添加
し、その他、要すれば、例えば、光反射性あるいは光拡
散性、更には、意匠性等を付与する染料・顔料等の着色
剤の１種ないし２種以上を添加し、更にまた、必要なら
ば、可塑剤、光安定剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤なら
ば、可塑剤、光安定剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、帯
電防止剤、架橋剤、硬化剤、充填剤、滑剤、強化繊維、
補強剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、その他等
の添加剤の１種ないし２種以上を任意に添加し、溶剤、
希釈剤等を用いて、十分に混練して、不飽和基含有アク
リレ−ト系共重合体を含む硬化性樹脂組成物を調製す
る。次に、本発明においては、上記で調製した硬化性樹
脂組成物を使用し、これを、前述のバリア性裏面保護シ
−トを構成する基材フィルムまたは耐候性樹脂層のいず
れかの面に、望ましくは、耐候性樹脂層の面に、例え
ば、ロ−ルコ−ト、グラビアロ−ルコ−ト、キスコ−
ト、その他等のコ−ティング法でコ−ティングし、上記
の硬化性樹脂組成物によるコ−ティング膜を形成して、
本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、
太陽電池モジュ−ル等を構成する耐候性最外層を設ける
ことができるものである。なお、上記の太陽電池モジュ
−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成す
る耐候性最外層の厚さとしては、１〜５０μｍ位、より
好ましくは、２〜１０μｍ位が望ましいものである。

【００４５】上記において、不飽和基含有アクリレ−ト
系共重合体としては、具体的には、ビニル基含有脂環式
アクリル酸誘導体と、該ビニル基含有脂環式アクリル酸
誘導体以外の反応性二重結合を有するモノマ−とをラジ
カル共重合させて製造することができる。而して、上記
の不飽和基含有アクリレ−ト系共重合体、および、それ
を含む硬化性樹脂組成物等としては、特開平１１−２４
０９２０号公報に記載されている不飽和基含有アクリレ
−ト系共重合体、および、それを含む硬化性樹脂組成物
等を使用することができるものである。また、上記にお
いて、着色剤としては、太陽電池モジュ−ルにおいて透
過した太陽光を光反射あるいは光拡散させて再利用する
ために光反射性、光拡散性等を付与し、更に、意匠性等
を付与することを目的とし添加するものであり、例え
ば、白色、黒色、青色、赤色、その他等の各種の無機系
ないし有機系の染料、顔料等の着色剤の１種ないし２種
以上の混合物を使用することができる。而して、本発明
においては、塩基性炭酸鉛、塩基性硫酸鉛、塩基性けい
酸鉛、亜鉛華、硫化亜鉛、リトポン、三酸化アンチモ
ン、アナタス形酸化チタン、ルチル形酸化チタン、その
他等の白色顔料、あるいは、カ−ボンブラック、その他
等の黒色顔料の１種ないし２種以上を使用することが特
に好ましいものである。その使用量としては、樹脂に対
し、０．１重量％〜３０重量％位、好ましくは、０．５
重量％〜１０重量％位添加して使用することが望ましい
ものである。

【００４６】次に、本発明において、基材フィルムの一
方の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜を設けたバリ
ア性裏面保護シ−トを使用し、少なくともその２層以上
を重層した積層体を製造する方法としては、例えば、基
材フィルムの一方の面に、金属または金属酸化物の蒸着
膜を設けたバリア性裏面保護シ−トを使用し、ラミネ−
ト用接着剤層を介して、少なくともその２層以上を重層
するドライラミネ−ト積層法、あるいは、基材フィルム
の一方の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜を設けた
バリア性裏面保護シ−トを使用し、溶融押出樹脂層を介
して、少なくともその２層以上を重層する溶融押出積層
法等によって行うことができる。上記において、ドライ
ラミネ−ト積層法におけるラミネ−ト用接着剤層として
は、前述のラミネ−ト用接着剤を同様に使用して形成す
ることができる。また、上記において、溶融押出樹脂積
層法における溶融押出樹脂層としては、例えば、ポリエ
チレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、酸変性ポリエチ
レン系樹脂、酸変性ポリプロピレン系樹脂、エチレン−
アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、サ−リン系樹
脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル系
樹脂、エチレン−アクリル酸エステルまたはメタクリル
酸エステル共重合体、ポリスチレン系樹脂、ポリ塩化ビ
ニル系樹脂、その他等の熱可塑性樹脂の１種ないし２種
以上を使用して形成することができる。なお、上記の溶
融押出積層法において、より強固な接着強度を得るため
に、前述と同様に、例えば、アンカ−コ−ト剤等のアン
カ−コ−ト剤層を介して、積層することができる。

【００４７】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを構成する太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トとしては、太陽光の透過性、電気絶縁性等を
有し、かつ、機械的あるいは化学的ないし物理的強度に
優れ、具体的には、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、
耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、その他等の諸堅牢性に
優れ、特に、耐候性に優れていると共に水分、酸素等の
侵入を防止する防湿性に優れ、また、表面硬度が高く、
かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優
れ、極めて耐久性に富み、その保護能力性が高いこと等
の特性を有することが望ましいものである。

【００４８】本発明において、上記のような太陽電池モ
ジュ−ル用表面保護シ−トとしては、具体的には、例え
ば、ガラス板等は勿論のこと、例えば、ポリエチレン系
樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹
脂、フッ素系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニト
リル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、アクリロニトリ
ルル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、
ポリ塩化ビニル系樹脂、フッ素系樹脂、ポリ（メタ）ア
クリル系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリエチレン
テレフタレ−ト、ポリエチレンナフタレ−ト等のポリエ
ステル系樹脂、各種のナイロン等のポリアミド系樹脂、
ポリイミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリアリ
−ルフタレ−ト系樹脂、シリコ−ン系樹脂、ポリスルホ
ン系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエ−
テルスルホン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、アセタ−ル
系樹脂、セルロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフ
ィルムないしシ−トを使用することができる。本発明に
おいては、上記の樹脂のフィルムないしシ−トの中で
も、特に、フッ素系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、
ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹
脂、または、ポリエステル系樹脂のフィルムないしシ−
トを使用することが好ましいものである。また、本発明
においては、上記の樹脂のフィルムないしシ−トには、
その一方の面に、前述の物理気相成長法あるいは化学気
相成長法等を用いて、前述と同様にして、例えば、酸化
珪素、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を形成
し、その防湿性等を向上させた樹脂のフィルムないしシ
−ト等も使用することができるものである。

【００４９】本発明において、上記の各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トとしては、例えば、上記の各種の樹脂
の１種ないしそれ以上を使用し、押し出し法、キャスト
成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ−ション法、その
他等の製膜化法を用いて、上記の各種の樹脂を単独で製
膜化する方法、あるいは、２種以上の各種の樹脂を使用
して多層共押し出し製膜化する方法、更には、２種以上
の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化する方
法等により、各種の樹脂のフィルムないしシ−トを製造
し、更に、要すれば、例えば、テンタ−方式、あるい
は、チュ−ブラ−方式等を利用して１軸ないし２軸方向
に延伸してなる各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができる。本発明において、各種の樹脂のフ
ィルムないしシ−トの膜厚としては、６〜３００μｍ
位、より好ましくは、９〜１５０μｍ位が望ましい。ま
た、本発明において、各種の樹脂のフィルムないしシ−
トとしては、可視光透過率が、９０％以上、好ましく
は、９５％以上であって、入射する太陽光を全て透過す
る性質を有することが望ましいものである。

【００５０】また、本発明においては、前述の基材フィ
ルムと同様に、上記の各種の樹脂の１種ないしそれ以上
を使用し、その製膜化に際して、例えば、フィルムの加
工性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性、抗酸
化性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的特
性、強度、その他等を改良、改質する目的で、種々のプ
ラスチック配合剤や添加剤等を添加することができ、そ
の添加量としては、極く微量から数十％まで、その目的
に応じて、任意に添加することができる。上記におい
て、一般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、
酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、強化繊
維、補強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防
カビ剤、顔料、その他等を使用することができ、更に
は、改質用樹脂等も使用することがてきる。

【００５１】而して、本発明においては、上記の添加剤
の中でも、特に、耐候性、耐突き刺し性等を向上させる
ために、紫外線吸収剤、酸化防止剤、あるいは、強化繊
維の１種ないし２種以上を練れ込み加工してなる各種の
樹脂のフィルムないしシ−トを使用することが好ましい
ものである。上記の紫外線吸収剤としては、前述と同様
に、無機系ないし有機系等の紫外線吸収剤の１種ないし
それ以上を使用することができ、また、上記の酸化防止
剤としては、例えば、フェノ−ル系、アミン系、硫黄
系、燐酸系、その他等の酸化防止剤を使用することがで
き、更に、上記の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤とし
ては、ポリマ−型の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤、
その他等も使用することができる。また、上記の強化繊
維としては、前述の基材フィルムと同様に、各種の長な
いし短繊維状物、または、織布ないし不織布状物、その
他等で使用することができる。なお、上記の紫外線吸収
剤、酸化防止剤、強化繊維等の含有量としては、前述と
同様に、約０．１〜１０重量％位が好ましい。

