JP6458024B2 - 液体を充填および分注するための装置および方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えばコンテナを充填しこうしたコンテナの内容物の分注を可能にするために利用され得る、液体処理・分注システムおよび方法に関する。特定の態様では、本発明は、環境感受性（例えば、酸素感受性および感湿性または酸素感受性もしくは感湿性）の液体と周囲環境との間の曝露を最小限に抑えるかまたは低減させながら、こうした液体をライナー系（liner-based）コンテナに充填しライナー系コンテナから分注することに関する。関連する態様は、このようなシステムの製造、使用、および配置に関する。

多くの産業用途では、化学試薬および組成物は高純度状態で供給される必要があり、パッケージ充填、保管、輸送、および最終の分注作業を通して供給材料が純粋かつ適切な形態で維持されることを保証するために、専用のパッケージングが開発されている。

マイクロ電子デバイス製造および表示パネル製造の分野では、パッケージングされた材料の汚染およびパッケージ内に含まれる材料への環境汚染物の侵入またはパッケージングされた材料の汚染もしくはパッケージ内に含まれる材料への環境汚染物の侵入が、多種多様な液体で製造しているマイクロ電子デバイス製品および表示パネル製品に悪影響を及ぼして、結果として得られる製品を欠陥品にするか、または所期の用途に使用できなくなることさえあるので、こうした液体のための適切なパッケージングへの必要性が特に強い。

これらの考察の結果、フォトレジスト、エッチング液、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハおよびツールの洗浄用製剤、化学機械的研磨組成物、色フィルタリング用化学物質、オーバーコート、液晶材料等、マイクロ電子デバイスおよび表示パネルの製造に使用される液体のために多くのタイプの高純度パッケージングが開発されている。

こうした用途に使用されているあるタイプの高純度パッケージングは、蓋またはカバー等の保持構造によってオーバーパック内の所定の位置に固定された可撓性ライナーまたはバッグ内に液体を収容する、剛性、実質的に剛性、または半剛性のコンテナ（オーバーパックとしても知られる）を含む。このようなパッケージングを一般的に「バッグインカン」（ＢＩＣ）、「バッグインボトル」（ＢＩＢ）、および「バッグインドラム」（ＢＩＤ）パッケージングと呼ぶ。このような一般的タイプのパッケージングが、アドバンストテクノロジーマテリアルズインコーポレイテッド社（米国コネチカット州ダンベリー）から（例えば、ＮＯＷＰａｋ（登録商標）という商標にて）市販されている。

ライナーは可撓性材料を含み、その周りの（例えば、オーバーパック）コンテナは、実質的に該可撓性材料より剛性である壁材料を含むことが好ましい。パッケージングの剛性または半剛性コンテナは、（例えば）高密度ポリエチレンもしくは他のポリマーまたは金属で形成することができ、ライナーは、ライナー内に収容される材料（例えば、液体）に対して不活性であるように選択されたポリマーフィルム材料、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、ＰＴＦＥ系積層体、ポリアミド、ポリエステル、ポリウレタン等の予め洗浄した無菌の折畳み可能なバッグとして提供することができる。前述の材料のいずれかを含む多層積層体を使用することができる。多層積層体を含むライナーの例は、本明細書に参照として組み込まれる特許文献１に開示される。ライナーの例示的構成材料としては、さらに、金属化フィルム、箔、ポリマー／コポリマー、積層体、押出成形品、共押出成形品、ならびに吹込成形フィルムおよびキャストフィルムが挙げられる。このような一般的タイプのライナー系パッケージングが、アドバンストテクノロジーマテリアルズインコーポレイテッド社からＮＯＷＰＡＫという商標で市販されている。

米国特許出願公開第２００９／０２１２０７１号明細書

液体および液体系組成物を分注するためのライナー系パッケージングの使用時には、液体または液体含有組成物は一般的に、浸漬管または短いプローブを含む分注アセンブリをライナーのポートに接続し、収容した液体に浸漬管を浸すことによって、ライナーから分注される。関連するフロー回路へと放出して、最終使用ツールまたは最終使用場所へと流すために、ライナーを徐々に折り畳み、液体を強制的に分注アセンブリに通すように流体（例えば、気体）の圧力をライナーの外面（すなわち、ライナーとその周りのコンテナとの間の空間）に加える。こうした操作は、ライナー系圧力分注と呼ぶことができる。分注される液体を収容するライナーの使用によって、ライナーに対して圧力を加えるように構成された気体のような加圧流体との直接的な接触を防ぐ。

ヘッドスペース（ライナーの頂部にある余分な空気または気体）および微小気泡が、フラットパネルディスプレイおよび集積回路製造等の状況を含む、ライナー系パッケージからの液体分注の重大な問題となる。ヘッドスペース気体は、パッケージに液体が完全には充填されていない充填操作に由来することがある。分注操作の際にパッケージが置かれる場所へとパッケージを輸送している間に、液体を膨張させる温度変化等のパッケージの周囲環境の変化に対応するように、拡張容積としてヘッドスペースを設けるために、パッケージを完全に充填しないことが特定の場合に利用されている。

ライナー系圧力分注コンテナは通常、化学薬品充填施設で充填される。コンテナは通常、ステンレス鋼で作製され、コンテナの上部周辺部の周りに延びる一体型チャイムを有する。コンテナは、充填された後、通常、膜、キャップ、および／またはその他の閉止部により密封され、通常は処理施設である使用場所に輸送される。使用場所では、最終使用者は、コンテナと、処理装置に予め接続されている分注ヘッドとを連結させる。分注ヘッドは、加圧気体をライナーとコンテナとの間の間隙空間に加え、かつ液体含有組成物をライナーから抽出することができるように構成されている。分注ヘッドは、コンテナの取付け部品の頂部および最上部から上方へと、コンテナのチャイムの上に延びる。

特定の液体（例えば、表示パネルおよびマイクロ電子デバイスの製造用）は酸素および湿気または酸素もしくは湿気に対して非常に敏感であり、酸素または湿気への曝露故に変質しやすいか、または貯蔵寿命が減少しやすく、このような材料を利用した処理は信頼性が低い。ライナー系圧力分注コンテナの従来の使用は、複数回の期間、すなわち、充填または密封中、輸送中、および／または分注ヘッドへの接続時において空気（例えば、水蒸気を含む）が侵入しやすい。手順および装置に伴うこのような曝露を最小限に抑えることが望ましい。構成部品の複雑性の低減、製造コストの低減、ならびにコンテナおよび分注ヘッドのロバスト性、耐久性、および清浄度の向上において常に改善が求められている。

その他の場合においては、処理に使用される液体は非常に悪臭がするものであり、多くの場合臭いを嗅ぐのが非常に不快であり、場合によっては有害でありうる。このような場合では、臭気および漏出が起こらないようにするかまたは最小限になるように、このような液体の周囲環境との曝露はなくすかまたは最小限にすることが望ましい。

半導体加工において使用するためのプロセスおよび装置は、処理液体の分注に伴う空気および湿気による汚染を最小限に抑える。
内部ライナーを有する輸送可能なコンテナは、化学薬品施設で分注ヘッドが設置され、収容面の周囲空気との接触をなくすかまたは最小限に抑えるための手段がとられる。処理液体は、化学薬品供給施設で分注ヘッドを通して剛性コンテナ内の清浄な乾燥気体でパージしたバッグに入れられる。その後、処理液体が入った、分注ヘッドを有するコンテナは、処理時に流体を使用するための処理施設に輸送される。コンテナおよび分注ヘッドは、作業員および環境への流体の曝露のリスクを最小限に抑え、また分注ヘッドへの損傷リスクを最小限に抑えるための特徴を有する。処理システムまたはその他の配管システムは分注ヘッドで分注ヘッドに接続される。コンテナの充填中および流体の分注中のプロトコルによって、分注ヘッド内への周囲空気の侵入および処理流体と作業員との直接的な接触は最小限に抑えられるため、流体汚染のいかなる機会も最小限に抑え、また作業員に対するいかなるリスクも最小限に抑える。

本発明の実施形態では、輸送可能な液体保管分注装置は、バッグとして構成された折畳み可能なライナーを収容する実質的に剛性のコンテナを有し、ライナーは内部を含み、間隙空間がライナーとコンテナとの間に配置され、分注ヘッドはコンテナの口部に連結され、分注ヘッドは、ライナーの内部と流体連通する液体通路と、ライナーの内部と流体連通するライナー気体通路と、間隙空間と流体連通する加圧気体通路とを備え、管材料分注ヘッド取付け部品および液体弁は液体通路と関連し、ライナー分注ヘッドおよび気体弁はライナー気体通路と関連し、加圧気体弁および分注ヘッドは加圧気体通路と関連する。ある実施形態では、ライナー気体弁は、ライナー気体弁クイック接続取付け部品を含むか、これと結合しており、ライナー気体弁は分注ヘッドとライナー気体弁クイック接続取付け部品との間に配置される。

本発明の実施形態では、コンテナは分注ヘッドと組み合わされ、コンテナはある直径の、コンテナ部分に溶接された上側チャイムおよび下側チャイムを有するステンレス鋼コンテナ部分を含み、当該コンテナ部分は円筒状外壁およびドーム状端壁を有する。チャイムはドーム状端壁または円筒状外壁に溶接されてよい。上側チャイムは、分注ヘッドの上に延び、分注ヘッドのための保護ゾーンを画定する、唇部を有する。実施形態において、上側チャイムは、コンテナの軸方向の全体高さの２０％を超える軸方向に延びる高さを有する。実施形態において、上側チャイムは、コンテナの軸方向の全体高さの２５％を超える軸方向に延びる高さを有する。実施形態において、上側チャイムは、コンテナの軸方向の全体高さの３０％を超える軸方向に延びる高さを有する。実施形態において、上側チャイムは、コンテナの軸方向の全体高さの２５％〜４０％である軸方向に延びる高さを有する。実施形態において、下側チャイムは、半径方向に凹んでいない部分が上側チャイムの唇部に載るように、上側チャイムに嵌まるようにサイズ決めされた、半径方向に凹んだ部分を有する。実施形態において、取り外し可能なパネルは上側チャイムにより画定された保護空間をカバーする。パネルは、上側チャイムにパネルを取り外し可能に固定する掛け金または保持機構を有してもよい。

