JP2000332278A - 太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
防汚性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等
の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、その長期的
な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐久性に富み、保護
能力が高く、かつ、より低コストで安全な太陽電池モジ
ュ−ルを構成する表面または裏面保護シ−トを安定的に
提供することである。 【解決手段】 フッ素系樹脂シ−トと、無機酸化物の蒸
着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、
エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体をビヒクルの主成
分とする樹脂組成物によるコ−ティング膜を設けた樹脂
フィルムとを、耐光性接着剤層等を介して、積層したこ
とを特徴とする太陽電池モジュ−ル用保護シ−トに関す
るものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池モジュ−
ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルに関し、更に詳しくは、強度に優れ、かつ、耐候性、
耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性、防湿性、防汚性、その他等の諸特性に優れ、極めて
耐久性に富み、保護能力が高い太陽電池モジュ−ル用表
面または裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池
モジュ−ルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、環境問題に対する意識の高まりか
ら、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目さ
れ、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開
発され、提案されている。一般に、上記の太陽電池モジ
ュ−ルは、例えば、結晶シリコン太陽電池素子あるいは
アモルファスシリコン太陽電池素子等を製造し、そのよ
うな太陽電池素子を使用し、表面保護シ−ト層、充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
よび、裏面保護シ−ト層等の順に積層し、真空吸引して
加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して製造されて
いる。而して、上記の太陽電池モジュ−ルは、当初、電
卓への適用を始めとし、その後、各種の電子機器等に応
用され、民生用の利用として、その応用範囲は急速に広
まりつつあり、更に、今後、最も重要な課題として、大
規模集中型太陽電池発電の実現であるとされている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の太陽
電池モジュ−ルを構成する保護シ−ト層としては、例え
ば、表面保護シ−ト層の場合は、現在、ガラス板等が、
最も一般的に使用され、その他、近年、フッ素系樹脂シ
−ト等の樹脂シ−トも注目され、その開発が、急速に進
められている。また、上記の太陽電池モジュ−ルを構成
する裏面保護シ−ト層の場合は、現在、強度に優れた樹
脂シ−ト等が、最も一般的に使用され、その他、金属板
等も使用されている。而して、一般に、太陽電池モジュ
−ルを構成する保護シ−ト層としては、例えば、表面保
護シ−ト層の場合は、太陽電池が、太陽光を吸収して光
起電力することから、太陽光を透過する透過性に富むと
共に強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光
性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性等の諸堅牢性に優
れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優
れ、更に、表面硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等
の蓄積を防止する防汚性に優れ、極めて耐久性に富み、
その保護能力性が高いこと、その他等の条件を充足する
ことが必要とされ、また、裏面保護シ−ト層の場合も、
ほぼ、上記の表面保護シ−ト層の場合と同様な条件を充
足することが必要とされている。しかしながら、例え
ば、太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層と
して、現在、最も一般的に使用されているガラス板等
は、太陽光の透過性に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐
水性、耐光性、耐薬品性等の諸堅牢性に優れ、また、防
湿性にも優れ、更に、表面硬度が硬く、かつ、表面の汚
れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優れ、その保護能
力性が高い等の利点を有するが、強度、可塑性、耐衝撃
性、軽量性等に欠け、更に、その加工性、施工性等に劣
り、かつ、低コスト化等に欠けるという問題点がある。
また、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ
−ト層として、フッ素系樹脂等の樹脂シ−トを使用する
場合には、ガラス板等と比較して、強度、可塑性、耐衝
撃性、軽量性等に富むものではあるが、耐候性、耐熱
性、耐水性、耐光性、耐薬品性等の諸堅牢性に劣り、特
に、防湿性、防汚性等に欠けるという問題点がある。ま
た、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−
ト層として、強度に優れた樹脂シ−ト等を使用する場合
には、強度、可塑性、耐衝撃性、軽量性等に富むもので
はあるが、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐薬品性
等の諸堅牢性に劣り、特に、防湿性、防汚性等に欠ける
という問題点がある。そこで本発明は、強度に優れ、か
つ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降
雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、その他等の諸特性に
優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著
しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、
極めて耐久性に富み、保護能力が高く、かつ、より低コ
ストで安全な太陽電池モジュ−ルを構成する表面または
裏面保護シ−トを安定的に提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者は、太陽電池モ
ジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層について、上記の
ようなの問題点を解決すべく種々研究の結果、まず、フ
ッ素系樹脂シ−トを基材シ−トとして使用し、他方、そ
の片面に、酸化珪素、あるいは、酸化アルミニウム等の
透明な、ガラス質からなる無機酸化物の蒸着薄膜を設
け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、エチレン−
ビニルアルコ−ル共重合体をビヒクルの主成分とする樹
脂組成物によるコ−ティング膜を設けた樹脂フィルムを
製造し、而して、上記のフッ素系樹脂シ−トと、無機酸
化物の蒸着薄膜およびコ−ティング膜を有する樹脂フィ
ルムとを、例えば、耐光性接着剤層等を介して、積層し
て太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造し、而して、
該太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−ト、または、太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−トとし、例えば、上記の太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トの一方の面を内側にし、充填剤層、光
起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、
通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層等を順次
に積層し、次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱
圧着するラミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ
−ルを製造したところ、太陽光の透過性に優れ、かつ、
強度に優れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、
耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、その
他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止
する防湿性を著しく向上させ、その長期的な性能劣化を
最小限に抑え、極めて耐久性に富み、保護能力性が高
く、かつ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを
安定的に製造し得ることを見出して本発明を完成したも
のである。

【０００５】すなわち、本発明は、フッ素系樹脂シ−ト
と、無機酸化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物
の蒸着薄膜の上に、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合
体をビヒクルの主成分とする樹脂組成物によるコ−ティ
ング膜を設けた樹脂フィルムとを積層したことを特徴と
する太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用
した太陽電池モジュ−ルに関するものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】上記の本発明について以下に図面
等を用いて更に詳しく説明する。なお、本発明におい
て、シ−トとは、シ−ト状物ないしフィルム状物のいず
れの場合も意味するものであり、また、フィルムとは、
フィルム状物ないしシ−トシ−ト状物のいずれの場合も
意味するものである。本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルについてその層構成を図面等を用いて更に具体的に説
明すると、図１、図２、図３、図４および図５は、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トの層構成に
ついてその二三例を例示する概略的断面図であり、図
６、図７および図８は、図１に示す本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造した太陽電
池モジュ−ルの層構成についてその二三例を例示する概
略的断面図である。

【０００７】まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トＡは、図１に示すように、フッ素系樹脂シ
−ト１と、その片面に、無機酸化物の蒸着薄膜２を設
け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜２の上に、エチレン
−ビニルアルコ−ル共重合体をビヒクルの主成分とする
樹脂組成物によるコ−ティング膜３を設けた樹脂フィル
ム４とを積層した構成からなることを基本構造とするも
のである。而して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トについて、具体例を例示すると、図２に示
すように、フッ素系樹脂シ−ト１と、その片面に、無機
酸化物の蒸着薄膜２を設け、更に、該無機酸化物の蒸着
薄膜２の上に、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体を
ビヒクルの主成分とする樹脂組成物によるコ−ティング
膜３を設けた樹脂フィルム４とを、該フッ素系樹脂シ−
ト１の面と該樹脂フィルム４の面とを対向させて、耐光
性接着剤層５等を介して、積層した構成からなる太陽電
池モジュ−ル用保護シ−トＡ₁ を挙げることができる。
また、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト
について、別の具体例を例示すると、図３に示すよう
に、フッ素系樹脂シ−ト１と、その片面に、無機酸化物
の蒸着薄膜２を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜２
の上に、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体をビヒク
ルの主成分とする樹脂組成物によるコ−ティング膜３を
設けた樹脂フィルム４とを、該フッ素系樹脂シ−ト１の
面と該樹脂フィルム４のコ−ティング膜３の面とを対向
させて、耐光性接着剤層５等を介して、積層した構成か
らなる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡ₂ を挙げるこ
とができる。

【０００８】更に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トについて、別の具体例を例示すると、図４
に示すように、フッ素系樹脂シ−ト１と、その片面に、
無機酸化物の蒸着薄膜２、２を少なくとも２層以上設け
た多層膜６を構成し、更に、該多層膜６を構成する無機
酸化物の蒸着薄膜２の上に、エチレン−ビニルアルコ−
ル共重合体をビヒクルの主成分とする樹脂組成物による
コ−ティング膜３を設けた樹脂フィルム４とを、上記の
フッ素系樹脂シ−ト１の面と樹脂フィルム４の面とを対
向させて、耐光性接着剤層５等を介して、積層した構成
からなる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡ₃ を挙げる
ことができる。更にまた、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−トについて、他の例を例示すると、図
５に示すように、フッ素系樹脂シ−ト１と、その片面
に、まず、化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜
２ａを設け、次いで、該無機酸化物の蒸着薄膜２ａの上
に、物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜２ｂを
設けて無機酸化物の蒸着薄膜２ａ、２ｂの２層以上から
なる複合膜７を構成し、更に、該複合膜７を構成する無
機酸化物の蒸着薄膜２ｂの上に、エチレン−ビニルアル
コ−ル共重合体をビヒクルの主成分とする樹脂組成物に
よるコ−ティング膜３を設けた樹脂フィルム４とを、上
記のフッ素系樹脂シ−ト１の面と樹脂フィルム４の面と
を対向させて、耐光性接着剤層５等を介して、積層した
構成からなる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡ₄ を挙
げることができる。上記の例示は、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トについてその二三例を
例示するものであり、本発明はこれらによって限定され
るものではない。例えば、上記の図４および図５に示す
例において、図示しないが、フッ素系樹脂シ−ト１と、
無機酸化物の蒸着薄膜２およびコ−ティング膜３を設け
た樹脂フィルム４とを積層するに際しては、フッ素系樹
脂シ−ト１の面と樹脂フィルム４の面を対向させる代わ
りに、フッ素系樹脂シ−ト１の面と、樹脂フィルム４の
コ−ティング膜３の面とを対向させて積層してもよいも
のである。

【０００９】次に、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造し
た太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示すると、
上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図６に示すよ
うに、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ
−ト１１として使用し、而して、上記の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−ト１１（Ａ）の一方の面を内側に
し、順次に、充填剤層１２、光起電力素子としての太陽
電池素子１３、充填剤層１４、および、通常の太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−ト層１５等を積層し、次い
で、これらを一体として、真空吸引して加熱圧着するラ
ミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各層
を一体成形体として太陽電池モジュ−ルＴを製造するこ
とができる。また、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造し
た太陽電池モジュ−ルについて他の例を例示すると、上
記と同様に、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用保護シ−トＡを使用した例で説明すると、
図７に示すように、上記の図１に示す本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−ト１６として使用し、而して、通常の太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト層１７の一方の面を
内側にし、順次に、充填剤層１２、光起電力素子として
の太陽電池素子１３、充填剤層１４、および、上記の太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６（Ａ）等を積層
し、次いで、これらを一体として、真空吸引して加熱圧
着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上
記の各層を一体成形体として太陽電池モジュ−ルＴ₁ を
製造することができる。更に、本発明において、上記の
本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用
して製造した太陽電池モジュ−ルについて別の例を例示
すると、上記と同様に、上記の図１に示す本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを使用した例で説
明すると、図８に示すように、上記の図１に示す本発明
にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電池
モジュ−ル用表面保護シ−ト１１として使用し、また、
上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１
６として使用し、而して、上記の太陽電池モジュ−ル用
表面保護シ−ト層１１（Ａ）の一方の面を内側にし、順
次に、充填剤層１２、光起電力素子としての太陽電池素
子１３、充填剤層１４、および、上記の太陽電池モジュ
−ル用裏面保護シ−ト１６（Ａ）等を積層し、次いで、
これらを一体として、真空吸引して加熱圧着するラミネ
−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各層を一
体成形体として太陽電池モジュ−ルＴ ₂ を製造すること
ができる。上記の例示は、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ
−ルについてその二三例を例示するものであり、本発明
はこれにより限定されるものではない。例えば、図示し
ないが、上記の図２〜図５に示す本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用保護シ−トを使用し、上記と同様にし
て、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造すること
ができ、また、上記の太陽電池モジュ−ルにおいては、
太陽光の透過性、吸収性、補強、その他等の目的のもと
に、更に、他の層を任意に加えて積層することができる
ものである。