【００５２】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを構成する太陽電池素子の表面側と裏
面側の両面に積層する充填剤層について説明すると、か
かる充填剤層としては、太陽電池素子の表面側に積層す
る充填剤層としては、太陽光が入射し、これが透過する
透明性を有することが必要であり、また、表面保護シ−
トとの接着性を有することも必要であり、更に、光起電
力素子としての太陽電池素子の表面の平滑性を保持する
機能を果たすために熱可塑性を有すること、更には、光
起電力素子としての太陽電池素子の保護とういことか
ら、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れていることが
必要である。他方、太陽電池素子の裏面側に積層する充
填剤層としては、上記の太陽電池素子の表面側に積層す
る充填剤層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有す
ることも必要であり、更に、光起電力素子としての太陽
電池素子の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために
熱可塑性を有すること、更には、光起電力素子としての
太陽電池素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、
衝撃吸収性等に優れていることが必要である。しかし、
太陽電池素子の裏面側に積層する充填剤層としては、上
記の太陽電池素子の表面側に積層する充填剤層と異な
り、必ずも、透明性を有することを必要としないもので
ある。而して、本発明において、太陽電池素子の両面に
積層する充填剤層としては、ほぼ同じ材料を同様に使用
することができるものである。

【００５３】具体的には、上記の充填剤層としては、例
えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、
アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、または、メ
タクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレ
ン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等のポリ
オレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マレイン
酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性
ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル樹脂、
シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）アクリル
系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上の混合物
を使用することができる。更に、本発明において、上記
の充填剤層としては、熱可逆架橋性オレフィン系重合体
組成物による樹脂膜からなる充填剤層を使用することが
できる。上記の熱可逆架橋性オレフィン系重合体組成物
としては、具体的には、（ａ）不飽和カルボン酸無水物
と不飽和カルボン酸エステルとによって変性された変性
オレフィン系重合体であって、１分子当たりのカルボン
酸無水物基の平均結合数が１個以上で、かつ、該変性オ
レフィン系重合体中のカルボン酸無水物基数に対するカ
ルボン酸エステル基数の比が０．５〜２０である変性オ
レフィン系重合体、および、（ｂ）１分子当たりの水酸
基の平均結合数が１個以上の水酸基含有重合体からな
り、（ａ）成分のカルボン酸無水物基数に対する（ｂ）
成分の水酸基数の比が０．１〜５であることを特徴とす
る熱可逆架橋性樹脂組成物等を使用することができ、更
に詳しくは、特開２０００−３４３７６号公報に詳述さ
れている熱可逆架橋性樹脂組成物等を使用することがで
きる。なお、本発明においては、上記の充填剤層を構成
する樹脂には、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性等を
向上させるために、その透明性を損なわない範囲で、例
えば、架橋剤、熱酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収
剤、光酸化防止剤、その他等の添加剤を任意に添加し、
混合することができるものである。而して、本発明にお
いては、上記の充填剤層としては、耐光性、耐熱性、耐
水性等の耐候性を考慮すると、フッ素系樹脂、シリコ−
ン系樹脂、または、エチレン−酢酸ビニル系樹脂等が望
ましい素材である。なお、上記の充填剤層の厚さとして
は、２００〜１０００μｍ位、好ましくは、３５０〜６
００μｍ位が望ましい。

【００５４】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子につい
て説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知
のもの、例えば、単結晶シリコン型太陽電池素子、多結
晶シリコン型太陽電池素子等の結晶シリコン太陽電子素
子、シングル接合型あるいはタンデム構造型等からなる
アモルファスシリコン太陽電池素子、ガリウムヒ素（Ｇ
ａＡｓ）やインジウム燐（ＩｎＰ）等のIII −V 族化合
物半導体太陽電子素子、カドミウムテルル（ＣｄＴｅ）
や銅インジウムセレナイド（ＣｕＩｎＳｅ₂ ）等のII−
VI族化合物半導体太陽電子素子、その他等を使用するこ
とができる。更に、薄膜多結晶性シリコン太陽電池素
子、薄膜微結晶性シリコン太陽電池素子、薄膜結晶シリ
コン太陽電池素子とアモルファスシリコン太陽電池素子
とのハイブリット素子等も使用することができる。而し
て、本発明において、太陽電池素子は、例えば、ガラス
基板、プラスチック基板、金属基板、その他等の基板の
上に、ｐｎ接合構造等の結晶シリコン、ｐ−ｉ−ｎ接合
構造等のアモルファスシリコン、化合物半導体等の起電
力部分が形成されて太陽電池素子を構成するものであ
る。

【００５５】なお、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候
性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させる
ために、その他の素材、例えば、低密度ポリエチレン、
中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度
ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン
共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ
−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレ
ン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペ
ンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系
樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹
脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブタジェン−ス
チレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ
ビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合
体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセ
タ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−
ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから
任意に選択して使用することができる。本発明におい
て、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ない
し二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用
することができる。また、その厚さは、任意であるが、
数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使用するこ
とができる。更に、本発明においては、フィルムないし
シ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成
膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。

【００５６】次に、本発明において、上記のような材料
を使用して太陽電池モジュ−ルを製造する方法について
説明すると、かかる製造法としては、公知の方法、例え
ば、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トを使用し、例えば、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−ト、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池
素子、充填剤層、および、上記の本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、上記の上記の本発明
にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの基材フ
ィルム側の面と充填剤層の面を対向させて、順次に積層
し、更に、必要ならば、各層間に、その他の素材を任意
に積層し、次いで、それらを、真空吸引等により一体化
して加熱圧着するラミネ−ション法等の通常の一体化成
形法を利用し、上記の各層を一体成形体として加熱圧着
成形して、太陽電池モジュ−ルを製造することができ
る。上記において、必要ならば、各層間の接着性等を高
めるために、（メタ）アクリル系樹脂、オレフィン系樹
脂、ビニル系樹脂、その他等の樹脂をビヒクルの主成分
とする加熱溶融型接着剤、溶剤型接着剤、光硬化型接着
剤、その他等を使用することができる。

【００５７】また、上記の積層において、各積層対向面
には、密接着性を向上させるために、必要に応じて、例
えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは
窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処
理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の
前処理を任意に施すことができる。更に、上記の積層に
おいては、各積層対向面に、予め、プライマ−コ−ト剤
層、アンダ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、アンカ
−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面前処理を行うこ
ともできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレ
タン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチ
レンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂
あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹
脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使
用することができる。また、上記において、コ−ト剤層
の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、あるい
は、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−
ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他
等のコ−ト法を用いてコ−トすることができる。

【００５８】更にまた、本発明においては、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トについては、
その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの基材フィル
ム側の面に、上記の充填剤層を積層して、予め、太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トと充填剤層とが積層した
積層体を製造し、しかる後、上記の積層体を構成する充
填剤層の面に、光起電力素子としての太陽電池素子、充
填剤層、太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを順次に
積層して、更に、必要ならば、その他の素材を任意に積
層し、次いで、それらを真空吸引等により一体化して加
熱圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用
し、上記の各層を一体成形体として加熱圧着成形して、
太陽電池モジュ−ルを製造することができる。

【００５９】上記で製造する本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ルは、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、その他等の諸特性に
優れ、極めて耐久性に富むものであり、更に、それを安
定的に、低コストで製造することができるものである。
而して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルは、種々の
用途に適し、例えば、結晶シリコン太陽電池素子及びア
モルファス太陽電池共に、広く一般に公知である地上用
として用いられる住宅の屋根据え置き型の太陽電池や、
住宅の屋根埋め込み型の屋根材タイプの太陽電池に用い
られる。また、アモルファス太陽電池に関しては、民生
用として腕時計や電卓等にも使用することができ、極め
て有用なものである。

