CN105531203A - 用于填充和分配液体的设备和方法 - Google Patents

Abstract

一种可装运液体储存和分配设备，所述可装运液体储存和分配设备包括一种可收缩内衬，所述内衬布置于容器内，所述可装运液体储存和分配设备具有联接至容器的分配头，适于处理氧敏和湿敏材料。所述分配头包括加压气体通路，加压气体阀，液体通路，液体阀，内衬气体通路，以及内衬气体阀，其中每个阀都可以具有相关联的快速连接配件。在惰性气体清洗、内衬填充、容器装运和液体分配期间，分配头保持附接至容器。在所联接的分配头和容器的装运期间，加压惰性气体可以被维持在内衬中，覆盖含液体材料。容器可以具有延长的凸边以提供一种容纳整个分配头的保护性区域。

Description

用于填充和分配液体的设备和方法

相关申请的交叉引用

本申请要求2013年7月11日提交的美国临时专利申请号61/845,315的权益，其公开内容通过援引而整体合并到本文中。

技术领域

本发明涉及液体处理和分配系统和方法，诸如可用来填充容器并且允许分配这种容器的内容物。在一个特定方面，本发明涉及从基于内衬的容器填充和分配环境敏感的(例如，氧敏和/或湿敏)液体而同时最小化或减少在这样的液体与周围环境之间的暴露。相关联的部分涉及这种系统的制造、使用和开发。

背景技术

在许多工业应用中，需要供应呈高纯度状态的化学试剂以及成分，并且已经开发了专门包装以确保所供应的材料维持呈纯净的且合适形式，贯穿于包装填充、储存、运输、和最终分配操作的始终。

在微电子器件以及显示面板制造的领域中，针对合适包装的需要对于各种各样的液体而言是特别强制性的，这是由于在被包装的材料中的任何污染物、和/或环境污染物进入到包装中的所包含材料内可以不利地影响到利用这种液体所制造的所述微电子器件和显示面板产品，导致得到的产品为有缺陷的、或甚至对于它们的预期用途是无用的。

由于这些考虑，已针对用在微电子器件和显示面板制造中的液体开发了许多种高纯度包装，所述液体诸如光致抗蚀剂、蚀刻剂、化学气相淀积试剂、溶剂、晶片和工具清洁制剂、化学机械抛光剂、滤色化学试剂、外层涂料、液晶材料，等等。

已投入这类使用的一种高纯度包装包括刚性的、大致刚性的、或半刚性的容器(也称作“第二层包装”)，半刚性的容器在柔性内衬，或通过诸如盖或覆盖物这样的保持结构在第二层包装中固定就位的袋囊中包含液体。这种包装通常称为“罐中袋(BIC)”、“瓶中袋(BIB)”和“桶中袋(BID)”包装。这种一般类型的包装是从美国康尼狄格州丹伯里的先进技术材料股份有限公司(AdvancedTechnologyMaterials，Inc.)可购得的(例如，商标为)。

优选地，内衬包括柔性材料，并且所述包围(例如，第二层包装)容器包括比所述柔性材料实质上更刚性的壁材料。包装的刚性或半刚性容器可以由高密度聚乙烯、或其它聚合物或金属形成(例如)，并且内衬可以设置为选择成与内衬中所包含的材料(例如，液体)不发生反应的聚合物膜材料的预清洁的、无菌可折叠袋，所述聚合物膜材料诸如聚四氟乙烯(PTFE)、低密度聚乙烯、中密度聚乙烯、基于PTFE的层压件、聚酰胺、聚酯、聚氨酯等等。可以使用包括任何前述材料的多层层压件。在通过援引而由此合并的美国专利申请公开号2009/0212071A1中披露了包括多层层压件的内衬的实例。构造内衬的示例性材料包括：金属化膜、箔、聚合物/共聚物、层压件、挤出件、共挤件、以及吹制和铸造膜。这种一般类型的基于内衬的包装是从先进技术材料股份有限公司以商标NOWPAK可购得的。

在使用基于内衬的包装以分配液体和基于液体的组分的过程中，通过将包括汲取管或短探针的分配组件连接至内衬的端口，且汲取管浸没于所包含的液体中，则通常从内衬分配了液体或包含液体的组分。流体(例如气体)压力被施加到内衬的外表面(例如，在介于内衬与包围容器之间的空间中)以逐步地收缩所述内衬，并且由此推迫液体通过所述分配组件用于排放到相关联流动回路，以流动到终端使用工具或位置。这样的操作可以称作基于内衬的压力分配。使用包含待分配液体的内衬防止了与布置成用以对内衬施加压力的诸如气体的加压流体直接接触。

顶部空间(在内衬的顶部处的额外的空气或气体)以及微泡对于从基于内衬的包装分配的液体提出挑战，包括诸如平板显示器和集成电路制造这样的环境。顶部空间气体可以源自于其中包装非完全填充满液体的填充操作。在某些环境中已利用了非完全填充的包装以便提供顶部空间作为膨胀体积以适应包装的周围环境的变化，诸如导致液体在包装的运输期间膨胀至包装将会在分配操作中所置于的位置的温度改变。

基于内衬的压力分配容器通常在化学填充设施处被填充。容器通常由不锈钢形成并且具有绕容器的上周界延伸的单一的凸边(chime)。在填充了这样一种容器之后，此容器通常被薄膜、盖、和/或其它封闭件所密封，并且装运到使用点，通常为处理设施。在使用点处，终端用户使得容器与分配头相联接，分配头被预连接至工艺设备并且布置成允许添加加压气体至介于内衬与容器之间的间隙空间，并且允许从内衬提取含液体的组分。分配头从所述容器的配件的顶部和最上方位置向上延伸并且高于容器的凸边。

某些液体(例如，用于显示面板和微电子器件制造)对于氧和/或潮湿极为敏感，并且可能由于暴露于氧或湿气而遭受损坏或腐坏，并且利用这类材料的工艺是有所妥协折衷的。基于内衬的压力分配容器的常规使用以多个间隔遭受空气(例如，包括水蒸汽)的进入-即，在填充或密封期间，在装运期间，和/或在联接至分配头时。将会希望最小化对过程和设备的这种暴露。总是寻求在减少部件复杂性，减少制造成本，以及增加鲁棒性/强固性，耐受性，和容器及分配头的洁净度方面的改进。

在其它实例中，用于处理中的液体可以是非常强气味的，经常是非常难闻的，在某些情况下是有害的。在这些实例中，将会希望排除或最小化这些液体向周围环境的暴露从而使得烟气或溢出不会发生或被最小化。

发明内容

用于半导体工艺中的工艺和设备最小化了与工艺流体的分配相关联的空气与湿气污染。

具备内部内衬的可装运容器具有安装在采取若干步骤排除或最小化与周围空气相接触的任何污染表面的化学设施处的分配头。工艺流体被置入刚性容器中的利用清洁的干燥气体通过位于化学供应设施处的分配头而清洗过的袋内。具备工艺流体并且具备分配头的容器随后被装运到工艺设施以使用流体用于工艺中。容器和分配头具有特征以最小化将流体向人员和环境暴露的风险、以及最小化了损坏所述分配头的风险。工艺系统或其它管道系统被连接至分配头与分配头相连。在填充所述容器和对流体进行分配期间的协议最小化了周围空气进入分配头以及工艺流体至人员的任何直接通路，因而最小化了污染所述流体的任何机会并且最小化了对人员的任何风险。

在本发明的实施例中，可装运的液体储存和分配设备具有大致刚性的容器，包含：作为袋囊的可收缩内衬，其中所述内衬包括内部，以及间隙空间布置在内衬与容器之间；联接至容器的口嘴部分的分配头，所述分配头包括与内衬的内部流体连通的液体通路、与内衬的内部流体连通的内衬气体通路、以及与所述间隙空间流体连通的加压气体通路；与液体通路相关联的管道分配头以及液体阀；与内衬气体通路相关联的内衬分配头和气体阀；以及与加压气体通路相关联的加压气体阀和分配头。在某些实施例中，内衬气体阀包括或具有与之相关联的内衬气体阀快速连接配件，且内衬气体阀布置在分配头与内衬气体阀快速连接配件之间。

在本发明的实施例中，容器与分配头相组合，容器包括具有一定直径的不锈钢容器部分，并且其具有焊接至所述容器部分的上部凸边和下部凸边。容器部分具有圆柱形外壁和穹顶形端壁。凸边可以被焊接至穹顶形端壁或焊接至圆柱形外壁。上部凸边具有在所述分配头上方延伸并且限定用于分配头的保护区的唇缘。在实施例中，上部凸边具有多于容器整个轴向高度20％的轴向延伸高度。在实施例中，上部凸边具有多于容器整个轴向高度25％的轴向延伸高度。在实施例中，上部凸边具有多于容器整个轴向高度30％的轴向延伸高度。在实施例中，上部凸边具有介于容器整个轴向高度25％与40％之间的轴向延伸高度。在实施例中，下部凸边具有径向凹陷部分，其大小为适配于所述上部凸边内从而使得非径向凹陷部分座接于所述上部凸边的唇缘上。在实施例中，可移除的面板覆盖由上部凸边所限定的保护空间。面板可以具有闩锁或保持机构以将所述面板可移除地固定至所述上部凸边。