【００１０】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太
陽電池モジュ−ルを構成する材料、製造法等について更
に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成す
るフッ素系樹脂シ−トとしては、例えば、ポリテトラフ
ルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン
とペルフルオロアルキルビニルエ−テルとの共重合体か
らなるペルフルオロアルコキシ樹脂（ＰＦＡ）、テトラ
フルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンコポリマ
−（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンとペルフルオロ
アルキルビニルエ−テルとヘキサフルオロプロピレンコ
ポリマ−（ＥＰＥ）、テトラフルオロエチレンとエチレ
ンまたはプロピレンとのコポリマ−（ＥＴＦＥ）、ポリ
クロロトリフルオロエチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ）、エチ
レンとクロロトリフルオロエチレンとのコポリマ−（Ｅ
ＣＴＦＥ）、フッ化ビニリデン系樹脂（ＰＶＤＦ）、ま
たは、フッ化ビニル系樹脂（ＰＶＦ）等のフッ素系樹脂
からなる透明フッ素系樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができる。なお、本発明において、フッ素系
樹脂シ−トのシ−トとは、フィルム状物またはシ−ト状
物のいずれのものでもよいものである。また、本発明に
おいては、上記のフッ素系樹脂シ−トの中でも、特に、
ポリフッ化ビニル系樹脂（ＰＶＦ）、または、テトラフ
ルオロエチレンとエチレンまたはプロピレンとのコポリ
マ−（ＥＴＦＥ）からなるフッ素系樹脂シ−トが、透明
性を有し、太陽光の透過性等の観点から好ましいもので
ある。而して、本発明において、上記のフッ素系樹脂シ
−トを使用することにより、該フッ素系樹脂シ−トが有
する優れた特性、特に、機械的特性、化学的特性、光学
的特性等、更には、耐光性、耐熱性、耐水性、その他等
の超耐候性、耐汚染性、耐薬品性等の諸特性を利用し、
太陽電池を構成する表面保護シ−トとするものであり、
これにより、従来のガラス板等と同等の光学特性、耐久
性等を有し、また、そのフレキシブル性や機械的特性等
からガラス板等よりも軽く、かつ、加工性等に優れ、そ
のハンドリングし易さ等の利点を有するものである。

【００１１】ところで、本発明において、上記のフッ素
系樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、上記
のフッ素系樹脂の１種ないしそれ以上を使用し、押し出
し法、キャスト成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ−
ション法、その他等の製膜化法を用いて、上記のフッ素
系樹脂を単独で製膜化する方法、あるいは、２種以上の
フッ素系樹脂を使用して多層共押し出し製膜化する方
法、更には、２種以上のフッ素系樹脂を使用し、製膜化
する前に混合して製膜化する方法等により、フッ素系樹
脂のフィルムないしシ−トを製造し、更に、要すれば、
例えば、テンタ−方式、あるいは、チュ−ブラ−方式等
を利用して１軸ないし２軸方向に延伸してなるフッ素系
樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができる。
本発明において、フッ素系樹脂シ−トの膜厚としては、
１２〜２００μｍ位、より好ましくは、２５〜１５０μ
ｍ位が望ましい。また、本発明において、フッ素系樹脂
シ−トとしては、可視光透過率が、９０％以上、好まし
くは、９３％以上であって、入射する太陽光を全て透過
し、これを吸収する性質を有することが望ましいもので
ある。

【００１２】なお、上記において、フッ素系樹脂の製膜
化に際して、例えば、フィルムの加工性、耐熱性、耐候
性、機械的性質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離形
性、難燃性、抗カビ性、電気的特性、その他等を改良、
改質する目的で、種々のプラスチック配合剤や添加剤等
を添加することができ、その添加量としては、太陽光の
透過、吸収等に影響しない極く微量から数十％まで、そ
の目的に応じて、任意に添加することができる。また、
上記において、一般的な添加剤としては、例えば、滑
剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充
填剤、強化剤、補強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、
発泡剤、防カビ剤、顔料、その他等を使用することがで
き、更には、改質用樹脂等も使用することがてきる。な
お、本発明においては、上記の添加剤の中でも、例え
ば、太陽光中の有害な紫外線を吸収し、分子内で無害な
熱エネルギ−へと変換し、高分子中の光劣化開始の活性
種が励起されるのを防止する紫外線吸収剤、具体的に
は、べンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチ
レ−ト系、アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−
ドアミン系、超微粒子酸化チタン（粒径、０．０１〜
０．０６μｍ）、超微粒子酸化亜鉛（粒径、０．０１〜
０．０４μｍ）等の無機系の紫外線吸収剤、あるいは、
高分子の光劣化あるいは熱劣化等を防止する酸化防止
剤、具体的には、フェノ−ル系、アミン系、硫黄系、り
ん酸系、その他等の酸化防止剤を使用することが望まし
いものである。而して、上記の紫外線吸収剤、酸化防止
剤等は、フッ素系樹脂の粉末あるいはペレット等に練り
込み、製膜化することにより、紫外線吸収剤、酸化防止
剤等を練り込み加工し、それらを含むフッ素系樹脂シ−
トを製造することができる。

【００１３】また、本発明において、フッ素系樹脂シ−
トの表面は、必要に応じて、例えば、コロナ放電処理、
オゾン処理、酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いて低温
プラズマ処理、グロ−放電処理、化学薬品等を用いて処
理する酸化処理、その他等の前処理を任意に施すことが
できる。上記の表面前処理は、積層する際に、フッ素系
樹脂シ−トと樹脂フィルムまたはコ−ティング膜等との
密着性を改善するための方法として実施するものである
が、上記の密着性を改善する方法として、その他、例え
ば、フッ素系樹脂シ−トの表面に、予め、プライマ−コ
−ト剤層、アンダ−コ−ト剤層、あるいは、蒸着アンカ
−コ−ト剤層等を任意に形成することもできる。上記の
前処理のコ−ト剤層としては、例えば、ポリエステル系
樹脂、ポリウレタン系樹脂、その他等をビヒクルの主成
分とする樹脂組成物を使用することができる。また、上
記において、コ−ト剤層の形成法としては、例えば、溶
剤型、水性型、あるいは、エマルジョン型等のコ−ト剤
を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、
キスコ−ト法、その他等のコ−ト法を用いてコ−トする
ことができ、そのコ−ト時期としては、フッ素系樹脂シ
−トの製膜後、あるいは、２軸延伸処理後の後工程とし
て、あるいは、製膜、あるいは、２軸延伸処理のインラ
イン処理等で実施することができる。

【００１４】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成する無機酸化物の蒸着薄膜について説明すると、
かかる無機酸化物の蒸着薄膜としては、例えば、物理気
相成長法、または、化学気相成長法、あるいは、その両
者を併用して、無機酸化物の蒸着薄膜の１層あるいは２
層以上の多層膜、または、異種の無機酸化物の蒸着薄膜
の２層以上からなる複合膜等を形成して、製造すること
ができるものである。上記の物理気相成長法による無機
酸化物の蒸着薄膜について更に詳しく説明すると、かか
る物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜として
は、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプ
レ−ティング法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ
Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）を
用いて無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。
本発明において、具体的には、金属の酸化物を原料と
し、これを加熱して樹脂フィルムの上に蒸着する真空蒸
着法、または、原料として金属または金属の酸化物を使
用し、酸素を導入して酸化させて樹脂フィルムの上に蒸
着する酸化反応蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成
するプラズマ助成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜
を形成することができる。本発明において、物理気相成
長法による無機酸化物の薄膜薄膜を形成する方法につい
て、その具体例を挙げると、図９は、巻き取り式真空蒸
着装置の一例を示す概略的構成図である。図９に示すよ
うに、巻き取り式真空蒸着装置２１の真空チャンバ−２
２の中で、巻き出しロ−ル２３から繰り出す樹脂フィル
ム４は、ガイドロ−ル２４、２５を介して、冷却したコ
−ティングドラム２６に案内される。而して、上記の冷
却したコ−ティングドラム２６上に案内された樹脂フィ
ルム４の上に、るつぼ２７で熱せられた蒸着源２８、例
えば、金属アルミニウム、あるいは、酸化アルミニウム
等を蒸発させ、更に、必要ならば、酸素ガス吹出口２９
より酸素ガス等を噴出し、これを供給しながら、マスク
３０、３０を介して、例えば、酸化アルミニウム等の無
機酸化物の蒸着薄膜を成膜化し、次いで、上記におい
て、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着薄
膜を形成した樹脂フィルム４を、ガイドロ−ル２５′、
２４′を介して送り出し、巻き取りロ−ル３１に巻き取
ることによって、本発明にかかる物理気相成長法による
無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。なお、
本発明においては、図示しないが、上記のような巻き取
り式真空蒸着装置を用いて、まず、第１層の無機酸化物
の蒸着薄膜を形成し、次いで、同様にして、該無機酸化
物の蒸着薄膜の上に、更に、無機酸化物の蒸着薄膜を形
成するか、あるいは、上記のような巻き取り式真空蒸着
装置を用いて、これを２連に連接し、連続的に、無機酸
化物の蒸着薄膜を形成することにより、２層以上の多層
膜からなる無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができ
る。

【００１５】上記において、無機酸化物の蒸着薄膜とし
ては、基本的に金属の酸化物を蒸着した薄膜であれば使
用可能であり、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム
（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃ
ａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓｎ）、ナトリウム（Ｎ
ａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐｂ）、ジ
ルコニウム（Ｚｒ）、イットリウム（Ｙ）等の金属の酸
化物の蒸着薄膜を使用することができる。而して、好ま
しいものとしては、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａ
ｌ）等の金属の酸化物の蒸着薄膜を挙げることができ
る。而して、上記の金属の酸化物の蒸着薄膜は、ケイ素
酸化物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等の
ように金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、
例えば、ＳｉＯ_X 、ＡｌＯ_X 、ＭｇＯ_X 等のようにＭＯ
_X （ただし、式中、Ｍは、金属元素を表し、Ｘの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。）で表され
る。また、上記のＸの値の範囲としては、ケイ素（Ｓ
ｉ）は、０〜２、アルミニウム（Ａｌ）は、０〜１．
５、マグネシウム（Ｍｇ）は、０〜１、カルシウム（Ｃ
ａ）は、０〜１、カリウム（Ｋ）は、０〜０．５、スズ
（Ｓｎ）は、０〜２、ナトリウム（Ｎａ）は、０〜０．
５、ホウ素（Ｂ）は、０〜１、５、チタン（Ｔｉ）は、
０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０〜１、ジルコニウム（Ｚｒ）
は０〜２、イットリウム（Ｙ）は、０〜１．５の範囲の
値をとることができる。上記において、Ｘ＝０の場合、
完全な金属であり、透明ではなく全く使用することがで
きない、また、Ｘの範囲の上限は、完全に酸化した値で
ある。本発明において、一般的に、ケイ素（Ｓｉ）、ア
ルミニウム（Ａｌ）以外は、使用される例に乏しく、ケ
イ素（Ｓｉ）は、１．０〜２．０、アルミニウム（Ａ
ｌ）は、０．５〜１．５の範囲の値のものを使用するこ
とができる。本発明において、上記のような無機酸化物
の薄膜の膜厚としては、使用する金属、または金属の酸
化物の種類等によって異なるが、例えば、５０〜２００
０Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位の範囲内で
任意に選択して形成することが望ましい。また、本発明
においては、無機酸化物の蒸着薄膜としては、使用する
金属、または、金属の酸化物の１種または２種以上の混
合物で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物の薄膜
を構成することもできる。