【００６０】

【実施例】以下に本発明について実施例を挙げて更に具
体的に本発明を説明する。 実施例１ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 （イ）．テトラフロロエチレンとエチレンとのコポリマ
−（ＥＴＦＥ）からなる厚さ５０μｍのフッ素系樹脂シ
−トを使用し、これをプラズマ化学気相成長装置の送り
出しロ−ルに装着し、次いで、上記のフッ素系樹脂シ−
トのコロナ処理面に、下記の条件で厚さ８００Åの酸化
珪素の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、グロ−放電プラ
ズマ発生装置を使用し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸
素ガス（Ｏ₂ ）：アルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１から
なる混合ガスを使用し、混合ガス圧６×１０^-5Ｔｏｒ
ｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガ
スによるプラズマ処理を行ってプラズマ処理面を形成し
て、バリア性裏面保護シ−トを製造した。 （ロ）．次に、上記で製造したバリア性裏面保護シ−ト
の酸化珪素の蒸着膜のプラズマ処理の面に、ポリウレタ
ン系樹脂の初期縮合物に、エポキシ系のシランカップリ
ング剤（８．０重量％）とブロッキング防止剤（１．０
重量％）を添加し、十分に混練してなるプライマ−樹脂
組成物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法によ
り、膜厚０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−
ティングしてプライマ−層を形成した。更に、上記で形
成したプライマ−層の面に、紫外線吸収剤として、ベン
ゾフェノン系紫外線吸収剤（２．０重量％）を含有する
２液硬化型のウレタン系ラミネ−ト用接着剤を使用し、
これを、上記と同様に、グラビアロ−ルコ−ト法によ
り、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−
ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成した。 （ハ）．他方、熱可塑性ポリエチレンテレフタレ−ト樹
脂に、紫外線吸収剤としての超微粒子酸化チタン（粒子
径、０．０１〜０．０６μｍ、３重量％）を添加し、そ
の他、所要の添加剤を添加し、十分に混練してポリエス
テル系樹脂組成物を調製した。次に、上記で調製したポ
リエステル系樹脂組成物を使用し、これらをＴダイ押出
機を使用して溶融押出成形して、厚さ５０μｍのポリエ
ステル系樹脂フィルムを製造し、次いで、そのポリエス
テル系樹脂フィルムの一方の面に、常法に従って、コロ
ナ放電処理を施してコロナ処理面を形成した。次に、上
記の（ロ）で形成したラミネ−ト用接着剤層面に、同じ
く、上記の（ハ）で形成したポリエステル系樹脂フィル
ムのコロナ処理面を対向させ、その両者をドライラミネ
−ト積層して、耐候性樹脂層を形成した。 （ニ）．更に、ビニルシクロヘキセンモノエポキシド
（ダイセル化学工業株式会社製「セロキサイド２００
０」、分子量１２４）１８０重量部とアクリル酸１００
重量部とからビニル基含有脂環式アクリル酸誘導体を製
造した。次に、上記のビニル基含有脂環式アクリル酸誘
導体２０重量部、アクリル酸２−エチルヘキシル１５重
量部、メチルメタクリレ−ト５５重量部およびスチレン
１０重量部を共重合させて不飽和基含有アクリレ−ト系
共重合体を製造した。更に、上記の不飽和基含有アクリ
レ−ト系共重合体８０重量部とオルガノハイドロジエン
ポリシロキサン１５重量部と白金触媒微量と白色化剤と
しての酸化チタン５重量部を含む硬化性樹脂組成物を調
製し、これを、前述の（ハ）で形成した耐候性樹脂層の
他方のコロナ処理面上に、グラビアロ−ルコ−ト法でコ
−ティングして、膜厚７μｍ（乾燥状態）からなる耐候
性最外層を形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トのフ
ッ素系樹脂シ−ト（コロナ処理面）の面を、充填剤層と
してのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トの面に対向
させ、更に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、か
つ、各層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層し
て、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００６１】実施例２ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 （イ）．上記の実施例１で製造したバリア性裏面保護シ
−ト２枚を用意し、先ず、一方のバリア性裏面保護シ−
トの酸化珪素の蒸着膜のプラズマ処理の面に、上記の実
施例１と全く同様にして、プライマ−層を形成し、更
に、ラミネ−ト用接着剤層を形成した。次に、上記で形
成したラミネ−ト用接着剤層の面に、上記の他方のバリ
ア性裏面保護シ−トのフッ素系樹脂シ−ト（コロナ処理
面）の面を対向させ、その両者をドライラミネ−ト積層
して、バリア性裏面保護シ−トの２層を重層した積層材
を製造した。更に、上記で製造した積層材の酸化珪素の
蒸着膜のプラズマ処理の面に、上記の実施例１と全く同
様にして、プライマ−層を形成し、更に、ラミネ−ト用
接着剤層を形成した。次に、上記の実施例１で製造した
ポリエステル系樹脂フィルムを同様に使用し、上記で形
成したラミネ−ト用接着剤層面に、上記のポリエステル
系樹脂フィルムのコロナ処理面を対向させ、その両者を
ドライラミネ−ト積層して、耐候性樹脂層を形成した。 （ロ）．他方、ビニルシクロヘキセンモノエポキシド
（ダイセル化学工業株式会社製「セロキサイド２００
０」、分子量１２４）２４１重量部とアクリル酸１００
重量部とからビニル基含有脂環式アクリル酸誘導体を製
造した。次に、上記のビニル基含有脂環式アクリル酸誘
導体２５重量部、アクリル酸２−エチルヘキシル１０重
量部、メチルメタクリレ−ト４５重量部およびスチレン
２０重量部を共重合させて不飽和基含有アクリレ−ト系
共重合体を製造した。更に、上記の不飽和基含有アクリ
レ−ト系共重合体８０重量部とオルガノハイドロジエン
ポリシロキサン１９重量部と白金触媒微量と白色化剤と
しての酸化チタン５重量部を含む硬化性樹脂組成物を調
製し、これを、前述の（イ）で形成した耐候性樹脂層の
他方のコロナ処理面上に、グラビアロ−ルコ−ト法でコ
−ティングして、膜厚７μｍ（乾燥状態）からなる耐候
性最外層を形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、その一方の面に酸化珪素の蒸着膜を形成
した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト（Ｐ
ＶＦ、酸化珪素の蒸着膜が内面側、以下同じ）、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トのフッ素系樹脂シ−ト（コロナ処理面）の面を、充填
剤層としてのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トの面
に対向させ、更に、上記の太陽電池素子面を上に向け
て、かつ、各層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して
積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造し
た。

【００６２】実施例３ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 （イ）．厚さ２００μｍのポリジシクロペンタジエン系
樹脂からなる環状ポリオレフィン系樹脂シ−トを使用
し、これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロ−ル
に装着し、次いで、上記の環状ポリオレフィン系樹脂シ
−トのコロナ処理面に、下記の条件で厚さ８００Åの酸
化珪素の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、上記の実施例１
と同様にして、プラズマ処理を行ってプラズマ処理面を
形成して、バリア性裏面保護シ−トを製造した。 （ロ）．次に、上記で形成したバリア性裏面保護シ−ト
の酸化珪素の蒸着膜のプラズマ処理の面に、２液硬化型
のポリウレタン系樹脂の初期縮合物に、エポキシ系のシ
ランカップリング剤（８．０重量％）とブロッキング防
止剤（１．０重量％）を添加し、十分に混練してなるプ
ライマ−樹脂組成物を使用し、これをグラビアロ−ルコ
−ト法により、膜厚０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）になる
ようにコ−ティングしてプライマ−層を形成した。更
に、上記で形成したプライマ−層の面に、２液硬化型の
ウレタン系アンカ−コ−ト剤を使用し、これを、上記と
同様に、グラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚０．１ｇ
／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティングしてアン
カ−コ−ト剤層を形成した。 （ハ）．他方、ポリジシクロペンタジエン樹脂に、紫外
線吸収剤としての超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０
１〜０．０６μｍ、３重量％）を添加し、その他、所要
の添加剤を添加し、十分に混練して環状ポリオレフィン
系樹脂組成物を調製した。次に、上記で調製した環状ポ
リオレフィン系樹脂組成物を使用し、これらを、上記の
（ロ）で形成したアンカ−コ−ト材層の面に、Ｔダイ押
出機を使用して溶融押出して、厚さ５０μｍの押出樹脂
層を溶融押出積層して、耐候性樹脂層を形成した。 （ニ）．更に、ビニルシクロヘキセンモノエポキシド
（ダイセル化学工業株式会社製「セロキサイド２００
０」、分子量１２４）１８０重量部とアクリル酸１００
重量部とからビニル基含有脂環式アクリル酸誘導体を製
造した。次に、上記のビニル基含有脂環式アクリル酸誘
導体８重量部、アクリル酸２−エチルヘキシル２５重量
部、メチルメタクリレ−ト４５重量部、ブチルメタクリ
レ−ト１２重量部およびスチレン１０重量部を共重合さ
せて不飽和基含有アクリレ−ト系共重合体を製造した。
更に、上記の不飽和基含有アクリレ−ト系共重合体８０
重量部とオルガノハイドロジエンポリシロキサン１８重
量部と白金触媒微量と白色化剤としての酸化チタン５重
量部を含む硬化性樹脂組成物を調製し、これを、前述の
（ハ）で形成した耐候性樹脂層の他方のコロナ処理面上
に、グラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティングして、膜厚
７μｍ（乾燥状態）からなる耐候性最外層を形成して、
本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを
製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの環
状ポリオレフィン系樹脂シ−トの面を、充填剤層として
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トの面に対向さ
せ、更に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、かつ、
各層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、
本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００６３】実施例４ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 上記の実施例３で製造したバリア性裏面保護シ−ト２枚
を用意し、先ず、一方のバリア性裏面保護シ−トの酸化
珪素の蒸着膜のプラズマ処理の面に、上記の実施例１と
全く同様にして、プライマ−層を形成し、更に、ラミネ
−ト用接着剤層を形成した。次に、上記で形成したラミ
ネ−ト用接着剤層の面に、上記の他方のバリア性裏面保
護シ−トの環状ポリオレフィン系樹脂シ−トのコロナ処
理の面を対向させ、その両者をドライラミネ−ト積層し
て、バリア性裏面保護シ−トの２層を重層した積層材を
製造した。更に、上記で製造した積層材の酸化珪素の蒸
着膜のプラズマ処理の面に、上記の実施例３と全く同様
にして、プライマ−層を形成し、更に、アンカ−コ−ト
剤層を形成した。次に、上記の実施例３で調製した環状
ポリオレフィン系樹脂組成物を同様に使用し、これら
を、上記で形成したアンカ−コ−ト剤層の面に、Ｔダイ
押出機を使用して溶融押出して、厚さ５０μｍの押出樹
脂層を溶融押出積層して、耐候性樹脂層を形成した。更
に、上記の耐候性樹脂層の他方のコロナ処理面上に、上
記の実施例３と同様にして、膜厚７μｍ（乾燥状態）か
らなる耐候性最外層を形成して、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、その一方の面に酸化珪素の蒸着膜を形成
した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト（Ｐ
ＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子
を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−
酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モ
ジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トの環状ポリオレフィン系系樹脂シ−ト
のコロナ処理の面を、充填剤層としてのエチレン−酢酸
ビニル共重合体シ−トの面に対向させ、更に、上記の太
陽電池素子面を上に向けて、かつ、各層間をアクリル系
樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ルを製造した。

