JP2003092421A - 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、防湿性、防汚性、そ
の他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防
止する防湿性を著しく向上させ、その長期的な性能劣化
を最小限に抑え、特に、加水分解劣化等を防止し、極め
て耐久性に富み、その保護能力性に優れ、かつ、より低
コストで安全な太陽電池用裏面保護シ−トおよびそれを
使用した太陽電池モジュ−ルを安定的に提供することで
ある。 【解決手段】 基材フィルムの一方の面に、無機酸化物
の蒸着膜を設け、更に、上記の無機酸化物の蒸着膜を設
けた基材フィルムの一方の面に、白色化剤と紫外線吸収
剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂
フィルムを積層し、その他方の面に、ヒ−トシ−ル性樹
脂層を積層することを特徴とする太陽電池モジュ−ル用
裏面保護シ−ト等およびそれを使用した太陽電池モジュ
−ルに関するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルに関するものであり、更に詳しくは、強度に優
れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、光反射性、
光拡散性、意匠性、その他等の諸特性に優れ、極めて耐
久性に富み、保護能力性に優れた太陽電池モジュ−ル用
裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、環境問題に対する意識の高まりか
ら、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目さ
れ、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開
発され、提案されている。一般に、上記の太陽電池モジ
ュ−ルは、例えば、結晶シリコン太陽電池素子あるいは
アモルファスシリコン太陽電池素子等を製造し、そのよ
うな太陽電池素子を使用し、表面保護シ−ト層、充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
よび、裏面保護シ−ト層等の順に積層し、真空吸引して
加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して製造されて
いる。而して、上記の太陽電池モジュ−ルは、当初、電
卓への適用を始めとし、その後、各種の電子機器等に応
用され、民生用の利用として、その応用範囲は急速に広
まりつつあり、更に、今後、最も重要な課題として、大
規模集中型太陽電池発電の実現であるとされている。と
ころで、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護
シ−ト層としては、現在、強度に優れたプラスチック基
材等が、最も一般的に使用され、その他、金属板等も使
用されている。而して、一般に、太陽電池モジュ−ルを
構成する裏面保護シ−ト層としては、例えば、強度に優
れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、光反射性、光拡散性、意匠性
等の諸堅牢性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止
する防湿性に優れ、更に、表面硬度が高く、かつ、表面
の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優れ、極めて
耐久性に富み、その保護能力性が高いこと、その他等の
条件を充足することが必要とされている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例え
ば、太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層と
して、現在、最も一般的に使用されている強度に優れた
プラスチック基材等を使用する場合には、可塑性、軽量
性、加工性、施工性、低コスト化等に富むものではある
が、強度、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐薬品
性、光反射性、光拡散性、耐衝撃性、その他等の諸堅牢
性に劣り、特に、防湿性、防汚性、意匠性等に欠けると
いう問題点がある。また、太陽電池モジュ−ルを構成す
る裏面保護シ−ト層として、金属板等を使用する場合に
は、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光
性、耐薬品性、耐突き刺し性、耐衝撃性、その他等の諸
堅牢性に優れ、また、防湿性等にも優れ、更に、表面硬
度が硬く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する
防汚性に優れ、その保護能力性が極めて高い等の利点を
有するが、可塑性、軽量性、光反射性、光拡散性、意匠
性等に欠け、更に、その加工性、施工性等に劣り、か
つ、低コスト化等に欠けるという問題点がある。そこで
本発明者は、先に、基材フィルムの片面に、無機酸化物
の蒸着膜を設け、更に、上記の無機酸化物の蒸着膜を設
けた基材フィルムの両面に、白色化剤と紫外線吸収剤と
を含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムを積層す
ることを特徴とする太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルを提案した
（特願平１１−２８８９６１号、特開２００１−１１１
０７７号公報参照）。しかしながら、上記で提案した太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用し
た太陽電池モジュ−ルは、太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等において必要とされる
上記に挙げた諸特性、諸条件等をそれなりに充足し得る
ものではあるが、未だ十分に満足し得るものではなく更
に改善の余地があり、特に、耐湿熱性等に劣り、しばし
ば、水分等の作用により加水分解劣化等を生じるという
問題点を有するものである。そこで本発明は、強度に優
れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、光反射性、
光拡散性、意匠性、その他等の諸特性に優れ、特に、水
分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、
その長期的な性能劣化を最小限に抑え、特に、水分等の
作用による加水分解劣化等を防止し、極めて耐久性に富
み、その保護能力性に優れ、かつ、より低コストで安全
な太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−トおよび
それを使用した太陽電池モジュ−ルを安定的に提供する
ことである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者は、太陽電池モ
ジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層について、上記の
ような問題点を解決すべく種々研究の結果、まず、基材
フィルムの一方の面に、酸化珪素、あるいは、酸化アル
ミニウム等のガラス質からなる透明な、かつ、水蒸気バ
リア性、酸素バリア性等に優れた無機酸化物の蒸着膜を
設け、更に、上記で無機酸化物の蒸着膜を設けた基材フ
ィルムの一方の面に、白色化剤と紫外線吸収剤と光安定
化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムを
積層し、その他方の面に、ヒ−トシ−ル性樹脂層を積層
し、または、上記の無機酸化物の蒸着膜を設けた基材フ
ィルムの２層以上を重層し、更に、上記で重層した重層
体の一方の面に、白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤
とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムを積層
し、その他方の面に、ヒ−トシ−ル性樹脂層を積層し、
あるいは、上記の無機酸化物の蒸着膜を設けた基材フィ
ルムの２層以上を強靱性樹脂フィルムを介して重層し、
更に、上記で重層した重層体の一方の面に、白色化剤と
紫外線吸収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピ
レン系樹脂フィルムを積層し、その他方の面に、ヒ−ト
シ−ル性樹脂層を積層して太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−トを製造し、而して、該太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、例えば、ガラス板等からなる通
常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、充填剤層、
光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の一方のヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対向させて順次に
積層し、次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱圧
着するラミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ−
ルを製造したところ、強度に優れ、更に、耐候性、耐熱
性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、
防汚性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等
の侵入を防止する防湿性に優れ、また、光反射性、光拡
散性、意匠性等についても著しく向上させ、その長期的
な性能劣化を最小限に抑え、特に、水分等による加水分
解劣化等を防止し、極めて耐久性に富み、保護能力性に
優れ、かつ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ル
を安定的に製造し得ることを見出して本発明を完成した
ものである。

【０００５】すなわち、本発明は、基材フィルムの一方
の面に、無機酸化物の蒸着膜を設け、更に、上記の無機
酸化物の蒸着膜を設けた基材フィルムの一方の面に、白
色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポ
リプロピレン系樹脂フィルムを積層し、その他方の面
に、ヒ−トシ−ル性樹脂層を積層することを特徴とする
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、または、基材フ
ィルムの一方の面に、無機酸化物の蒸着膜を設け、か
つ、上記の無機酸化物の蒸着膜を設けた基材フィルムの
２層以上を重層し、更に、上記で重層した重層体の一方
の面に、白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤とを含む
耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムを積層し、その
他方の面に、ヒ−トシ−ル性樹脂層を積層することを特
徴とする太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、あるい
は、基材フィルムの一方の面に、無機酸化物の蒸着膜を
設け、かつ、上記の無機酸化物の蒸着膜を設けた基材フ
ィルムの２層以上を強靱性樹脂フィルムを介して重層
し、更に、上記で重層した重層体の一方の面に、白色化
剤と紫外線吸収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプ
ロピレン系樹脂フィルムを積層し、その他方の面に、ヒ
−トシ−ル性樹脂層を積層することを特徴とする太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太
陽電池モジュ−ルに関するものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】上記の本発明について以下に図面
等を用いて更に詳しく説明する。なお、本発明におい
て、シ−トとは、シ−ト状物ないしフィルム状物のいず
れの場合も意味するものであり、また、フィルムとは、
フィルム状物ないしシ−トシ−ト状物のいずれの場合も
意味するものである。本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルについてその層構成を図面等を用いて更に具体的
に説明すると、図１、図２および図３は、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの層構成につい
てその二三例を例示する概略的断面図であり、図４およ
び図５は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−トを構成する無機酸化物の蒸着膜の層構成につい
てその他の例を例示する概略的断面図であり、図６は、
図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルの層構
成についてその一例を例示する概略的断面図である。

【０００７】まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トＡは、図１に示すように、基材フィル
ム１の一方の面に、無機酸化物の蒸着膜２を設け、更
に、上記の無機酸化物の蒸着膜２を設けた基材フィルム
１の一方の面に、白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤
とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルム３を積
層し、その他方の面に、ヒ−トシ−ル性樹脂層４を積層
した構成からなるものである。または、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トＡ₁ は、図２に示
すように、基材フィルム１の一方の面に、無機酸化物の
蒸着膜２を設け、かつ、上記の無機酸化物の蒸着膜２を
設けた基材フィルム１の２層以上を重層し、更に、上記
で重層した重層体５の一方の面に、白色化剤と紫外線吸
収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹
脂フィルム３を積層し、その他方の面に、ヒ−トシ−ル
性樹脂層４を積層した構成からなるものである。あるい
は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トＡ₂ は、図３に示すように、基材フィルム１の一方の
面に、無機酸化物の蒸着膜２を設け、かつ、上記の無機
酸化物の蒸着膜２を設けた基材フィルム１の２層以上を
強靱性樹脂フィルム６を介して重層し、更に、上記で重
層した重層体５ａの一方の面に、白色化剤と紫外線吸収
剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂
フィルム３を積層し、その他方の面に、ヒ−トシ−ル性
樹脂層４を積層した構成からなるものである。上記の例
示は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トについてその二三例を例示するものであり、本発明
は、これによって限定されるものではないことは勿論で
ある。

【０００８】上記において、ポリプロピレン系樹脂フィ
ルムを積層するには、例えば、図示しないが、ラミネ−
ト用接着剤層を介して、白色化剤と紫外線吸収剤と光安
定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルム
をドライラミネ−トして積層するドライラミネ−ト積層
方式、あるいは、アンカ−コ−ト剤等による接着助剤
層、溶融押出樹脂層等を介して、白色化剤と紫外線吸収
剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂
フィルムを溶融押出積層する溶融押出積層方式、更に
は、アンカ−コ−ト剤等による接着助剤層等を介して、
白色化剤と紫外線吸収剤とを含む耐熱性のポリプロピレ
ン系樹脂組成物を押出積層して白色化剤と紫外線吸収剤
と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フ
ィルムを押出積層する溶融押出積層方式または、白色化
剤と紫外線吸収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプ
ロピレン系樹脂組成物を通常の塗布法あるいは印刷法等
を用いて塗布ないし印刷して、耐熱性のポリプロピレン
系樹脂層からなる塗布膜あるいは印刷膜を形成する塗布
方式あるいは印刷方式等で行うことができる。

【０００９】また、本発明において、ヒ−トシ−ル性樹
脂層を積層する方式としては、上記のポリプロピレン系
樹脂フィルムを積層する方式と同様に、図示しないが、
例えば、ラミネ−ト用接着剤層を介して、ヒ−トシ−ル
性樹脂フィルムをドライラミネ−トして積層するドライ
ラミネ−ト積層方式、あるいは、アンカ−コ−ト剤等に
よる接着助剤層、溶融押出樹脂層等を介して、ヒ−トシ
−ル性樹脂フィルムを溶融押出積層する溶融押出積層方
式、更には、アンカ−コ−ト剤等による接着助剤層等を
介して、ヒ−トシ−ル性樹脂を押出積層してヒ−トシ−
ル性樹脂層を形成する溶融押出積層方式、または、ヒ−
トシ−ル性樹脂の１種ないし２種以上をビヒクルの主成
分とするヒ−トシ−ル性樹脂組成物を通常の塗布法ある
いは印刷法等を用いて塗布ないし印刷して、ヒ−トシ−
ル性樹脂膜からなる塗布膜あるいは印刷膜を形成する塗
布方式あるいは印刷方式等で行うことができる。

【００１０】また、上記において、無機酸化物の蒸着膜
を設けた基材フィルムの２層以上を重層するには、図示
しないが、例えば、無機酸化物の蒸着膜を設けた基材フ
ィルムにおいて、その一方の無機酸化物の蒸着膜の面と
他方の基材フィルムの面、あるいは、一方の基材フィル
ムの面と他方の基材フィルムの面、更には、一方の無機
酸化物の蒸着膜の面と他方の無機酸化物の蒸着膜の面等
のいずれの面を対向させて重層させることができるもの
であり、また、その重層方式としては、上記のラミネ−
ト用接着剤層を介して積層するドライラミネ−ト積層方
式、あるいは、アンカ−コ−ト剤等による接着助剤層、
溶融押出樹脂層等を介して積層する溶融押出積層方式等
のいずれの積層方式でも行い得るものである。更に、本
発明においては、例えば、図示しないが、上記のドライ
ラミネ−ト積層方式と、溶融押出積層方式とを組み合わ
せて、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造する
こともできるものである。