本発明の実施形態では、分注ヘッドは最小限の数の構成要素を備え、有利には、コンテナの口に直接連結され、コンテナ内に配置されるバッグとして構成されるライナーへの取付け部品と係合し、分注ヘッドは下側本体部を有し、プローブ部分は下側本体部の中心を通って延び、上側本体部は下側本体部の上に配置されて下側本体部に固定され、ナットは下部周りに延び、上側本体部と下側本体部との間で拘束される。プローブ部分は、ドラム内の液体を分注するための軸方向に延びる流体流路と、バッグ内の液体の上の気体を管理するための軸方向に延びる気体流路とを有する。プローブは、ダウンチューブと、バッグ内の液体の上の気体を管理するためのダウンチューブの上に配置された出口とを受容するための雄型取付け部品を有する。上側本体部および下側本体部は、軸方向に延び、バッグとコンテナのコンテナ壁との間の間隙空間と連通するように配置された流体通路を有する。ナットは下側本体部、上側本体部、およびプローブ部分に対して回転可能である。ナットはコンテナのねじ付き口の雄ねじと係合するための雌ねじを有してもよい。

本発明の実施形態では、ライナーとコンテナとの間の間隙空間を有し、ライナーの取付け部品はコンテナの口部に合わせられた状態で折畳み可能なライナーを収容する実質的に剛性のコンテナと噛み合うように構成された輸送可能な分注ヘッドであって、分注ヘッドは、（ｉ）ライナーの内部と流体連通可能であるように構成された液体通路およびライナー気体通路、ならびに（ｉｉ）間隙空間と流体連通する加圧気体通路を画定し、分注ヘッドの挿入（例えば、プローブ）部分は、取付け部品の一部と密封係合するために取付け部品に挿入可能な少なくとも１つの密封要素を備え、ライナー気体通路の末端は、ライナーの上部と流体連通可能であるように少なくとも１つの密封要素よりも下に配置された、分注ヘッド本体と、取付け部品を通過してライナーの内部へと延び、液体通路は浸漬管にまたは浸漬管を通って延びてライナーの下部から流体材料を抽出できる浸漬管と、ライナー気体通路と流体連通するライナー気体弁と、液体通路と流体連通する液体弁と、加圧気体通路と流体連通する加圧気体弁とを備える、輸送可能な分注ヘッド。

本発明の実施形態では、折畳み可能なライナーと、コンテナの口に連結され、かつライナーの内部と流体連通する液体通路、ライナーの内部と流体連通するライナー気体通路、ライナーとコンテナとの間の間隙空間と流体連通する加圧気体通路、液体通路と流体連通する液体弁、ライナー気体通路と流体連通するライナー気体弁、および加圧気体通路と流体連通する加圧気体弁を備える分注ヘッドとを収容する実質的に剛性のコンテナを利用した流体処理方法であって、本方法は、分注ヘッドを通してライナーの内部に不活性気体を供給するステップと、不活性気体供給ステップ後に、分注ヘッドを通してライナーの内部から不活性気体を除去して少なくとも部分的にライナーを収縮させるステップと、不活性気体除去ステップ後に、少なくとも部分的にライナーを不活性気体で再膨張させるステップと、ライナー再膨張ステップ後に、分注ヘッドを通して液体含有材料を供給し、少なくとも部分的にライナーの内部を液体含有材料で充填する一方、分注ヘッドを通してライナー内の不活性気体の少なくとも一部を逃がすステップと、液体含有材料供給ステップ後に、液体供給弁を閉じるステップとを含む、流体処理方法。

本発明の実施形態では、折畳み可能なライナーと、コンテナの口に連結され、かつライナーの内部と流体連通する液体通路、ライナーの内部と流体連通するライナー気体通路、ライナーとコンテナとの間の間隙空間と流体連通する加圧気体通路、液体通路と流体連通する液体弁、ライナー気体通路と流体連通するライナー気体弁、および加圧気体通路と流体連通する加圧気体弁を備える分注ヘッドとを収容する実質的に剛性のコンテナを利用した流体処理方法である。本方法は、分注ヘッドを通してライナーの内部に不活性気体を供給するステップと、不活性気体供給ステップ後に、分注ヘッドを通してライナーの内部から不活性気体を除去して少なくとも部分的にライナーを収縮させるステップと、不活性気体除去ステップ後に、少なくとも部分的にライナーを不活性気体で再膨張させるステップと、ライナー再膨張ステップ後に、分注ヘッドを通して液体含有材料を供給し、少なくとも部分的にライナーの内部を液体含有材料で充填する一方、分注ヘッドを通してライナー内の不活性気体の少なくとも一部を逃がすステップと、液体含有材料供給ステップ後に、液体供給弁を閉じるステップとを含む。

本発明の実施形態では、分注ヘッドは、コンテナのねじ付き口に直接取り付けられて螺合するナットを備える。当該ねじ付き口は、コンテナ部分およびコンテナのチャイムと一体である。分注ヘッドはさらに、２つの流体通路を有する中心プローブ部分、上側本体部および下側本体部、ならびにナットを有し、上側本体部および下側本体部はそれぞれ少なくとも１つの流体通路を有する。上側本体部および下側本体部はねじによって一緒に着脱可能に固定され、間にナットの一部を挟み込み、ナットは自由に回転できる。上側本体部および下側本体部はさらに、間にプローブ部分を固定する。中心プローブ部分は、浸漬管用であり、ライナーのヘッドスペースにおける流体のための通路を有する取付け部品を有する。

別の態様では、前述の態様および任意のその他の態様または前述の態様もしくは任意のその他の態様の任意の１つもしくは複数の特徴ならびに本明細書に開示した特徴は、さらなる利点のために組み合わせられてもよい。

本発明の実施形態の特徴および利点は、コンテナが常にある処理施設においてコンテナ内の化学物質へのオープンアクセスが決してないという点で、使用者の、潜在的に有害な化学物質への曝露が最小限に抑えられるということである。

本発明の実施形態の特徴および利点は、取り扱う作業員が、化学薬品供給施設および処理施設の両方において、収容される処理流体に直接曝露されないかまたは曝露が最小限に抑えられるという点で、作業員への傷害が最小限に抑えられるということである。

本発明の実施形態の特徴および利点は、分注チューブおよび分注ヘッドが、内部に処理流体を有するコンテナ内に挿入されも設置されもしないということである。本発明の実施形態では、分注チューブおよび分注ヘッドの設置は、処理化学薬品をコンテナに入れる前に行われる。このことにより、作業員への潜在的曝露を最小限に抑え、処理流体の汚染を最小限に抑え、また環境が処理流体に曝露される漏出リスクを最小限に抑える。

本発明の実施形態の特徴および利点は、分注ヘッドが、保護された空間を画定するシュラウド内に完全に含まれることによって衝撃による損傷から保護されるということである。シュラウドは分注ヘッドの上に延びる拡張コンテナチャイムにより提供されてよい。このような保護は理想的にはコンテナのコンテナ部分に永久的に取り付けられ、その後、コンテナが充填される化学薬品供給施設にて、輸送中、任意の保管施設にある間、処理施設にて、または使用場所でも存在する。

本発明の実施形態の特徴および利点は、チャイムはアクセス開口部を有し、分注ヘッドはチャイム開口部と位置合わせされて横方向に配向された分注ヘッドを有することである。このことにより、処理施設に設置されるときおよび処理流体の分注中に、分注ヘッドおよびすべての分注ヘッドへの保護も提供する。

本発明の実施形態の特徴および利点は、最小限の数の構成要素を有する分注ヘッドである。
本発明の実施形態の特徴および利点は、取り扱う作業員が、化学薬品供給施設および処理施設の両方において、収容される処理流体に直接曝露されないという点で、施設または環境の汚染が最小限に抑えられるということである。

本発明のその他の態様、特徴および実施形態は以下の開示および添付の特許請求の範囲からより完全に明らかになるであろう。

本発明の一実施形態に係るライナー系圧力分注パッケージを備える輸送可能な液体保管分注装置を充填するために構成された流体処理システムの簡略化した概略図である。 図１Ａに係る流体処理システムを使用したパッケージの充填後の、ライナー系圧力分注パッケージを備える輸送可能な液体保管分注装置の簡略化した概略図である。 図１Ｂに係るライナー系圧力分注パッケージを備えた輸送可能な液体保管分注装置を含む、液体含有材料を分注するように構成された流体処理システムの簡略化した概略図である。 本発明の実施形態に係るライナー系圧力分注パッケージを備えた輸送可能な液体保管分注装置の構成要素を含む断面斜視組み立て図である。 図２Ａの輸送可能な液体保管分注装置の構成要素の部分側面断面組み立て図である。 図２Ａ〜図２Ｂの輸送可能な保管分注装置の組み立て後の構成要素の側面断面図である。 本発明の実施形態に係るライナー系圧力分注を備えた別の輸送可能な液体保管分注装置の構成要素の部分側面断面組み立て図である。 図３Ａの輸送可能な保管分注装置の組み立て後の構成要素の側面断面図である。 カバーを有するライナー系圧力分注パッケージを備えた輸送可能な液体保管分注装置の斜視図である。反対側からの見た目も同じである。 底部から見た図４のライナー系圧力分注パッケージを備えた輸送可能な液体保管分注装置の斜視図である。反対側からの見た目も同じである。 カバーを取り外した状態の図のライナー系圧力分注パッケージを備えた輸送可能な液体保管分注装置の斜視図である。 ダウンチューブ、ライナー取付け部品、およびライナー保持部を示す、図４〜図６の分注システムの部分分解図である。 本発明の実施形態に係る分注ヘッドの分解図である。 上側チャイムへのカバーの取付けを示す断面図である。 ライナーおよびダウンチューブを有するコンテナに設置された分注ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態に係る分注ヘッドの斜視図である。 図１１Ａの分注ヘッドの断面図である。 分注ヘッドの上半分の本体部の斜視図である。 図１２Ａの本体部の半分の下側の斜視図である。 分注ヘッドの下側本体部の斜視図である。 図１３Ａの線１３Ｂ−１３Ｂにおける断面図である。 図１３Ａの線１３Ｃ−１３Ｃにおける断面図である。 分注ヘッドのナットの斜視図である。 本発明の実施形態に係る分注ヘッドのプローブ部分の斜視図である。 図１５のプローブ部分の別の下から見た斜視図である。 図１５および図１６のプローブ部分の断面図である。 図１５〜図１７のプローブ部分の下から見た平面図である。 本発明の実施形態に係る別の分注ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ１の概略断面図である。この図は、バッグとして構成されたライナーをコンテナ内に挿入し、分注ヘッドおよび浸漬管を取り付け、バッグを膨張させる動作を表す。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ２の概略断面図である。この図は、分注ヘッドのコネクタを充填システムに接続する動作を表す。具体的には、ライナー、折畳み／膨張ライン、ヘッドスペース通気／膨張ライン、および液体充填／分注ラインをコネクタに取り付ける。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ３の概略断面図である。この図は、開いたヘッドスペース弁によるライナーを折り畳む動作と、気体を供給してライナーを折り畳む開いた環状供給／通気弁を表す。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ４の概略断面図である。この図は、ライナーを折り畳む動作を表し、この動作により、ヘッドスペース弁を開けることおよび開いた環状供給弁によって空気をバッグの内外に強制的に通す。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ５の概略断面図である。この図は、窒素供給を受けるヘッドスペースボールを有するライナーを膨張させる動作を表す。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ６の概略断面図である。この図は、ヘッドスペース弁を開け、ヘッドスペース供給気体を閉じたままにして通気圧力にすることによりライナーを膨張させる動作を表す。このステップは、適宜または所望により膨張および収縮を繰り返すことを含む。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ７の概略断面図である。この図は、ヘッドスペース弁を開け、液体充填／分注弁を開けた状態で、ヘッドスペース供給弁を開けて低圧窒素をヘッドスペースに供給するか、または通気孔を開けたままにして充填中に気体を逃がして、ライナーを化学液体で充填する動作を表す。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ８の概略断面図である。この図は、充填されたコンテナの液体充填／分注弁を閉じ、窒素供給に関するヘッドスペース弁を閉じ、環状供給および通気孔を閉じ、環状空間コネクタを塞ぐ動作を表す。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ９の概略断面図である。この図は、すべての接続を切断し、弁が閉じていることを確認する動作を表す。液体を有するコンテナは輸送の準備が整っている。カバーをして、上側チャイムにより画定された開口部を閉鎖してもよい。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ１０の概略断面図である。この図は、分注ヘッドおよび液体内容物を有するコンテナを最終使用者または保管所へと輸送する動作を表す。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ１１の概略断面図である。この図は、分注ヘッドを送達システムに接続し、ヘッドスペース送達弁を開ける動作を表す。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ１２の概略断面図である。この図は、分注弁を開き、環状供給／通気弁を開いてコンテナを加圧し、液体が感知されるまでヘッドスペース気体を除去する、化学液体送達動作を表す。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ１３の概略断面図である。この図は、空になるまで化学液体を分注することを表す。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ１４の概略断面図である。この図は、パッケージが空であることを表し、ここで分注弁は閉じられ、環状供給／通気弁は窒素に対しては閉じられ、排気に対しては開けられる。 ゼロヘッドスペースが所望される本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ１１の概略断面図である。この図は、分注ヘッドを送達システムに接続し、ヘッドスペース除去弁を開ける動作を表す。 ゼロヘッドスペースが所望される本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ１２の概略断面図である。動作は、ヘッドスペース除去弁を開けることと、窒素に接続された環状供給／通気弁を開けてコンテナを加圧することと、気体がなくなるまでヘッドスペース除去を続けることからなる。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ１３の概略断面図である。この図は、ヘッドスペース通気弁を閉じ、化学薬品送達弁を開け、窒素供給に関する環状供給／通気弁を開いてコンテナを加圧し、化学液体を分注する動作を表す。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ１４の概略断面図である。この図は、空になるまで化学液体を分注することを表す。 本発明の実施形態に係るプロセスおよび利用装置のステップ１５の概略断面図である。この図は、液体内容物が完全に分注されたときに分注弁を閉じ、環状供給／通気弁を閉じる動作を表す。