在本发明的实施例中，分配头包括最小数目的部件并且有利地直接地联接至容器的口嘴并且接合了在配置为定位在容器中的袋囊的内衬上的配件，所述分配头具有下主体部分，居中地延伸通过下主体部分的探针部分，定位于下主体部分上方并且固定至该处的上主体部分，绕下部分延伸并且被捕获于上主体部分与下主体部分之间的螺母。探针部分具有在轴向延伸用于在桶中分配液体的流体流动通路、以及在轴向延伸用于对在袋囊中位于液体上方的气体进行管理的气体流动通路。探针具有外凸的配件以用于接收下管以及定位于下管上方用于对在袋囊中位于液体上方的气体进行管理的出口。上主体部分以及下主体部分具有轴向延伸并且定位成用以与介于容器的袋囊与容器壁之间的间隙空间相连通的流体通路。螺母可相对于下主体部分、上主体部分和探针部分旋转。螺母可具有内螺纹用于接合容器的螺纹口嘴上的外螺纹。

在本发明的实施例中，可装运的分配头被布置用于与包含可收缩内衬的大致刚性的容器和内衬的适配件相匹配，在内衬与容器之间具有间隙空间，并且内衬的适配件与容器的口嘴部分配准，分配头包括：分配头主体，其限定(i)布置用以允许与内衬的内部流体连通的液体通路和内衬气体通路，以及(ii)与所述间隙空间流体连通的加压气体通路，其中所述分配头的包括至少一个密封元件的插件(例如，探针)部分可插入适配件内，以密封地接合所述适配件的一部分，且内衬气体通路的终端布置在所述至少一个密封元件下方，以允许与所述内衬的上部分的流体连通；以及延伸通过适配件进入内衬内部的汲取管，其中液体通路延伸至或通过所述汲取管以允许从内衬的下部分提取流体材料；与内衬气体通路流体连通的内衬气体阀；与液体通路流体连通的液体阀；以及与加压气体通路流体连通的加压气体阀。

在本发明的实施例中，流体处理方法利用包含可收缩内衬的大致刚性容器以及与容器口嘴相联接的分配头，并且分配头包括与内衬内部流体连通的液体通路、与内衬内部流体连通的内衬气体通路、与介于内衬与容器之间的间隙空间流体连通的加压气体通路，与液体通路流体连通的液体阀，与内衬气体通路流体连通的内衬气体阀，以及与加压气体通路流体连通的加压气体阀，所述方法包括：供应惰性气体通过分配头至内衬内部；遵循惰性气体供应步骤，从内衬内部通过分配头移除惰性气体以至少部分地放气缩小所述内衬；遵循惰性气体移除步骤，利用惰性气体至少部分地重新充胀所述内衬；遵循内衬重新充胀步骤，供应含液体材料通过分配头以利用含液体材料至少部分地填充所述内衬的内部而同时允许内衬内的惰性气体的至少一部分通过分配头逸散；并且遵循含液体材料供应步骤，关闭所述液体供应阀。

在本发明的实施例中，流体处理方法利用包含可收缩内衬的大致刚性容器以及与容器口嘴相联接的分配头，并且分配头包括与内衬内部流体连通的液体通路、与内衬内部流体连通的内衬气体通路、与介于内衬与容器之间的间隙空间流体连通的加压气体通路，与液体通路流体连通的液体阀，与内衬气体通路流体连通的内衬气体阀，以及与加压气体通路流体连通的加压气体阀，所述方法包括：供应惰性气体通过分配头至内衬内部；遵循惰性气体供应步骤，从内衬内部通过分配头移除惰性气体以至少部分地缩小所述内衬；遵循惰性气体移除步骤，利用惰性气体至少部分地重新充胀所述内衬；遵循内衬重新充胀步骤，供应含液体材料通过分配头以利用含液体材料至少部分地填充所述内衬的内部而同时允许内衬内的惰性气体的至少一部分通过分配头逸散；并且遵循含液体材料供应步骤，关闭所述液体供应阀。

在本发明的实施例中，分配头的特征为具有螺母，螺母直接地附接至位于容器的螺纹口嘴上的螺纹。螺纹口嘴与容器部分和容器的凸边是一体的。分配头还具有中心探针部分，中心探针部分具有两个流体通路，各自具有至少一个流体通路的上主体部分以及下主体部分，以及一个螺母。上主体部分和下主体部分利用螺钉可移除地紧固到一起并且在其间夹住螺母的一部分，允许螺母自由旋转。上主体部分和下主体部分还在其间固定探针部分。中心探针部分具有用于汲取管的配件以及用于内衬的顶部空间中的流体的通路。

在另一方面，前述方面的任何一个或多个特征和/或本文中披露的任何其它方面以及特征可以被组合以用于额外的优点。

本发明的实施例的特征和优点在于，最小化了用户对潜在有害的化学试剂的暴露，因为在工艺设施处在容器中从不存在着通往化学试剂的直接通路，容器总是如此。

本发明的实施例的有损于人员的特征和优点被最小化，因为在化学供应设施处以及在工艺设施处的处理人员未直接地暴露到所包含的工艺流体，或这样的暴露被最小化。

本发明的实施例的特征和优点在于，分配管和分配头没有被插入或安装到其中具有工艺流体的容器内。在本发明的实施例中，分配管和分配头的安装是在工艺化学试剂置于容器中之前完成的。这最小化了对于人员的潜在暴露，最小化了工艺流体的污染，并且最小化了环境向工艺流体暴露的溢出的风险。

本发明的实施例的特征和优点在于，通过被完全包含在限定受保护空间的护罩中，分配头被保护免受冲击损坏。可以由在分配头上方延伸的延长的容器凸边来提供护罩。这种保护理想情况下永久性地固定到容器的容器部分上并且随后在运输期间出现于其被填充的化学供应设施处，而同时在任何储存设施处，以及在工艺设施或使用点处。

本发明的实施例的特征和优点在于，凸边具有访问开口并且分配头具有与凸边开口对齐的水平地取向的分配头。这提供了如下优点也提供了对于分配头的保护，以及当其安装于工艺设施中时以及在分配所述工艺流体期间的对其所有分配头的保护。

本发明的实施例的特征和优点是具有最小数目部件的分配头。

本发明的实施例的特征和优点在于最小化了对设施或环境的污染，因为在化学供应设施处以及在工艺设施处的处理人员未直接地暴露到所包含的工艺流体。

本发明的其它方面，特征和实施例将从随后的公开以及所附权利要求而更加全面地显而易见。

附图说明

图1A是根据本发明的一个实施例的包括基于内衬的压力分配包装的、被布置用于对可装运的液体储存和分配设备进行填充的流体处理系统的简化示意图。

图1B是在使用根据图1A的流体处理系统对于包装进行填充之后的、包括基于内衬的压力分配包装的可装运液体储存和分配设备的简化示意图。

图1C是布置用于分配含液体材料的流体分配系统的简化示意图，其包括了根据图1B的包括基于内衬的压力分配包装的可装运液体储存和分配设备。

图2A是包括了根据本发明实施例的具有基于内衬的压力分配包装的可装运液体储存和分配设备的部件的截面透视装配图。

图2B是图2A的可装运液体储存和分配设备的部件的侧视截面局部装配图。

图2C是图2A-2B的可装运流体储存和分配设备的组装部件的侧视截面图。

图3A是根据本发明实施例的包括基于内衬的压力分配包装的另一可装运液体储存和分配设备的部件的侧视截面局部装配图。

图3B是图3A的可装运流体储存和分配设备的组装部件的侧视截面图。

图4是包括带有覆盖物的基于内衬的压力分配包装的可装运液体储存和分配设备的透视图。从相反侧观察的视图是相同的。

图5是观察底部的包括基于内衬的压力分配包装的可装运液体储存和分配设备的透视图。从相反侧观察的视图是相同的。

图6是覆盖物被移除的包括图的基于内衬的压力分配包装的可装运液体储存和分配设备的透视图。

图7是图4-6的分配系统的局部分解视图，示出了下管、内衬配件、和内衬保持器。

图8是根据本发明的实施例的分配头的分解图。

图9是示出覆盖物至上凸边的附接的截面图。

图10是安装于具有内衬和下管的容器中的分配头的截面图。

图11A是根据本发明的实施例的分配头的透视图。

图11B是图11A的分配头的截面图。

图12A是分配头的上主体部分的一半的透视图。

图12B是图12A的主体部分的一半的下部侧的透视图。

图13A是分配头的下主体部分的透视图。

图13B是图13A在线13B-13B处的截面图。

图13C是图13A在线13C-13C处的截面图。

图14是分配头的螺母的透视图。

图15是本文中根据本发明的实施例的分配头的探针部分的透视图。

图16是图15的探针部分的另一向上观看的透视图。

图17是图15和16的探针部分的截面图。

图18是图15-17的探针部分的向上观看的平视图。

图19是根据本发明的实施例的另一分配头的截面图。

图20是工艺的步骤1、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出配置为袋囊的内衬插入于容器内、附接所述分配头和汲取管并且充胀所述袋囊的动作。

图21是工艺的步骤2、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出将分配头的连接件连接至填充系统的动作。特别地，附接内衬，收缩/充胀内衬，顶部空间通风/充气管线，以及至连接件的液体填充/分配管线。

图22是工艺的步骤3、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出通过打开的顶部空间阀，打开的环形供应/通风阀供应气体以收缩内衬，使得内衬收缩的动作。

图23是工艺的步骤4、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出通过打开顶部空间阀和打开的环形供应阀来将袋囊中的空气推出袋囊的收缩所述内衬的动作。

图24是工艺的步骤5、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出充胀所述内衬且使得顶部空间球向氮供应开启的动作。

图25是工艺的步骤6、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出通过使得顶部空间阀开启并且关闭顶部空间供应气体以泄放压力来充胀所述内衬的动作。该步骤包括根据需要或按需重复所述放气和充气。

图26是工艺的步骤7、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出利用化学液体填充所述内衬的动作，且所述顶部空间阀开启，所述液体填充/分配阀开启，选择要么打开顶部空间供应阀以供应低压氮至顶部空间，或保持开启以通风来允许气体在填充期间逸散。

