JP2884909B2 - 薬品供給装置 - Google Patents
薬品供給装置Info
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- 239000003814 drug Substances 0.000 claims description 41
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- Loading And Unloading Of Fuel Tanks Or Ships (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薬品供給装置に関し、特
に薬品容器内の薬品の空状態を検知する機能を持った薬
品供給装置に関する。
に薬品容器内の薬品の空状態を検知する機能を持った薬
品供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の薬品供給装置は、図３の構成図に
示すように、薬品容器Ａ３０１用として窒素ガスカプラ
ー３１２と薬品カプラー３１３とを有しており、窒素ガ
スカプラー３１２と窒素ガス配管３０９との接続箇所に
自動弁３０３を有しており、薬品カプラー３１３と薬品
供給配管３１０との接続箇所に自動弁３０４を有してい
る。
示すように、薬品容器Ａ３０１用として窒素ガスカプラ
ー３１２と薬品カプラー３１３とを有しており、窒素ガ
スカプラー３１２と窒素ガス配管３０９との接続箇所に
自動弁３０３を有しており、薬品カプラー３１３と薬品
供給配管３１０との接続箇所に自動弁３０４を有してい
る。
【０００３】また同様に、薬品容器Ｂ３０２用として窒
素ガスカプラー３１４と自動弁３０５，および薬品カプ
ラー３１５と自動弁３０６を有している。
素ガスカプラー３１４と自動弁３０５，および薬品カプ
ラー３１５と自動弁３０６を有している。
【０００４】薬品供給配管３１０には、配管内の薬液の
有無を検知するための界面検出器３０７と、供給薬品３
１６，３１７をろ過するためのフィルター３０８が取り
付けられている。制御シーケンサー３１１は、薬品供給
装置の運転動作に関するプログラムを内蔵しており、界
面検出器３０７からの信号処理，各自動弁３０３，３０
４，３０５，３０６の開閉動作等を行うものである。
有無を検知するための界面検出器３０７と、供給薬品３
１６，３１７をろ過するためのフィルター３０８が取り
付けられている。制御シーケンサー３１１は、薬品供給
装置の運転動作に関するプログラムを内蔵しており、界
面検出器３０７からの信号処理，各自動弁３０３，３０
４，３０５，３０６の開閉動作等を行うものである。
【０００５】次に薬品容器Ａ３０１内の薬品３１６をユ
ースポイントへ送液する場合を例にして、従来装置の動
作について以下に述べる。まず、制御シーケンサー３１
１へ薬品容器Ａ３０１内の薬品３１６の供給開始命令を
入力する。制御シーケンサー３１１は自動弁３０３，３
０４を「開」，自動弁３０５，３０６を「閉」に作動さ
せ、薬品容器Ａ３０１内を窒素ガスで加圧し、内部の薬
品３１６をユースポイントへ圧送する。
ースポイントへ送液する場合を例にして、従来装置の動
作について以下に述べる。まず、制御シーケンサー３１
１へ薬品容器Ａ３０１内の薬品３１６の供給開始命令を
入力する。制御シーケンサー３１１は自動弁３０３，３
０４を「開」，自動弁３０５，３０６を「閉」に作動さ
せ、薬品容器Ａ３０１内を窒素ガスで加圧し、内部の薬
品３１６をユースポイントへ圧送する。
【０００６】やがて薬品容器Ａ３０１の薬品３１６は空
になり、加圧媒体である窒素ガスが薬品容器Ａ３０１内
から薬品供給配管３１０内に流入し始める。界面検出器
３０７をセットした位置まで流入した窒素ガスが到達す
ると、界面検出器３０７はそれを検知し、制御シーケン
サー３１１に信号を送る。
になり、加圧媒体である窒素ガスが薬品容器Ａ３０１内
から薬品供給配管３１０内に流入し始める。界面検出器
３０７をセットした位置まで流入した窒素ガスが到達す
ると、界面検出器３０７はそれを検知し、制御シーケン
サー３１１に信号を送る。
【０００７】界面検出器３０７から信号を受けた制御シ
ーケンサー３１１は、薬品容器Ａ３０１からＢ３０２へ
の切り換えを行うべく、自動弁３０３，３０４を
「閉」，自動弁３０５，３０６を「開」に作動させ、薬
品容器Ｂ３０２を窒素ガスで加圧し、内部の薬品３１７
をユースポイントへ圧送する。
ーケンサー３１１は、薬品容器Ａ３０１からＢ３０２へ
の切り換えを行うべく、自動弁３０３，３０４を