本発明は、ある態様では、酸素感受性および感湿性材料を充填および分注するための改善された流体処理装置および方法に関する。特定の態様では、本発明は、高純度化学試薬および組成物、例えば、フォトレジスト、エッチング液、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハ洗浄用製剤、ツール洗浄用製剤、化学機械的研磨組成物、色フィルタリング用化学物質、オーバーコート、および液晶材料を保管し、輸送し、分注するためのライナー系液体収容システムおよび方法に関する。

ライナーが外部容器（例えば、好ましくは実質的に剛性であるが所望により半剛性である）に取り付けられる流体材料の保管および分注のためのライナー系パッケージの使用において、分注操作は、圧力分注気体を容器内のライナーの外側に流すことを伴ってよいため、ライナー内の流体材料がライナーから強制的に流出するように、気体により加えられる圧力によってライナーは強制的に徐々に圧縮される。ライナー系パッケージは、ポンプ、コンプレッサ、圧縮気体タンク等の好適な加圧気体供給源と連結されうる。分注される流体材料は、流体利用処理ツール等の使用場所へと流されるか、または配管、マニホールド、分注ヘッド、弁等を通って使用場所へ流されてよい。

ライナー系パッケージは、そこから材料を分注するためのライナーと連通している分注ポートを備える。分注ポートは好適な分注アセンブリと連結している。分注アセンブリは種々の形態のいずれか、例えば、ライナー内で材料と接触し、それを通って材料が容器から分注された浸漬管を有するプローブまたは分注ヘッドを備えたアセンブリの形態をとることができる。パッケージは、大規模パッケージであることができ、ライナーは１〜２０００リットル以上の範囲の材料を収容する能力がある。実施形態によって、ライナーは１４リットルまたは約１４リットルの収容能力を有し、実施形態によっては４０リットルまたは約４０リットルの収容能力を有し、実施形態によっては２００リットルまたは約２００リットルの収容能力を有する。実施形態によって、パッケージは２０リットル未満または約２０リットルであり、実施形態によっては５０リットル未満または約５０リットルであり、実施形態によっては１００リットル未満または約１００リットルであり、実施形態によっては２００リットル未満または約２００リットルである。

ライナーは、その縁部に沿って密封され（例えば、溶接され）うる１枚以上のフィルムのシートまたはその他の材料を使用することによって任意の好適な方法で形成できる。一実施形態では、複数の平坦なシートを重ね合わせ（積み重ね）、それらの縁部に沿って密封してライナーを形成する。１枚以上のシートは、その一面の上部に沿ってポートまたはキャップの構造を含んでもよい。別の一実施形態において、ポートまたはキャップ構造に接合されうる容器の上端部に一体充填開口部を形成する管状吹込み成形が使用される。したがって、ライナーは、ライナーを、流体の導入または排出にそれぞれ関わる充填または分注操作のための好適な分注ヘッドに連結するための開口部を有してもよい。このような開口部は構造によって補強されてもよく、「取付け部品」と呼ぶ。取付け部品は、典型的には、フィルムが接合された横方向に延びるフランジ部分と、フランジ部分に実質的に垂直な方向に延びる管状部分を含む。ライナー取付け部品はコンテナポート、コンテナキャップもしくは閉止部、またはその他の好適な構造と噛み合うか、他の形で接触することができる。キャップまたは閉止部もまた、流体の導入または分注のための浸漬管またはダウンチューブと連結するように構成されてよい。

ある実施形態にて、ライナーは管状ストック材料から形成されてよい。管状ストック、例えば、吹込成形管状ポリマーフィルム材料の使用によって、ライナーの側部に沿ったヒートシールおよび溶接シームが回避される。側部の溶接シームがないことは、重ね合わせられて周辺部をヒートシールしたフラットパネルで形成されたライナーに比べて、ライナーに応力を加える傾向のある力および圧力に、より良く耐えるのに有利であることができる。ある実施形態にて、ライナーは、縦方向に切断され、その後溶接されて１つ以上の溶接シームを形成する管状ストック材料から形成されてもよい。

ライナーは、外側コンテナを再使用できるように使用する度に（例えばコンテナ内部に収容されている液体がコンテナからなくなったときに）除去され、新しく予め清浄にされたライナーと交換されるように構成された使い捨ての薄膜ライナーであることが好ましい。このようなライナーは、例えば、ライナーに収容された液体を浸出させることによって、または分解して、ライナー内で高い拡散係数を有し、表面に移動して可溶化するかまたは他の形でライナー内の液体の汚染物質になる分解生成物を生じさせることによって、汚染物質源でありうるかまたは汚染物質源になりうる可塑剤類、酸化防止剤類、紫外線安定剤類、充填剤類等のような成分を含まないことが好ましい。

好ましくは、実質的に純粋なフィルム、例えば、バージン（添加剤を含まない）ポリエチレンフィルム、バージンポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム、またはその他の好適なバージンポリマー材料、例えば、ポリビニルアルコール、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリブチレン等がライナーに使用される。より一般的には、ライナーは、金属被覆および箔被覆された、またはそれらを伴わない、積層体、共押出成形品、オーバーモールド押出成形品、複合材料、コポリマー、および混合材料から形成されてよい。ライナー材料は、例えば約１ミル（０．０３ミリメートル（０．００１インチ））から約１２０ミル（０．４７ミリメートル（０．１２０インチ））までの範囲内の、任意の適切な厚さであることが可能である。一実施形態においては、ライナーは、２０ミル（０．０７ミリメートル（０．０２０インチ））の厚さを有する。

ある実施形態では、ライナーは有利には、特性として可撓性かつ折畳み可能な適切な厚さのフィルム材料から形成されてよい。一実施形態において、ライナーは、その内部容積が定格充填体積、すなわち、ハウジング１４内で完全に充填されたときにライナー内に収容可能な液体体積、の約１０％以下まで低減できるように圧縮性である。種々の実施形態では、ライナーの内部容積は、定格充填体積の約０．２５％以下、例えば、４０００ミリリットルパッケージで１０ミリリットル未満、または約０．０５％以下（１９Ｌパッケージでは１０ｍＬ以下残る）または０．００５％以下（２００Ｌパッケージでは１０ｍＬ以下残る）まで圧縮性であってもよい。好ましいライナー材料は、交換ユニットとしての輸送中にライナーが折り畳みまたは圧縮が可能であるように十分に柔軟である。ライナーは、液体がライナー内に収容されたときに粒子および微小気泡の形成に耐性を示す組成および特性であることが好ましく、このライナーは、液体が温度および圧力変化によって膨張および収縮できるように十分に可撓性であり、例えば半導体製造またはその他の高純度であることが重要な液体供給用途で液体が利用される特定の最終使用用途に対しての純度を維持するのに有効である。