图27是工艺的步骤8、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出被填充的容器以及关闭所述液体填充/分配阀，关闭通往氮供应的顶部空间阀并且关闭环形供应和通风、塞住环形空间连接件的动作。

图28是工艺的步骤9、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出移除掉所有连接并且确认阀关闭的动作。带有液体的容器就绪用于装运。覆盖物可以被添加以封闭由上凸边所限定的开口。

图29是工艺的步骤10、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出将带有分配头和液体内容物的容器运输至终端用户或储存的动作。

图30是工艺的步骤11、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出连接所述分配头至输送系统，打开顶部空间输送阀的动作。

图31是工艺的步骤12、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出化学液体输送且分配阀开启，打开环形供应/通风阀以加压容器，移除顶部空间气体直至感测到液体的动作。

图32是工艺的步骤13、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出分配所述化学液体直至排空。

图33是工艺的步骤14、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出包装被排空，其中随后关闭分配阀并且关闭通往氮的环形供应/通风阀并且开启以排气。

图34是工艺的替代步骤11、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图，其中不需要顶部空间。附图图示出连接所述分配头至输送系统，打开顶部空间移除阀的动作。

图35是工艺的替代步骤12、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图，其中不需要顶部空间。该动作包括使得顶部空间移除阀开启，打开连接至氮的环形供应/通风阀以加压所述容器并持续进行顶部空间移除直至气体离开。

图36是工艺的步骤13、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出分配化学液体且顶部空间通风阀关闭，化学输送阀打开，以及通往氮供应的环形供应/通风阀开启以加压容器的动作。

图37是工艺的步骤14、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出分配所述化学液体直至排空。

图38是工艺的步骤15、以及利用根据本发明实施例的设备的截面示意图。附图图示出当液体内容物已被完全分配时，关闭分配阀，关闭环形供应/通风阀的动作。

具体实施方式

本发明在某些方面涉及改进的液体处理设备和方法用于填充和分配氧敏和湿敏材料。在一个特定方面，本发明涉及到基于内衬的液体容纳系统和方法用于储存，装运，分配高纯度的化学试剂和组分，例如光致抗蚀剂、蚀刻剂、化学气相淀积试剂、溶剂、晶片清洁制剂，工具清洁制剂、化学机械抛光剂、滤色化学试剂、外层涂料和液晶材料。

在使用基于内衬的包装用于储存和分配流体材料的过程中，其中内衬被安装在外部器皿中(例如，优选地大致刚性的，但任选地为半刚性的)，分配操作可以涉及到压力分配气体进入在内衬外部的器皿内的流动，从而使得由气体所施加的压力推迫所述内衬逐渐地被压紧从而使得在内衬中的流体材料继而被推迫以流出所述内衬。基于内衬的包装可以与合适的加压气体源相联接，诸如泵，压缩机、经压缩的气体储罐，等等。分配的流体材料可以流动到或通过管道、歧管、分配头、阀等等到达使用位置，诸如流体利用工艺工具。

基于内衬的包装包括了与内衬相连通用于从内衬分配材料的分配端口。分配端口继而与合适的分配组件相关联。分配组件可以采取多种形式中的任何形式，例如，包括探针或具备汲取管的分配头的组件，其接触内衬中的材料并且材料通过其而从器皿分配。包装可以是大规模包装，其中内衬具有在从1升至2000升或更多升材料的范围中的容量。在实施例中，内衬具有14升或约14升的容量，在实施例中为40升或约40升，在实施例中为200升或约200升。在实施例中，包装少于或约为20升，在实施例中少于或约为50升，在实施例中少于或约为100升，在实施例中少于或约为200升。

内衬可以通过使用一层或多层膜或可沿着其边缘加以密封(例如焊接)的其它材料，以任何合适方式形成。在一个实施例中，多个平层被叠加(堆叠)并且沿着其边缘而被密封以形成内衬。一个或多个层可包括沿着其面的上部分的端口或盖结构。在另一个实施例中，管状吹塑成型用于形成位于器皿的上端处的一体式填充开口，其可以结合到端口或盖结构。内衬因而可以具有开口，用于将内衬联接至合适的分配头用于填充或分配操作，包括相应的流体引入或流体排出。这种开口可以利用结构加以加强并且称为“适配件”。适配件通常包括横向延伸的凸缘部分，薄膜与所述凸缘部分结合，以及在大致垂直于所述凸缘部分的方向上延伸的管状部分。内衬适配件可以匹配或以其他方式接触容器端口、容器盖或封闭件，或其它合适结构。盖或封闭件也可以布置成用以与汲取管或下管相联接以用于引入或分配流体。

在某些实施例中，内衬可以由管状原料材料形成。通过使用管状原料，例如，吹制的管状聚合膜材料，则避免了沿着内衬的侧部的热密封以及焊缝。缺失侧部焊缝可能是有利的，以相对于由重叠的并且在它们周缘处热密封的平坦面板所形成的内衬而言，更好地经受倾向于压迫所述内衬的力和压力。在某些实施例中，内衬可以由于管状原料材料形成，其沿着长度而被切割并且随后被焊接以形成一个或多个焊缝。

内衬优选地为单用途的薄膜内衬，其布置成在每次使用之后被移除(例如，当容器耗尽了其中所包含的液体时)并且利用新的、预清洁的内衬来加以替代以使得能重新使用外部容器。这样的内衬优选地没有可以是或者变成污染源的诸如增塑剂、抗氧化剂、紫外线稳定剂、填料等组分，例如通过渗入在内衬中所容纳的液体内，或通过分解以产生在内衬中具有更大扩散率并且迁移到表面且溶解或以其他方式变为内衬中的液体的污染物的降解产物。

优选地，大致纯净的膜被利用于内衬，诸如未掺杂的(无添加剂)的聚乙烯膜，未掺杂的聚四氟乙烯(PTFE)膜、或其它合适的未掺杂聚合材料诸如聚乙烯醇，聚丙烯、聚氨酯、聚偏二氯乙烯、聚氯乙烯、聚缩醛树脂、聚苯乙烯、聚丙烯晴、聚丁烯，等等。更一般地，内衬可以由层压件、共挤件、重叠模塑挤压件、合成物、共聚物以及材料混合物而制成，具有或不具有金属化/敷金属和箔。内衬材料可以是任何合适厚度的，例如，在从大约1密耳(0.001英寸)至约120密耳(0.120英寸)的范围中。在一个实施例中，内衬具有20密耳(0.020英寸)的厚度。

在某些实施例中，内衬可以有利地由作为柔性的且可收缩性质的具备适当厚度的膜材料制成。在一个实施例中，内衬是可压缩的从而使得其内部体积可以减少至额定填充体积的约10％或更少，额定填充体积即，当液体体积完全填充在外壳14中时相等量液体体积能够容纳在内衬中。在各种实施例中，内衬的内部体积可以是可压缩至额定填充体积的大约0.25％或更少，例如，在4000毫升包装中少于10毫升，或大约0.05％或更少(在19L包装中10mLh或更少剩余)，或0.005％或更少(在200L包装中10mL或更少剩余)。优选的内衬材料足以挠曲为允许在作为替代单元而装运期间折叠或压缩所述内衬。内衬优选地是一种组分的并且性质是当液体被容纳于内衬中时耐受颗粒和微泡形成，这足够柔性以允许由于温度和压力改变而使得液体膨胀和收缩，并且有效地维持纯度，用于其中待应用液体的特定终端应用，例如在半导体制造或其它高纯度关键液体供应应用中。

在某些实施例中，可以使用刚性的或大致刚性的可收缩内衬。如本文中所使用的，术语“刚性的”或“大致刚性的”意思是也包括了目标物或材料的特征以当在第一压力的环境中时大致保持其性质和/或体积，但是其中形状和/或体积可以在增加或减少压力的环境中改变。需要用来改变目标物或材料的形状和/或体积的增加或减少的压力的量可以取决于针对于材料或目标物所需的应用并且可以随着应用不同而改变。在一个实施例中，内衬的至少一部分可以是刚性的或大致刚性的，并且至少一部分内衬在压力分配状况下通过对这种内衬的至少一部分施加加压的流体而遭受收缩。在一个实施例中，刚性的或基本刚性的可收缩内衬可以由足够厚度的、以及当填充液体时使得内衬为自支撑性的组分的材料制成。刚性的或基本刚性的可收缩内衬可以是单壁或多壁性质的，并且优选地包括聚合材料。可以使用多层聚合材料或其它材料(例如，通过施加热和/或压力而层压的)的层压复合物。刚性的或基本刚性的可收缩内衬可以由任何一个或多个合适的层压、挤出、模制、成形、和焊接步骤而形成。刚性的或基本刚性的可收缩内衬优选地具有与内衬一体地形成的基本刚性的开口或端口，因而避免了对于待通过焊接或其它密封方法而固定到内衬上的单独适配件的需要。在本文中披露的分配组件和分配设备可以用于刚性的或基本刚性的可收缩内衬。

可收缩内衬可以设置于基本刚性的容器(也称为壳体或第二层包装)中，其可以具有大致圆柱形形状，矩形平行六面体形状以增进稳定性，或任何合适形状或构造。大致刚性壳体也可以包括第二层包装盖，其不漏液地结合到壳体的壁，以限定包含所述内衬的内部空间。设置于内衬与周围容器之间的间隙空间可以与加压的气体源流体连通，从而使得加压气体到间隙空间的添加压缩了所述内衬以导致液体从内衬排出。