「閉」，自動弁３０５，３０６を「開」に作動させ、薬
品容器Ｂ３０２を窒素ガスで加圧し、内部の薬品３１７
をユースポイントへ圧送する。
【０００８】以上説明したように従来の薬品供給装置
は、加圧薬品容器の切り換えを界面検出器からの信号に
より行うものであった。
は、加圧薬品容器の切り換えを界面検出器からの信号に
より行うものであった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】この従来の薬品供給装
置では、薬品容器内の薬品が空になった場合の薬品容器
の切り換えを、薬品供給配管に取り付けた界面検出器か
らの信号により行っており、薬品供給配管における界面
検出器のセット位置まで窒素ガスが到達し完全に封入さ
れた状態にならなければ薬品容器の切り換えを行わない
ため、薬品容器が空になるごとに一時的に窒素ガスが薬
品供給配管内に流入し、それゆえユースポイントにおい
て薬品の供給が一時的に（１０数秒程度）中断するとい
う問題点があった。
置では、薬品容器内の薬品が空になった場合の薬品容器
の切り換えを、薬品供給配管に取り付けた界面検出器か
らの信号により行っており、薬品供給配管における界面
検出器のセット位置まで窒素ガスが到達し完全に封入さ
れた状態にならなければ薬品容器の切り換えを行わない
ため、薬品容器が空になるごとに一時的に窒素ガスが薬
品供給配管内に流入し、それゆえユースポイントにおい
て薬品の供給が一時的に（１０数秒程度）中断するとい
う問題点があった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の薬品供給装置
は、薬品容器が空になった場合、フィルターの二次側の
薬品供給配管内の薬品の圧力変化に従って、薬品容器の
切り換えを行うために薬品供給配管内の圧力をモニター
する圧力計と、この圧力計からのデータを処理する制御
シーケンサーを備えている。
は、薬品容器が空になった場合、フィルターの二次側の
薬品供給配管内の薬品の圧力変化に従って、薬品容器の
切り換えを行うために薬品供給配管内の圧力をモニター
する圧力計と、この圧力計からのデータを処理する制御
シーケンサーを備えている。
【００１１】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の第一実施例の構成図である。窒素ガ
スカプラー１１２及び薬品カプラー１１３は薬品容器Ａ
１０１に取り付けられ、窒素ガスカプラー１１２と窒素
ガス配管１０９との接続箇所には自動弁１０３が取り付
けられており、薬品カプラー１１３と薬品供給配管１１
０との接続箇所には自動弁１０４が取り付けられてい
る。また、同様に薬品容器Ｂ１０２用として、窒素ガス
カプラー１１４と自動弁１０５，および薬品カプラー１
１５と自動弁１０６を有している。
る。図１は本発明の第一実施例の構成図である。窒素ガ
スカプラー１１２及び薬品カプラー１１３は薬品容器Ａ
１０１に取り付けられ、窒素ガスカプラー１１２と窒素
ガス配管１０９との接続箇所には自動弁１０３が取り付
けられており、薬品カプラー１１３と薬品供給配管１１
０との接続箇所には自動弁１０４が取り付けられてい
る。また、同様に薬品容器Ｂ１０２用として、窒素ガス
カプラー１１４と自動弁１０５，および薬品カプラー１
１５と自動弁１０６を有している。
【００１２】薬品供給配管１１０には、供給薬品１１
６，１１７をろ過するフィルター１０８が取り付けら
れ、フィルター１０８の２次側には薬品供給配管１１０
内の薬品の圧力をモニターするための圧力計１０７が取
り付けられている。制御シーケンサー１１１は、本実施
例の運転動作に関するプログラムを内蔵しており、圧力
計１０７からのデータ処理，各自動弁１０３，１０４，
１０５，１０６の開閉動作等を行うものである。
６，１１７をろ過するフィルター１０８が取り付けら
れ、フィルター１０８の２次側には薬品供給配管１１０
内の薬品の圧力をモニターするための圧力計１０７が取
り付けられている。制御シーケンサー１１１は、本実施
例の運転動作に関するプログラムを内蔵しており、圧力
計１０７からのデータ処理，各自動弁１０３，１０４，
１０５，１０６の開閉動作等を行うものである。
【００１３】次に薬品容器Ａ１０１内の薬品１１６をユ
ースポイントへ送液する場合を例にして、本実施例の動
作を以下に述べる。まず、制御シーケンサー１１１へ、
薬品容器Ａ１０１内の薬品１１６の供給開始命令を入力
する。制御シーケンサー１１１は自動弁１０３，１０４
を「開」，自動弁１０５，１０６を「閉」に作動させ、