【００６４】実施例５ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 （イ）．厚さ２００μｍのポリジシクロペンタジエン系
樹脂からなる環状ポリオレフィン系樹脂シ−トを使用
し、これをこれを巻き取り式真空蒸着装置の送り出しロ
−ルに装着し、次いで、これをコ−ティングドラムの上
に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着源に
用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−ム
（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法により、上記の
環状ポリオレフィン系樹脂シ−トのコロナ処理面に、膜
厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成した直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、上記の実施例１と同様にして、プラズマ処理を行っ
てプラズマ処理面を形成して、バリア性裏面保護シ−ト
を製造した。 （ロ）．次に、上記で製造したバリア性裏面保護シ−ト
の酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面の面に、
ポリウレタン系樹脂の初期縮合物に、エポキシ系のシラ
ンカップリング剤（８．０重量％）とブロッキング防止
剤（１．０重量％）を添加し、十分に混練してなるプラ
イマ−樹脂組成物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−
ト法により、膜厚０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるよ
うにコ−ティングしてプライマ−層を形成した。更に、
上記で形成したプライマ−層の面に、紫外線吸収剤とし
て、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤（２．０重量％）を
含有する２液硬化型のウレタン系ラミネ−ト用接着剤を
使用し、これを、上記と同様に、グラビアロ−ルコ−ト
法により、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるよう
にコ−ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成した。 （ハ）．他方、熱可塑性ポリエチレンテレフタレ−ト樹
脂に、紫外線吸収剤としての超微粒子酸化チタン（粒子
径、０．０１〜０．０６μｍ、３重量％）を添加し、そ
の他、所要の添加剤を添加し、十分に混練してポリエス
テル系樹脂組成物を調製した。次に、上記で調製したポ
リエステル系樹脂組成物を使用し、これらをＴダイ押出
機を使用して溶融押出成形して、厚さ５０μｍのポリエ
ステル系樹脂フィルムを製造し、次いで、そのポリエス
テル系樹脂フィルムの一方の面に、常法に従って、コロ
ナ放電処理を施してコロナ処理面を形成した。次に、上
記の（ロ）で形成したラミネ−ト用接着剤層面に、同じ
く、上記の（ハ）で形成したポリエステル系樹脂フィル
ムのコロナ処理面を対向させ、その両者をドライラミネ
−ト積層して、耐候性樹脂層を形成した。 （ニ）．更に、上記の耐候性樹脂層の他方のコロナ処理
面上に、上記の実施例１と同様にして、膜厚７μｍ（乾
燥状態）からなる耐候性最外層を形成して、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの環
状ポリオレフィン系樹脂シ−トのコロナ処理の面を、充
填剤層としてのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トの
面に対向させ、更に、上記の太陽電池素子面を上に向け
て、かつ、各層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して
積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造し
た。

【００６５】実施例６ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 上記の実施例５で製造したバリア性裏面保護シ−ト２枚
を用意し、先ず、一方のバリア性裏面保護シ−トの酸化
アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理の面に、上記の実
施例５と全く同様にして、プライマ−層を形成し、更
に、ラミネ−ト用接着剤層を形成した。次に、上記で形
成したラミネ−ト用接着剤層の面に、上記の他方のバリ
ア性裏面保護シ−トの環状ポリオレフィン系樹脂シ−ト
のコロナ処理面の面を対向させ、その両者をドライラミ
ネ−ト積層して、バリア性裏面保護シ−トの２層を重層
した積層材を製造した。更に、上記で製造した積層材の
酸化アルミニウムのプラズマ処理の面に、上記の実施例
５と全く同様にして、プライマ−層を形成し、更に、ラ
ミネ−ト用接着剤層を形成した。次に、上記の実施例５
で製造したポリエステル系樹脂フィルムを同様に使用
し、上記で形成したラミネ−ト用接着剤層面に、上記の
ポリエステル系樹脂フィルムのコロナ処理面を対向さ
せ、その両者をドライラミネ−ト積層して、耐候性樹脂
層を形成した。更に、上記の耐候性樹脂層の他方のコロ
ナ処理面上に、上記の実施例２と同様にして、膜厚７μ
ｍ（乾燥状態）からなる耐候性最外層を形成して、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造
した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、その一方の面に酸化珪素の蒸着膜を形成
した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト（Ｐ
ＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子
を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−
酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モ
ジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トの環状ポリオレフィン系樹脂シ−トの
コロナ処理面の面を、充填剤層としてのエチレン−酢酸
ビニル共重合体シ−トの面に対向させ、更に、上記の太
陽電池素子面を上に向けて、かつ、各層間をアクリル系
樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ルを製造した。

【００６６】実施例７ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 （イ）．厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト
（ＰＶＦ）を使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の
送り出しロ−ルに装着し、次いで、コ−ティングドラム
の上に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着
源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−
ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法により、上記
のポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト（ＰＶＦ）のコロナ処
理面に、膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を
形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：５００ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成した直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、上記の実施例１と同様にして、プラズマ処理を行っ
てプラズマ処理面を形成して、バリア性裏面保護シ−ト
を製造した。 （ロ）．次に、上記で形成したバリア性裏面保護シ−ト
の酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理の面に、２
液硬化型のポリウレタン系樹脂の初期縮合物に、エポキ
シ系のシランカップリング剤（８．０重量％）とブロッ
キング防止剤（１．０重量％）を添加し、十分に混練し
てなるプライマ−樹脂組成物を使用し、これをグラビア
ロ−ルコ−ト法により、膜厚０．５ｇ／ｍ² （乾燥状
態）になるようにコ−ティングしてプライマ−層を形成
した。更に、上記で形成したプライマ−層の面に、２液
硬化型のウレタン系アンカ−コ−ト剤を使用し、これ
を、上記と同様に、グラビアロ−ルコ−ト法により、膜
厚０．１ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティン
グしてアンカ−コ−ト剤層を形成した。 （ハ）．他方、ポリジシクロペンタジエン樹脂に、紫外
線吸収剤としての超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０
１〜０．０６μｍ、３重量％）を添加し、その他、所要
の添加剤を添加し、十分に混練して環状ポリオレフィン
系樹脂組成物を調製した。次に、上記で調製した環状ポ
リオレフィン系樹脂組成物を使用し、これらを、上記の
（ロ）で形成したアンカ−コ−ト材層の面に、Ｔダイ押
出機を使用して溶融押出して、厚さ５０μｍの押出樹脂
層を溶融押出積層して、耐候性樹脂層を形成した。 （ニ）．更に、上記の耐候性樹脂層の他方のコロナ処理
面上に、上記の実施例３と同様にして、膜厚７μｍ（乾
燥状態）からなる耐候性最外層を形成して、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トのポ
リフッ化ビニル系樹脂シ−ト（ＰＶＦ）のコロナ処理面
の面を、充填剤層としてのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−トの面に対向させ、更に、上記の太陽電池素子面
を上に向けて、かつ、各層間をアクリル系樹脂の接着剤
層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−
ルを製造した。

【００６７】実施例８ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 上記の実施例７で製造したバリア性裏面保護シ−ト２枚
を用意し、先ず、一方のバリア性裏面保護シ−トの酸化
アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面の面に、上記の
実施例１と全く同様にして、プライマ−層を形成し、更
に、ラミネ−ト用接着剤層を形成した。次に、上記で形
成したラミネ−ト用接着剤層の面に、上記の他方のバリ
ア性裏面保護シ−トのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト
（ＰＶＦ）のコロナ処理面の面を対向させ、その両者を
ドライラミネ−ト積層して、バリア性裏面保護シ−トの
２層を重層した積層材を製造した。更に、上記で製造し
た積層材の酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面
の面に、上記の実施例７と全く同様にして、プライマ−
層を形成し、更に、アンカ−コ−ト剤層を形成した。次
に、上記の実施例７で調製した環状ポリオレフィン系樹
脂組成物を同様に使用し、これらを、上記で形成したア
ンカ−コ−ト剤層の面に、Ｔダイ押出機を使用して溶融
押出して、厚さ５０μｍの押出樹脂層を溶融押出積層し
て、耐候性樹脂層を形成した。更に、上記の耐候性樹脂
層の他方のコロナ処理面上に、上記の実施例３と同様に
して、膜厚７μｍ（乾燥状態）からなる耐候性最外層を
形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、その一方の面に酸化珪素の蒸着膜を形成
した厚さ２００μｍのポリジシクロペンタジエン系樹脂
からなる環状ポリオレフィン系樹脂シ−ト（酸化珪素の
蒸着膜が内面側、以下同じ）、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコン
からなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トのポリフッ化ビ
ニル系樹脂シ−ト（ＰＶＦ）のコロナ処理面の面を、充
填剤層としてのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トの
面に対向させ、更に、上記の太陽電池素子面を上に向け
て、かつ、各層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して
積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造し
た。

【００６８】実施例９ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 上記の実施例２で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−トを使用した。 （２）．熱可逆架橋性オレフィン系重合体組成物による
充填剤層の製造 （ａ）成分の調製 エチレン−マレイン酸無水物−アクリル酸エチル三元共
重合体（赤外吸収スペクトルにより測定したマレイン酸
無水物単位含有量２．５重量％、アクリル酸エチル単位
含有量１２．５重量％、カルボン酸無水物基数に対する
カルボン酸エステル基数の比４．９、ゲルパーミエーシ
ョンクロマトグラフィーにより測定した数平均分子量１
９８００、数平均分子量とマレイン酸無水物単位含有量
の乗数に基づいて求めた変性オレフィン系重合体１分子
当たりのカルボン酸無水物基の平均結合数５．０個、住
友化学工業株式会社製、商品名、「ボンダインＴＸ８０
３０」） （ｂ）成分の調製 水酸基末端ポリブタジエンの水素添加物（水酸基含有量
２．０重量％、数平均分子量１０００、数平均分子量と
水酸基含有量の乗数に基づいて求めた水酸基含有重合体
１分子当たりの水酸基の平均結合数１．６個、結晶化度
０％、日本曹達株式会社製、商品名、「ニッソーＰＢ
ＧＩ−１０００」） 上記で調製した（ａ）成分及び（ｂ）成分をそれぞれ
（ａ）成分８４．０重量部及び（ｂ）成分１６．０重量
部の組成割合で用い、二軸混練機（日本製鋼所株式会社
製、機種名、「ＴＥＸ−３０」）にて、先ず、（ａ）成
分をシリンダー温度２００℃、スクリュー回転数２００
ｒｐｍにて溶融混練し、混練機途中から（ｂ）成分を投
入して両者を溶融混練することにより、オレフィン系重
合体組成物を調製した。次いで、上記で得られた組成物
を使用し、押出機で押出して厚さ４００μｍのフィルム
を製造した。上記で製造したフィルムを充填剤層として
使用した。 （３）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍ
の上記で製造したフィルムからなる充填剤層、アモルフ
ァスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚
さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム、厚さ４００μｍの上記で製造したフィルムからな
る充填剤層、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トのフッ素系樹脂シ−ト（コロナ処理面）の面を、上記
の充填剤層の面に対向させ、更に、上記の太陽電池素子
面を上に向けて、かつ、各層間をアクリル系樹脂の接着
剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ルを製造した。