【００１１】また、上記において、無機酸化物の蒸着膜
を設けた基材フィルムの２層以上を強靱性樹脂フィルム
を介して重層するには、図示しないが、上記と同様に、
例えば、上記のラミネ−ト用接着剤層を介して積層する
ドライラミネ−ト積層方式、あるいは、アンカ−コ−ト
剤等による接着助剤層、溶融押出樹脂層等を介して積層
する溶融押出積層方式等のいずれの積層方式でも行い得
るものであり、また、その重層に際しては、無機酸化物
の蒸着膜の面、基材フィルムの面、および、強靱性樹脂
フィルムの面等のいずれの面を対向させて重ね合わせて
重層させてもよいものである。

【００１２】更に、上記の図１〜３に示す太陽電池モジ
ュ−ル用裏面保護シ−トにおいて、無機酸化物の蒸着膜
としては、図４、図５等に示すように、後述する物理気
相成長法による無機酸化物の蒸着膜の２層以上、あるい
は、化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜の２層以
上のように、無機酸化物の蒸着膜２、２の２層以上を重
層した多層膜２ａ（図４）、あるいは、後述する物理気
相成長法による無機酸化物の蒸着膜２ｂと、化学気相成
長法による無機酸化物の蒸着膜２ｃとの異種の無機酸化
物の蒸着膜２ｂ、２ｃの２層以上を重層した複合膜２ｄ
（図５）等で構成することができるものである。

【００１３】次に、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを使用して製
造した太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示する
と、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図６
に示すように、まず、通常の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−ト１１、充填剤層１２、光起電力素子としての
太陽電池素子１３、充填剤層１４、および、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１５（Ａ）を、その一
方のヒ−トシ−ル性樹脂層４の面を対向させて順次に積
層し、次いで、これらを一体として、真空吸引して加熱
圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、
上記の各層を一体成形体として太陽電池モジュ−ルＴを
製造することができる。上記の例示は、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを使用して製造し
た太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示するもの
であり、本発明はこれにより限定されるものではない。
例えば、図示しないが、上記の図２〜図３等に示す太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを使用し、上記と同様
にして、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルを製造
することができ、また、上記の太陽電池モジュ−ルにお
いては、太陽光の吸収性、補強、その他等の目的のもと
に、更に、他の層を任意に加えて積層することができる
ものである。

【００１４】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用し
た太陽電池モジュ−ルを構成する材料、製造法等につい
て更に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成する基材フィルムとしては、基本的には、無機酸
化物の蒸着膜等を形成する際の蒸着条件、その他等に耐
え、かつ、それらの無機酸化物の蒸着膜等との密接着性
に優れ、それらの膜の特性を損なうことなく良好に保持
し得ることができ、また、強度に優れ、かつ、耐候性、
耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性等の諸堅牢性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防
止する防湿性に優れ、また、表面硬度が高く、かつ、表
面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優れ、極め
て耐久性に富み、その保護能力性が高いこと等の特性を
有する各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用するこ
とができる。

【００１５】具体的には、上記の各種の樹脂のフィルム
ないしシ−トとしては、例えば、ポリエチレン系樹脂、
ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体（ＡＳ樹脂）、アクリロニトリル−ブタジエン−スチ
レン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、ポリ塩化ビニル系樹脂、
フッ素系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリカ−
ボネ−ト系樹脂、ポリエチレンテレフタレ−トまたはポ
リエチレンナフタレ−ト等のポリエステル系樹脂、各種
のナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、
ポリアミドイミド系樹脂、ポリアリ−ルフタレ−ト系樹
脂、シリコ−ン系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリフェ
ニレンスルフィド系樹脂、ポリエ−テルスルホン系樹
脂、ポリウレタン系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セルロ−
ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−
トを使用することができる。而して、本発明において
は、上記の樹脂のフィルムないしシ−トの中でも、特
に、フッ素系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリカ
−ボネ−ト系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリ
アミド系樹脂、または、ポリエステル系樹脂のフィルム
ないしシ−トを使用することが好ましいものである。而
して、上記の樹脂のフィルムないしシ−トは、機械的特
性、化学的特性、物理的特性等において優れた特性を有
し、具体的には、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐
防湿性、耐汚染性、耐薬品性、その他等の諸特性におい
て極めて優れ、これにより、耐久性、保護機能性等を有
し、また、そのフレキシブル性や機械的特性、化学的特
性等から軽く、かつ、加工性等に優れ、そのハンドリン
グし易い等の利点を有するものである。

【００１６】本発明において、上記の各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トとしては、例えば、上記の各種の樹脂
の１種ないしそれ以上を使用し、押し出し法、キャスト
成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ−ション法、その
他等の製膜化法を用いて、上記の各種の樹脂を単独で製
膜化する方法、あるいは、２種以上の各種の樹脂を使用
して多層共押し出し製膜化する方法、更には、２種以上
の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化する方
法等により、各種の樹脂のフィルムないしシ−トを製造
し、更に、要すれば、例えば、テンタ−方式、あるい
は、チュ−ブラ−方式等を利用して１軸ないし２軸方向
に延伸してなる各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができる。本発明において、各種の樹脂のフ
ィルムないしシ−トの膜厚としては、９〜３００μｍ
位、より好ましくは、１２〜２００μｍ位が望ましい。

【００１７】なお、上記において、上記の各種の樹脂の
１種ないしそれ以上を使用し、その製膜化に際して、例
えば、フィルムの加工性、耐熱性、耐光性、耐候性、機
械的性質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離形性、難
燃性、抗カビ性、電気的特性、その他等を改良、改質す
る目的で、種々のプラスチック配合剤や添加剤等を添加
することができ、その添加量としては、極く微量から数
十％まで、その目的に応じて、任意に添加することがで
きる。また、上記において、一般的な添加剤としては、
例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光
安定化剤、充填剤、滑剤、強化繊維、補強剤、帯電防止
剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料、その他
等を使用することができ、更には、改質用樹脂等も使用
することがてきる。

【００１８】本発明においては、上記の添加剤の中で
も、特に、紫外線吸収剤、光安定化剤、あるいは、酸化
防止剤等を練れ込み加工してなる各種の樹脂のフィルム
ないしシ−トを使用することが好ましいものである。上
記の紫外線吸収剤としては、太陽光中の有害な紫外線を
吸収して、分子内で無害な熱エネルギ−へと変換し、高
分子中の光劣化開始の活性種が励起されるのを防止する
ものであり、例えば、ベンゾフェノン系、ベンゾトリア
ゾ−ル系、サルチレ−ト系、アクリルニトリル系、金属
錯塩系、超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．
０６μｍ）あるいは超微粒子酸化亜鉛（０．０１〜０．
０４μｍ）等の無機系等の紫外線吸収剤の１種ないしそ
れ以上を使用することができる。また、上記の光安定化
剤としては、例えば、ヒンダ−ドアミン系化合物、ヒン
ダ−トピペリジン系化合物、その他等の１種ないしそれ
以上を使用することができる。

【００１９】更に、上記の酸化防止剤としては、高分子
の光あるは熱等による酸化劣化等を防止するものであ
り、例えば、フェノ−ル系、アミン系、硫黄系、燐酸
系、その他等の酸化防止剤を使用することができる。更
に、上記の紫外線吸収剤、光安定化剤あるいは酸化防止
剤としては、例えば、ポリマ−を構成する主鎖または側
鎖に、上記のベンゾフェノン系等の紫外線吸収剤、ヒン
ダ−ドアミン系化合物からなる光安定化剤あるいはフェ
ノ−ル系等の酸化防止剤を化学結合させてなるポリマ−
型の紫外線吸収剤、光安定化剤あるいは酸化防止剤等も
使用することができる。上記の紫外線吸収剤、光安定化
剤あるいは酸化防止剤の含有量としては、その粒子形
状、密度等によって異なるが、約０．１〜１０重量％位
が好ましい。

【００２０】また、本発明において、各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トの表面は、無機酸化物の蒸着膜等との
密接着性等を向上させるために、必要に応じて、予め、
所望の表面処理層を設けることができる。本発明におい
て、上記の表面処理層としては、例えば、コロナ放電処
理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いた
プラズマ処理、グロ−放電処理、化学薬品等を用いて処
理する酸化処理、その他等の前処理を任意に施し、例え
ば、コロナ処理面、オゾン処理面、プラズマ処理面、酸
化処理面、その他等の表面処理面等を設けることができ
る。上記の表面前処理は、別工程で実施してもよく、ま
た、例えば、プラズマ処理やグロ−放電処理等による表
面前処理の場合は、上記の無機酸化物の蒸着膜等を形成
する前処理としてインライン処理により前処理で行うこ
とができ、このような場合は、その製造コストを低減す
ることができるという利点がある。上記の表面前処理
は、各種の樹脂のフィルムないしシ−トと無機酸化物の
蒸着膜等との密接着性を改善するための方法として実施
するものであるが、上記の密接着性を改善する方法とし
て、その他、例えば、各種の樹脂のフィルムないしシ−
トの表面に、予め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ
−ト剤層、アンカ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、
蒸着アンカ−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面処理
層とすることもできる。上記の前処理のコ−ト剤層とし
ては、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹
脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル
系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹
脂、ポリエチレンアルイハポリプロピレン等のポリオレ
フィン系樹脂あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セ
ルロ−ス系樹脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹
脂組成物を使用することができる。

【００２１】なお、上記の樹脂組成物には、密接着性を
向上させるために、エポキシ系のシランカップリング
剤、あるいは、基材フィルムのブロッキング等を防止す
るために、ブロッキング防止剤、その他等の添加剤を任
意に添加することができる。その添加量は、０．１重量
％〜１０重量％位が好ましいものである。また、本発明
において、上記の樹脂組成物中には、耐光性等を向上さ
せるために、例えば、紫外線吸収剤、光安定化剤あるい
は酸化防止剤等を添加することができる。上記の紫外線
吸収剤、光安定化剤あるいは酸化防止剤等としては、前
述の紫外線吸収剤、光安定化剤あるいは酸化防止剤等の
１種ないしそれ以上を同様に使用することができる。上
記の紫外線吸収剤、光安定化剤あるいは酸化防止剤の含
有量としては、その粒子形状、密度等によって異なる
が、約０．１〜１０重量％位が好ましい。また、上記に
おいて、コ−ト剤層の形成法としては、例えば、溶剤
型、水性型、あるいは、エマルジョン型等のコ−ト剤を
使用し、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キ
スコ−ト法、その他等のコ−ト法を用いてコ−トするこ
とができ、そのコ−ト時期としては、樹脂シ−トの製膜
後、あるいは、２軸延伸処理後の後工程として、あるい
は、製膜、あるいは、２軸延伸処理のインライン処理等
で実施することができる。

【００２２】更にまた、本発明においては、上記の基材
フィルムの一方の面に、無機酸化物の蒸着膜を製膜化す
る際の蒸着条件等に対し該基材フィルムを保護し、例え
ば、その黄変、劣化ないし収縮、あるいは、フィルム表
層ないし内層等における凝集破壊等を抑制し、更に、基
材フィルムの一方の面に、無機酸化物の蒸着膜が良好に
製膜化され、かつ、該基材フィルムと無機酸化物の蒸着
膜との密接着性等を向上させるために、予め、基材フィ
ルムの一方の面に、表面前処理層として、例えば、後述
するプラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化
学気相成長法等の化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＣＶＤ法）、あ
るいは、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオ
ンプレ−ティング法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃ
ａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ
法）を用いて、無機酸化物の蒸着薄膜を形成することに
より、耐蒸着保護膜を設けることができる。なお、本発
明において、上記の酸化珪素等からなる耐蒸着保護膜の
膜厚としては、薄膜であり、更に、水蒸気ガス、酸素ガ
ス等に対するバリア性を有しない非バリア性膜で十分で
あり、具体的には、膜厚１５０Å未満であることが望ま
しく、具体的には、その膜厚としては、１０〜１００Å
位、好ましくは、２０〜８０Å位、更に、より好ましく
は、３０〜６０Å位が望ましい。而して、上記におい
て、１５０Å以上、具体的には、１００Å、更に、８０
Å、更には、６０Åより厚くなると、良好な耐蒸着保護
膜を形成することが困難になるので好ましくなく、ま
た、１０Å、更に、３０Å、更には、６０Å未満である
と、耐蒸着保護層としての機能を喪失し、その効果を奏
することが困難になることから好ましくないものであ
る。