薬品容器Ａ１０１内を窒素ガスで加圧し、内部の薬品１
１６をユースポイントへ圧送する。
ースポイントへ送液する場合を例にして、本実施例の動
作を以下に述べる。まず、制御シーケンサー１１１へ、
薬品容器Ａ１０１内の薬品１１６の供給開始命令を入力
する。制御シーケンサー１１１は自動弁１０３，１０４
を「開」，自動弁１０５，１０６を「閉」に作動させ、
薬品容器Ａ１０１内を窒素ガスで加圧し、内部の薬品１
１６をユースポイントへ圧送する。
【００１４】やがて薬品容器Ａ１０１内の薬品１１６は
空になり、加圧媒体である窒素ガスが薬品容器Ａ１０１
内から薬品供給配管１１０内に流入し始める。この薬品
供給配管１１０内に流入した窒素ガスはフィルター１０
８の一次側に滞溜し始める。フィルター１０８は微細孔
を有するテフロン膜を備え、薬液は通すが窒素ガスは通
さないという機能を有する。その結果、フィルター１０
８の２次側の薬品の圧力が低下し始め、圧力計１０７か
らのデータ処理を行っている制御シーケンサー１１１
は、薬品容器Ａ１０１内の薬品１１６が空になったと判
断し、自動弁１０３，１０４を「閉」，自動弁１０５，
１０６を「開」に作動させ、薬品容器Ｂ１０２を窒素ガ
スで加圧し、内部の薬品１１７をユースポイントへ圧送
する。
空になり、加圧媒体である窒素ガスが薬品容器Ａ１０１
内から薬品供給配管１１０内に流入し始める。この薬品
供給配管１１０内に流入した窒素ガスはフィルター１０
８の一次側に滞溜し始める。フィルター１０８は微細孔
を有するテフロン膜を備え、薬液は通すが窒素ガスは通
さないという機能を有する。その結果、フィルター１０
８の２次側の薬品の圧力が低下し始め、圧力計１０７か
らのデータ処理を行っている制御シーケンサー１１１
は、薬品容器Ａ１０１内の薬品１１６が空になったと判
断し、自動弁１０３，１０４を「閉」，自動弁１０５，
１０６を「開」に作動させ、薬品容器Ｂ１０２を窒素ガ
スで加圧し、内部の薬品１１７をユースポイントへ圧送
する。
【００１５】この降下圧力は窒素ガスの流入量にほぼ比
例しているため、２次側の微量薬品の圧力変化を検知し
うる圧力計１０７を使用することによって、１次側の微
量の窒素ガスの流入も検知できる。従って本実施例はタ
イムラグの非常に少ない（１秒以内）の薬品容器の切り
換えが可能であり、それゆえ薬品供給配管内への窒素ガ
スの混入を微量に抑えることができるという効果があ
る。
例しているため、２次側の微量薬品の圧力変化を検知し
うる圧力計１０７を使用することによって、１次側の微
量の窒素ガスの流入も検知できる。従って本実施例はタ
イムラグの非常に少ない（１秒以内）の薬品容器の切り
換えが可能であり、それゆえ薬品供給配管内への窒素ガ
スの混入を微量に抑えることができるという効果があ
る。
【００１６】図２は本発明の第二実施例の構成図であ
る。窒素ガスカプラー２１２及び薬品カプラー２１３は
薬品容器Ａ２０１に取り付けられ、窒素ガスカプラー２
１２と窒素ガス配管２０９との接続箇所には自動弁２０
３が取り付けられており、薬品カプラー２１３と薬品供
給配管２１０との接続箇所には自動弁２０４が取り付け
られている。また、同様に薬品容器Ｂ２０２用として、
窒素ガスカプラー２１４と自動弁２０５，および薬品カ
プラー２１５と自動弁２０６を有している。
る。窒素ガスカプラー２１２及び薬品カプラー２１３は
薬品容器Ａ２０１に取り付けられ、窒素ガスカプラー２
１２と窒素ガス配管２０９との接続箇所には自動弁２０
３が取り付けられており、薬品カプラー２１３と薬品供
給配管２１０との接続箇所には自動弁２０４が取り付け
られている。また、同様に薬品容器Ｂ２０２用として、
窒素ガスカプラー２１４と自動弁２０５，および薬品カ
プラー２１５と自動弁２０６を有している。
【００１７】薬品供給配管２１０には、供給薬品２１
６，２１７をろ過するフィルター２０８が取り付けら
れ、フィルター２０８の１次側には圧力計Ａ２０７ａ
が、またフィルター２０８の２次側には圧力計Ｂ２０７
ｂが取り付けられている。制御シーケンサー２１１は、
本実施例の運転動作に関するプログラムを内蔵してお
り、圧力計Ａ２０７ａ及び圧力計Ｂ２０７ｂからのデー
タ処理、各自動弁の開閉動作等を行うものである。
６，２１７をろ過するフィルター２０８が取り付けら
れ、フィルター２０８の１次側には圧力計Ａ２０７ａ
が、またフィルター２０８の２次側には圧力計Ｂ２０７
ｂが取り付けられている。制御シーケンサー２１１は、
本実施例の運転動作に関するプログラムを内蔵してお
り、圧力計Ａ２０７ａ及び圧力計Ｂ２０７ｂからのデー