【００６９】実施例１０ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 上記の実施例６で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−トを使用した。 （２）．熱可逆架橋性オレフィン系重合体組成物による
充填剤層の製造 （ａ）成分の調製 エチレン−マレイン酸無水物−アクリル酸エチル三元共
重合体（赤外吸収スペクトルにより測定したマレイン酸
無水物単位含有量２．４重量％、アクリル酸エチル単位
含有量７．５重量％、カルボン酸無水物基数に対するカ
ルボン酸エステル基数の比３．１、ゲルパーミエーショ
ンクロマトグラフィーにより測定した数平均分子量１９
３００、数平均分子量とマレイン酸無水物単位含有量の
乗数に基づいて求めた変性オレフィン系重合体１分子当
たりのカルボン酸無水物基の平均結合数４．７個、住友
化学工業株式会社製、商品名、「ボンダインＬＸ４１１
０」） （ｂ）成分の調製 水酸基末端ポリブタジエンの水素添加物（水酸基含有量
２．０重量％、数平均分子量１０００、数平均分子量と
水酸基含有量の乗数に基づいて求めた水酸基含有重合体
１分子当たりの水酸基の平均結合数１．６個、結晶化度
０％、日本曹達株式会社製、商品名、「ニッソーＰＢ
ＧＩ−１０００」） 上記で調製した（ａ）成分及び（ｂ）成分をそれぞれ
（ａ）成分８５．０重量部及び（ｂ）成分１５．０重量
部の組成割合で用い、二軸混練機（日本製鋼所株式会社
製、機種名、「ＴＥＸ−３０」）にて、先ず、（ａ）成
分をシリンダー温度２００℃、スクリュー回転数２００
ｒｐｍにて溶融混練し、混練機途中から（ｂ）成分を投
入して両者を溶融混練することにより、オレフィン系重
合体組成物を調製した。次いで、上記で得られた組成物
を使用し、押出機で押出して、厚さ４００μｍのフィル
ムを製造した。上記で製造したフィルムを充填剤層とし
て使用した。 （３）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、その一方の面に酸化珪素の蒸着膜を形成
した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト（Ｐ
ＶＦ）、厚さ４００μｍの上記で製造したフィルムから
なる充填剤層、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍの上記で
製造したフィルムからなる充填剤層、および、上記の太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池モ
ジュ−ル用裏面保護シ−トの環状ポリオレフィン系樹脂
シ−トのコロナ処理面の面を、上記の充填剤層の面に対
向させ、更に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、か
つ、各層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層し
て、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００７０】実施例１１ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 （イ）．厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト
（ＰＶＦ）を使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の
送り出しロ−ルに装着し、次いで、コ−ティングドラム
の上に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着
源に用い、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による
真空蒸着法により、上記のポリフッ化ビニル系樹脂シ−
ト（ＰＶＦ）のコロナ処理面に、膜厚８００Åのアルミ
ニウムの蒸着薄膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：５００ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åのアルミニウムの蒸着膜を形
成した直後に、そのアルミニウムの蒸着膜面に、上記の
実施例１と同様にして、プラズマ処理を行ってプラズマ
処理面を形成して、バリア性裏面保護シ−トを製造し
た。 （ロ）．次に、上記で形成したバリア性裏面保護シ−ト
のアルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面の面に、２液
硬化型のポリウレタン系樹脂の初期縮合物に、エポキシ
系のシランカップリング剤（８．０重量％）とブロッキ
ング防止剤（１．０重量％）を添加し、十分に混練して
なるプライマ−樹脂組成物を使用し、これをグラビアロ
−ルコ−ト法により、膜厚０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）
になるようにコ−ティングしてプライマ−層を形成し
た。更に、上記で形成したプライマ−層の面に、２液硬
化型のウレタン系アンカ−コ−ト剤を使用し、これを、
上記と同様に、グラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚
０．１ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティング
してアンカ−コ−ト剤層を形成した。 （ハ）．他方、ポリジシクロペンタジエン樹脂に、紫外
線吸収剤としての超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０
１〜０．０６μｍ、３重量％）を添加し、その他、所要
の添加剤を添加し、十分に混練して環状ポリオレフィン
系樹脂組成物を調製した。次に、上記で調製した環状ポ
リオレフィン系樹脂組成物を使用し、これらを、上記の
（ロ）で形成したアンカ−コ−ト材層の面に、Ｔダイ押
出機を使用して溶融押出して、厚さ５０μｍの押出樹脂
層を溶融押出積層して、耐候性樹脂層を形成した。 （ニ）．更に、上記の耐候性樹脂層の他方のコロナ処理
面上に、上記の実施例３と同様にして、膜厚７μｍ（乾
燥状態）からなる耐候性最外層を形成して、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トのポ
リフッ化ビニル系樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の面を、充填剤
層としてのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トの面に
対向させ、更に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、
各層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、
本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００７１】実施例１２ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 上記の実施例１１で製造したバリア性裏面保護シ−ト２
枚を用意し、先ず、一方のバリア性裏面保護シ−トのア
ルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面の面に、上記の実
施例１と全く同様にして、プライマ−層を形成し、更
に、ラミネ−ト用接着剤層を形成した。次に、上記で形
成したラミネ−ト用接着剤層の面に、上記の他方のバリ
ア性裏面保護シ−トのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト
（ＰＶＦ）のコロナ処理面の面を対向させ、その両者を
ドライラミネ−ト積層して、バリア性裏面保護シ−トの
２層を重層した積層材を製造した。更に、上記で製造し
た積層材のアルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面の面
に、上記の実施例１１と全く同様にして、プライマ−層
を形成し、更に、アンカ−コ−ト剤層を形成した。次
に、上記の実施例１１で調製した環状ポリオレフィン系
樹脂組成物を同様に使用し、これらを、上記で形成した
アンカ−コ−ト剤層の面に、Ｔダイ押出機を使用して溶
融押出して、厚さ５０μｍの押出樹脂層を溶融押出積層
して、耐候性樹脂層を形成した。更に、上記の耐候性樹
脂層の他方のコロナ処理面上に、上記の実施例３と同様
にして、膜厚７μｍ（乾燥状態）からなる耐候性最外層
を形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、その一方の面に酸化珪素の蒸着膜を形成
した厚さ２００μｍのポリジシクロペンタジエン系樹脂
からなる環状ポリオレフィン系樹脂シ−ト、厚さ４００
μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルフ
ァスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚
さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トを、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの
ポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の面を、充填
剤層としてのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トの面
に対向させ、更に、上記の太陽電池素子面を上に向け
て、かつ、各層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して
積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造し
た。

【００７２】実施例１３ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 まず、上記の実施例１と同様にして、テトラフロロエチ
レンとエチレンとのコポリマ−（ＥＴＦＥ）からなる厚
さ５０μｍのフッ素系樹脂シ−トのコロナ処理面に、厚
さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し、更に、膜厚８
００Åの酸化珪素の蒸着膜の面に、プラズマ処理面を形
成した。次に、上記で形成した酸化珪素の蒸着膜とプラ
ズマ処理面の面に、更に、上記の実施例１と全く同様に
して、厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し、更
に、膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜の面に、プラズマ
処理面を形成して、２層の酸化珪素の蒸着膜からなる複
合膜を有するバリア性裏面保護シ−トを製造した。次
に、上記で製造したバリア性裏面保護シ−トの酸化珪素
の蒸着膜とプラズマ処理面の面に、上記の実施例１と同
様にして、プライマ−剤層、および、ラミネ−ト用接着
剤層を形成し、しかる後、そのラミネ−ト用接着剤層の
面に、厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルムを、そのコロナ処理面を対向させて、ドライラミネ
−トして、耐候性樹脂層を形成した。更に、上記の耐候
性樹脂層の他方のコロナ処理面上に、上記の実施例１と
同様にして、膜厚７μｍ（乾燥状態）からなる耐候性最
外層を形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
裏面保護シ−トを製造した。 （２）．熱可逆架橋性オレフィン系重合体組成物による
充填剤層の製造 （ａ）成分の調製 エチレン−マレイン酸無水物−アクリル酸エチル三元共
重合体（赤外吸収スペクトルにより測定したマレイン酸
無水物単位含有量１．５重量％、アクリル酸エチル単位
含有量４．２重量％、カルボン酸無水物基数に対するカ
ルボン酸エステル基数の比２．７、ゲルパーミエーショ
ンクロマトグラフィーにより測定した数平均分子量２０
０００、数平均分子量とマレイン酸無水物単位含有量の
乗数に基づいて求めた変性オレフィン系重合体１分子当
たりのカルボン酸無水物基の平均結合数３．１個、住友
化学工業株式会社製、商品名、「ボンダインＦＸ８００
０」） （ｂ）成分の調製 水酸基末端ポリブタジエンの水素添加物（水酸基含有量
２．０重量％、数平均分子量１０００、数平均分子量と
水酸基含有量の乗数に基づいて求めた水酸基含有重合体
１分子当たりの水酸基の平均結合数１．６個、結晶化度
０％、日本曹達株式会社製、商品名、「ニッソーＰＢ
ＧＩ−１０００」） 上記で調製した（ａ）成分及び（ｂ）成分をそれぞれ
（ａ）成分８５．０重量部及び（ｂ）成分１５．０重量
部の組成割合で用い、二軸混練機（日本製鋼所株式会社
製、機種名、「ＴＥＸ−３０」）にて、先ず、（ａ）成
分をシリンダー温度２００℃、スクリュー回転数２００
ｒｐｍにて溶融混練し、混練機途中から（ｂ）成分を投
入して両者を溶融混練することにより、オレフィン系重
合体組成物を調製した。次いで、上記で得られた組成物
を使用し、押出機を使用し押出成形して、厚さ４００μ
ｍのフィルムを製造した。上記で製造したフィルムを充
填剤層として使用した。 （３）．太陽電池モジュ−ルの製造 厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍの上記で製造し
たフィルム充填剤層、太陽電池素子を並列に配置した厚
さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム、厚さ４００μｍの上記で製造したフィルムからな
る充填剤層、および、上記で製造したバリア性裏面保護
シ−トを、上記のバリア性裏面保護シ−トのフッ素系樹
脂シ−トのコロナ処理の面を内側に向けて、上記の充填
剤層の面に対向させ、かつ、上記の太陽電池素子面を上
に向け、更に、各層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介
して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製
造した。