【００１６】次にまた、本発明において、上記の化学気
相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜について更に説明
すると、かかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着
薄膜としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化
学気相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法
（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏ
ｎ法、ＣＶＤ法）等を用いて無機酸化物の蒸着薄膜を形
成することができる。本発明においては、具体的には、
樹脂フィルムの一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用
モノマ−ガスを原料とし、キャリヤ−ガスとして、アル
ゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、更
に、酸素供給ガスとして、酸素ガス等を使用し、低温プ
ラズマ発生装置等を利用する低温プラズマ化学気相成長
法（ＣＶＤ法）を用いて酸化珪素等の無機酸化物の蒸着
薄膜を形成することができる。上記において、低温プラ
ズマ発生装置としては、例えば、高周波プラズマ、パル
ス波プラズマ、マイクロ波プラズマ等の発生装置を使用
することがてき、而して、本発明においては、高活性の
安定したプラズマを得るためには、高周波プラズマ方式
による発生装置を使用することが望ましい。

【００１７】具体的に、上記の低温プラズマ化学気相成
長法による無機酸化物の蒸着薄膜の形成法についてその
一例を例示して説明すると、図１０は、上記のプラズマ
化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜の形成法に
ついてその概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の
概略的構成図である。上記の図１０に示すように、本発
明においては、プラズマ化学気相成長装置４１の真空チ
ャンバ−４２内に配置された巻き出しロ−ル４３から樹
脂フィルム４を繰り出し、更に、該樹脂フィルム４を、
補助ロ−ル４４を介して所定の速度で冷却・電極ドラム
４５周面上に搬送する。而して、本発明においては、ガ
ス供給装置４６、４７および、原料揮発供給装置４８等
から酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用
モノマ−ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着
用混合ガス組成物を調整しなから原料供給ノズル４９を
通して真空チャンバ−４２内に該蒸着用混合ガス組成物
を導入し、そして、上記の冷却・電極ドラム４５周面上
に搬送された樹脂フィルム４の上に、グロ−放電プラズ
マ５０によってプラズマを発生させ、これを照射して、
酸化珪素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成し、製膜化す
る。本発明においては、その際に、冷却・電極ドラム４
５は、チャンバ−外に配置されている電源５１から所定
の電力が印加されており、また、冷却・電極ドラム４５
の近傍には、マグネット５２を配置してプラズマの発生
が促進されており、次いで、上記で酸化珪素等の無機酸
化物の蒸着薄膜を形成した樹脂フィルム４は、補助ロ−
ル５３を介して巻き取りロ−ル５４に巻き取って、本発
明にかかるプラズマ化学気相成長法による無機酸化物の
蒸着薄膜を製造することができるものである。なお、図
中、５５は、真空ポンプを表す。上記の例示は、その一
例を例示するものであり、これによって本発明は限定さ
れるものではないことは言うまでもないことである。図
示しないが、本発明においては、無機酸化物の蒸着薄膜
としては、無機酸化物の蒸着薄膜の１層だけではなく、
２層あるいはそれ以上を積層した積層体の状態でもよ
く、また、使用する材料も１種または２種以上の混合物
で使用し、また、異種の材質で混合した無機酸化物の蒸
着薄膜を構成することもできる。本発明においては、例
えば、上記のような低温プラズマ化学気相成長装置を用
いて、まず、第１層の無機酸化物の蒸着薄膜を形成し、
次いで、同様にして、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、
更に、無機酸化物之蒸着薄膜を形成するか、あるいは、
上記のような低温プラズマ化学気相成長装置を用いて、
これを２連に連接し、連続的に、無機酸化物の蒸着薄膜
を形成することにより、２層以上の多層膜からなる無機
酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。

【００１８】上記において、酸化珪素等の無機酸化物の
蒸着薄膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガスとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメチル
ジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリ
メチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチル
ジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチル
シラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシ
ラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシ
シラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラ
ン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシ
シラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他
等を使用することができる。本発明において、上記のよ
うな有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テトラ
メチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサ
ンを原料として使用することが、その取り扱い性、形成
された蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料であ
る。また、上記において、不活性ガスとしては、例え
ば、アルゴンガス、ヘリウムガス等を使用することがで
きる。

【００１９】本発明において、上記で形成される酸化珪
素の蒸着薄膜は、有機珪素化合物等のモノマ−ガスと酸
素ガス等とが化学反応し、その反応生成物が樹脂フィル
ムの上に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を形成
することができ、通常、一般式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘ
は、０〜２の数を表す）で表される酸化珪素を主体とす
る連続状の蒸着薄膜である。而して、上記の酸化珪素の
蒸着薄膜としては、透明性、バリア性等の点から、一般
式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数を表
す。）で表される酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜で
あることが好ましいものである。上記において、Ｘの値
は、モノマ−ガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネ
ルギ−等により変化するが、一般的に、Ｘの値が小さく
なればガス透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯
び、透明性が悪くなる。また、上記の酸化珪素の蒸着薄
膜は、珪素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）を必須構成元素として
有し、更に、炭素（Ｃ）と水素（Ｈ）のいずれが一方、
または、その両者の元素を微量構成元素として含有する
酸化珪素の蒸着膜からなり、かつ、その膜厚が、５０Å
〜５００Åの範囲であり、更に、上記の必須構成元素と
微量構成元素の構成比率が、膜厚方向において連続的に
変化しているものである。更に、上記の酸化珪素の蒸着
薄膜は、炭素からなる化合物を含有する場合には、その
膜厚の深さ方向において炭素の含有量が減少しているこ
とを特徴とするものである。而して、本発明において、
上記の酸化珪素の蒸着薄膜について、例えば、Ｘ線光電
子分光装置（Ｘｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ
Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン質量
分析装置（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓ
ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析装置
を用い、深さ方向にイオンエッチングする等して分析す
る方法を利用して、酸化珪素の蒸着薄膜の元素分析を行
うことより、上記のような物性を確認することができる
ものである。また、本発明において、上記の酸化珪素の
蒸着薄膜の膜厚としては、膜厚５０Å〜２０００Å位で
あることが望ましく、具体的には、その膜厚としては、
１００〜１０００Å位、より好ましくは、１００〜５０
０Å位が望ましく、而して、上記において、５００Å、
更には、１０００Å〜２０００Åより厚くなると、その
膜にクラック等が発生し易くなるので好ましくなく、ま
た、１００Å、更には、５０Å未満であると、バリア性
の効果を奏することが困難になることから好ましくない
ものである。上記のおいて、その膜厚は、例えば、株式
会社理学製の蛍光Ｘ線分析装置（機種名、ＲＩＸ２００
０型）を用いて、ファンダメンタルパラメ−タ−法で測
定することができる。また、上記において、上記の酸化
珪素の蒸着薄膜の膜厚を変更する手段としては、蒸着膜
の体積速度を大きくすること、すなわち、モノマ−ガス
と酸素ガス量を多くする方法や蒸着する速度を遅くする
方法等によって行うことができる。

【００２０】ところで、本発明において、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜として、例えば、
物理気相成長法と化学気相成長法の両者を併用して異種
の無機酸化物の蒸着薄膜の２層以上からなる複合膜を形
成して使用することができる。而して、上記の異種の無
機酸化物の蒸着薄膜の２層以上からなる複合膜として
は、まず、樹脂フィルムの上に、化学気相成長法によ
り、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発生を
防止し得る無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次いで、該無
機酸化物の蒸着薄膜の上に、物理気相成長法による無機
酸化物の蒸着薄膜を設けて、２層以上の複合膜からなる
無機酸化物の蒸着薄膜を構成することが望ましいもので
ある。勿論、本発明においては、上記とは逆くに、環状
ポリオレフィン系樹脂シ−トの上に、先に、物理気相成
長法により、無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次に、化学
気相成長法により、緻密で、柔軟性に富み、比較的にク
ラックの発生を防止し得る無機酸化物の蒸着薄膜を設け
て、２層以上からなる複合膜からなる無機酸化物の蒸着
薄膜を構成することもできるものである。なお、本発明
においては、コ−ティング膜等との密接着性、親和性等
を向上させるために、無機酸化物の蒸着薄膜面に、例え
ば、気体をア−ク放電により電離させることにより生じ
るプラズマガスを利用して表面改質を行なうプラズマ表
面処理法等を利用してプラズマ処理面、あるいは、コロ
ナ放電処理法等を利用してコロナ処理面等を形成するこ
とができるものである。

【００２１】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成するエチレン−ビニルアルコ−ル共重合体をビヒ
クルの主成分として含む樹脂組成物によるコ−ティング
膜について説明すると、かかるコ−ティング膜として
は、例えば、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体の１
種ないしそれ以上をビヒクルの主成分とし、これに、更
に、必要ならば、例えば、充填剤、安定剤、可塑剤、酸
化防止剤、紫外線吸収剤等の光安定剤、分散剤、増粘
剤、乾燥剤、滑剤、帯電防止剤、架橋剤、その他等の添
加剤を任意に添加し、溶剤、希釈剤等で充分に混練して
なる溶剤型、水性型、あるいは、エマルジョン型等から
なる樹脂組成物を調整し、而して、該樹脂組成物を使用
し、例えば、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト
法、キスロ−ルコ−ト法、スクイ−ズロ−ルコ−ト法、
リバ−スロ−ルコ−ト法、カ−テンフロ−コ−ト法、そ
の他等のコ−ティング法により、コ−ティング量、例え
ば、０．１ｇ／ｍ² 〜１０ｇ／ｍ ² （乾燥状態）位、好
ましくは、０．５ｇ／ｍ² 〜５ｇ／ｍ² （乾燥状態）位
になるようにコ−ティングし、次いで、加熱乾燥、更に
は、エ−ジング処理等を施して、本発明にかかるコ−テ
ィング膜を形成することができる。上記において、上記
の樹脂組成物としては、エチレン−ビニルアルコ−ル共
重合体等を溶解ないし混練し、更に、これらを硬化させ
ることから、アルコ−ル−水系溶液等を使用して調整し
た樹脂組成物を使用することが好ましく、而して、上記
のアルコ−ル成分としては、例えば、ｎ−プロピルアル
コ−ル、イソプロピルアルコ−ル、ｎ−ブタノ−ル、ｔ
−ブタノ−ル、エチルアルコ−ル、メチルアルコ−ル等
を使用することができ、また、上記のアルコ−ル−水系
溶液において、アルコ−ルと水との配合割合としては、
例えば、アルコ−ル、５０〜７０重量部に対し水、５０
〜３０重量部の割合で配合してアルコ−ル−水系溶液を
調整することが望ましい。