【００２３】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着膜について説明する
と、かかる無機酸化物の蒸着膜としては、例えば、物理
気相成長法、または、化学気相成長法、あるいは、その
両者を併用して、無機酸化物の蒸着膜の１層からなる単
層膜あるいは２層以上からなる多層膜または複合膜を形
成して製造することができるものである。上記の物理気
相成長法による無機酸化物の蒸着膜について更に詳しく
説明すると、かかる物理気相成長法による無機酸化物の
蒸着膜としては、例えば、真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンプレ−ティング法、イオンクラスタ−ビ−ム
法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ
Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）を用いて無機酸
化物の蒸着膜を形成することができる。本発明におい
て、具体的には、金属の酸化物を原料とし、これを加熱
して基材フィルムの上に蒸着する真空蒸着法、または、
原料として金属または金属の酸化物を使用し、酸素を導
入して酸化させて基材フィルムの上に蒸着する酸化反応
蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズマ助
成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成すること
ができる。上記において、蒸着材料の加熱方式として
は、例えば、抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エレ
クトロンビ−ム加熱方式（ＥＢ）等にて行うことができ
る。

【００２４】本発明において、物理気相成長法による無
機酸化物の蒸着膜を形成する方法について、その具体例
を挙げると、図７は、巻き取り式真空蒸着装置の一例を
示す概略的構成図である。図７に示すように、巻き取り
式真空蒸着装置２１の真空チャンバ−２２の中で、巻き
出しロ−ル２３から繰り出す基材フィルム１は、ガイド
ロ−ル２４、２５を介して、冷却したコ−ティングドラ
ム２６に案内される。而して、上記の冷却したコ−ティ
ングドラム２６上に案内された基材フィルム１の上に、
るつぼ２７で熱せられた蒸着源２８、例えば、金属アル
ミニウム、あるいは、酸化アルミニウム等を蒸発させ、
更に、必要ならば、酸素ガス吹出口２９より酸素ガス等
を噴出し、これを供給しながら、マスク３０、３０を介
して、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着
膜を成膜化し、次いで、上記において、例えば、酸化ア
ルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を形成した基材フィ
ルム１を、ガイドロ−ル３１、３２を介して送り出し、
巻き取りロ−ル３３に巻き取ることによって、本発明に
かかる物理気相成長法による無機酸化物の蒸着膜を形成
することができる。なお、本発明においては、上記のよ
うな巻き取り式真空蒸着装置を用いて、まず、第１層の
無機酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、同様にして、該
無機酸化物の蒸着膜の上に、更に、無機酸化物の蒸着膜
を形成するか、あるいは、上記のような巻き取り式真空
蒸着装置を用いて、これを２連に連接し、連続的に、無
機酸化物の蒸着膜を形成することにより、２層以上の多
層膜からなる無機酸化物の蒸着膜を形成することができ
る。

【００２５】上記において、無機酸化物の蒸着膜として
は、基本的に金属の酸化物を蒸着した薄膜であれば使用
可能であり、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム
（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃ
ａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓｎ）、ナトリウム（Ｎ
ａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐｂ）、ジ
ルコニウム（Ｚｒ）、イットリウム（Ｙ）等の金属の酸
化物の蒸着膜を使用することができる。而して、好まし
いものとしては、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａ
ｌ）等の金属の酸化物の蒸着膜を挙げることができる。
而して、上記の金属の酸化物の蒸着膜は、ケイ素酸化
物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等のよう
に金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、例え
ば、ＳｉＯ_X 、ＡｌＯ_X 、ＭｇＯ_X 等のようにＭＯ
_X （ただし、式中、Ｍは、金属元素を表し、Ｘの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。）で表され
る。また、上記のＸの値の範囲としては、ケイ素（Ｓ
ｉ）は、０〜２、アルミニウム（Ａｌ）は、０〜１．
５、マグネシウム（Ｍｇ）は、０〜１、カルシウム（Ｃ
ａ）は、０〜１、カリウム（Ｋ）は、０〜０．５、スズ
（Ｓｎ）は、０〜２、ナトリウム（Ｎａ）は、０〜０．
５、ホウ素（Ｂ）は、０〜１、５、チタン（Ｔｉ）は、
０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０〜１、ジルコニウム（Ｚｒ）
は０〜２、イットリウム（Ｙ）は、０〜１．５の範囲の
値をとることができる。上記において、Ｘ＝０の場合、
完全な金属であり、透明ではなく全く使用することがで
きない、また、Ｘの範囲の上限は、完全に酸化した値で
ある。本発明において、一般的に、ケイ素（Ｓｉ）、ア
ルミニウム（Ａｌ）以外は、使用される例に乏しく、ケ
イ素（Ｓｉ）は、１．０〜２．０、アルミニウム（Ａ
ｌ）は、０．５〜１．５の範囲の値のものを使用するこ
とができる。本発明において、上記のような無機酸化物
の蒸着膜の膜厚としては、使用する金属、または金属の
酸化物の種類等によって異なるが、例えば、５０〜４０
００Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位の範囲内
で任意に選択して形成することが望ましい。また、本発
明においては、無機酸化物の蒸着膜としては、使用する
金属、または金属の酸化物としては、１種または２種以
上の混合物で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物
の蒸着膜を構成することもできる。

【００２６】次にまた、本発明において、上記の化学気
相成長法による無機酸化物の蒸着膜について更に説明す
ると、かかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜
としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化学気
相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法（Ｃｈ
ｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、
ＣＶＤ法）等を用いて無機酸化物の蒸着膜を形成するこ
とができる。本発明においては、具体的には、基材フィ
ルムの一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガスを原料とし、キャリヤ−ガスとして、アルゴンガ
ス、ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、更に、酸素
供給ガスとして、酸素ガス等を使用し、低温プラズマ発
生装置等を利用する低温プラズマ化学気相成長法を用い
て酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成することがで
きる。上記において、低温プラズマ発生装置としては、
例えば、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ
波プラズマ等の発生装置を使用することがてき、而し
て、本発明においては、高活性の安定したプラズマを得
るためには、高周波プラズマ方式による発生装置を使用
することが望ましい。

【００２７】具体的に、上記の低温プラズマ化学気相成
長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法についてその一
例を例示して説明すると、図８は、上記のプラズマ化学
気相成長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法について
その概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概略的
構成図である。上記の図８に示すように、本発明におい
ては、プラズマ化学気相成長装置４１の真空チャンバ−
４２内に配置された巻き出しロ−ル４３から基材フィル
ム１を繰り出し、更に、該基材フィルム１を、補助ロ−
ル４４を介して所定の速度で冷却・電極ドラム４５周面
上に搬送する。而して、本発明においては、ガス供給装
置４６、４７および、原料揮発供給装置４８等から酸素
ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混合ガ
ス組成物を調整しなから原料供給ノズル４９を通して真
空チャンバ−４２内に該蒸着用混合ガス組成物を導入
し、そして、上記の冷却・電極ドラム４５周面上に搬送
された基材フィルム１の上に、グロ−放電プラズマ５０
によってプラズマを発生させ、これを照射して、酸化珪
素等の無機酸化物の蒸着膜を形成し、製膜化する。本発
明においては、その際に、冷却・電極ドラム４５は、チ
ャンバ−外に配置されている電源５１から所定の電力が
印加されており、また、冷却・電極ドラム４５の近傍に
は、マグネット５２を配置してプラズマの発生が促進さ
れており、次いで、上記で酸化珪素等の無機酸化物の蒸
着膜を形成した基材フィルム１は、補助ロ−ル５３を介
して巻き取りロ−ル５４に巻き取って、本発明にかかる
プラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜を製
造することができるものである。なお、図中、５５は、
真空ポンプを表す。上記の例示は、その一例を例示する
ものであり、これによって本発明は限定されるものでは
ないことは言うまでもないことである。図示しないが、
本発明においては、無機酸化物の蒸着膜としては、無機
酸化物の蒸着膜の１層だけではなく、２層あるいはそれ
以上を積層した多層膜の状態でもよく、また、使用する
材料も１種または２種以上の混合物で使用し、また、異
種の材質で混合した無機酸化物の蒸着膜を構成すること
もできる。また、本発明においては、上記のような低温
プラズマ化学気相成長装置を用いて、まず、第１層の無
機酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、同様にして、該無
機酸化物の蒸着膜の上に、更に、無機酸化物の蒸着膜を
形成するか、あるいは、上記のような低温プラズマ化学
気相成長装置を用いて、これを２連に連接し、連続的
に、無機酸化物の蒸着膜を形成することにより、２層以
上の多層膜からなる無機酸化物の蒸着膜を形成すること
ができる。

【００２８】上記において、真空チャンバ−内を真空ポ
ンプにより減圧し、真空度１×１０ ^-1〜１×１０^-8Ｔｏ
ｒｒ位、好ましくは、真空度１×１０^-3〜１×１０^-7Ｔ
ｏｒｒ位に調製することが望ましいものである。また、
原料揮発供給装置においては、原料である有機珪素化合
物を揮発させ、ガス供給装置から供給される酸素ガス、
不活性ガス等と混合させ、この混合ガスを原料供給ノズ
ルを介して真空チャンバ−内に導入されるものである。
この場合、混合ガス中の有機珪素化合物の含有量は、１
〜４０％位、酸素ガスの含有量は、１０〜７０％位、不
活性ガスの含有量は、１０〜６０％位の範囲とすること
ができ、例えば、有機珪素化合物と酸素ガスと不活性ガ
スとの混合比を１：６：５〜１：１７：１４程度とする
ことができる。一方、冷却・電極ドラムには、電源から
所定の電圧が印加されているため、真空チャンバ−内の
原料供給ノズルの開口部と冷却・電極ドラムとの近傍で
グロ−放電プラズマが生成され、このグロ−放電プラズ
マは、混合ガスなかの１つ以上のガス成分から導出され
るものであり、この状態において、基材フィルムを一定
速度で搬送させ、グロ−放電プラブマによって、冷却・
電極ドラム周面上の基材フィルムの上に、酸化珪素等の
無機酸化物の蒸着膜を形成することができるものであ
る。なお、このときの真空チャンバ−内の真空度は、１
×１０^-1〜１×１０^-4Ｔｏｒｒ位、好ましくは、真空度
１×１０^-1〜１×１０^-2Ｔｏｒｒ位に調製することが望
ましく、また、基材フィルムの搬送速度は、１０〜３０
０ｍ／分位、好ましくは、５０〜１５０ｍ／分位に調製
することが望ましいものである。

【００２９】また、上記のプラズマ化学気相成長装置に
おいて、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜の形成は、基
材フィルムの上に、プラズマ化した原料ガスを酸素ガス
で酸化しながらＳｉＯ_X の形で薄膜状に形成されるの
で、当該形成される酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜
は、緻密で、隙間の少ない、可撓性に富む連続層となる
ものであり、従って、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜
のバリア性は、従来の真空蒸着法等によって形成される
酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜と比較してはるかに高
いものとなり、薄い膜厚で十分なバリア性を得ることが
できるものである。また、本発明においては、ＳｉＯ_X
プラズマにより基材フィルムの表面が、清浄化され、基
材フィルムの表面に、極性基やフリ−ラジカル等が発生
するので、形成される酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜
と樹脂フィルムとの密接着性が高いものとなるという利
点を有するものである。更に、上記のように酸化珪素等
の無機酸化物の連続膜の形成時の真空度は、１×１０^-1
〜１×１０^-4Ｔｏｒｒ位、好ましくは、１×１０^-1〜１
×１０^-2Ｔｏｒｒ位に調製することから、従来の真空蒸
着法により酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成する
時の真空度、１×１０^-4〜１×１０^-5Ｔｏｒｒ位に比較
して低真空度であることから、基材フィルムを原反交換
時の真空状態設定時間を短くすることができ、真空度を
安定しやすく、製膜プロセスが安定するものである。

【００３０】本発明において、有機珪素化合物等の蒸着
モノマ−ガスを使用して形成される酸化珪素の蒸着膜
は、有機珪素化合物等の蒸着モノマ−ガスと酸素ガス等
とが化学反応し、その反応生成物が、基材フィルムの一
方の面に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を形成
するものであり、通常、一般式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘ
は、０〜２の数を表す）で表される酸化珪素を主体とす
る連続状の薄膜である。而して、上記の酸化珪素の蒸着
膜としては、透明性、バリア性等の点から、一般式Ｓｉ
Ｏ_X （ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数を表す。）で
表される酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜であること
が好ましいものである。上記において、Ｘの値は、蒸着
モノマ−ガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネルギ
−等により変化するが、一般的に、Ｘの値が小さくなれ
ばガス透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯び、
透明性が悪くなる。