【００７３】実施例１４ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 上記の実施例７と同様にして、ポリフッ化ビニル系樹脂
シ−ト（ＰＶＦ）のコロナ処理面に、厚さ８００Åの酸
化アルミニウムの蒸着膜を形成し、更に、膜厚８００Å
の酸化アルミニウムの蒸着膜の面に、プラズマ処理面を
形成した。次に、上記で形成した酸化アルミニウムの蒸
着膜とプラズマ処理面の面に、更に、上記の実施例７と
全く同様にして、厚さ８００Åの酸化アルミニウムの蒸
着膜を形成し、更に、膜厚８００Åの酸化アルミニウム
の蒸着膜の面に、プラズマ処理面を形成して、２層の酸
化アルミニウムの蒸着膜からなる複合膜を有するバリア
性裏面保護シ−トを製造した。次に、上記で製造したバ
リア性裏面保護シ−トの酸化アルミニウムの蒸着膜のプ
ラズマ処理面の面に、上記の実施例１と同様にして、プ
ライマ−剤層、および、ラミネ−ト用接着剤層を形成
し、しかる後、そのラミネ−ト用接着剤層の面に、 厚
さ５０μｍのポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、
そのコロナ処 理面を対向させて、ドライラミネ−トし
て、耐候性樹脂層を形成した。更に、上記の耐候性樹脂
層の他方のコロナ処理面上に、上記の実施例１と同様に
して、膜厚７μｍ（乾燥状態）からなる耐候性最外層を
形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トのポ
リフッ化ビニル系樹脂シ−ト（ＰＶＦ）のコロナ処理面
の面を、充填剤層としてのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−トの面に対向させ、更に、上記の太陽電池素子面
を上に向けて、かつ、各層間をアクリル系樹脂の接着剤
層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−
ルを製造した。

【００７４】実施例１５ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 （イ）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムを使用し、これをプラズマ化学気相成長
装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、上記の２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムのコロナ処理面
に、下記の条件で厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形
成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、上記の実施例１
と同様にして、プラズマ処理を行ってプラズマ処理面を
形成して、バリア性裏面保護シ−トを製造した。 （ロ）．次に、上記で製造したバリア性裏面保護シ−ト
の酸化珪素の蒸着膜のプラズマ処理の面に、ポリウレタ
ン系樹脂の初期縮合物に、エポキシ系のシランカップリ
ング剤（８．０重量％）とブロッキング防止剤（１．０
重量％）を添加し、十分に混練してなるプライマ−樹脂
組成物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法によ
り、膜厚０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−
ティングしてプライマ−層を形成した。更に、上記で形
成したプライマ−層の面に、紫外線吸収剤として、ベン
ゾフェノン系紫外線吸収剤（２．０重量％）を含有する
２液硬化型のウレタン系ラミネ−ト用接着剤を使用し、
これを、上記と同様に、グラビアロ−ルコ−ト法によ
り、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−
ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成した。 （ハ）．他方、熱可塑性ポリエチレンテレフタレ−ト樹
脂に、紫外線吸収剤としての超微粒子酸化チタン（粒子
径、０．０１〜０．０６μｍ、３重量％）を添加し、そ
の他、所要の添加剤を添加し、十分に混練してポリエス
テル系樹脂組成物を調製した。次に、上記で調製したポ
リエステル系樹脂組成物を使用し、これらをＴダイ押出
機を使用して溶融押出成形して、厚さ５０μｍのポリエ
ステル系樹脂フィルムを製造した。次に、上記の（ロ）
で形成したラミネ−ト用接着剤層面に、同じく、上記の
（ハ）で形成したポリエステル系樹脂フィルムを対向さ
せ、その両者をドライラミネ−ト積層して、耐候性樹脂
層を形成した。 （ニ）．更に、上記の耐候性樹脂層の他方のコロナ処理
面上に、上記の実施例１と同様にして、膜厚７μｍ（乾
燥状態）からなる耐候性最外層を形成して、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムのコロナ処
理面の面を、充填剤層としてのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−トの面に対向させ、更に、上記の太陽電池素
子面を上に向けて、かつ、各層間をアクリル系樹脂の接
着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。

【００７５】実施例１６ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 上記の実施例１５で製造したバリア性裏面保護シ−ト２
枚を用意し、先ず、一方のバリア性裏面保護シ−トの酸
化珪素の蒸着膜のプラズマ処理の面に、上記の実施例１
５と全く同様にして、プライマ−層を形成し、更に、ラ
ミネ−ト用接着剤層を形成した。次に、上記で形成した
ラミネ−ト用接着剤層の面に、上記の他方のバリア性裏
面保護シ−トの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフ
ィルムのコロナ処理面の面を対向させ、その両者をドラ
イラミネ−ト積層して、バリア性裏面保護シ−トの２層
を重層した積層材を製造した。更に、上記で製造した積
層材の酸化珪素の蒸着膜のプラズマ処理の面に、上記の
実施例１５と全く同様にして、プライマ−層を形成し、
更に、ラミネ−ト用接着剤層を形成した。次に、上記の
実施例１５で製造したポリエステル系樹脂フィルムを同
様に使用し、上記で形成したラミネ−ト用接着剤層面
に、上記のポリエステル系樹脂フィルムを対向させ、そ
の両者をドライラミネ−ト積層して、耐候性樹脂層を形
成した。更に、上記の耐候性樹脂層の他方のコロナ処理
面上に、上記の実施例２と同様にして、膜厚７μｍ（乾
燥状態）からなる耐候性最外層を形成して、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、その一方の面に酸化珪素の蒸着膜を形成
した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト（Ｐ
ＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子
を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−
酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モ
ジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムのコロナ処理面の面を、充填剤層としてのエ
チレン−酢酸ビニル共重合体シ−トの面に対向させ、更
に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、かつ、各層間
をアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明
にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００７６】実施例１７ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 （イ）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムを使用し、これをこれを巻き取り式真空
蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、これをコ
−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件で、ア
ルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、
エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸
着法により、上記の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムのコロナ処理面に、膜厚８００Åの酸化アル
ミニウムの蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成した直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、上記の実施例１と同様にして、プラズマ処理を行っ
てプラズマ処理面を形成して、バリア性裏面保護シ−ト
を製造した。 （ロ）．次に、上記で製造したバリア性裏面保護シ−ト
の酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理の面に、ポ
リウレタン系樹脂の初期縮合物に、エポキシ系のシラン
カップリング剤（８．０重量％）とブロッキング防止剤
（１．０重量％）を添加し、十分に混練してなるプライ
マ−樹脂組成物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト
法により、膜厚０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるよう
にコ−ティングしてプライマ−層を形成した。更に、上
記で形成したプライマ−層の面に、紫外線吸収剤とし
て、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤（２．０重量％）を
含有する２液硬化型のウレタン系ラミネ−ト用接着剤を
使用し、これを、上記と同様に、グラビアロ−ルコ−ト
法により、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるよう
にコ−ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成した。 （ハ）．他方、熱可塑性ポリエチレンテレフタレ−ト樹
脂に、紫外線吸収剤としての超微粒子酸化チタン（粒子
径、０．０１〜０．０６μｍ、３重量％）を添加し、そ
の他、所要の添加剤を添加し、十分に混練してポリエス
テル系樹脂組成物を調製した。次に、上記で調製したポ
リエステル系樹脂組成物を使用し、これらをＴダイ押出
機を使用して溶融押出成形して、厚さ５０μｍのポリエ
ステル系樹脂フィルムを製造し、次いで、そのポリエス
テル系樹脂フィルムの一方の面に、常法に従って、コロ
ナ放電処理を施してコロナ処理面を形成した。次に、上
記の（ロ）で形成したラミネ−ト用接着剤層面に、同じ
く、上記の（ハ）で形成したポリエステル系樹脂フィル
ムのコロナ処理面を対向させ、その両者をドライラミネ
−ト積層して、耐候性樹脂層を形成した。 （ニ）．更に、上記の耐候性樹脂層の他方のコロナ処理
面上に、上記の実施例１と同様にして、膜厚７μｍ（乾
燥状態）からなる耐候性最外層を形成して、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムのコロナ処
理の面を、充填剤層としてのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−トの面に対向させ、更に、上記の太陽電池素子
面を上に向けて、かつ、各層間をアクリル系樹脂の接着
剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ルを製造した。