【００２２】上記において、エチレン−ビニルアルコ−
ル共重合体としては、例えば、酢酸ビニルの含有率が約
７９〜９２ｗｔ％であるエチレン−酢酸ビニル共重合体
を完全ケン化したエチレン含有率２５〜５０モル％のエ
チレン−ビニアルコ−ル共重合体を使用することができ
る。上記のエチレン−ビニルアルコ−ル共重合体は、高
いガスバリア性を有し、更に、保香性、透明性等に優れ
ているものであり、而して、上記において、エチレン含
有率が、５０モル％以上のものは、酸素ガスバリア性が
急激に低下し、また、透明性も悪くなることから好まし
くなく、また、２５モル％以下のものは、その薄膜がも
ろくなり、また、高湿度下において酸素ガスバリア性が
低下して好ましくないものである。

【００２３】また、上記において、添加剤としては、具
体的には、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体が有す
るヒドロキシル等と反応し、該エチレン−ビニルアルコ
−ル共重合体の分子を互いに化学結合で結び付けて、三
次元網状構造（硬化）の高分子化合物等を構成し得る多
官能性化合物を使用することができ、例えば、テトラメ
トキシシラン、テトラエトキシシランテ、テトラブトキ
シシラン等のアルコキシシラン化合物、テトラメトキシ
ジルコニウム、テトラエトキシジルコニウム等のジルコ
ニウムアルコキシド化合物、テトラメトキシチタニウ
ム、テトラエトキシチタニウムチタニウムアルコキシド
化合物等の金属アルコキシド化合物および／またはその
加水分解物等を使用することができる。更に、本発明に
おいて、添加剤としては、例えば、−ＣＨ＝ＣＨ₂ 基、
＝Ｃ＝Ｏ基、−Ｃ≡Ｎ基、エポキシ基、エチレンイミン
基等の活性水素と反応する官能基を有する化合物、−Ｏ
Ｈ基、−ＳＨ基、−ＣＯＯＨ基、−ＮＨ₂ 基等の活性水
素を有する化合物、その他、ハロゲン基、塩、キレ−ト
形成基等を有する化合物等からなる架橋剤を使用するこ
とができる。具体的には、例えば、ジアルデヒド化合
物、ジカルボン酸化合物、ジイミド化合物、ジないし多
価アルコ−ル化合物、ジアミン化合物、ジイソシアナ−
ト化合物、ビスエポキシ化合物、ビスエチレンイミン化
合物、ジビニル化合物、ジルコニウム化合物、チタンキ
レ−ト化合物、その他等を使用することができる。

【００２４】更にまた、本発明においては、無機酸化物
の蒸着薄膜との密接着性に富むポリマ−、例えば、ポリ
エチレンイミン等のＮ−未置換ポリアルキレンイミン、
Ｎ−アルキル置換ポリアルキレンイミン、Ｎ−アシル置
換ポリアルキレンイミン等のポリエチレンイミン系ポリ
マ−、ポリカルボジイミド等のポリカルボジイミド系ポ
リマ−、ポリビニルピロリドン、ポリアルキル化ビニル
ピロリドン、ビニルピロリドンと酢酸ビニルとの共重合
体、ビニルピロリドンとスチレンとの共重合体等のポリ
ビニルピロリドン系ポリマ−等を使用することができ
る。

【００２５】次にまた、本発明においては、二元反応性
を有するシランカップリング剤を添加することができ
る。上記のシランカップリング剤としては、例えば、γ
−クロロプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリクロ
ロシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニル−トリス
（β−メトキシエトキシ）シラン、γ−メタクリルオキ
シプロピルトリメトキシシラン、β−（３、４−エポキ
シシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリア
セトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシ
シラン、Ｎ−β（アミノエチル）−γ−アミノプロピル
トリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）−γ−ア
ミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−ウレイドプ
ロピルトリエトキシシラン、ビス（β−ヒドロキシエチ
ル）−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−ア
ミノプロピルシリコ−ンの１種ないしそれ以上を使用す
ることができる。その使用量としては、微量添加するだ
けでよい。更に、本発明においては、エチレン−ビニル
アルコ−ル共重合体が有するヒドロキシル基等と上記の
金属アルコキシド化合物、架橋剤等とが反応し、架橋構
造を構成する際に、例えば、硬化触媒等を添加すること
ができる。上記の硬化触媒としては、例えば、水に実質
的に不溶であり、かつ、有機溶媒に可溶な第三アミン
類、例えば、Ｎ．Ｎ−ジメチルベンジルアミン、トリプ
ロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン
等、また、酸類として、例えば、硫酸、塩酸、硝酸等の
鉱酸、酢酸、酒石酸等の有機酸等を使用することができ
る。その使用量としては、微量添加することで充分であ
る。

【００２６】ところで、本発明において、上記のエチレ
ン−ビニルアルコ−ル共重合体をビヒクルの主成分と
し、これに、必要ならば、添加剤を任意に添加し、アル
コ−ル−水系溶剤、希釈剤等で充分に混練してなる樹脂
組成物を調整し、これを通常のコ−ティング法でコ−テ
ィングし、次いで、加熱乾燥、更には、エ−ジング処理
等を施すことにより、コ−ティング膜を形成することが
できる。而して、上記のコ−ティング膜は、無機酸化物
の蒸着薄膜との密接着性に優れ、その両者の接着強度は
極めて強く、その層間において剥離する等の現象は認め
られず、更に、本発明においては、無機酸化物の蒸着薄
膜と上記のコ−ティング膜との２層からなるバリア性膜
を形成し、それにより、その酸素ガス、水蒸気ガス等に
対するバリア性を更に向上させ、かつ、透明性、耐熱
性、耐熱水性、ラミネ−ト適性、その他等にも優れ、極
めて良好な太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造し得
るものである。

【００２７】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成する無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィルム
において、その樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエ
チレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂、環
状ポリオレフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレ−
ト、ポリエチレンナフタレ−ト等のポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ
スチレン系樹脂、ポリビニルアルコ−ル、エチレン−酢
酸ビニル共重合体のケン化物等のポリビニルアルコ−ル
系樹脂、ポリアクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系
樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリビニルアセタ−ル系
樹脂、ポリビニルブチラ−ル系樹脂、フッ素系樹脂、そ
の他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用する
ことができる。而して、本発明において、上記の樹脂の
フィルムないしシ−トとしては、例えば、上記の樹脂の
１種ないしそれ以上を使用し、インフレ−ション法、Ｔ
ダイ法、その他等の製膜化法を用いて、上記の樹脂を単
独で製膜化する方法、あるいは、２種以上の異なる樹脂
を使用して多層共押し出し製膜化する方法、更には、２
種以上の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化
する方法等により、樹脂のフィルムないしシ−トを製造
し、更に、例えば、テンタ−方式、あるいは、チュ−ブ
ラ−方式等を利用して１軸ないし２軸方向に延伸してな
る樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができ
る。本発明において、樹脂フィルムの膜厚としては、５
〜３００μｍ位、より好ましくは、１０〜２００μｍ位
が望ましい。なお、上記において、樹脂の製膜化に際し
て、例えば、フィルムの加工性、耐熱性、耐候性、機械
的性質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離形性、難燃
性、抗カビ性、電気的特性、その他等を改良、改質する
目的で、種々のプラスチック配合剤や添加剤等を添加す
ることができ、その添加量としては、太陽光の透過に影
響しない極く微量から数十％まで、その目的に応じて、
任意に添加することができる。また、上記において、一
般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防
止剤、紫外線吸収剤、充填剤、強化剤、補強剤、帯電防
止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料、その
他等を使用することができ、更には、改質用樹脂等も使
用することがてきる。

【００２８】また、本発明において、樹脂フィルムは、
必要に応じて、例えば、コロナ放電処理、オゾン処理、
酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いて低温プラズマ処
理、グロ−放電処理、化学薬品等を用いて処理する酸化
処理、その他等の前処理を任意に施すことができる。上
記の表面前処理は、無機酸化物の蒸着薄膜を形成する前
に別工程で実施してもよく、また、例えば、低温プラズ
マ処理やグロ−放電処理等による表面処理の場合は、上
記の無機酸化物の蒸着薄膜を形成する前処理としてイン
ライン処理により前処理で行うことができ、このような
場合は、その製造コストを低減することができるという
利点がある。上記の表面前処理は、樹脂フィルムと無機
酸化物の蒸着薄膜との密着性を改善するための方法とし
て実施するものであるが、上記の密着性を改善する方法
として、その他、例えば、樹脂フィルムの表面に、予
め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤層、ある
いは、蒸着アンカ−コ−ト剤層等を任意に形成すること
もできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、その他
等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使用すること
ができる。また、上記において、コ−ト剤層の形成法と
しては、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマルジ
ョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラビ
アロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト法
を用いてコ−トすることができ、そのコ−ト時期として
は、樹脂フィルムの２軸延伸処理後の後工程として、あ
るいは、２軸延伸処理のインライン処理等で実施するこ
とができる。なお、本発明において、樹脂フィルムとし
ては、具体的には、２軸延伸ポリプロピレンフィルム等
の２軸延伸ポリプロピレン系樹脂フィルム、２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルム等の２軸延伸ポリエ
ステル系樹脂フィルム、２軸延伸ナイロンフィルム等の
２軸延伸ポリアミド系樹脂フィルム、耐候性に富む二軸
延伸ポリアクリル系樹脂フィルム、または、二軸延伸環
状ポリオレフィン系樹脂フィルムを使用することが望ま
しいものである。

【００２９】次に、本発明において、フッ素系樹脂シ−
トと無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィルムとを積
層する方法について説明すると、かかる積層法として
は、例えば、ラミネ−ト用接着剤によるラミネ−ト用接
着剤層を介して積層するドライラミネ−ション法、ある
いは、溶融押し出し接着性樹脂による溶融押し出し接着
性樹脂層を介して積層する押し出しラミネ−ション法等
で行うことができる。上記において、ラミネ−ト用接着
剤としては、例えば、１液、あるいは、２液型の硬化な
いし非硬化タイプのビニル系、（メタ）アクリル系、ポ
リアミド系、ポリエステル系、ポリエ−テル系、ポリウ
レタン系、エポキシ系、ゴム系、その他等の溶剤型、水
性型、あるいは、エマルジョン型等のラミネ−ト用接着
剤を使用することができる。而して、上記のラミネ−ト
用接着剤のコ−ティング法としては、例えば、ダイレク
トグラビアロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、
キスコ−ト法、リバ−スロ−ルコ−ト法、フォンテン
法、トランスファ−ロ−ルコ−ト法、その他等の方法で
塗布することができ、そのコ−ティング量としては、
０．１〜１０ｇ／ｍ² （乾燥状態）位、より好ましく
は、１〜５ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が望ましい。なお、
本発明においては、上記のラミネ−ト用接着剤には、例
えば、シランカップリング剤等の接着促進剤を任意に添
加することができる。次にまた、上記において、溶融押
し出し接着性樹脂としては、低〜高密度ポリエチレン、
エチレン−酢酸ビニル共重合体、サ−リン樹脂、エチレ
ン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、ポリエチ
レンあるいはポリプロピレンをアクリル酸、メタクリル
酸、マレイン酸、フマ−ル酸、イタコン酸等の不飽和カ
ルボン酸で変性した酸変性ポリオレフィン系樹脂、ポリ
プロピレン、環状ポリオレフィン系樹脂、その他等を使
用することができ、特に、線状低密度ポリエチレン、酸
変性ポリエチレンを使用することが好ましいものであ
る。上記の溶融押し出し接着性樹脂による溶融押し出し
接着性樹脂層の膜厚としては、５〜１００μｍ位、より
好ましくは、１０〜５０μｍ位が望ましい。なお、本発
明において、上記の積層を行う際に、より強固な接着強
度を得る必要がある場合には、必要ならば、例えば、ア
ンカ−コ−ト剤等の接着改良剤等をコ−トすることもで
きる。上記のアンカ−コ−ト剤としては、具体的には、
例えば、アルキルチタネ−ト等の有機チタン系アンカ−
コ−ト剤、イソシアネ−ト系アンカ−コ−ト剤、ポリエ
チレンイミン系アンカ−コ−ト剤、ポリブタジエン系ア
ンカ−コ−ト剤、その他等の水性あるいは油性等の各種
のアンカ−コ−ト剤を使用することができる。而して、
本発明においては、上記のアンカ−コ−ト剤を、例え
ば、ロ−ルコ−ト、グラビアコ−ト、ナイフコ−ト、デ
ップコ−ト、スプレイコ−ト、その他のコ−ティング法
でコ−ティングし、溶剤、希釈剤等を乾燥して、アンカ
−コ−ト剤層を形成することができる。上記のおいて、
アンカ−コ−ト剤の塗布量としては、０．１〜５ｇ／ｍ
² （乾燥状態）位が望ましい。