【００３１】また、上記の酸化珪素の蒸着膜は、酸化珪
素を主体とし、これに、更に、炭素、水素、珪素または
酸素の１種類、または、その２種類以上の元素からなる
化合物を少なくとも１種類を化学結合等により含有する
蒸着膜からなることを特徴とするものである。例えば、
Ｃ−Ｈ結合を有する化合物、Ｓｉ−Ｈ結合を有する化合
物、または、炭素単位がグラファイト状、ダイヤモンド
状、フラ−レン状等になっている場合、更に、原料の有
機珪素化合物やそれらの誘導体を化学結合等によって含
有する場合があるものである。具体例を挙げると、ＣＨ
₃ 部位を持つハイドロカ−ボン、ＳｉＨ₃ シリル、Ｓｉ
Ｈ₂ シリレン等のハイドロシリカ、ＳｉＨ₂ ＯＨシラノ
−ル等の水酸基誘導体等を挙げることができる。上記以
外でも、蒸着過程の条件等を変化させることにより、酸
化珪素の蒸着膜中に含有される化合物の種類、量等を変
化させることができる。而して、上記の化合物が、酸化
珪素の蒸着膜中に含有する含有量としては、０．１〜５
０％位、好ましくは、５〜２０％位が望ましいものであ
る。上記において、含有率が、０．１％未満であると、
酸化珪素の蒸着膜の耐衝撃性、延展性、柔軟性等が不十
分となり、曲げなとにより、擦り傷、クラック等が発生
し易く、高いバリア性を安定して維持することが困難に
なり、また、５０％を越えると、バリア性が低下して好
ましくないものである。更に、本発明においては、酸化
珪素の蒸着膜において、上記の化合物の含有量が、酸化
珪素の蒸着膜の表面から深さ方向に向かって減少させる
ことが好ましく、これにより、酸化珪素の蒸着膜の表面
においては、上記の化合物等により耐衝撃性等を高めら
れ、他方、基材フィルムとの界面においては、上記の化
合物の含有量が少ないために、基材フィルムと酸化珪素
の蒸着膜との密接着性が強固なものとなるという利点を
有するものである。

【００３２】而して、本発明において、上記の酸化珪素
の蒸着膜について、例えば、Ｘ線光電子分光装置（Ｘｒ
ａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓ
ｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装置（Ｓｅｃ
ｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃ
ｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析装置を用い、深さ方向
にイオンエッチングする等して分析する方法を利用し
て、酸化珪素の蒸着膜の元素分析を行うことより、上記
のような物性を確認することができる。また、本発明に
おいて、上記の酸化珪素の蒸着膜の膜厚としては、膜厚
５０Å〜４０００Å位であることが望ましく、具体的に
は、その膜厚としては、１００〜１０００Å位が望まし
く、而して、上記において、１０００Å、更には、４０
００Åより厚くなると、その膜にクラック等が発生し易
くなるので好ましくなく、また、１００Å、更には、５
０Å未満であると、バリア性の効果を奏することが困難
になることから好ましくないものである。上記のおい
て、その膜厚は、例えば、株式会社理学製の蛍光Ｘ線分
析装置（機種名、ＲＩＸ２０００型）を用いて、ファン
ダメンタルパラメ−タ−法で測定することができる。ま
た、上記において、上記の酸化珪素の蒸着膜の膜厚を変
更する手段としては、蒸着膜の体積速度を大きくするこ
と、すなわち、モノマ−ガスと酸素ガス量を多くする方
法や蒸着する速度を遅くする方法等によって行うことが
できる。

【００３３】次に、上記において、酸化珪素等の無機酸
化物の蒸着膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノ
マ−ガスとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメ
チルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニル
トリメチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメ
チルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメ
チルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニ
ルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメト
キシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシ
ラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキ
シシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その
他等を使用することができる。本発明において、上記の
ような有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テト
ラメチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキ
サンを原料として使用することが、その取り扱い性、形
成された連続膜の特性等から、特に、好ましい原料であ
る。また、上記において、不活性ガスとしては、例え
ば、アルゴンガス、ヘリウムガス等を使用することがで
きる。

【００３４】ところで、本発明において、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジ
ュ−ル等を構成する無機酸化物の蒸着膜として、例え
ば、物理気相成長法と化学気相成長法の両者を併用して
異種の無機酸化物の蒸着膜の２層以上からなる複合膜を
形成して使用することもできるものである。而して、上
記の異種の無機酸化物の蒸着膜の２層以上からなる複合
膜としては、まず、基材フィルムの上に、化学気相成長
法により、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの
発生を防止し得る無機酸化物の蒸着膜を設け、次いで、
該無機酸化物の蒸着膜の上に、物理気相成長法による無
機酸化物の蒸着膜を設けて、２層以上からなる複合膜か
らなる無機酸化物の蒸着膜を構成することが望ましいも
のである。勿論、本発明においては、上記とは逆に、基
材フィルムの上に、先に、物理気相成長法により、無機
酸化物の蒸着膜を設け、次に、化学気相成長法により、
緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発生を防止
し得る無機酸化物の蒸着膜を設けて、２層以上からなる
複合膜からなる無機酸化物の蒸着膜を構成することもで
きるものである。

【００３５】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤と
を含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムについて
説明すると、かかるポリプロピレン系樹脂フィルムとし
ては、まず、ポリプロピレン系樹脂を主成分とし、これ
に、光反射剤あるいは光拡散剤としての白色化剤、紫外
線吸収剤の１種ないし２種以上、および、光安定化剤の
１種ないし２種以上を添加し、更に、必要ならば、可塑
剤、酸化防止剤、帯電防止剤、架橋剤、硬化剤、充填
剤、滑剤、強化剤、補強剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、
防カビ剤、顔料・染料等の着色剤、その他等の添加剤の
１種ないし２種以上を任意に添加し、更に、要すれば、
溶剤、希釈剤等を添加し、十分に混練してポリプロピレ
ン系樹脂組成物を調製する。而して、本発明において
は、上記で調製したポリプロピレン系樹脂組成物を使用
し、例えば、押出機、Ｔダイ押出機、キャスト成形機、
インフレ−ション成形機、その他等を使用し、押出法、
Ｔダイ押出法、キャスト成形法、インフレ−ション法、
その他等のフィルム成形法により、ポリプロピレン系樹
脂のフィルムないしシ−トを製造し、更に、要すれば、
例えば、テンタ−方式、あるいは、チュ−ブラ−方式等
を利用して１軸ないし２軸方向に延伸して、白色化剤と
紫外線吸収剤と光安定化剤を練り込み加工してなる耐熱
性のポリプロピレン系樹脂フィルムを製造するものであ
る。上記において、紫外線吸収剤と光安定化剤とを含む
耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムの厚さとして
は、１０μｍ〜３００μｍ位、好ましくは、１５μｍ〜
１５０μｍ位が望ましいものである。

【００３６】あるいは、本発明においては、白色化剤と
紫外線吸収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピ
レン系樹脂フィルムとしては、まず、通常の塗料用ない
しインキ用ビヒクルを主成分とし、これに、光反射剤あ
るいは光拡散剤としての白色化剤、紫外線吸収剤の１種
ないし２種以上、および、光安定化剤の１種ないし２種
以上を添加し、更に、必要ならば、可塑剤、酸化防止
剤、帯電防止剤、架橋剤、硬化剤、充填剤、滑剤、強化
剤、補強剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料
・染料等の着色剤、その他等の添加剤の１種ないし２種
以上を任意に添加し、更に、溶剤、希釈剤等を添加し、
十分に混練して塗料ないしインキ組成物を調製する。而
して、本発明においては、上記で調製した塗料ないしイ
ンキ組成物を使用し、これを、透明な耐熱性を有するポ
リプロピレン系樹脂フィルムの表面に、通常のコ−ティ
ング法あるいは印刷法等を用いて塗布ないし印刷し、そ
の塗布膜あるいは印刷膜を形成して、その表面に白色化
剤と紫外線吸収剤と光安定化剤とを含む塗布膜あるいは
印刷膜を有する耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルム
を製造するものである。なお、上記において、紫外線吸
収剤あるいは光安定化剤は、予め、透明な耐熱性を有す
るポリプロピレン系樹脂フィルムの中に練り込み加工し
てある場合には、必ずしも、塗料ないしインキ組成物中
に添加しなくてもよいものである。

【００３７】次いで、本発明においては、上記で製造し
た白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤とを練り込み加
工してなる耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルム、あ
るいは、その表面に白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化
剤とを含む塗布膜あるいは印刷膜を有する耐熱性のポリ
プロピレン系樹脂フィルム等からなる白色化剤と紫外線
吸収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系
樹脂フィルムを使用し、これを、前述の無機酸化物の蒸
着膜を設けた基材フィルムの一方の面、あるいは、重層
体の一方の面に、例えば、ラミネ−ト用接着剤層等を介
して、ドライラミネ−ト積層することにより、あるい
は、アンカ−コ−ト剤層、溶融押出樹脂層等を介して溶
融押出積層することにより、ポリプロピレン系樹脂フィ
ルムを積層することができる。

【００３８】あるいは、本発明においては、上記で白色
化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤とを練り込み加工して
なる耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムを製造する
ために調製したポリプロピレン系樹脂組成物を使用し、
これを押出機等を使用して溶融押出し、前述の無機酸化
物の蒸着膜を設けた基材フィルムの一方の面、あるい
は、重層体の一方の面に、例えば、アンカ−コ−ト剤等
による接着助剤層等を介して、白色化剤と紫外線吸収剤
と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フ
ィルムを溶融押出積層することにより、ポリプロピレン
系樹脂フィルムを積層することがができるものである。
上記において、白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤と
を含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムの厚さと
しては、１０μｍ〜３００μｍ位、好ましくは、１５μ
ｍ〜１５０μｍ位が望ましいものである。

【００３９】更にまた、本発明においては、白色化剤と
紫外線吸収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピ
レン系樹脂フィルムとしては、まず、塗料用ないしイン
キ用ビヒクルの主成分として、耐熱性のポリプロピレン
系樹脂の１種ないし２種以上を使用し、これに、白色化
剤の１種ないし２種以上、紫外線吸収剤の１種ないし２
種以上、および、光安定化剤の１種ないし２種以上を添
加し、更に、必要ならば、可塑剤、酸化防止剤、帯電防
止剤、架橋剤、硬化剤、充填剤、滑剤、強化剤、補強
剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料・染料等
の着色剤、その他等の添加剤の１種ないし２種以上を任
意に添加し、更に、溶剤、希釈剤等を添加し、十分に混
練して塗料ないしインキ組成物を調製する。而して、本
発明においては、上記で調製した塗料ないしインキ組成
物を使用し、これを、前述の無機酸化物の蒸着膜を設け
た基材フィルムの一方の面に、例えば、通常のコ−ティ
ング法あるいは印刷法等を用いて塗布ないし印刷し、そ
の塗布膜あるいは印刷膜を形成して、その表面に紫外線
吸収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系
樹脂層からなる塗布膜あるいは印刷膜を形成することに
より、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池
モジュ−ル等を構成する白色化剤と紫外線吸収剤と光安
定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルム
を形成することができる。上記において、白色化剤と紫
外線吸収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレ
ン系樹脂層からなる塗布膜あるいは印刷膜の厚さとして
は、１０μｍ〜３００μｍ位、好ましくは、１５μｍ〜
１５０μｍ位が望ましいものである。

【００４０】上記において、ポリプロピレン系樹脂とし
ては、石油系炭化水素の熱分解によりエチレンを製造す
る際に生成する副生成物であるプロピレンの単独重合
体、あるいは、プロピレンとα−オレフィン、その他等
の他のモノマ−との共重合体を使用することができる。
而して、本発明において、ポリプロピレン系樹脂として
は、具体的には、プロピレンを重合する際に、カチオン
重合触媒等を用いる場合には、低分子量のポリマ−が得
られるが、重合する際に、チ−グラ−・ナッタ触媒を用
いる場合には、高分子量、高結晶度のアイソタクチック
重合体を得ることができ、このアイソタクチック重合体
を使用するものである。上記のアイソタクチック重合体
においては、その融点は、１６４℃〜１７０℃位であ
り、比重は、０．９０〜０．９１程度であり、分子量
は、１０万〜２０万程度であり、その結晶性により性質
は大きく支配されるが、アイソタクチックの高いポリマ
−は、引っ張り強さ、衝撃強度に優れ、耐熱性、耐屈曲
疲労強度を良好であり、かつ、加工性は極めて良好なも
のである。なお、本発明において、白色化剤と紫外線吸
収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹
脂フィルムとしては、ドライラミネ−トによる積層を行
う場合には、その表面に、予め、コロナ放電処理、オゾ
ン処理、あるいは、プラズマ放電処理等の表面改質前処
理を任意に施すことがてきるものである。また、本発明
においては、上記のポリプロピレン系樹脂の他に、必要
ならば、更に、例えば、ポリエチレン系樹脂、その他等
のポリプロピレン系樹脂と相溶性を有する樹脂を任意に
添加して改質することができるものである。而して、本
発明において、上記のようなポリプロピレン系樹脂を使
用することにより、太陽電池モジュ−ルを製造する際
に、充填剤層等との密接着性に優れ、更に、水分、酸素
等の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、その長期
的な性能劣化を最小限に抑え、特に、加水分解劣化等を
防止し、極めて耐久性に富み、その保護能力性に優れ、
かつ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを構成
することができるものである。