ある実施形態では、剛性または実質的に剛性の折畳み可能なライナーを使用してもよい。本明細書で使用する場合、用語「剛性」または「実質的に剛性」とは、第１の圧力の環境においてその形状および体積またはその形状もしくは体積を実質的に保持する物体または材料の特性も含むことが意図されるが、形状および体積または形状もしくは体積は、圧力が増大または減少した環境下では変わってもよい。物体または材料の形状および体積または形状もしくは体積を変えるのに必要となる圧力の増大量または減少量は、材料または物体に所望される用途次第であることができ、また用途毎に異なりうる。一実施形態において、ライナーの少なくとも一部は剛性または実質的に剛性であってもよく、ライナーの少なくとも一部は、ライナーの少なくとも一部に加圧流体が適用されることによって圧力分注条件下では折り畳まれる。一実施形態において、剛性または実質的に剛性の折畳み可能なライナーは、十分な厚さの、液体充填時にライナーが自立するような組成の材料から製造されてもよい。剛性または実質的に剛性の折畳み可能なライナーは、単層特性または多層特性であってよく、好ましくはポリマー材料を含む。多層のポリマー材料およびその他の材料または多層のポリマー材料もしくはその他の材料からなる積層複合材料（例えば、熱および圧力または熱もしくは圧力の印加により積層されたもの）を使用してよい。剛性または実質的に剛性の折畳み可能なライナーは、任意の１つまたは複数の好適な積層、押出成形、鋳造、成形、および溶接ステップによって形成されてよい。剛性または実質的に剛性の折畳み可能なライナーは好ましくは、ライナーと一体形成された実質的に剛性の開口部またはポートを有するため、溶接またはその他の密封方法によってライナーに取り付ける、別個の取付け部品の必要性が回避される。本明細書にて開示する分注アセンブリおよび分注装置は、剛性または実質的に剛性の折畳み可能なライナーとともに使用することができる。

折畳み可能なライナーは、略円筒形状、積み重ねを簡単にできるような矩形の平行六面体形状、または任意のその他の好適な形状もしくは形態でありうる実質的に剛性のコンテナ（ハウジングまたはオーバーパックとしても知られている）内に配置されてよい。略剛性ハウジングは、ライナーを収容する内部空間の境界となる、ハウジングの壁に漏れ止め接合されたオーバーパック蓋をさらに含んでよい。ライナーとその周りのコンテナとの間に設けられる間隙空間は加圧気体供給源と流体連通することができるため、間隙空間への加圧気体の付加によってライナーを圧縮し、液体をライナーから排出させる。

半導体製造用途については、本明細書にて開示する圧力分注コンテナのライナー内に収容される液体含有材料は、ライナーの充填時点で、０．２０ミクロン以上の直径を有する粒子を７５粒子／ミリリットル未満（より好ましくは５０粒子／ミリリットル未満、より一層好ましくは３５粒子／ミリリットル未満、より好ましくは２０粒子／ミリリットル未満）有するべきであり、ライナーは、ＳＩＡ、ＩＴＲＳ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｉｎｄｕｓｔｒｙ Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ、Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｒｏａｄｍａｐ ｆｏｒ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ）第１９９９年版に記された規格に従って、液体中の全有機炭素（ＴＯＣ：Ｔｏｔａｌ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃａｒｂｏｎ）は３０ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｂｉｌｌｉｏｎ（１０億分の１））未満（より好ましくは１５ｐｐｂ未満）、カルシウム、コバルト、銅、クロム、鉄、モリブデン、マンガン、ナトリウム、ニッケル、およびタングステン等の重大な元素当たりの金属抽出レベルは１０ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｔｒｉｌｌｉｏｎ（１兆分の１））未満、ライナーが含むフッ化水素、過酸化水素、および水酸化アンモニウムに対する元素当たりの鉄および銅の抽出レベルは１５０ｐｐｔ未満有するべきである。

ライナー系液体収容システムは、多種多様な特性の化学試薬および組成物の保管および分注のために利用できる。本発明は以下で主として、マイクロ電子デバイス製品の製造に使用するための液体または液体含有組成物の保管および分注に関して記述するが、本発明の有用性はこれに従い限定されているのではなく、むしろ本発明は多種多様なその他の用途および収容材料にまで及び、またかかる用途等を包含するものであると理解されよう。例えば、このような液体収容システムは、液体媒体または液体材料がパッケージを必要とする、医用品および医薬品、建築材料および建設材料、食料品および飲料製品、化石燃料および石油、農薬等を含む多数のその他の用途に活用される。

本明細書で使用する場合の用語「マイクロ電子デバイス」とは、レジスト塗布半導体基板、フラットパネルディスプレイ、薄膜記録ヘッド、微小電気機械システム、およびその他の先端マイクロエレクトロニクス部品を意味する。マイクロ電子デバイスとしては、パターン化シリコンウェーハ、フラットパネルディスプレイ基板、ポリマー基材、または微多孔性／メソ多孔性無機固体を挙げてもよい。

ある実施形態では、液体含有材料はライナー中に維持され、不活性気体を含むヘッドスペースに覆われてもよい。その他の実施形態では、液体含有材料は、ゼロヘッドスペース構成またはほぼゼロヘッドスペース構成のライナー中に維持されてもよい。本明細書で使用する場合、ライナー中の流体に関連する用語「ゼロヘッドスペース」とは、ライナーが完全に液体媒体で充填され、ライナー中の液体媒体の上に気体体積がないことを意味する。ライナー中の流体に関連する本明細書で使用する場合の用語「ほぼゼロヘッドスペース」とは、ライナーが、ライナー中の液体媒体の上にあるごくわずかな体積の気体を除いて液体媒体で実質的に完全に充填されている、例えば、気体体積が、ライナー中の流体の全体積の５％未満、好ましくは流体の全体積の３％未満、より好ましくは流体の全体積の２％未満、最も好ましくは流体の全体積の１％未満、または流体の全体積の０．５％未満である（または、言い換えると、ライナー中の液体または液体含有材料の体積が、ライナー全容積の９５％超、好ましくは全容積の９７％超、より好ましくは全容積の９８％超、さらにより好ましくは全容積の９９％超、最も好ましくは全容積の９９．５％超である）ことを意味する。

ヘッドスペースの体積が大きければ大きいほど、上にある気体が液体媒体に混入および可溶化または混入もしくは可溶化される可能性が高くなるが、これは、液体媒体はライナー内でスロッシングし、跳ね、また移動しやすく、さらにパッケージの輸送中に、その周りの剛性コンテナに対してライナーが衝撃を受けるためである。この状況により、液体媒体内での気泡（例えば、微小気泡）および微粒子の形成がもたらされる場合があり、これにより液体媒体が劣化し、またその意図される用途には不適になりうる。このため、ある実施形態では、ヘッドスペースは、最小限に抑えられてよく、好ましくはライナーの内部容積を液体媒体で完全に充填することによってなくしてもよい（すなわち、ゼロヘッドスペース構成またはほぼゼロヘッドスペース構成）。その他の実施形態において、ヘッドスペースは、温度変化による輸送中の収容材料の膨張に対応する必要がある場合があるが、ライナーからの液体含有材料の分注前の使用時にライナーからヘッドスペースを除去してもよい。

本発明の一態様は、ライナー系コンテナから分注ヘッドを通して空気、酸素および／または湿気をパージするステップと、分注ヘッドを通してライナー系コンテナを液体含有材料で充填するステップと、輸送中にライナーヘッドスペース内の少ない体積の不活性気体を（例えば、周囲気圧を超える圧力で）維持するステップと、分注前の使用時点で不活性気体を分注ヘッドを通してライナーから除去するステップと、ライナーから分注ヘッドを通して流体利用プロセスまで液体含有材料を圧力分注するステップのうち複数（好ましくはすべて）を実行できる複数の通路および弁を有する分注ヘッドを備える輸送可能なライナー系の液体保管分注装置に関連する。分注ヘッドは好ましくは、真空環境、不活性気体環境またはその他の制御された環境下で行われる接続を必要とせずに、好ましくない物質の侵入を最小限または実質的に０にしながら空気含有（または酸素含有、湿気含有、またはその他の汚染物質含有）環境下で行われる流体接続が可能な複数のクイック接続取付け部品を備える。前述のステップを実行するためにコンテナに接続された単一の分注ヘッドの使用によって、高純度液体またはその他の液体含有材料の充填から分注までのあらゆる時点での潜在的汚染物質または好ましくない物質の侵入を実質的に減らすかまたはなくす。

クイック接続取付け部品（クイック接続部またはクイックリリース継手としても知られている）は流体継手の分野で知られており、流体移送ラインの接続を迅速に行うかまたは遮断するために使用される。クイック接続取付け部品は一般に、手で操作され、レンチ等のツールを一般に必要とするねじ接続またはフランジ接続に取って代わる。自己密封弁を装備した場合、クイック接続取付け部品は分離時に自動的にライン内のいかなる流体も収容する。すなわち、自己密封弁を有するクイック接続継手の協働部分の係合により機械的に協働部分の一方または両方の弁を作動させて、連結されると弁を開き、連結が切断されると弁を閉じる。

ある実施形態では、本明細書にて開示する分注ヘッドはライナー収容コンテナの口に直接連結されてもよい。その他の実施形態において、分注ヘッドは、例えば分注ヘッドとコンテナの口部との中間に配置されたアダプタを使用することによって、ライナー収容コンテナの口に間接的に連結されてもよい。取付け部品に分注ヘッドの挿入（例えば、プローブ）部分を受容させるために、このようなアダプタを使用して、ライナーの取付け部品部分に合わせられるコンテナの口と係合および保持または係合もしくは保持することが有益でありうる。

ある実施形態では、ライナー収容剛性コンテナは、コンテナ内への周囲環境気体または蒸気の移動を最小限に抑えるかまたはなくすために、（特定のポリマー等の潜在的な多孔性材料とは対照的な）非多孔性材料から製造されてもよい。ある実施形態では、本明細書にて開示する分注ヘッドは、同様にコンテナ内への周囲環境気体または蒸気の移動を最小限に抑えるかまたはなくすために金属（例えば、ステンレス鋼）で製造された本体およびプローブまたは本体もしくはプローブを含んでよい。

ある実施形態では、分注ヘッドは、少なくとも１つの密封要素（例えば、Ｏリング）を含む挿入端部（例えば、プローブ）を備え、挿入端部はライナー取付け部品内へ挿入するように構成され、少なくとも１つの密封要素は取付け部品の内側表面に密封係合するように構成される。ある実施形態では、分注ヘッドは、ライナー内部へと下方に延び、ライナーの下部（例えば、底部）から液体含有材料を抽出するように構成された一体型浸漬管またはダウンチューブを備えてよい。その他の実施形態において、分注ヘッドは、分注ヘッドの挿入端部と浸漬管との中間に配置された浸漬管継手と噛み合うように構成されてもよい。