对于半导体制造应用，如本文所披露的包含于压力分配容器的内衬中的含液体的材料应在内衬的填充点处具有少于75颗粒/毫升(更优选地少于50，再更优选地少于35，且更优选地少于20颗粒/毫升)的具有0.20微米或更大直径的颗粒，并且内衬应当在液体中具有少于30个(更优选地少于15)ppb(十亿分之一)的总有机碳(TOC)，以及具有每临界元素中少于10个ppt(兆分之一)的金属可提取水平，元素诸如钙、钴、铬、铁、钼、锰、钠、镍、和钨，且具有每元素中少于150个ppt的铁和铜可提取水平用于氟化氢、过氧化氢和氢氧化铵的内衬容纳，与在半导体工业协会中在半导体的国际技术路线图(SIA，ITRS)的1999年版中提出的规格相一致。

基于内衬的液体容纳系统可以被利用来储存和分配化学试剂以及广泛不同性质的组分。尽管本发明在后文中主要参考用于制造微电子器件产品中的液体或含液体成分的储存和分配而加以讨论，将领会到本发明的效用因而不受局限，而是本发明扩展到并且包括各种各样的其它应用和所容纳材料。例如，这种液体容纳系统在多种其它应用中具有效用，包括医药和制药产品，建筑和构造材料，食品和饮料产品、化石燃料和油，农业化学物，等等，其中液体介质或液体材料需要包装。

如本文所讨论的术语“微电子器件”在本文中指的是耐受性涂覆式的半导体基片，平板显示器、薄膜记录头，微机电系统，以及其它先进微电子部件。微电子器件可以包括图案化的硅晶片，平板显示器基片，聚合物基片，或微孔/中孔性有机固体。

在某些实施例中，含液体材料可以被维持处于内衬中并且与含惰性气体的顶部空间重叠。在其它实施例中，含液体的材料可以被维持在内衬中且具有零顶部空间或接近于零的顶部空间构造。如本文中所使用的，关于内衬中的流体而言的术语“零顶部空间”意思是内衬总体上填充有液体介质，且在内衬中不存在覆盖着液体介质的气体的体积。如本文中所用的，关于在内衬中的液体的术语“近零顶部空间”意思是，内衬大致完全填充有液体介质，除了在内衬中覆盖所述液体介质的非常小体积气体，例如，气体体积少于内衬中流体总体积的5％，优选地少于流体总体积的3％，更优选地少于流体总体积的2％并且最优选地，少于流体总体积的1％，或少于流体总体积的0.5％(或者，以另外的方式表达，内衬中液体或含液体材料的体积多于内衬的总体积的95％，优选地多于这种总体积的97％，更优选地多于这种总体积的98％，甚至更优选地多于这种总体积的99％，且最优选地多于这种总体积的99.5％)。

顶部空间的体积越大，则覆盖气体将变得被夹带和/或溶解于液体介质中的可能性越大，因为液体介质将在包装的运输期间在内衬中遭受晃动、喷溅和平移，以及内衬对刚性包围容器的冲击。这种境况可以继而导致在液体介质中形成泡(例如，微泡)和颗粒的形式，其使得液体介质降级并且导致其可能不适合于其预期目的。为此，在某些实施例中，顶部空间可以被最小化并且优选地被排除(即，在零或近零的顶部空间构造中)且内衬的内部体积完全填充满液体介质。在其它实施例中，顶部空间可以是在装运期间由于温度变化而用来容纳或适应所容纳材料的膨胀所必需的，但顶部空间可以在使用点处在从内衬分配含液体材料之前从内衬移除。

本发明的一个方面涉及可装运的基于内衬的液体储存和分配设备，包括具有允许执行随后步骤中多个(以及优选地所有)步骤的多个通路及阀的分配头，以下步骤为：来自基于内衬的容器的空气、氧气和/或湿气通过分配头进行的清洗；利用含液体材料通过分配头填充所述基于内衬的容器；在装运期间在内衬顶部空间中维持小体积的惰性气体(例如，处于比周围大气压更大的压力)；将来自内衬的惰性气体通过分配头在使用点处在分配之前加以移除；以及将来自内衬的含液体材料通过分配头而压力分配至流体利用工艺。分配头优选地包括多个快速连接配件以允许在空气容纳(或氧气容纳、湿气容纳、或其它容纳物容纳)环境中做出流体连接，具有不希望材料的最小化的进入或大致零进入，而不需要在真空环境、惰性气体环境、或其它受控环境中做出连接。使用联接至容器的单个分配头来执行前述步骤大致减少或排除了在高纯度液体或其它含液体材料的填充和分配之间的所有点处可能的污染物或不希望的材料的进入。

快速连接配件(也称作快速连接件或快速释放联接件)是在流体联接领域中已知的，并且用来提供流体传输管线的快速的、不成则败(make-or-break)的连接。快速连接配件一般由手操作并且替代螺纹或凸缘连接，这通常需要诸如扳手这样的工具。当配备有自密封阀时，快速连接配件将在不连接时自动地容纳在管线中的任何流体。即，具有自密封阀的快速连接式联接的协作部分的接合将机械地致动在协作部分中的一个或二者中的阀，以在形成联接时打开所述阀，并且在断开联接时关闭所述阀。

在某些实施例中，如本文中所披露的分配头可以直接地联接到含内衬容器的口嘴。在其它实施例中，分配头可以间接地联接到含内衬容器的口嘴，诸如通过使用在分配头与容器的口嘴部分之间紧邻地布置的转接件而实现。这样的转接件可以有益地用来接合和/或保持内衬的适配件部分与容器的口嘴配准，以便用于适配件接收所述分配头的插入(例如，探针)部分。

在某些实施例中，含内衬的刚性容器可以由非多孔性金属制造(与诸如某些聚合物这样的可能多孔材料形成对照)，以最小化或排除周围环境气体或蒸汽迁移进入容器。在某些实施例中，如本文中所披露的分配头可包括金属(例如，不锈钢)制成的主体和/或探针，以类似地最小化或排除周围环境气体或蒸汽的迁移。

在某些实施例中，分配头包括了包含至少一个密封元件(例如，O形环密封件)的插入端(例如探针)，其中所述插入端被布置用于插入到内衬适配件内，且所述至少一个密封元件布置成用以密封地接合所述适配件的内部表面。在某些实施例中，分配头可以包括向下延伸进入内衬内部并且布置成用以从内衬下部(例如，底部)提取含液体材料的一体式汲取管或下管。在其它实施例中，分配头可布置成用于与汲取管联接件相匹配，汲取管联接件在分配头的插入端与汲取管之间布置在中间。

在某些实施例中，可装运的液体储存和分配设备包括了大致刚性容器，以及布置成用于与容器的口嘴部分联接的分配头，大致刚性容器包含可收缩内衬且具有布置在内衬与容器之间的间隙空间。分配头包括与内衬的内部流体连通的液体通路，与内衬的内部流体连通的内衬气体通路，以及与间隙空间流体连通的加压气体通路。分配头可进一步包括液体阀，所述液体阀由分配头所容纳或联接至分配头并且与液体通路流体连通。液体阀可以包括或具有与之相关联的液体阀快速连接式配件，且液体阀布置于分配头和液体阀快速连接式配件之间。分配头可进一步包括内衬气体阀，所述内衬气体阀由分配头所容纳或联接至分配头并且与内衬气体通路流体连通。内衬气体阀可以包括或具有与之相关联的内衬气体阀快速连接配件，且内衬气体阀布置在分配头与内衬气体阀快速连接配件之间。分配头可以另外包括加压气体阀，所述加压气体阀由分配头所容纳或联接至分配头并且与加压气体通路流体连通。加压气体阀可以包括或具有与之相关联的加压气体阀快速连接配件，且加压气体阀布置在分配头与液体阀快速连接配件之间。

在某些实施例中，液体阀、内衬气体阀、加压气体阀中的每个的至少一部分可以沿着分配头的至少一个外部部分在外部被访问。在某些实施例中，内衬气体阀和加压气体阀中的至少一个可以包含或包括止回阀。在某些实施例中，内衬气体阀、液体阀、和加压气体阀中的至少一个可以包括任何合适类型的手动或自动操作阀(例如，球阀、针阀，等等)。在某些实施例中，内衬气体阀、液体阀、以及加压气体阀中的至少一个可包括气动阀、电磁操作阀、和/或伺服控制阀。在某些实施例中，液体阀和加压气体阀中的至少一个可以布置成用以响应于一个或多个控制信号来调制流量。

在某些实施例中，内衬气体阀，液体阀，和加压气体阀中的至少一个可以包括对应的覆盖元件或塞，所述覆盖元件或塞(例如，受到手动移除)布置成用以覆盖和/或密封与相应阀相关联的至少一个开口。在某些实施例中，布置成与内衬气体阀，液体阀，和加压气体阀中的至少一个流体连通的一个或多个快速连接配件可以包括对应的覆盖元件或塞，所述覆盖元件或塞(例如，受到手动移除)布置成用以覆盖和/或密封与相应的快速连接配件相关联的至少一个开口。这样的覆盖元件或塞可以用来进一步防止或减少污染物进入到流体连接表面。

在某些实施例中，至少一个保护性壳体或护罩布置成用以对液体阀、内衬气体阀、以及加压气体阀中至少一个的至少一部分进行覆盖，和/或对布置成与内衬气体阀、液体阀、和/或加压气体阀流体连通的一个或多个快速连接配件中的至少一部分进行覆盖。这样的保护性壳体或护罩可以包括任何合适的刚性和/或缓冲材料并且布置成用以在装运期间防止对阀、快速连接配件、和/或分配头的其它部分或部件的损坏。在某些实施例中，保护性壳体或护罩可布置成用以在分配头联接至基于内衬的容器时包括所述分配头的所有或大致所有本可以从外部访问的表面。在一个实施例中，保护性壳体或护罩包括了在分配头联接至基于内衬的容器时可绕分配头定位的一个刚性壳内所布置的泡沫缓冲材料，并且壳体或护罩可布置用于附接至容器外部。