【００４１】また、上記において、白色化剤としては、
太陽電池モジュ−ルにおいて透過した太陽光を光反射あ
るいは光拡散させて再利用するために光反射性、光拡散
性等を付与することを目的とし添加するものであり、そ
の他、更に、太陽電池モジュ−ルに意匠性、装飾性等を
付与し、また、太陽電池モジュ−ルを屋根等に設置した
場合、照り返す太陽光等を光反射あるいは光拡散させる
という作用効果を奏するものであり、例えば、塩基性炭
酸鉛、塩基性硫酸鉛、塩基性けい酸鉛、亜鉛華、硫化亜
鉛、リトポン、三酸化アンチモン、アナタス形酸化チタ
ン、ルチル形酸化チタン、その他等の白色顔料の１種な
いし２種以上を使用することができる。その使用量とし
ては、ポリプロピレン系樹脂組成物において、０．１重
量％〜３０重量％位、好ましくは、０．５重量％〜１０
重量％位添加して使用することが望ましいものである。

【００４２】更に、上記において、紫外線吸収剤として
は、前述の太陽光中の有害な紫外線を吸収して、分子内
で無害な熱エネルギ−へと変換し、高分子中の光劣化開
始の活性種が励起されるのを防止するものであり、例え
ば、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチ
レ−ト系、アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−
ドアミン系、超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０１〜
０．０６μｍ）あるいは超微粒子酸化亜鉛（０．０１〜
０．０４μｍ）等の無機系等の紫外線吸収剤の１種ない
しそれ以上を使用することができる。その使用量として
は、ポリプロピレン系樹脂組成物において、０．１重量
％〜１０重量％位、好ましくは、０．３重量％〜１０重
量％位添加して使用することが望ましいものである。

【００４３】また、上記において、光安定化剤として
は、高分子中の光劣化開始源である励起された活性種を
捕捉し、光劣化を防止するものであり、例えば、ヒンダ
−ドアミン系化合物、ヒンダ−トピペリジン系化合物、
その他等の光安定化剤の１種ないしそれ以上を使用する
ことができる。その使用量としては、ポリプロピレン系
樹脂組成物において、０．１重量％〜１０重量％位、好
ましくは、０．３重量％〜１０重量％位添加して使用す
ることが望ましいものである。

【００４４】次にまた、上記のドライラミネ−ト積層方
式において、ラミネ−ト用接着剤層を構成する接着剤と
しては、例えば、ポリ酢酸ビニル系接着剤、アクリル酸
のエチル、ブチル、２−エチルヘキシルエステル等のホ
モポリマ−、あるいは、これらとメタクリル酸メチル、
アクリロニトリル、スチレン等との共重合体等からなる
ポリアクリル酸エステル系接着剤、シアノアクリレ−ト
系接着剤、エチレンと酢酸ビニル、アクリル酸エチル、
アクリル酸、メタクリル酸等のモノマ−との共重合体等
からなるエチレン共重合体系接着剤、ポリエチレン系樹
脂またはポリプロピレン系樹脂等からなるポリオレフィ
ン系樹脂接着剤、セルロ−ス系接着剤、ポリエステル系
接着剤、ポリアミド系接着剤、ポリイミド系接着剤、尿
素樹脂またはメラミン樹脂等からなるアミノ樹脂系接着
剤、フェノ−ル樹脂系接着剤、エポキシ系接着剤、ポリ
ウレタン系接着剤、反応型（メタ）アクリル系接着剤、
クロロプレンゴム、ニトリルゴム、スチレン−ブタジエ
ンゴム等からなるゴム系接着剤、シリコ−ン系接着剤、
アルカリ金属シリケ−ト、低融点ガラス等からなる無機
系接着剤、その他等の接着剤を使用することがてきる。
上記の接着剤の組成系は、水性型、溶液型、エマルジョ
ン型、分散型等のいずれの組成物形態でもよく、また、
その性状は、フィルム・シ−ト状、粉末状、固形状等の
いずれの形態でもよく、更に、接着機構については、化
学反応型、溶剤揮発型、熱溶融型、熱圧型等のいずれの
形態でもよいものである。而して、上記の接着剤は、例
えば、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キス
コ−ト法、その他等のコ−ト法、あるいは、印刷法等に
よって施すことができ、そのコ−ティング量としては、
０．１〜１０ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が望ましい。

【００４５】なお、上記の接着剤中には、紫外線劣化等
を防止するために、前述の紫外線吸収剤あるいは光安定
化剤を添加することができる。上記の紫外線吸収剤ある
いは光安定化剤としては、前述の紫外線吸収剤の１種な
いしそれ以上、あるいは、光安定化剤の１種ないしそれ
以上を同様に使用することができる。その使用量として
は、その粒子形状、密度等によって異なるが、約０．１
〜１０重量％位が好ましい。

【００４６】また、上記の溶融押出積層方式において、
より強固な接着強度を得るために、例えば、アンカ−コ
−ト剤等の接着助剤等を使用し、そのアンカ−コ−ト剤
層を介して、積層することができる。上記のアンカ−コ
−ト剤としては、例えば、アルキルチタネ−ト等の有機
チタン系、イソシアネ−ト系、ポリエチレンイミン系、
ポリプタジエン系、その他等の水性ないし油性の各種の
アンカ−コ−ト剤を使用することができる。上記のアン
カ−コ−ト剤は、例えば、ロ−ルコ−ト、グラビアロ−
ルコ−ト、キスコ−ト、その他等のコ−ティング法を用
いてコ−ティングすることができ、そのコ−ティング量
としては、０．１〜５ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が望まし
い。更に、上記の溶融押出積層方式において、溶融押出
樹脂層を構成する溶融押出樹脂としては、例えば、低密
度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチ
レン、直鎖状（線状）低密度ポリエチレン、ポリプロピ
レ、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹
脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−
アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合
体、エチレン−プロピレン共重合体、メチルペンテンポ
リマ−、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフ
ィン系樹脂をアクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン
酸、フマ−ル酸、その他等の不飽和カルボン酸で変性し
た酸変性ポリオレフィン系樹脂、その他等の樹脂を使用
することができる。その溶融押出樹脂層の膜厚として
は、５〜１００μｍ位、好ましくは、１０〜５０μｍ位
が望ましい。

【００４７】なお、本発明においては、無機酸化物の蒸
着膜を設けた基材フィルムと白色化剤と紫外線吸収剤と
光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィ
ルムとの密接着性を改善するために、更に、例えば、予
め、プライマ−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面処
理層とすることもできる。上記のプライマ−コ−ト剤と
しては、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹
脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル
系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹
脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等のポリオレ
フィン系樹脂あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セ
ルロ−ス系樹脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹
脂組成物を使用することができる。なお、本発明におい
ては、例えば、ロ−ルコ−ト、グラビアロ−ルコ−ト、
キスコ−ト、その他等のコ−ティング法を用いてコ−テ
ィングしてプライマ−コ−ト剤層を形成することがで
き、而して、そのコ−ティング量としては、０．１〜５
ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が望ましい。

【００４８】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成するヒ−トシ−ル性樹脂層について説明する
と、かかるヒ−トシ−ル性樹脂層としては、熱によって
溶融し相互に融着し得るものであればよく、例えば、低
密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエ
チレン、直鎖状（線状）低密度ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−
樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン
−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合
体、エチレン−プロピレン共重合体、メチルペンテンポ
リマ−、ポリエチレンまたはポリプロピレン等のポリオ
レフィン系樹脂をアクリル酸、メタクリル酸、無水マレ
イン酸、フマ−ル酸、その他等の不飽和カルボン酸で変
性した酸変性ポリオレフィン系樹脂、その他等のポリオ
レフィン系樹脂、ポリアクリル系またはポリメタクリル
系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリ
ウレタン系樹脂、その他等の樹脂の１種ないしそれ以上
からなる樹脂のフィルムないしシ−トあるいはそのコ−
ティング膜等を使用することができる。上記の樹脂のフ
ィルムないしシ−トは、単層ないし多層で使用すること
ができ、また、上記の樹脂のフィルムないしシ−トの厚
さとしては、５μｍ〜３００μｍ位、好ましくは、１０
μｍ〜２００μｍ位が望ましい。

【００４９】而して、本発明において、ヒ−トシ−ル性
樹脂層を積層するには、上記のような樹脂のフィルムな
いしシ−トを使用し、これを、前述の無機酸化物の蒸着
膜を設けた基材フィルムの他方の面に、あるいは、その
重層体の他方の面に、例えば、ラミネ−ト用接着剤層等
を介して、ドライラミネ−ト積層することにより、ある
いは、アンカ−コ−ト剤層、溶融押出樹脂層等を介して
溶融押出積層することにより、ヒ−トシ−ル性樹脂層を
積層することができる。あるいは、本発明においては、
上記のような樹脂の１種ないし２種以上をビヒクルとす
る樹脂組成物を調整し、これを押出機等を使用して溶融
押出し、前述の無機酸化物の蒸着膜を設けた基材フィル
ムの他方の面に、あるいは、その重層体の他方の面に、
例えば、アンカ−コ−ト剤等による接着助剤層等を介し
て溶融押出積層することにより、ヒ−トシ−ル性樹脂層
を積層することがができるものである。更に、本発明に
おいては、上記のような樹脂の１種ないし２種以上をビ
ヒクルとする樹脂組成物を調整し、これを使用して、前
述の無機酸化物の蒸着膜を設けた基材フィルムの他方の
面に、あるいは、その重層体の他方の面に、例えば、通
常の印刷方式あるいはコ−ティング方式等により印刷な
いしコ−ティングして、印刷膜ないしコ−ティング膜を
形成することにより、ヒ−トシ−ル性樹脂層を積層する
ことがができるものである。上記において、ヒ−トシ−
ル性樹脂層の厚さとしては、１μｍ〜５０μｍ位、好ま
しくは、３μｍ〜１０μｍ位が望ましいものである。な
お、本発明において、ヒ−トシ−ル性樹脂層を積層する
場合、前述のラミネ−ト用接着剤、アンカ−コ−ト剤、
溶融押出樹脂、プライマ−コ−ト剤、その他等を同様に
使用することができる。

【００５０】次にまた、本発明において、無機酸化物の
蒸着膜を設けた基材フィルムの２層以上を重層する場
合、あるいは、無機酸化物の蒸着膜を設けた基材フィル
ムの２層以上を強靱性樹脂フィルムを介して重層する場
合には、前述の耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルム
を形成する場合と同様に、ラミネ−ト用接着剤層等を介
してドライラミネ−ト積層するドライラミネ−ト積層方
式、あるいは、アンカ−コ−ト剤層、溶融押出樹脂層等
を介して溶融押出積層する溶融押出積層方式、その他等
の方式を用いて同様に重層することができる。而して、
上記のドライラミネ−ト積層方式、あるいは、溶融押出
積層方式等を用いる場合には、前述のラミネ−ト用接着
剤、アンカ−コ−ト剤、溶融押出樹脂、プライマ−コ−
ト剤、その他等を同様に使用することができる。