ある実施形態では、輸送可能な液体保管分注装置は、ライナーとコンテナとの間の間隙空間を有した状態で折畳み可能なライナーを収容する実質的に剛性のコンテナと、コンテナの口部に連結するように構成された分注ヘッドとを備える。分注ヘッドは、ライナーの内部と流体連通する液体通路と、ライナーの内部と流体連通するライナー気体通路と、間隙空間と流体連通する加圧気体通路とを備える。分注ヘッドは、分注ヘッドに含まれるかまたは分注ヘッドに連結され、かつ液体通路と流体連通する液体弁をさらに備えてもよい。液体弁は、液体弁クイック接続取付け部品を備えるかまたは液体弁クイック接続取付け部品と結合してもよく、液体弁は分注ヘッドと液体弁クイック接続取付け部品との間に配置される。分注ヘッドは、分注ヘッドに含まれるかまたは分注ヘッドに連結され、かつライナー気体通路と流体連通するライナー気体弁をさらに備えてもよい。ライナー気体弁は、ライナー気体弁クイック接続取付け部品を備えるかまたはライナー気体弁クイック接続取付け部品と結合してもよく、ライナー気体弁は分注ヘッドとライナー気体弁クイック接続取付け部品との間に配置される。分注ヘッドは、分注ヘッドに含まれるかまたは分注ヘッドに連結され、かつ加圧気体通路と流体連通する加圧気体弁をさらに備えてもよい。加圧気体弁は、加圧気体弁クイック接続取付け部品を備えるかまたは加圧気体弁クイック接続取付け部品と結合してもよく、加圧気体弁は分注ヘッドと液体弁クイック接続取付け部品との間に配置される。

ある実施形態では、液体弁、ライナー気体弁、および加圧気体弁のそれぞれの少なくとも一部は、分注ヘッドの少なくとも１つの外部部分に沿って外部とアクセス可能であってもよい。ある実施形態では、ライナー気体弁および加圧気体弁のうち少なくとも１つは逆止弁を具現化するかまたは逆止弁を備えてもよい。ある実施形態では、ライナー気体弁、液体弁、および加圧気体弁のうち少なくとも１つは、任意の好適なタイプの手動または自動で操作可能な弁（例えば、ボール弁、ニードル弁等）を備えてよい。ある実施形態では、ライナー気体弁、液体弁、および加圧気体弁のうち少なくとも１つは、空気弁、ソレノイド弁、および／またはサーボ弁を含んでよい。ある実施形態では、液体弁および加圧気体弁のうち少なくとも１つは、１つまたは複数の制御信号に対応して流れを調節するように構成されてもよい。

ある実施形態では、ライナー気体弁、液体弁、および加圧気体弁のうち少なくとも１つは、それぞれの弁に関連する少なくとも１つの開口部をカバーおよび密封またはカバーもしくは密封するように構成された対応するカバー要素またはプラグ（例えば、手で取り外し可能）を備えてよい。ある実施形態では、ライナー気体弁、液体弁、および加圧気体弁のうち少なくとも１つと流体連通するように構成された１つまたは複数のクイック接続取付け部品は、それぞれのクイック接続取付け部品に関連する少なくとも１つの開口部をカバーおよび密封またはカバーもしくは密封するように構成された対応するカバー要素またはプラグ（例えば、手で取り外し可能）を備えてよい。このようなカバー要素またはプラグを使用して、さらに流体接続表面への汚染物質の侵入を防ぐかまたは低減させることができる。

ある実施形態では、少なくとも１つの保護ハウジングまたはシュラウドは、液体弁、ライナー気体弁、および加圧気体弁のうち少なくとも１つの少なくとも一部、ならびに／またはライナー気体弁、液体弁、および／もしくは加圧気体弁と流体連通するように構成された１つまたは複数のクイック接続取付け部品の少なくとも一部をカバーするように構成される。このような保護ハウジングまたはシュラウドは任意の好適な剛性および緩衝材料または剛性もしくは緩衝材料を含んでよく、弁、クイック接続取付け部品、および／または分注ヘッドのその他の部分もしくは構成要素への輸送中の損傷を防ぐように構成されてもよい。ある実施形態では、保護ハウジングまたはシュラウドは、分注ヘッドがライナー系コンテナに連結されたときに、分注ヘッドの外部に他の形でアクセス可能な表面をすべてまたは実質的にすべて包み込むように構成されてよい。一実施形態において、保護ハウジングまたはシュラウドは、ライナー系コンテナに連結されたときに分注ヘッド周りに配置可能な剛性外板内に配置される発泡緩衝材料を備えてよく、保護ハウジングまたはシュラウドは、コンテナの外部に取り付けられるように構成されてもよい。

ある実施形態では、液体含有材料は、分注ヘッドが連結されたライナー系コンテナのライナー内に配置されてよく、液体含有材料は、環境気体および蒸気または環境気体もしくは蒸気の、コンテナおよび分注ヘッドまたはコンテナもしくは分注ヘッドへの侵入を防止するために、わずかに正圧（周囲気圧よりも高い）の不活性気体（例えば、窒素、アルゴン、またはその他の好適な気体）に覆われてもよい。ある実施形態では、ヘッドスペースは、少なくとも１０２ｋＰａ、少なくとも約１０５ｋＰａ、少なくとも約１１０ｋＰａ、少なくとも約１２０ｋＰａ、またはコンテナの輸送中および分注使用中または輸送中もしくは分注使用中に受ける可能性のある周囲気圧よりも大きい任意のその他の好適な値の圧力で加圧された気体を含有してよい。

ある実施形態では、輸送可能な分注ヘッドは、ライナーとコンテナとの間の間隙空間を有し、ライナーの取付け部品はコンテナの口部に合わせられた状態で折畳み可能なライナーを収容する実質的に剛性のコンテナと噛み合うように構成されてよい。このような分注ヘッドは、（ｉ）ライナーの内部と流体連通が可能であるように構成された液体通路およびライナー気体通路と、（ｉｉ）間隙空間と流体連通する加圧気体通路とを画定する分注ヘッド本体を備えてよく、分注ヘッドの挿入（例えば、プローブ）部分は、取付け部品の一部と密封係合するために取付け部品に挿入可能な少なくとも１つの密封要素を備える。ライナー気体通路の末端は、ライナーの上部と流体連通可能であるように少なくとも１つの密封要素の下に配置されてよい。浸漬管は取付け部品を通過してライナーの内部まで延びてよい。液体通路は浸漬管まで、または浸漬管を通って延びて、ライナーの下部から流体材料を抽出することができる。分注ヘッド内のまたは分注ヘッドと結合するライナー気体弁は、ライナー気体通路と流体連通するように設けられてもよい。分注ヘッド内のまたは分注ヘッドと結合する液体弁は、液体通路と流体連通するように設けられてもよい。ライナー気体弁は、ライナー気体弁クイック接続取付け部品を備えるかまたはライナー気体弁クイック接続取付け部品と結合してよく、ライナー気体弁は分注ヘッドとライナー気体弁クイック接続取付け部品との間に配置される。分注ヘッドは、分注ヘッドに含まれるかまたは分注ヘッドに連結され、かつ加圧気体通路と流体連通する加圧気体弁をさらに備えてもよい。加圧気体弁は、加圧気体弁クイック接続取付け部品を備えるかまたは加圧気体弁クイック接続取付け部品と結合してもよく、加圧気体弁は分注ヘッドと液体弁クイック接続取付け部品との間に配置される。

分注ヘッド内のまたは分注ヘッドと結合する加圧気体弁は、加圧気体通路と流体連通するように設けられてもよい。ある実施形態では、液体通路およびライナー気体通路は、分注ヘッド本体の少なくとも挿入部分内に非同心で配置されてよい。浸漬管継手は分注ヘッドのプローブまたは挿入部分と浸漬管との間に配置されてよい。ライナーの取付け部品はコンテナの口部に合わせられてよい。アダプタは分注ヘッドとコンテナの口部との中間に配置され、分注ヘッドをコンテナの口部に間接的に連結できる。

ある実施形態では、流体処理方法は、折畳み可能なライナーを収容する実質的に剛性のコンテナと、コンテナの口に連結され、かつライナーの内部と流体連通する液体通路、ライナーの内部と流体連通するライナー気体通路、ライナーとコンテナとの間の間隙空間と流体連通する加圧気体通路、液体通路と流体連通する液体弁、ライナー気体通路と流体連通するライナー気体弁、および加圧気体通路と流体連通する加圧気体弁を備える分注ヘッドとを利用できる。流体処理方法は、分注ヘッドを通してライナーの内部に不活性気体を供給するステップと、不活性気体供給ステップ後に、分注ヘッドを通してライナーの内部から不活性気体を除去して少なくとも部分的にライナーを収縮させるステップと、不活性気体除去ステップ後に、少なくとも部分的にライナーを不活性気体で再膨張させるステップと、ライナー再膨張ステップ後に、分注ヘッドを通して液体含有材料を供給し、少なくとも部分的にライナーの内部を液体含有材料で充填する一方、分注ヘッドを通してライナー内の不活性気体の少なくとも一部を逃がすステップと、液体含有材料供給ステップ後に、液体供給弁を閉じるステップのうち２つ以上を含んでよい。ある実施形態では、ヘッドスペース（例えば、ヘッドスペース気体）はその後ライナーから除去することができ、ライナーと関連する弁を閉じて、ライナーは任意の所望の期間ゼロヘッドスペースのままにすることができる。輸送のためにライナーが準備できたら、加圧不活性気体（すなわち、任意の好適な圧力値、例えば、１０２ｋＰａまたは本明細書に開示した任意のその他の圧力値まで加圧されたもの）を、分注ヘッドを通して（例えば、ライナー気体弁を通して）ライナーに供給でき、このような加圧不活性気体は、使用場所まで輸送される間ライナー内に留まり、液体含有材料を覆うことができる。

ある実施形態では、不活性気体加圧ライナー系パッケージを使用場所に輸送した後に各種ステップを行うことができる。１つまたは複数のステップは、使用場所で加圧気体供給ラインおよび液体分注ラインを分注ヘッドに接続するステップと、分注ヘッドを通してさらなる不活性気体をライナーから除去するステップと、加圧気体供給ラインから分注ヘッドを通して、加圧気体をライナーと分注ヘッドとの間の間隙空間へと供給するステップと、分注ヘッドおよび液体分注ラインを通して、液体含有組成物を利用するように構成された流体利用装置まで液体含有材料を分注するステップとを含んでよい。

ある実施形態では、液体含有材料は、フォトレジスト、エッチング液、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハ洗浄用製剤、ツール洗浄用製剤、化学機械的研磨組成物、色フィルタリング用化学物質、オーバーコート、および液晶材料のいずれかを含む。