タ処理、各自動弁の開閉動作等を行うものである。
【００１８】次に薬品容器Ａ２０１内の薬品２１６をユ
ースポイントへ送液する場合を例にして、本実施例の動
作を以下に述べる。まず、制御シーケンサー２１１へ、
薬品容器Ａ２０１内の薬品２１６の供給開始命令を入力
する。制御シーケンサー２１１は自動弁２０３，２０４
を「開」，自動弁２０６，２０６を「閉」に作動させ、
薬品容器Ａ２０１内を窒素ガスで加圧し、内部の薬品２
１６をユースポイントへ圧送する。
ースポイントへ送液する場合を例にして、本実施例の動
作を以下に述べる。まず、制御シーケンサー２１１へ、
薬品容器Ａ２０１内の薬品２１６の供給開始命令を入力
する。制御シーケンサー２１１は自動弁２０３，２０４
を「開」，自動弁２０６，２０６を「閉」に作動させ、
薬品容器Ａ２０１内を窒素ガスで加圧し、内部の薬品２
１６をユースポイントへ圧送する。
【００１９】やがて薬品容器Ａ２０１内の薬品２１６は
空になり、加圧媒体である窒素ガスが薬品容器Ａ２０１
内から薬品供給配管２１０内へ流入し始める。この薬品
供給配管２１０内に流入した窒素ガスはフィルター２０
８の１次側に帯溜し、その結果フィルター２０８の１次
側と２次側の差圧が増加し始め、圧力計Ａ２０７ａ及び
圧力計Ｂ２０７ｂからのデータ処理を行っている制御シ
ーケンサー２１１は、薬品容器Ａ２０１内の薬品２１６
が空になったと判断し、自動弁２０３，２０４を
「閉」，自動弁２０５，２０６「開」に作動させ、薬品
容器Ｂ２０２を窒素ガスで加圧し、内部の薬品２１７を
ユースポイントへ圧送する。
空になり、加圧媒体である窒素ガスが薬品容器Ａ２０１
内から薬品供給配管２１０内へ流入し始める。この薬品
供給配管２１０内に流入した窒素ガスはフィルター２０
８の１次側に帯溜し、その結果フィルター２０８の１次
側と２次側の差圧が増加し始め、圧力計Ａ２０７ａ及び
圧力計Ｂ２０７ｂからのデータ処理を行っている制御シ
ーケンサー２１１は、薬品容器Ａ２０１内の薬品２１６
が空になったと判断し、自動弁２０３，２０４を
「閉」，自動弁２０５，２０６「開」に作動させ、薬品
容器Ｂ２０２を窒素ガスで加圧し、内部の薬品２１７を
ユースポイントへ圧送する。
【００２０】第二実施例の場合、フィルター前後の差圧
の増大の発生により薬品容器の切り換えを行うものであ
り、第一実施例と同様の効果の他に、供給配管内の脈圧
等の発生による圧力変化による誤動作を防止できるとい
う効果を持つ。
の増大の発生により薬品容器の切り換えを行うものであ
り、第一実施例と同様の効果の他に、供給配管内の脈圧
等の発生による圧力変化による誤動作を防止できるとい
う効果を持つ。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、薬品容器
が空になると同時に発生する薬品配管内の薬品の圧力変
化に従って薬品容器の切り換えを行う機能を備えている
ので、タイムラグの無い薬品容器の切り換えが可能であ
り、それゆえ薬品供給配管内への窒素ガスの混入を微量
に抑えることができるという効果がある。
が空になると同時に発生する薬品配管内の薬品の圧力変
化に従って薬品容器の切り換えを行う機能を備えている
ので、タイムラグの無い薬品容器の切り換えが可能であ
り、それゆえ薬品供給配管内への窒素ガスの混入を微量
に抑えることができるという効果がある。
【図１】本発明の第一実施例の構成図である。
【図２】本発明の第二実施例の構成図である。
【図３】従来の薬品供給装置の構成図である。
１０１，２０１，３０１ 薬品容器Ａ １０２，２０２，３０２ 薬品容器Ｂ １０３，２０３，３０３ 自動弁 １０４，２０４，３０４ 自動弁 １０５，２０５，３０５ 自動弁 １０６，２０６，３０６ 自動弁 １０７，２０７ａ，２０７ｂ 圧力計 １０８，２０８，３０８ フィルター １０９，２０９，３０９ 窒素ガス配管 １１０，２１０，３１０ 薬品供給配管 １１１，２１１，３１１ 制御シーケンサー １１２，２１２，３１２ 窒素ガスカプラー １１３，２１３，３１３ 薬品カプラー １１４，２１４，３１４ 窒素ガスカプラー １１５，２１５，３１５ 薬品カプラー １１６，２１６，３１６ 薬品 １１７，２１７，３１７ 薬品 ３０７ 界面検出器
Claims (1)
- 【請求項１】 薬品容器を複数装備し、薬品を加圧ガス
により薬品供給配管に送液中に容器内の薬品が空になっ
た場合、他の満液容器からの送液に順次、自動的に切り
換える方式の薬品供給装置において、薬品中の微粒子を
捕捉するために薬品供給配管に取り付けられたフィルタ
ーの一次側に、前記容器が空になった場合、加圧ガスが