【００３０】ところで、本発明において、フッ素系樹脂
シ−トと、無機酸化物の蒸着薄膜とコ−ティング膜とを
有する樹脂フィルムとを積層する際に、接着剤層等を構
成するラミネ−ト用接着剤によるラミネ−ト用接着剤
層、あるいは、溶融押し出し接着性樹脂による溶融押し
出し接着性樹脂層の中には、紫外線吸収剤および／また
は酸化防止剤を含有させて耐光性接着剤層、耐光性溶融
押し出し接着性剤層等を構成することが望ましい。本発
明において、上記のように紫外線吸収剤および／または
酸化防止剤を含有させて接着剤層を構成することによ
り、太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用
した太陽電池モジュ−ルの耐光性等の諸特性を著しく向
上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて
耐久性に富み、保護能力性が高い太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルを
を安定的に製造し得ることがてきるという利点を有する
ものである。上記において、紫外線吸収剤としては、例
えば、太陽光中の有害な紫外線を吸収し、分子内で無害
な熱エネルギ−へと変換し、高分子中の光劣化開始の活
性種が励起されるのを防止する前述の紫外線吸収剤、具
体的には、べンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、
サルチレ−ト系、アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒ
ンダ−ドアミン系、超微粒子酸化チタン（粒径、０．０
１〜０．０６μｍ）、超微粒子酸化亜鉛（粒径、０．０
１〜０．０４μｍ）等の無機系の紫外線吸収剤、その他
等の１種ないし２種以上を使用することができる。ま
た、酸化防止剤としては、高分子の光劣化あるいは熱劣
化等を防止する前述の酸化防止剤、具体的には、フェノ
−ル系、アミン系、硫黄系、りん酸系、その他等の酸化
防止剤を使用することができる。更に、本発明におい
て、上記の紫外線吸収剤あるいは、酸化防止剤として
は、例えば、ポリマ−を構成する主鎖あるいは側鎖等
に、上記のべンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、
サルチレ−ト系、アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒ
ンダ−ドアミン系等の紫外線吸収剤あるいはフェノ−ル
系、アミン系等の酸化防止剤を化学反応等により結合さ
せてなるポリマ−型の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤
等も使用することができる。而して、上記の紫外線吸収
剤、酸化防止剤等は、ラミネ−ト用接着剤組成物に０．
１重量％〜１０重量％位添加し、十分に混合することに
より、また、溶融押し出し接着性樹脂に０．１重量％〜
１０重量％位を添加し、十分に混練することにより含有
させることができる。

【００３１】次に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トにおいては、それを構成するフッ素系
樹脂シ−トの他方の片面（最表面）に、ゴミ等の蓄積を
防止する防汚層を形成することができ、而して、上記の
防汚層としては、光触媒粉末または光触媒ゾル（以下、
光触媒粉末とは、光触媒ゾルも含む意味で記す）を含む
組成物による塗布膜から構成することができる。上記に
おいて、光触媒粉末を含む組成物による塗布膜として
は、例えば、光触媒粉末の１種ないし２種以上に、ビヒ
クルとしての結合剤の１種ないし２種以上を添加し、更
に、必要ならば、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、
紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、強化剤、補強剤、帯
電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料、
その他等の添加剤の１種ないし２種以上を太陽光の透過
に影響しない範囲内で任意に添加し、更に、溶剤、希釈
剤等で十分に混練して、例えば、溶剤型、水性型、ある
いは、エマルジョン型等の組成物を調整し、次いで、該
組成物を、例えば、ナイフコ−ト法、スクイ−ズロ−ル
コ−ト法、リバ−スロ−ルコ−ト法、ロ−ルコ−ト法、
グラビアロ−ルコ−ト法、キスロ−ルコ−ト法、エクス
トル−ジョンコ−ト法、カ−テンフロ−コ−ト法、その
他等のコ−ティング法、あるいは、グラビア印刷、オフ
セット印刷、シルクスクリ−ン印刷、転写印刷、その他
等の印刷法を用いて、塗布ないし印刷することにより塗
布膜を形成することができる。上記において、塗布膜の
膜厚としては、０．１〜１０ｇ／ｍ² 位（乾燥状態）、
より好ましくは、１．０〜１ｇ／ｍ² 位が望ましい。

【００３２】上記において、光触媒粉末としては、太陽
光等の光の作用により、例えば、樹脂が、酸化等により
劣化、破壊、あるいは、分解し、または、低分子化し、
防汚層の表面に付着した塵埃等を、その粘着性を破壊
し、風雨等で洗浄、除去し、その表面を清掃に保持する
ことを容易にする作用を有する化学物質を使用すること
ができる。具体的には、例えば、光触媒粉末としては、
例えば、ＴｉＯ₂ 、ＺｎＯ、ＳｒＴｉＯ₃ 、ＣｄＳ、Ｃ
ａＰ、ＩｎＰ、ＧａＡｓ、ＢａＴｉＯ₂ 、Ｋ₂ Ｔｉ
Ｏ₃ 、Ｋ₂ ＮｂＯ₃ 、Ｆｅ₂ Ｏ₃ 、Ｔａ₂ Ｏ₃ 、Ｗ
Ｏ₃ 、ＳｎＯ₂ 、Ｂｉ₂ Ｏ₈ 、ＮｉＯ、Ｃｕ₂ Ｏ、Ｓｉ
Ｃ、ＳｉＯ₂ 、ＭｏＳ₂ 、ＩｎＰｂ、ＲｕＯ₂ 、ＣｅＯ
₂ 等、あるいは、これらにＰｔ、Ｒｈ、ＲｕＯ₂ 、Ｎ
ｂ、Ｃｕ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｆｅ等の金属および／またはこ
れらの金属酸化物とを混合した組成物を使用することが
できる。上記の組成物において、光触媒粉末の含有量と
しては、その粒子形状、密度等によって異なるが、約
０．１〜３０重量％位が好ましい。

【００３３】また、上記において、ビヒクルとしての結
合剤としては、製膜性を有し、更に、耐光性、耐熱性、
耐水性等の諸堅牢性に優れ、また、塗布膜の硬度を増
し、耐擦傷性、耐磨耗性等に優れ、特に、光触媒粉末の
光活性に影響を受けない結合剤を使用することができ、
具体的には、例えば、各種の天然ないし半若しくは合成
樹脂、無機系ポリマ−、その他等の公知の樹脂、あるい
は、その変性樹脂、その他等の１種ないし２種以上を使
用することができる。而して、本発明においては、光触
媒粉末の影響を受けない結合剤としては、上記のような
結合剤の中でも、特に、低融点ガラス、アルカリ金属シ
リケ−ト、ホスフェ−ト、または、コロイダルシリカ、
その他等の無機系ポリマ−の１種ないしそれ以上を使用
することが好ましいものである。

【００３４】ところで、本発明においては、上記の防汚
層を構成する塗布膜中の光触媒粉末の光活性が、該防汚
層の下層に位置する、例えば、フッ素系樹脂シ−ト等に
影響を与え、その劣化、分解、あるいは、破壊等に起こ
さないように、その相互の接触を遮断する無機質膜等か
らなる光触媒粉末の活性を遮断する活性遮断層を設ける
ことができる。上記の活性遮断層は、通常、防汚層の下
層に設けるものである。上記の活性遮断層を構成する無
機質膜としては、例えば、前述の透明性を有する酸化珪
素、あるいは、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着
膜等を使用することができる。上記の無機酸化物の蒸着
膜の形成は、前述と同様にして製膜化して、活性遮断層
を形成することができ、その膜厚としては、１００〜３
０００Å位、より好ましくは、１００〜１５００Å位が
望ましい。また、本発明においては、上記の防汚層の密
接着性を強固にするために、該防汚層を構成する光触媒
粉末を含む組成物による塗布膜を設けるに際し、必要な
らば、接着用プライマ−層等を設けることができる。具
体的には、テトライソプロピルチタネ−ト、テトラブチ
ルチタネ−ト等のアルキルチタネ−トやチタンキレ−ト
等の有機チタン化合物からなる塗工液を使用して接着用
プライマ−層等を設けることができる。

【００３５】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トについて説明すると、かかる表面保護シ−トとして
は、太陽光の透過性、絶縁性等を有し、更に、耐候性、
耐熱性、耐光性、耐水性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性、防湿性、防汚性、その他等の諸特性を有し、物理的
あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、極めて耐久性
に富み、更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保
護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優
れていることが必要である。上記の表面保護シ−トとし
ては、具体的には、例えば、公知のガラス板等は勿論の
こと、更に、例えば、フッ素系樹脂、ポリアミド系樹脂
（各種のナイロン）、ポリエステル系樹脂、ポリエチレ
ン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン
系樹脂、ポリスチレン系樹脂、（メタ）アクリル系樹
脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セル
ロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないし
シ−トを使用することができる。上記の樹脂のフィルム
ないしシ−トとしては、例えば、２軸延伸した樹脂のフ
ィルムないしシ−トも使用することができる。また、上
記の樹脂のフィルムないしシ−トにおいて、その膜厚と
しては、１２〜２００μｍ位、より好ましくは、２５〜
１５０μｍ位が望ましい。

【００３６】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する太陽電池モジュ−ル用保護シ−トの下に積
層する充填剤層について説明すると、かかる充填剤層と
しては、太陽光が入射し、これを透過して吸収すること
から透明性を有することが必要であり、また、表面保護
シ−トとの接着性を有することも必要であり、更に、光
起電力素子としての太陽電池素子の表面の平滑性を保持
する機能を果たすために熱可塑性を有すること、更に
は、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とういこ
とから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れているこ
とが必要である。具体的には、上記の充填剤層として
は、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、また
は、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マ
レイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した
酸変性ポリオレンフィン系樹脂、環状ポリオレフィン系
樹脂、ポリビニルブチラ−ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、
エポキシ系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、その他等の
樹脂の１種ないし２種以上の混合物を使用することがで
きる。なお、本発明においては、上記の充填剤層を構成
する樹脂には、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性等を
向上させるために、その透明性を損なわない範囲で、例
えば、架橋剤、熱酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収
剤、光酸化防止剤、その他等の添加剤を任意に添加し、
混合することができるものである。而して、本発明にお
いては、太陽光の入射側の充填剤としては、耐光性、耐
熱性、耐水性等の耐候性を考慮すると、フッ素系樹脂、
エチレン−酢酸ビニル共重合体、環状ポリオレフィン系
樹脂、シリコ−ン系樹脂が望ましい素材である。なお、
上記の充填剤層の厚さとしては、２００／１０００μｍ
位、より好ましくは、３５０〜６００μｍ位が望まし
い。