【００７７】実施例１８ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 上記の実施例１７で製造したバリア性裏面保護シ−ト２
枚を用意し、先ず、一方のバリア性裏面保護シ−トの酸
化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理の面に、上記の
実施例１７と全く同様にして、プライマ−層を形成し、
更に、ラミネ−ト用接着剤層を形成した。次に、上記で
形成したラミネ−ト用接着剤層の面に、上記の他方のバ
リア性裏面保護シ−トの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムのコロナ処理面の面を対向させ、その両
者をドライラミネ−ト積層して、バリア性裏面保護シ−
トの２層を重層した積層材を製造した。更に、上記で製
造した積層材の酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処
理の面に、上記の実施例１７と全く同様にして、プライ
マ−層を形成し、更に、ラミネ−ト用接着剤層を形成し
た。次に、上記の実施例１７で製造したポリエステル系
樹脂フィルムを同様に使用し、上記で形成したラミネ−
ト用接着剤層面に、上記のポリエステル系樹脂フィルム
のコロナ処理面を対向させ、その両者をドライラミネ−
ト積層して、耐候性樹脂層を形成した。更に、上記の耐
候性樹脂層の他方のコロナ処理面上に、上記の実施例２
と同様にして、膜厚７μｍ（乾燥状態）からなる耐候性
最外層を形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、その一方の面に酸化珪素の蒸着膜を形成
した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト（Ｐ
ＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子
を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−
酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モ
ジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムのコロナ処理面の面を、充填剤層としてのエ
チレン−酢酸ビニル共重合体シ−トの面に対向させ、更
に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、かつ、各層間
をアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明
にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００７８】実施例１９ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 （イ）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムを使用し、これをこれを巻き取り式真空
蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、これをコ
−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件で、一
酸化シリカ（ＳｉＯ）を蒸着源に用い、酸素ガスを供給
しながら、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による
反応真空蒸着法により、上記の２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムのコロナ処理面に、膜厚８００Å
の酸化珪素の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、上記の実施例１
と同様にして、プラズマ処理を行ってプラズマ処理面を
形成して、バリア性裏面保護シ−トを製造した。 （ロ）．次に、上記で製造したバリア性裏面保護シ−ト
の酸化珪素の蒸着膜のプラズマ処理の面に、上記の実施
例１５と同様にして、プライマ−層を形成し、更に、そ
のプライマ−層の面に、ラミネ−ト用接着剤層を形成し
た。 （ハ）．更に、上記の実施例１５と同様にして、厚さ５
０μｍのポリエステル系樹脂フィルムを製造し、次に、
そのポリエステル系樹脂フィルムの一方の面に、常法に
従って、コロナ放電処理を施してコロナ処理面を形成し
た。次いで、上記の（ロ）で形成したラミネ−ト用接着
剤層面に、同じく、上記の（ハ）で形成したポリエステ
ル系樹脂フィルムのコロナ処理面を対向させ、その両者
をドライラミネ−ト積層して、耐候性樹脂層を形成し
た。 （ニ）．更に、上記の耐候性樹脂層の他方のコロナ処理
面上に、上記の実施例１と同様にして、膜厚７μｍ（乾
燥状態）からなる耐候性最外層を形成して、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムのコロナ処
理の面を、充填剤層としてのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−トの面に対向させ、更に、上記の太陽電池素子
面を上に向けて、かつ、各層間をアクリル系樹脂の接着
剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ルを製造した。

【００７９】実施例２０ （１）．太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの製造 上記の実施例１９で製造したバリア性裏面保護シ−ト２
枚を用意し、先ず、一方のバリア性裏面保護シ−トの酸
化珪素の蒸着膜のプラズマ処理の面に、上記の実施例１
９と全く同様にして、プライマ−層を形成し、更に、ラ
ミネ−ト用接着剤層を形成した。次に、上記で形成した
ラミネ−ト用接着剤層の面に、上記の他方のバリア性裏
面保護シ−トの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフ
ィルムのコロナ処理面の面を対向させ、その両者をドラ
イラミネ−ト積層して、バリア性裏面保護シ−トの２層
を重層した積層材を製造した。更に、上記で製造した積
層材の酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理の面
に、上記の実施例１９と全く同様にして、プライマ−層
を形成し、更に、ラミネ−ト用接着剤層を形成した。次
に、上記の実施例１５で製造したポリエステル系樹脂フ
ィルムを同様に使用し、上記で形成したラミネ−ト用接
着剤層面に、上記のポリエステル系樹脂フィルムを対向
させ、その両者をドライラミネ−ト積層して、耐候性樹
脂層を形成した。更に、上記の耐候性樹脂層の他方のコ
ロナ処理面上に、上記の実施例２と同様にして、膜厚７
μｍ（乾燥状態）からなる耐候性最外層を形成して、本
発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製
造した。 （２）．太陽電池モジュ−ルの製造 次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、その一方の面に酸化珪素の蒸着膜を形成
した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト（Ｐ
ＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子
を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−
酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モ
ジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムのコロナ処理面の面を、充填剤層としてのエ
チレン−酢酸ビニル共重合体シ−トの面に対向させ、更
に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、かつ、各層間
をアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明
にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００８０】比較例１ 厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚
さ５０μｍの白色の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、更
に、各層間にアクリル系樹脂からなる接着剤層を介して
積層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００８１】比較例２ 厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚
さ５０μｍの白色のポリフッ化ビニル樹脂シ−トを対向
させて、その太陽電池素子面を上に向けて、更に、各層
間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽
電池モジュ−ルを製造した。

【００８２】比較例３ 厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚
さ２００μｍのポリジシクロペンタジエン系樹脂からな
る白色の環状ポリオレフィン系樹脂シ−トを対向させ
て、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、更に、各
層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太
陽電池モジュ−ルを製造した。

【００８３】比較例４ 厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚
さ３８μｍの（コロナ処理面）白色のポリフッ化ビニル
樹脂シ−トと厚さ３５μｍのアルミニウム箔と厚さ３８
μｍの白色のポリフッ化ビニル樹脂シ−トの３層からな
る積層体を、その積層体を構成する白色のポリフッ化ビ
ニル樹脂シ−トのコロナ処理面の面を対向させて、か
つ、その太陽電池素子面を上に向けて、更に、各層間を
アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池
モジュ−ルを製造した。

【００８４】実験例 上記の実施例１〜２０で製造した本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トと比較例１〜４にかかる
裏面保護シ−ト、および、上記の実施例１〜２０で製造
した太陽電池モジュ−ルと比較例１〜４で製造した太陽
電池モジュ−ルについて、下記の評価試験を行った。 （１）．太陽電池モジュ−ルの評価試験 これは、太陽電池モジュ−ルについて、ＪＩＳ規格Ｃ８
９１７−１９８９に基づいて、太陽電池モジュ−ルの環
境試験を行い、試験前後の光起電力の出力を測定して、
比較評価した。 （２）．水蒸気透過度と酸素透過度の測定 水蒸気透過度は、実施例１〜２０で製造した本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと比較例１〜
４にかかる裏面保護シ−トについて、温度４０℃、湿度
９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製
の測定機〔機種名、パ−マトラン（ＰＥＲＭＡＴＲＡ
Ｎ）〕にて測定し、更に、酸素透過度は、上記と同様の
対象物について、温度２３℃、湿度９０％ＲＨの条件
で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種
名、オクストラン（ＯＸＴＲＡＮ）〕にて測定した。 （３）．層間強度の測定 これは、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを１５ｍ
ｍ巾に裁断し、引っ張り試験機〔エ−・アンド・デ−
（Ａ＆Ｄ）株式会社製 機種名 テンシロン）を用い
て、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを構成する積
層体の層間剥離強度を測定した。上記の測定結果につい
て下記の表１に示す。

【００８５】 上記の表１において、水蒸気バリア性の単位は、〔ｇ／
ｍ² ／ｄａｙ・４０℃・１００％ＲＨ〕であり、酸素バ
リア性の単位は、〔ｃｃ／ｍ² ／ｄａｙ・２３℃・９０
％ＲＨ〕であり、出力低下率の単位は、〔％〕であり、
層間強度の単位は、〔ｋｇ／１５ｍｍ巾〕である。

【００８６】上記の表１に示す測定結果より明らかなよ
うに、実施例１〜２０にかかる太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トは、水蒸気バリア性、酸素バリア性、およ
び、層間強度に優れていた。更に、上記の実施例１〜２
０にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを用い
た太陽電池モジュ−ルは、出力低下率も低いものであっ
た。これに対し、比較例１〜４にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トは、裏面保護シ−トと充填剤層との層
間強度が、高いものの、水蒸気バリア性、酸素バリア性
が低く、そのために、それを用いて製造した太陽電池モ
ジュ−ルは、出力低下率が高い等の問題点があった。な
お、比較例４にかかる太陽電池モジュ−ルは、一般的に
使われている太陽電池モジュ−ルの構成であり、本実施
例と同程度の出力低下率を達成しているものであった。
この点から考慮しても、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ル用裏面保護シ−トは、比較例４にて使用されている
裏面保護シ−トに代わって使うことができるものであっ
た。