在某些实施例中，含液体材料可布置在分配头所联接至的基于内衬的容器的内衬内，并且含液体材料可以由处于略微正压力(大于周围大气压力)下的惰性气体(例如，氮、氩、或其它合适气体)所覆盖，以便防止环境气体和/或蒸汽进入容器和/或分配头内。在某些实施例中，顶部空间可以容纳加压气体，所述加压气体在容器的装运和/或分配使用期间处于很可能经历的至少102kPa、至少105kPa、至少约110kPa、至少约120kPa、或大于周围大气压力的任何其它合适值的压力下。

在某些实施例中，可装运的分配头可以被布置用于与包含可收缩内衬的大致刚性的容器和内衬的适配件相匹配，在内衬与容器之间具有间隙空间，并且内衬的适配件与容器的口嘴部分配准。这样的分配头可以包括：一种分配头主体，其限定(i)布置成用以允许与内衬的内部流体连通的液体通路和内衬气体通路，以及(ii)与间隙空间流体连通的加压气体通路，其中分配头的插入(例如，探针)部分包括可插入适配件内以密封地与适配件的一部分接合的至少一个密封元件。内衬气体通路的终端可以布置在至少一个密封元件下方，以允许与内衬的上部流体连通。汲取管可以延伸经过适配件进入内衬内部。液体通路可以延伸至或通过汲取管以允许从内衬的下部提取流体材料。分配头内的或与分配头相关联的内衬气体阀可以设置成与内衬气体通路流体连通。分配头内的或与分配头相关联的液体阀可以设置成与液体通路流体连通。内衬气体阀可以包括或具有与之相关联的内衬气体阀快速连接配件，且内衬气体阀布置在分配头与内衬气体阀快速连接配件之间。分配头可以另外包括加压气体阀，所述加压气体阀由分配头容纳或联接至分配头并且与加压气体通路流体连通。加压气体阀可以包括或具有与之相关联的加压气体阀快速连接配件，并且加压气体阀布置在分配头与液体阀快速连接配件之间。

分配头内的或与分配头相关联的加压气体阀可以设置成与加压气体通路流体连通。在某些实施例中，液体通路和内衬气体通路可以在分配头的至少所述插入部分内被非同心地布置。汲取管联接件可以布置于分配头的探针或插入部分与汲取管之间。内衬的适配件可以与容器的口嘴部分相配准。转接件可以紧邻地布置于分配头与容器的口嘴部分之间以允许分配头间接联接至容器的口嘴部分。

在某些实施例中，流体处理方法可以利用包含可收缩内衬的大致刚性容器以及与容器口嘴相联接的分配头，并且分配头包括与内衬内部流体连通的液体通路、与内衬内部流体连通的内衬气体通路、与介于内衬与容器之间的间隙空间流体连通的加压气体通路，与液体通路流体连通的液体阀，与内衬气体通路流体连通的内衬气体阀，以及与加压气体通路流体连通的加压气体阀。流体处理方法可以包括下列步骤中的两个或多个：将惰性气体通过分配头供应至内衬内部；在惰性气体供应步骤之后，从内衬内部通过分配头移除惰性气体以至少部分地缩小所述内衬；在惰性气体移除步骤之后，利用惰性气体至少部分地重新充胀所述内衬；在内衬重新充胀步骤之后，通过分配头以供应含液体材料，以利用含液体材料至少部分地填充所述内衬的内部，同时允许内衬内的惰性气体的至少一部分通过分配头逸散；并且在含液体材料供应步骤之后，关闭所述液体供应阀。在某些实施例中，顶部空间(例如，顶部空间气体)可以在其后从内衬移除，且与内衬相关联的阀可以被关闭，以允许内衬保持处于零顶部空间条件下持续任何所需时间。当将要准备内衬用于装运时，加压惰性气体(即，加压到任意合适的压力值，诸如102kPa或本文中所披露的任何其它压力值)可以通过分配头(例如，通过内衬气体阀)供应至内衬，并且这种加压惰性气体可以在装运至使用点期间，保持在内衬中覆盖含液体材料。

在某些实施例中，在将惰性气体装运至使用点之后可执行各种步骤。一个或多个步骤可包括：将加压气体供应管线和液体分配管线在使用点处连接至分配头；从内衬通过分配头移除额外的惰性气体；从加压气体供应管线通过分配头供应加压气体至介于内衬与分配头之间的间隙空间；以及通过分配头和液体分配管线将含液体材料分配到被布置成利用含液体成分的流体利用设备。

在某些实施例中，含液体材料包括下列中的任何项：光致抗蚀剂、蚀刻剂、化学气相淀积试剂、溶剂、晶片清洁制剂，工具清洁制剂、化学机械抛光剂、滤色化学试剂、外层涂料和液晶材料。

在某些实施例中，流体处理方法可利用包含可收缩内衬的大致刚性容器以及与容器口嘴相联接的分配头，并且分配头包括与内衬内部流体连通的液体通路、与内衬内部流体连通的内衬气体通路、与介于内衬与容器之间的间隙空间流体连通的加压气体通路，与液体通路流体连通的液体阀，与内衬气体通路流体连通的内衬气体阀，以及与加压气体通路流体连通的加压气体阀。这种方法可包括下列步骤中的两个或多个：通过分配头将惰性气体供应至内衬内部；在惰性气体供应步骤之后，通过分配头从内衬内部移除惰性气体以至少部分地放气缩小所述内衬；在惰性气体移除步骤之后，利用惰性气体至少部分地重新充胀所述内衬；在内衬重新充胀步骤之后，通过分配头供应含液体材料以利用含液体材料至少部分地填充所述内衬的内部，同时允许内衬内的惰性气体的至少一部分通过分配头逸散；并且在含液体材料供应步骤之后，关闭所述液体供应阀。快速连接配件可与加压气体阀、液体阀、和内衬气体阀中的一个或多个相关联。在某些实施例中，将所述加压气体供应管线连接至分配头可利用加压气体快速连接配件，并且将所述液体分配管线连接至分配头可利用液体分配阀快速连接配件。

在下面结合附图解释了示例性实施例的另外的细节。

图1A图示出根据一个实施例的流体处理系统100的部件，所述流体处理系统100被布置用于对包括基于内衬的压力分配包装105的一种可装运液体储存和分配设备进行填充。包装105包括刚性的或大致刚性的容器110，容器110包含可收缩内衬120，且在容器110与内衬120之间布置了间隙空间115。内衬120限定内部体积121，内部体积121可以包括含液体材料122，含液体材料122由可包括惰性气体的顶部空间123所覆盖。分配头130联接至容器110。分配头主体131限定加压气体通路132、液体通路133、以及内衬气体通路134。加压气体通路132与间隙空间115(例如，在气体输送点132A处)流体连通。液体通路133延伸通过与内衬120的内部121流体连通的汲取管135(例如，以在布置于内衬120的下部中或沿着内衬120的底部布置的提取点135A处提取含液体材料)。内衬气体通路与内衬的内部121(例如，在布置于内衬120的上部处的气体进入或排出点134A处)流体连通。加压气体阀142部分地由分配头130容纳或与分配头130联接，并且与加压气体通路132流体连通。加压气体阀143部分地由分配头130容纳或与分配头130联接，并且与液体通路133流体连通。加压气体阀144部分地由分配头120容纳或与分配头120联接，并且与内衬气体通路134流体连通。加压气体阀142、液体阀143、以及内衬气体阀44中的至少一个(优选地其中每个的至少一端)包括或具有与之相关联的对应的快速连接配件-即，加压气体阀快速连接配件152、液体阀快速连接配件153、和/或内衬气体阀快速连接配件154。加压气体阀142被布置成从加压气体源172(加压气体源172可以包括气体调节器和/或气体控制阀(未图示))接收加压气体。液体阀143被布置成可选地通过中间液体阀175从液体材料源173接收液体材料(例如，作为内衬填充工艺的部分)。内衬气体阀144被布置成(例如，通过真空阀/通风阀176A)与真空源或通风口174A或(例如，通过惰性气体阀176B)与惰性气体源174B成选择性流体连通。系统100的多个部件的操作可以利用控制器101被控制。

系统100可用来执行所有或某些下列步骤：通过分配头清洗来自基于内衬的容器的空气、氧气和/或湿气；通过分配头利用含液体材料填充所述基于内衬的容器；向内衬顶部空间添加(并且保持)较小体积的(例如，处于比周围大气压力更大的压力下的)惰性气体以使包装105准备用于装运。

在一个实施例中，标称为“排空”含液体材料、但遭受氧气和/或蒸汽的存在的新的内衬120被插入到容器110内，并且分配头130被连接至容器110，且分配头130联接至加压气体源172，分配头130联接至液体材料源173，并且选择性地联接至真空源/通风口174A或惰性气体源174B，如图1A所示。为了准备内衬用于以含液体材料进行填充，惰性气体从惰性气体源174B被供应至内衬120内部121，并且这种惰性气体使用真空源或通风口174A而被移除(且惰性气体供应和移除构成了一个清洗循环)。可以进行多个清洗循环(在移除惰性气体后，每个清洗循环都包括了添加惰性气体)，以确保从内衬120的内部121移除任何非惰性气体和蒸汽。其后，含液体材料122可以从液体材料源173通过液体阀143、通路133、和汲取管135而供应到内衬。可以使用真空源或通风口174A从内部121移除顶部空间。分配头130可以可选地被密封持续任何所需的时间直至需要装运所述包装105。为了使包装105准备用于装运，加压的惰性气体可以从惰性气体源174B通过内衬气体阀144和内衬气体通路134而被供应到内衬的顶部空间部分123，并且分配头130可以在之后被密封，以用于将包装105装运(其中有加压的内容物)至液体材料利用设施。