【００３７】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子につい
て説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知
のもの、例えば、結晶性シリコン太陽電池素子、多結晶
シリコン太陽電池素子、アモルファスシリコン太陽電池
素子、銅インジウムセレナイド太陽電池素子、化合物半
導体太陽電池素子、その他等を使用することができる。
更に、薄膜多結晶性シリコン太陽電池素子、薄膜微結晶
性シリコン太陽電池素子、薄膜結晶シリコン太陽電池素
子とアモルファスシリコン太陽電池素子とのハイブリッ
ト素子等を使用することができる。

【００３８】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層につ
いて説明すると、かかる充填剤層としては、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤
層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有することも
必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子
の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性
を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池
素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収
性等に優れていることが必要である。しかし、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層す
る充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トの下に積層する充填剤層と異なり、必ずも、
透明性を有することを必要としないものである。具体的
には、上記の充填剤層としては、前述の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様
に、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、また
は、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マ
レイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した
酸変性ポリオレンフィン系樹脂、環状ポリオレフィン系
樹脂、ポリビニルブチラ−ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、
エポキシ系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、その他等の
樹脂の１種ないし２種以上の混合物を使用することがで
きる。なお、本発明においては、上記の充填剤層を構成
する樹脂には、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性等を
向上させるために、その透明性を損なわない範囲で、例
えば、架橋剤、熱酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収
剤、光酸化防止剤、その他等の添加剤を任意に添加し、
混合することができるものである。なお、上記の充填剤
層の厚さとしては、２００／１０００μｍ位、より好ま
しくは、３５０〜６００μｍ位が望ましい。

【００３９】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トについて説明すると、かかる裏面保護シ−トとして
は、絶縁性の樹脂のフィルムないしシ−トを使用するこ
とができ、更に、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性を
有し、物理的あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、
更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とうい
ことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れている
ことが必要である。上記の裏面保護シ−トとしては、具
体的には、例えば、ポリアミド系樹脂（各種のナイロ
ン）、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリ
プロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリス
チレン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系
樹脂、セルロ−ス系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、フ
ッ素系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないしシ
−トを使用することができる。上記の樹脂のフィルムな
いしシ−トとしては、例えば、２軸延伸した樹脂のフィ
ルムないしシ−トも使用することができる。また、上記
の樹脂のフィルムないしシ−トにおいて、その膜厚とし
ては、１２〜２００μｍ位、好ましくは、２５〜１５０
μｍ位が望ましい。

【００４０】なお、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候
性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させる
ために、その他の素材、例えば、ポリエチレン系樹脂、
ポリプロピレン系樹脂、エチレン−プロピレン共重合
体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹
脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−
アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペンテ
ンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹
脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリ
ル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−ス
チレン共重合体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブ
タジェン−スチレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエ
ステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系
樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビ
ニル共重合体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹
脂、ポリアセタ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニト
ロセルロ−ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないし
シ−トから任意に選択して使用することができる。本発
明において、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、
一軸ないし二軸方向に延伸されたもの等のいずれのもの
でも使用することができる。また、その厚さは、任意で
あるが、数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使
用することができる。更に、本発明においては、フィル
ムないしシ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−シ
ョン成膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよ
い。

【００４１】次に、本発明において、上記のような材料
を使用して太陽電池モジュ−ルを製造する方法について
説明すると、かかる製造法としては、公知の方法、例え
ば、上記に挙げた本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トまた
は太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、
例えば、上記の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの
コ−ティング膜の面または樹脂フィルムの面を内側に
し、順次に、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池
素子、充填剤層、および、通常の太陽電池モジュ−ル用
裏面保護シ−ト層等を積層し、更に、必要ならば、各層
間に、その他の素材を任意に積層し、次いで、これら
を、真空吸引等により一体化して加熱圧着するラミネ−
ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体
成形体として加熱圧着成形して、太陽電池モジュ−ルを
製造することができる。上記において、必要ならば、各
層間の接着性等を高めるために、（メタ）アクリル系樹
脂、オレフィン系樹脂、ビニル系樹脂、その他等の樹脂
をビヒクルの主成分とする加熱溶融型接着剤、溶剤型接
着剤、光硬化型接着剤、その他等を使用することができ
る。

【００４２】また、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを製造する際に、各材料を積層する場合に、各積層対
向面面には、密接着性を向上させるために、必要に応じ
て、例えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若
しくは窒素ガス等を用いて低温プラズマ処理ないし大気
圧プラズマ処理、グロ−放電処理、化学薬品等を用いて
処理する酸化処理、その他等の前処理を任意に施すこと
ができる。更に、上記の表面前処理としては、その密着
性を改善する方法として、その他、例えば、各積層対向
面に、予め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤
層、あるいは、アンカ−コ−ト剤層等を任意に形成する
こともできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例
えば、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、アク
リル系樹脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組
成物を使用することができる。また、上記において、コ
−ト剤層の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、
あるいは、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−
ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、
その他等のコ−ト法を用いてコ−トすることができる。
更に、上記の表面前処理としては、その密着性を改善す
る方法として、各積層対向面に、前述の無機酸化物の蒸
着薄膜を形成する方法と同様にして、膜厚２０〜１００
Å位、好ましくは、膜厚３０〜６０Å位の薄く、バリア
性能のない無機酸化物の蒸着薄膜を形成し、これを表面
前処理層とすることもできる。

【００４３】

【実施例】次に、本発明について実施例を挙げて更に具
体的に説明する。 実施例１ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、その易接着処理
面に、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り出しロ−ル
に装着し、次いで、これをコ−ティングドラムの上に繰
り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着源に用
い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−ム（Ｅ
Ｂ）加熱方式による反応真空蒸着法により、膜厚５００
Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 （２）．次に、上記で膜厚５００Åの酸化アルミニウム
の蒸着薄膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化ア
ルミニウムの蒸着薄膜面に、グロ−放電プラズマ発生装
置を使用し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ
₂ ）：アルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１からなる混合ガ
スを使用し、混合ガス圧６Ｘ１０^-5Ｔｏｏｒ、処理速度
４２０ｍ／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガスプラズマ処
理を行ってプラズマ処理面を形成した。 （３）．次に、上記の酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプ
ラズマ処理面に、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体
（エチレン含有率３２モル％）のイオン交換水とｎ−プ
ロピルアルコ−ル（１／１）溶媒による１５％溶液を１
００重量部からなる樹脂組成物を使用し、これをグラビ
アロ−ルコ−ト法でコ−ティングして、厚さ１．１ｇ／
ｍ² （乾燥状態）のコ−ティング膜を形成し、次いで、
１２０℃で５分間加熱処理してコ−ティング硬化膜を形
成した。他方、基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化
ビニル樹脂フィルム（ＰＶＦ）を使用し、その一方の面
に、ベンゾトリアゾ−ル系紫外線吸収剤５重量％を含む
ポリエステルポリオ−ル樹脂とジイソシアネ−ト化合物
からなるポリウレタン系接着剤組成物をグラビアロ−ル
コ−ト法でコ−ティングして、厚さ１．０ｇ／ｍ ² （乾
燥状態）の接着剤層を形成し、次に、該接着剤層面に、
上記の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの
コ−ティング膜の面を対向させて、上記のポリフッ化ビ
ニル樹脂フィルムと２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムとをラミネ−トして、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素
子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン
−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その
太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤
層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−
ルを製造した。 （５）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィルム（ＰＶＦ）の
代わりに、厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレンとエ
チレンとのコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（Ｅ
ＴＦＥ）を使用し、それ以外は、上記の実施例１と全く
同様にして、同様な本発明にかかる保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。ま
た、上記において、接着剤層面に、上記の２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルムのコ−ティング膜の面
を対向させる代わりに、２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムの面を対向させて、上記と同様にして、
上記と同様に、本発明にかかる保護シ−ト、および、太
陽電池モジュ−ルを製造した。

【００４４】実施例２ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を上記の２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの易接着処理面
に形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 （２）．次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄
膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着
薄膜面に、出力、１０ｋＷ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎ
でコロナ放電処理を行って、蒸着薄膜面の表面張力を３
５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させたコロナ処理面
を形成した。 （３）．次に、上記の酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理
面に、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体（エチレン
含有率３２モル％）１０重量部、テトラエトキシシラン
３４重量部、水１５重量部、イソプロピルアルコ−ル１
０重量部、三級アミン触媒０．１７重量部、その他、エ
ポキシシラン３．４重量部からなる水性樹脂組成物を使
用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティングし
て、厚さ０．９ｇ／ｍ² （乾燥状態）のコ−ティング膜
を形成し、次いで、１２０℃で１分加熱処理してコ−テ
ィング硬化膜を形成した。他方、基材として、厚さ５０
μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィルム（ＰＶＦ）を使用
し、その一方の面に、ベンゾトリアゾ−ル系紫外線吸収
剤１．５重量％とヒンダ−ドアミン系光安定剤１．５重
量％を含むポリエステルポリオ−ル樹脂とジイソシアネ
−ト化合物からなるポリウレタン系接着剤組成物をグラ
ビアロ−ルコ−ト法でコ−ティングして、厚さ１．０ｇ
／ｍ² （乾燥状態）の接着剤層を形成し、次に、該接着
剤層面に、上記の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルムのコ−ティング膜の面を対向させて、上記のポ
リフッ化ビニル樹脂フィルムと２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムとをラミネ−トして、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素
子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン
−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その
太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤
層を介して順次に積層して、本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ルを製造した。 （５）．なお、上記において、基材としての厚さ５０μ
ｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代えて、
厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレンとエチレンとの
コポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）を
使用し、それ以外は、上記の実施例２と全く同様にし
て、同様な太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池
モジュ−ルを製造した。また、上記において、接着剤層
面に、上記の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルムのコ−ティング膜の面を対向させる代わりに、２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルムの面を対向させて、
上記と同様にして、上記と同様に、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジュ
−ルを製造した。