ある実施形態では、流体処理方法は、折畳み可能なライナーを収容する実質的に剛性のコンテナと、コンテナの口に連結され、かつライナーの内部と流体連通する液体通路、ライナーの内部と流体連通するライナー気体通路、ライナーとコンテナとの間の間隙空間と流体連通する加圧気体通路、液体通路と流体連通する液体弁、ライナー気体通路と流体連通するライナー気体弁、および加圧気体通路と流体連通する加圧気体弁を備える分注ヘッドとを利用できる。このような方法は、分注ヘッドを通してライナーの内部に不活性気体を供給するステップと、不活性気体供給ステップ後に、分注ヘッドを通してライナーの内部から不活性気体を除去して少なくとも部分的にライナーを収縮させるステップと、不活性気体除去ステップ後に、少なくとも部分的にライナーを不活性気体で再膨張させるステップと、ライナー再膨張ステップ後に、分注ヘッドを通して液体含有材料を供給し、少なくとも部分的にライナーの内部を液体含有材料で充填する一方、分注ヘッドを通してライナー内の不活性気体の少なくとも一部を逃がすステップと、液体含有材料供給ステップ後に、液体供給弁を閉じるステップのうち２つ以上を含んでよい。クイック接続取付け部品は加圧気体弁、液体弁およびライナー気体弁のうち１つまたは複数と関連してよい。ある実施形態では、分注ヘッドへの加圧気体供給ラインの接続は加圧気体弁クイック接続取付け部品を利用してよく、分注ヘッドへの液体分注ラインの接続は液体分注弁クイック接続取付け部品を利用してよい。

例示的実施形態のさらなる詳細が図面とともに以下で説明される。
図１Ａは、一実施形態に係るライナー系圧力分注パッケージ１０５を備える輸送可能な液体保管分注装置を充填するように構成される流体処理システム１００の構成要素を示す。パッケージ１０５は、間隙空間１１５がコンテナ１１０とライナー１２０との間に配置された状態で折畳み可能なライナー１２０を収容する剛性または実質的に剛性のコンテナ１１０を備える。ライナー１２０は、不活性気体を含んでよいヘッドスペース１２３に覆われた液体含有材料１２２を含むことができる内部容積１２１の境界となる。分注ヘッド１３０はコンテナ１１０に連結される。分注ヘッド本体１３１は、加圧気体通路１３２、液体通路１３３、およびライナー気体通路１３４を画定する。加圧気体通路１３２は間隙空間１１５と（例えば、気体送達点１３２Ａで）流体連通する。液体通路１３３は、（例えば、ライナー１２０の下部にまたは底部に沿って配置された抽出点１３５Ａにて液体含有材料を抽出するために）ライナー１２０の内部１２１と流体連通する浸漬管１３５を通って延びる。ライナー気体通路は、ライナーの内部１２１と（例えば、ライナー１２０の上部に配置された気体進入または出口点１３４Ａにて）流体連通する。分注ヘッド１３０の一部であるか、分注ヘッド１３０に含まれるかまたは連結した加圧気体弁１４２は加圧気体通路１３２と流体連通する。分注ヘッド１３０の一部であるか、分注ヘッド１３０に含まれるかまたは連結した液体弁１４３は液体通路１３３と流体連通する。分注ヘッド１２０の一部であるか、分注ヘッド１２０に含まれるかまたは連結したライナー気体弁１４４はライナー気体通路１３４と流体連通する。加圧気体弁１４２、液体弁１４３、およびライナー気体弁１４４のうち少なくとも１つ（好ましくはそれぞれの端部）は対応するクイック接続取付け部品、すなわち、加圧気体弁クイック接続取付け部品１５２、液体弁クイック接続取付け部品１５３、および／またはライナー気体弁クイック接続取付け部品１５４を備えるかまたはこれと結合する。加圧気体弁１４２は、（気体レギュレータおよび気体制御弁または気体レギュレータもしくは気体制御弁（図示せず）を備えてよい）加圧気体供給源１７２から加圧気体を受容するように構成される。液体弁１４３は、液体材料供給源１７３から、所望により中間液体弁１７５を通して液体材料を（例えば、ライナー充填プロセスの一部として）受容するように構成されている。ライナー気体弁１４４は、真空供給源または通気孔１７４Ａ（例えば、真空／通気弁１７６Ａを通って）または不活性気体供給源１７４Ｂ（例えば、不活性気体弁１７６Ｂを通って）と選択的に流体連通するように構成される。システム１００の各種構成要素の動作はコントローラ１０１により制御できる。

システム１００を使用して、ライナー系コンテナから分注ヘッドを通して空気、酸素および／または湿気をパージするステップ、分注ヘッドを通してライナー系コンテナを液体含有材料で充填するステップ、ならびに少ない体積の不活性気体を（例えば、周囲気圧を超える圧力で）ライナーのヘッドスペースに付加（および保持）して輸送のためにパッケージ１０５を準備するステップのうちいくつかまたはすべてを行うことができる。

一実施形態において、図１Ａに示すように、名目上液体含有材料が「空」であるが酸素および蒸気または酸素もしくは蒸気が存在しやすい新しいライナー１２０をコンテナ１１０に挿入し、分注ヘッド１３０はコンテナ１１０に連結され、分注ヘッド１３０は加圧気体供給源１７２に連結され、液体材料供給源１７３に連結され、また真空供給源／通気孔１７４Ａまたは不活性気体供給源１７４Ｂに選択的に連結されている。液体含有材料を充填すべくライナーを準備するために、不活性気体は、不活性気体供給源１７４Ｂからライナー１２０の内部１２１に供給され、このような不活性気体は、真空供給源または通気孔１７４Ａを使用して（１回のパージサイクルを構成する不活性気体供給および除去により）除去される。複数回のパージサイクル（各回は不活性気体の添加に続き、不活性気体の除去を含む）を実行して、ライナー１２０の内部１２１からの不活性気体および蒸気を残らず除去することを確実にしてよい。その後、液体含有材料１２２は液体材料供給源１７３から液体弁１４３、通路１３３、および浸漬管１３５を通ってライナーに供給できる。ヘッドスペースは真空供給源または通気孔１７４Ａを使用して内部１２１から除去できる。分注ヘッド１３０は所望により、パッケージ１５０の輸送が望まれるまでの任意の所望の期間密封されてもよい。輸送のためにパッケージ１０５を準備するために、加圧不活性気体は、不活性気体供給源１７４Ｂからライナー気体弁１４４およびライナー気体通路１３４を通ってライナーのヘッドスペース部分１２３に供給されてよく、分注ヘッド１３０はその後、パッケージ１０５を液体材料利用施設へと輸送するために（内部の加圧内容物とともに）密封されてよい。

図１Ｂは、図１Ａと関連して記述される流体処理システム１００を使用したパッケージ１０５の充填後のライナー系圧力分注パッケージ１０５を備える輸送可能な液体保管分注装置を示す。パッケージ１５０のライナー１２０に加圧不活性気体１２３で覆われた状態で液体含有材料１２２を充填した後に、弁１４２、１４３、１４４を（自動でまたは手で）閉鎖してよく、任意のカバー要素またはプラグ１６２、１６３、１６４は、各弁１４２、１４３、１４４および／または関連するクイック接続取付け部品１５２、１５３、１５４と関連する少なくとも１つの開口部をカバーするように構成されてよい。加えて、少なくとも１つの保護ハウジングまたはシュラウド１６１は、分注ヘッド１３０、弁１４２、１４３、１４４、およびクイック接続取付け部品１５２、１５３、１５４のうち少なくとも１つ（および好ましくはそれぞれの全体）の少なくとも一部をカバーするように構成されて、このような構成要素を輸送中の損傷から保護することを援助することができる。シュラウドは、分注ヘッドの頂部を越えて軸方向に延びる、コンテナ部分に溶接された拡張されたチャイムであってもよい。

図１Ｃは、ライナー系圧力分注パッケージ１０５を備える輸送可能な液体保管分注装置から液体含有材料を分注するように構成された流体処理システム１８０の構成要素を示す。使用場所では、カバー要素またはプラグ１６２、１６３、１６４および保護ハウジングまたはシュラウド１６１（図１Ｂに示す）を取り除いてよく、複数の接続部を分注ヘッド１３０に作成してもよい。加圧気体弁１４２（および関連するクイック接続取付け部品１５２）は、（少なくとも１つの圧力レギュレータおよび弁または圧力レギュレータもしくは弁（図示せず）を備えてよい）加圧気体供給源１８２と関連する配管に接続されてもよい。液体弁１４３（および関連するクイック接続取付け部品１５３）は液体利用プロセス１８９と関連する配管に（所望により、下流液体弁１８５により）接続されてもよく、液体利用プロセス１８９（処理ツール等）は所望により、空検出素子１８７およびリザーバ１８８または空検出素子１８７もしくはリザーバ１８８を備える。ライナー気体弁１４４（および関連するクイック接続取付け部品１５４）は、所望により、真空／通気弁１８６を含む真空供給源および通気孔１８４または真空供給源もしくは通気孔１８４と関連する配管に接続されてもよい。コントローラ１８１は、流体処理システム１８０の１つまたは複数の構成要素を制御するように構成されてもよい。

流体処理システム１８０の動作時に、ライナー気体弁１４４を開けて真空供給源１８４を使用してライナー気体弁１４４を通して気体を抜くことによって、または加圧気体を間隙空間１１５に供給してライナー１２０を圧縮し、ライナー気体弁１４４を通って通気孔１８４に気体を排出することによって、ライナー１２０の内部１２１に収容された不活性気体１２３を残らず除去できる。あるいは、パッケージ１０５と下流液体利用プロセス１８９との間に配置された通気可能なリザーバ１８８に気体を排出することによって、液体弁１４３を通して不活性気体１２３を除去してもよい。リザーバ１８８は、定期的にリザーバ１８８の上部を通気させて不活性気体を逃がすことができる気体通気孔（図示せず）を備えてよく、液体含有材料はリザーバ１８８の下部から抜かれて、液体は下流液体利用プロセス１８９へと運ばれる。

前の段落ではライナー１２０からの不活性気体１２３の除去について言及したが、ある実施形態では、液体含有材料１２２は、ライナー１２０の内部１２１に不活性気体が一切存在しないゼロヘッドスペース状態でライナー１２０に配置されうる。

不活性気体１２３を残らずライナー１２０から除去した後、液体含有材料１２２は、液体弁１４３を開け、加圧気体（またはその他の流体）を間隙空間１１５へと供給し、ライナー１２０を圧縮し、液体を浸漬管１３５および液体弁１４３を通して下流液体利用プロセス１８９に関連する配管および構成要素へと強制的に送ることによってライナー１２０から分注できる。任意の好適なタイプの１つまたは複数の空検出センサ１８７が液体利用プロセスに関連する配管に配置されてよい。ある実施形態では、空検出センサとしては、気泡センサ、容量センサ、流量計（例えば、流量計を通して液体含有材料の総流量を計量する積算流量計または合計流量計）、または空であるか空に近づいている状態を示すものとして圧力低下状態を感知するように構成された圧力変換器もしくは圧力スイッチのうち少なくとも１つを挙げることができる。圧力低下状態を感知するための圧力変換器または圧力スイッチの使用は、参照として本明細書に組み込まれる米国特許出願公開第２０１０／０１１２８１５号明細書に開示されている。空状態または空に近づいている状態が感知されると、液体含有材料１２２のライナー１２０からの分注を停止することができ、液体含有材料の分注の続きは、別のライナー系圧力分注パッケージ（図示せず）から液体利用プロセス１８９に開始することができる。ある実施形態では、液体含有材料は引き続き所望の下流リザーバ１８８から液体利用プロセスへと供給することができる一方、新しいライナー系圧力分注コンテナが分注操作のために準備される。