【００５１】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する強靱性樹脂フィルムとしては、太陽電池
モジュ−ル自身の強度、剛性、腰等を保持し、更に、太
陽電池モジュ−ル等に水分等が浸入して生じる加水分解
による強度劣化、あるいは、太陽電池モジュ−ルを構成
する充填剤層等が分解して発生する酢酸系ガス等の脱ガ
スによる強度劣化等を防止するものであることから、機
械的、物理的、化学的、その他等において優れた性質を
有し、特に、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を
防止する防湿性を著しく向上させ、その長期的な性能劣
化を最小限に抑え、特に、加水分解劣化等を防止し、極
めて耐久性に富み、その保護能力性に優れている強靱性
な樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができ、
具体的には、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド
系樹脂、ポリアラミド系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、
ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリアセタ−ル系樹脂、フッ
素系樹脂、その他等の強靱な樹脂のフィルムないしシ−
トを使用することができる。而して、上記の樹脂のフィ
ルムないしシ−トとしては、未延伸フィルム、あるいは
一軸方向または二軸方向に延伸した延伸フィルム等のい
ずれのものでも使用することができる。また、本発明に
おいて、その樹脂のフィルムないしシ−トの厚さとして
は、強度、剛性、腰等を保持するに必要な最低限の厚さ
であればよく、厚すぎると、コストを上昇するとい欠点
もあり、逆に、薄すぎると、強度、剛性、腰等が低下し
て好ましくないものである。本発明においては、上記の
ような理由から、約１０μｍないし２００μｍ位、好ま
しくは、約３０μｍないし１００μｍ位が最も望まし
い。

【００５２】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トについて説明すると、かかる表面保護シ−トとして
は、太陽光の透過性、絶縁性等を有し、更に、耐候性、
耐熱性、耐光性、耐水性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性、防湿性、防汚性、その他等の諸特性を有し、物理的
あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、極めて耐久性
に富み、更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保
護ということから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優
れていることが必要である。上記の表面保護シ−トとし
ては、具体的には、例えば、公知のガラス板等は勿論の
こと、更に、例えば、フッ素系樹脂、ポリアミド系樹脂
（各種のナイロン）、ポリエステル系樹脂、ポリエチレ
ン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン
系樹脂、ポリスチレン系樹脂、（メタ）アクリル系樹
脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セル
ロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないし
シ−トを使用することができる。上記の樹脂のフィルム
ないしシ−トとしては、例えば、２軸延伸した樹脂のフ
ィルムないしシ−トも使用することができる。また、上
記の樹脂のフィルムないしシ−トにおいて、その膜厚と
しては、１２〜２００μｍ位、より好ましくは、２５〜
１５０μｍ位が望ましい。

【００５３】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下
に積層する充填剤層について説明すると、かかる充填剤
層としては、太陽光が入射し、これを透過して吸収する
ことから透明性を有することが必要であり、また、表面
保護シ−トとおよび裏面保護シ−トとの接着性を有する
ことも必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電
池素子の表面の平滑性を保持する機能を果たすために熱
可塑性を有すること、更には、光起電力素子としての太
陽電池素子の保護ということから、耐スクラッチ性、衝
撃吸収性等に優れていることが必要である。具体的に
は、上記の充填剤層としては、例えば、フッ素系樹脂、
エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エ
チレン−アクリル酸、または、メタクリル酸共重合体、
ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン
あるいはポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂をア
クリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマ−ル酸等の不
飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリオレンフィン系樹
脂、ポリビニルブチラ−ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、エ
ポキシ系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、その他等の樹
脂の１種ないし２種以上の混合物を使用することができ
る。なお、本発明においては、上記の充填剤層を構成す
る樹脂には、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性等を向
上させるために、その透明性を損なわない範囲で、例え
ば、架橋剤、熱酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、
光酸化防止剤、その他等の添加剤を任意に添加し、混合
することができるものである。而して、本発明において
は、太陽光の入射側の充填剤としては、耐光性、耐熱
性、耐水性等の耐候性を考慮すると、フッ素系樹脂、シ
リコ−ン系樹脂、エチレン−酢酸ビニル系樹脂が望まし
い素材である。なお、上記の充填剤層の厚さとしては、
２００〜１０００μｍ位、好ましくは、３５０〜６００
μｍ位が望ましい。

【００５４】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子につい
て説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知
のもの、例えば、単結晶シリコン型太陽電池素子、多結
晶シリコン型太陽電池素子等の結晶シリコン太陽電子素
子、シングル接合型あるいはタンデム構造型等からなる
アモルファスシリコン太陽電池素子、ガリウムヒ素（Ｇ
ａＡｓ）やインジウム燐（ＩｎＰ）等のIII −V 族化合
物半導体太陽電子素子、カドミウムテルル（ＣｄＴｅ）
や銅インジウムセレナイド（ＣｕＩｎＳｅ₂ ）等のII−
VI族化合物半導体太陽電子素子、その他等を使用するこ
とができる。更に、薄膜多結晶性シリコン太陽電池素
子、薄膜微結晶性シリコン太陽電池素子、薄膜結晶シリ
コン太陽電池素子とアモルファスシリコン太陽電池素子
とのハイブリット素子等も使用することができる。而し
て、本発明において、太陽電池素子は、例えば、ガラス
基板、プラスチック基板、金属基板、その他等の基板の
上に、ｐｎ接合構造等の結晶シリコン、ｐ−ｉ−ｎ接合
構造等のアモルファスシリコン、化合物半導体等の起電
力部分が形成されて太陽電池素子を構成するものであ
る。

【００５５】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層につ
いて説明すると、かかる充填剤層としては、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤
層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有することも
必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子
の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性
を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池
素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収
性等に優れていることが必要である。しかし、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層す
る充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トの下に積層する充填剤層と異なり、必ずも、
透明性を有することを必要としないものである。具体的
には、上記の充填剤層としては、前述の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様
に、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、また
は、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マ
レイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した
酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル
樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）ア
クリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上の
混合物を使用することができる。なお、本発明において
は、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光
性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透明
性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。なお、上記の充填剤層の厚さとしては、２００〜
１０００μｍ位、より好ましくは、３５０〜６００μｍ
位が望ましい。

【００５６】なお、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候
性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させる
ために、その他の素材、例えば、低密度ポリエチレン、
中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度
ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン
共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ
−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレ
ン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペ
ンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系
樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹
脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブタジェン−ス
チレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ
ビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合
体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセ
タ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−
ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから
任意に選択して使用することができる。本発明におい
て、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ない
し二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用
することができる。また、その厚さは、任意であるが、
数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使用するこ
とができる。更に、本発明においては、フィルムないし
シ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成
膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。

【００５７】次に、本発明において、上記のような材料
を使用して太陽電池モジュ−ルを製造する方法について
説明すると、かかる製造法としては、公知の方法、例え
ば、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トを使用し、例えば、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−ト、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池
素子、充填剤層、および、上記の本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その一方のヒ−トシ
−ル性樹脂層の面を対向させて、順次に積層し、更に、
必要ならば、各層間に、その他の素材を任意に積層し、
次いで、これらを、真空吸引等により一体化して加熱圧
着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上
記の各層を一体成形体として加熱圧着成形して、太陽電
池モジュ−ルを製造することができる。上記において、
必要ならば、各層間の接着性等を高めるために、（メ
タ）アクリル系樹脂、オレフィン系樹脂、ビニル系樹
脂、その他等の樹脂をビヒクルの主成分とする加熱溶融
型接着剤、溶剤型接着剤、光硬化型接着剤、その他等を
使用することができる。

【００５８】また、上記の積層において、各積層対向面
には、密接着性を向上させるために、必要に応じて、例
えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは
窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処
理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の
前処理を任意に施すことができる。更に、上記の積層に
おいては、各積層対向面に、予め、プライマ−コ−ト剤
層、アンダ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、アンカ
−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面前処理を行うこ
ともできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレ
タン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチ
レンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂
あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹
脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使
用することができる。また、上記において、コ−ト剤層
の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、あるい
は、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−
ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他
等のコ−ト法を用いてコ−トすることができる。

【００５９】更にまた、本発明においては、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用
し、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トのいずれ
か一方のポリプロピレン系樹脂フィルムの面に、上記の
充填剤層を積層して、予め、太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トと充填剤層とが積層した積層体を製造し、し
かる後、上記の積層体を構成する充填剤層の面に、光起
電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、太陽電池モ
ジュ−ル用表面保護シ−トを順次に積層して、更に、必
要ならば、その他の素材を任意に積層し、次いで、それ
らを真空吸引等により一体化して加熱圧着するラミネ−
ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体
成形体として加熱圧着成形して、太陽電池モジュ−ルを
製造することができる。

【００６０】

【実施例】以下に本発明について実施例を挙げて更に具
体的に本発明を説明する。 実施例１ （１）．基材フィルムとして、両面にコロナ処理面を形
成した厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ
−トフィルムを使用し、これをプラズマ化学気相成長装
置の送り出しロ−ルに装着し、該２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルムの一方のコロナ処理面に、下記
の条件で厚さ８００Å（８０ｎｍ）の酸化珪素の蒸着膜
を形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 （２）．他方、ポリプロピレン樹脂に、白色化剤として
酸化チタン（５重量％）と紫外線吸収剤として超微粒子
酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ、３重量
％）および同じく紫外線吸収剤としてベンゾフェノン系
紫外線吸収剤（１重量％）と光安定化剤としてヒンダ−
トアミン系光安定化剤（１重量％）とを添加し、その
他、所要の添加剤を添加し、十分に混練してポリプロピ
レン樹脂組成物を調製し、次いで、該ポリプロピレン樹
脂組成物をＴダイ押出機を使用し、溶融押出成形して、
厚さ６０μｍの白着色無延伸ポリプロピレン樹脂フィル
ムを製造し、更に、該白着色無延伸ポリプロピレン樹脂
フィルムの両面に、常法に従って、コロナ放電処理を施
してコロナ処理面を形成した。 （３）．次に、上記の（２）で製造した白着色無延伸ポ
リプロピレン樹脂フィルムの一方のコロナ処理面に、紫
外線吸収剤としてベンゾフェノン系紫外線吸収剤（２．
０重量％）を含有する２液硬化型のウレタン系ラミネ−
ト用接着剤を使用し、これを、グラビアロ−ルコ−ト法
により、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるように
コ−ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成した。次
いで、上記で形成したラミネ−ト用接着剤層の面に、上
記の（１）で製造した厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜
を形成した２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ムの酸化珪素の蒸着膜の面を対向させて重ね合わせ、し
かる後、その両者をドライラミネ−ト積層した。 （４）．次いで、上記の（３）でドライラミネ−ト積層
した厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルムのコロナ処理面に、エ
チレン−酢酸ビニル共重合体をビヒクルの主成分とする
樹脂組成物をグラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚３．
０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティングして
ヒ−トシ−ル性樹脂層を形成して、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （５）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、その他方のエチレン−酢酸ビニル共重合
体からなるヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対向させ、更
に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹
脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ルを製造した。

【００６１】実施例２ （１）．上記の実施例１で製造した厚さ８００Åの酸化
珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムと、厚さ６０μｍの白着色無延伸ポリプ
ロピレン樹脂フィルムとを同様に使用し、まず、上記の
実施例１の（３）と同様にして、白着色無延伸ポリプロ
ピレン樹脂フィルムの一方のコロナ処理面に、紫外線吸
収剤としてベンゾフェノン系紫外線吸収剤（２．０重量
％）を含有する２液硬化型のウレタン系ラミネ−ト用接
着剤を使用し、これを、グラビアロ−ルコ−ト法によ
り、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−
ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成した。次い
で、上記で形成したラミネ−ト用接着剤層の面に、厚さ
８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムの酸化珪素の蒸着膜の面
を対向させて重ね合わせ、しかる後、その両者をドライ
ラミネ−ト積層した。 （２）．次に、上記でドライラミネ−ト積層した厚さ８
００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムのコロナ処理面に、上記の（１）
と同様にして、紫外線吸収剤としてベンゾフェノン系紫
外線吸収剤（２．０重量％）を含有する２液硬化型のウ
レタン系ラミネ−ト用接着剤を使用し、これを、グラビ
アロ−ルコ−ト法により、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状
態）になるようにコ−ティングしてラミネ−ト用接着剤
層を形成した。次いで、上記で形成したラミネ−ト用接
着剤層の面に、別の厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を
形成した２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
の酸化珪素の蒸着膜の面を対向させて重ね合わせ、しか
る後、その両者をドライラミネ−ト積層して、厚さ８０
０Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルムを重層した。 （３）．次いで、上記の（２）でドライラミネ−ト積層
した厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルムのコロナ処理面に、エ
チレン−酢酸ビニル共重合体をビヒクルの主成分とする
樹脂組成物をグラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚３．
０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティングして
ヒ−トシ−ル性樹脂層を形成して、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、その他方のエチレン−酢酸ビニル共重合
体からなるヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対向させ、更
に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹
脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ルを製造した。