图1B图示出可装运的液体储存和分配设备，可装运的液体储存和分配设备包括了在使用接合图1A所描述的流体处理系统100填充所述包装105之后的基于内衬的压力分配包装105。在利用被加压惰性气体123所覆盖的含液体材料122来填充包装105的内衬120之后，可以(自动地或手动地)关闭阀142、143、144，并且可选的覆盖元件或塞162、163、164可被布置成用以覆盖与每个阀142、143、144和/或相关联的快速连接配件152、153、154相关联的至少一个开口。另外，至少一个保护性壳体或护罩161可以布置成用以覆盖分配头130、阀142、143、144和快速连接配件152、153、154中的至少一个的至少一部分(并且优选地每个的整体)，以帮助这样的部件在装运期间免受损坏。这样的护罩可以是延长凸边，所述延长凸边焊接到在轴向延伸超出分配头顶部的容器部分。

图1C图示出一种流体处理系统180的部件，流体处理系统180布置成用于从包括基于内衬的压力分配包装105的可装运液体储存和分配设备分配含液体材料。在使用点处，覆盖元件或塞162、163、164以及保护壳体或护罩161(在图1B中示出)可以被移除，并且可以与分配头130进行多个连接。加压气体阀142(以及相关联的快速连接配件152)可连接至与加压气体源182(加压气体源182可以包括至少一个压力调节器和/或阀(未示出))相关联的管道。液体阀143(和相关联的快速连接配件153)可以(可选地借助于下游液体阀185)联接至与液体利用工艺189相关联的管道，且液体利用工艺189(诸如工艺工具)可选地包括排空监测元件187和/或储存器188。内衬气体阀144(以及相关联的快速连接配件154)可以连接至与真空源和/或通风口184相关联的管道，可选地包括真空阀/通风阀186。控制器181可以布置成用以控制流体处理系统180的一个或多个部件。

在流体处理系统180的操作中，通过打开内衬气体阀144并且使用真空源184通过内衬气体阀144排出气体，或者通过供应加压气体至间隙空间115以压缩所述内衬120并且通过内衬气体阀144将气体排放至通风口184，则容纳于内衬120内部121中的任何惰性气体123可以被移除。替代地，通过将气体排出进入布置于包装105与下游液体利用工艺189之间的可通风的储存器188，惰性气体123可以通过液体阀143而被移除。储存器188可以包括从储存器188的上部周期性地通风的气体通风口(未示出)以允许惰性气体逸散，且从储存器188的下部排出含液体材料以传送液体至下游液体利用工艺189。

尽管前述段落是指代从内衬120移除惰性气体123，但是在某些实施例中，含液体材料122可以在零顶部空间状态下布置于内衬120中，而不存在着位于内衬120的内部121中的任何惰性气体。

在从内衬120移除了任何惰性气体123之后，通过打开液体阀143并且将加压气体(或其它流体)供应至间隙空间115以压缩所述内衬120并且推迫液体通过汲取管135和液体阀143进入与下游液体利用工艺189相关联的管道和部件，可以从内衬120分配含液体材料122。任何合适类型的一个或多个排空监测传感器187可以布置在与液体利用工艺相关联的管道中。在某些实施例中，排空监测传感器可以包括泡传感器、电容传感器、流量传感器(例如，通过仪表用以计量含液体材料的总流量的一体式或总体式流量计)，或布置成用以感测指示排空的或接近排空状态的压降状况的压力变送器或压力开关中的至少一个。在通过援引由此合并到本文中的美国专利申请公开号2010/0112815A1中被披露了使用压降变送器或压力开关来感测压降状况。在感测到排空状况或接近于排空状况之后，可以暂缓从内衬120分配含液体材料122，并且可以启动从另一基于内衬的压力分配包装(未示出)至液体利用工艺189的对于含液体材料的持续分配。在某些实施例中，含液体材料可以持续地从可选的下游储存器188被供应到液体利用工艺，而同时新的基于内衬的压力分配容器准备就绪用于分配操作。

图2A-2C图示了第一可装运液体储存和分配设备205的部件，包括布置成用于联接至其中包含内衬220的容器210的分配头230。间隙空间215设置于容器210与内衬220之间。容器210包括沿着上部边界壁209居中地布置的螺纹口嘴212，包括具有上部214A的至少一个侧壁214，且配置为凸边，所述凸边在边界壁209的上方延伸终止于上部边缘211处；包括底壁212，底壁212可选地包括井区域212A；并且包括布置成用以支撑所述容器210的下部边缘213。至少一个侧壁214的所述上部214A可以包括用于手动握持所述容器210的手柄的至少一个开口213。在某些实施例中，容器210可以由金属(例如不锈钢)制造。

限定内部体积221的内衬220被布置于容器210内。限定由内部表面所限定的孔口的适配件222被结合到内衬220，且适配件222与容器的口嘴212配准并且利用转接件224而保持就位，转接件224包括了具有布置成用以与所述口嘴212接合的凹螺纹表面的下部225，并且包括了的上部226，上部226具有布置成与沿着分配头230的下部表面231A布置的凹螺纹相接合的凸螺纹部分。

具有敞开下端235A和扩口上端235B的中空汲取管235被布置用于插入到内衬220的内部221内。汲取管235被布置成结合所述汲取管联接件290。汲取管联接件290包括了减少直径的下部291，减少直径的下部291限定孔293并且布置成用于插入到汲取管235的扩口上端235B内，并且包括增加直径的上部292，增加直径的上部292限定由内表面295所限定的凹部294，所述内表面295布置成接合探针或插入部分235A的尖端、以及分配头230的至少汲取管密封元件238。

在某些实施例中，可以使用没有扩口上端的汲取管，诸如通过推动汲取管锁定在联接件的孔中，或通过在汲取管上模制联接件，可以完成这样的汲取管。

分配头230包括主体231，主体231限定加压气体通路232、液体通路233、以及内衬气体通路234。加压气体通路232与加压气体阀242流体连通，以选择性地允许加压气体进入间隙空间215。液体通路233与液体阀接口联接件243A流体连通，液体阀接口联接件243A具有布置成用于与液体阀(未示出)相匹配的外表面243B。内衬气体通路234与内衬气体阀244流体连通。向下突起的探针或插入部分235延伸超出分配头230的下表面231A并且布置成插入到适配件222内，且探针或插入部分235A的尖端部分和汲取管密封元件238被布置成用于与在汲取管联接件290中所限定的凹部294的内表面295相匹配。一个或多个额外的密封元件239沿着探针或插入部分235A的外表面布置，以用于与内衬220的适配件222的内表面223成密封接合。内衬气体通路234包括终端234A(接近于沿着插入部分235A中间地布置的肩部237)，终端234A布置于汲取管联接件290上方且布置成用于当分配头230与容器210的口嘴212相联接(例如，经由转接件224而间接地联接)时与内衬220的内部221流体连通。液体通路233延伸通过分配头230并且汲取管联接件290通过汲取管235以便允许从内衬220的下部(例如底部)(例如，接近于在容器210的底部井212中所限定的井部分212A)排出或退出含液体的材料。

如图2A-2C中所示，阀242、244被布置在分配头230中或分配头230上，并且进一步布置成不延伸超出容器210的上部边缘211的宽度。容器210、内衬220和分配头230可以用来执行如本文中所披露的液体处理方法。

图3A-3B图示了第二可装运液体储存和分配设备305的部件，包括布置成用于联接至其中包含内衬320的容器310的分配头330。设备305在许多方面类似于结合图2A-2C所披露的设备205，但具有不同的液体和加压气体阀，并且具有不同的内衬气体通路和汲取管布置(例如，缺少汲取管联接件)。

如图3A-3B中所示，分配头330被布置用于联接至其中包括内衬320的容器310。容器310包括沿着上边界壁309居中地布置的螺纹口嘴312，包括具有在边界壁309上方延伸终止于上部边缘311处的上部314A的至少一个侧壁，以及包括底壁和下边缘(未示出)。至少一个侧壁的所述上部314可以包括用于手动握持所述容器310的手柄的至少一个开口313。在某些实施例中，容器310可以由金属(例如不锈钢)制造。

限定内部体积321的内衬320被布置于容器310内。限定由内部表面323所限制的孔口的适配件322被结合到内衬320，且适配件322与容器的口嘴312配准并且利用转接件324而保持就位。转接件324包括了具有布置成与所述口嘴312接合的凹螺纹表面的下部325，并且包括上部326，上部326具有布置成与沿着分配头330的下表面331A布置的凹螺纹相接合的凸螺纹部分。

具有敞开下端和扩口上端335B部分的中空汲取管335被直接地固定到延伸超出分配头330下表面331A的探针或插入部分335A，且内衬气体通路334A布置成接近于汲取管335的扩口上端335B并且布置成在适于与适配件322的内表面323密封接合的至少一个密封元件339下方。汲取管335被布置用于通过适配件322插入到内衬320的内部321中，且沿着探针或插入部分335的外表面的密封元件339被布置成密封地接合所述适配件322的内表面323。液体通路333以及内衬气体通路334非同心地布置在分配头330的至少探针或插入部分335A内。

分配头330包括主体331，主体332限定加压气体通路333、液体通路334、以及内衬气体通路234。加压气体通路322与具有相关联的加压气体阀快速联接件352的加压气体阀341流体连通。液体通路333与具有相关联液体阀快速连接件353的液体阀343流体连通。内衬气体通路334与内衬气体阀344流体连通。内衬气体通路334包括终端334A，终端234A布置于汲取管联接件390上方且布置成当分配头330与容器310的口嘴312相联接(例如，由转接件324而间接地联接)时，与内衬321的内部320流体连通。液体通路333延伸通过分配头330以及汲取管335以便允许含液体材料从内衬320的下部(例如底部)退出。