【００８７】

【発明の効果】以上の説明で明らかなよう、本発明は、
まず、基材フィルムの一方の面に、アルミニウム、酸化
珪素、あるいは、酸化アルミニウム等からなる水蒸気バ
リア性、酸素バリア性等に優れた金属または金属酸化物
の蒸着膜を設けてバリア性裏面保護シ−トを製造し、次
に、上記で製造したバリア性裏面保護シ−トの金属また
は金属酸化物の蒸着膜側の面に、耐候性樹脂層を設け、
更に、上記の基材フィルムまたは耐候性樹脂層のいずれ
かの面に、不飽和基含有アクリレ−ト系共重合体を含む
硬化性樹脂組成物による耐候性最外層を設けて太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造し、而して、上記の
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを使用し、例え
ば、ガラス板等からなる通常の太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−ト、充填剤層、光起電力素子としての太陽電
池素子、充填剤層、および、上記の太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トを、その耐候性最外層と逆の側の面を
対向させて順次に積層し、次いで、それらを一体的に真
空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して
一体化成形して太陽電池モジュ−ルを製造して、強度に
優れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防汚性、その他等の諸特性に
優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優
れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優
れ、また、光反射性、光拡散性、意匠性等についても著
しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、
極めて耐久性に富み、保護能力性に優れ、かつ、より低
コストで安全な太陽電池モジュ−ルを製造し得ることが
できると共に、特に、具体的には、耐候性最外層を設け
ることにより、水分、酸素等の浸入を防止する防湿性を
著しく向上させ、水分、酸素等が侵入し、それらが基材
フィルムまたは耐候性樹脂層等に影響し、それらによる
基材フィルムまたは耐候性樹脂層の加水分解等の発生を
防止し、その防湿性を著しく向上させることができる安
全な太陽電池モジュ−ルを製造し得ることができるとい
うものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図２】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図３】金属酸化物の蒸着膜について、他の例の層構成
を示す概略を示す概略的断面図である。

【図４】金属酸化物の蒸着膜について、他の例の層構成
を示す概略を示す概略的断面図である。

【図５】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トを少なくとも２層以上重層した積層体についてそ
の一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。

【図６】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トを少なくとも２層以上重層した積層体についてそ
の一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。

【図７】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−
ルついてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図で
ある。

【図８】巻き取り式真空蒸着装置の一例を示す概略的構
成図である。

【図９】プラズマ化学蒸着装置の一例を示す概略的構成
図である。

【符号の説明】

Ａ 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト Ａ₁ 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト １ 基材フィルム ２ 金属または金属酸化物の蒸着膜 ２ａ 金属酸化物の蒸着膜 ２ｂ 金属酸化物の蒸着膜 ２ｃ 多層膜 ２ｄ 金属酸化物の蒸着膜 ２ｅ 金属酸化物の蒸着膜 ２ｆ 複合膜 ３ バリア性裏面保護シ−ト ４ 耐候性樹脂層 ５ 耐候性最外層 ６ ラミネ−ト用接着剤層 ７ 溶融押出樹脂層 Ｂ 積層体 Ｂ₁ 積層体 Ｂ₂ 積層体 Ｔ 太陽電池モジュ−ル １１ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト １２ 充填剤層 １３ 太陽電池素子 １４ 充填剤層 １５（Ａ） 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｃ０８Ｌ 27:12 Ｃ０８Ｌ 45:00 45:00 67:00 67:00 Ｈ０１Ｌ 31/04 Ｆ Ｆターム(参考） 4F006 AA12 AA18 AA35 AB73 AB74 AB76 BA05 BA11 DA01 4F100 AA17B AA19B AA20B AB01B AK01C AK02A AK02D AK17A AK25D AK41A AK52D AL01D AL05C AT00A BA02 BA04 BA08 BA10A BA10D BA13 CB00 EC03 EH17 EH66B EJ17 EJ24 EJ42 EJ91 GB41 JB01 JB07 JB12D JD02B JJ03 JK01 JK01C JL00 JL06 JL08D JL09C JL09D JM02B JN06 JN30 4K029 AA11 AA25 BA03 BA35 BA44 BA46 BB02 BC08 CA01 CA05 FA02 GA03 JA10 4K030 AA11 BA02 BA29 BA43 BA44 BB12 CA07 CA12 DA02 FA01 HA03 5F051 BA18 EA18 GA03 GA05 GA06 GA20 JA05

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基材フィルムの一方の面に、金属または
   金属酸化物の蒸着膜を設けたバリア性裏面保護シ−トの
   金属または金属酸化物の蒸着膜側の面に、耐候性樹脂層
   を設け、更に、上記の耐候性樹脂層の面に、不飽和基含
   有アクリレ−ト系共重合体を含む硬化性樹脂組成物によ
   る耐候性最外層を設けたことを特徴とする太陽電池モジ
   ュ−ル用裏面保護シ−ト。
2. 【請求項２】 基材フィルムが、フッ素系樹脂フィル
   ム、環状ポリオレフィン系樹脂フィルム、または、ポリ
   エステル系樹脂フィルムからなることを特徴とする上記
   の請求項１に記載する太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
   −ト。
3. 【請求項３】 金属の蒸着膜が、アルミニウムの蒸着膜
   からなることを特徴とする上記の請求項１〜２に記載す
   る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
4. 【請求項４】 金属酸化物の蒸着膜が、酸化アルミニウ
   ムの蒸着膜、または、酸化珪素の蒸着膜からなることを
   特徴とする上記の請求項１〜２に記載する太陽電池モジ
   ュ−ル用裏面保護シ−ト。
5. 【請求項５】 バリア性裏面保護シ−トが、基材フィル
   ムの一方の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜を設け
   たバリア性裏面保護シ−トを少なくとも２層以上重層し
   た積層体からなることを特徴とする上記の請求項１〜４
   に記載する太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
6. 【請求項６】 バリア性裏面保護シ−トが、基材フィル
   ムの一方の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜を設け
   たバリア性裏面保護シ−トを、ラミネ−ト用接着剤層を
   介して、少なくとも２層以上重層した積層体からなるこ
   とを特徴とする上記の請求項１〜５に記載する太陽電池
   モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
7. 【請求項７】 バリア性裏面保護シ−トが、基材フィル
   ムの一方の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜を設け
   たバリア性裏面保護シ−トを、溶融押出樹脂層を介し
   て、２層以上重層した積層体からなることを特徴とする
   上記の請求項１〜５に記載する太陽電池モジュ−ル用裏
   面保護シ−ト。
8. 【請求項８】 耐候性樹脂層が、強度に優れた樹脂のフ
   ィルムないしシ−トからなることを特徴とする上記の請
   求項１〜７に記載する太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
   −ト。
9. 【請求項９】 耐候性樹脂層が、強度に優れた樹脂をビ
   ヒクルの主成分とする樹脂組成物によるコ−ティング膜
   からなることを特徴とする上記の請求項１〜７に記載す
   る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
10. 【請求項１０】 耐候性樹脂層が、強度に優れた樹脂を
    ビヒクルの主成分とする樹脂組成物による溶融押出樹脂
    膜からなることを特徴とする上記の請求項１〜７に記載
    する太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
11. 【請求項１１】 不飽和基含有アクリレ−ト系共重合体
    が、ビニル基含有脂環式アクリル酸系誘導体と該ビニル
    基含有脂環式アクリル酸系誘導体以外の反応性二重結合
    を有するモノマ−との共重合体からなることを特徴とす
    る上記の請求項１〜１０に記載する太陽電池モジュ−ル
    用裏面保護シ−ト。
12. 【請求項１２】 硬化性樹脂組成物が、（ａ）不飽和基
    含有アクリレ−ト系共重合体、（ｂ）１分子中に少なく
    とも２個のケイ素−水素結合を有するオルガノハイドロ
    ジエンポリシロキサンおよび（ｃ）白金触媒とからなる
    ことを特徴とする上記の請求項１〜１１に記載する太陽
    電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
13. 【請求項１３】 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
    ト、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充
    填剤層、および、基材フィルムの一方の面に、金属また
    は金属酸化物の蒸着膜を設けたバリア性裏面保護シ−ト
    の金属または金属酸化物の蒸着膜側の面に、耐候性樹脂
    層を設け、更に、上記の耐候性樹脂層の面に、不飽和基
    含有アクリレ−ト系共重合体を含む硬化性樹脂組成物に
    よる耐候性最外層を設けた構成からなる太陽電池モジュ
    −ル用裏面保護シ−トを、そのバリア性裏面保護シ−ト
    の耐候性最外層と逆の側の面を対向させて順次に積層
    し、次いで、それらを真空吸引して加熱圧着ラミネ−シ
    ョン法等により一体化成形体としたことを特徴とする太
    陽電池モジュ−ル。
14. 【請求項１４】 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト
    と充填剤層とが、予め、積層されていることを特徴とす
    る上記の請求項１３に記載する太陽電池モジュ−ル。
15. 【請求項１５】 充填剤層と基材フィルムの一方の面
    に、金属または金属酸化物の蒸着膜を設けたバリア性裏
    面保護シ−トの金属または金属酸化物の蒸着膜側の面
    に、耐候性樹脂層を設け、更に、上記の耐候性樹脂層の
    面に、不飽和基含有アクリレ−ト系共重合体を含む硬化
    性樹脂組成物による耐候性最外層を設けた構成からなる
    太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとが、予め、積層
    されていることを特徴とする上記の請求項１３〜１４に
    記載する太陽電池モジュ−ル。