【００４５】実施例３ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、上記の実施例２
と全く同様にして、厚さ５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜
を、その易接着処理面に形成し、更に、その酸化珪素の
蒸着薄膜面に、コロナ放電処理面を形成した。 （２）．次に、上記の実施例１と全く同様にして、上記
の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの酸化
珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面に、膜厚５００Åの酸化
アルミニウムの蒸着薄膜を形成し、更に、酸化アルミニ
ウムの蒸着薄膜面に、プラズマ処理面を形成した。 （３）．次に、上記の酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプ
ラズマ処理面に、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体
（エチレン含有率３２モル％）１０重量部、テトラエト
キシシラン３４重量部、水１５重量部、イソプロピルア
ルコ−ル１０重量部、三級アミン触媒０．１７重量部、
その他、エポキシシラン３．４重量部からなる水性樹脂
組成物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法でコ−
ティングして、厚さ０．９ｇ／ｍ² （乾燥状態）のコ−
ティング膜を形成し、次いで、１２０℃で１分加熱処理
してコ−ティング硬化膜を形成した。他方、基材とし
て、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤を練り込み加工した
厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィルム（ＰＶ
Ｆ）を使用し、その一方の面に、超微粒子酸化チタン
（粒径、０．０１〜０．０６μｍ）系紫外線吸収剤１重
量％を混練した低密度ポリエチレンを使用し、これを厚
さ２０μｍに溶融押し出ししながら、上記の２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルムのコ−ティング膜の
面を対向させて、上記のポリフッ化ビニル樹脂フィルム
と２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムとを押
し出しラミネ−トした。更に、上記で製造したラミネ−
ト体のポリフッ化ビニル樹脂フィルムの他方の面（最表
面）に、粒径０．０３μｍの酸化チタン超微粒子１０重
量部とテトラエトキシシラン液９０重量部（固形分２０
％）とからなる光触媒塗工液をグラビアロ−ルコ−ト法
を用いて塗布し、膜厚１ｇ／ｍ² （乾燥状態）の防汚層
を形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素
子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン
−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その
太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤
層を介して順次に積層して、本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ルを製造した。 （５）．なお、上記において、ポリフッ化ビニル樹脂フ
ィルム（ＰＶＦ）の代わりに、ベンゾフェノン系紫外線
吸収剤を練り込み加工した厚さ５０μｍのテトラフルオ
ロエチレンとエチレンとのコポリマ−からなるフッ素樹
脂シ−ト（ＥＴＦＥ）を使用し、それ以外は、上記の実
施例３と全く同様にして、同様な太陽電池モジュ−ル用
保護シ−ト、太陽電池モジュ−ルを製造することができ
た。また、上記において、接着剤層面に、上記の２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムのコ−ティング
膜の面を対向させる代わりに、２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムの面を対向させて、上記と同様にして、
上記と同様に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００４６】実施例４ 上記の実施例１と全く同様にして、厚さ１２μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの一方の面
に、膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成
し、更に、プラズマ処理面を形成した。次に、上記で形
成した酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面
に、更に、上記の実施例１と同様にして、膜厚５００Å
の酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成し、更に、該酸化
アルミニウムの蒸着薄膜面にプラズマ処理面を形成し
た。しかる後、上記で形成した酸化アルミニウムの蒸着
薄膜のプラズマ処理面に、エチレン−ビニルアルコ−ル
共重合体（エチレン含有率３２モル％）のイオン交換水
とｎ−プロピルアルコ−ル（１／１）溶媒による１５％
溶液を１００重量部に対し、ポリエチレンイミン（日本
触媒化学株式会社製）の５％溶液を２０重量部添加樹脂
組成物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法でコ−
ティングして、厚さ１．１ｇ／ｍ² （乾燥状態）のコ−
ティング膜を形成し、次いで、１２０℃で５分間加熱処
理してコ−ティング硬化膜を形成した。次いで、上記の
実施例１と全く同様にして、本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−トを製造した。次に、上記で製造し
た太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−トとして使用し、その２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム面に、厚さ４００μｍの
エチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシ
リコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８
μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、
厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−
ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレ
フタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向け
て、アクリル系樹脂の接着剤層を介して順次に積層し
て、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００４７】実施例５ 上記の実施例２と全く同様にして、厚さ１２μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの一方の面
に、膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成し、更
に、コロナ処理面を形成した。次に、上記で形成した酸
化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面に、更に、上記の実施
例２と同様にして、膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜
を形成し、更に、該酸化珪素の蒸着薄膜面にコロナ処理
面を形成した。しかる後、上記で形成した酸化珪素の蒸
着薄膜のプラズマ処理面に、エチレン−ビニルアルコ−
ル共重合体（エチレン含有率３２モル％）のイオン交換
水とｎ−プロピルアルコ−ル（１／１）溶媒による１５
％溶液を１００重量部からなる樹脂組成物を使用し、こ
れをグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティングして、厚さ
１．１ｇ／ｍ² （乾燥状態）のコ−ティング膜を形成
し、次いで、１２０℃で５分間加熱処理してコ−ティン
グ硬化膜を形成した。次いで、上記の実施例２と全く同
様にして、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ
−トを製造した。次に、上記で製造した太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トとして使用し、その２軸延伸ポリエチレンテレフタレ
−トフィルム面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビ
ニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太
陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍの
エチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５
０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
を、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂
の接着剤層を介して順次に積層して、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造した。

【００４８】実施例６ 上記の実施例１と全く同様にして製造した酸化アルミニ
ウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、エチレン−ビニル
アルコ−ル共重合体（エチレン含有率３２モル％）のイ
オン交換水とｎ−プロピルアルコ−ル（１／１）溶媒に
よる１５％溶液を１００重量部に対し、カルボジイミド
の同一溶媒による３０％溶液を１重量部添加してなる樹
脂組成物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法でコ
−ティングして、厚さ１．１ｇ／ｍ² （乾燥状態）のコ
−ティング膜を形成し、次いで、１２０℃で５分間加熱
処理してコ−ティング硬化膜を形成した。次いで、上記
の実施例１と全く同様にして、本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用保護シ−トを製造した。次に、上記で製造
した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トとして使用し、その２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルム面に、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向
けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して順次に積層し
て、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００４９】実施例７ 基材として、厚さ５０μｍのポリジシクロペンタジエン
系樹脂フィルムを使用し、その易接着処理面に、上記の
実施例１と同様にして、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加
熱方式による反応真空蒸着法により、膜厚５００Åの酸
化アルミニウムの蒸着薄膜を形成し、更に、その酸化ア
ルミニウムの蒸着薄膜面に、プラズマ処理を行ってプラ
ズマ処理面を形成した。しかる後、上記で形成した酸化
アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、以下、上
記の実施例１と全く同様にして、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。次に、上記で製
造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジ
ュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、その２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルム面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向
けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して順次に積層し
て、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５０】実施例８ 基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエ
ン系樹脂フィルムを使用し、その易接着処理面に、上記
の実施例２と同様にして、プラズマ化学気相成長法によ
り、膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成し、更
に、その酸化珪素の蒸着薄膜面に、コロナ放電処理を行
ってコロナ処理面を形成した。しかる後、上記で形成し
た酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面に、以下、上記の
実施例２と全く同様にして、本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−トを製造した。次に、上記で製造し
た太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−トとして使用し、その２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム面に、厚さ４００μｍの
エチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシ
リコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８
μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、
厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−
ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレ
フタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向け
て、アクリル系樹脂の接着剤層を介して順次に積層し
て、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５１】実施例９ （１）．上記の実施例１で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、上
記の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルム面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系
樹脂の接着剤層を介して順次に積層して、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィルム（ＰＶＦ）の
代わりに、厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレンとエ
チレンとのコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（Ｅ
ＴＦＥ）を使用し、それ以外は、上記の実施例１と全く
同様にして、同様な本発明にかかる保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。ま
た、上記において、接着剤層面に、上記の２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルムのコ−ティング膜の面
を対向させる代わりに、２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムの面を対向させて、上記と同様にして、
上記と同様に、本発明にかかる保護シ−ト、および、太
陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５２】実施例１０ （１）．上記の実施例２で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、上
記の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルム面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系
樹脂の接着剤層を介して順次に積層して、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、基材としての厚さ５０μ
ｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代えて、
厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレンとエチレンとの
コポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）を
使用し、それ以外は、上記の実施例２と全く同様にし
て、同様な太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池
モジュ−ルを製造した。また、上記において、接着剤層
面に、上記の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルムのコ−ティング膜の面を対向させる代わりに、２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルムの面を対向させて、
上記と同様にして、上記と同様に、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジュ
−ルを製造した。

【００５３】実施例１１ （１）．上記の実施例３で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、上
記の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルム面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系
樹脂の接着剤層を介して順次に積層して、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、ポリフッ化ビニル樹脂フ
ィルム（ＰＶＦ）の代わりに、ベンゾフェノン系紫外線
吸収剤を練り込み加工した厚さ５０μｍのテトラフルオ
ロエチレンとエチレンとのコポリマ−からなるフッ素樹
脂シ−ト（ＥＴＦＥ）を使用し、それ以外は、上記の実
施例３と全く同様にして、同様な太陽電池モジュ−ル用
保護シ−ト、太陽電池モジュ−ルを製造することができ
た。また、上記において、接着剤層面に、上記の２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムのコ−ティング
膜の面を対向させる代わりに、２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムの面を対向させて、上記と同様にして、
上記と同様に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５４】実施例１２ 上記の実施例４で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ
−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルム面に、厚さ４００μｍのエチ
レン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコ
ンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍ
の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ
４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、お
よび、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、
その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接
着剤層を介して順次に積層して、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ルを製造した。

【００５５】実施例１３ 上記の実施例５で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ
−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルム面に、厚さ４００μｍのエチ
レン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコ
ンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍ
の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ
４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、お
よび、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、
その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接
着剤層を介して順次に積層して、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ルを製造した。

【００５６】実施例１４ （１）．上記の実施例１で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、順次に、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４０
０μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモル
ファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した
厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフ
ィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−トを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリ
ル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィルム（ＰＶＦ）の
代わりに、厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレンとエ
チレンとのコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（Ｅ
ＴＦＥ）を使用し、それ以外は、上記の実施例１と全く
同様にして、同様な本発明にかかる保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。ま
た、上記において、接着剤層面に、上記の２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルムのコ−ティング膜の面
を対向させる代わりに、２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムの面を対向させて、上記と同様にして、
上記と同様に、本発明にかかる保護シ−ト、および、太
陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５７】実施例１５ （１）．上記の実施例２で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、順次に、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル
樹脂シ−ト（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上
記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを
製造した。 （２）．なお、上記において、基材としての厚さ５０μ
ｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代えて、
厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレンとエチレンとの
コポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）を
使用し、それ以外は、上記の実施例２と全く同様にし
て、同様な太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池
モジュ−ルを製造した。また、上記において、接着剤層
面に、上記の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルムのコ−ティング膜の面を対向させる代わりに、２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルムの面を対向させて、
上記と同様にして、上記と同様に、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジュ
−ルを製造した。

【００５８】実施例１６ （１）．上記の実施例３で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、順次に、厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−ト、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上
記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを
製造した。 （２）．なお、上記において、ポリフッ化ビニル樹脂フ
ィルム（ＰＶＦ）の代わりに、ベンゾフェノン系紫外線
吸収剤を練り込み加工した厚さ５０μｍのテトラフルオ
ロエチレンとエチレンとのコポリマ−からなるフッ素樹
脂シ−ト（ＥＴＦＥ）を使用し、それ以外は、上記の実
施例３と全く同様にして、同様な太陽電池モジュ−ル用
保護シ−ト、太陽電池モジュ−ルを製造することができ
た。また、上記において、接着剤層面に、上記の２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムのコ−ティング
膜の面を対向させる代わりに、２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムの面を対向させて、上記と同様にして、
上記と同様に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５９】比較例１ 基材として、厚さ３ｍｍのガラス板を使用し、これを太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トとし、かつ、これを太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、その片
面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を
並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して順次に積層して、太陽電池モジュ−ルを製造し
た。