如图3A-3B中所示，阀342、343、344被布置在分配头330中或分配头330上，并且进一步布置成不延伸超出容器310的上边缘311的宽度。容器310、内衬320和分配头330可以用来执行如本文中所披露的液体处理方法。

参考图4-6，7，9，10和20，图示了根据本发明的实施例的容器410。容器大致包括容器部分412，上凸边414，以及下凸边416。容器部分具有圆柱形壁部分418，上端壁420，以及下端壁422，每个上端壁和下端壁可以是穹顶形。上端壁具有从该处延伸的螺纹口嘴440，提供了通往容器的内部442和容器部分的通路。上凸边限定了保护性区域444。

在保护性区域中与容器相接合的是分配头450；与分配头和容器的口嘴相接合的是配置成具有适配件458的袋囊457的内衬456。袋囊的大小和构造适于形状地配合所述容器的内部。适配件与具有两个半部465的适配件保持件464相协作以在适配件周围夹持并且座接于容器的口嘴440中。

上凸边从容器部分竖直地延伸一段距离以超出分配头的最上部468，因而提供对分配头和至分配头的管线连接的保护。在实施例中，凸边从容器部分向上延伸一段距离D1，距离D1为容器部分的圆柱形壁部分的长度L1的至少20％。在实施例中为至少25％，在实施例中为至少30％。在实施例中，距上端壁的最上表面472的距离D4为容器的整个高度H1的至少15％，在其它实施例中，为至少20％，在其它实施例中，至少为25％。

覆盖物470接合所述上凸边的唇缘480并且座接于唇缘482的最上部上。诸如弹簧构件这样的接合元件486可以用来将所述板固定至凸边。在其它实施例中，板可以铰接至容器或拴系至该处。

参考附图7、8、10-19，图示出合并了创造性方面的分配头的细节。分配头450大致包括探针部分500、下主体部分506、上主体部分508、和螺母510。探针部分500具有接收于汲取管524的端部中的配置为接头520的凸适配件。接头具有作为流体填充和分配管道的流体通路528。两个额外的流体通路532、534提供通往袋囊457中的液体上方的顶部空间538的通风或气体通路并且具有接近于且紧邻所述接头520的下出口535、536。另外，两个流体通路544、546延伸通过上主体和下主体并且穿过了在上主体和下主体的接合部552处密封所述通路的O形环550。

探针部分500具有径向延伸的凸缘部分560，凸缘部分560在凹部562处沿径向以及轴向被捕获在所述上主体部分与所述下主体部分之间。螺母也在上主体部分的面朝底部的表面565中在凹部564处受限定并且沿轴向和径向被捕获。上主体部分508和下主体部分506由螺钉569而固定到一起。衬套574被夹在上主体部分与螺母之间，对螺母旋转提供缓冲减震或静噪效果。O形环578座接于下主体部分的凹槽580中，以用于与容器的口嘴的上表面582一起进行密封。凹槽以与水平方向所成的约45度角585而径向向内且向上延伸，以在密封期间提供径向和轴向压缩。在实施例中，与水平方向成30度至60度的角。

图19图示了具有衬套574的分配头的另一实施例，衬套574用于对螺母以及在与水平方向成30至60度角而延伸的凹槽中座接的O形环提供缓冲和静噪效果。

如图1-3B的实施例中所图示，阀可以与每个流体通路相关联并且这种阀是分配头的部分、联接至分配头或与分配头相关联。当形成连接时，例如快速连接自密封配件，或手动式诸如球阀，则可以致动所述阀。每个通路可以具有手动的和/或快速连接自密封连接。

参考图20至38，列出示例性步骤以利用本文中所披露的设备从而使得在终端使用或工艺设施处在容器中对液体进行设置和分配期间，环境和人员不暴露于液体或来自液体的烟气。

本文中所披露的实施例可以提供下列有益技术效果中的一个或多个：减少空气、湿气、或其它污染物进入基于内衬的压力容器和设备；氧敏和/或湿敏的含液体材料的有所减少的损坏和/或贮藏寿命的提升；以及在空调环境中利用包括氧敏和/或湿敏的含液体材料的基于内衬的压力分配容器使得能形成连接(而不需要在真空环境、惰性气体环境、或其它受控环境中进行这种连接)。

尽管在本文中已参考本发明的具体方面、特征和例示性实施例而描述了本发明，将理解到，本发明的功用不会因而受限制，而是扩展到并且包括多种其它变型、修改和替代实施例，如基于本文的公开将会使得本发明的领域的技术人员想起的。结合一个或多个实施例加以描述的任何一个或多个特征被设想为与任何其它实施例中的一个或多个特征组合，除非本文中特定地指明为相反情况。对应地，如在下文的权利要求中所主张般，本发明旨在被广义地理解和解释为包括所有这些变型、修改和替代实施例，它们都在本发明的精神和范畴内。

Claims (43)

1.一种可装运液体储存和分配设备，包括：

包含可收缩内衬的大致刚性的容器，其中所述内衬包括内部，并且间隙空间布置于内衬与容器之间；

被布置成与容器的口嘴部分联接的分配头，所述分配头包括与内衬的内部流体连通的液体通路，与内衬的内部流体连通的内衬气体通路，和与间隙空间流体连通的加压气体通路；

液体阀，所述液体阀由分配头容纳或联接至所述分配头，并且与液体通路流体连通，其中所述液体阀包括或具有与所述液体阀相关联的液体阀快速连接配件，并且所述液体阀被布置于分配头和液体阀快速连接配件之间；

内衬气体阀，所述内衬气体阀由分配头容纳或联接至所述分配头，并且与内衬气体通路流体连通；以及

加压气体阀，所述加压气体阀由分配头容纳或联接至所述分配头，并且与加压气体通路流体连通，其中所述加压气体阀包括或具有与所述加压气体阀相关联的加压气体阀快速连接配件，并且所述加压气体阀被布置于分配头和液体阀快速连接配件之间。

2.根据权利要求1所述的可装运液体储存和分配设备，其中所述内衬气体阀包括或具有与所述内衬气体阀相关联的内衬气体阀快速连接配件，并且所述内衬气体阀被布置于分配头和所述内衬气体阀快速连接配件之间。

3.根据权利要求1所述的可装运液体储存和分配设备，其中能够沿着分配头的至少一个外部从外面访问液体阀、内衬气体阀和加压气体阀中的每个的至少一部分。

4.根据权利要求1所述的可装运液体储存和分配设备，其中内衬气体阀和加压气体阀中的至少一个包括止回阀。

5.根据权利要求1所述的可装运液体储存和分配设备，还包括布置成对液体阀、内衬气体阀、和加压气体阀中的至少一个的至少一部分进行覆盖的至少一个保护性壳体或护罩。

6.根据权利要求1所述的可装运液体储存和分配设备，还包括与液体通路流体连通的汲取管，其中所述汲取管向下延伸进入内衬的内部。

7.根据权利要求1所述的可装运液体储存和分配设备，包括位于内衬内的含液体材料，并且包括与内衬内的含液体材料相接触的加压惰性气体，其中所述加压惰性气体处于至少102kPa的压力下。

8.根据权利要求1所述的可装运液体储存和分配设备，还包括转接件，所述转接件被布置在分配头和容器的口嘴部分之间的中间，以允许分配头间接联接至容器的口嘴部分。

9.一种可装运分配头，所述分配头被布置成与包含可收缩内衬的大致刚性的容器和内衬的适配件相匹配，其中在内衬与容器之间具有间隙空间，并且内衬的适配件与容器的口嘴部分配准，所述分配头包括：

分配头主体，所述分配头主体限定(i)布置成允许与内衬的内部流体连通的液体通路和内衬气体通路，以及(ii)与所述间隙空间流体连通的加压气体通路，其中所述分配头的包括至少一个密封元件的插入部分能够插入适配件内，以密封地接合所述适配件的一部分，并且内衬气体通路的终端被布置在所述至少一个密封元件下方，以允许与所述内衬的上部流体连通；以及

延伸通过适配件进入内衬内部的汲取管，其中液体通路延伸至或延伸通过所述汲取管，以允许从内衬的下部提取流体材料；

与内衬气体通路流体连通的内衬气体阀；

与液体通路流体连通的液体阀；以及

与加压气体通路流体连通的加压气体阀。

10.根据权利要求9所述的可装运分配头，其中所述液体通路和所述内衬气体通路至少在分配头主体的所述插入部分内非同心地布置。

11.根据权利要求9所述的可装运分配头，还包括布置在分配头主体的插入部分与汲取管之间的汲取管联接件。

12.根据权利要求9所述的可装运分配头，还包括：

布置成允许连接至液体阀的液体阀快速连接配件；

布置成允许连接至内衬气体阀的内衬气体阀快速连接配件；

布置成允许连接至加压气体阀的加压气体阀快速连接配件。

13.一种液体储存和分配设备，包括根据权利要求9所述的可装运分配头，所述可装运分配头与包含可收缩内衬的大致刚性的容器和内衬的适配件相匹配，其中在内衬与容器之间具有间隙空间，并且内衬的适配件与容器的口嘴部分配准。

14.根据权利要求13所述的液体储存和分配设备，还包括转接件，转接件被布置在分配头与容器的口嘴部分之间的中间，以允许分配头间接联接至容器的口嘴部分。

15.一种流体处理方法，所述流体处理方法利用包含可收缩内衬的大致刚性容器以及与容器口嘴相联接的分配头，并且分配头包括与内衬内部流体连通的液体通路、与内衬内部流体连通的内衬气体通路、与介于内衬与容器之间的间隙空间流体连通的加压气体通路，与液体通路流体连通的液体阀，与内衬气体通路流体连通的内衬气体阀，以及与加压气体通路流体连通的加压气体阀，所述方法包括：