図２Ａ〜図２Ｃは、内部にライナー２２０を収容するコンテナ２１０に連結するように構成された分注ヘッド２３０を備える第１の輸送可能な液体保管分注装置２０５の構成要素を示す。間隙空間２１５はコンテナ２１０とライナー２２０との間に設けられる。コンテナ２１０は、上部境界壁２０９に沿って中心に配置されたねじ付き口２１２を備え、上縁２１１で終端する境界壁２０９の上に延びるチャイムとして構成された上部２１４Ａを有する少なくとも１つの側壁２１４を備え、所望により壁領域２１２Ａを含む底壁２１２を備え、またコンテナ２１０を支持するように構成された下縁２１３を備える。少なくとも１つの側壁２１４の上部２１４Ａは、コンテナ２１０を手で把持するためのハンドルとしての機能を果たす少なくとも１つの開口部２１３を備えてよい。ある実施形態では、コンテナ２１０は金属（例えば、ステンレス鋼）で製造されてよい。

内部容積２２１を画定するライナー２２０はコンテナ２１０内に配置される。内側表面２２３が境界となる孔を画定する取付け部品２２２はライナー２２０に接合され、この取付け部品２２２はコンテナの口２１２に合わせられ、アダプタ２２４により所定位置で保持される。このアダプタ２２４は、口２１２と係合するように構成された雌ねじ付き表面を有する下部２２５を備え、分注ヘッド２３０の下面２３１Ａに沿って配置された雌ねじと係合するように構成された雄ねじ部分を有する上部２２６を備える。

開口下端部２３５Ａおよびフレア上端部２３５Ｂを有する中空浸漬管２３５は、ライナー２２０の内部２２１に挿入されるように構成されている。浸漬管２３５は浸漬管継手２９０に接合するように構成されている。浸漬管継手２９０は、ボア２９３を画定して浸漬管２３５のフレア上端部２３５Ｂに挿入されるように構成された小径下部２９１を備え、分注ヘッド２３０のプローブまたは挿入部分２３５Ａの先端および少なくとも浸漬管密封要素２３８に係合するように構成された内側表面２９５が境界を成す凹み２９４を画定する大径上部２９２を備える。

ある実施形態では、フレア上端部のない浸漬管を使用してもよいが、浸漬管は、浸漬管を押し込んで継手のボアに係止するか、または浸漬管上に継手を成形することによって実現することができる。

分注ヘッド２３０は、加圧気体通路２３２、液体通路２３３、およびライナー気体通路２３４を画定する本体２３１を備える。加圧気体通路２３２は加圧気体弁２４２と流体連通して、加圧気体が選択的に間隙空間２１５に入ることを可能にする。液体通路２３３は、液体弁（図示せず）と噛み合うように構成された外面２４３Ｂを有する液体弁境界継手２４３Ａと流体連通する。ライナー気体通路２３４はライナー気体弁２４４と流体連通する。下方に突出するプローブまたは挿入部分２３５は、分注ヘッド２３０の下面２３１Ａを越えて延び、取付け部品２２２に挿入されるように構成され、プローブまたは挿入部分２３５Ａの先端部分および浸漬管密封要素２３８は浸漬管継手２９０に画定された凹み２９４の内側表面２９５と噛み合うように構成されている。１つまたは複数の追加の密封要素２３９は、ライナー２２０の取付け部品２２２の内側表面２２３と密封係合するためにプローブまたは挿入部分２３５Ａの外面に沿って配置される。ライナー気体通路２３４は、分注ヘッド２３０がコンテナ２１０の口２１２と連結した（例えば、アダプタ２２４を介して間接的に連結した）ときに浸漬管継手２９０の上に配置され、ライナー２２０の内部２２１と流体連通するように構成された末端２３４Ａを（挿入部分２３５Ａに沿って中間に配置された肩部２３７近傍に）備える。液体通路２３３は、液体含有材料がライナー２２０の下部（例えば、底部）（例えば、コンテナ２１０の底壁２１２に画定された壁部分２１２Ａ近傍）から抜くことができるように分注ヘッド２３０および浸漬管継手２９０を通って浸漬管２３５を通るように延びる。

図２Ａ〜図２Ｃに示すように、弁２４２、２４４は、分注ヘッド２３０内または分注ヘッド２３０上に配置され、さらにコンテナ２１０の上縁２１１の幅を越えて延びないように構成される。コンテナ２１０、ライナー２２０、および分注ヘッド２３０を使用して、本明細書にて開示する液体処理方法を行うことができる。

図３Ａ〜図３Ｂは、内部にライナー３２０を収容するコンテナ３１０に連結するように構成された分注ヘッド３３０を備える第２の輸送可能な液体保管分注装置３０５の構成要素を示す。装置３０５は多くの点で図２Ａ〜図２Ｃに関連して開示した装置２０５と類似しているが、異なる液体弁および加圧気体弁を有し、また異なるライナー気体通路および浸漬管の構成（例えば、浸漬管継手がない）を有する。

図３Ａ〜図３Ｂに示すように、分注ヘッド３３０は内部にライナー３２０を備えるコンテナ３１０に連結されるように構成される。コンテナ３１０は、上部境界壁３０９に沿って中心に配置されたねじ付き口３１２を備え、上端３１１で終端し、境界壁３０９上に延びる上部３１４Ａを有する少なくとも１つの側壁を備え、底壁および下縁（図示せず）を備える。少なくとも１つの側壁の上部３１４は、コンテナ３１０を手で把持するためのハンドルとしての機能を果たす少なくとも１つの開口部３１３を備えてよい。ある実施形態では、コンテナ３１０は金属（例えば、ステンレス鋼）で製造されてよい。

内部容積３２１を画定するライナー３２０はコンテナ３１０内に配置される。内側表面３２３が境界となる孔を画定する取付け部品３２２はライナー３２０に接合され、この取付け部品３２２はコンテナの口３１２に合わせられ、アダプタ３２４により所定位置で保持される。アダプタ３２４は、口３１２と係合するように構成された雌ねじ付き表面を有する下部３２５を備え、分注ヘッド３３０の下面３３１Ａに沿って配置された雌ねじと係合するように構成された雄ねじ部分を有する上部３２６を備える。

開口下端部およびフレア上端部３３５Ｂ部分を有する中空浸漬管３３５は、分注ヘッド３３０の下面３３１Ａを越えて延びるプローブまたは挿入部分３３５Ａに直接取り付けられ、ライナー気体通路３３４Ａは浸漬管３３５のフレア上端部３３５Ｂの近傍に配置され、取付け部品３２２の内側表面３２３と密封係合するのに好適な少なくとも１つの密封要素３３９の下に配置される。浸漬管３３５はライナー３２０の内部３２１内に取付け部品３２２を通して挿入されるように構成され、プローブまたは挿入部分３３５の外面に沿っている密封要素３３９は取付け部品３２２の内側表面３２３と密封係合するように構成される。液体通路３３３およびライナー気体通路３３４は、分注ヘッド３３０の少なくともプローブまたは挿入部分３３５Ａ内に非同心で配置される。

分注ヘッド３３０は、加圧気体通路３３２、液体通路３３３、およびライナー気体通路３３４を画定する本体３３１を備える。加圧気体通路３３２は、関連する加圧気体弁クイック接続部３５２を有する加圧気体弁３４２と流体連通する。液体通路３３３は、関連する液体弁クイック接続部３５３を有する液体弁３４３と流体連通する。ライナー気体通路３３４はライナー気体弁３４４と流体連通する。ライナー気体通路３３４は、分注ヘッド３３０がコンテナ３１０の口３１２と連結した（例えば、アダプタ３２４を介して間接的に連結した）ときに浸漬管継手３９０の上に配置され、ライナー３２０の内部３２１と流体連通するように構成された末端３３４Ａを備える。液体通路３３３は、液体含有材料がライナー３２０の下部（例えば、底部）から抜くことができるように、分注ヘッド３３０および浸漬管３３５を通って延びる。

図３Ａ〜図３Ｂに示すように、弁３４２、３４３、３４４は、分注ヘッド３３０内または分注ヘッド３３０上に配置され、さらにコンテナ３１０の上縁３１１の幅を越えて延びないように構成される。コンテナ３１０、ライナー３２０、および分注ヘッド３３０を使用して、本明細書にて開示する液体処理方法を行うことができる。

図４〜図６、図７、図９、図１０および図２０を参照すると、本発明の実施形態に係るコンテナ４１０が図示されている。コンテナは一般に、コンテナ部分４１２、上側チャイム４１４、および下側チャイム４１６を備える。コンテナ部分は円筒壁部分４１８、上側端壁４２０、および下側端壁４２２を有し、上側端壁および下側端壁はそれぞれドーム状であってよい。上側端壁は、上側端壁から延びるねじ付き口４４０を有して、コンテナの内部４４２およびコンテナ部分へのアクセスを提供する。上側チャイムは保護領域４４４を画定する。

保護領域内でコンテナと係合するのは分注ヘッド４５０であるが、分注ヘッドおよびコンテナの口は、取付け部品４５８を有するバッグ４５７として構成されたライナー４５６と係合する。バッグはコンテナの内部にぴったり合うようにサイズ決めされ構成される。取付け部品は、２つの半体４６５を有する２つの取付け部品保持部４６４と協働して、取付け部品周りを締め付け、コンテナの口４４０に収まる。

上側チャイムはコンテナ部分から垂直に分注ヘッドの最上部分４６８を越えて、ある距離だけ延びるため、分注ヘッドおよび分注ヘッドへのラインの接続を保護する。実施形態において、チャイムはコンテナ部分から、コンテナ部分の円筒壁部分の長さＬ１の少なくとも２０％である距離Ｄ１だけ上方に延びる。実施形態によっては少なくとも２５％、実施形態によっては少なくとも３０％である。実施形態において、上側端壁の最上表面４７２からの距離Ｄ４は、コンテナの全体高さＨ１の少なくとも１５％であり、実施形態によっては少なくとも２０％、その他の実施形態によっては少なくとも２５％である。