【００６２】実施例３ （１）．上記の実施例１で製造した厚さ８００Åの酸化
珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムと、厚さ６０μｍの白着色無延伸ポリプ
ロピレン樹脂フィルムとを同様に使用し、まず、上記の
実施例１の（３）と同様にして、白着色無延伸ポリプロ
ピレン樹脂フィルムの一方のコロナ処理面に、紫外線吸
収剤としてベンゾフェノン系紫外線吸収剤（２．０重量
％）を含有する２液硬化型のウレタン系ラミネ−ト用接
着剤を使用し、これを、グラビアロ−ルコ−ト法によ
り、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−
ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成した。次い
で、上記で形成したラミネ−ト用接着剤層の面に、厚さ
８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムの酸化珪素の蒸着膜の面
を対向させて重ね合わせ、しかる後、その両者をドライ
ラミネ−ト積層した。 （２）．次に、上記でドライラミネ−ト積層した厚さ８
００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムのコロナ処理面に、上記の（１）
と同様にして、紫外線吸収剤としてベンゾフェノン系紫
外線吸収剤（２．０重量％）を含有する２液硬化型のウ
レタン系ラミネ−ト用接着剤を使用し、これを、グラビ
アロ−ルコ−ト法により、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状
態）になるようにコ−ティングしてラミネ−ト用接着剤
層を形成した。次いで、上記で形成したラミネ−ト用接
着剤層の面に、両面にコロナ処理面を形成した厚さ５０
μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
を、その一方のコロナ処理面を対向させて重ね合わせ、
次いで、その両者をドライラミネ−ト積層した。 （３）．次に、上記でドライラミネ−ト積層した厚さ５
０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
の他方のコロナ処理面に、上記の（１）と同様にして、
紫外線吸収剤としてベンゾフェノン系紫外線吸収剤
（２．０重量％）を含有する２液硬化型のウレタン系ラ
ミネ−ト用接着剤を使用し、これを、グラビアロ−ルコ
−ト法により、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になる
ようにコ−ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成し
た。次いで、上記で形成したラミネ−ト用接着剤層の面
に、別の厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの酸化珪素
の蒸着膜の面を対向させて重ね合わせ、しかる後、その
両者をドライラミネ−ト積層して、厚さ８００Åの酸化
珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムを重層した。 （４）．次いで、上記の（３）でドライラミネ−ト積層
した厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルムのコロナ処理面に、エ
チレン−酢酸ビニル共重合体をビヒクルの主成分とする
樹脂組成物をグラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚３．
０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティングして
ヒ−トシ−ル性樹脂層を形成して、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （５）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、その他方のエチレン−酢酸ビニル共重合
体からなるヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対向させ、更
に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹
脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ルを製造した。

【００６３】実施例４ （１）．基材フィルムとして、両面にコロナ処理面を形
成した厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ
−トフィルムを使用し、まず、その２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルムを巻き取り式の真空蒸着機の
送り出しロ−ルに装着し、次に、これを繰り出し、その
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの一方の
コロナ処理面に、一酸化珪素（ＳｉＯ）を蒸着源に用い
て、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−ム（Ｅ
Ｂ）加熱方式による真空蒸着法により、下記の蒸着条件
により、膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着チャンバ−内真空度；１．３３×１０^-2Ｐａ（１×
１０^-4Ｔｏｒｒ） 巻き取りチャンバ−内真空度；１．３３×１０^-2Ｐａ 電子ビ−ム電力；２５ｋｗ フィルム搬送速度；４００ｍ／分 蒸着面；コロナ処理面 （２）．他方、ポリプロピレン樹脂に、白色化剤として
酸化チタン（５重量％）と紫外線吸収剤として超微粒子
酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ、３重量
％）および同じく紫外線吸収剤としてベンゾフェノン系
紫外線吸収剤（１重量％）と光安定化剤としてヒンダ−
トアミン系光安定化剤（１重量％）とを添加し、その
他、所要の添加剤を添加し、十分に混練してポリプロピ
レン樹脂組成物を調製し、次いで、該ポリプロピレン樹
脂組成物をＴダイ押出機を使用し、溶融押出成形して、
厚さ６０μｍの白着色無延伸ポリプロピレン樹脂フィル
ムを製造し、更に、該白着色無延伸ポリプロピレン樹脂
フィルムの両面に、常法に従って、コロナ放電処理を施
してコロナ処理面を形成した。 （３）．次に、上記の（２）で製造した白着色無延伸ポ
リプロピレン樹脂フィルムの一方のコロナ処理面に、紫
外線吸収剤としてベンゾフェノン系紫外線吸収剤（２．
０重量％）を含有する２液硬化型のウレタン系ラミネ−
ト用接着剤を使用し、これを、グラビアロ−ルコ−ト法
により、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるように
コ−ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成した。次
いで、上記で形成したラミネ−ト用接着剤層の面に、上
記の（１）で製造した厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜
を形成した２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ムの酸化珪素の蒸着膜の面を対向させて重ね合わせ、し
かる後、その両者をドライラミネ−ト積層した。 （４）．次いで、上記の（３）でドライラミネ−ト積層
した厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルムのコロナ処理面に、エ
チレン−酢酸ビニル共重合体をビヒクルの主成分とする
樹脂組成物をグラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚３．
０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティングして
ヒ−トシ−ル性樹脂層を形成して、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （５）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、その他方のエチレン−酢酸ビニル共重合
体からなるヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対向させ、更
に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹
脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ルを製造した。

【００６４】実施例５ （１）．上記の実施例４で製造した厚さ８００Åの酸化
珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムと、厚さ６０μｍの白着色無延伸ポリプ
ロピレン樹脂フィルムとを同様に使用し、まず、上記の
実施例４の（３）と同様にして、白着色無延伸ポリプロ
ピレン樹脂フィルムの一方のコロナ処理面に、紫外線吸
収剤としてベンゾフェノン系紫外線吸収剤（２．０重量
％）を含有する２液硬化型のウレタン系ラミネ−ト用接
着剤を使用し、これを、グラビアロ−ルコ−ト法によ
り、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−
ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成した。次い
で、上記で形成したラミネ−ト用接着剤層の面に、厚さ
８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムの酸化珪素の蒸着膜の面
を対向させて重ね合わせ、しかる後、その両者をドライ
ラミネ−ト積層した。 （２）．次に、上記でドライラミネ−ト積層した厚さ８
００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムのコロナ処理面に、上記の（１）
と同様にして、紫外線吸収剤としてベンゾフェノン系紫
外線吸収剤（２．０重量％）を含有する２液硬化型のウ
レタン系ラミネ−ト用接着剤を使用し、これを、グラビ
アロ−ルコ−ト法により、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状
態）になるようにコ−ティングしてラミネ−ト用接着剤
層を形成した。次いで、上記で形成したラミネ−ト用接
着剤層の面に、別の厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を
形成した２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
の酸化珪素の蒸着膜の面を対向させて重ね合わせ、しか
る後、その両者をドライラミネ−ト積層して、厚さ８０
０Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルムを重層した。 （３）．次いで、上記の（２）でドライラミネ−ト積層
した厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルムのコロナ処理面に、エ
チレン−酢酸ビニル共重合体をビヒクルの主成分とする
樹脂組成物をグラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚３．
０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティングして
ヒ−トシ−ル性樹脂層を形成して、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、その他方のエチレン−酢酸ビニル共重合
体からなるヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対向させ、更
に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹
脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ルを製造した。

【００６５】実施例６ （１）．上記の実施例４で製造した厚さ８００Åの酸化
珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムと、厚さ６０μｍの白着色無延伸ポリプ
ロピレン樹脂フィルムとを同様に使用し、まず、上記の
実施例４の（３）と同様にして、白着色無延伸ポリプロ
ピレン樹脂フィルムの一方のコロナ処理面に、紫外線吸
収剤としてベンゾフェノン系紫外線吸収剤（２．０重量
％）を含有する２液硬化型のウレタン系ラミネ−ト用接
着剤を使用し、これを、グラビアロ−ルコ−ト法によ
り、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−
ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成した。次い
で、上記で形成したラミネ−ト用接着剤層の面に、厚さ
８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムの酸化珪素の蒸着膜の面
を対向させて重ね合わせ、しかる後、その両者をドライ
ラミネ−ト積層した。 （２）．次に、上記でドライラミネ−ト積層した厚さ８
００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムのコロナ処理面に、上記の（１）
と同様にして、紫外線吸収剤としてベンゾフェノン系紫
外線吸収剤（２．０重量％）を含有する２液硬化型のウ
レタン系ラミネ−ト用接着剤を使用し、これを、グラビ
アロ−ルコ−ト法により、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状
態）になるようにコ−ティングしてラミネ−ト用接着剤
層を形成した。次いで、上記で形成したラミネ−ト用接
着剤層の面に、両面にコロナ処理面を形成した厚さ５０
μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
を、その一方のコロナ処理面を対向させて重ね合わせ、
次いで、その両者をドライラミネ−ト積層した。 （３）．次に、上記でドライラミネ−ト積層した厚さ５
０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
の他方のコロナ処理面に、上記の（１）と同様にして、
紫外線吸収剤としてベンゾフェノン系紫外線吸収剤
（２．０重量％）を含有する２液硬化型のウレタン系ラ
ミネ−ト用接着剤を使用し、これを、グラビアロ−ルコ
−ト法により、膜厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になる
ようにコ−ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成し
た。次いで、上記で形成したラミネ−ト用接着剤層の面
に、別の厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの酸化珪素
の蒸着膜の面を対向させて重ね合わせ、しかる後、その
両者をドライラミネ−ト積層して、厚さ８００Åの酸化
珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムを重層した。 （４）．次いで、上記の（３）でドライラミネ−ト積層
した厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルムのコロナ処理面に、エ
チレン−酢酸ビニル共重合体をビヒクルの主成分とする
樹脂組成物をグラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚３．
０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティングして
ヒ−トシ−ル性樹脂層を形成して、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （５）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、その他方のエチレン−酢酸ビニル共重合
体からなるヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対向させ、更
に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹
脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ルを製造した。

【００６６】実施例７ 基材フィルムとして、両面にコロナ処理面を形成した厚
さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルムを使用し、そのコロナ処理面に、１×１０ ^-4Ｔｏｒ
ｒの真空下、高周波誘電加熱方式で純度９９．９％の一
酸化珪素（ＳｉＯ）を加熱蒸発させ、膜厚８００Åの酸
化珪素の蒸着膜を形成した。次に、上記で膜厚８００Å
の酸化珪素の蒸着膜を形成した厚さ１２μｍの２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを使用し、以下、
上記の実施例１、同２、および、同３と同様にして、各
々、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルを同様に製
造した。

【００６７】実施例８〜１０ 上記の実施例１において、基材フィルムとして、両面に
コロナ処理面を形成した厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムを使用する代わりに、下
記に示す基材フィルムを使用し、その他は、上記の実施
例１、同２、および、同３と全く同様に行って、上記と
同様に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを同様に製造し
た。 実施例８．厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン
樹脂シ−ト 実施例９．厚さ５０μｍのポリカ−ボネ−ト樹脂シ−ト 実施例１０．厚さ５０μｍのポリアクリル系樹脂シ−ト

【００６８】比較例１ 厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚
さ１２０μｍの白色の未延伸ポリプロピレンフィルム
を、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂
の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製
造した。

【００６９】比較例２ 厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚
さ１００μｍの白色の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ
−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、ア
クリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モ
ジュ−ルを製造した。

【００７０】比較例３ 厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚
さ１００μｍの白色のポリフッ化ビニル樹脂シ−トを対
向させて、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、ア
クリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モ
ジュ−ルを製造した。

【００７１】比較例４ 厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚
さ３８μｍの白色のポリフッ化ビニル樹脂フィルムと厚
さ３５μｍのアルミニウム箔と厚さ３８μｍの白色のポ
リフッ化ビニル樹脂フィルムとからなる３層積層物を、
その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接
着剤層を介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製造し
た。