流入することによって生ずる二次側の薬品の圧力変化を
検出し、この検出信号により薬品容器の切り換えを行う
制御機構を備えることを特徴とする薬品供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4119459A JP2884909B2 (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | 薬品供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4119459A JP2884909B2 (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | 薬品供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05319500A JPH05319500A (ja) | 1993-12-03 |
| JP2884909B2 true JP2884909B2 (ja) | 1999-04-19 |
Family
ID=14761890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4119459A Expired - Lifetime JP2884909B2 (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | 薬品供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2884909B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101208256B (zh) | 2005-04-25 | 2013-09-18 | 高级技术材料公司 | 具有空检测能力的基于衬里的液体储存和分配系统 |
| KR20110017462A (ko) | 2005-06-06 | 2011-02-21 | 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 | 유체 저장 및 분배 시스템과 프로세스 |
| CN102548868B (zh) | 2009-07-09 | 2014-12-10 | 先进技术材料股份有限公司 | 基于衬里的存储系统和将流体材料输送给半导体工艺的方法 |
| WO2011085012A2 (en) | 2010-01-06 | 2011-07-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liquid dispensing systems with gas removal and sensing capabilities |
| EP2643094A4 (en) | 2010-11-23 | 2017-05-24 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liner-based dispenser |
| EP2681124A4 (en) | 2011-03-01 | 2015-05-27 | Advanced Tech Materials | NESTED BLASHED INNER CLADDING AND PACKAGING AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
| JP7332891B2 (ja) * | 2019-12-26 | 2023-08-24 | 澁谷工業株式会社 | 送液システムおよび送液方法 |
| CN113280262A (zh) * | 2021-05-08 | 2021-08-20 | 中山市鸿盛生物科技有限公司 | 化工原料可计量补充系统 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61164998A (ja) * | 1985-01-14 | 1986-07-25 | 日本電信電話株式会社 | 薬品の自動供給装置 |
-
1992
- 1992-05-13 JP JP4119459A patent/JP2884909B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05319500A (ja) | 1993-12-03 |
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