通过分配头将惰性气体供应至内衬内部并且对内衬充气；

在惰性气体供应步骤之后，通过分配头从内衬内部移除惰性气体，以至少部分地对所述内衬放气；

在从内部移除惰性气体的步骤之后，通过分配头供应含液体材料，以利用所述含液体材料至少部分地填充所述内衬的内部，同时允许内衬内的惰性气体的至少一部分通过分配头逸散；并且

在含液体材料供应步骤之后，关闭所述液体供应阀。

16.根据权利要求15所述的流体处理方法，还包括：在液体供应阀关闭步骤之后，通过分配头将额外的惰性气体供应到内衬的内部，以接触布置于内衬的内部中的含液体材料，以在内衬中获得至少102kPa的气体压力。

17.根据权利要求16所述的流体处理方法，还包括：在含液体材料和惰性气体位于内衬中的情况下，将所联接的容器和分配头装运至终端使用设施，其中所述惰性气体在所述装运期间维持至少102kPa的压力。

18.根据权利要求15所述的流体处理方法，其中含液体材料包括下列物质之一：光致抗蚀剂、蚀刻剂、化学气相淀积试剂、溶剂、晶片清洁制剂，工具清洁制剂、化学机械抛光剂、滤色化学试剂、外层涂料和液晶材料。

19.根据权利要求15所述的流体处理方法，其中分配头还包括与液体阀相关联的液体阀快速连接配件，与内衬气体阀相关联的内衬气体阀快速连接配件，以及与加压气体阀相关联的加压气体阀快速连接配件。

20.根据权利要求16所述的流体处理方法，还包括：

在使用点处将加压气体供应管线和液体分配管线连接至分配头；

通过分配头从内衬移除额外的惰性气体；

通过分配头将加压气体从加压气体供应管线供应至介于内衬与分配头之间的间隙空间；以及

通过分配头和液体分配管线将含液体材料分配到布置成利用含液体成分的流体利用设备。

21.一种在使用点处的液体处理方法，所述方法包括：

从化学供应设施接收大致刚性的容器和与容器的口嘴相联接的分配头，所述大致刚性的容器包含在其中具有含液体材料的可收缩内衬，并且所述分配头包括与内衬的内部流体连通的液体通路、与内衬的内部的流体流体连通的内衬气体通路、与介于内衬与容器之间的间隙空间流体连通的加压气体通路、与液体通路流体连通的液体阀、与内衬气体通路流体连通的内衬气体阀、以及与加压气体通路流体连通的加压气体阀；

在使用点处将加压气体供应管线和液体分配管线连接至分配头；

通过分配头从内衬移除惰性气体；

通过分配头将加压气体从加压气体供应管线供应至介于内衬与分配头之间的间隙空间；以及

通过分配头和液体分配管线将含液体材料分配到布置成利用含液体成分的流体利用设备。

22.根据权利要求21所述的流体处理方法，其中含液体材料包括下列物质之一：光致抗蚀剂、蚀刻剂、化学气相淀积试剂、溶剂、晶片清洁制剂，工具清洁制剂、化学机械抛光剂、滤色化学试剂、外层涂料和液晶材料。

23.根据权利要求21所述的流体处理方法，其中：

分配头还包括与液体阀相关联的液体阀快速连接配件，与内衬气体阀相关联的内衬气体阀快速连接配件，以及与加压气体阀相关联的加压气体阀快速连接配件。

将加压气体供应管线连接至分配头利用了加压气体阀快速连接配件；以及

将液体分配管线连接至分配头利用了液体分配阀快速连接配件。

24.一种分配头，用于与刚性容器的口嘴相联接并且与用于保持待分配液体的容器中的袋囊相联接，所述分配头包括：

中心探针部分，所述中心探针部分沿轴向延伸分配头的竖直长度并且具有第一流体通路和第二流体通路，所述第一流体通路和所述第二流体通路中的每个都具有水平延伸的相应的上出口以及具有下出口，所述探针具有沿径向向外延伸的中心凸缘；

上主体部分，具有在径向上捕获所述中心探针部分的中心孔口；

下主体部分，所述下主体部分与上主体部分协作以将所述中心探针部分的中心凸缘夹在所述下主体部分与所述上主体部分之间；

螺母，所述螺母围绕下主体部分延伸并且具有向内延伸的凸缘，所述向内延伸的凸缘以可旋转方式被接纳在介于上主体部分与下主体部分之间的圆形凹部中，所述螺母具有螺纹以与刚性容器连接。

25.根据权利要求24所述的分配头，其中，环从分配头的下主体部分沿径向向外定位，并且被夹在上主体部分的向下定向表面与螺母的向上定向表面之间，所述环能够相对于螺母和上主体部分旋转地定位以便于螺母的旋转。

26.根据权利要求25所述的分配头，其中所述环在外部是不可见的。

27.根据权利要求24所述的分配头，其中所述探针由金属制成并且具有与所述探针一体的径向延伸配件，并且其中上主体部分被分为能够组装成单个环形主体部分的两个部分，所述单个环形主体部分在一体式配件下方围绕并且接合所述探针部分，从而允许分配头在探针上与一体式配件组装。

28.根据权利要求24至27中任一项所述的分配头，其中O形环密封件被座接于在下主体部分上向上并且径向向内延伸的凹槽中，从而当分配头接合所述容器的螺纹口嘴时，O形环密封件被沿径向和轴向被压缩于容器口嘴与下主体部分之间。

29.根据权利要求24至27中任一项所述的分配头，其中所述分配头具有用于与介于内衬与容器部分之间的环形空间流体连通的两个流体通路。

30.根据权利要求24至27中任一项所述的分配头，其中所述分配头具有用于与内衬的内部流体连通的两个流体通路。

31.根据权利要求24至30中任一项所述的分配头，其中每个流体通路都具有与之相关联并且与分配头相连接的阀。

32.根据权利要求24至30中任一项所述的分配头，所述分配头与容器组合，所述容器由不锈钢形成并且具有向上延伸的凸边，所述凸边向上延伸超出分配头。

33.根据权利要求32所述的与容器组合的分配头，其中所述分配头具有一对向外延伸的配件并且容器的向上延伸的凸边具有与所述一对向外延伸的配件对准的孔口。

34.一种分配系统，包括容器、内衬、和连接至所述容器及内衬的分配头；

所述容器包括不锈钢容器部分和上凸边，所述不锈钢容器部分具有外部圆柱形壁、上端壁和下端壁，所述上端壁和所述下端壁中的每个都与圆柱形壁成一体，所述上端壁具有口嘴以用于访问容器部分的内部，所述口嘴在其上具有螺纹；所述上凸边从容器部分向上延伸，所述凸边包括唇缘和最上部唇缘部分，

能够置于容器的内部中的内衬，所述内衬符合所述内部，所述内衬具有适配件以用于定位于容器的口嘴中；

分配头包括螺母，所述螺母的大小适于与螺纹口嘴接合，并且具有分配流体通路和气体通路，以及汲取管，所述汲取管能够附接至分配头以用于当内衬在容器中就位时延伸进入内衬中，

分配头和上凸边协同地大小确定为使得当分配头附接到容器的口嘴时，所述分配头完全位于最上部唇缘部分下方。

35.根据权利要求34所述的分配系统，其中所述分配头具有在最上部唇缘部分下方水平延伸的配件，并且上部凸边具有孔口，所述孔口定位于最上部唇缘部分下方一定水平面处并且被定位成允许配件与流体管线连接。

36.根据权利要求34或35所述的分配系统，其中所述容器还包括圆形板，圆形板的大小适于上凸边的唇缘，所述板具有保持构件以用于将所述圆形板固定至凸边。

37.根据权利要求34所述的分配系统，其中所述分配头包括固定至下主体部分的上主体部分，以及探针部分，所述探针部分在轴向延伸通过上主体部分和下主体部分并且在径向和轴向被捕获在上主体部分和下主体部分内。

38.根据权利要求37所述的分配系统，其中所述螺母能够在径向和轴向旋转地被捕获在上主体部分与下主体部分之间。

39.根据权利要求34所述的分配系统，其中，环从分配头的下主体部分沿径向向外定位，并且被夹在上主体部分的向下定向表面与螺母的向上定向表面之间，所述环能够相对于螺母和上主体部分旋转地定位以便于螺母旋转。

40.根据权利要求37、38和39中任一项所述的分配系统，其中O形环密封件被座接于在下主体部分上向上并且径向向内延伸的凹槽中，从而当分配头接合所述容器的螺纹口嘴时，O形环密封件在径向和轴向被压缩在容器口嘴与下主体部分之间。

41.根据权利要求37至39中任一项所述的分配系统，其中分配头具有用于与介于内衬和容器部分之间的环形空间流体连通的两个流体通路，并且具有用于与内衬的内部流体连通的两个流体通路。

42.一种在工艺设施处的液体处理方法，所述方法包括：

从化学供应设施接收刚性容器和与所述容器的口嘴相联接的分配头，所述刚性容器包含其中具有工艺液体的可收缩内衬，并且分配头包括与内衬内部流体连通的液体通路、与内衬内部流体连通的内衬气体通路、与介于内衬与容器之间的间隙空间流体连通的加压气体通路，与液体通路流体连通的液体阀，与内衬气体通路流体连通的内衬气体阀，以及与加压气体通路流体连通的加压气体阀；

在工艺设施处，在内衬气体阀关闭的情况下将加压气体供应管线连接至加压气体通路，并且在液体阀关闭的情况下将液体分配管线连接至分配头；

通过打开液体阀和打开内衬气体阀来分配液体。

43.根据权利要求42所述的方法，其利用根据权利要求24至27中任一项所述的分配头。