【００７２】実験例 上記の実施例１〜１０で製造した本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トと比較例１〜４にかかる
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トについて、
（１）．水蒸気透過率、（２）．出力低下率、（３）．
引張り強度維持率、および、（４）．積層強度を測定し
た。 （１）．水蒸気透過率の測定 これは、実施例１〜１０で製造した本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと比較例１〜４にかか
る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トについて、温度
４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯ
ＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−マトラン（ＰＥＲ
ＭＡＴＲＡＮ）〕を使用して測定した。 （２）．出力低下率の測定 これは、ＪＩＳ規格Ｃ８９１７−１９８９に基づいて、
太陽電池モジュ−ルの環境試験を行い、試験前後の光起
電力の出力を測定して、比較評価した。 （３）．引張り強度維持率の測定 これは、温度８５℃、湿度８５％、１０００ｈｒの環境
試験を実施し、試験前後での引張り強度の比較評価を行
い、試験前の引張り強度を１００％としたときの試験後
の引張り強度維持率を測定したものである。なお、初期
の引張り強度は、全て５０Ｎ／１５ｍｍ巾以上であっ
た。測定は、上記の実施例１〜１０で製造した本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと比較例１
〜４にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを１
５ｍｍ巾に裁断し、引張り試験機〔エ−・アンド・デ−
（Ａ＆Ｄ）株式会社製 機種名 テンシロン〕を用いて
測定して評価した。 （４）．積層強度の測定 これは、実施例１〜１０で製造した本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと比較例１〜４にかか
る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トについて、その
一方の面に、充填剤層としての 厚さ４００μｍのエチ
レン−酢酸ビニル共重合体シ−トを積層し、次いで、そ
の積層シ−トを１５ｍｍ巾に裁断し、引っ張り試験機
〔エ−・アンド・デ−（Ａ＆Ｄ）株式会社製 機種名
テンシロン〕を用いて、その積層シ−トの積層面の剥離
強度を測定して評価した。上記の測定結果について下記
の表１に示す。

【００７３】 上記の表１において、水蒸気透過度の単位は、〔ｇ／ｍ
² ／ｄａｙ・４０℃・１００％ＲＨ〕であり、出力低下
率の単位は、〔％〕（８５℃８５％１０００ｈ）であ
り、引張り強度維持率の単位は、〔％〕（８５℃８５％
１０００ｈ）であり、積層強度の単位は、〔Ｎ／１５ｍ
ｍ巾〕である。

【００７４】上記の表１に示す測定結果より明らかなよ
うに、実施例１〜１０にかかる太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トは、水蒸気透過度、引張り強度維持率、お
よび、積層強度に優れていた。更に、上記の実施例１〜
１０にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを用
いた太陽電池モジュ−ルは、出力低下率も低いものであ
った。これに対し、比較例１〜３にかかる太陽電池モジ
ュ−ル用裏面保護シ−トは、水蒸気透過度、引張り強度
維持率、および、積層強度が低く、そのために、それを
用いて製造した太陽電池モジュ−ルは、出力低下率が高
い等の問題点があるものであった。なお、比較例４にか
かる太陽電池モジュ−ルは、引張り強度維持率、積層強
度等が低いものの、一般的に使用されている太陽電池モ
ジュ−ルの構成であり、本実施例と同程度の出力低下率
を達成しているものであった。この点から考慮し、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トは、比
較例４にかかる太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護
シ−トに代わって充分に使用することができるものであ
ることが判明した。

【００７５】

【発明の効果】以上の説明で明らかなよう、本発明は、
太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層につい
て、種々の問題点を解決すべく、まず、基材フィルムの
一方の面に、酸化珪素、あるいは、酸化アルミニウム等
のガラス質からなる透明な、かつ、水蒸気バリア性、酸
素バリア性等に優れた無機酸化物の蒸着膜を設け、更
に、上記で無機酸化物の蒸着膜を設けた基材フィルムの
一方の面に、白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤とを
含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムを積層し、
その他方の面に、ヒ−トシ−ル性樹脂層を積層し、また
は、上記の無機酸化物の蒸着膜を設けた基材フィルムの
２層以上を重層し、更に、上記で重層した重層体の一方
の面に、白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤とを含む
耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムを積層し、その
他方の面に、ヒ−トシ−ル性樹脂層を積層し、あるい
は、上記の無機酸化物の蒸着膜を設けた基材フィルムの
２層以上を強靱性樹脂フィルムを介して重層し、更に、
上記で重層した重層体の一方の面に、白色化剤と紫外線
吸収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系
樹脂フィルムを積層し、その他方の面に、ヒ−トシ−ル
性樹脂層を積層して太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トを製造し、而して、該太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トを使用し、例えば、ガラス板等からなる通常の太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、充填剤層、光起電
力素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、上記
の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その一方の
ヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対向させて順次に積層し、
次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱圧着するラ
ミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ−ルを製造
して、強度に優れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐
光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防汚性、その他
等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止す
る防湿性に優れ、また、光反射性、光拡散性、意匠性等
についても著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最
小限に抑え、特に、水分等による加水分解劣化等を防止
し、極めて耐久性に富み、保護能力性に優れ、かつ、よ
り低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを安定的に製造
し得ることができるというものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図２】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図３】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図４】無機酸化物の蒸着膜について、他の例の層構成
を示す概略を示す概略的断面図である。

【図５】無機酸化物の蒸着膜について、他の例の層構成
を示す概略を示す概略的断面図である。

【図６】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−
ルついてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図で
ある。

【図７】巻き取り式真空蒸着装置の一例を示す概略的構
成図である。

【図８】プラズマ化学蒸着装置の一例を示す概略的構成
図である。

【符号の説明】

Ａ 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト Ａ₁ 〜Ａ₂ 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト １ 基材フィルム ２ 無機酸化物の蒸着膜 ２ａ 多層膜 ２ｂ 無機酸化物の蒸着膜 ２ｃ 無機酸化物の蒸着膜 ２ｄ 複合膜 ３ ポリプロピレン系樹脂フィルム ４ ヒ−トシ−ル性樹脂層 ５ 重層体 ５ａ 重層体 Ｔ 太陽電池モジュ−ル １１ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト １２ 充填剤層 １３ 太陽電池素子 １４ 充填剤層 １５（Ａ） 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大川 晃次郎 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 宮地 貴樹 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 4F100 AA17B AK02A AK03E AK07C AK07D AK07E AK17A AK25A AK41A AK45A AK46A AK68E AT00A BA04 BA05 BA07 BA10C BA10D BA10E CA05C CA05D CA07C CA07D CA13C CA13D EH46 EH66B EJ38E GB48 JB06 JD04 JJ03C JJ03D JL06 JL09 JL12E 5F051 AA05 BA18 JA04 JA05

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基材フィルムの一方の面に、無機酸化物
   の蒸着膜を設け、更に、上記の無機酸化物の蒸着膜を設
   けた基材フィルムの一方の面に、白色化剤と紫外線吸収
   剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂
   フィルムを積層し、その他方の面に、ヒ−トシ−ル性樹
   脂層を積層することを特徴とする太陽電池モジュ−ル用
   裏面保護シ−ト。
2. 【請求項２】 基材フィルムの一方の面に、無機酸化物
   の蒸着膜を設け、かつ、上記の無機酸化物の蒸着膜を設
   けた基材フィルムの２層以上を重層し、更に、上記で重
   層した重層体の一方の面に、白色化剤と紫外線吸収剤と
   光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィ
   ルムを積層し、その他方の面に、ヒ−トシ−ル性樹脂層
   を積層することを特徴とする太陽電池モジュ−ル用裏面
   保護シ−ト。
3. 【請求項３】 基材フィルムの一方の面に、無機酸化物
   の蒸着膜を設け、かつ、上記の無機酸化物の蒸着膜を設
   けた基材フィルムの２層以上を強靱性樹脂フィルムを介
   して重層し、更に、上記で重層した重層体の一方の面
   に、白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤とを含む耐熱
   性のポリプロピレン系樹脂フィルムを積層し、その他方
   の面に、ヒ−トシ−ル性樹脂層を積層することを特徴と
   する太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
4. 【請求項４】 基材フィルムが、フッ素系樹脂フィル
   ム、環状ポリオレフィン系樹脂フィルム、ポリカ−ボネ
   −ト系樹脂フィルム、ポリ（メタ）アクリル系樹脂フィ
   ルム、ポリアミド系樹脂フィルム、または、ポリエステ
   ル系樹脂フィルムからなることを特徴とする上記の請求
   項１〜３のいずれか１項に記載する太陽電池モジュ−ル
   用裏面保護シ−ト。
5. 【請求項５】 無機酸化物の蒸着膜が、無機酸化物の蒸
   着膜の１層若しくは２層以上の多層膜、または、異種の
   無機酸化物の蒸着膜の２層以上の複合膜からなることを
   特徴とする上記の請求項１〜４のいずれか１項に記載す
   る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
6. 【請求項６】 無機酸化物の蒸着膜が、膜厚５０Å以上
   〜４０００Å以下からなることを特徴とする上記の請求
   項１〜５のいずれか１項に記載する太陽電池モジュ−ル
   用裏面保護シ−ト。
7. 【請求項７】 白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤と
   を含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムが、白色
   化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤とを練り込み加工した
   耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムからなることを
   特徴とする上記の請求項１〜６のいずれか１項に記載す
   る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
8. 【請求項８】 白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤と
   を含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムが、その
   表面に白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤とを含む塗
   布ないし印刷膜を有する耐熱性のポリプロピレン系樹脂
   フィルムからなることを特徴とする上記の請求項１〜６
   のいずれか１項に記載する太陽電池モジュ−ル用裏面保
   護シ−ト。
9. 【請求項９】 白色化剤が、白色系顔料からなることを
   特徴とする上記の請求項１〜８のいずれか１項に記載す
   る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
10. 【請求項１０】 紫外線吸収剤が、ベンゾフェノン系、
    ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−ト系、アクリルニト
    リル系、金属錯塩系、または、超微粒子酸化チタン（粒
    子径、０．０１〜０．０６μｍ）若しくは超微粒子酸化
    亜鉛（０．０１〜０．０４μｍ）からなる無機系の紫外
    線吸収剤の１種ないしそれ以上からなることを特徴とす
    る上記の請求項１〜９のいずれか１項に記載する太陽電
    池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
11. 【請求項１１】 光安定化剤が、ヒンダ−ドアミン系化
    合物の１種ないしないしそれ以上からなることを特徴と
    する上記の請求項１〜１０のいずれか１項に記載する太
    陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
12. 【請求項１２】 ポリプロピレン系樹脂フィルムが、プ
    ロピレンの単独重合体またはプロピレンと他のモノマ−
    との共重合体のフィルムからなることを特徴とする上記
    の請求項１〜１１のいずれか１項に記載する太陽電池モ
    ジュ−ル用裏面保護シ−ト。
13. 【請求項１３】 ポリプロピレン系樹脂フィルムが、ド
    ライラミネ−ト積層方式による積層からなることを特徴
    とする上記の請求項１〜１２のいずれか１項に記載する
    太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
14. 【請求項１４】 ポリプロピレン系樹脂フィルムが、溶
    融押出積層方式による積層からなることを特徴とする上
    記の請求項１〜１２のいずれか１項に記載する太陽電池
    モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
15. 【請求項１５】 ヒ−トシ−ル性樹脂層が、ポリオレフ
    ィン系樹脂層またはエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂
    層からなることを特徴とする上記の請求項１〜１４のい
    ずれか１項に記載する太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
    −ト。
16. 【請求項１６】 強靱性樹脂フィルムが、２軸延伸ポリ
    エチレンテレフタレ−トフィルムまたはポリプロピレン
    系樹脂フィルムからなることを特徴とする上記の請求項
    １〜１５のいずれか１項に記載する太陽電池モジュ−ル
    用裏面保護シ−ト。
17. 【請求項１７】 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
    ト、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充
    填剤層、および、基材フィルムの一方の面に、無機酸化
    物の蒸着膜を設け、更に、上記の無機酸化物の蒸着膜を
    設けた基材フィルムの一方の面に、白色化剤と紫外線吸
    収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹
    脂フィルムを積層し、その他方の面に、ヒ−トシ−ル性
    樹脂層を積層した構成からなる太陽電池モジュ−ル用裏
    面保護シ−ト、または、基材フィルムの一方の面に、無
    機酸化物の蒸着膜を設け、かつ、上記の無機酸化物の蒸
    着膜を設けた基材フィルムの２層以上を重層し、更に、
    上記で重層した重層体の一方の面に、白色化剤と紫外線
    吸収剤と光安定化剤とを含む耐熱性のポリプロピレン系
    樹脂フィルムを積層し、その他方の面に、ヒ−トシ−ル
    性樹脂層を積層した構成からなる太陽電池モジュ−ル用
    裏面保護シ−ト、あるいは、基材フィルムの一方の面
    に、無機酸化物の蒸着膜を設け、かつ、上記の無機酸化
    物の蒸着膜を設けた基材フィルムの２層以上を強靱性樹
    脂フィルムを介して重層し、更に、上記で重層した重層
    体の一方の面に、白色化剤と紫外線吸収剤と光安定化剤
    とを含む耐熱性のポリプロピレン系樹脂フィルムを積層
    し、その他方の面に、ヒ−トシ−ル性樹脂層を積層した
    構成からなる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、
    その一方のヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対向させて順次
    に積層し、それらを真空吸引して加熱圧着ラミネ−ショ
    ン法等により一体成形体としたことを特徴とする太陽電
    池モジュ−ル。