カバー４７０は上側チャイムの唇部４８０と係合し、唇部の最上部４８２に載る。ばね部材のような係合部材４８６を使用してプレートをチャイムに固定することができる。その他の実施形態では、プレートはコンテナにヒンジ結合または係留されてもよい。

図７、図８、図１０〜図１９を参照すると、発明的な態様を組み込んだ分注ヘッドの詳細が図示されている。分注ヘッド４５０は一般に、プローブ部分５００、下側本体部５０６および上側本体部５０８、ならびにナット５１０を備える。プローブ部分５００は、浸漬管５２４の端部に受容されるニップル５２０として構成された雄型取付け部品を有する。ニップルは、流体充填および分注導管である流体通路５２８を有する。２つのさらなる流体通路５３２、５３４は、バッグ４５７内の液体上のヘッドスペース５３８への通気および気体アクセスを提供し、ニップル５２０に隣接したその近傍の下部出口５３５、５３６を有する。さらに、２つの流体通路５４４、５４６は上側本体および下側本体を通り、また上側本体と下側本体との接合点５５２にて通路を密封するＯリング５５０を通って延びる。

プローブ部分５００は、凹み５６２にて上側本体部と下側本体部との間に挟まれて半径方向および軸方向に拘束される、半径方向に延びるフランジ部分５６０を有する。ナットもまた、上側本体部の底部に対向する表面５６５における凹み５６４にて拘束され、軸方向および半径方向に拘束される。上側本体部５０８および下側本体部５０６はねじ５６９により一緒に固定される。ブシュ５７４は上側本体部とナットの間に挟まれ、ナットの回転に対する緩衝作用または静音作用を与える。Ｏリング５７８はコンテナの口の上面５８２を密封するために下側本体部の溝５８０に収まる。溝は半径方向内側に、水平から約４５度の角度５８５で上方に延び、密封中は半径方向および軸方向に圧縮する。実施形態によっては、水平から３０〜６０度の角度である。

図１９は、ナットへの緩衝作用および静音作用のためのブシュ５７４と、水平から３０〜６０度の角度で延びる溝に収まるＯリング５７８とを有する分注ヘッドのさらなる実施形態を示す。

図１〜図３Ｂの実施形態に示されるように、弁は各流体通路と関連することができ、このような弁は分注ヘッドの一部であるか、分注ヘッドと連結するか、または分注ヘッドと関連する。弁は接続が行われると、例えば、クイック接続自己密封取付け部品により、またはボール弁等手動で、作動されてよい。各通路は、手動接続およびクイック接続自己密封接続または手動接続もしくはクイック接続自己密封接続を有することができる。

図２０から図３８を参照すると、最終使用または処理施設で設置中またはコンテナ内の液体の分注中に、環境および作業員が液体または液体の臭気に曝露されないように、例示的ステップは本明細書に記述した装置を利用するように説明される。

本明細書に開示した実施形態は、空気、湿気、またはその他の汚染物質のライナー系圧力コンテナおよび装置への侵入の低減、酸素感受性材料および感湿性液体含有材料または酸素感受性材料もしくは感湿性液体含有材料の変質の低減および貯蔵寿命の向上または変質の低減もしくは貯蔵寿命の向上、ならびに空気含有環境における酸素感受性材料および感湿性液体含有材料または酸素感受性材料もしくは感湿性液体含有材料を含むライナー系圧力分注コンテナへの接続が可能であること（真空環境、不活性気体環境またはその他の制御された環境下で行われるような接続を必要としない）という有益な技術的効果の１つ以上を提供することができる。

本発明の特定の態様、特徴および例示的実施形態に関して本明細書の説明を行ったが、本発明の有用性はそのように限定されるものではなく、本開示に基づいて本発明の当業者に示唆されるように、その他の様々な変形、変更、および代替的実施形態まで拡張され、これらを包含するものであることが理解されるだろう。１つまたは複数の実施形態に関連して記述される任意の１つまたは複数の特徴は、本明細書において特に反対のことが示されていない限り、任意の他の実施形態の１つまたは複数の特徴と組み合わせることが考慮される。したがって、特許請求の範囲で権利請求される本発明は、本発明の趣旨および範囲内にあるすべての変形、変更、および代替的実施形態を含むものとして広く理解され解釈されることを意図している。

Claims (15)

1. 折畳み可能なライナーを収容する実質的に剛性のコンテナと、前記コンテナの口と連結し、かつ前記ライナーの内部と流体連通する液体通路、前記ライナーの前記内部と流体連通するライナー気体通路、前記ライナーと前記コンテナとの間の間隙空間と流体連通する加圧気体通路、前記液体通路と流体連通する液体弁、前記ライナー気体通路と流体連通するライナー気体弁、および前記加圧気体通路と流体連通する加圧気体弁を備える分注ヘッドとを利用した流体処理方法であって、
   前記分注ヘッドを通して前記ライナーの内部に不活性気体を供給し、前記ライナーを膨張させるステップと、
   前記不活性気体を供給するステップ後に、前記分注ヘッドを通して前記ライナーの前記内部から不活性気体を除去して少なくとも部分的に前記ライナーを収縮させるステップと、
   前記内部から前記不活性気体を除去するステップ後に、前記分注ヘッドを通して液体含有材料を供給し、少なくとも部分的に前記ライナーの前記内部を前記液体含有材料で充填する一方、前記ライナー内の前記不活性気体の少なくとも一部を前記分注ヘッドを通して逃がすステップと、
   前記液体含有材料を供給するステップ後に、前記液体弁を閉じるステップとを備える流体処理方法。
2. 剛性コンテナの口と、分注される液体を保持するための前記コンテナのバッグとに連結するための分注ヘッドであって、
   前記分注ヘッドの垂直な長さだけ軸方向に延び、それぞれ水平に延びる上部出口および下部出口を有する第１の流体通路および第２の流体通路を有し、半径方向外側に延びる中心フランジを有する、中心プローブ部分と、
   前記中心プローブ部分を半径方向に拘束する中央孔を有する上側本体部と、
   前記上側本体部と協働して、間に前記中心プローブ部分の前記中心フランジを挟む、下側本体部と、
   前記下側本体部の周りに延び、前記上側本体部と前記下側本体部との間の円形凹みに回転可能に受容された内側に延びるフランジを有し、前記剛性コンテナと接続するためのねじを有するナットと
   を備える、分注ヘッド。
3. リングは前記分注ヘッドの前記下側本体部から半径方向外側に配置され、前記上側本体部の下方を向く面と前記ナットの上方を向く面との間に挟まれ、前記リングは、前記ナットの回転を促すために前記ナットおよび前記上側本体部に対して回転可能に配置されている、請求項２に記載の分注ヘッド。
4. 前記プローブは金属で製造され、前記プローブと一体の、半径方向に延びる取付け部品を有し、前記上側本体部は、前記一体型取付け部品の下の前記プローブ部分を取り囲み係合する単一のリング形状本体部へと組み立て可能な２つの部分に分割され、前記分注ヘッドは前記プローブの前記一体型取付け部品と組み合わせられる、請求項２に記載の分注ヘッド。
5. 前記分注ヘッドがコンテナのねじ付き口に係合するとき、Ｏリングシールが、前記コンテナの口と前記下側本体部との間で半径方向および軸方向に圧縮されるように、前記Ｏリングシールは前記下側本体部における上方および半径方向内側に延びる溝に収まる、請求項２〜４のいずれか一項に記載の分注ヘッド。
6. 前記分注ヘッドは、ライナーとコンテナ部分との間の環状空間と流体連通するために２つの流体通路を有する、請求項２〜４のいずれか一項に記載の分注ヘッド。
7. 前記分注ヘッドは、ライナーの内部と流体連通するための２つの流体通路を有する、請求項２〜４のいずれか一項に記載の分注ヘッド。
8. 各流体通路は、各流体通路と関連し、かつ前記分注ヘッドに接続された弁を有する、請求項２〜７のいずれか一項に記載の分注ヘッド。
9. 前記コンテナはステンレス鋼から形成され、前記分注ヘッドを越えて上方に延びる、上方に延びるチャイムを有する、前記コンテナと組み合わせられる請求項２〜７のいずれか一項に記載の分注ヘッド。
10. 前記分注ヘッドは一対の外側に延びる取付け部品を有し、前記コンテナの前記上方に延びるチャイムは前記一対の外側に延びる取付け部品と位置合わせされた孔を有する、請求項９に記載のコンテナと組み合わせられる分注ヘッド。
11. コンテナと、ライナーと、前記コンテナおよび前記ライナーに接続された分注ヘッドとを備える分注システムであって、
    コンテナは、外側円筒壁と、いずれも当該円筒壁と一体である上側端壁および下側端壁とを有するステンレス鋼コンテナ部分と、当該コンテナ部分から上方に延びるとともに唇部および最上唇部分を含む上側チャイムと備え、前記上側端壁は前記コンテナ部分の内部にアクセスするための、ねじを有する口を有し、
    ライナーは、前記コンテナの前記内部に一致するように前記内部に配置可能であるとともに、前記コンテナの前記口に位置決めするための取付け部品を有し、
    分注ヘッドは、前記ねじを有する口に係合するようにサイズ決めされるとともに分注流体通路および気体通路を有するナットと、前記ライナーが前記コンテナ内の所定位置にあるときに前記ライナー内へと延びるように前記分注ヘッドに取り付け可能である浸漬管とを備え、
    前記分注ヘッドが前記コンテナの前記口に取付けられたときに前記分注ヘッド全体が前記最上唇部分よりも下にあるように、前記分注ヘッドおよび上側チャイムは協同的にサイズ決めされている、分注システム。
12. 前記分注ヘッドは、前記最上唇部分の下で水平に延びる取付け部品を有し、前記上側チャイムは、前記最上唇部分の下のある高さに配置され、前記取付け部品が流体ラインと接続できるように配置された孔を有する、請求項１１に記載の分注システム。
13. 前記コンテナは前記上側チャイムの前記唇部に対してサイズ決めされた円形プレートをさらに備え、前記円形プレートは当該プレートを前記チャイムに固定するための保持部材を有する、請求項１１または１２に記載の分注システム。
14. 前記分注ヘッドは、下側本体部に固定された上側本体部を備え、プローブ部分は前記上側本体部および前記下側本体部を通って軸方向に延び、前記上側本体部と前記下側本体部との間で半径方向および軸方向に拘束される、請求項１１に記載の分注システム。
15. リングが、前記分注ヘッドの前記下側本体部から半径方向外側に配置されるとともに前記上側本体部の下方を向く面と前記ナットの上方を向く面との間に挟まれており、前記リングは、前記ナットの回転を促すために前記ナットおよび前記上側本体部に対して回転可能に配置されている、請求項１４に記載の分注システム。