【００６０】比較例２ 基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエ
ン樹脂シ−トを使用し、これを太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トとし、かつ、これを太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トとして使用し、その片面に、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向
けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して順次に積層し
て、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００６１】比較例３ 基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィ
ルム（ＰＶＦ）を使用し、これを太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トとし、かつ、これを太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−トとして使用し、その片面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向
けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して順次に積層し
て、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００６２】比較例４ 基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエ
ン樹脂シ−トを使用し、これを太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トとし、かつ、これを太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとし
て使用し、その太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの
片面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子
を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−
酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モ
ジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池素子面を上
に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して順次に積
層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００６３】比較例５ 基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィ
ルム（ＰＶＦ）を使用し、これを太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トとし、かつ、これを太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、その太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト
の片面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素
子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン
−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池素子面を
上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して順次に
積層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００６４】実験例 上記の実施例１〜１６で製造した本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用保護シ−トと比較例１〜５にかかる太陽
電池モジュ−ル用保護シ−トについて、全光線透過率を
測定し、また、上記の実施例１〜１６で製造した太陽電
池モジュ−ルと比較例１〜５で製造した太陽電池モジュ
−ルについて太陽電池モジュ−ル評価試験を行った。 （１）．全光線透過率の測定 これは、基材シ−トを基準とし、実施例１〜１６で製造
した本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トと
比較例１〜５にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト
についてカラ−コンピュ−タ−により全光線透過率
（％）を測定した。 （２）．太陽電池モジュ−ル評価試験 これは、ＪＩＳ規格Ｃ８９１７−１９８９に基づいて、
太陽電池モジュ−ルの環境試験を行い、試験前後の光起
電力の出力を測定して、比較評価した。 （３）．水蒸気透過度と酸素透過度の測定 水蒸気透過度は、実施例１〜１６で製造した本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トと比較例１〜５に
かかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについて、温度
４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯ
ＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−マトラン（ＰＥＲ
ＭＡＴＲＡＮ）〕にて測定し、更に、酸素透過度は、上
記と同様の対象物について、温度２３℃、湿度９０％Ｒ
Ｈの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機
〔機種名、オクストラン（ＯＸＴＲＡＮ）〕にて測定し
た。上記の測定結果について下記の表１に示す。

【００６５】 上記の表１において、水蒸気透過度は、〔ｇ／ｍ² ／ｄ
ａｙ・４０℃・１００％ＲＨ〕の単位であり、また、酸
素透過度は、〔ｃｃ／ｍ² ／ｄａｙ・２３℃・９０％Ｒ
Ｈ〕の単位である。

【００６６】上記の表１に示す測定結果より明らかなよ
うに、実施例１〜１６のものは、全光線透過率が高く、
また、水蒸気バリア性、酸素バリア性に優れており、更
に、その出力低下率も低いものであった。これに対し、
比較例１〜５のものは、全光線透過率が高いものの、水
蒸気バリア性、酸素バリア性に劣り、そのため、その出
力低下率が、高いという問題点があった。

【００６７】

【発明の効果】以上の説明で明らかなよう、本発明は、
まず、フッ素系樹脂シ−トを基材シ−トとして使用し、
他方、その片面に、酸化珪素、あるいは、酸化アルミニ
ウム等の透明な、ガラス質からなる無機酸化物の蒸着薄
膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、エチ
レン−ビニルアルコ−ル共重合体をビヒクルの主成分と
する樹脂組成物によるコ−ティング膜を設けた樹脂フィ
ルムを製造し、而して、上記のフッ素系樹脂シ−トと、
無機酸化物の蒸着薄膜およびコ−ティング膜を有する樹
脂フィルムとを、例えば、耐光性接着剤層等を介して、
積層して太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造し、而
して、該太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モ
ジュ−ル用表面保護シ−トまたは太陽電池モジュ−ル用
裏面保護シ−トとして使用し、例えば、上記の太陽電池
モジュ−ル用表面保護シ−トの一方の面を内側にし、充
填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤
層、および、通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
ト層等を順次に積層し、次いで、これらを一体的に真空
吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して太
陽電池モジュ−ルを製造して、太陽光の透過性に優れ、
かつ、強度に優れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐
光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚
性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵
入を防止する防湿性を著しく向上させ、その長期的な性
能劣化を最小限に抑え、極めて耐久性に富み、その保護
能力が高く、かつ、より低コストで安全な太陽電池モジ
ュ−ルを安定的に製造することができるというものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図２】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図３】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図４】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図５】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図６】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。

【図７】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。

【図８】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。

【図９】物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を
形成する方法についてその概要を示す巻き取り式真空蒸
着装置の概略的構成図である。

【図１０】化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜
を形成する方法についてその概要を示す低温プラズマ化
学気相成長装置の概略的構成図である。

【符号の説明】

Ａ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ₁ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ₂ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ₃ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ₄ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト １ フッ素系樹脂シ−ト ２ 無機酸化物の蒸着薄膜 ２ａ 無機酸化物の蒸着薄膜 ２ｂ 無機酸化物の蒸着薄膜 ３ コ−ティング膜 ４ 樹脂フィルム ５ 耐光性接着剤層 ６ 多層膜 ７ 複合膜 Ｔ 太陽電池モジュ−ル Ｔ₁ 太陽電池モジュ−ル Ｔ₂ 太陽電池モジュ−ル １１ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト １２ 充填剤層 １３ 太陽電池素子 １４ 充填剤層 １５ 裏面保護シ−ト １６ 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト １７ 表面保護シ−ト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴浦 泰樹 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 後藤 貴和 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 新尾 栄樹 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 續木 淳朗 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 4F100 AA17B AA19B AA20B AG00B AH08C AK01C AK03C AK07C AK17A AK25C AK41C AK46C AK69C AR00D AS00C BA03 BA04 BA07 BA10A BA10C BA10D CA02C CA06A CA06G CA07A CA07G CB00 CC00C EH17G EH66B GB41 JB01 JB06 JJ03 JK01 JL06 JL06D JL09 JN01 JN01A JN01B JN30G 5F051 BA14 BA18 EA01 GA05 GA06 HA19 HA20 JA05

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フッ素系樹脂シ−トと、無機酸化物の蒸
   着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、
   エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体をビヒクルの主成
   分とする樹脂組成物によるコ−ティング膜を設けた樹脂
   フィルムとを積層したことを特徴とする太陽電池モジュ
   −ル用保護シ−ト。
2. 【請求項２】 フッ素系樹脂シ−トと、無機酸化物の蒸
   着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、
   エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体をビヒクルの主成
   分とする樹脂組成物によるコ−ティング膜を設けた樹脂
   フィルムとを積層して太陽電池モジュ−ル用表面保護シ
   −トを構成することを特徴とする太陽電池モジュ−ル用
   保護シ−ト。
3. 【請求項３】 フッ素系樹脂シ−トと、無機酸化物の蒸
   着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、
   エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体をビヒクルの主成
   分とする樹脂組成物によるコ−ティング膜を設けた樹脂
   フィルムとを積層して太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
   −トを構成することを特徴とする太陽電池モジュ−ル用
   保護シ−ト。
4. 【請求項４】 耐光性接着剤層、または、耐光性溶融押
   し出し接着剤層を介して、積層することを特徴とする上
   記の請求項１〜３に記載する太陽電池モジュ−ル用保護
   シ−ト。
5. 【請求項５】 フッ素系樹脂シ−トが、可視光透過率９
   ０％以上であることを特徴とする上記の請求項１〜４に
   記載する太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト。
6. 【請求項６】 フッ素系樹脂シ−トが、紫外線吸収剤お
   よび／または酸化防止剤を含有することを特徴とする上
   記の請求項１〜５に記載する太陽電池モジュ−ル用保護
   シ−ト。
7. 【請求項７】 フッ素系樹脂シ−トが、その他方の片面
   （最表面）に防汚層を設けてなることを特徴とする上記
   の請求項１〜６に記載する太陽電池モジュ−ル用保護シ
   −ト。
8. 【請求項８】 無機酸化物の蒸着薄膜が、無機酸化物の
   蒸着薄膜の１層若しくは２層以上の多層膜、または、異
   種の無機酸化物の蒸着薄膜の２層以上の複合膜からなる
   ことを特徴とする上記の請求項１〜７に記載する太陽電
   池モジュ−ル用保護シ−ト。
9. 【請求項９】 エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体
   が、エチレン含有率２５〜５０モル％であることを特徴
   とする上記の請求項１〜８に記載する太陽電池モジュ−
   ル用保護シ−ト。
10. 【請求項１０】 樹脂組成物が、金属アルコキシド化合
    物および／またはその加水分解物を含むことを特徴とす
    る上記の請求項１〜９に記載する太陽電池モジュ−ル用
    保護シ−ト。
11. 【請求項１１】 樹脂組成物が、架橋剤を含むことを特
    徴とする上記の請求項１〜１０に記載する太陽電池モジ
    ュ−ル用保護シ−ト。
12. 【請求項１２】 樹脂組成物が、無機酸化物の蒸着薄膜
    との密接着性に富むポリマ−を含むことを特徴とする上
    記の請求項１〜１１に記載する太陽電池モジュ−ル用保
    護シ−ト。
13. 【請求項１３】 樹脂組成物が、シランカップリング剤
    を含むことを特徴とする上記の請求項１〜１２に記載す
    る太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト。
14. 【請求項１４】 樹脂フィルムが、二軸延伸ポリエステ
    ル系樹脂フィルム、二軸延伸ポリアミド系樹脂フィル
    ム、二軸延伸ポリプロピレン系樹脂フィルム、二軸延伸
    ポリアクリル系樹脂フィルム、または、二軸延伸環状ポ
    リオレフィン系樹脂フィルムからなることを特徴とする
    上記の請求項１〜１３に記載する太陽電池モジュ−ル用
    保護シ−ト。
15. 【請求項１５】 耐光性接着剤層、または、耐光性溶融
    押し出し接着剤層、が、紫外線吸収剤および／または酸
    化防止剤を含むことを特徴とする上記の請求項４〜１４
    に記載する太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト。
16. 【請求項１６】 フッ素系樹脂シ−トと、無機酸化物の
    蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上
    に、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体をビヒクルの
    主成分とする樹脂組成物によるコ−ティング膜を設けた
    樹脂フィルムとを積層した太陽電池モジュ−ル用表面保
    護シ−トの一方の面に、充填剤層、光起電力素子として
    の太陽電池素子、充填剤層、および、太陽電池モジュ−
    ル用裏面保護シ−トを順次に積層し、これらを真空吸引
    して加熱圧着ラミネ−ション法等により一体成形体とし
    たことを特徴とする太陽電池モュジュ−ル。
17. 【請求項１７】 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト
    の一方の面に、充填剤層、光起電力素子としての太陽電
    池素子、充填剤層、および、フッ素系樹脂シ−トと、無
    機酸化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着
    薄膜の上に、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体をビ
    ヒクルの主成分とする樹脂組成物によるコ−ティング膜
    を設けた樹脂フィルムとを積層した太陽電池モジュ−ル
    用裏面保護シ−トを順次に積層し、これらを真空吸引し
    て加熱圧着ラミネ−ション法等により一体成形体とした
    ことを特徴とする太陽電池モュジュ−ル。
18. 【請求項１８】 フッ素系樹脂シ−トと、無機酸化物の
    蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上
    に、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体をビヒクルの
    主成分とする樹脂組成物によるコ−ティング膜を設けた
    樹脂フィルムとを積層した太陽電池モジュ−ル用表面保
    護シ−トの一方の面に、充填剤層、光起電力素子として
    の太陽電池素子、充填剤層、および、フッ素系樹脂シ−
    トと、無機酸化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化
    物の蒸着薄膜の上に、エチレン−ビニルアルコ−ル共重
    合体をビヒクルの主成分とする樹脂組成物によるコ−テ
    ィング膜を設けた樹脂フィルムとを積層した太陽電池モ
    ジュ−ル用裏面保護シ−トを順次に積層し、これらを真
    空吸引して加熱圧着ラミネ−ション法等により一体成形
    体としたことを特徴とする太陽電池モュジュ−ル。